JPS62251607A - シ−ト状物質の厚さ測定装置 - Google Patents

シ−ト状物質の厚さ測定装置

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JPS62251607A
JPS62251607A JP9514886A JP9514886A JPS62251607A JP S62251607 A JPS62251607 A JP S62251607A JP 9514886 A JP9514886 A JP 9514886A JP 9514886 A JP9514886 A JP 9514886A JP S62251607 A JPS62251607 A JP S62251607A
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air pressure
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floatation
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Kenji Isozaki
磯崎 健二
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Yokogawa Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く産業上の利用分野〉 本発明は、空気吹田によりシート状物質から一定量浮上
している上部検出ヘッドと、前記シート状物質の下側に
配置されたセンサコイルを有する下部検出ヘッドとを備
えた、前記シート状物質の厚さをオンラインで測定する
装置に関する。
〈従来の技術〉 第7図は従来@置の断面図である。図中、Aは上側の検
出ヘッドで、タンク・キせツブ1の開口2の周縁にはダ
イアフラム3が固定され、このダイアフラムの中心部に
導体ターゲット4が取り付けられている。このターゲッ
トの内部には、第8図で示すように、室4aが設けられ
ており、ター・ゲット4の表面には第9図に示すように
、複数の空気吹出孔4bが設けられている。5は空気を
ターゲット4に導くデユープ、6は空気をタンクキレツ
ブ1内に導(チューブである。
Bは下側の検出ヘッドで、内部にはセンリコイル7が設
けられている。8は検出回路である。
Cは下側の検出ヘッドBに接して移送されるシート状物
質である。
このような構成で、シート状物質Cが矢印01方向に移
送される場合、上側の検出ヘッド△並びに下側の検出ヘ
ッドBはシート状物質cの幅方向(紙面に対し垂直方向
)に往復走行する。
厚さの測定は、シート状物質Cを検出ヘッドAとBlg
lに挟み、タンク・キャップ1の内圧を高め、ターゲッ
ト4をシート状物質Cの表面に対し垂直方向に押圧する
ターゲット4にはチューブ5を介し空気が供給されてお
り、ターゲット4の自重、前記弾性支持手段の復元力、
デユープ6を通してタンクキャブ1内に導かれる空気圧
P2による押圧力、空気圧P1の空気吹田による浮上刃
とがバランスし、ターゲット4をシート状物質Cより一
定牟ε浮」−させる。
下側の検出ヘッドB中のセンサコイル7には高周波電流
が流されており、磁束が生成される。センサコイル7に
対向して配置されたターゲット4は良導体であり、この
部分に渦電流が発士する。
この渦7g1流によりセンサコイル7の磁束が減少しコ
イル・インピーダンスが変化する。このインピーダンス
変化はターゲット4とセンサコイル7間の距離に対応し
ており、この距離はまたシート状物WCの厚さaと一定
浮上量εとの和で表わされる。この為、前記インピーダ
ンスの変化をブリッジ回路笠を用いた検出回路8により
検出し、この信号より浮上量εを差引く演算を行えば、
シート状物1XCの厚さaをオンラインで検知すること
が出来る。
しかしながら、シート状物質Cの張力は幅方向の位置に
よって変化する。一般的に、シート状物質Cの中央部で
は張力は大きく、両端部では縁が解放されている為、張
力は小さくなる。シート状物質Cが例えば紙のようなm
lt質の場合、張力が変ると紙の表面部分の繊維の配合
具合が変って、空気P1の吹田空気の流れが変る。この
空気流の変化によって、浮上量εが変化する。
第10図は浮上量の変化を示し、横軸はシート状物ic
の張力Tを、縦軸はターゲット4とセンサコイル7との
間の距11(a+ε)を表わす。尚、シート状物質Cの
厚さaは一定とする。図から明らかなように、張力Tが
大きくなると距離a+εは小さくなる。シート状物質C
の厚さは一定であるから、ターゲット4の浮上量εが張
力Tの増大に伴って減少することを表している。
シート状物質の厚さ測定装置では、浮上量εが一定であ
ることが条件になっており、測定の途中で浮上量が変化
すると指示誤差が発生する。従って、このような装置で
は、シート状物質Cの両端部において高めに誤差指示さ
れ、正しいプロフィールの測定が行えなかった 〈発明が解決しようとする問題点;・ 本発明が解決しようとする技術的課題は、このような装
置において、シート状物質Cの張力の変化に起因する指
示誤差が出力に現れないようにすることにある。
く問題点を解決するための手段〉 本発明の構成は、前記シート状物質の厚さを測定する¥
i置において、前記ターゲットの空気吹出空気圧を検出
する手段を設け、この検出信号に基づき、前記シート状
物質の張力の変化に起因する指示誤差を補償するように
した。
く作用〉 前記の技術手段は次のように作用する。即ち、前記ター
ゲットの空気吹出圧の変化は、前記浮上量の変化に対応
している。前記ターゲットに、圧力計を設けて、前記吹
田圧を検出し、この検出信号に基づき、例えば演算処理
部に予め読込ませた浮上量をこの信号で書換え、この信
号と、前記検出回路で検出された前記シート状物質の厚
さと航記浮上員との和の信号とより、前記シート状物質
の厚さを演算する。
〈実施例〉 以下図面に従い本発明の詳細な説明ブる。第1図は本発
明実施例装置を示す断面図、第2図は要部断面図、及び
第3図は要部平面図である。図中、第7図乃至第9図に
おける要素と同じ要素には同一符号を付し、これらにつ
いての説明は省略する。4Cはターゲット4の表面の中
央に設けられた導圧孔である。尚、この孔は複数個であ
っても構わず、またターゲット4表面の中央である必要
もない。9は導圧孔4Cに接続されたチューブ、10は
、チューブ9より導かれたターゲット4の吹出空気圧P
3を検出する為の圧力計である。
このような構成において、張力1°による影響を考えな
ければ、チューブ6を通してタンクキャブ1内に導かれ
る空気圧P2と、チューブ5を介しターゲット4に加え
られる空気圧P+とが一定ならば、浮上量εは常に一定
である。しかしながら、ターゲット4の浮上量εは張力
Tの変化に伴い変動する。導圧孔4Cを通して圧力計1
0で検出される吹出空気圧P3は、浮上量εの変化に対
応している。即ち、第4図は、第10図と同じ条件下で
の実験結果で、横軸は張力Tを、縦軸は吹田空気圧P3
を表わす。第10図の場合、張力Tの増大に伴い浮上量
εは減少する。一方、第4図の場合、吹出空気圧P3は
、張力Tの増大に伴い増加している。
第5図は、第4図及び第10図の結果から導いた、吹出
し空気圧P 3 、張力T(直線C1)、距fla十ε
の関係を示す。
検出された吹出空気圧P3を用いて、図示されていない
演痒処理部に予め読込ませた浮、F冶εをl!換える。
検出回路8の出力はシート状物質Cの厚さaと現実の浮
上量εの和に対応しており、館紀演篩処理部で検出信号
より、書換えられた浮上量ε信号を減算することにより
、シート状物質Cの厚さaに正確に対応した信号を得る
ことが出来る。
第6図は本発明の他の実施例装置を示す断面図である。
図中、第1図における要素と同じ要素には同一符号を付
し、これらについての説明は省略する。11は吹出空気
圧P3を基準圧Psと比較し、これら圧力の差に対応し
た圧力を出力する差圧変換器である。12は減算器で、
タンクキャブ1へ供給される空気圧P2から、差圧変換
器11の出力圧を減算する。
第1図の本発明の第1の実施例装置の場合、浮上■εの
変化による誤差の補償は演算処理部においてソフト的に
行っているが、吹出空気圧P3を検出し、タンクキャブ
1へ空気圧P2を供給する回路に帰還し、浮上aεが常
に一定となるように制御しても良い。即ち、シート状物
質Cの張力が増大し、浮、hffiεが減少し、吹出空
気圧Psが増加した場合、差圧変換器11でA (P3
−Ps )なる差圧を出力する(但し、泥ニゲイン)。
この圧力信号は減算器12に減算入力として加えられ、 P2’ =P2  A (1”3  Ps)・=(1)
なる空気圧がタンクキャブ1に供給される。この結果、
ターゲット4の内側から外側に向かう押圧力を減らされ
、浮上量εは一定に保持される。このような方法によっ
ても、シート状物TRCの張力の変化に起因する指示誤
差を補償することが出来る。
〈発明の効果〉 本発明によれば、前記シート状物質の張力の変化に起因
する指示誤差が発生しない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明実施例装置を示す断面図、第2図は第1
図の本発明実施例装置の要部断面図、第3図は第1図の
本発明実施例装置の要部平面図、第4図及び第5図は第
1図の本発明実施例装置の動作説明図、第6図は本発明
の他の実施例装置を示す断面図、第7図は従来装置の断
面図、第8図は第7図の従来装置の要部断面図、第9図
は第7図の従来@置の要部平面図、第10図は第7図の
従来装置の動作説明図である。 A・・・上側の検出ヘッド、B・・・下側の検出ヘッド
、C・・・シート状物質、1・・・タンクキャブ、4・
・・ターゲット、4b・・・空気吹出孔、4C・・・導
圧孔、5・・・ターゲット4へ空気圧P1を導くチュー
ブ、6・・・タンクキャブ1へ空気圧P2を導くチュー
ブ、7・・・センリコイル、8・・・検出回路、9・・
・吹出空気圧P3を導くチューブ、10・・・圧力計、
11・・・差圧変換器1.12・・・i%Ji粋器、ε
・・・浮上量、a・・・シート状物質の厚さ 第1図 A:  J:#lの積出へ11.)″    3.1奮
1の検出へリドC: シートオシ拉り茫    l:5
シク千イγ   4: ターノ%t)ドア、°  仁ン
サコイル    f!:検出回閣ト9; 吹出空気圧l
)と4くう1−ブ°  膚;万ズ洋オ第2図   第3
凶 0   10    、a7    J6      
勺h第7図 第F!図    第9図 f              1 第1O図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. シート状の物質を挟んで一対の検出ヘッドを対向配置し
    、下側の検出ヘッドにセンサコイルを設け、上側の検出
    ヘッドに、表面に複数の空気吹き出孔を持つ導体ターゲ
    ットを弾性支持すると共に、前記シート状物質の表面に
    対し垂直方向に押圧し、前記ターゲットの空気吹き出し
    による浮上刃と、ターゲットの自重及び前記押圧力とを
    バランスさせ、前記ターゲットを前記シート状物質表面
    より一定量浮上させるようにし、前記センサコイルのイ
    ンピーダンスの変化から前記シート状物質の厚さを測定
    するようにした装置において、前記ターゲットの空気吹
    出圧を検出する手段を設け、この検出信号に基づき、前
    記シート状物質の張力の変化に起因する浮上量の変化に
    よる指示誤差を補償するようにしたことを特徴とするシ
    ート状物質の厚さ測定装置。
JP9514886A 1986-04-24 1986-04-24 シ−ト状物質の厚さ測定装置 Expired - Lifetime JPH0668441B2 (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5886355A (en) * 1991-05-14 1999-03-23 Applied Materials, Inc. Ion implantation apparatus having increased source lifetime
JP2007309935A (ja) * 2006-05-15 2007-11-29 Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg 測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置
JP2008501116A (ja) * 2004-05-28 2008-01-17 ダプロックス アクチボラゲット 移動するストリップの層厚を測定する装置及び方法
CN102735151A (zh) * 2012-06-12 2012-10-17 惠州Tcl移动通信有限公司 便携式电子设备

Cited By (5)

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CN102735151B (zh) * 2012-06-12 2015-11-25 惠州Tcl移动通信有限公司 便携式电子设备

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