JP2005134520A - マスクパターンデータ作成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】設計データに対して近接効果補正を施す工程(S12)と、プロセス余裕度が劣化する箇所を抽出する工程(S13)と、抽出されたプロセス余裕度が劣化する箇所に対してパターン補正を行う工程(S14)とを行うことにより高精度なパターン形成を実現する。以上のように、本発明のマスクパターンデータ作成方法によれば、複雑なLSIパターンにおいて、プロセス余裕度を保ちながら補正欠陥の無い高精度な近接効果補正マスクを短時間で提供することができる。
【選択図】図7
Description
41a 設計パターン
41b 設計パターン
42 所望パターン
43 パターン幅
44 間隔
81 マスクパターン
82 レジストパターン
83 パターン
84 レジストパターン
101 幅
102 幅
103 距離
104 所望パターン
105 設計パターン
111 所望パターン
112 光強度分布図形
113 パターン
114 乖離パターン
120 エラー
121 パターン図形
122 設計パターン図形
123 パターン
124h 幅
124s パターン間隔
124w 幅
Claims (4)
- 設計データに対して近接効果補正を施す工程(a)と、
前記工程(a)の後にプロセス余裕度が劣化する箇所を抽出する工程(b)と、
抽出された前記プロセス余裕度が劣化する箇所に対してパターン補正を行う工程(c)とを備えることを特徴とするマスクパターンデータ作成方法。 - 前記工程(a)は前記設計データをプロセス余裕度を保った設計パターンに変更した後、近接効果補正を行うことを特徴とする請求項1記載のマスクパターンデータ作成方法。
- 前記工程(c)における前記パターン補正は劣化の度合いに応じたパターン補正ルールに則って補正することを特徴とする請求項1記載のマスクパターンデータ作成方法。
- 前記工程(c)において、前記劣化する箇所をパターンレイアウトルールにより抽出して規定のパターンを付加もしくは削除することを特徴とする請求項1記載のマスクパターンデータ作成方法。
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