JPH02151701A - 歪測定素子の製造方法 - Google Patents
歪測定素子の製造方法Info
- Publication number
- JPH02151701A JPH02151701A JP30573688A JP30573688A JPH02151701A JP H02151701 A JPH02151701 A JP H02151701A JP 30573688 A JP30573688 A JP 30573688A JP 30573688 A JP30573688 A JP 30573688A JP H02151701 A JPH02151701 A JP H02151701A
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- resistor
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- Pending
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は歪量の変化を電気信号に置き換えて検出する歪
測定素子の製造方法に関する。
測定素子の製造方法に関する。
従来の技術
従来、この種の歪測定素子は、外力に応じて弾性変形す
るダイヤフラム等の素子端板上に感歪抵抗体（抵抗膜）
を形成しであるため、素子基板の歪ｔ１の変化によって
感歪抵抗体の抵抗値が変化する。従って、感歪抵抗体に
通電することにより、素子基板に作用する外力の変動を
電気的変化としてとり出すことができるようになってい
る。そして、従来、歪測定素子は、所謂スクリーン印刷
法により、素子基板上に抵抗パターン（感歪抵抗体）を
印刷していた（例えば、特開昭５５−５２９２４号公報
参照）。
るダイヤフラム等の素子端板上に感歪抵抗体（抵抗膜）
を形成しであるため、素子基板の歪ｔ１の変化によって
感歪抵抗体の抵抗値が変化する。従って、感歪抵抗体に
通電することにより、素子基板に作用する外力の変動を
電気的変化としてとり出すことができるようになってい
る。そして、従来、歪測定素子は、所謂スクリーン印刷
法により、素子基板上に抵抗パターン（感歪抵抗体）を
印刷していた（例えば、特開昭５５−５２９２４号公報
参照）。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、このような従来例にあっては、感歪抵抗
体の表面にステンレスワイヤスクリーンの網目跡が付く
ため、感歪抵抗体の膜厚を均一に形成することが困難で
あり、抵抗値にばらつきが発生ずるという問題が指摘さ
れていた。
体の表面にステンレスワイヤスクリーンの網目跡が付く
ため、感歪抵抗体の膜厚を均一に形成することが困難で
あり、抵抗値にばらつきが発生ずるという問題が指摘さ
れていた。
本発明はこのような問題点を解決することを目的として
なされたものである。
なされたものである。
課題を解決するための手段
即ち、本発明の歪測定素子の製造方法は、素子基板上に
抵抗ペースト溶液を吹き付け、抵抗膜を形成したことを
特徴としている。
抵抗ペースト溶液を吹き付け、抵抗膜を形成したことを
特徴としている。
作用
本発明によれば、素子基板上には均一の厚さの抵抗膜（
感歪抵抗体）が形成される。
感歪抵抗体）が形成される。
実施例
以下本発明の実施例を図面に基づき詳述する。
第１図は歪測定素子の製造装置を示す。この製造装置は
、溶剤で希釈した抵抗ペースト溶液を充填したタンクｌ
と、このタンクｌに管路２を介して接続したノズル３と
、このノズル３と図外の圧縮ガス供給源とを接続する管
路４の途中に配設した噴射圧調整弁５と、ノズル３に付
設した噴射量調整手段６とを備えている。そして、ノズ
ル３に対向して配置したテーブル７上には、素子基板８
を固定するようになっている。素子基板８は、金属、ガ
ラス、プラスチック、セラミック等を材料としたダイヤ
フラム等の起歪体（圧力を受けると歪を生じる部分をも
つもの）である。そして、素子基板８上には、所望の抵
抗パターンを形成したマスク９を被せである。尚、ノズ
ル３とテーブル７の少なくとも一方は、上下動、水平動
及び回動が自在にできるようになっており、様々な形状
の素子基板８に対応できるものである。
、溶剤で希釈した抵抗ペースト溶液を充填したタンクｌ
と、このタンクｌに管路２を介して接続したノズル３と
、このノズル３と図外の圧縮ガス供給源とを接続する管
路４の途中に配設した噴射圧調整弁５と、ノズル３に付
設した噴射量調整手段６とを備えている。そして、ノズ
ル３に対向して配置したテーブル７上には、素子基板８
を固定するようになっている。素子基板８は、金属、ガ
ラス、プラスチック、セラミック等を材料としたダイヤ
フラム等の起歪体（圧力を受けると歪を生じる部分をも
つもの）である。そして、素子基板８上には、所望の抵
抗パターンを形成したマスク９を被せである。尚、ノズ
ル３とテーブル７の少なくとも一方は、上下動、水平動
及び回動が自在にできるようになっており、様々な形状
の素子基板８に対応できるものである。
このような製造装置を使用して、次のように歪測定素子
ＩＩを製造する。
ＩＩを製造する。
先ず、マスク９を被せた素子基板８をテーブル７上に固
定し、次いでノズル３の先端を素子基板８に対して所定
位置まで移動する。その後、ノズル３から素子基板８に
抵抗ペースト溶液を吹き付ける。この際、抵抗ペースト
溶液の吹き付は量（噴射量）及び吹き付は時間（噴射時
間）を調整することにより、所望の膜厚の感歪抵抗体（
抵抗膜）を形成することができる。
定し、次いでノズル３の先端を素子基板８に対して所定
位置まで移動する。その後、ノズル３から素子基板８に
抵抗ペースト溶液を吹き付ける。この際、抵抗ペースト
溶液の吹き付は量（噴射量）及び吹き付は時間（噴射時
間）を調整することにより、所望の膜厚の感歪抵抗体（
抵抗膜）を形成することができる。
尚、素子基板８が大きい場合には、ノズル３の位置をず
らしながら抵抗ペースト溶液の吹き付は作業を続行する
。
らしながら抵抗ペースト溶液の吹き付は作業を続行する
。
この抵抗ペースト溶液の吹き付は作業が終了した後、素
子基板８上からマスク９を取り除く。これによって、素
子基板８上に所望の抵抗パターン（Ｊ＠歪抵抗体１０）
を備えた歪測定素子１１が形成される。
子基板８上からマスク９を取り除く。これによって、素
子基板８上に所望の抵抗パターン（Ｊ＠歪抵抗体１０）
を備えた歪測定素子１１が形成される。
尚、抵抗ペースト溶液の吹き付は作業時には素子基板８
にマスク９を被せるため、トリミング処理等の工数を削
減することができる。
にマスク９を被せるため、トリミング処理等の工数を削
減することができる。
発明の効果
以上述べたように本発明は、素子基板上に抵抗ペースト
溶液を吹き付け、抵抗ＩＩ（感歪抵抗体）を形成したた
め、抵抗膜の膜厚を均一にすることができ、抵抗値のば
らつきの発生を防止して、正確な歪量の測定ができる。
溶液を吹き付け、抵抗ＩＩ（感歪抵抗体）を形成したた
め、抵抗膜の膜厚を均一にすることができ、抵抗値のば
らつきの発生を防止して、正確な歪量の測定ができる。
第１図は本発明に係る製造装置の概略図である。
８・・・素子基板、！Ｏ・・・抵抗膜（感歪抵抗体）、
１１・・・歪測定素子。 外３名
１１・・・歪測定素子。 外３名
Claims (1)
- （１）素子基板上に抵抗ペースト溶液を吹き付け、抵抗
膜を形成したことを特徴とする歪測定素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30573688A JPH02151701A (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 | 歪測定素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30573688A JPH02151701A (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 | 歪測定素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02151701A true JPH02151701A (ja) | 1990-06-11 |
Family
ID=17948727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30573688A Pending JPH02151701A (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 | 歪測定素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02151701A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007139769A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-07 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ |
-
1988
- 1988-12-02 JP JP30573688A patent/JPH02151701A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007139769A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-07 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ |
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