JP2009170720A - レイアウトパターン検査装置およびレイアウトパターンの検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】設計レイアウトデータから危険回路パターンを抽出する手段と、検査すべき優先度が所定の値以上の危険回路パターンの図形情報と設計レイアウト上の座標情報とを含む抽出エラー図形情報を抽出する手段と、抽出エラー図形情報の設計レイアウト上の座標情報を設計に使用するフォトマスクを基準とした危険回路パターン座標情報に変換する手段と、設計レイアウトデータから危険回路パターン座標情報近傍の切出設計レイアウトデータを切出す手段と、ウェハ上の検査を行うチップと危険回路パターンを含む検査位置とを指定した検査レシピとウェハ上のチップ配置情報とに基づいて作製されたウェハ上の危険回路パターンを撮像する手段と、撮像画像と切出設計レイアウトデータとを比較し危険回路パターンの製造への影響度の高さを判定する手段と、を備える。
【選択図】 図1
Description
11 入力部
12 表示部
13 危険回路パターン抽出部
14 抽出危険回路パターン記憶部
15 危険回路パターン分類部
16 危険回路パターンデータ記憶部
17 マスクデータ記憶部
18 設計情報記憶部
19 危険回路パターン座標変換部
20 危険回路パターン表示処理部
21 設計レイアウトデータ切出部
22 検査情報記憶部
23 検査レシピ作成部
24 危険回路パターン観察部
25 危険回路パターン測定部
26 危険回路パターン影響測定部
27 制御部
100 ウェハ
110 チップ
120 フォトマスク
130 フォトマスク有効領域
141,142 セル
150 回路パターン
151 危険回路パターン
Claims (5)
- 配線パターンを含む設計レイアウトデータから、所定の特性が得られない回路パターンを危険回路パターンとして抽出し、検査すべき優先度を付す危険回路パターン抽出手段と、
前記危険回路パターン抽出手段で抽出された前記危険回路パターンから、検査すべき優先度が所定の値以上の危険回路パターンの図形情報と設計レイアウト上の座標情報とを含む抽出エラー図形情報を抽出する危険回路パターン分類手段と、
前記抽出エラー図形情報の前記設計レイアウト上の座標情報を、設計に使用するフォトマスクを基準とした座標である危険回路パターン座標情報に変換する危険回路パターン座標変換手段と、
前記設計レイアウトデータから、前記危険回路パターン座標情報近傍の図形である切出設計レイアウトデータを切出す設計レイアウトデータ切出手段と、
ウェハ上の検査を行うチップと前記チップ内での前記危険回路パターンを含む検査位置とを指定した検査レシピと、前記ウェハ上の前記フォトマスクの投影位置に対応するチップ形成位置を示すチップ配置情報とに基づいて、前記設計レイアウトデータにしたがって実際に作製されたウェハ上の危険回路パターンの画像を撮像する危険回路パターン観察手段と、
前記危険回路パターン観察手段で撮像された危険回路パターンの画像と、前記設計レイアウト切出手段で切出された前記切出設計レイアウトデータとを比較し、危険回路パターンの製造への影響度の高さを判定する危険回路パターン影響測定手段と、
を備えることを特徴とするレイアウトパターン検査装置。 - 前記危険回路パターン影響測定手段は、前記危険回路パターンの画像と前記切出設計レイアウトデータとを重ね合わせ、図形同士で重なっていない箇所の面積の大きさによって、危険回路パターンの製造への影響度の高さを判定することを特徴とする請求項1に記載のレイアウトパターン検査装置。
- 前記危険回路パターン観察手段で撮像された危険回路パターンの画像から、所定の位置の寸法を測定する危険回路パターン測定手段をさらに備え、
前記危険回路パターン影響測定手段は、前記危険回路パターン影響測定手段で測定された寸法と、前記設計レイアウト切出手段で切出された切出設計レイアウトデータ上の対応する位置の寸法との誤差の大きさによって、危険回路パターンの製造への影響度の高さを判定することを特徴とする請求項1に記載のレイアウトパターン検査装置。 - 前記検査レシピ中の前記チップ内での前記危険回路パターンを含む検査位置に、前記危険回路パターン座標変換手段で変換された危険回路パターン座標情報を設定して前記検査レシピを作成する検査レシピ作成手段をさらに備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のレイアウトパターン検査装置。
- 配線パターンを含む設計レイアウトデータから、所定の特性が得られない回路パターンを危険回路パターンとして抽出し、検査すべき優先度を付す第1の工程と、
前記危険回路パターンから、検査すべき優先度が所定の値以上の危険回路パターンの図形情報と設計レイアウト上の座標情報とを含む抽出エラー図形情報を抽出する第2の工程と、
前記抽出エラー図形情報の前記設計レイアウト上の座標情報を、設計に使用するフォトマスクを基準とした座標である危険回路パターン座標情報に変換する第3の工程と、
前記設計レイアウトデータから、前記危険回路パターン座標情報近傍の図形である切出設計レイアウトデータを切出す第4の工程と、
ウェハ上の検査を行うチップと前記チップ内での前記危険回路パターンを含む検査位置とを指定した検査レシピと、前記ウェハ上の前記フォトマスクの投影位置に対応するチップ形成位置を示すチップ配置情報とに基づいて、前記設計レイアウトデータにしたがって実際に作製されたウェハ上の危険回路パターンの画像を撮像する第5の工程と、
撮像された前記危険回路パターンの画像と前記切出設計レイアウトデータとを比較し、危険回路パターンの製造への影響度の高さを判定する第6の工程と、
を含むことを特徴とするレイアウトパターンの検査方法。
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JP2008008307A JP2009170720A (ja) | 2008-01-17 | 2008-01-17 | レイアウトパターン検査装置およびレイアウトパターンの検査方法 |
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2008
- 2008-01-17 JP JP2008008307A patent/JP2009170720A/ja active Pending
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