JP5378266B2 - 測定領域検出方法および測定領域検出プログラム - Google Patents
測定領域検出方法および測定領域検出プログラム Download PDFInfo
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Description
・CADデータ:
・画像(中心):
・領域(X0,Y0):
の3つを指定して表示させる。CADデータは、これから測定しようとする試料(マスク)を作製したCADデータである。画像(中心)は、測定しようとするCAD画像の中心を指定する。領域(X0,Y0)は、CAD画像上で、指定された画像(中心)を中心に、測定する領域を当該領域(X0.Y0)として指定する。
・SEM画像とCAD画像(設計データ)との差:
・全数のバラツキ(標準偏差):
・全数の平均:
などを集計して表示する。
11:電子銃
12:アライメント
13:集束レンズ
14:偏向器
15:2次電子検出器
16:対物レンズ
17:試料(マスク)
18:ステージ
19:増幅器
2:PC(パソコン)
21:CAD画像表示手段
22:測定領域表示手段
23:SEM画像取得手段
24:結果表示手段
25:SEM画像表示手段
26:CADデータ
27:表示装置
28:入力装置
Claims (5)
- 走査型電子顕微鏡を用いて生成した画像上で幅、長さが同じあるいは所定範囲内にある複数の測定領域および測定結果を表示する測定領域検出方法において、
CADデータから生成したCAD画像上で測定場所を指定するステップと、
前記CAD画像上で指定された測定場所をもとに当該CAD画像上で指定された測定場所において内接する矩形の測定領域(指定)を検出して表示するステップと、
前記検出した測定領域(指定)と幅あるいは長さあるいは両者が同じあるいは所定範囲内で同じ他の測定領域を抽出して測定領域(予測)を生成するステップと、
前記測定領域(指定)および測定領域(予測)をもとに、走査型電子顕微鏡を制御して、前記CADデータをもとに作製された被測定試料からSEM画像を取得するステップと、
前記取得したSEM画像上で前記CAD画像上の測定領域(指定)および測定領域(予測)に対応するパターンの測定を行って測定結果を取得するステップと、
前記取得した測定結果を、前記SEM画像上の対応する前記測定領域(指定)および測定領域(予測)にそれぞれ表示するステップと
を有することを特徴とする測定領域検出方法。 - 前記測定領域(指定)および測定領域(予測)は、CAD画像上のパターンの存在するラインあるいはパターンの存在しないスペース内で、前記指定された測定場所においてそれぞれ内接する、幅あるいは長さあるいは両者が同じあるいは所定範囲内で同じ矩形を抽出することを特徴とする請求項1記載の測定領域検出方法。
- 前記測定領域(指定)および測定領域(予測)は、CAD画像上のパターンの存在するライン内あるいはパターンの存在しないスペース内で、前記指定された測定場所においてそれぞれ内接する矩形であって、測定領域(予測)の矩形は測定領域(指定)の矩形と同一の内接する矩形が抽出できない場合には、矩形の幅および長さのうちのいずれか一方あるいは指定されない方を小さくして内接する、幅あるいは長さあるいは両者あるいは所定範囲内で同じ矩形を抽出することを特徴とする請求項1記載の測定領域検出方法。
- 前記測定結果は、実際の測定結果と、SEM画像とCAD画像の差、全数のバラツキ、全数の平均のうちの1つ以上としたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の測定領域検出方法。
- 走査型電子顕微鏡を用いて生成した画像上で幅、長さが同じあるいは所定範囲内にある複数の測定領域および測定結果を表示する測定領域検出プログラムであって、
コンピュータを、
CADデータから生成したCAD画像上で測定場所を指定するステップと、
前記CAD画像上で指定された測定場所をもとに当該CAD画像上で指定された測定場所において内接する矩形の測定領域(指定)を検出して表示するステップと、
前記検出した測定領域(指定)と幅あるいは長さあるいは両者が同じあるいは所定範囲内で同じ他の測定領域を抽出して測定領域(予測)を生成するステップと、
前記測定領域(指定)および測定領域(予測)をもとに、走査型電子顕微鏡を制御して、前記CADデータをもとに作製された被測定試料からSEM画像を取得するステップと、
前記取得したSEM画像上で前記CAD画像上の測定領域(指定)および測定領域(予測)に対応するパターンの測定を行って測定結果を取得するステップと、
前記取得した測定結果を、前記SEM画像上の対応する前記測定領域(指定)および測定領域(予測)にそれぞれ表示するステップと
して機能させるための測定領域検出プログラム。
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Family Applications (1)
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JP2008235575A (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Toshiba Corp | パターン測定方法、パターン測定装置およびプログラム |
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