JPS63308503A - シ−ト状物質の厚さ測定装置 - Google Patents
シ−ト状物質の厚さ測定装置Info
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- JPS63308503A JPS63308503A JP14478087A JP14478087A JPS63308503A JP S63308503 A JPS63308503 A JP S63308503A JP 14478087 A JP14478087 A JP 14478087A JP 14478087 A JP14478087 A JP 14478087A JP S63308503 A JPS63308503 A JP S63308503A
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- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 44
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 33
- 238000005339 levitation Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、空気吹出によりシート状物質から一定量浮上
している上部検出ヘッドと、前記シート状物質の下側に
配置されたセンサコイルを有する下部検出ヘッドとを備
え前記シート状物質の厚さをオンラインで測定する装置
に関する。
している上部検出ヘッドと、前記シート状物質の下側に
配置されたセンサコイルを有する下部検出ヘッドとを備
え前記シート状物質の厚さをオンラインで測定する装置
に関する。
〈従来の技術〉
第５図は従来装置の断面図である。図中、Ａは上側の検
出ヘッドで、タンク・キャップ１の開口２の周縁にはダ
イアフラム３が固定され、このダイアプラムの中心部に
導体ターゲット４が取り付けられている。このターゲッ
トの内部には、第６図で示すように、室わが設けられて
おり、ターゲット４の表面には第７図に示すように、複
数の空気吹出孔４ｂが設けられている。第５図の５は空
気をターゲット４に導くチューブ、６は空気をタンクキ
ャップ１内に導くチューブである。
出ヘッドで、タンク・キャップ１の開口２の周縁にはダ
イアフラム３が固定され、このダイアプラムの中心部に
導体ターゲット４が取り付けられている。このターゲッ
トの内部には、第６図で示すように、室わが設けられて
おり、ターゲット４の表面には第７図に示すように、複
数の空気吹出孔４ｂが設けられている。第５図の５は空
気をターゲット４に導くチューブ、６は空気をタンクキ
ャップ１内に導くチューブである。
また、Ｂは下側の検出ヘッドで、内部にはセンサコイル
７が設けられている。８は検出回路である。
７が設けられている。８は検出回路である。
Ｃは下側の検出ヘッドＢに接して移送されるシート状物
質である。
質である。
このような構成で、シート状物１ｃが矢印Ｄ１方向に移
送される場合、上側の検出ヘッドＡ並びに下側の検出ヘ
ッドＢはシート状物質Ｃの幅方向（紙面に対し垂直方向
）に往復走行する。
送される場合、上側の検出ヘッドＡ並びに下側の検出ヘ
ッドＢはシート状物質Ｃの幅方向（紙面に対し垂直方向
）に往復走行する。
厚さの測定は、シート状物質Ｃを検出ヘッドＡと８間に
挾み、タンク・キャップ１の内圧を高め、ターゲット４
をシート状物質Ｃの表面に対し垂直方向に押圧する。
挾み、タンク・キャップ１の内圧を高め、ターゲット４
をシート状物質Ｃの表面に対し垂直方向に押圧する。
ターゲット４にはチューブ５を介し空気が供給されてお
り、ターゲット４の自重、前記弾性支持手段の復元力、
チューブ６を通してタンクキャップ１内の導かれる空気
圧Ｐ、による押圧力、空気圧Ｐ、の空気吹出による浮上
刃とがバランスし、ターゲット４をシート状物質Ｃより
一定量Ｃ浮上させる。
り、ターゲット４の自重、前記弾性支持手段の復元力、
チューブ６を通してタンクキャップ１内の導かれる空気
圧Ｐ、による押圧力、空気圧Ｐ、の空気吹出による浮上
刃とがバランスし、ターゲット４をシート状物質Ｃより
一定量Ｃ浮上させる。
下側の検出ヘッドＢ中のセンサコイル７には高周波電流
が流されており、磁束が生成される。センサコイル７に
対向して配置されたターゲット４は良導体であり、この
部分に渦電流が発生する。
が流されており、磁束が生成される。センサコイル７に
対向して配置されたターゲット４は良導体であり、この
部分に渦電流が発生する。
この渦電流によりセンサコイル７の磁束が減少しコイル
・インピーダンスが変化する。このインピーダンス変化
はターゲット４とセンサコイル７間の距離に対応してお
り、この距離はまたシート状物質Ｃの厚さａと一定浮上
量εとの和で表わされる。この為、前記インピーダンス
の変化をブリッジ回路等を用いた検出回路８により検出
し、この信号より上記浮上量εを差引く演算を行えば、
シート状物質Ｃの厚さａをオンラインで検知することが
できる。
・インピーダンスが変化する。このインピーダンス変化
はターゲット４とセンサコイル７間の距離に対応してお
り、この距離はまたシート状物質Ｃの厚さａと一定浮上
量εとの和で表わされる。この為、前記インピーダンス
の変化をブリッジ回路等を用いた検出回路８により検出
し、この信号より上記浮上量εを差引く演算を行えば、
シート状物質Ｃの厚さａをオンラインで検知することが
できる。
しかし、シート状物質Ｃの張力は幅方向の位置によって
変化する。一般的に、シート状物質Ｃの中央部では張力
は大きく、両端部では縁が解放されている為、張力は小
さくなる。シート状物質Ｃが例えば紙のような繊維質の
場合、張力が変ると（Ｌ ） 紙の表面部分の繊維の配合具合が変って、空気Ｐ１の吹
出空気の流れが変る。この空気流の変化によって、浮上
量εが変化する。
変化する。一般的に、シート状物質Ｃの中央部では張力
は大きく、両端部では縁が解放されている為、張力は小
さくなる。シート状物質Ｃが例えば紙のような繊維質の
場合、張力が変ると（Ｌ ） 紙の表面部分の繊維の配合具合が変って、空気Ｐ１の吹
出空気の流れが変る。この空気流の変化によって、浮上
量εが変化する。
第８図は浮上量の変化を示し、横軸はシート状物質Ｃの
張力Ｔ（単位はｋｇ／ ｍ ）を、縦軸はターゲット４
とセンサコイル７との間の距１ａｍ（ｉ＋（）（単位は
μｍ）を表わす。尚、シート状物質Ｃの厚さａは一定と
する。図から明らがなように、張力Ｔが大きくなると距
離ａ＋εは小さくなる。シート状物質Ｃの厚さは一定で
あるから、ターゲット４の浮上量εが張力Ｔの増大に伴
って減少することを表している。
張力Ｔ（単位はｋｇ／ ｍ ）を、縦軸はターゲット４
とセンサコイル７との間の距１ａｍ（ｉ＋（）（単位は
μｍ）を表わす。尚、シート状物質Ｃの厚さａは一定と
する。図から明らがなように、張力Ｔが大きくなると距
離ａ＋εは小さくなる。シート状物質Ｃの厚さは一定で
あるから、ターゲット４の浮上量εが張力Ｔの増大に伴
って減少することを表している。
〈発明が解決しようとする問題点〉
然し乍ら、上記従来例においては、浮上量εが一定であ
ることが条件となっており、測定の途中で浮上量が変化
すると指示誤差が発生するようになっていた。このため
、一般に、上記シート状物質Ｃの両端部において高めに
誤差指示され、究極的に正しいプロフィールの測定がで
きないという大きな欠点があった。また、シート状物質
Ｃに下側の検出ヘッドＢが接触しているため、シート状
物質Ｃによって検出ヘッドＢのセンサコイル７が汚され
たり該検出ヘッドＢによってシート状物質Ｃが破断した
り傷ついたりすることもあるという欠点があった。
ることが条件となっており、測定の途中で浮上量が変化
すると指示誤差が発生するようになっていた。このため
、一般に、上記シート状物質Ｃの両端部において高めに
誤差指示され、究極的に正しいプロフィールの測定がで
きないという大きな欠点があった。また、シート状物質
Ｃに下側の検出ヘッドＢが接触しているため、シート状
物質Ｃによって検出ヘッドＢのセンサコイル７が汚され
たり該検出ヘッドＢによってシート状物質Ｃが破断した
り傷ついたりすることもあるという欠点があった。
本発明はかかる従来例の欠点に鑑みてなされたものであ
り、その目的は、検出ヘッドによってシート状物質Ｃが
破断されたすせず且つ該シート状物質の張力変化に起因
する指示誤差が現われないようにしたシート状物質の厚
さ測定装置を提供することにある。
り、その目的は、検出ヘッドによってシート状物質Ｃが
破断されたすせず且つ該シート状物質の張力変化に起因
する指示誤差が現われないようにしたシート状物質の厚
さ測定装置を提供することにある。
く問題点を解決するための手段〉
上述のような問題点を解決する本発明の特徴は、シート
状物質の厚さ測定装置において、表面に複数の空気吹出
穴をもつセンサブロック内にセンサコイルを収納すると
共に該ブロックをシート状物質の表面に対して垂直力向
に押圧し、空気吹出しによる反発力と上記押圧力および
センサーブロックの自重とをバランスさせてセンサコイ
ルからシート状物質を一定量Ｃ浮上させるようにしたこ
とにある。
状物質の厚さ測定装置において、表面に複数の空気吹出
穴をもつセンサブロック内にセンサコイルを収納すると
共に該ブロックをシート状物質の表面に対して垂直力向
に押圧し、空気吹出しによる反発力と上記押圧力および
センサーブロックの自重とをバランスさせてセンサコイ
ルからシート状物質を一定量Ｃ浮上させるようにしたこ
とにある。
く作用〉
上述の技術手段は次のように作用する。即ち、空気吹出
しによる反発ツノとセンサブロックの自重および該ブロ
ックをシート状物質の表面に対して垂直方向に押圧する
力とをバランスさせてセンサコイルからシート状物質を
一定量浮上させることにより、上側の検出ヘッドのみな
らず下側の検出ヘッドもシート状物質から一定量浮上さ
せられ、これら検出ヘッドによってシート状物質が傷つ
いたり破断したりすることのないようにしている。
しによる反発ツノとセンサブロックの自重および該ブロ
ックをシート状物質の表面に対して垂直方向に押圧する
力とをバランスさせてセンサコイルからシート状物質を
一定量浮上させることにより、上側の検出ヘッドのみな
らず下側の検出ヘッドもシート状物質から一定量浮上さ
せられ、これら検出ヘッドによってシート状物質が傷つ
いたり破断したりすることのないようにしている。
〈実施例〉
以下、図面に従い本発明の実施例を詳しく説明する。第
１図は本発明実施例装置を示す断面図、第２図は要部平
面図である。第１図および第２図において、第５図およ
び第７図における記号と同一記号には同一意味をもたせ
て使用しここでの重複説明は省略する。また、９はセン
サコイル７を収納するセンサブロック、９ｂはセンサブ
ロック９の表面に設けられた空気吹出し用の小穴、１０
は上側の検出ヘッドＡ内でターゲット４を押圧するスプ
リング、ＩＯｏは下側の検出ヘッドＢ内でセンサブロッ
ク９を押圧するスプリング、１１はターゲット４内の圧
力を検出して該検出信号Ｓを送出する圧力センサ、１１
′はセンサブロック９内の圧力を検出して該検出信号Ｓ
゛を送出する圧力センサである。
１図は本発明実施例装置を示す断面図、第２図は要部平
面図である。第１図および第２図において、第５図およ
び第７図における記号と同一記号には同一意味をもたせ
て使用しここでの重複説明は省略する。また、９はセン
サコイル７を収納するセンサブロック、９ｂはセンサブ
ロック９の表面に設けられた空気吹出し用の小穴、１０
は上側の検出ヘッドＡ内でターゲット４を押圧するスプ
リング、ＩＯｏは下側の検出ヘッドＢ内でセンサブロッ
ク９を押圧するスプリング、１１はターゲット４内の圧
力を検出して該検出信号Ｓを送出する圧力センサ、１１
′はセンサブロック９内の圧力を検出して該検出信号Ｓ
゛を送出する圧力センサである。
このような構成からなる本発明の実施例において、セン
サブロック９はスプリング１０’によって第１図の紙面
上を上方向に押圧されている。また、センサブロック９
の小穴９ｂから吹出した空気の反発力と該センサブロッ
ク９の自重によってセンサブロック９は第１図の紙面上
を下方向に力を与えられ、上記上方向へのスプリング１
０′の押圧力とバランスした所で一定の浮上量（゛（例
えば１８０μｍ）を保っている。このとき、圧力センサ
ー１ビはセンサブロック９内の圧力（即ち、上記吹出し
空気の背圧）を検出し、図示しない演算処理部に圧力検
出信号Ｓ゛を与えている。もし、何らかの原因で上記浮
上量∈′が変化すると、センサブロック９内の圧力たる
上記背圧も変化し上記圧力検出信号Ｓ゛が変化する。こ
のため該信号Ｓ′に基いて上記浮上量∈′の変化量を補
償することにより、上記浮上量Ｃ′を一定の基準点とし
て扱えるようになる。
サブロック９はスプリング１０’によって第１図の紙面
上を上方向に押圧されている。また、センサブロック９
の小穴９ｂから吹出した空気の反発力と該センサブロッ
ク９の自重によってセンサブロック９は第１図の紙面上
を下方向に力を与えられ、上記上方向へのスプリング１
０′の押圧力とバランスした所で一定の浮上量（゛（例
えば１８０μｍ）を保っている。このとき、圧力センサ
ー１ビはセンサブロック９内の圧力（即ち、上記吹出し
空気の背圧）を検出し、図示しない演算処理部に圧力検
出信号Ｓ゛を与えている。もし、何らかの原因で上記浮
上量∈′が変化すると、センサブロック９内の圧力たる
上記背圧も変化し上記圧力検出信号Ｓ゛が変化する。こ
のため該信号Ｓ′に基いて上記浮上量∈′の変化量を補
償することにより、上記浮上量Ｃ′を一定の基準点とし
て扱えるようになる。
ところで、シート状物質Ｃの張力（Ｔ）による影響を考
えなければ、チューブ５を介してターゲット４に加えら
れる空気圧Ｐ、とスプリング１０の押圧力とが一定なら
ば、ターゲット４の浮上量εは常に一定である。しかし
、実際には、ターゲット４の浮上量εは上記張力Ｔの変
化に伴なって変動し、圧力センサ１１で検出される上記
背圧（即ち、吹出し空気圧）Ｐ２はターゲット４の浮上
量εの変化に対応している。即ち、第３図は第８図と同
一条件で行なった実験結果を示す図であり、図中、横軸
は張力Ｔを示し縦軸は吹出空気圧Ｐ２を示している。こ
の図から明らかなように、張力Ｔの増大に伴なって上記
浮上量εは減少し吹出空気圧Ｐ２は増加している。また
、第４図は第３図および第８図から導びかれた結果を示
す図であり、上記吹出し空気圧Ｐ３．張力Ｔ（直１１Ｃ
，）、および距離（ε＋ａ＋∈′）の関係を示すもので
ある。上記圧力センサ１１の出力信号（即ち、吹出空気
圧Ｐ２と同一の上記背圧を検出した信号）は、上記演算
処理部に予め詰込ませた浮上量εを書換える。また、検
出器８の出力は、シート状物質Ｃの厚さａと現実の浮上
量（および上記一定基準点としての浮上量∈′の和に対
応している。このため、上記演算処理部で書き換えられ
た浮上量ε信号および一定基準信号∈′を減算する等の
信号処理を行なうことにより、シート状物質Ｃの厚さａ
に正確に対応した信号が得られるようになる。尚、本発
明は上述の実施例に限定されることなく種々の変形が可
能であり、例えば、ターゲット４の中央に導圧孔を設け
て圧力を検出したりターゲット４の中央に吹出穴を設け
てエアマイクロ用の空気を吹き出すようにしてもよいも
のとする。
えなければ、チューブ５を介してターゲット４に加えら
れる空気圧Ｐ、とスプリング１０の押圧力とが一定なら
ば、ターゲット４の浮上量εは常に一定である。しかし
、実際には、ターゲット４の浮上量εは上記張力Ｔの変
化に伴なって変動し、圧力センサ１１で検出される上記
背圧（即ち、吹出し空気圧）Ｐ２はターゲット４の浮上
量εの変化に対応している。即ち、第３図は第８図と同
一条件で行なった実験結果を示す図であり、図中、横軸
は張力Ｔを示し縦軸は吹出空気圧Ｐ２を示している。こ
の図から明らかなように、張力Ｔの増大に伴なって上記
浮上量εは減少し吹出空気圧Ｐ２は増加している。また
、第４図は第３図および第８図から導びかれた結果を示
す図であり、上記吹出し空気圧Ｐ３．張力Ｔ（直１１Ｃ
，）、および距離（ε＋ａ＋∈′）の関係を示すもので
ある。上記圧力センサ１１の出力信号（即ち、吹出空気
圧Ｐ２と同一の上記背圧を検出した信号）は、上記演算
処理部に予め詰込ませた浮上量εを書換える。また、検
出器８の出力は、シート状物質Ｃの厚さａと現実の浮上
量（および上記一定基準点としての浮上量∈′の和に対
応している。このため、上記演算処理部で書き換えられ
た浮上量ε信号および一定基準信号∈′を減算する等の
信号処理を行なうことにより、シート状物質Ｃの厚さａ
に正確に対応した信号が得られるようになる。尚、本発
明は上述の実施例に限定されることなく種々の変形が可
能であり、例えば、ターゲット４の中央に導圧孔を設け
て圧力を検出したりターゲット４の中央に吹出穴を設け
てエアマイクロ用の空気を吹き出すようにしてもよいも
のとする。
〈発明の効果〉
以上詳しく説明したような本発明によれば、上側の検出
ヘッドＡも下側の検出ヘッドＢもシート状の物質Ｃが浮
上しているような構成であるため、前記従来例の如く検
出ヘッドによってシート状物質Ｃが破断したり傷ついた
りするようなことはない。また、前記従来例と異なり、
シート状物質の、張力変化に起因する指示誤差も回避で
きない利点がある。また、他の要因で浮上量ε、＠°が
変化したとしても背圧Ｐ、、Ｐ、’の変化として検出さ
れ補正できる利点もある。
ヘッドＡも下側の検出ヘッドＢもシート状の物質Ｃが浮
上しているような構成であるため、前記従来例の如く検
出ヘッドによってシート状物質Ｃが破断したり傷ついた
りするようなことはない。また、前記従来例と異なり、
シート状物質の、張力変化に起因する指示誤差も回避で
きない利点がある。また、他の要因で浮上量ε、＠°が
変化したとしても背圧Ｐ、、Ｐ、’の変化として検出さ
れ補正できる利点もある。
第１図は本発明実施例の構成説明図、第２図は本発明実
施例の要部平面図、第３図および第４図は第１図の本発
明実施例装置の動作説明図、第５図は従来装置の断面図
、第６図は従来装置の要部断面図、第７図は従来装置の
要部平面図、第８図は従来装置の動作説明図である。 Ａ、Ｂ・・・検出ヘッド、Ｃ・・・シート状物質、１・
・・タンクキャップ、４・・・ターゲット、７・・・セ
ンサコイル、９・・・センサブロック、１０． ＩＩＩ
’・・・スプリン第３図 第４図 ａすと μ ｔ １３６ デ長刀Ｔ１３
４ ６Ｋｇ１ｍ ３．９ １３θ Ｉｓ、 ’
７ｔｚｇ ２’／７
Ａ 第６図 第７図
施例の要部平面図、第３図および第４図は第１図の本発
明実施例装置の動作説明図、第５図は従来装置の断面図
、第６図は従来装置の要部断面図、第７図は従来装置の
要部平面図、第８図は従来装置の動作説明図である。 Ａ、Ｂ・・・検出ヘッド、Ｃ・・・シート状物質、１・
・・タンクキャップ、４・・・ターゲット、７・・・セ
ンサコイル、９・・・センサブロック、１０． ＩＩＩ
’・・・スプリン第３図 第４図 ａすと μ ｔ １３６ デ長刀Ｔ１３
４ ６Ｋｇ１ｍ ３．９ １３θ Ｉｓ、 ’
７ｔｚｇ ２’／７
Ａ 第６図 第７図
Claims (2)
- （１）空気吹出によりシート状物質から一定量＿∈だけ
浮上している上側検出ヘッドと前記シート状物質の下側
に配置されたセンサコイルを有する下側検出ヘッドとを
備え前記センサコイルのインピーダンス変化から前記シ
ート状物質の厚さを測定する装置において、表面に複数
の空気吹出穴をもつセンサーブロック内に前記センサコ
イルを収納すると共に該ブロックを前記シート状物質の
表面に対し垂直方向に押圧し、前記空気吹出穴からの空
気吹出しによる反発力と前記押圧力および前記センサー
ブロックの自重とをバランスさせて前記センサーコイル
から前記シート状物質を一定量＿∈′浮上させることを
特徴とするシート状物質の厚さ測定装置。 - （２）前記センサブロックの押圧は、前記下側検出ヘッ
ド内に設けられたスプリングで前記シート状物質の表面
に対し垂直方向に行なわれるように構成された特許請求
範囲第（１）項記載のシート状物質の厚さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14478087A JPS63308503A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | シ−ト状物質の厚さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14478087A JPS63308503A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | シ−ト状物質の厚さ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63308503A true JPS63308503A (ja) | 1988-12-15 |
Family
ID=15370264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14478087A Pending JPS63308503A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | シ−ト状物質の厚さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63308503A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007139769A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-07 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ |
| JP2007309935A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置 |
| JP2008501116A (ja) * | 2004-05-28 | 2008-01-17 | ダプロックス アクチボラゲット | 移動するストリップの層厚を測定する装置及び方法 |
| JP2019002918A (ja) * | 2017-06-19 | 2019-01-10 | ユニパルス株式会社 | 厚み測定装置 |
-
1987
- 1987-06-10 JP JP14478087A patent/JPS63308503A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008501116A (ja) * | 2004-05-28 | 2008-01-17 | ダプロックス アクチボラゲット | 移動するストリップの層厚を測定する装置及び方法 |
| JP2007139769A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-07 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ |
| JP2007309935A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置 |
| JP2019002918A (ja) * | 2017-06-19 | 2019-01-10 | ユニパルス株式会社 | 厚み測定装置 |
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