DE3437253A1 - Elektromagnetische mess-sonde - Google Patents

Elektromagnetische mess-sonde

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DE3437253A1
DE3437253A1 DE19843437253 DE3437253A DE3437253A1 DE 3437253 A1 DE3437253 A1 DE 3437253A1 DE 19843437253 DE19843437253 DE 19843437253 DE 3437253 A DE3437253 A DE 3437253A DE 3437253 A1 DE3437253 A1 DE 3437253A1
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Helmut 7032 Sindelfingen Fischer
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Helmut Fischer GmbH and Co
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/10Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
    • G01B7/105Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance for measuring thickness of coating

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Description

  • ELEKTROMAGNETISCHE MESS-SONDE
  • Die Erfindung betrifft eine elektromagnetische Mess-Sonde gemäss dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.
  • Diese Sonde soll weiterentwickelt werden1 ohne die dort beschriebenen Eigenschaften zu opfern. Es soll also nach wie vor möglich sein, vor allem im Bereich dünner Schichten linear zu messen, und zwar unter Vermeidung der Nicht-Linearitäts-Probleme, die von der Magnetisierungs-Kurve als auch der Geometrie der balligen Aufsetzfläche herkommen. Die Sonde soll nach wie vor für die Messung kleiner Gegenstände geeignet sein. Man möchte jedoch noch zusätzlich foglendes erreichen: a) Im Bereich sehr kleiner Schichtdicken soll die Anzeige genauer sein.
  • Wenn man nämlich die bekannte Sonde auf einen nicht beschichteten Grundwerkstoff aufsetzt, dann wird trotz fehlender Schicht eine Schichtdicke angezeigt.
  • b) Man möchte bei gleicher Schichtdicke ein grösseres Ausgangssignal erzielen, was natürlich einer besseren Anzeige zugute, kommt.
  • Erfindungsgemäss wird diese Aufgabe durch die aus dem kennzeichnenden Teil des Hauptanspruchs ersichtlichen Merkmale gelöst. Die Erfindung hat u.a. folgende Vorteile: 1. Die Oberflächen-Krümmung spielt nunmehr eine noch kleinere Rolle.
  • 2. Auf kleinen Gegenständen kann noch besser gemessen werden.
  • 3. Für sehr unterschiedliche Trägerwerkstoffe bekommt man nun nahezu die gleiche bis sogar die ganz gleiche Kennlinie.
  • 4. Der Energieaufwand ist sehr gering, so dass man die Sonde in einem Batteriegerät ohne Netzteil verwenden kann.
  • 5. Trotz der verbesserten Eigenschaften, muss man den Wickelraum nicht vergrössern, vielmehr kommt man mit dem gleichen Wickelraum aus.
  • 6. Die Sonde ist noch weniger kippempfindlich.
  • Durch die Merkmale des Anspruchs 2 erreicht man, dass die Wirkung der Ringscheibe als Kurzschlussw icklung herabgesetzt wird.
  • Durch die Merkmale des Anspruchs 3 erreicht man, dass die Ringscheibe praktisch keine Kurzschlussw icklungs-Wirkung hat.
  • Durch die Merkmale des Anspruchs 4 vermeidet man in gleicher Weise eine Dämpfungswirkung des Topfkerns und wenn beide Schlitze miteinander fluchten, dann vermeidet man die Nachteile einer evtl. Überbrückung, die es z.T. gestatten würde, dass doch Dämpfung auftritt.
  • Durch die Merkmale des Anspruchs 5 ist die Entdämpfung optimal für solche Fälle, in denen man es sich aus Materialbeanspruchungsgründen leisten kann, den Radialschlitz ganz durchzuführen.
  • Durch die Merkmale des Anspruchs 6 kommt man zu einer Optimierung des Nebenschlusses einerseits und der Bündelung des Felds andererseits. Zu kleine Faktoren bringen einen Nebenschluss mit sich. Zu grosse Faktoren wirken einer Bündelung entgegen.
  • Eine weiteren Verbesserung im Sinne der Aufgabe der Erfindung Durch die Merkmale des Anspruchs 8 erreicht man eine einfach herzustellende, axialsymmetrische Verjüngung.
  • Durch die Merkmale des Anspruchs 9 erreicht man , daß man auch in Vertiefungen, wie Nuten usw. messen kann.
  • Durch die Merkmale des Anspruchs 10 erreicht man noch eine bessere Feldbündelung ohne in den Sättigungsbereich zu kommen. Man muss ja ein möglichst gebündeltes Feld erzielen, ohne allerdings in die Sättigung zu kommen, weil die Sättigung das Messergebnis verfälschen würde.
  • Durch die Merkmale des Anspruchs 11 erhält man auf besonders einfache Weise während des Herstellungsvorgangs den tiefer liegenden Bereich Durch die Merkmale des Anspruchs 12 fitermeidet man Feidlinien-Konzentrationens die bei zackigem Stanzgrat von den Spitzen des Stanzgrats ausgehen würden.
  • Durch die Merkmale des Anspruchs 13 kompensiert man diejenige Wirkung, die die hochpermeable Scheibe 37 und der hochpermeable Zylinder 41 der Anmeldung P 33 31 407 haben, denn diese Bauteile können ja bei der erfindungsgemässen Vorrichtung fehlen. Man hat ja dort ein niedrigpermeables Hartmetall etwa in der Zusammensetzung 48% WC; 15% CO; 2% TiC/TaC/NbS verwendet, stattdessen man nun einen Werkstoff höherer Permeabilität verwendet.
  • Optimale Werte hinsichtlich der Genauigkeit der Schichtdicken-Anzeige und des optimal grossen Signals geben die Merkmale des Anspruchs 15 an.
  • Durch die Merkmale des Anspruchs 16 lässt sich das Optimum des Anspruchs 15 besonders gut einstellen.
  • Durch die Merkmale des Anspruchs 17 lässt sich die Feineinstellung besonders einfach bewerkstelligen. Natürlich stehen dabei - wie üblich - die Spulen fest und der Messpol bewegt sich relativ hierzu, und zwar beim Hineinschrauben der Madenschraube lediglich in einer Richtung, nämlich auswärts.
  • Die Erfindung wird nunmehr anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele beschrieben.
  • Wegen der genauen Abmessungen sind Millimeter-Skalen angegeben.
  • In der Zeichnung zeigen: Fig. 1 einen Radialschnitt durch eine aufgesetzte Mess-Sonde eines ersten Ausführungsbeispiels, Fig. 2 einen ähnlichen Schnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel, Fig. 3 einen ähnlichen Schnitt durch ein drittes Ausführungsbeispiel, Fig. 4 einen Kurvenverlauf, der im Verhältnis zum Stand der Technik angibt, um wie viel besser bei einem Ausführungsbeispiel die Anzeige bei einem nicht beschichteten Trägerwerkstoff ist, auch in Abhängigkeit vom Durchmesser des als Scheibe ausgebildeten Trägerwerkstoffs1 Fig. 5 eine Darstellung, die die Verbesserung des Mess-Signals im Verhältnis zum Stand der Technik zeigt.
  • Fig. 6 die Untersicht einer Ringscheibe bei einer Abwandlung von Fig. 1 Ein Topfkern 11 aus Weicheisen ist rotationssymmetrisch zur geometrischen Längsachse 12. Er hat einen Boden 13 und eine kreiszylindrische Wand 14. Im Bereich des Bodens 13 ist in seinem unteren Bereich horizontal eine Gewindedurchgangsbohrung 16 vorgesehen. In diese ist eine Madenschraube 17 eingeschraubt. Koaxial zur geometrischen Längsachse 12 hat der Boden 13 eine Durchgangsbohrung 18, die jedoch im Durchmesser wesentlich kleiner ist als die innere Bodenfläche 19 des Bodens 13. In der Durchgangsbohrung 18 steckt mit dem gemäss Fig. 1 oberen Bereich ein kreiszylindrischer Kern 21 aus magnetisch hochpermeablem Material. Seine mit einer Fase 22 versehene Oberseite 23 liegt auf der Höhe einer oberhalb und parallel der Gewindedurchgangsbohrung 16 vorgesehenen zweiten Gew indedurchgangsbohrung 24. In diese ist eine Madenschraube 26 eingeschraubt, deren in die Durchgangsbohrung 18 ragender Schaftteil als kreisförmiger Kegelstumpf 27 ausgebildet ist. Der Neigungswinkel der Fase 22 entspricht dem Kegelwinkel des Kegelstumpfs 27, so dass beim Einwärtsdrehen der Madenschraube 26 seine Gewindesteigung in ihrer Wirkung zur Steigung des Kegelstumpfs 27 addiert wird und dementsprechend fein der Kern 21 nach unten aus der Bohrung gedrängt werden kann. Dabei bleibt die ballige Druckfläche 28 der Madenschraube 17 unter Druck gegen den Umfang des Kerns 21 anliegend und liefert so die Reibung gegen die man beim Hineindrehen der Madenschraube 26 arbeiten muss. Auf demTopfkern 11 sitzt eine Kusntstoffscheibe 29, die ein koaxiales, deckungsgleiches Zentralloch 31 hat.
  • Auf der Kusntstoffscheibe 29 sind zwei Anschlussklemmen 32 für eine Erregerwicklung 33 vorgesehen. Zwei weitere auf der Kunststoffscheibe 29 vorgesehenen Anschlussklemmen 34 bilden die Anschlüsse für eine Induktionswicklung 36. Die Erregerwicklung 33 und die Induktionswicklung 36 ist auf Spulenkörpern vorgesehen, die ortsfest relativ zum Topfkern 11 sind. Durch die Wicklung hindurch lässt sich der Kern 31 bewegen.
  • Um von oben die von den Anschlussklemmen 32, 34 ausgehenden Leitungen durchführen zu können, ist ein senkrechter Schlitz 37 vorgesehen, der radial liegt, mit der Durchgangsbohrung 18 kommuniziert, jedoch nicht ganz nach aussen reicht, so dass gemäss Fig. 1 links vom Schlitz 37 eine Wand 38 stehen bleibt. Unterhalb der Bodenfläche 19 befindet sich ein zur geometrischen Längsachse 12 koaxialer kreiszylindrischer Wickelraum 39. Sein oberhalb der noch zu besprechenden Verjüngung befindliches Volumen wird von der Erregerwicklung 33 und der Induktionswicklung 36 eingenommen. Diese sind natürlich nicht maßstäblich gezeichnet, sondern nur symbolisch dargestellt und haben die in dieser Technik- übliche Konfiguration.
  • Die kreiszylindrische Wand 14 hat unten eine kreisringförmige Topfrandfläche 41, die überall gleiche Breite hat und glatt eben ist, so dass eine Ringscheibe 42 mit ihrem äusseren Ringbereich 43 deckungsgleich und für die magnetischen Feldlinien praktisch verlustlos aufliegt. Die Ringscheibe 42 ist auf der Topfrandfläche 41 praktisch ohne Klebstoffspalt aufgeklebt. Noch innerhalb des Wickel raums beginnend sitzt am Kern 21 eine Verjüngungsstufe 44 ein, die nahezu radial verläuft.
  • Die Verjüngungsstufe 44 liegt unterhalb der Wicklungen und unterhalb der oberen Stirnfläche 46 eines Stifts 47. Nach der Verjüngungsstufe 44 folgt einstückig monolithisch ein kreiszylindrischer Mantel 48, der koaxial zur geometrischen Längsachse 12 ist. Die untere Ringfläche des Mantels 48 ist als ballige Stirnfläche 49 ausgebildet, die auf einem Kugelradius liegt, dessen Mitte auf der geometrischen Längsachse 12 liegt. In die untere Stirnfläche des Kerns 21 ist ein Sackioch 51 eingebohrt, das kreiszylindrisch koaxial ist.. Es reicht bis unter die Wicklungen und bis oberhalb der Verjüngungsstufe 44. Die genauen Masse in diesem Bereich sind der Zeichnung zu entnehmen. Der Stift 47 hat unten ebenfalls eine ballige Stirnfläche 52, die ebenfalls auf einem Kugelradius liegt und direkt die Fortsetzung der balligen Stirnfläche 49 bildet. Von der Aussenfläche des Mantels 48 hat die Leibungs-Radiusfläche 53 den gezeichneten Abstand.
  • Sie ist- koaxial zur Längsachse 12. Die Ringscheibe 42 hat eine Permeabilität von typischerweise 1000 p0. von gröBer 1u0posDie ballige Stirnfläche 52 sitzt auf der Oberseite einer zu messenden Schicht 54 auf, die ihrerseits auf einem Grundwerkstoff 56 aufgebracht ist.
  • Nachdem die axiale Lage des Kerns 21 eingestellt worden ist, wird der Wickelraum 39 mit einem Harz vergossen. Der Stift 47ist'nach wie vor aus einem gesinterten Hartmetall und hat eine höhere Permeabilität als der in der Patentanmeldung P 33 31 407 beschriebene Stift 27, nämlich im Bereich von 50 bis 200 pO.
  • Das Ausführungsbeispiel gemäss Fig. 2 unterscheidet sich vom Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 in dreierlei Richtung: Zum einen ist der Schlitz 37 nunmehr durch einen ganz durchgehenden Schlitz 57 nach aussen hin fortgesetzt, der sich parallel zur Längsachse 12 durch die gesamte Höhe des Topfkerns 11 erstreckt.
  • Zum zweiten ist dort, beginnend wo beim ersten Ausführungsbeispiel die Verjüngungsstufe 44 ist, eine Anspitzfläche 58 vorgesehen, die koaxial ist und auf einem Kreiskegel liegt. Statt der sprunghaften Querschnitts-Verjüngung hat man hier also eine stetige Querschnitts-Verjüngung. Die Anspitzfläche 58 setzt sich mit einer Kegelstumpffläche 59 des Stifts 47 fort. Die ballige Stirnfläche 52 ist nach wie vor vorhanden, hat jedoch einen kleineren Aussenradius. Dieses Ausführungsbeispiel eignet sich insbesondere dann, wenn in Nuten oder dergleichen Vertiefungen gemessen werden soll.
  • Zum dritten hat die Ringscheibe 52 eine flach kegelstumpfförmige Ausprägung 61 nach unten. Um dieses Mass liegt die Topfrandfläche 41 höher, so dass man die Sonde mehr kippen kann, ohne im äusseren, unteren Eckbereich auf der Oberseite der Schicht 54 aufzusitzen. Die Leibungs-Radiusfläche 53 liegt auf einer solchen Höhe, dass sie der Anspitzfläche 58 und nicht etwa der Kegelstumpffläche 59 gegenüberliegt.
  • Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 ähnelt dem nach Fig. 1, aber in gewisser Weise auch dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2. Bei der Herstellung wird hier ein koaxiales, kreiszylindrisches Loch 52 gestanzt. Dabei bildet sich beim Stanzen ein nach unten gerichteter Stanzgrat 63, dessen nach unten herausragende Stirnfläche 64 überschliffen ist, so dass von dort die Feldlinien gleichmässig austreten können.
  • Die in Fig. 6 gezeichnete Ringscheibe 65 unterscheidet sich von den anderen Ringscheiben dadurch, dass sie einen ganz durchgehenden Radialschlitz 66 hat.
  • Verwendet man die Ringscheibe 65 und ist der Schlitz 57 bei diesem Ausführungsbeispiel vorhanden, dann lässt man den Radialschlitz 65 mit dem Schlitz 57 fluchten.
  • Es wurde eine erfindungsgemässe Sonde auf nicht beschichteten Grundwerkstoff aufgesetzt.Der Durchmesser der Scheiben wurde in Fig. 4 in Millimetern aufgetragen.
  • Zunächst sieht man, dass man z.B. auf Scheiben mit 5 mm Durchmesser noch messen kann. Nach rechts wurde abgetragen, welche Schichtdicke in Mikrometer das Gerät gemäss der älteren Patentanmeldung angezeigt hat, was durch die Kurve 67 gezeigt ist. An sich müsste ja bei einem unbeschichteten Grundwerkstoff die Schichtdicke auch mit Null angegeben werden. Der Messfehler ist deutlich sichtbar, außerdem sieht man sehr deutlich, dass bei immer kleiner werdendem Durchmesser der Scheibe das Problem kleiner werdender Flächen (Randproblem) wesentlich kleiner als bei der zu verbessernden Sonde ist.
  • Die erfindungsgemässe Vorrichtung liefert einen Kurvenverlauf, gemäss der Kurve 68.
  • Man sieht, dass die erfindungsgemässe Vorrichtung 5 Mikrometer anzeigt, was gegenüber den 19 Mikrometern bei der Messung auf einer Scheibe von 10 mm Durchmesser eine Verbesserung um den Faktor 3,8 bringt. Diese Verbesserung ist beträchtlich. Der Tendenz nach ist zu erkennen, dass bei kleiner werdendem Scheibendurchmesser dieser sprunghafte Fortschritt immer grösser wird. Auch bei grösseren Scheibendurchmessern beträgt der Verbesserungserfolg bei 15 mm Scheiben sprunghafterweise immer noch 2,7 und bei 20er Scheiben liegt er mit 2,4 ebenfails noch weit über dem, was in der Technik als üblich und orwarthal o Vorbossorunp angosohon werden kann.
  • Die erfindungsgemässe Vorrichtung zeigt nicht nur genauer an. In der Fig. 5 ist logarithmisch nach oben die Schichtdicke in Mikrometer abgetragen. Nach rechts ist die normierte Ausgangsspannung an der Induktionswicklung 36 abgetragen.
  • Die Kurve 69 stellt das Ergebnis bei einer Sonde gemäss der älteren Patentanmeldung dar, während die Kurve 71 das Ergebnis der Erfindung zeigt. Schaut man z.B. bei einer Schichtdicke von 10 Mikrometer nach, dann hat man früher eine normierte Spannung von 0,065 am Punkt 72 erhalten. Durch die Erfindung erhält man jedoch eine normierte Spannung von 0,18 am Punkt 73, so dass man eine 300%-ige Verbesserung erhält, was ganz wesentlich über denjenigen Verbesserungen liegt, die man üblicherweise erwarten kann und die (wenn überhaupt) im Bereich von einigen Prozenten liegen.
  • - Leerseite -

Claims (17)

  1. P a t e n t an 5 p r ü-c h e 1. Elektromagnetische Mess-Sonde mit einem Topfkern, der eine Mittenbohrung aufweist, der koaxial zur Mittenbohrung einen Wicklungen aufnehmenden Topfraum aufweist und der eine Topfrandfläche aufweist, mit einem Messpol, der mit seinem einen Endbereich in der Mittenbohrung gefasst ist und von dessen freier Stirnfläche aus koaxial eine Ausnehmung eingearbeitet ist, so dass ein Mantel um die Ausnehmung stehen bleibt, sowie mit einem in der Ausnehmung sitzenden Stift aus Hartmetall, dessen äussere Stirnfläche eine ballige Aufsetzfläche bildet, wobei die Aufsetzfläche wenig über die Topfrandfläche vorsteht, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass eine koaxiale Ringscheibe vorgesehen ist, die aus magnetisch hochpermeablem Material ist, deren Aussenrandbereich auf der Topfrandfläche aufliegt und deren Leibungs-Radiusfläche einen Durchmesser grösser als der Messpol aber wesentlich kleiner als der Topfraum hat und im Bereich der Stirnfläche des Messpols -liegt, wobei der magnetische Widerstand zwischen der Leibungs-Radiusfläche und dem Mantel wesentlich grösser ist als - bei aufgesetzter Sonde - zwischen der freien Stirnfläche und der Leibungs-Radiusfläche.
  2. 2. Sonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ringscheibe einen Radialschlitz aufweist.
  3. 3. Sonde nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Radialschlitz durchgehend ist.
  4. 4. Sonde nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Radialschlitz der Ringscheibe sich in einem Radialschlitz des Topferns fortsetzt.
  5. 5. Sonde nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Radialschlitz des Topfkerns sich bis zu seiner Mittenbohrung fortsetzt.
  6. 6. Sonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser der Leibungs-Radiusfläche etwa das 1,5 bis 2-fache des Durchmessers des gegenüberliegenden Bereichs des Messpols ist.
  7. 7. Sonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Mantel im Bereich des Stifts verjüngt ist.
  8. 8. Sonde nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Verjüngung kreiszylindrisch ist.
  9. 9. Sonde nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Verjüngung kreiskegelig ist.
  10. 10. Sonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ringscheibe im Bereich ihrer Leibungs-Radiusfläche tiefer liegt als im Bereich der Topfrandfläche.
  11. 11. Sonde nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Ringscheibe als Kreis-Kegelstumpf nach unten herausgeprägt ist.
  12. 12. Sonde nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Ringscheibe einen Stanzgrat hat, dessen Unterseite planeben überschliffen ist.
  13. 13. Sonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Stift eine magnetische Permeabilität von 40 - 50 uo, vorzugsweise im Bereich von 60 y, hat.
  14. 14. Sonde nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Stift aus einer Legierung des Typs 10,5% CO; 6,5 Va; 7% Mo ist.
  15. 15. Sonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die äussere Stirnvorzugsweise um 30 % fläche des Stifts aus Hartmetall um etwa 5 - 50 %,des Durchmessers der Leibungs-Radiusfläche über die Ringscheibe hinausragt.
  16. 16. Sonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass für die Montagejustierung des Messpols eine Feineinstellvorrichtung am Topfkern vorgesehen ist.
  17. 17. Sonde nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die innere Stirnfläche des Messpols eine Anschrägung aufweist, mit der eine Kegelspitze einer in den Topfkern eingeschraubten ersten Madenschraube zusammenwirkt und dass eine zweite Madenschraube mit ihrer balligen Stirnfläche auf den Messpol drückt.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3902095A1 (de) * 1989-01-25 1990-07-26 Helmut Fischer Gmbh & Co Vorrichtung fuer eine messsonde
FR2678061A1 (fr) * 1991-06-25 1992-12-24 Fischer Gmbh Co Inst Elektro Procede et dispositif pour la mesure de couches minces.
US5421946A (en) * 1992-05-07 1995-06-06 Heinrich Hermann Gmbh & Co. Electromagnetic label sensor having surface following member
DE4119903C2 (de) * 1991-06-17 2000-07-27 Helmut Fischer Gmbh & Co Verfahren und Vorrichtung zur Messung dünner Schichten
JP2001289606A (ja) * 2000-03-24 2001-10-19 Helmut Fischer Gmbh & Co Inst Fuer Elektronik & Messtechnik 薄層の厚さの非破壊測定方法およびその装置
JP2007139769A (ja) * 2005-11-14 2007-06-07 Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4005360A (en) * 1974-12-14 1977-01-25 Albert Ott Probe with ball bearing ball
US4204159A (en) * 1978-04-18 1980-05-20 Johnson Duane P Eddy-current test probe with segmented circumferential test gap and method for inspection of materials
WO1983001833A1 (en) * 1981-11-12 1983-05-26 Koch, Frank Coatings thickness and surface roughness comparator

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4005360A (en) * 1974-12-14 1977-01-25 Albert Ott Probe with ball bearing ball
US4204159A (en) * 1978-04-18 1980-05-20 Johnson Duane P Eddy-current test probe with segmented circumferential test gap and method for inspection of materials
WO1983001833A1 (en) * 1981-11-12 1983-05-26 Koch, Frank Coatings thickness and surface roughness comparator

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3902095A1 (de) * 1989-01-25 1990-07-26 Helmut Fischer Gmbh & Co Vorrichtung fuer eine messsonde
DE4119903C2 (de) * 1991-06-17 2000-07-27 Helmut Fischer Gmbh & Co Verfahren und Vorrichtung zur Messung dünner Schichten
DE4119903C5 (de) * 1991-06-17 2005-06-30 Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zur Messung dünner Schichten
FR2678061A1 (fr) * 1991-06-25 1992-12-24 Fischer Gmbh Co Inst Elektro Procede et dispositif pour la mesure de couches minces.
US5421946A (en) * 1992-05-07 1995-06-06 Heinrich Hermann Gmbh & Co. Electromagnetic label sensor having surface following member
JP2001289606A (ja) * 2000-03-24 2001-10-19 Helmut Fischer Gmbh & Co Inst Fuer Elektronik & Messtechnik 薄層の厚さの非破壊測定方法およびその装置
JP4676080B2 (ja) * 2000-03-24 2011-04-27 インモビリーエンゲゼルシャフト・ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニイ・カーゲー 薄層の厚さの非破壊測定方法およびその装置
JP2007139769A (ja) * 2005-11-14 2007-06-07 Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ

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