JP2020510864A - 2つのフォトマスクを比較することによるフォトマスクの検査 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (28)
- フォトリソグラフィーレチクルを検査する方法であって、
同じ設計で製造された第1及び第2のレチクルを得るステップと、
前記第1及び第2のレチクルの第1及び第2のレチクルイメージを得るステップと、
前記第1のレチクルイメージを前記第2のレチクルイメージと比較して、前記第1又は第2のレチクルのいずれかにある候補欠陥に対応する複数の差分イベントを有する差分イメージを出力するステップと、
前記候補欠陥の検査レポートを生成するステップと、
を包含する、方法。 - 前記第1及び第2のレチクルイメージが、同じ検査ツールにおいて、前記第1及び第2のレチクルをそのような検査ツールに一緒に装填することによって得られる、請求項1に記載の方法。
- 前記第1及び第2のレチクルイメージを、そのような第1及び第2のレチクルイメージの比較に先立って前記第1及び第2のレチクルの両方における同じ位置の焦点の差及び/又は光レベルの差に関して補正するステップをさらに包含する、請求項2に記載の方法。
- 前記第1及び第2のレチクルイメージが、同じ検査ツールにおいて、前記第1及び第2のレチクルをそのような検査ツールに連続して一つずつ装填することによって得られる、請求項1に記載の方法。
- 前記第1及び第2のレチクルイメージを、そのような第1及び第2のレチクルイメージの比較に先立って前記第1及び第2のレチクルの両方における同じ位置の焦点の差及び/又は光レベルの差に関して補正するステップをさらに包含する、請求項4に記載の方法。
- 前記第1及び第2のレチクルイメージが異なる検査ツールによって得られて、
そのような第1及び第2のレチクルイメージの比較に先立って、前記第1及び第2のレチクルイメージの同じ位置に影響するツールパラメータの差に関して前記第1及び第2のレチクルイメージを補正するステップをさらに包含する、請求項1に記載の方法。 - 前記第1のレチクルイメージを前記第2のレチクルイメージと比較して差分イメージを出力するステップが、
前記第1及び第2のレチクルイメージの各々の複数のパッチの各々について、各パッチにおける複数の位置についての平均又は中間強度値を決定するステップと、
前記第1のレチクルイメージからの各パッチの平均又は中間強度値を前記第2のレチクルの同じ位置におけるパッチの平均又は中間強度値の対応する一つと比較して、複数の差分平均又は中間強度値を得て、そのような差分平均又は中間強度値が候補欠陥として規定されるべきかどうかを決定するためにそれらが分析されるステップと、
を包含する、請求項1に記載の方法。 - 前記差分平均又は中間強度値を臨界寸法(CD)変動と相関するステップをさらに包含する、請求項7に記載の方法。
- 前記第1及び第2のレチクルが各々単一のダイを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のレチクルイメージを前記第2のレチクルイメージと比較するステップが、前記第1及び第2のレチクルイメージをお互いに位置合わせして、そのような第1及び第2のレチクルイメージの間の最大のマッチング位置合わせを得るステップを包含する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1及び第2のレチクルイメージの比較に先立って、前記第1のレチクルイメージにてセル毎の検査を実行するステップと、
前記セル毎の検査をパスした前記第1及び第2のレチクルイメージの領域を、お互いに比較されるステップから排除するステップと、
をさらに包含する、請求項1に記載の方法。 - 前記第1のレチクルは新しく製造されてフォトリソグラフィープロセスで使用されておらず、前記第2のレチクルはフォトリソグラフィープロセスで使用されている、請求項1に記載の方法。
- 前記第1及び第2のレチクルの両方が新しく且つフォトリソグラフィープロセスで使用されておらず、前記第1及び第2のレチクルが新しいときにそれらに対して見つけられた候補欠陥が、ベースラインイベントとして規定され、
前記ベースラインイベントが規定された後に、前記第1及び第2のレチクルの一方又は両方をフォトリソグラフィープロセスで使用するステップと、
第1及び第2のレチクルイメージを得て且つそのような第1及び第2のレチクルイメージを比較する操作を、結果として得られる前記ベースラインイベントに合致する任意の差分イベントを検査レポートから除外することによって前記第1又は第2のレチクルが使用された後に、繰り返すステップと、
をさらに包含する、請求項1に記載の方法。 - フォトリソグラフィーレチクルを検査する検査システムであって、前記システムは、少なくとも一つのメモリと、
同じ設計で製造された第1及び第2のレチクルを得て、
前記第1及び第2のレチクルの第1及び第2のレチクルイメージを得て、
前記第1のレチクルイメージを前記第2のレチクルイメージと比較して、前記第1又は第2のレチクルのいずれかにある候補欠陥に対応する複数の差分イベントを有する差分イメージを出力して、
前記候補欠陥の検査レポートを生成する、
という操作を実行するように構成された少なくとも一つのプロセッサと、を備えている、検査システム。 - 前記検査システムが単一の検査ツールを含み、前記第1及び第2のレチクルイメージが前記単一の検査ツールにおいて、前記第1及び第2のレチクルをそのような検査ツールに一緒に装填することによって得られる、請求項14に記載の検査システム。
- 前記少なくとも一つのメモリ及び少なくとも一つのプロセッサがさらに、前記第1及び第2のレチクルイメージを、そのような第1及び第2のレチクルイメージの比較に先立って、前記第1及び第2のレチクルの両方における同じ位置の焦点の差及び/又は光レベルの差に関して補正するように構成されている、請求項15に記載の検査システム。
- 少なくとも一つの記憶デバイスをさらに備えており、前記検査システムが単一の検査ツールを含み、前記第1及び第2のレチクルイメージが前記単一の検査ツールにおいて、前記第1及び第2のレチクルをそのような検査ツールに一緒に装填することによって得られて、前記第1のレチクルイメージが前記比較操作の間に前記少なくとも一つの記憶デバイスに記憶され且つそこから再生される、請求項14に記載の検査システム。
- 前記少なくとも一つのメモリ及び少なくとも一つのプロセッサがさらに、前記第1及び第2のレチクルイメージを、そのような第1及び第2のレチクルイメージの比較に先立って、前記第1及び第2のレチクルの両方における同じ位置の焦点の差及び/又は光レベルの差に関して補正するように構成されている、請求項17に記載の検査システム。
- 前記検査システムが異なる検査ツールと少なくとも一つの記憶デバイスとを含み、前記第1及び第2のレチクルイメージが前記異なる検査ツールによって得られて、
そのような第1及び第2のレチクルイメージの比較に先立って、前記第1及び第2のレチクルイメージの同じ位置に影響するツールパラメータの差に関して前記第1及び第2のレチクルイメージを補正する操作をさらに包含し、前記第1のレチクルイメージが前記比較操作の間に前記少なくとも一つの記憶デバイスに記憶され且つそこから再生される、請求項14に記載の検査システム。 - 前記第1のレチクルイメージを前記第2のレチクルイメージと比較して差分イメージを出力する操作が、
前記第1及び第2のレチクルイメージの各々の複数のパッチの各々について、各パッチにおける複数の位置についての平均又は中間強度値を決定する操作と、
前記第1のレチクルイメージからの各パッチの平均又は中間強度値を前記第2のレチクルの同じ位置におけるパッチの平均又は中間強度値の対応する一つと比較して、複数の差分平均又は中間強度値を得て、そのような差分平均又は中間強度値が候補欠陥として規定されるべきかどうかを決定するためにそれらが分析される操作と、
を包含する、請求項14に記載の検査システム。 - 前記少なくとも一つのメモリ及び少なくとも一つのプロセッサがさらに、前記差分平均又は中間強度値を臨界寸法(CD)変動と相関するように構成されている、請求項20に記載の検査システム。
- 前記第1のレチクルイメージからの各パッチの平均又は中間強度値を前記第2のレチクルの同じ位置におけるパッチの平均又は中間強度値の対応する一つと比較して、複数の差分平均又は中間強度値を得て、そのような差分平均又は中間強度値が候補欠陥として規定されるべきかどうかを決定するためにそれらが分析される操作をさらに包含する、請求項14に記載の検査システム。
- 前記第1及び第2のレチクルが各々単一のダイを含む、請求項14に記載の検査システム。
- 前記第1のレチクルイメージを前記第2のレチクルイメージと比較する操作が、前記第1及び第2のレチクルイメージをお互いに位置合わせして、そのような第1及び第2のレチクルイメージの間の最大のマッチング位置合わせを得る操作を包含する、請求項14に記載の検査システム。
- 前記少なくとも一つのメモリ及び少なくとも一つのプロセッサがさらに、
前記第1及び第2のレチクルイメージの比較に先立って、前記第1のレチクルイメージにてセル毎の検査を実行し、
前記セル毎の検査をパスした前記第1及び第2のレチクルイメージの領域を、お互いに比較される操作から排除する、
ように構成されている、請求項14に記載の検査システム。 - 前記第1のレチクルは新しく製造されてフォトリソグラフィープロセスで使用されておらず、前記第2のレチクルはフォトリソグラフィープロセスで使用されている、請求項14に記載の検査システム。
- 前記第1及び第2のレチクルの両方が新しく且つフォトリソグラフィープロセスで使用されておらず、前記第1及び第2のレチクルが新しいときにそれらに対して見つけられた候補欠陥が、ベースラインイベントとして規定され、
前記少なくとも一つのメモリ及び少なくとも一つのプロセッサがさらに、
前記ベースラインイベントが規定された後に、前記第1及び第2のレチクルの一方又は両方をフォトリソグラフィープロセスで使用し、
第1及び第2のレチクルイメージを得て且つそのような第1及び第2のレチクルイメージを比較する操作を、結果として得られる前記ベースラインイベントに合致する任意の差分イベントを検査レポートから除外することによって前記第1又は第2のレチクルが使用された後に、繰り返す、
ように構成されている、請求項14に記載の検査システム。 - 同じ設計で製造された第1及び第2のレチクルを得て、
前記第1及び第2のレチクルの第1及び第2のレチクルイメージを得て、
前記第1のレチクルイメージを前記第2のレチクルイメージと比較して、前記第1又は第2のレチクルのいずれかにある候補欠陥に対応する複数の差分イベントを有する差分イメージを出力して、
前記候補欠陥の検査レポートを生成する、
という操作を実行するためにそこに記憶されている指令を有するコンピュータ読み取り可能媒体。
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