JP2012173072A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサ106からマスク101の光学画像を取得するし、光学画像におけるパターンの寸法と、判定の基準となる基準画像におけるパターンの寸法とを測定し、これらから第1の誤差を求める。マスク101上の光学画像と基準画像について各転写像を推定し、これらの転写像におけるパターンの寸法を測定して第2の誤差を求める。各転写像を比較し、差異が閾値を超えた場合に欠陥と判定する。欠陥と判定された箇所における第2の誤差を第1の誤差で補正する。
【選択図】図2
Description
画像センサから試料の光学画像を取得する光学画像取得部と、
光学画像におけるパターンの寸法と、判定の基準となる基準画像におけるパターンの寸法とを測定し、これらから第1の誤差を求める寸法測定部と、
試料上の光学画像と基準画像について各転写像を推定し、これらの転写像におけるパターンの寸法を測定して第2の誤差を求める転写像推定部と、
各転写像を比較し、差異が閾値を超えた場合に欠陥と判定する比較部と、
比較部で欠陥と判定された箇所における第2の誤差を第1の誤差で補正する補正部とを有することを特徴とするものである。
画像センサから試料の光学画像を取得する工程と、
光学画像におけるパターンの寸法と、判定の基準となる基準画像におけるパターンの寸法とを測定し、これらから第1の誤差を求める工程と、
試料上の光学画像と基準画像について各転写像を推定し、これらの転写像におけるパターンの寸法を測定して第2の誤差を求める工程と、
各転写像を比較し、差異が閾値を超えた場合に欠陥と判定する工程と、
欠陥と判定された箇所における第2の誤差を第1の誤差で補正する工程とを有することを特徴とするものである。
101 マスク
102 XYθテーブル
103 光源
104 拡大光学系
105 フォトダイオードアレイ
106 センサ回路
107 位置回路
108 第1の比較回路
109 磁気ディスク装置
110 制御計算機
111 展開回路
112 参照回路
113 オートローダ制御回路
114 テーブル制御回路
115 磁気テープ装置
116 フレキシブルディスク装置
117 CRT
118 パターンモニタ
119 プリンタ
120 バス
122 レーザ測長システム
130 オートローダ
131 寸法測定回路
132 第2の比較回路
134 転写欠陥計算回路
135 寸法分布マップ
170 照明光学系
201 CADデータ
202 設計中間データ
203 フォーマットデータ
204 マスク採取データ
205 マスク検査結果
206 転写像検査結果
207 欠陥情報リスト
400 ウェハ転写シミュレータ
500 レビュー装置
600 修正装置
Claims (5)
- パターンが形成された試料に光を照明し、該試料の像を光学系を介して画像センサに結像し、欠陥の有無を判定する検査装置において、
前記画像センサから前記試料の光学画像を取得する光学画像取得部と、
前記光学画像における前記パターンの寸法と、前記判定の基準となる基準画像における前記パターンの寸法とを測定し、これらから第1の誤差を求める寸法測定部と、
前記試料上の光学画像と前記基準画像について各転写像を推定し、これらの転写像における前記パターンの寸法を測定して第2の誤差を求める転写像推定部と、
前記各転写像を比較し、差異が閾値を超えた場合に欠陥と判定する比較部と、
前記比較部で欠陥と判定された箇所における前記第2の誤差を前記第1の誤差で補正する補正部とを有することを特徴とする検査装置。 - 前記第1の誤差を記述したマップを記憶する記憶部を有することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- パターンが形成された試料に光を照明し、該試料の像を光学系を介して画像センサに結像し、欠陥の有無を判定する検査方法において、
前記画像センサから前記試料の光学画像を取得する工程と、
前記光学画像における前記パターンの寸法と、前記判定の基準となる基準画像における前記パターンの寸法とを測定し、これらから第1の誤差を求める工程と、
前記試料上の光学画像と前記基準画像について各転写像を推定し、これらの転写像における前記パターンの寸法を測定して第2の誤差を求める工程と、
前記各転写像を比較し、差異が閾値を超えた場合に欠陥と判定する工程と、
前記欠陥と判定された箇所における前記第2の誤差を前記第1の誤差で補正する工程とを有することを特徴とする検査方法。 - 前記第1の誤差で補正された前記第2の誤差から、修正の必要な欠陥であるか否かを判定する工程を有することを特徴とする請求項3に記載の検査方法。
- 前記第1の誤差を記述したマップを作成する工程を有することを特徴とする請求項3または4に記載の検査方法。
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