DE102021200656B4

DE102021200656B4 - Bearbeitungsverfahren und bearbeitungsvorrichtung

Info

Publication number: DE102021200656B4
Application number: DE102021200656.6A
Authority: DE
Inventors: Yoshimasa Kojima; Yusuke KAJIHARA
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2020-01-30
Filing date: 2021-01-26
Publication date: 2024-05-23
Anticipated expiration: 2041-01-27
Also published as: SG10202100810QA; JP2021120166A; US20210237297A1; CN113199651A; KR20210097619A; TW202128345A; JP7370265B2; DE102021200656A1

Abstract

Bearbeitungsverfahren zum Ausführen einer Bearbeitung für ein Werkstück (200), wobei das Bearbeitungsverfahren umfasst:
einen Tischabbildungsschritt eines Abbildens eines Fremdkörpers (301, 302) eines transparenten Teils (123) eines Haltetischs (12), der den transparenten Teil (123) aufweist, der aus einem transparenten Element zumindest in einem Teil einer Halteoberfläche ausgebildet ist, und eines Ausbildens einer vom Fremdkörper (301, 302) aufgenommenen Abbildung;
einen Halteschritt eines Haltens des Werkstücks (200) durch den Haltetisch (12) nach einem Ausführen des Tischabbildungsschrittes;
einen Werkstückabbildungsschritt eines Abbildens des vom Haltetisch (12) gehaltenen Werkstücks (200) durch den transparenten Teil (123) und eines Ausbildens einer vom Werkstück (200) aufgenommenen Abbildung; und
einen Bearbeitungsschritt eines Ausführens einer Bearbeitung für das durch den Haltetisch (12) gehaltene Werkstück (200) durch eine Bearbeitungseinheit, wobei
im Werkstückbearbeitungsschritt ein Abbilden ausgeführt wird, wobei der im Tischabbildungsschritt abgebildete Fremdkörper (301, 302) des transparenten Teils (123) ausgeschlossen wird.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Bearbeitungsverfahren und eine Bearbeitungsvorrichtung.
Beschreibung des Stands der Technik
Eine Bearbeitungsvorrichtung, die ein Werkstück bearbeitet, wie beispielsweise eine Schneidvorrichtung, identifiziert häufig die Bearbeitungsposition des durch eine Bearbeitungseinheit wie eine Schneidklinge bearbeiteten Werkstücks oder überprüft eine Schneidnut, die ein Bearbeitungsergebnis ist. In einigen Fällen wird als Bearbeitungsvorrichtung eine Vorrichtung verwendet werden, bei der ein Haltetisch, der ein Werkstück hält, einen transparenten Teil aufweist, aus einem transparenten Element ausgestaltet ist, um ein Abbilden des Werkstücks von der unteren Seite zu ermöglichen (siehe zum Beispiel JP 2010 - 87 141 A und JP 2010 - 82 644 A ).
Weiterer für das Verständnis der vorliegenden Erfindung hilfreicher Stand der Technik kann in folgendem Dokument gefunden werden:
DE 10 2018 201 156 A1 betrifft eine Laserbearbeitungsvorrichtung, welche einen Einspanntisch beinhaltet, der einen verpackten Wafer durch eine Halteoberfläche hält; eine Laserbearbeitungseinheit, die einen Laserstrahl auf dem verpackten Wafer aufbringt, um Durchgangsnuten entlang jeder Teilungslinie auszubilden; eine X-Achsen-Bewegungseinheit, die den Einspanntisch in einer X-Achsen-Richtung bewegt, und eine Prüfungseinheit.
DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
Wenn in der oben beschriebenen Bearbeitungsvorrichtung ein Werkstück in dem Zustand abgebildet wird, in dem ein Kratzer in einer Halteoberfläche des Haltetischs ausgebildet ist, oder in dem Zustand, in dem eine Verunreinigung an der Halteoberfläche anhaftet, taucht der Kratzer in einer aufgenommenen Abbildung auf. Wenn eine Identifikation einer Bearbeitungsposition oder eine Überprüfung eines Bearbeitungsergebnisses basierend auf der aufgenommenen Abbildung ausgeführt wird, in welcher die Verunreinigung oder der Kratzer auftaucht, wird möglicherweise eine Identifikation der genauen Bearbeitungsposition oder ein Erfassen des Bearbeitungsergebnisses unmöglich. Somit ist eine Verbesserung gewünscht. Wie oben beinhaltet die oben beschriebene Bearbeitungsvorrichtung die Möglichkeit, dass sich das Detektionsergebnis des durch den transparenten Teil abgebildeten Werkstücks verschlechtert.
Somit ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Bearbeitungsverfahren und eine Bearbeitungsvorrichtung bereitzustellen, das bzw. die die Verschlechterung eines Detektionsergebnisses eines durch einen transparenten Teil abgebildeten Werkstücks verringert.
Gelöst wird diese Aufgabe durch ein Bearbeitungsverfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 sowie durch eine Bearbeitungsvorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 6.
Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Bearbeitungsverfahren zum Ausführen einer Bearbeitung für ein Werkstück bereitgestellt. Das Bearbeitungsverfahren umfasst einen Tischabbildungsschritt eines Abbildens eines Fremdkörpers eines transparenten Teils eines Haltetischs, der den transparenten Teil aufweist, der aus einem transparenten Element zumindest in einem Teil einer Halteoberfläche ausgebildet ist, und eines Ausbildens einer vom Fremdkörper aufgenommenen Abbildung, einen Halteschritt eines Haltens des Werkstücks durch den Haltetisch nach einem Ausführen des Tischabbildungsschrittes, einen Werkstückabbildungsschritt eines Abbildens des vom Haltetisch gehaltenen Werkstücks durch den transparenten Teil und eines Ausbildens einer vom Werkstück aufgenommenen Abbildung, und einen Bearbeitungsschritt eines Ausführens einer Bearbeitung für das durch den Haltetisch gehaltene Werkstück durch eine Bearbeitungseinheit. Im Werkstückbearbeitungsschritt wird ein Abbilden ausgeführt, wobei der im Tischabbildungsschritt abgebildete Fremdkörper des transparenten Teils ausgeschlossen wird.
Bevorzugt wird die Position des Fremdkörpers aus der vom Fremdkörper aufgenommenen Abbildung identifiziert und die Abbildung unter Meidung der Position des Fremdkörpers im Werkstückabbildungsschritt ausgeführt.
Bevorzugt umfasst das Bearbeitungsverfahren ferner einen Abbildungsbearbeitungsschritt eines Entfernens des Fremdkörpers von der vom Werkstück aufgenommenen Abbildung auf der Basis der vom Fremdkörper aufgenommenen Abbildung.
Bevorzugt umfasst das Bearbeitungsverfahren ferner einen Bearbeitungspositionsidentifikationsschritt eines Identifizierens einer Bearbeitungsposition des Werkstücks auf der Basis der vom Werkstück aufgenommenen Abbildung nach einem Ausführen des Werkstückabbildungsschrittes und vor einem Ausführen des Bearbeitungsschrittes.
Bevorzugt umfasst das Bearbeitungsverfahren ferner einen Überprüfungsschritt eines Überprüfens eines Bearbeitungszustandes des Werkstücks auf der Basis der vom Werkstück aufgenommenen Abbildung während oder nach einer Ausführung des Bearbeitungsschrittes nach einem Ausführen des Werkstückabbildungsschrittes.
Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt, die für das Bearbeitungsverfahren verwendet wird. Die Bearbeitungsvorrichtung weist einen Haltetisch, aufweisend einen transparenten Teil, der aus einem transparenten Element mindestens in einem Teil einer Halteoberfläche ausgebildet ist, eine Bearbeitungseinheit, die eine Bearbeitung für ein durch den Haltetisch gehaltenes Werkstück ausführt, und eine Kamera zur Detektion, die einen Fremdkörper detektiert, auf.
Bevorzugt weist die Bearbeitungsvorrichtung ferner eine Werkstückabbildungskamera auf, die eine gehaltene Oberfläche des vom Haltetisch gehaltenen Werkstücks durch den transparenten Teil abbildet. Die Kamera zur Detektion ist an einer der Werkstückabbildungskamera über den Haltetisch gegenüberliegenden Seite angeordnet.
Die vorliegende Erfindung stellt einen solchen Effekt bereit, dass die Verschlechterung des Bearbeitungsergebnisses des durch den transparenten Teil abgebildeten Werkstücks verringert werden kann.
Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art, diese zu realisieren, werden ersichtlicher und die Erfindung selbst wird am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und der angehängten Ansprüche unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen, verstanden.
KURZE FIGURENBESCHREIBUNG

1 ist eine Perspektivansicht, die ein Konfigurationsbeispiel einer Bearbeitungsvorrichtung entsprechend einer ersten Ausführungsform darstellt;
2 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Halteeinheit und eine Abbildungskamera der in 1 dargestellten Bearbeitungsvorrichtung darstellt;
3 ist ein Flussdiagramm, das den Ablauf eines Bearbeitungsverfahrens gemäß der ersten Ausführungsform darstellt;
4 ist eine teilweise geschnittene Seitenansicht, die einen Tischabbildungsschritt des in 3 dargestellten Bearbeitungsverfahrens darstellt;
5 ist ein Diagramm, das ein Beispiel einer von einem Fremdkörper aufgenommenen Abbildung darstellt, die im Tischabbildungsschritt des in 3 dargestellten Bearbeitungsverfahrens erhalten wird;
6 ist eine teilweise geschnittene Seitenansicht, die einen Halteschritt des in 3 dargestellten Bearbeitungsverfahrens darstellt;
7 ist eine teilweise geschnittene Seitenansicht, die Teil VII in 6 auf eine vergrößerte Weise darstellt;
8 ist eine teilweise geschnittene Seitenansicht, die einen Werkstückabbildungsschritt des in 3 dargestellten Bearbeitungsverfahrens darstellt;
9 ist ein Diagramm, das eine im Werkstückabbildungsschritt des in 3 dargestellten Bearbeitungsverfahrens erhaltene von einem Werkstück aufgenommene Abbildung darstellt;
10 ist eine teilweise geschnittene Seitenansicht, die einen Bearbeitungsschritt des in 3 dargestellten Bearbeitungsverfahrens darstellt;
11 ist ein Diagramm, das eine in einem zweiten Werkstückabbildungsschritt des in 3 dargestellten Bearbeitungsverfahrens erhaltene von einem Werkstück aufgenommene Abbildung darstellt;
12 ist ein Flussdiagramm, das den Ablauf eines Bearbeitungsverfahrens gemäß einer zweiten Ausführungsform darstellt;
13 ist ein Flussdiagramm, das den Ablauf eines Bearbeitungsverfahrens gemäß der dritten Ausführungsform darstellt;
14 ist ein Diagramm, das eine im zweiten Werkstückabbildungsschritt des in 13 dargestellten Bearbeitungsverfahrens erhaltene von einem Werkstück aufgenommene Abbildung darstellt; und
15 ist ein Diagramm, das eine von einem Werkstück aufgenommene Abbildung darstellt, die aus einer Entfernung eines Fremdkörpers aus der in 14 dargestellten von dem Werkstück aufgenommenen Abbildung darstellt.

AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden detailliert im Folgenden mit Bezug auf die Figuren beschrieben. Die vorliegende Erfindung ist nicht durch den Inhalt beschränkt, der in den folgenden Ausführungsform beschrieben ist. Zusätzlich beinhalten die folgenden Bestandelemente das, was einfach durch den Fachmann ersonnen werden kann, und das, was im Wesentlichen das gleiche ist. Darüber hinaus können unten beschriebene Konfigurationen wie geeignet kombiniert werden. Zusätzlich können verschiedene Arten der Auslassungen, des Entsetzens oder Änderungen einer Konfiguration ausgeführt werden, ohne von der Idee der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
[Erste Ausführungsform]
Eine Bearbeitungsvorrichtung entsprechend einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird basierend auf Figuren beschrieben. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Konfigurationsbeispiel der Bearbeitungsvorrichtung entsprechend der ersten Ausführungsform darstellt. 2 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Halteeinheit und eine Abbildungskamera der Bearbeitungsvorrichtung darstellt, die in 1 dargestellt ist.
Eine Bearbeitungsvorrichtung 1 entsprechend der ersten Ausführungsform ist eine Bearbeitungsvorrichtung, die für ein Bearbeitungsverfahren gemäß der ersten Ausführungsform verwendet wird, und ist eine Schneidvorrichtung, die ein Werkstück 200 schneidet (entsprechend der Bearbeitung). Das Werkstück 200 eines Bearbeitungsziels der Bearbeitungsvorrichtung 1, die in 1 dargestellt ist, ist ein Wafer wie beispielsweise ein kreisförmig scheibenförmiger Halbleiter-Wafer oder Optik-Bauelement-Wafer, der Silizium, Saphir, Gallium-Arsenid, Siliziumcarbid (SiC) oder dergleichen als ein Substrat 201 beinhaltet. Im Werkstück 200 sind Bauelemente 204 in Bereichen ausgebildet, die in einem Gittermuster durch mehrere Straßen 203 an einer vorderen Oberfläche 202 des Substrats 201 aufgeteilt sind.
Das Bauelement 204 ist ein Schaltkreis wie beispielsweise eine integrierte Schaltung (IC) oder Largescale-Integration (LSI) oder ein Bildsensor aus einem ladungsgekoppelten Bauelement (CCD), einem komplementären Metalloxid-Halbleiter (CMOS) oder dergleichen. In der ersten Ausführungsform ist im Werkstück 200 ein Metallfilm 206 an einer hinteren Oberfläche 205 an der hinteren Seite der vorderen Oberfläche 202 des Substrats 201 ausgebildet. Im Werkstück 200 ist es nicht möglich, die Straße 203 zu detektieren, wenn eine Abbildung durch eine Infrarotkamera von der Seite der hinteren Oberfläche 205 aus ausgeführt wird, da der Metallfilm 206 an der hinteren Oberfläche 205 ausgebildet ist.
In der ersten Ausführungsform wird im Werkstück 200 die vordere Oberfläche 202 an ein Band 211 angehaftet, das einen Umfangsrand aufweist, an dem ein ringförmiger Rahmen 210 angebracht ist. Das Werkstück 200 wird durch den ringförmigen Rahmen 210 getragen und der Metallfilm 206 an der Seite der hinteren Oberfläche 205 ist nach oben gerichtet. In der ersten Ausführungsform ist der Metallfilm 206 an der hinteren Oberfläche 205 des Substrats 201 im Werkstück 100 ausgebildet. Allerdings muss in der vorliegenden Erfindung der Metallfilm 206 nicht ausgebildet sein und die hintere Oberfläche 205 könnte an dem Band 211 angehaftet sein und die vordere Oberfläche 202 könnte nach oben gerichtet sein.
Die Bearbeitungsvorrichtung 1, die in 1 dargestellt ist, ist eine Schneidvorrichtung, die das Werkstück 200 durch einen Haltetisch 12 einer Halteeinheit 10 hält und das Werkstück 200 entlang der Straßen 203 durch eine Schneidklinge 21 schneidet, um das Werkstück 200 in die einzelnen Bauelementchips 204 zu teilen. Wie in 1 dargestellt, beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung 1 die Halteeinheit 10, eine Schneideinheit 20, eine Bewegungseinheit 30, eine Oberseitenkamera 40, eine Kamera 60 zur Detektion und eine Steuerungseinheit 100.
Wie in 2 dargestellt beinhaltet die Halteeinheit 10 ein Gehäuse 11, das in einer X-Achsenrichtung parallel zu der horizontalen Richtung durch eine X-Achsen-Bewegungseinheit 31 der Bewegungseinheit 30 bewegt wird, den Haltetisch 12, der an dem Gehäuse 11 drehbar um das zu einer Z-Achsenrichtung entlang der vertikalen Richtung parallele Achsenzentrum angeordnet ist, und mehrere Rahmenbefestigungsteile 13, die um eine Halteoberfläche 124 des Haltetisch 12 herum bereitgestellt sind.
In der ersten Ausführungsform beinhaltet das Gehäuse 11 eine untere Platte 111, die in der X-Achsenrichtung durch die X-Achsen-Bewegungseinheit 31 bewegt wird und parallel zu der horizontalen Richtung ist, eine Seitenplatte 112, die von dem äußeren Rand der unteren Platte 111 aufrecht angeordnet ist, und eine obere Platte 113, welche den äußeren Rand kontinuierlich mit dem oberen Ende der Seitenplatte 112 aufweist und parallel zu der unteren Platte 111 ist.
Der Haltetisch 12 hält das Werkstück 200 an der Halteoberfläche 124 und ist durch die obere Platte 113 drehbar um das Achsenzentrum getragen. Der Haltetisch 12 weist ein kreisförmig ringförmiges Trägerelement 121 auf, das durch die obere Platte 113 drehbar um das Achsenzentrum parallel zu der Z-Achsenrichtung getragen ist, einen kreisförmigen ringförmigen Rahmenkörper 122, der an dem Trägerelement 121 angeordnet ist, und einen transparenten Teil 123, der in das Innere des Rahmenkörpers 122 eingepasst ist und eine kreisförmige Plattenform aufweist. Im Haltetisch 12 sind das Trägerelement 121, der Rahmenkörper 122 und der transparente Teil 123 an Positionen angeordnet, an denen sie koaxial miteinander sind.
Der transparente Teil 123 ist aus einem transparenten Element wie beispielsweise Quarzglas, Borsilikatglas, Saphir, Calciumfluorid, Lithiumfluorid, oder Magnesiumfluorid ausgestaltet, und seine obere Oberfläche ist die Halteoberfläche 124, die das Werkstück 200 hält. Mehrere Saugnuten 125 in der Halteoberfläche 124 ausgebildet. In der ersten Ausführungsform sind die mehreren Saugnuten 125 in kreisförmigen Formen ausgebildet, die konzentrisch am äußeren Teil der Halteoberfläche 124 angeordnet sind und sich voneinander hinsichtlich des Durchmessers unterscheiden. Im Haltetisch 12 ist die Seite der vorderen Oberfläche 202 des Werkstücks 200 unter Zwischenschaltung des Bandes 211 über der Halteoberfläche 124 platziert. In der ersten Ausführungsform weist der Haltetisch 12 den transparenten Teil 123 auf, der aus dem transparenten Element in der Gesamtheit der Halteoberfläche 124 ausgestaltet ist. In der vorliegenden Erfindung könnte der Haltetisch 12 allerdings den transparenten Teil 123 aufweisen, der mindestens in einem Teil der Halteoberfläche 124 aus dem transparenten Element ausgestaltet ist.
Die Rahmenbefestigungsteile 13 sind an dem äußeren Randteil des Trägerelements 121 angeordnet und weisen jeweils einen Rahmenträgerteil 131 mit einer oberen Oberfläche auf, über welcher der ringförmige Rahmen 210 platziert ist, und ein Vakuum-Pad 132, das den ringförmigen Rahmen 210, der über der oberen Oberfläche des Rahmenträgerteils 131 platziert ist, ansaugt und hält.
Im Haltetisch 12 sind die Saugnuten 125 und die Vakuum-Pads 132 mit einer Vakuumsaugquelle (die in der Abbildung nicht dargestellt ist) verbunden und durch die Vakuumsaugquelle wird eine Ansaugung ausgeführt. Dadurch saugt der Haltetisch 12 das Werkstück 200, das über der Halteoberfläche 124 platziert ist, an die Halteoberfläche 124, um das Werkstück 200 über der Halteoberfläche 124 zu halten, und saugt den über den oberen Oberflächen der Rahmenträgerteile 131 platzierten ringförmigen Rahmen 210 an die Rahmenbefestigungsteile 13, um den ringförmigen Rahmen 210 über den Rahmenbefestigungsteilen 13 zu halten. In der ersten Ausführungsform saugt der Haltetisch 12 die Seite der vorderen Oberfläche 202 des Werkstücks 200 an die Halteoberfläche 124, um das Werkstück 200 unter Zwischenschaltung des Bandes 211 über der Halteoberfläche 124 zu halten, und saugt den ringförmigen Rahmen 210 an die Rahmenbefestigungsteile 13, um den ringförmigen Rahmen 210 unter Zwischenschaltung des Bandes 211 über den Rahmenbefestigungsteilen 13 zu halten. Darüber hinaus ist in der ersten Ausführungsform ist ein kreisförmiges Durchgangsloch 114 in der oberen Platte 113 des Gehäuses 11 in der Halteeinheit 10 hergestellt. Das Durchgangsloch 114 ist an einer solchen Position angeordnet, dass es koaxial mit dem Trägerelement 121, dem Rahmenkörper 122 und dem transparenten Teil 123 des Haltetischs 12 ist.
Die Bewegungseinheit 30 beinhaltet die X-Achsen-Bewegungseinheit 31, die eine Bearbeitungszufuhreinheit ist, die in 2 dargestellt ist, eine Y-Achsen-Bewegungseinheit 32, die eine Index-Zufuhreinheit ist, die in 1 dargestellt ist, eine Z-Achsen-Bewegungseinheit 33, die eine Einschneid-Zufuhreinheit ist, die in 1 dargestellt ist, und eine Drehbewegungseinheit 34, welche den in 2 dargestellten Haltetisch 12 um das zu der Z-Achsenrichtung parallele Achsenzentrum dreht.
Die X-Achsen-Bewegungseinheit 31 ist eine Einheit, die den Haltetisch 12 und die Schneideinheit 20 durch ein Bewegen der der unteren Platte 111 des Gehäuses 11 der Halteeinheit 10 in der X-Achsenrichtung relativ in der X-Achsenrichtung bewegt. Die X-Achsen-Bewegungseinheit 31 bewegt den Haltetisch 12 in der X-Achsenrichtung zwischen einem Herein-Herausbeförderungsbereich 4, in dem das Werkstück 200 auf den Haltetisch 12 geladen und von diesem entnommen wird, und einen Bearbeitungsbereich 5, in dem eine Schneidbearbeitung des Werkstücks 200, das durch dem Einspanntisch 12 gehalten ist, ausgeführt wird. Die Y-Achsen-Bewegungseinheit 32 ist eine Einheit, welche die Schneideinheit 20 in einer Y-Achsenrichtung, die parallel zu der horizontalen Richtung und orthogonal zu der X-Achsenrichtung ist, um dadurch den Haltetisch 12 und die Schneideinheit 20 relativ zueinander in der Y-Achsenrichtung zu bewegen. Die Z-Achsen-Bewegungseinheit 33 ist eine Einheit, die durch ein Bewegen der Schneideinheit 20 in der Z-Achsenrichtung den Haltetisch 12 und die Schneideinheit 20 relativ zueinander in der Z-Achsenrichtung bewegt.
Die X-Achsen-Bewegungseinheit 31, die Y-Achsen-Bewegungseinheit 32 und die Z-Achsen-Bewegungseinheit 33 beinhalten jeweils eine bekannte Kugelrollspindel, die drehbar um das Achsenzentrum angeordnet ist, einen bekannten Motor, der die Kugelrollspindel um das Achsenzentrum dreht, und bekannte Führungsschienen, die den Haltetisch 12 oder die Schneideinheit 20 in der X-Achsenrichtung, der Y-Achsenrichtung oder der Z-Achsenrichtung bewegbar tragen.
Die Drehbewegungseinheit 34 ist eine Einheit, die den Haltetisch 12 um das Achsenzentrum parallel zu der Z-Achsenrichtung dreht. Die Drehbewegungseinheit 34 dreht den Haltetisch 12 um das Achsenzentrum in einem Bereich von mehr als 180 Grad und weniger als 360 Grad. Die Drehbewegungseinheit 34 beinhaltet einen Motor 341, der an der Seitenplatte 112 des Gehäuses 11 fixiert ist, eine Rolle 342, die mit einer Ausgangswelle des Motors 341 verbunden ist, und einen Riemen 343, der um den äußeren Umfang des Trägerelements 121 des Haltetischs 12 geführt ist und um das Achsenzentrum durch die Rolle 342 gedreht wird. Wenn der Motor 341 gedreht wird, dreht die Drehbewegungseinheit 34 den Haltetisch 12 um das Achsenzentrum durch die Rolle 342 und den Riemen 343. Darüber hinaus kann in der ersten Ausführungsform die Drehbewegungseinheit 34 den Haltetisch 12 um 220 Grad sowohl in eine Richtung um das Achsenzentrum als auch in die andere Richtung, welche die zu der einen Richtung entgegengesetzte Richtung ist, drehen.
Die Schneideinheit 20 ist eine Bearbeitungseinheit, die ein Schneiden für das Werkstück 200, das durch den Haltetisch 12 gehalten ist, durch die Schneidklinge 21 ausführt. Die Schneideinheit 20 ist in der Y-Achsenrichtung durch die Y-Achsen-Bewegungseinheit 32 bewegbar angeordnet und ist und in der Z-Achsenrichtung durch die Z-Achsen-Bewegungseinheit 33 bewegbar in Bezug auf das vom Haltetisch 12 gehaltene Werkstück 200 angeordnet. Die Schneideinheit 20 ist unter Zwischenschaltung der Y-Achsen-Bewegungseinheit 32, der Z-Achsen-Bewegungseinheit 33 und so weiter an einem Trägerrahmen 3 angeordnet, der von einem Vorrichtungs-Hauptkörper 2 aufrecht angeordnet ist.
Die Schneideinheit 20 kann die Schneidklinge 21 an einer optionalen Position an der Halteoberfläche 124 des Haltetischs 12 durch die Y-Achsen-Bewegungseinheit 32 und die Z-Achsen-Bewegungseinheit 33 positionieren. Die Schneideinheit 20 beinhaltet die Schneidklinge 21, ein Spindelgehäuse 22, das bewegbar in der Y-Achsenrichtung und der Z-Achsenrichtung durch die Y-Achsen-Bewegungseinheit 32 und die Z-Achsen-Bewegungseinheit 33 angeordnet ist, eine Spindel 23, die in dem Spindelgehäuse 22 um das Achsenzentrum drehbar angeordnet und durch einen Motor gedreht wird, und die eine Spitze, an der die Schneidklinge 21 angebracht ist, und eine Schneidwasserdüse 24 aufweist.
Die Schneidklinge 21 ist eine Komponente, die das Werkstück 200, das durch den Haltetisch 12 gehalten ist, schneidet und ist ein sehr dünner abrasiver Stein, der im Wesentlichen eine Ringform aufweist. In der ersten Ausführungsform ist die Schneidklinge 21 eine sogenannte Nabenklinge, die eine kreisförmige Basis mit einer kreisförmigen ringförmigen Form und einen kreisförmigen ringförmigen Schneidrand aufweist, die an dem äußeren Umfangsrand der Kreisbasis angeordnet ist und das Werkstück 200 schneidet. Der Schneidrand ist aus abrasiven Körner aus Diamant, kubischem Bornitrid (CBM) oder dergleichen und einem Verbindungsmaterial (Verbinder) aus einem Metall, einem Kunststoff oder dergleichen ausgestaltet und ist in einer vorbestimmten Dicke ausgebildet. Bei der vorliegenden Erfindung könnte die Schneidklinge 21 eine sogenannte Unterlegscheibenklinge sein kann, die nur aus einer Schneidkante ausgestaltet ist.
Die Spindel 23 dreht die Schneidklinge 21 um ein Achsenzentrum, indem sie um das Achsenzentrum durch den Motor gedreht wird. Das Achsenzentrum der Schneidklinge 21 und der Spindel 23 der Schneideinheit 20 sind parallel zu der Y-Achsenrichtung. Die Schneidwasserdüse 24 ist eine Komponente, die an der Spitze des Spindelgehäuses 22 angeordnet ist, und führt während eines Schneidens des Werkstücks 200 durch die Schneidklinge 21 Schneidwasser zu dem Werkstück 200 und der Schneidklinge 21 zu.
Die Oberseitenkamera 40 ist an der Schneideinheit 20 befestigt, sodass sie sich integral mit der Schneideinheit 20 bewegt. Die Oberseitenkamera 40 beinhaltet mehrere Abbildungselemente, welche das Werkstück 200, das durch den Haltetisch 12 gehalten ist, von oben abbilden. Die Abbildungselemente sind zum Beispiel CCD-Abbildungselemente oder CMOS-Abbildungselemente. Die Oberseitenkamera 40 bildet das Werkstück 200, das durch den Haltetisch 12 gehalten ist, ab und gibt eine erhaltene Abbildung zur Steuerungseinheit 100 aus.
In der ersten Ausführungsform ist die Kamera 60 zur Detektion über dem im Herein-/Herausbeförderungsbereich 4 positionierten Haltetisch 12 angeordnet. Die Kamera 60 zur Detektion weist Abbildungselemente auf, welche den transparenten Teil 123 des Haltetischs 12 von der oberen Seite abbilden. Die Abbildungselemente sind beispielsweise CCD-Abbildungselemente oder CMOS-Abbildungselemente. Die Kamera 60 zur Detektion bildet den transparenten Teil 123 des Haltetischs 12 ab und gibt eine erhaltene Abbildung zur Steuerungseinheit 100 aus.
In der ersten Ausführungsform weist die Kamera 60 das Sichtfeld auf, mit welchem die Halteoberfläche 124 des im Herein-/Herausbeförderungsbereich 4 positionierten Haltetischs gleichzeitig abgebildet werden kann. Allerdings ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt und das Sichtfeld könnte kleiner als die Halteoberfläche 124 des Haltetischs 12 sein und die Halteoberfläche 124 könnte mehrere Male auf eine geteilte Weise abgebildet werden. Darüber hinaus ist in der vorliegenden Erfindung die Position der Kamera 60 zur Detektion nicht auf die Position über dem im Herein-/Herausbeförderungsbereich 4 positionierten Haltetisch 12 beschränkt. Es reicht aus, dass die Kamera 60 zur Detektion in einem Bereich angeordnet ist, in dem es möglich ist, den transparenten Teil 123 des an einer beliebigen Position im Bewegungsbereich durch die X-Achsen-Bewegungseinheit 31 positionierten Haltetisch 12 abzubilden.
Darüber hinaus definiert die durch ein Abbilden durch die Kamera 60 zur Detektion erhaltene Abbildung die Intensität von von jedem Pixel des Abbildungselements empfangenem Licht auf der Basis von Graustufen auf mehreren Stufen (beispielsweise 256 Stufen). Das heißt, dass die durch ein Abbilden durch die Kamera 60 zur Detektion erhaltene Abbildung eine Abbildung ist, in der an der Stufe gemäß der Intensität des von jedem Pixel empfangenen Lichts dargestellt wird, ob Licht stark oder schwach ist, d.h. eine Abbildung mit der kontrastierenden Dichte. Die Kamera 60 zur Detektion bildet den transparenten Teil 123 des Haltetischs 12 ab und bildet Fremdkörper 301 und 302 (dargestellt in 5) am transparenten Teil 123. Die Fremdkörper 301 und 302 in der vorliegenden Erfindung bezeichnen Objekte, hinsichtlich derer die Differenz der Intensität von Licht vom anderen Teil des transparenten Teils 123 in einer durch ein Abbilden erhaltenen Abbildung gleich oder größer als ein vorgegebener Werkt ist, wenn der transparente Teil 123 durch die Kamera 60 zur Detektion abgebildet wird, und bezeichnen beispielsweise eine Verschmutzung des transparenten Teils 123 oder einen im transparenten Teil 123 ausgebildeten Kratzer.
Darüber hinaus weist, wie in 2 dargestellt, die Bearbeitungsvorrichtung 1 ferner eine Werkstück-Abbildungskamera 50 auf, welche die vordere Oberfläche 202, welche die gehaltene Oberfläche des vom Haltetisch 12 gehaltenen Werkstücks 200 ist, durch den transparenten Teil 123 abbildet. Die Werkstück-Abbildungskamera 50 ist eine Komponente, welche die Seite der vorderen Oberfläche 202 des Werkstücks 200, das durch den Haltetisch 12 gehalten ist, von der unteren Seite des Werkstücks 200 durch den transparenten Teil 123 aufnimmt. Da die Werkstück-Abbildungskamera 50 die Komponente ist, die ein Abbilden von der unteren Seite des Werkstücks 200 durch den transparenten Teil 123 ausführt, ist die Kamera 60 zur Detektion an der über den Haltetisch gegenüberliegenden Seite der Werkstück-Abbildungskamera 50 angeordnet.
In der ersten Ausführungsform ist die Werkstück-Abbildungskamera 50 benachbart zu der Halteeinheit 10 in der Y-Achsenrichtung angeordnet. Darüber hinaus ist die Werkstück-Abbildungskamera 50 in der Y-Achsenrichtung durch eine zweite Y-Achsen-Bewegungseinheit 35 bewegbar angeordnet, die an dem Vorrichtungs-Hauptkörper 2 angeordnet ist, und ist in der Z-Achsenrichtung durch eine zweite Z-Achsen-Bewegungseinheit 38 bewegbar angeordnet, die an einer aufrechten Säule 37 angeordnet ist, die von einer Bewegungsplatte 36 aufrecht angeordnet ist, die in der Y-Achsenrichtung durch die zweite Y-Achsen-Bewegungseinheit 35 bewegt wird. In der ersten Ausführungsform ist die Werkstück-Abbildungskamera 50 an einem Ende eines horizontalen Erstreckungselements 39 angebracht, das mit dem anderen Ende an einem Anhebe-Absenk-Element angebracht ist, das sich in der Z-Achsenrichtung durch die zweite Z-Achsen-Bewegungseinheit 38 frei bewegen kann.
Die zweite Y-Achsen-Bewegungseinheit 35 und die zweite Z-Achsen-Bewegungseinheit 38 beinhalten jeweils eine bekannte Kugelrollspindel, die drehbar um das Achsenzentrum angeordnet ist, einen bekannten Motor, der die Kugelrollspindel um das Achsenzentrum dreht, und bekannte Führungsschienen, die die Bewegungsplatte oder die Werkstück-Abbildungskamera 50 in der Y-Achsenrichtung oder der Z-Achsenrichtung bewegbar tragen.
Die Werkstück-Abbildungskamera 50 beinhaltet Abbildungselemente, welche das Werkstück 200, das durch den Haltetisch 12 gehalten ist, von der unteren Seite durch den transparenten Teil 123 abbilden. Die Abbildungselemente sind zum Beispiel CCD-Abbildungselemente oder CMOS-Abbildungselemente. Die Werkstück-Abbildungskamera 50 bildet das Werkstück 200, das durch den Haltetisch 12 gehalten ist, ab und gibt eine erhaltene Abbildung an die Steuerungseinheit 100 aus.
Darüber hinaus beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung 1 eine Detektionseinheit 51 für eine X-Achsen-Richtungsposition (in 2 dargestellt) zum Detektieren der Position des Haltetischs 12 in der X-Achsenrichtung, eine Detektionseinheit für eine Y-Achsen-Richtungsposition, die zum Detektieren der Position der Schneideinheit 20 in der Y-Achsenrichtung dient und in der Abbildung nicht dargestellt ist, und eine Detektionseinheit für eine Z-Achsen-Richtungsposition zum Detektieren der Position der Schneideinheit 20 in der Z-Achsenrichtung. Die Detektionseinheit 51 für eine X-Achsen-Richtungsposition und die Detektionseinheit für eine Y-Achsen-Richtungsposition können jeweils durch eine lineare Skala parallel zu der X-Achsenrichtung oder der Y-Achsenrichtung und einen Lesekopf ausgestaltet sein. Die Detektionseinheit für eine Z-Achsen-Richtungsposition detektiert die Position der Schneideinheit 20 in der Z-Achsenrichtung durch Pulse des Motors. Die Detektionseinheit 51 für eine X-Achsen-Richtungsposition, die Detektionseinheit für eine Y-Achsen-Richtungsposition und die Detektionseinheit für eine Z-Achsen-Richtungsposition geben die Position des Haltetischs 12 in der X-Achsenrichtung oder die Position der Schneideinheit 20 in der Y-Achsenrichtung oder der Z-Achsenrichtung an die Steuerungseinheit 100 aus.
Darüber hinaus beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung 1 eine zweite Detektionseinheit 55 für eine Y-Achsen-Richtungsposition (in 2 dargestellt), welche die Position der Werkstück-Abbildungskamera 50 in der Y-Achsenrichtung detektiert. Die zweite Detektionseinheit 55 für eine Y-Achsen-Richtungsposition kann durch eine lineare Skala parallel zu der Y-Achsenrichtung und einen Lesekopf ausgestaltet sein. Die zweite Detektionseinheit 55 für eine Y-Achsen-Richtungsposition gibt die Position der Werkstück-Abbildungskamera 50 in der Y-Achsenrichtung an die Steuerungseinheit 100 aus. Die Positionen des Haltetischs 12, der Schneideinheit 20 und der Abbildungskamera in den jeweiligen Achsenrichtungen, die durch die jeweiligen Detektionseinheiten für eine Position detektiert werden, sind auf der Basis einer vorbestimmten Referenzposition der Schneidvorrichtung 1 definiert. Das heißt, dass in der Bearbeitungsvorrichtung 1 gemäß der ersten Ausführungsform die jeweiligen Positionen auf der Basis der vorgegebenen Bezugsposition definiert werden.
Zusätzlich beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung 1 einen Kassettenaufzug 91, an dem eine Kassette 90, die mehrere Werkstücke 200 vor und nach einem Schneiden unterbringt und welche die Kassette 90 in der Z-Achsenrichtung bewegt, platziert ist. Die Bearbeitungsvorrichtung 1 weist ferner eine Reinigungseinheit 92, welche das Werkstück 200 nach einem Schneiden reinigt, und eine Beförderungseinheit, die das Werkstück 200 in die Kassette 90 hinein einbringt und daraus entnimmt und das Werkstück 200 befördert und im Diagramm nicht dargestellt ist, auf.
Die Steuerungseinheit 100 ist eine Einheit, die alle oben beschriebenen jeweiligen Bestandteile der Bearbeitungsvorrichtung 1 steuert und bewirkt, dass die Bearbeitungsvorrichtung 1 eine Bearbeitungsbetätigung an dem Werkstück 200 durchführt. Die Steuerungseinheit 100 ist ein Computer ist, der eine arithmetische Berechnungsvorrichtung beinhaltet, die einen Mikroprozessor wie eine zentrale Berechnungseinheit (CPU), eine Speichervorrichtung, die einen Speicher wie einen Festwertspeicher (ROM) oder einen Arbeitsspeicher (RAM) aufweist, und eine Eingabe-/Ausgabe-Schnittstellenvorrichtung aufweist. Die arithmetische Berechnungsvorrichtung der Steuerungseinheit 100 führt eine arithmetische Berechnung entsprechend einem Computerprogramm aus, das in der Speichervorrichtung gespeichert ist, und gibt ein Steuerungssignal zum Steuern der Bearbeitungsvorrichtung 1 an die oben beschriebenen Bestandteile der Bearbeitungsvorrichtung 1 durch die Eingabe-/Ausgabe-Schnittstellenvorrichtung aus.
Darüber hinaus ist die Bearbeitungsvorrichtung 1 mit einer Anzeigeeinheit, die im Diagramm nicht dargestellt ist und die mit der Steuerungseinheit 100 verbunden und durch eine Flüssigkristallanzeige oder dergleichen ausgestaltet ist und die den Zustand einer Bearbeitungsbetätigung, eine Abbildung und so weiter anzeigt, und einer Eingabeeinheit verbunden, die mit der Steuerungseinheit 100 verbunden ist und verwendet wird, wenn ein Bediener eine Bearbeitungsinhaltsinformation oder dergleichen eingibt. In der ersten Ausführungsform ist die Eingabeeinheit durch mindestens eine Touchpanel, das an einer Anzeigeeinheit angeordnet ist, und eine äußere Eingabevorrichtung wie eine Tastatur ausgestaltet.
Als nächstes wird das Bearbeitungsverfahren entsprechend der ersten Ausführungsform basierend auf Figuren beschrieben. 3 ist ein Flussdiagramm, das den Ablauf des Bearbeitungsverfahrens entsprechend der ersten Ausführungsform darstellt. Das Bearbeitungsverfahren entsprechend der ersten Ausführungsform ist ein Verfahren, bei dem ein Schneiden für ein Werkstück 200 durch die oben beschriebene Bearbeitungsvorrichtung 1 ausgeführt wird und ist auch eine Bearbeitungsbetätigung durch die Bearbeitungsvorrichtung 1. Zuerst gibt ein Bediener eine Bearbeitungsinhaltsinformation in die Steuerungseinheit 100 ein und ordnet die Kassette 90, welche mehrere Werkstücke 200 unterbringt, vor dem Schneiden an dem Kassettenaufzug 91 an.
Die Bearbeitungsinhaltsinformation beinhaltet eine Abbildungsposition, welche die Position des von der Werkstückabbildungskamera 50 in einer Implementierung einer Positionseinstellung zwischen dem Werkstück 200 und der Schneidklinge 21, d.h. einer Ausrichtung, um die Bearbeitungsposition des Werkstücks 200 zu identifizieren, abgebildeten Werkstücks 200 ist. Die Bearbeitungsinhaltsinformation beinhaltet ferner eine Abbildungsposition, welche die Position des von der Werkstück-Abbildungskamera 50 in einer Implementierung einer Kerbenüberprüfung zum Überprüfen des Bearbeitungszustands des Werkstücks hinsichtlich dessen, ob eine Abweichung einer im Werkstück 200 aus einer gewünschten Position ausgebildeten Schneidnut 400 (dargestellt in 10), die Größe von an beiden Rändern der Schneidnut erzeugten Abplatzungen, und so weiter in einen vorgegebenen Bereich fallen, abgebildeten Werkstücks 200 ist.
Danach beginnt die Bearbeitungsvorrichtung 1, wenn die Steuerungseinheit 100 eine Instruktion, dass sie eine Bearbeitung beginnen soll, von einem Bediener akzeptiert, das Bearbeitungsverfahren entsprechend der ersten Ausführungsform. Wie in 3 dargestellt, beinhaltet das Bearbeitungsverfahren entsprechend der ersten Ausführungsform einen Tischabbildungsschritt ST1, einen Halteschritt ST2, einen Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3, einen Werkstückabbildungsschritt ST4, einen Bearbeitungspositionsidentifikationsschritt ST5, einen Bearbeitungsschritt ST6, einen zweiten Werkstückabbildungsschritt ST7, einen Überprüfungsschritt ST8 und einen Reinigungs-Beförderungsschritt ST9.
(Tischabbildungsschritt)
4 ist eine teilweise geschnittene Seitenansicht, welche den Tischabbildungsschritt des in 3 dargestellten Bearbeitungsverfahrens darstellt. 5 ist ein Diagramm, welches ein Beispiel einer im Tischabbildungsschritt des in 3 dargestellten Bearbeitungsverfahrens erhaltenen vom Fremdkörper aufgenommenen erhaltenen Abbildung darstellt.
Der Tischabbildungsschritt ST1 ist ein Schritt eines Abbildens der Fremdkörper 301 und 302 des transparenten Teils 123 des Haltetischs 12 und eines Ausbildens einer in 5 dargestellten vom Fremdkörper aufgenommenen . Im Tischabbildungsschritt ST1 steuert in der Bearbeitungsvorrichtung 1 die Steuerungseinheit 100 die X-Achsen-Bewegungseinheit 31, um den Haltetisch 12 wie in 4 dargestellt am Herein-/Herausbeförderungsbereich 4 zu positionieren. Im Tischabbildungsschritt ST1 bewirkt die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1, dass der transparente Teil 123 des Haltetischs 12 von der Kamera 60 zur Detektion abgebildet wird, und erhält die in 5 dargestellte vom Fremdkörper aufgenommene .
Im Tischabbildungsschritt ST1 extrahiert die Steuerungsvorrichtung 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 Pixel, hinsichtlich derer die Differenz der Lichtintensität von Pixeln, die aus einem Abbilden des anderen Teils des transparenten Teils 123 in der durch das Abbilden durch die Kamera 60 zur Detektion erhaltenen vom Fremdkörper aufgenommene gleich oder größer als ein vorgegebener Wert ist, und detektiert die Fremdkörper 301 und 302 am transparenten Teil 123. Im in 5 dargestellten Beispiel wird eine Verschmutzung am transparenten Teil 123 als der Fremdkörper 301 detektiert und Kratzer am transparenten Teil 123 werden als die Fremdkörper 302 detektiert. Im Tischabbildungsschritt ST1 speichert die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 die vom Fremdkörper aufgenommene . Zusätzlich identifiziert die Steuerungseinheit 100 die Positionen der detektierten Fremdkörper 301 und 302 in der X-Achsen-Richtung und der Y-Achsen-Richtung und speichert die identifizierten Positionen. In der ersten Ausführungsform berechnet die Steuerungseinheit 100 die Positionen der als die Fremdkörper 301 und 302 detektierten Pixel in der vom Fremdkörper aufgenommene als die Positionen der Fremdkörper 301 und 302. In der ersten Ausführungsform speichert die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 die vom Fremdkörper aufgenommene und identifiziert und speichert die Positionen der Fremdkörper 301 und 302. Dann fährt die Bearbeitungsvorrichtung 1 mit dem Halteschritt ST2 fort.
(Halteschritt)
6 ist eine teilweise geschnittene Seitenansicht, die den Halteschritt des Bearbeitungsverfahrens darstellt, das in 3 dargestellt ist. 7 ist eine teilweise geschnittene Seitenansicht, die auf eine vergrößerte Weise einen Teil VII in 6 darstellt.
Der Halteschritt ST2 ist ein Schritt zum Halten des Werkstücks 200 durch den Haltetisch 12 nach der Ausführung des Tischabbildungsschrittes ST1. In dem Halteschritt ST2 steuert die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 die Beförderungseinheit, um ein Werkstück 200 aus der Kassette 90 zu nehmen und das Werkstück 200 an der Halteoberfläche 124 des Haltetischs 12 zu platzieren, der in dem Herein-/Herausbeförderungsbereich 4 positioniert ist. In dem Halteschritt ST2 steuert die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 die Vakuumsaugquelle, um das Werkstück 200 über der Halteoberfläche 124 unter Zwischenschaltung des Bandes 211 anzusaugen und zu halten und um den ringförmigen Rahmen 210 über den Rahmenträgerteilen 131 unter Zwischenschaltung des Bandes 211 anzusaugen und zu halten, wie in 6 und 7 dargestellt ist. Dann fährt die Bearbeitungsvorrichtung 1 mit dem Abbildungsdetektionsbestimmungsschritt ST3 fort.
(Abbildungspositionsbestimmungsschritt)
Der Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 ist ein Schritt eines Bestimmens der Abbildungsposition, welche die Position des von der Werkstück-Abbildungskamera 50 bei einer Implementierung einer Ausrichtung, d.h. im Werkstückabbildungsschritt ST4, abgebildeten Werkstücks 200 ist, und der Abbildungsposition, welche die Position des von der Werkstück-Abbildungskamera 50 bei einer Implementierung einer Kerbenüberprüfung, d.h. im zweiten Werkstückabbildungsschritt ST7, abgebildeten Werkstücks 200, ist.
Im Abbildungspositionsdetektionsschritt ST3 bestimmt die Steuerungseinheit 100, ob die als die Bearbeitungsinhaltsinformation gespeicherte Abbildungsposition des Werkstücks 200, das vom Haltetisch 12 gehalten wird und von der Werkstück-Abbildungskamera 50 in einer Implementierung einer Ausrichtung abgebildet wird, der Position des im Tischabbildungsschritt ST1 identifizierten Position des Fremdkörpers 301 oder 302 entspricht. Im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 bestimmt die Steuerungseinheit 100, wenn bestimmt wird, dass die Abbildungsposition in einer Implementierung einer Ausrichtung, die als die Bearbeitungsinhaltsinformation gespeichert ist, nicht der im Tischabbildungsschritt ST1 identifizierten Position des Fremdkörpers 301 oder 302 entspricht, die als die Bearbeitungsinhaltsinformation gespeicherte Abbildungsposition als die Abbildungsposition des Werkstückabbildungsschritts ST4.
Im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 bestimmt die Steuerungseinheit 100, wenn bestimmt wird, dass die Abbildungsposition in einer Implementierung einer Ausrichtung, die als die Bearbeitungsinhaltsinformation gespeichert ist, der im Tischabbildungsschritt ST1 identifizierten Position des Fremdkörpers 301 oder 302 entspricht, ob eine Position, die aus einem Bewegen der Abbildungsposition, die als die Bearbeitungsinhaltsinformation gespeichert ist, in einer vorgegebenen Richtung um eine vorgegebene Distanz resultiert, der Position des Fremdkörpers 301 oder 302 entspricht. Im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 bewegt die Steuerungseinheit 100 die Abbildungsposition in der vorgegebenen Richtung um die vorgegebene Distanz, bis bestimmt wird, dass die Position, die aus der Bewegung in der vorgegebenen Richtung um die vorgegebene Distanz resultiert, nicht der Position des Fremdkörpers 301 oder 302 entspricht, und die Steuerungseinheit 100 bestimmt, dass die bestimmte Position nicht der Position des Fremdkörpers 301 oder 302 als die Abbildungsposition des Werkstückabbildungsschrittes ST4 entspricht.
Darüber hinaus bestimmt die Steuerungseinheit 100 im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3, ob die Abbildungsposition des Werkstücks 200, das durch den Haltetisch 12 gehalten wird und von der Werkstück-Abbildungskamera 50 in einer Implementierung einer Kerbenüberprüfung abgebildet wird, die als die Bearbeitungsinhaltsinformation gespeichert ist, der Position des Fremdkörpers 301 oder 302, die im Tischbestimmungsschritt ST1 identifiziert wird, entspricht. Im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 bestimmt die Steuerungseinheit 100, wenn bestimmt wird, dass die Abbildungsposition in einer Implementierung einer Kerbenüberprüfung, die als die Bearbeitungsinhaltsinformation gespeichert ist, nicht der im Tischabbildungsschritt ST1 identifizierten Position des Fremdkörpers 301 oder 302 entspricht, die als die Bearbeitungsinhaltsinformation gespeicherte Abbildungsposition als die Abbildungsposition des zweiten Werkstückabbildungsschritts ST7.
Darüber hinaus bestimmt die Steuerungseinheit 100 im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3, wenn bestimmt wird, dass die Abbildungsposition in einer Implementierung einer Kerbenüberprüfung, die als die Bearbeitungsinhaltsinformation gespeichert ist, der im Tischabbildungsschritt ST1 identifizierten Position des Fremdkörpers 301 oder 302 entspricht, ob eine Position, die aus einem Bewegen der Abbildungsposition, die als die Bearbeitungsinhaltsinformation gespeichert ist, in einer vorgegebenen Richtung um eine vorgegebene Distanz resultiert, der Position des Fremdkörpers 301 oder 302 entspricht. Im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 bewegt die Steuerungseinheit 100 die Abbildungsposition in der vorgegebenen Richtung um die vorgegebene Distanz, bis bestimmt wird, dass die Position, die aus der Bewegung in der vorgegebenen Richtung um die vorgegebene Distanz resultiert, nicht der Position des Fremdkörpers 301 oder 302 entspricht, und die Steuerungseinheit 100 bestimmt, dass die bestimmte Position nicht der Position des Fremdkörpers 301 oder 302 als die Abbildungsposition des zweiten Werkstückabbildungsschrittes ST7 entspricht. Bei der Bestimmung der Abbildungspositionen der Werkstückabbildungsschritte ST4 und ST7 durch die Steuerungseinheit 100 im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 fährt die Bearbeitungsvorrichtung mit dem Werkstückabbildungsschritt ST4 fort.
(Werkstückabbildungsschritt)
8 ist eine teilweise geschnittene Seitenansicht, welche den Werkstückabbildungsschritt des in 3 dargestellten Bearbeitungsverfahrens darstellt. 9 ist ein Diagramm, das eine vom Werkstück aufgenommene Abbildung, die im Werkstückabbildungsschritt des in 3 dargestellten Bearbeitungsverfahren erhalten wird, darstellt.
Der Werkstückabbildungsschritt ST4 ist ein Schritt eines Abbildens des durch den Haltetisch gehaltenen Werkstücks 12 durch den transparenten Teil 123 durch die Werkstück-Abbildungskamera 50 und eines Ausbildens einer in 9 dargestellten vom Werkstück aufgenommenen . In der ersten Ausführungsform steuert die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 die X-Achsenbewegungseinheit 31 und die zweite Y-Achsenbewegungseinheit 35, um die Werkstück-Abbildungskamera 50 unter der im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 bestimmten Abbildungsposition in Bezug auf das vom Haltetisch 12 gehaltene Werkstück 200 wie in 8 dargestellt zu positionieren.
Im Werkstückabbildungsschritt ST4 bewirkt die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1, dass die Abbildungsposition des Werkstücks 200 von der Werkstück-Abbildungskamera 50 von der unteren Seite durch den transparenten Teil 123 abgebildet wird, und erfasst die in 9 dargestellte vom Werkstück aufgenommene zum Implementieren einer Ausrichtung, in welcher eine Positionsausrichtung zwischen dem Werkstück 200 und der Schneidklinge 21 ausgeführt wird. Dann schreitet die Bearbeitungsvorrichtung 1 zum Bearbeitungspositionsidentifikationsschritt ST5 fort. In der ersten Ausführungsform wird in der in 9 dargestellten vom Werkstück aufgenommenen eine Position, an welcher die Lichtintensität am stärksten ist, durch einen weißen Hintergrund dargestellt und eine Position, an welcher die Lichtintensität schwächer ist, wird durch dichtere parallele schräge Linien dargestellt. Insbesondere wird die Straße 203 durch den weißen Hintergrund dargestellt und die Bauelemente 204 werden durch grobe parallele schräge Linien dargestellt.
Wie oben wird in der ersten Ausführungsform im Werkstückabbildungsschritt ST4 die im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 bestimmte Abbildungsposition abgebildet. Aufgrund dessen wird das Werkstück 200 unter Meidung der Positionen der Fremdkörper 301 und 302 des transparenten Teils 123 abgebildet. Darüber hinaus wird im Werkstückabbildungsschritt ST4 durch ein Abbilden der im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 bestimmten Abbildungsposition der transparente Teil 123 unter Ausschluss der Fremdkörper 301 und 302 des im Tischabbildungsschritt ST1 abgebildeten transparenten Teils 123 abgebildet.
(Bearbeitungspositionsidentifikationsschritt)
Der Bearbeitungspositionsidentifikationsschritt ST5 ist ein Schritt eines Identifizierens einer Bearbeitungsposition 207 des Werkstücks 200, d.h. eines Implementierens einer Ausrichtung, auf der Basis der vom Werkstück aufgenommenen nach der Ausführung des Werkstückabbildungsschrittes ST4 und vor einer Ausführung des Bearbeitungsschrittes ST6. Im Bearbeitungspositionsidentifikationsschritt ST5 detektiert die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 die Straße 203 aus der vom Werkstück aufgenommenen und identifiziert die Bearbeitungsposition 207 (in 9 dargestellt durch eine gestrichelte Linie) bei einer Ausführung eines Schneidens, um eine Ausrichtung zu implementieren. Bei der Identifikation der Bearbeitungsposition 207 im Bearbeitungspositionsidentifikationsschritt ST5 schreitet die Bearbeitungsvorrichtung 1 zum Bearbeitungsschritt ST6 fort. In der ersten Ausführungsform stellt die Bearbeitungsposition 207 die Position dar, durch welche die Mitte des Schneidrandes der Schneidklinge 21 in der Dickenrichtung bei einer Ausführung eines Schneidens verläuft und ist die Mitte der Straße 203 in der Breitenrichtung.
(Bearbeitungsschritt, zweiter Abbildungsschritt und Überprüfungsschritt)
10 ist eine teilweise geschnittene Seitenansicht, die den Bearbeitungsschritt des in 3 dargestellten Bearbeitungsverfahrens darstellt. 11 ist ein Diagramm, das eine im zweiten Werkstückabbildungsschritt des in 3 dargestellten Bearbeitungsverfahrens erhaltene vom Werkstück aufgenommene Abbildung darstellt.
Der Bearbeitungsschritt ST6 ist ein Schritt eines Ausführens eines Schneidens für das vom Haltetisch 12 gehaltene Werkstück 200 durch die Schneidklinge 21 der Schneideinheit 20. Im Bearbeitungsschritt ST6 startet die Bearbeitungsvorrichtung 1 ein Schneiden (Schritt ST61). Beim Starten des Schneidens steuert die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 die X-Achsen-Bewegungseinheit 31, um den Haltetisch 12 zum Bearbeitungsbereich 5 zu bewegen. Darüber hinaus steuert die Steuerungseinheit 100 die Bewegungseinheit 30 und die Schneideinheit 20, um den Haltetisch 12 und die Schneidklinge 21 der Schneideinheit relativ entlang der Straße 203 zu bewegen, und bewirkt, dass die Schneidklinge 21 in die Straße 203 schneidet unter Zufuhr von Schneidwasser von der Schneidwasserdüse 24, bis das Band 211 erreicht wird, um die Schneidnut 400 im Werkstück 200 auszubilden.
Im Bearbeitungsschritt ST6 bestimmt die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 ausgehend vom vorangegangenen zweiten Werkstückabbildungsschritt ST7 (Schritt ST62), ob eine vorgegebene Anzahl an Straßen 203 geschnitten wurde oder nicht. Wenn die Steuerungseinheit 100 bestimmt, dass die vorgegebene Anzahl an Straßen 203 nicht geschnitten wurde (schritt ST62: Nein), wird der Schritt ST62 wiederholt. Im Bearbeitungsschritt ST6 schreitet die Bearbeitungsvorrichtung 1, wenn die Steuerungseinheit 100 bestimmt, dass die vorgegebene Anzahl an Straßen 203 geschnitten wurde (Schritt ST62: Ja), zum zweiten Werkstückabbildungsschritt ST7 fort.
Der zweite Werkstückabbildungsschritt ST7 ist ein Schritt eines Abbildens des vom Haltetisch 12 gehaltenen Werkstücks 200 durch den transparenten Teil 123 durch die Werkstückabbildungskamera 50 und eines Ausbildens einer in 11 dargestellten vom Werkstück aufgenommenen . In der ersten Ausführungsform steuert die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 im zweiten Werkstückabbildungsschritt ST7 die X-Achsenbewegungseinheit 31 und die zweite Y-Achsenbewegungseinheit 35, um die Werkstück-Abbildungskamera 50 unter der im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 bestimmten Abbildungsposition in Bezug auf das vom Haltetisch 12 gehaltene Werkstück 200 zu positionieren.
Im zweiten Werkstückabbildungsschritt ST7 bewirkt die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1, dass die Abbildungsposition des Werkstücks 200 von der Werkstück-Abbildungskamera 50 von der unteren Seite durch den transparenten Teil 123 abgebildet wird, und erfasst die in 11 dargestellte vom Werkstück aufgenommene zum Implementieren einer Kerbenüberprüfung. Dann schreitet die Bearbeitungsvorrichtung 1 zum Überprüfungsschritt ST8 fort. In der ersten Ausführungsform wird in der in 11 dargestellten vom Werkstück aufgenommenen eine Position, an welcher die Lichtintensität am stärksten ist, durch einen weißen Hintergrund dargestellt und eine Position, an welcher die Lichtintensität schwächer ist, wird durch dichtere parallele schräge Linien dargestellt. Insbesondere wird die Straße 203 durch den weißen Hintergrund dargestellt und die Bauelemente 204 werden durch grobe parallele schräge Linien dargestellt und die Schneidnut 400 wird durch dichte parallele schräge Linien dargestellt.
Wie oben wird in der ersten Ausführungsform im zweiten Werkstückabbildungsschritt ST7 die im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 bestimmte Abbildungsposition abgebildet. Aufgrund dessen wird das Werkstück 200 unter Meidung der Positionen der Fremdkörper 301 und 302 des transparenten Teils 123 abgebildet. Darüber hinaus wird im zweiten Werkstückabbildungsschritt ST7 durch ein Abbilden der im Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 bestimmten Abbildungsposition der transparente Teil 123 unter Ausschluss der Fremdkörper 301 und 302 des im Tischabbildungsschritt ST1 abgebildeten transparenten Teils 123 abgebildet.
Der Überprüfungsschritt ST8 ist ein Schritt eines Überprüfens des Bearbeitungszustands des Werkstücks 200, d.h. eines Implementierens einer Kerbenüberprüfung, auf der Basis der vom Werkstück aufgenommenen nach der Ausführung des zweiten Werkstückabbildungsschrittes ST7. Im Überprüfungsschritt ST8 überprüft die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1, ob eine Abweichung der im Werkstück 200 ausgebildeten Schneidnut 400 von einer gewünschten Position, die Größe der an beiden Rändern der Schneidnut 400 ausgebildeten Abplatzungen 401 und so weiter in einen vorgegebenen Bereich fallen oder nicht. Bei der Überprüfung ST8 speichert die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 das Überprüfungsergebnis.
Dann bestimmt die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 im Bearbeitungsschritt ST6, ob die Schneideinheit 20 alle Straßen 203 des vom Haltetisch 12 gehaltenen Werkstücks geschnitten hat oder nicht, um die Schneidnuten 400 auszubilden, d.h., ob das Schneiden des vom Haltetisch 12 gehaltenen Werkstücks 200 beendet ist oder nicht (Schritt ST63). Wenn die Steuerungseinheit 100 bestimmt, dass das Schneiden des vom Haltetisch 12 gehaltenen Werkstücks 200 nicht beendet ist (Schritt ST63: Nein), kehrt die Bearbeitungsvorrichtung 1 zum Schritt ST62 zurück. Wenn die Steuerungseinheit 100 bestimmt, dass das Schneiden des vom Haltetisch 12 gehaltenen Werkstücks 200 beendet ist (Schritt ST63: Ja), fährt die Bearbeitungsvorrichtung 1 mit dem Reinigungs-Beförderungsschritt ST9 fort.
Während der Spanne vom oben beschriebenen Schritt ST61 bis im Schritt ST63 bestimmt ist, dass das Schneiden des Werkstücks 200 beendet ist, schneidet die Bearbeitungsvorrichtung 1 das am Haltetisch 12 gehaltene Werkstück 200. Deswegen bilden der Schritt ST61, der Schritt ST62 und der Schritt ST63 den Bearbeitungsschritt ST6 aus. Aus diesem Grund wird in der ersten Ausführungsform während einer Ausführung des Bearbeitungsschrittes ST6 der zweite Werkstückabbildungsschritt ST7 ausgeführt und der Überprüfungsschritt ST8 eines Überprüfens des Bearbeitungszustandes des Werkstücks 200 wird ausgeführt.
(Reinigungs-Beförderungsschritt)
Der Reinigungs-Beförderungsschritt ST9 ist ein Schritt eines Reinigens des Werkstücks 200 nach dem Schneiden durch die Reinigungseinheit 92 und eines Unterbringens des Werkstücks 200 in der Kassette 90. Im Reinigungs-Beförderungsschritt ST9 steuert die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 die X-Achsen-Bewegungseinheit 31, um den Haltetisch 12 zum Herein-/Herausbeförderungsbereich 4 zu bewegen, und steuert die Vakuumsaugquelle, um das Halten des Werkstücks 200 und des ringförmigen Rahmens 210 unter Ansaugung zu stoppen. Im Reinigungs-Beförderungsschritt ST9 steuert die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 die Beförderungseinheit, um das Werkstück 200 zur Reinigungseinheit 92 zu befördern, und um ein Reinigen durch die Reinigungseinheit 92 auszuführen. Dann bringt die Bearbeitungsvorrichtung 1 das Werkstück 200 in der Kassette 90 unter und beendet das Bearbeitungsverfahren gemäß der ersten Ausführungsform. Die Bearbeitungsvorrichtung 1 wiederholt das Bearbeitungsverfahren, das in 3 dargestellt ist, bis alle Werkstücke 200 in der Kassette 90 geschnitten sind.
Im Bearbeitungsverfahren gemäß der ersten oben beschriebenen Ausführungsform werden im Tischabbildungsschritt ST1 die Fremdkörper 301 und 302 wie beispielsweise Kratzer und Verunreinigungen basierend auf der durch ein Abbilden des transparenten Teils 123 durch die Kamera 60 zur Detektion erhaltenen vom Fremdkörper aufgenommenen identifiziert. Darüber hinaus wird im Bearbeitungsverfahren der transparente Teil 123 unter Ausschluss der Fremdkörper 301 und 302 in den Werkstückabbildungsschritten ST4 und ST7 abgebildet. Deswegen kann ein Auftreten der Fremdkörper 301 und 302 in den vom Werkstück aufgenommenen unterdrückt werden. Folglich stellt das Bearbeitungsverfahren einen solchen Effekt bereit, dass die Verschlechterung des Detektionsergebnisses des durch den transparenten Teil 123 abgebildeten Werkstücks 200 unterdrückt werden kann, da die Fremdkörper 301 und 302 nicht in den vom Werkstück aufgenommenen enthalten sind.
Darüber hinaus wird im Bearbeitungsverfahren der transparente Teil 123 unter Meidung der Positionen der Fremdkörper 301 und 302 in den Werkstückabbildungsschritten ST4 und St7 abgebildet. Deswegen kann verhindert werden, dass die Fremdkörper 301 und 302 in den vom Werkstück aufgenommenen enthalten sind. Darüber hinaus führt die Bearbeitungsvorrichtung 1 gemäß der ersten Ausführungsform das Bearbeitungsverfahren gemäß der ersten Ausführungsform aus und stellt deswegen einen solchen Effekt bereit, dass die Verschlechterung des Detektionsergebnisses des durch den transparenten Teil 123 abgebildeten Werkstücks 200 unterdrückt werden kann.
[Zweite Ausführungsform]
Eine Bearbeitungsvorrichtung entsprechend einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird basierend auf einer Figur beschrieben. 12 ist ein Flussdiagramm, das den Ablauf des Bearbeitungsverfahrens gemäß der zweiten Ausführungsform darstellt. In 12 werden die gleichen Teile wie die in der ersten Ausführungsform mit den gleichen Bezugszeichen versehen und eine Beschreibung dieser wird ausgelassen.
Das Bearbeitungsverfahren gemäß der zweiten Ausführungsform ist das gleiche wie in der ersten Ausführungsform, außer, dass, wie in 12 dargestellt, nachdem der Werkstückabbildungsschritt ST4 ausgeführt ist, nach einer Ausführung des Bearbeitungsschrittes ST6, der zweite Werkstückabbildungsschritt ST7 ausgeführt wird und der Überprüfungsschritt ST8 eines Überprüfens des Bearbeitungszustandes des Werkstücks 200 auf der Basis der vom Werkstück aufgenommenen ausgeführt wird.
Das Bearbeitungsverfahren und die Bearbeitungsvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform detektieren die Fremdkörper 301 und 302 wie beispielsweise Kratzer und eine Verschmutzung auf der Basis vom Fremdkörper aufgenommenen der und bilden den transparenten Teil 123 unter Ausschluss der Fremdkörper 301 und 302 in den Werkstückabbildungsschritten ST4 und ST7 ab. Deswegen kann ein Auftreten der Fremdkörper 301 und 302 in den vom Werkstück aufgenommenen unterdrückt werden und ein solcher Effekt, dass die Verschlechterung des Detektionsergebnisses des durch den transparenten Teil 123 abgebildeten Werkstücks 200 unterdrückt werden kann, wird ähnlich wie in der ersten Ausführungsform bereitgestellt.
[Dritte Ausführungsform]
Ein Bearbeitungsverfahren entsprechend einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird basierend auf Figuren beschrieben. 13 ist ein Flussdiagramm, das den Ablauf des Bearbeitungsverfahrens gemäß der dritten Ausführungsform darstellt. 14 ist ein Diagramm, das eine im zweiten Werkstückabbildungsschritt des in 13 dargestellten Bearbeitungsverfahrens erhaltene vom Werkstück aufgenommene Abbildung darstellt. 15 ist ein Diagramm, das eine vom Werkstück aufgenommene Abbildung darstellt, die aus einer Entfernung eines Fremdkörpers aus der in 14 dargestellten vom Werkstück aufgenommenen Abbildung resultiert. In 13, 14 und 15 werden die gleichen Teile wie die in der ersten Ausführungsform mit den gleichen Bezugszeichen versehen und eine Beschreibung dieser wird ausgelassen.
Das Bearbeitungsverfahren gemäß der dritten Ausführungsform ist das gleiche wie in der ersten Ausführungsform, außer, dass, wie in 13 dargestellt, das Bearbeitungsverfahren keinen Abbildungspositionsbestimmungsschritt ST3 aufweist und ein Abbildungsbearbeitungsschritt ST10 ausgeführt wird, nachdem der Werkstückabbildungsschritt ST4 oder ST7 ausgeführt ist.
Der Abbildungsbearbeitungsschritt ST10 ist ein Schritt eines Entfernens der Fremdkörper 301 und 302 von einer vom Werkstück aufgenommenen , hinsichtlich derer ein Beispiel in 14 auf der Basis der vom Fremdkörper aufgenommenen dargestellt ist, und eines Ausbildens einer vom Werkstück aufgenommenen , die aus der Entfernung der Fremdkörper 301 und 302 resultiert, und hinsichtlich derer ein Beispiel in 15 dargestellt ist. Die in 14 dargestellte vom Werkstück aufgenommene ist eine Abbildung, die durch ein Abbilden im zweiten Werkstückabbildungsschritt ST7 erhalten wird. Da die vom Werkstück aufgenommene ähnlich zu einer durch ein Abbilden im Werkstückabbildungsschritt ST4 erhaltenen Abbildung ist, wird die durch ein Abbilden im zweiten Werkstückabbildungsschritt ST7 erhaltene Abbildung als ein Stellvertreter beschrieben werden. Darüber hinaus ist die vom Werkstück aufgenommene ein Beispiel, welches den Fremdkörper 302 aufweist. Da der Fall, der den Fremdkörper beinhaltet, auch ähnlich ist, wird das den Fremdkörper 302 enthaltende Beispiel als ein Stellvertreter beschrieben werden.
Im Abbildungsbearbeitungsschritt ST10 bestimmt die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1, ob die vom Werkstück aufgenommene , hinsichtlich derer ein Beispiel in 14 dargestellt ist, den Fremdkörper 302 enthält oder nicht, auf der Basis der als die Bearbeitungsinhaltsinformation gespeicherten Abbildungsposition, der im Tischabbildungsschritt ST1 identifizierten Positionen der Fremdkörper 301 und 302 und so weiter. Im Abbildungsbearbeitungsschritt ST10 identifiziert die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1, wenn bestimmt wird, dass die vom Werkstück aufgenommene den Fremdkörper 302 wie in 14 dargestellt enthält, den Fremdkörper 302 in der vom Werkstück aufgenommenen . Im Abbildungsbearbeitungsschritt ST10 entfernt die Steuerungseinheit 100 in der Bearbeitungsvorrichtung 1 den Fremdkörper 302 von der vom Werkstück aufgenommenen und bildet die vom Werkstück aufgenommene aus, die in 15 dargestellt ist und aus der Entfernung des Fremdkörpers 302 resultiert. Die vom Werkstück aufgenommene wird im Überprüfungsschritt ST8 verwendet.
Das Bearbeitungsverfahren und die Bearbeitungsvorrichtung 1 gemäß der dritten Ausführungsform detektieren die Fremdkörper 301 und 302 wie beispielsweise Kratzer und eine Verschmutzung auf der Basis vom Fremdkörper aufgenommenen der und bilden den transparenten Teil 123 unter Ausschluss der Fremdkörper 301 und 302 in den Werkstückabbildungsschritten ST4 und ST7 ab. Deswegen kann ein Auftreten der Fremdkörper 301 und 302 in der vom Werkstück aufgenommenen unterdrückt werden und ein solcher Effekt, dass die Verschlechterung des Detektionsergebnisses des durch den transparenten Teil 123 abgebildeten Werkstücks 200 unterdrückt werden kann, wird ähnlich wie in der ersten Ausführungsform bereitgestellt.
Darüber hinaus entfernen das Bearbeitungsverfahren und die Bearbeitungsvorrichtung 1 gemäß der dritten Ausführungsform den Fremdkörper 302 aus der vom Werkstück aufgenommenen auf der Basis der vom Fremdkörper aufgenommenen und können deswegen eine Aufnahme des Fremdkörpers 402 in der vom Werkstück aufgenommenen , die im Bearbeitungspositionsidentifikationsschritt ST5 und im Überprüfungsschritt ST8 verwendet werden, vermeiden. Darüber hinaus können, ähnlich wie in der zweiten Ausführungsform, das Bearbeitungsverfahren und die Bearbeitungsvorrichtung 1 gemäß der dritten Ausführungsform den zweiten Werkstückabbildungsschritt ST7 und den Abbildungsbearbeitungsschritt ST10 nach einer Ausführung des Bearbeitungsschrittes ST6 ausführen und den Überprüfungsschritt ST8 eines Überprüfens des Bearbeitungszustandes des Werkstücks 200 auf der Basis der vom Werkstück aufgenommenen ausführen.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt. Das heißt, dass die vorliegende Erfindung mit verschiedenen Modifikationen ausgeführt werden kann, ohne vom Grundgedanken der vorliegenden Erfindung abzuweichen. In den oben beschriebenen Ausführungsformen ist die Bearbeitungseinheit in der Bearbeitungsvorrichtung 1 die Schneideinheit 20 mit der Spindel, an der die Schneidklinge 21 frei angebracht werden kann und von der sie gelöst werden kann. Allerdings ist die Bearbeitungseinheit in der vorliegenden Erfindung nicht auf die Schneideinheit 20 beschränkt und könnte eine Laserstrahlbestrahlungseinheit, beinhaltend einen Laseroszillator, eine Sammellinse und so weiter, sein. Das heißt, dass in der vorliegenden Erfindung die Bearbeitungsvorrichtung eine Laserbearbeitungsvorrichtung sein kann. Darüber hinaus könnten in der vorliegenden Erfindung, ohne die Kamera 60 für eine Detektion anzuordnen, der transparente Teil 123 des Haltetischs 12, der das Werkstück 200 nicht hält, durch die Oberseitenkamera 40 oder die Werkstückabbildungskamera 50 abgebildet werden, um die vom Fremdkörper aufgenommene auszubilden. In diesem Fall ist es wünschenswert, den transparenten teil 123 des Haltetischs 12 mehrere Male durch die Oberseitenkamera 40 oder die Werkstückabbildungskamera 50 abzubilden.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angehängten Patentansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das Äquivalente des Schutzbereichs der Ansprüche fallen, sind daher von der Erfindung umfasst.

Claims

Bearbeitungsverfahren zum Ausführen einer Bearbeitung für ein Werkstück (200), wobei das Bearbeitungsverfahren umfasst: einen Tischabbildungsschritt eines Abbildens eines Fremdkörpers (301, 302) eines transparenten Teils (123) eines Haltetischs (12), der den transparenten Teil (123) aufweist, der aus einem transparenten Element zumindest in einem Teil einer Halteoberfläche ausgebildet ist, und eines Ausbildens einer vom Fremdkörper (301, 302) aufgenommenen Abbildung; einen Halteschritt eines Haltens des Werkstücks (200) durch den Haltetisch (12) nach einem Ausführen des Tischabbildungsschrittes; einen Werkstückabbildungsschritt eines Abbildens des vom Haltetisch (12) gehaltenen Werkstücks (200) durch den transparenten Teil (123) und eines Ausbildens einer vom Werkstück (200) aufgenommenen Abbildung; und einen Bearbeitungsschritt eines Ausführens einer Bearbeitung für das durch den Haltetisch (12) gehaltene Werkstück (200) durch eine Bearbeitungseinheit, wobei im Werkstückbearbeitungsschritt ein Abbilden ausgeführt wird, wobei der im Tischabbildungsschritt abgebildete Fremdkörper (301, 302) des transparenten Teils (123) ausgeschlossen wird.
Bearbeitungsverfahren nach Anspruch 1, wobei eine Position des Fremdkörpers (301, 302) aus der vom Fremdkörper (301, 302) aufgenommenen Abbildung identifiziert wird und die Abbildung unter Meidung der Position des Fremdkörpers (301, 302) im Werkstückabbildungsschritt ausgeführt wird.
Bearbeitungsverfahren nach Anspruch 1 oder 2, ferner umfassend: einen Abbildungsbearbeitungsschritt eines Entfernens des Fremdkörpers (301, 302) von der vom Werkstück (200) aufgenommenen Abbildung auf einer Basis der vom Fremdkörper (301, 302) aufgenommenen Abbildung.
Bearbeitungsverfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, ferner umfassend: einen Bearbeitungspositionsidentifikationsschritt eines Identifizierens einer Bearbeitungsposition des Werkstücks (200) auf einer Basis der vom Werkstück (200) aufgenommenen Abbildung nach einem Ausführen des Werkstückabbildungsschrittes und vor einem Ausführen des Bearbeitungsschrittes.
Bearbeitungsverfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, ferner umfassend: einen Überprüfungsschritt eines Überprüfens eines Bearbeitungszustandes des Werkstücks (200) auf einer Basis der vom Werkstück (200) aufgenommenen Abbildung während oder nach einer Ausführung des Bearbeitungsschrittes nach einem Ausführen des Werkstückabbildungsschrittes.
Bearbeitungsvorrichtung, aufweisend: einen Haltetisch (12), aufweisend einen transparenten Teil (123), der aus einem transparenten Element mindestens in einem Teil einer Halteoberfläche ausgebildet ist; eine Bearbeitungseinheit, die eine Bearbeitung für ein durch den Haltetisch (12) gehaltenes Werkstück (200) ausführt; und eine Kamera zur Detektion, die einen Fremdkörper (301, 302) detektiert.
Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 6, ferner aufweisend: eine Werkstückabbildungskamera, die eine gehaltene Oberfläche des vom Haltetisch (12) gehaltenen Werkstücks (200) durch den transparenten Teil (123) abbildet, wobei die Kamera zur Detektion an einer der Werkstückabbildungskamera über den Haltetisch (12) gegenüberliegenden Seite angeordnet ist.