DE102005054593A1 - Messonde,insbesondere für eine Vorrichtung zur Messung der Dicke dünner Schichten - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Messsonde, insbesondere für eine Vorrichtung zur Messung der Dicke dünner Schichten, mit einem Gehäuse (14), das zumindest ein Sensorelement (17) aufweist, welches entlang einer Längsachse (16) des Gehäuses (14) zumindest geringfügig bewegbar in dem Gehäuse (14) aufgenommen ist, und mit einer dem zumindest einem Sensorelement (17) zugeordneten Aufsetzkalotte (21) zum Aufsetzen der Messsonde (11) auf einer Oberfläche eines Messgegenstandes, wobei das zumindest eine Sensorelement (17) von einem entlang der Längsachse (16) des Gehäuses (14) federnd nachgiebig ausgebildeten Halteelement (18) aufgenommen ist, welches an dem Gehäuse (14) befestigt ist.
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