DE102005061763B4

DE102005061763B4 - Verfahren und Vorrichtung zum Entformen

Info

Publication number: DE102005061763B4
Application number: DE102005061763A
Authority: DE
Inventors: Yu-Lun Ho; Jen-Hua Wu; Wei-Han Taipei Wang; Shou-Ren Chen; Lai-Sheng Chen
Original assignee: Industrial Technology Research Institute ITRI
Current assignee: Industrial Technology Research Institute ITRI
Priority date: 2005-10-25
Filing date: 2005-12-23
Publication date: 2011-08-18
Anticipated expiration: 2025-12-24
Also published as: US7462320B2; TWI283631B; JP4308190B2; DE102005061763A1; TW200716341A; US20070092594A1; JP2007118552A

Abstract

Verfahren zum Entformen, umfassend folgende Verfahrensschritte; Einführen von mindestens drei Schneiden (41) von Schneidemodulen (4), die in einem regelmäßigen Abstand voneinander angeordnet sind, zwischen eine Form (1) und ein Substrat (2) nach Beenden eines Nano-Druckverfahrens; Trennen der Form (1) von dem Substrat (2) durch das Verwenden des Schneidemoduls (4), wobei eine Zusammenstellung eines Musters (11) auf einer Oberfläche der Form (1) gebildet wird und die Größe des Musters unter 100 μm liegt.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Entformen.
Entsprechend der Gestaltungstrends Produkte immer leichter, dünner und kleiner zu gestalten, werden darauf bezogene Herstellungstechniken miniaturisierter Vorrichtungen immer mehr benötigt. In Bezug auf den gesamten Fortschritt von Herstellungsverfahren sowohl bei von oben nach unten Verfahren (top-down-process) als auch bei unten nach oben Verfahren (bottom-up-process) wird die Entwicklung auf die Herstellung von nanoskalierten Vorrichtungen fokussiert. Jedoch, obgleich die oben genannte Fokussierung dazu geführt hat, viele Nano-Herstellungstechniken zu erzeugen, sind die meisten von diesen kostenintensive und langsame Verfahren, welche nicht geeignet sind, bei der Massenherstellung eingesetzt zu werden.
Bei Nano-Druckverfahren z. B. wird eine mechanische Reproduktionstechnologie zum Herstellung von Mikro- und Nano-Strukturen verwendet, welche der Fotolithographie oder der Elektronenstrahl-Lithographie ähnlich sind, ausgenommen dass ein mechanisches Prägen oder Formen verwendet wird, um das Muster auf den Fotolack zu übertragen. Das Nano-Druckverfahren hat ein beachtliches Interesse in den letzten Jahren bekommen, weil die erfolgreiche Demonstration des möglichen Potentials bei geringen Kosten, schneller und hoher Auflösungen der Nano-Lithographietechnik sich ergeben haben, so dass die Nano-Drucktechnik überwiegend bei der Herstellung von vielen Nanoskalierten Vorrichtungen verwendet wird, wie z. B. bei elektronischen Vorrichtungen, bei optischen Vorrichtungen, bei Datenspeichervorrichtungen, bei Biochips, bei Schlüsselkomponenten von Flachbildschirmen und dergleichen. Jedoch kann das gegenwärtige Nano-Druckverfahren nicht für die Massenproduktion der vorgenannten Vorrichtungen verwendet werden, da die Effektivität der durch das gegenwärtige Nano Druckverfahren hergestellten Massenprodukte gering ist, wobei die geringe Effektivität durch die ungeeignete Entformung bewirkt wird, die die gedruckten Mikrostrukturen beschädigt oder das Polymer des Fotolacks an der Form kleben lässt. Darüber hinaus kann die ungeeignete Entformung durch das hohe Ansichtsverhältnis des Musters, welches gedruckt wird, die Minderung des Fotolacks, das zwischen der Form und dem gedruckten Fotolack erzeugte Vakuum, den Faktor von Reibung/Viskosität und dergleichen erzeugt werden.
Aus der vorgenannten Beschreibung ist es bekannt, dass, abgesehen von der zwischen den gedruckten Mikrostrukturen und der Affinität, welche zwischen den Materialien vorliegt, die bei dem Nano-Druckverfahren verwendet werden, die Form mühevoll von dem Fotolack getrennt werden muss, welches immer durch das erzeugte Vakuum zwischen der Form und dem gedruckten Fotolack während des Nano-Drückverfahrens verursacht wird, wobei die Anhaftungskraft des Vakuumeffekts immer größer als die entsprechende Reibung und Affinität ist. Somit ist es für eine leichte Entformung am Wichtigsten, die Anhaftungskraft des Vakuumeffekts zu überwinden.
Es sind verschiedene bekannte Techniken bekannt, um die Anhaftungskraft des Vakuumeffekts zu überwinden. Dies wird durch ein Entformungsverfahren und eine Vorrichtung, welche aus der Druckschrift US 6,416,311 B1 mit dem Titel Vorrichtung und Verfahren zum Separieren eines geformten Substrats von einem Druckwerkzeug bekannt sind, offenbart; die Entformung wird durchgeführt, während komprimierte Luft durch die Führungskanäle zugeführt wird, welche in dem Druckwerkzeug vorgesehen sind, so dass die Anhaftungskraft des Vakuumeffekts durch die Erzeugung einer Lücke zwischen dem Druckwerkzeug und dem geformten Substrat überwunden wird. Jedoch wird die Positionierung der Führungskanäle an der Druckform nachteilig die. Ausgestaltung des Musters beeinflussen, welches durch das Druckwerkzeug gebildet wird, wobei somit der effektive Bereich zum Erzeugen von Druckprodukten ebenso nachteilig beeinflusst wird.
Ferner wird durch die Druckschrift US 5,358,672 A Verfahren mit dem Titel „Verfahren zum Entformen aus Glas, Plastik oder Metallformen hergestellten Artikeln” offenbart, das die Entformung durch Ziehen an dem vorstehenden Abschnitt in einer Verzweigung, welche an einer Form angeklebt ist, realisiert. Jedoch kann das Ziehen des vorstehenden Bereiches der Verzweigung nicht nur den effektiven Bereich zum Erzeugen von Druckprodukten nachteilig beeinflussen, sondern auch die Qualität des gedruckten Musters, welches im Bereich der Verzweigung gebildet wird, nachteilig beeinflussen.
Darüber hinaus ist bekannt eine Druckform, in der ein Substrat durch die Verwendung elastischer Kräfte erzeugt worden ist, wobei die Kräfte durch einen pneumatischen Zylinder und eine Vielzahl von Federsätzen erzeugt werden, wobei die Vielzahl der Federsätze im Randbereich der Peripherie der Form anliegen. Jedoch ist dieser Entformungsmechanismus zu kompliziert, um ihn zum Entformen bei einem Nano-Druckverfahren zu verwenden, wobei die Form und das Substrat immer die gleiche Größe besitzen.
Des Weiteren ist bekannt, dass eine Form zunächst teilweise von dem Substrat durch die Deformation einer Formgedächtnislegierung abgehoben wird, welches durch die Veränderung der Temperatur bewirkt wird, da die Formgedächtnislegierung an dem Rand der Form vorgesehen ist, wobei dann die Form komplett von dem Substrat getrennt wird, da das Substrat durch einen Block zurückgehalten wird, um die Form anzuheben und von dem Substrat entfernt zu werden. Jedoch benötigt die Entformung eine spezielle Formgedächtnislegierung, welche in der Lage ist, mit der Temperaturänderung bei dem Druckverfahren fertig zu werden, wobei ebenso ein angemessener Block benötigt wird, um das Substrat zurückzuhalten, wodurch das Druckverfahren kompliziert wird.
Aus der JP 2000 210 951 A Patent abstracts of Japan geht ein Verfahren und eine Form hervor, um eine Kunststoff-Linse von einem Formkörper abzuziehen, wobei mit Hilfe eines Werkzeugs ausgehend von der Seitenfläche der Kunststoff-Linse in Richtung Linsenzentrum gedrückt wird.
In der US 4 279 586 A ist eine Vorrichtung zum Entformen von Spritzgussteilen offenbart, die mit Vibration erzeugenden Stiften arbeitet.
Aus der vorhergehenden Beschreibung wird deutlich, dass die meisten bekannten Entformungsverfahren bestimmte Mittel benötigen, um eine Kraft auf den Rand sowohl der Form oder des Substrates aufzubringen, welche ein außergewöhnliches Material und komplexe Mechanismen zum Entformen für eine leichte Bedienung voraussetzen. Darüber hinaus werden durch die Anordnung solch komplizierter Entformungsvorrichtungen gewöhnlicherweise Schäden an dem effektiven Bereich des Druckens und der Qualität desselben bewirkt.
Demnach liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, die Nachteile aus dem Stand der Technik zu vermeiden und eine möglich einfach ausgestaltete, unkomplizierte Entformungsvorrichtung vorzuschlagen, welche in der Lage ist, wirkungsvoll die Anhaftungskraft des Vakuumeffekts zu eliminieren, welche zwischen einer Form und einem Substrat während eines Druckverfahrens vorliegt, so dass es ermöglicht wird, die Form auf einfachste Weise von dem Substrat zu trennen.
Diese Aufgabe kann erfindungsgemäß durch die Merkmale des Patentanspruches 1 bzw. 7 gelöst werden. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich insbesondere aus den jeweiligen Unteransprüchen.
Um diese oben genannte Aufgabe zu lösen, wird demnach durch die vorliegende Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Entformen vorgeschlagen, welche zum Trennen einer Form und eines Substrats nach abgeschlossenem Druckverfahren vorsieht, bei dem die Form belastet wird, um diese von dem Substrat zumindest teilweise zu lösen und eine Lücke zwischen diesen beiden zu erzeugen, durch die wenigstens drei Schneidmodule zwischen die beiden einführbar ist, wobei dadurch Luft in die Lücke eindringen kann und die Anhaftungskraft des Vakuumeffekts, welcher zwischen der Form und dem Substrat vorliegt, eliminieren kann, wobei die Schneidmodule oder dergleichen ferner verwendet werden, um die Form von dem Substrat vollständig zu entfernen.
Bei der vorliegenden Erfindung umfasst die Entformungsvorrichtung ein Substrat, welches im Wesentlichen ein Fotolack oder ein Substrat mit einer Schicht mit einem darauf angeordneten Fotolack ist, eine Form mit einem mikro- oder nanoskalierten Muster darauf und wenigstens einem Schneidmodul zum Beaufschlagen der Form, um die Form teilweise von dem Substrat zu trennen, indem eine Lücke zwischen der Form und dem Substrat gebildet wird, sodass das Schneidmodul in die Lücke zwischen der Form und dem Substrat eingeführt werden kann, wobei die Muster auf den Fotolack dupliziert werden, nachdem die auf den Fotolack gepresste Form von diesem entfernt wird.
Die Größe jedes Musters, welche auf der Form vorgesehen ist, unter 100 μm.
Vorzugsweise umfasst das Schneidenmodul wenigstens eine Schneide oder dergleichen und wenigstens einen Aktuator zum Antrieb der Schneide, um entsprechend eine Bewegung in jede mögliche Richtung mit beliebigem Freiheitsgrad zu ermöglichen.
Vorzugsweise ist der Aktuator ein Vibrationsaktuator, welcher in der Lage ist, eine Schwingung zu erzeugen, um es der Luft zu erleichtern, in die Lücke einzutreten, während die Schneide zwischen die Form und das Substrat zum zumindest teilweisen oder kompletten Entfernen voneinander eingeführt wird.
Vorzugsweise ist der Vibrationsaktuator in der Lage ein Signal mit nichtspezifischer Frequenz auszugeben, um die Vibration der Schneide bei verschiedenen Druckverfahren verwenden zu können.
Andere Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung ersichtlich unter Hinzunahme der dazugehörigen Zeichnungen, welche als Beispiel Prinzipien der vorliegenden Erfindung beschreiben.
Es zeigen:
1a und 1b schematische Ansichten einer Entformungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung.
2a und 2b schematische Diagramme, welche die Randformation einer Form gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen.
3a und 3b sind schematische Ansichten, welche die Schneiden mit unterschiedlichen Formen gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen.
4a und 4b sind schematische Ansichten, welche verschiedene Anordnungen des Schneidemoduls gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen.
5a und 5b sind schematische Ansichten einer Entformungsvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
6 ist eine schematische Ansicht einer Entformungsvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung.
Zum besseren Verständnis und zum Nachvollziehen der Funktionen und strukturellen Merkmale der Erfindung werden nachfolgend verschiedene bevorzugte Ausführungsformen in der nachfolgenden Beschreibung erläutert.
Gemäß der 1a und 1b werden schematische Ansichten einer Entformungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung gezeigt. Die Entformungsvorrichtung, die in den 1a und 1b dargestellt sind, umfassen eine Form 1, ein Substrat 2, eine Halteplatte 3 und wenigstens ein Schneidemodul 4, wobei wenigstens ein aufgebrachtes Muster 11 auf einer Oberfläche der Form 1 vorgesehen ist, wodurch die Größe der Muster 11 bei einem Nano-Druckverfahren verwendet werden und unterhalb von 100 μm liegen können, und wobei das Substrat 2 im Wesentlichen ein Fotolack oder ein Substrat mit einer Schicht eines darauf angebrachten Fotolacks ist, welches durch die Form 1 gepresst wird, um die Muster auf dem Fotolack nach dem Entfernen der Form 1 davon zu duplizieren, und wobei der Fotolack aus einem thermoplastischen Polymer gefertigt ist, und die Halteplatte 3 zum Halten und Tragen des Substrats und der Form verwendet wird, welche grundsätzlich auf einer Plattform 5 angeordnet ist; und das Schneidemodul 4 außen an der Form 1 und des Substrates 2 angeordnet ist und eine Schneide 41 mit einer scharfen Spitze 411 sowie einen Aktuator 42 umfasst, der wenigstens einen Antrieb aufweist, der in der Lage ist, die Schneide 41 zum Bewegen in jede Richtung mit beliebigem Freiheitsgrad zu bewegen.
Durch die oben beschriebene Entformungsvorrichtung kann die Form 1 von dem Substrat 2 durch ein erfindungsgemäßes Entformungsverfahren separiert werden, wobei das Verfahren zum Entformen zumindest einer der folgenden Schritte umfasst:
Antreiben der Schneide 41, um durch den Aktuator 42 bewegt zu werden, um die scharfe Spitze 411 der Schneide 41 zwischen die Form 1 und das Substrat 2 nach dem Beenden eines Druckverfahrens einzuführen, so dass die Form zum teilweisen Trennen von dem Substrat 2 beaufschlagt wird und somit eine Lücke zwischen der Form 1 und dem Substrat 2 gebildet wird, so dass Luft einströmen kann, um die Anhaftungskraft des Vakuumeffekts zu eliminieren, welche zwischen diesen beiden wirkt;
Verwenden des Aktuators 42, um die Schneide 41 zum graduellen Anheben der Form 1, oder Verwenden des Aktuators 42, um die Schneide 41 direkt zum Hochziehen der Form zu verwenden, so dass die Form 1 von dem Substrat komplett getrennt wird,
wobei, da die Luft in die Lücke strömt und die Anhaftungskraft des Vakuumeffekts eliminiert, welcher zwischen der Form 1 wirkt, die Schneide 41 die Form 1 wirkungsvoll nur durch eine geringe Kraft anheben kann.
Gemäß der 2a und 2b werden schematische Diagramme gezeigt, die die Randformationen einer Form gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen. In den 2a und 2b kann der Rand der Form 1 abgerundet oder keilförmig sein, so dass ein abgerundeter Rand 12, wie in 2a dargestellt, oder ein keilförmiger Rand 13, wie in 2b dargestellt, gebildet wird. Die Randformationen, die in den 2a und 2b gezeigt sind, werden verwendet, um es der scharfen Spitze 411 der Schneide 41 zu erleichtern, zwischen die Form 1 und das Substrat 2 einzudringen. Da ein expandierter Bereich D an der Verbindung der Form 1 und des Substrates 2 gebildet wird, da die Form 1 auf das Substrat 2 gepresst wird, wird beim Einführen der scharfen Spitze 411 in den expandierten Bereich D zum Anheben der Form 1 durch das Schneidemodul 4 nicht die Form 1 oder das Substrat während des Einführens und des Anhebens beschädigt. Des Weiteren, da entweder der gerundete Rand 12 oder der keilförmige Rand 13 den Rand der Form 11 bilden, wird durch beide nicht die Ausgestaltung des gedruckten Musters, welches von der Form 1 gebildet wird, nachteilig beeinflusst oder auch das Muster, welches auf dem Fotolack abgedruckt wird, nachteilig beeinflusst.
Gemäß der 3a und 3b werden schematische Ansichten dargestellt, welche die Schneiden mit unterschiedlichen Formen gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen. Wie die in 3a gezeigte scharfe Spitze 411a der Schneide 41a und wie die in 3b gezeigte scharfe Spitze 411b der Schneide 42b verdeutlichen, können die Formen der scharfen Spitze einer Schneide variieren. Jedoch grundsätzlich sollte die Spitze sich verjüngen, um das Einführen der Spitze zwischen einer Form und einem Substrat zu erleichtern. Dennoch wird die Form der Spitze gemäß der Erfindung nicht durch die oben genannten Formen begrenzt.
Gemäß der 4a und 4b werden schematische Ansichten gezeigt, welche verschiedene Ausführungen des Schneidemoduls gemäß der vorliegenden Erfindung darstellen. Wie gesehen, sind die Form 1, das Substrat 2 und die Halteplatte 3 in einer kreisförmigen Form dargestellt, während eine Vielzahl von Schneidemodulen außen an der Anordnung der drei angeordnet sind. Es sind drei Schneidemodule in 4a und vier Schneidemodule in 4b dargestellt, wobei sämtliche scharfen Spitzen 41 spitz auf das Zentrum der Anordnung der Form 1, des Substrats 2 und der Halteplatte 3 zulaufen. Es sollte wenigstens ein Schneidemodul an der Entformungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung vorgesehen sein, wobei die Anzahl der Schneidmodule in Bezug auf die aktuellen Erfordernisse variiert werden können; des Weiteren kann eine Vielzahl von Schneidemodulen simultan betrieben werden oder nacheinander zum Entformen eingesetzt werden, je nach aktuellen Erfordernissen. Es ist zu beachten, dass die Anzahl der Schneidemodule nicht durch die oben beschriebenen Offenbarungen begrenzt wird.
Gemäß der 5a und 5b werden schematische Ansichten einer Entformungsvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt. Anstelle der Oberfläche des Substrates 2 bei der zweiten Ausführungsform kann diese mit einer Fotolackschicht beschichtet sein, welche ein thermoplastischer Polymer ist, wie z. B. Polymethylmethacrylate (PMMA), wobei die Form 1, das Substrat 2, die Halteplatte 3 und das Schneidemodul 4, welche bei der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendet werden, dieselben sind, wie sie bei der ersten Ausführungsform verwendet worden sind und somit hier nicht weiter beschrieben werden. Bei der Entformung gemäß der zweiten Ausführungsform wird die Schneide 41 angetrieben, um durch den Aktuator 42 bewegt zu werden, während die scharfe Spitze 411 der Schneide 41 zwischen die Form 1 und das Substrat 2 eingeführt wird, nachdem das gedruckte Muster 61 auf der Fotolackschicht 6 durch Pressen der Form 1 gebildet worden ist, so dass die Form 1 beaufschlagt wird, um von dem Substrat 2 zumindest teilweise getrennt zu werden, wobei eine Lücke zwischen den beiden gebildet wird, um Luft eintreten zu lassen, um die Anhaftungskraft des Vakuumeffekts, welcher zwischen den beiden wirkt, zu eliminieren, um danach den Aktuator 42 zum Antrieb der Schneide 41 zu verwenden, um die Form 1 graduell zu liften oder den Aktuator 42 zu verwenden, um die Schneide 41 anzutreiben, um die Form 1 direkt hinaufzuziehen, so dass die Form 1 von dem Substrat 2 komplett getrennt wird.
Gemäß der 6, wird eine schematische Ansicht einer Entformungsvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung gezeigt. Im Unterschied zu den vorhergehenden Ausführungsformen wird hier ein Vibrationsaktuator 43 zum Antreiben der Schneide 41 verwendet, wobei sämtliche anderen Komponenten bei der dritten Ausführungsform die gleichen sind, wie bei der ersten Ausführungsform, so dass auf eine weitere Beschreibung hier verzichtet wird. Bei dieser Ausführungsform wird der Vibrationsaktuator 43 ein Signal einer nicht spezifischen Frequenz 430 zum Auslösen der Schneide zum Vibrieren für einen kurzen Wert ΔT ausgeben, da die Schneide 41 angetrieben wird, um die scharfe Spitze 411 zwischen der Form 1 und dem Substrat einzuführen, wodurch der geringe Wert ΔT gewöhnlicherweise kleiner ist als die Dicke der Form, jedoch nicht dadurch beschränkt wird. Durch die Verwendung des geringen Werts ΔT kann die Umgebungsluft in die Lücke zwischen der Form 1 und dem Substrat 2 eintreten und die Anhaftungskraft des Vakuumeffekts, welcher zwischen der Form und dem Substrat wirkt, eliminiert werden, so dass die Form 1 von dem Substrat 2 zumindest teilweise getrennt werden kann.
Während die bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zum Ziel der Offenbarung beschrieben worden ist, sind Modifikationen der offenbarten Ausführungsformen der Erfindung sowie weitere Ausführungsformen möglich. Entsprechend werden sämtliche Ausführungsformen durch die Ansprüche umfasst, ohne dabei den Erfindungsgedanken und den Umfang der Erfindung zu verlassen.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Entformen und eine Entformungsvorrichtung, welche zum Trennen bzw. Ablösen einer Form und eines Substrates nach Beendigung eines Druckverfahrens verwendet wird, bei dem die Form beaufschlagt wird, um diese von dem Substrat zumindest teilweise zu lösen, wobei eine Lücke zwischen der Form und dem Substrat gebildet wird, um wenigstens ein Schneidemodul zwischen die beiden einzuführen und somit Luft in die Lücke einströmen zu lassen, wodurch die Anhaftungskraft des Vakuumeffekts, welcher zwischen der Form und dem Substrat vorliegt, eliminiert wird, wobei das Schneidemodul ferner zum vollständigen Entfernen bzw. Ablösen der Form von dem Substrat verwendet wird.

Claims

Verfahren zum Entformen, umfassend folgende Verfahrensschritte; Einführen von mindestens drei Schneiden (41) von Schneidemodulen (4), die in einem regelmäßigen Abstand voneinander angeordnet sind, zwischen eine Form (1) und ein Substrat (2) nach Beenden eines Nano-Druckverfahrens; Trennen der Form (1) von dem Substrat (2) durch das Verwenden des Schneidemoduls (4), wobei eine Zusammenstellung eines Musters (11) auf einer Oberfläche der Form (1) gebildet wird und die Größe des Musters unter 100 μm liegt.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei als Substrat (2) im Wesentlichen ein Fotolack zum Erzeugen von Muster oder Strukturen (11) verwendet wird, die darauf nach dem Entfernen der Form (1) dupliziert werden, indem die Form auf das Substrat (2) gepresst wird.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Substrat (2) ferner eine Schicht eines Fotolacks darauf zum Erzeugen von Muster oder Strukturen (11) umfasst, die auf der Schicht des Fotolacks nach dem Entfernen der Form (1) dupliziert werden, indem die Form auf das Substrat (2) gepresst wird.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Schneide (41) angetrieben wird, um die Schneide (41) zwischen die Form (1) und das Substrat (2) durch einen Aktuator (42) einzuführen.
Verfahren nach Anspruch 4, wobei der Aktuator (42) verwendet wird, um die Schneide (41) anzutreiben und in jede Richtung mit beliebigem Freiheitsgrad bewegt zu werden.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei ein Vibrationsaktuator (43) verwendet wird, um das Schneidemodul (4) anzutreiben, wodurch die Form (1) von dem Substrat (2) zumindest teilweise getrennt wird.
Entformungsvorrichtung zur Durchführung eines Verfahrens gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, umfassend: eine Form (1) mit wenigstens einem zusammengestellten Muster (11) auf einer Oberfläche, wobei die Größe des Musters (11) etwa unter 100 μm liegt; und wenigstens ein Schneidemodul (4), welches an einem Ort der Außenseite der Form (1) und des Substrates (2) angeordnet ist; wobei jedes Schneidemodul (4) wenigstens einen Satz mit einer Schneide (41) und einem Aktuator (42) umfasst.
Entformungsvorrichtung nach Anspruch 7, wobei das Schneidemodul (4) wenigstens einen Satz mit einer Schneide (41) und einen Aktuator (42) zum Antrieb der Schneide (41) umfasst, welche in jede Richtung mit beliebigem Freiheitsgrad bewegbar ist.
Entformungsvorrichtung nach Anspruch 8, wobei der Aktuator (42) ein Vibrationsaktuator (43) ist.