DE19722014C2 - Meßsonde zum Messen der Dicke von Schichten auf einem Trägermaterial - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Meßsonde zum Messen der Dicke von Schichten aus pulvrigen, weichen oder ähnlichen Schichtwerk­ stoffen auf einem festen Trägermaterial mit einem Sensorsy­ stem, das nach einem magnetischen oder Wirbelstromverfahren arbeitet und in einem Sensorkörper mit einer balligen Auf­ setzfläche angeordnet ist, der in der Längsachse der Meßsonde in einer rohrförmigen Sondenhülse gegen Federdruck längsver­ schiebbar gelagert ist.

Bei der zerstörungsfreien Messung der Dicke von festen Schichten, wie Lacke, galvanische Schichten und dergleichen, auf in der Regel metallischen Grundwerkstoffen oder bei der Dickenmessung von Folien, wie Kunststoffolien, die auf einem metallischen Grundwerkstoff angebracht sind, benutzt man Schichtdickenmeßgeräte nach einem magnetischen oder dem Wir­ belstromverfahren, beispielweise nach DE 39 02 095 A1. Bei solchen Meßgeräten ist der Sensorkör­ per des Meßsensors ballig ausgebildet mit einem Krümmungs­ radius von typisch 1 bis 5 mm. Der Meßsensor mit dem balligen Sensorkörper wird entweder unmittelbar von Hand auf die Ober­ fläche der zu messenden Schicht gesetzt, oder der Sensorkör­ per liegt unter der Wirkung einer vorgespannten Feder, die im Halter des Meßsensors angeordnet ist, mit einer definierten Auflagekraft auf der zu messenden Schicht an. Bei dem unmit­ telbaren Aufsetzen der Meßsonde ist die Auflagekraft von der Schwere der Hand abhängig und kann von einigen Zehntel Newton bis zu einigen 10 Newton betragen.

Bei der Messung fester Schichten ist die unterschiedliche Auflagekraft des Sensorkörpers von untergeordneter Bedeutung. Bei der Messung von pulvrigen oder weichen Schichten auf festem Grundwerkstoff ergeben sich jedoch verschiedene Nach­ teile.

Bei dem Aufsetzen des Sensorkörpers mit vorgespannter Feder im Halter der Sonde ist die Auflagekraft des Sensorkörpers zwar konstant und beträgt typisch 0,5 bis 1 Newton.

Der Nachteil dieser Sondenart für die Messung von pulvrigen oder weichen Schichten oder von Schichten auf nachgebenden Grundwerkstoffen besteht jedoch darin, daß die Auflagekraft bei Verwendung der typischen Krümmungsradien von 1 bis 5 mm des balligen Sensorkörpers eine so große Druckwirkung auf die Oberfläche ausübt, daß z. B. eine pulvrige oder weiche Schicht durchstoßen wird oder der Sensorkörper zumindest stark und unterschiedlich tief in den Schichtwerkstoff eindringt.

Diese Gefahr besteht auch beim Absenken des Meßsensors von Hand. Die Massenträgheit des Meßsensors führt nämlich beim Aufsetzen des Sensorkörpers auf die Oberfläche - auch wenn dieser nur einige Gramm wiegt - infolge der abrupten Verzöge­ rung der Bewegungsgeschwindigkeit der Hand von etwa 10 bis 20 cm/s auf 0 cm/s innerhalb einer Weglänge von nur wenigen µm zu einer erheblichen Krafteinwirkung auf die pulvrige oder weiche Schicht, so daß der Sensorkörper bis auf den Grund­ werkstoff durchdringen kann oder die Schicht zumindest in beträchtlichem Maße eingedrückt wird. Die Massenkräfte liegen beim Aufsetzen der Sonden von Hand zwischen 0,2 bis 20 Newton.

Eine reproduzierbare Messung bei der Verwendung von typisch benutzten bekannten Sonden auf pulvrigen oder weichen Schich­ ten oder auf Meßgegenständen mit nachgebenden Materialien bei diesen hohen und unterschiedlichen Kräften ist daher nicht möglich. Die Praxis bestätigt diese Aussage. Je nach Art des Aufsetzens der Sonde schwanken die Meßwerte zwischen einigen Prozent und Null Prozent der ursprünglichen Schichtdicke. Die Meßaussage ist daher praktisch unbrauchbar. Aus diesem Grunde werden berührende Schichtdickenmeßsonden für die Messung von pulvrigen und weichen Schichten nicht eingesetzt.

In der Praxis besteht auch der dringende Wunsch, die Dicke der noch pulvrigen oder weichen Schicht noch vor dem Einbren­ nen oder Aushärten zu bestimmen, um vor dem nächsten Bearbei­ tungsvorgang möglichst schnell eine Korrektur durchführen zu können.

Zur Zeit kann die Korrektur erst nach Messen der festen Schicht, also nach dem Einbrennen bzw. Aushärten erfolgen, da die handelsüblichen Meßgeräte nur in der Lage sind, feste Schichten zu messen. Die Wartezeit, z. B. bei der Pulverbe­ schichtung, zwischen Aufbringen der Pulverschicht und der frühesten Möglichkeit der Schichtdickenmessung der einge­ brannten Schicht beträgt etwa eine dreiviertel Stunde; dies ist eine Zeitspanne, die sich sehr unwirtschaftlich auswirkt, wenn die Schichtdickenabweichungen korrigiert werden müssen.

Bei bekannten federbelasteten Hand-Meßsonden wird zuerst der Meßsensor auf die Oberfläche aufgesetzt und dann erst wird eine Schiebehülse nachgeschoben, bis sie ebenfalls die Ober­ fläche berührt. Im entspannten, unbenutzten Zustand der Sonde steht der Meßsensor vor der Aufsetzfläche des Sondenfußes.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei der Messung dünner pulvriger oder weicher Schichten die statischen Aufla­ gedrücke und die dynamischen Kräfte der Meßsonde dahingehend zu reduzieren, daß trotz einer berührenden Messung ein re­ produzierbares Meßergebnis erzielt wird, das für den Beur­ teilenden aussagekräftig gute Werte liefert.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung bei einer Meßsonde nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 dadurch gelöst, daß in der Längsachse der Meßsonde eine Aufsetzspitze angeordnet ist, die über die Aufsetzfläche des Sensorkörpers nach außen hervorsteht und am unteren Ende eines Stößels sitzt, der in einer zentralen Durchführung im Sondenkörper entgegen Feder­ wirkung längsverschiebbar gelagert ist.

Die Erfindung hat den Vorteil, daß die Einspitzen-Meßsonde die weiche Beschichtung bzw. die Pulverschicht nur an einer Stelle und nicht an drei oder mehr Stellen durchstößt. Dies reduziert die Möglichkeit einer bleibenden Pore mindestens auf ein Drittel gegenüber einer Mehrspitzen-Sonde im Falle, daß die durchstoßenen Stellen beim Einbrennvorgang der Schicht nicht verschmelzen.

Der Aufsetzvorgang der Einspitzen-Meßsonde von Hand ist zudem wesentlich einfacher als bei Meßsonden mit mehreren Aufsetz­ spitzen. Bei der neuen Einspitzen-Meßsonde wird beim recht­ winkligen Aufsetzen der Spitze, die am Sensorkörper durch die Mitte des Sensorsystems axial verschiebbar geführt ist, und beim anschließenden leichten Nachführen der Sondenhülse der Sensorkörper mit dem Sensorsystem in einem fortlaufenden, kontinuierlichen Bewegungsvorgang auf den Schichtwerkstoff, z. B. eine Pulverschicht oder eine noch weiche Beschichtung, geführt.

Bei Meßsonden mit mehreren Aufsetzspitzen muß demgegenüber zuerst der Sondenkörper mit seinen mindestens drei Aufsetz­ spitzen auf dem Meßgegenstand positioniert werden. Dann erst kann in einem zweiten Schritt, während der Sondenkörper mit seinen Aufsetzspitzen fest auf dem Meßgegenstand gehalten werden muß, der Drücker der Sonde betätigt werden, um das Sensorsystem in seine Meßstellung auf die Oberfläche zu brin­ gen. Dies ist ergonomisch wesentlich schwieriger durchzufüh­ ren als bei der Einspitzen-Meßsonde.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Meßsonde weiterhin so ausgebildet, daß der Stößel mit dem Sensorkörper durch eine Zugfeder verbunden ist, die den Stö­ ßel mit der Aufsetzspitze in der Ruhestellung gegen einen Anschlag am Sensorkörper hält und deren Federkraft derart geringer bemessen ist als die Federkraft einer den Sensorkör­ per in der Sondenhülse belastenden Druckfeder, daß beim Auf­ setzen des Sensorkörpers mit der Aufsetzspitze auf ein be­ schichtetes Trägermaterial zuerst die Aufsetzspitze mit dem Stößel gegen die Wirkung der Zugfeder so weit in den Sensor­ körper hinein verschoben wird, bis der Sensorkörper mit sei­ ner balligen Aufsetzfläche auf der zu messenden Schicht zur Anlage kommt, wobei in diesem Moment die Federkräfte der beiden Federn, nämlich der Zugfeder und der Druckfeder, ge­ geneinander ausgeglichen sind, so daß die Auflagekraft des Sensorkörpers auf der Schicht gleich Null ist (F_D - F_Z = 0), und daß erst durch weiteres Drücken mit der Sondenhülse um wenige zehntel bis einige Millimeter eine Verkürzung der Druckfeder und damit ein Kraftzuwachs auf das Sensorsystem bewirkt wird, während die Zugfeder sich nicht mehr verlängern kann und damit keinen Kraftzuwachs ausübt, so daß die Auf­ setzfläche des Sensorkörpers in der Meßposition mit der Dif­ ferenzkraft der beiden Federn auf der zu messenden Schicht aufliegt.

Durch die Einwirkungen zweier Federn auf das Sensorsystem während des Bewegungsablaufes, nämlich einer Schraubenzugfe­ der und einer Schraubendruckfeder oder einer Blattfeder, heben sich die Kraftwirkungen der entgegengesetzt wirkenden Federn weitgehend auf, so daß der Sensorkörper mit seiner balligen Aufsetzfläche nur mit wenigen Hundertstel Newton Auflagekraft auf der Schicht aufliegt.

Die Gesamtauflagekraft der Meßsonde auf dem Trägermaterial des Meßgegenstandes wird im wesentlichen durch die auf die Aufsetzspitze wirkende Federkraft der Schraubenzugfeder oder Blattfeder bestimmt. Diese Auflagekraft der Aufsetzspitze liegt je nach Federdimensionierung im Bereich von einigen zehntel Newton bis 1 Newton.

Die geringe Auflagekraft ist von ausschlaggebender Bedeutung, wenn an Teilen gemessen werden soll, die an Gestellen hängend durch eine Pulverbeschichtungsstraße transportiert werden.

Um sichere Meßwerte zu erzielen, aber auch um beim Aufsetzen einer Meßsonde auf einer pulvrigen Schicht keine Kratzer oder andere Schadstellen zu erzeugen, darf die Sonde nur kurz und kraftarm aufgesetzt werden.

Längeres Aufsetzen und Aufsetzen mit größeren Auflagekräften verursacht ein seitliches Ausschwenken der hängenden pulver­ beschichteten Teile in einem Maße, welches ein rechtwinkliges Halten der Sonde praktisch unmöglich macht. Unsichere Meßwer­ te und beschädigte Stellen der pulvrigen Schicht sind die Folge.

Bei der neuen Einspitzen-Meßsonde genügt nur ein kurzes "An­ tippen" der Sondenspitze bzw. ein kurzes Absenken der bal­ ligen Aufsetzfläche auf die Oberfläche. Unmittelbar nach Berührung dieser Aufsetzfläche mit der pulvrigen Schicht wird der von dem Sensorsystem, das nach einem magnetischen oder Wirbelstromverfahren arbeitet, erfaßte Meßwert durch eine elektronische Meßschaltung gespeichert.

Bei dieser Art Messung wird das pulverbeschichtete Teil kaum aus seiner lotrechten, hängenden Lage herausgeschwenkt. Die Meßsonde kann unmittelbar nach dem "Antippen" wieder abgeho­ ben werden.

Der Sensorkörper mit dem Sensorsystem der neuen Einspitzen- Meßsonde ist extrem gewichtsarm ausgeführt, um Massekräfte, die beim Aufsetzen der Meßsonde auf die Schicht wirken, sehr gering zu halten. Das Gewicht des Sensorsystems liegt im Be­ reich von einigen Gramm.

Besonders vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind weiterhin in den Ansprüchen 3 bis 13 gekennzeichnet.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung schematisch dargestellt. Es zeigen

Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine erste Meßsonde mit zentraler Aufsetzspitze beim Aufsetzen auf einen beschichteten Meßgegenstand,

Fig. 2 eine vergrößerte Teildarstellung des unteren Son­ denteils nach Erreichen der Meßposition, wobei die Aufsetzspitze teilweise eingedrückt ist und der Sensorkörper mit seiner balligen Aufsetzfläche an der zu messenden Schicht anliegt,

Fig. 3 eine Fig. 2 entsprechende Teildarstellung einer abgewandelten zweiten Meßsonde mit einer Blattfeder als Druckfeder und

Fig. 4 eine Einzeldarstellung der Blattfeder.

Die Einspitzen-Meßsonde 1 besteht im wesentlichen aus drei in Längsrichtung gegeneinander verschiebbaren Teilen, nämlich einer Sondenhülse 2, einem Stößel 3 mit einer Aufsetzspitze 4 und einem Sensorkörper 5 mit einem Sensorsystem 6. Eine Schraubenzugfeder 7 zieht den Stößel 3 in den Sensorkörper 5 mit dem Sensorsystem 6, das durch ein Sondenkabel 8 mit ela­ stischem Knickschutz 9 mit einem elektronischen Auswertesy­ stem verbunden ist.

Die Meßsonde 1 dient zum Messen der Dicke von Schichten 10 aus pulvrigen, weichen oder ähnlichen Schichtwerkstoffen auf einem festen Trägermaterial 11. Das Sensorsystem 6 arbeitet nach einem magnetischen oder einem Wirbelstromverfahren und ist in dem Sensorkörper 5 mit einer balligen Aufsetzfläche 12 angeordnet, der seinerseits in der Längsachse 13 der rohr­ förmigen Sondenhülse 2 gegen die Wirkung einer Druckfeder 14 längsverschiebbar gelagert ist. Statt einer Schraubendruckfe­ der, wie in Fig. 1 und 2 gezeigt, kann auch eine gleichartig wirkende Blattfeder gemäß Fig. 3 und 4 benutzt werden.

Der Stößel 3 mit der Aufsetzspitze 4 ist in der gemeinsamen Längsachse 13 der Sondenhülse 2 und des Sensorkörpers 5 in einer zentralen Stufenbohrung 15 mit einer Führungshülse 15a aus ferromagnetischem Material mit einer unteren Durchführung 15b für die Aufsetzspitze 4 geführt. Die Aufsetzspitze 4 be­ steht aus einem harten unmagnetischen Werkstoff.

Die Schraubenzugfeder 7 ist mit ihrem einen Ende 7a an einem von dem Sensorkörper 5 aufragenden Kragen 16 und mit ihrem anderen Ende 7b an einem Ringkragen 17 befestigt, der auf dem Stößel 3 längenveränderbar angeordnet ist.

Der Stößel 3 weist außerdem eine Anschlagringfläche 3a auf, mit der er in der Stufenbohrung 15 an dem Sensorkörper 5 anschlagbegrenzt angeordnet ist. Er ist außerdem an seinem oberen Ende in einer Längsbohrung 18 am Sondenkörper 19 ver­ schiebbar geführt.

Der Sensorkörper 5 hat einen radial zur Seite ragenden Schraubenstift 20, mit dem er in einer Längsnut 21 an der Sondenhülse 2 anschlagbegrenzt und verdrehungssicher geführt ist.

In der Längsbohrung 18 am Sondenkörper 19 ist ferner ein ein­ stellbarer federnder Endanschlag 22 für den Stößel 3 mit der Aufsetzspitze 4 vorgesehen.

Bei der ersten Ausführungsform von Fig. 1 und 2 ist die als Druckfeder 14 dienende Schraubendruckfeder für den Sensorkör­ per 5 zwischen einer Anschlagringfläche 23 am Sensorkörper 5 und einer Anschlagringfläche 24 an der Sondenhülse 2 mit geringer Vorspannung angeordnet.

Die Schraubenzugfeder 7 zieht den Stößel 3 in der Ausgangs­ stellung von Fig. 1 gegen einen ringförmigen Anschlag 25 am Sensorkörper 5, wobei die Aufsetzspitze 4 über die Aufsetz­ fläche 12 des Sensorkörpers 5 mindestens so weit hervorsteht, daß sie eine zu messende Schicht 10 aus einem pulvrigen, weichen oder ähnlichen Schichtwerkstoff bis an das Trägerma­ terial 11 durchdringen kann. Die Zugfeder 7 wirkt dabei mit der Kraft F_Z.

Die Druckfeder 14 drückt den Sensorkörper 5 mit dem Schrau­ benstift 20 in der Ausgangsstellung von Fig. 1 mit einer Kraft F_D gegen den unteren Anschlag 21a in der Längsnut 21 an der Sondenhülse 2. Die Druckfeder 14 wirkt dabei mit der Kraft F_DO (gesprochen: F D Null).

Vor dem Aufsetzen der Meßsonde 1 ist die Federkraft F_DO der Druckfeder 14 größer als die Federkraft F_ZO (gesprochen: F Z Null) der Zugfeder 7.

Beim Aufsetzen dringt die Aufsetzspitze 4 zunächst durch die pulvrige oder weiche Schicht 10, bis sie am Grundwerkstoff oder Trägermaterial 11 anliegt. Nach Lösen des Stößels 3 von dem ringförmigen Anschlag 25 am Sensorkörper 5 drückt die Aufsetzspitze 4 mit der Kraft F_Z auf den Meßgegenstand bzw. das Trägermaterial 11.

Durch weiteres Drücken mit der Sondenhülse 2 in Richtung Schicht 10 schiebt sich die Aufsetzspitze 4 solange in den Sensorkörper 5, bis dieser mit seiner balligen Aufsetzfläche 12 auf der Schicht 10 aufliegt.

In diesem Moment ist die Auflagekraft des Sensorkörpers 5 auf der zu messenden Schicht 10 gleich Null, da sich die Kraft­ wirkungen der beiden Federn 7, 14 gerade gegeneinander auf­ heben (F_D - F_Z = 0).

Durch ein weiteres Drücken mit der Sondenhülse 2 um wenige Millimeter wird eine Verkürzung der Druckfeder 14 und damit ein Kraftzuwachs auf den Sensorkörper bewirkt, während die Zugfeder 7 sich nicht mehr verlängern kann und damit keinen Kraftzuwachs ausübt, so daß die Aufsetzfläche 12 des Sensorkörpers 5 in der Meßposition von Fig. 2 mit der Diffe­ renzkraft der beiden Federn 7, 14 auf der zu messenden Schicht 10 aufliegt.

Durch Verändern des ringförmigen Kragens 17 in Längsrichtung des Stößels 3 einerseits und durch Verlagerung des unteren Anschlages 25 für den Schraubenstift 20 des Sensorkörpers 5 in Längsrichtung der Meßsonde 1 können die Anfangskräfte der beiden Federn 7, 14 aufeinander abgestimmt werden.

Eine Verschiebung des federnden Endanschlags 22 am oberen Ende des Stößels 3 erlaubt die Einstellung der maximalen Differenzkraft, die über den Sensorkörper 5 auf die Schicht 10 wirkt.

Der Krümmungsradius der balligen Aufsetzfläche 12 ist ca. 5 bis 20mal größer als bei herkömmlichen Meßsonden. Durch die große Auflagefläche reduziert sich der Auflagedruck, so daß die Eindrückwirkung in die Beschichtung auch aufgrund der extrem geringen Auflagekraft des Sensorkörpers 5 um mehrere Größenordnungen verringert wird.

Bei der zweiten Ausführungsform von Fig. 3 und 4 ist anstatt der Druckfeder 14 eine tellerförmig ausgebildete vorgespannte Blattfeder 14a vorgesehen, die mittels zweier Klemmringe 26, 27 einerseits am Sondengehäuse 2 und andererseits am Kragen 16 des Sensorkörpers 5 verdrehungssicher befestigt ist, so daß der Sensorkörper 5 auch bei der Längsverschiebung stets mittig in der Sondenlängsachse 13 gehalten wird. Die teller­ förmige Blattfeder 14a ist, wie Fig. 4 zeigt, mit in Umfangs­ richtung gegeneinander versetzten kreisbogenförmigen Schlitzen 28 ausgebildet, die in konzentrischen Ringen an­ geordnet und durch radiale Stege 29 voneinander getrennt sind.

Bezugszeichenliste

1

Einspitzen-Meßsonde

2

Sondenhülse

3

Stößel

3

aAnschlagringfläche

4

Aufsetzspitze

5

Sensorkörper

6

Sensorsystem

7

Schraubenzugfeder

7

aEnde der Zugfeder

7

7

bEnde der Zugfeder

7

8

Sondenkabel

9

elastischer Knickschutz

10

zu messende Schicht

11

Trägermaterial oder Grundwerkstoff

12

ballige Aufsetzfläche

13

Längsachse

14

Druckfeder

14

aBlattfeder

15

Stufenbohrung

15

aferromagnetische Führungshülse

15

buntere Durchführung

16

Kragen

17

Ringkragen

18

Längsbohrung

19

Sondenkörper

20

Schraubenstift

21

Längsnut

21

aunterer Anschlag

22

federnder Endanschlag

23

Anschlagringfläche

24

Anschlagringfläche

25

ringförmiger Anschlag am Sensorkörper

5

26

Klemmring

27

Klemmring

28

Schlitze

29

Stege

Claims (13)

1. Meßsonde zum Messen der Dicke von Schichten aus pulv­ rigen, weichen oder ähnlichen Schichtwerkstoffen auf einem festen Trägermaterial mit einem Sensorsystem, das nach einem magnetischen oder Wirbelstromverfahren arbei­ tet und in einem Sensorkörper mit einer balligen Auf­ setzfläche angeordnet ist, der in der Längsachse der Meßsonde in einer rohrförmigen Sondenhülse gegen Feder­ druck längsverschiebbar gelagert ist, dadurch gekennzeichnet, daß in der Längsachse der Meßsonde (1) eine Aufsetzspit­ ze (4) angeordnet ist, die über die Aufsetzfläche (12) des Sensorkörpers (5) nach außen hervorsteht und am unteren Ende eines Stößels (3) sitzt, der in einer zen­ tralen Durchführung im Sondenkörper (19) entgegen Feder­ wirkung längsverschiebbar gelagert ist.

2. Meßsonde nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Stößel (3) mit dem Sensorkör­ per (5) durch eine Zugfeder (7) verbunden ist, die den Stößel (3) mit der Aufsetzspitze (4) in der Ruhestellung gegen einen Anschlag (25) am Sensorkörper (5) hält und deren Federkraft derart geringer bemessen ist als die Federkraft einer den Sensorkörper (5) in der Sondenhülse (2) belastenden Druckfeder (14), daß beim Aufsetzen des Sensorkörpers (5) mit der Aufsetzspitze (4) auf ein beschichtetes Trägermaterial (11) zuerst die Aufsetz­ spitze (4) mit dem Stößel (3) gegen die Wirkung der Zugfeder (7) so weit in den Sensorkörper (5) hinein verschoben wird, bis der Sensorkörper (5) mit seiner balligen Aufsetzfläche (12) auf der zu messenden Schicht (10) zur Anlage kommt, wobei in diesem Moment die Feder­ kräfte der beiden Federn (7, 14), nämlich der Zugfeder (7) und der Druckfeder (14), gegeneinander ausgeglichen sind, so daß die Auflagekraft des Sensorkörpers (5) auf der Schicht (10) gleich Null ist (F_D - F_Z = 0), und daß erst durch weiteres Drücken mit der Sondenhülse (2) um wenige zehntel bis einige Millimeter eine Ver­ kürzung der Druckfeder (14) und damit ein Kraftzuwachs auf das Sensorsystem (6) bewirkt wird, während die Zug­ feder (7) sich nicht mehr verlängern kann und damit keinen Kraftzuwachs ausübt, so daß die Aufsetzfläche (12) des Sensorkörpers (5) in der Meßposition mit der Differenzkraft der beiden Federn (7, 14) auf der zu mes­ senden Schicht (10) aufliegt.

3. Meßsonde nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Zugfeder eine Schrau­ benzugfeder (7) ist, die mit ihrem einen Ende (7a) an einem von dem Sensorkörper (5) aufragenden Kragen (16) und mit ihrem anderen Ende (7b) an einem Ringkragen (17) befestigt ist, der auf dem Stößel (3) längenveränderbar angeordnet ist.

4. Meßsonde nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­ durch gekennzeichnet, daß der Stößel (3) eine Anschlagringfläche (3a) aufweist, mit der er in einer Stufenbohrung (15) an dem Sensorkörper (5) an­ schlagbegrenzt angeordnet ist.

5. Meßsonde nach Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Stößel (3) mit der Aufsetz­ spitze (4) in einer Führungshülse (15a) aus ferromagne­ tischem Material mit einer unteren Durchführung (15b) für die Aufsetzspitze (4) geführt ist.

6. Meßsonde nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­ durch gekennzeichnet, daß der Stö­ ßel (3) an seinem oberen Ende in einer Längsbohrung (18) am Sondenkörper (19) verschiebbar geführt ist.

7. Meßsonde nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da­ durch gekennzeichnet, daß der Sen­ sorkörper (5) mit einem radial zur Seite ragenden Schraubenstift (20) in einer Längsnut (21) an der Son­ denhülse (2) anschlagbegrenzt und verdrehsicher geführt ist.

8. Meßsonde nach einem der Ansprüche 1 bis 7, da­ durch gekennzeichnet, daß in der Längsbohrung (18) am Sondenkörper (19) ein einstellbarer federnder Endanschlag (22) für den Stößel (3) mit der Aufsetzspitze (4) vorgesehen ist.

9. Meßsonde nach einem der Ansprüche 1 bis 8, da­ durch gekennzeichnet, daß die Druckfeder (14) für den Sensorkörper (5) zwischen einer Anschlagringfläche (23) am Sensorkörper (5) und einer Anschlagringfläche (24) an der Sondenhülse (2) mit ge­ ringer Vorspannung angeordnet ist.

10. Meßsonde nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß anstatt der Druckfeder (14) eine vorgespannte Blattfeder (14a) zwischen Sensor­ körper (5) und Sondenhülse (2) verwendet wird.

11. Meßsonde nach Anspruch 10, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Blattfeder (14a) tel­ lerförmig ausgebildet ist und den Sensorkörper (5) auch bei Längsverschiebung in der Sondenhülse (2) stets mit­ tig in der Sondenlängsachse (13) hält.

12. Meßsonde nach Anspruch 10 oder 11, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Sensorkörper (5) in der Sondenhülse (2) durch die Blattfeder (14a) gegen Verdrehen gesichert ist.

13. Meßsonde nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die tellerförmige Blattfeder (14a) mit in Umfangsrichtung gegeneinander versetzten kreisbogenförmigen Schlitzen (28) ausgebildet ist, die in konzentrischen Ringen angeordnet und durch radiale Stege (29) voneinander getrennt sind.