DE102004003858A1

DE102004003858A1 - Bearbeitungsvorrichtung, die mit einem drehbaren bzw. Drehwerkzeug ausgerüstet ist

Info

Publication number: DE102004003858A1
Application number: DE200410003858
Authority: DE
Inventors: Toru Kubota
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2003-01-28
Filing date: 2004-01-26
Publication date: 2004-09-16
Also published as: US20040149110A1; TW200414968A; SG121868A1; CN1531030A; TWI294330B; CN100353503C; JP2004235250A; US6949015B2

Abstract

Eine Bearbeitungsvorrichtung weist eine drehbare Spindel, die drehbar angebracht ist, eine Drehantriebsquelle zum drehbaren Antreiben der drehbaren Spindel, ein Drehwerkzeug, das an der drehbaren Spindelabnehmbar angebracht ist, und ein Schraubelement auf, das an der drehbaren Spindel gedreht und angeschraubt wird, um das Drehwerkzeug an der drehbaren Spindel anzubringen. Die Bearbeitungsvorrichtung ist weiterhin mit einem eine Drehung selektiv verhindernden Mittel versehen, um die Drehung der drehbaren Spindel selektiv zu verhindern.

Description

Bearbeitungsvorrichtung, die mit einem drehbaren bzw. Drehwerkzeug ausgerüstet ist.
Gebiet der Erfindung
Diese Erfindung bezieht sich auf eine Bearbeitungsvorrichtung, welche mit einem Drehwerkzeug ausgerüstet ist, und insbesondere auf eine Bearbeitungsvorrichtung von einem Typ, der ein schraubbares bzw. Schraubelement aufweist, das an eine drehbar angebrachte, drehbare Spindel zum lösbaren bzw. abnehmbaren Befestigen bzw. Anbringen eines Drehwerkzeugs an der drehbaren Spindel angeschraubt ist.

Bei der Herstellung von Halbleiterchips wird eine Mehrzahl von rechteckförmigen Regionen durch Straßen demarkiert bzw. abgegrenzt, die in einem Gittermuster an der Fläche eines Halbleiterwafers angeordnet sind, und es wird eine Halbleiter-Schaltung bzw. -schaltkreis in jeder der rechteckförmigen Regionen angeordnet. Dieser Halbleiterwafer wird entlang der Straßen geschnitten, um die rechteckförmigen Regionen individuell bzw. einzeln zu trennen, um hierdurch Halbleiterchips zu bilden. Um den Halbleiterwafer entlang der Straßen zu schneiden, wird eine Bearbeitungsvorrichtung, die als ein "Dicer" bzw. Substratzerteiler bezeichnet wird, wie in der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 2003-203885 offenbart, in vorteilhafter Weise verwendet. Eine derartige Bearbeitungsvorrichtung ist mit einer rotierenden bzw. drehbaren Spindel, die rotier- bzw. drehbar angebracht ist, einer Drehantriebsquelle zum drehbaren Antreiben der drehbaren Spindel und einem Drehwerkzeug ausgerüstet, das an der drehbaren Spindel abnehmbar angebracht ist. Das Drehwerkzeug besteht aus einer ringförmigen Schneidklinge bzw. -messer, das Diamantkörner enthält.

Ein Schraubelement, das an die drehbare Spindel anzuschrauben ist, wird zum Anbringen des Drehwerkzeugs an der drehbaren Spindel verwendet. Insbesondere wird, wie in der oben erwähnten, offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 2003-203885 offenbart, ein Befestigungs- bzw. Anbringungsgerät bzw. -vorrichtung an einem vorderen Endbereich der drehbaren Spindel befestigt, und das Drehwerkzeug wird an dem Anbringungsgerät befestigt. Ein konischer bzw. sich verjüngender Bereich, der sich im Außendurchmesser in Richtung zu dem vorderen Ende der drehbaren Spindel allmählich vermindert, ist in dem vorderen Endbereich der drehbaren Spindel gebildet und ein Durchgangsloch, das sich im Innendurchmesser in Richtung zu dem vorderen Ende des Anbringungsgeräts allmählich vermindert, ist in dem Anbringungsgerät gebildet, so dass das Durchgangsloch des Anbringungsgeräts über bzw. auf dem sich verjüngenden Bereich der drehbaren Spindel angebracht ist. Ein Außengewinde ist an dem vorderen Ende der drehbaren Spindel gebildet oder ein mit Innengewinde versehenes Loch bzw. Öffnung ist an dem vorderen Ende der drehbaren Spindel gebildet. Ein Mutterelement ist auf das Außengewinde geschraubt oder es ist ein Bolzen- bzw. Schraubbolzenelement in das Innengewinde geschraubt, mit dem Ergebnis, dass das Anbringungsgerät durch den Kopf des Mutterelements oder des Schraubbolzenelements rückwärts gezwungen bzw. getrieben wird. Auf diese Art und Weise wird das Durchgangsloch des Anbringungsgeräts um den sich verjüngenden Bereich der drehbaren Spindel satt anliegend angebracht, wodurch das Anbringungsgerät an der drehbaren Spindel vollständig zuverlässig befestigt wird.

Jedoch sind die folgenden Probleme bzw. Schwierigkeiten, welche zu lösen sind, bei der herkömmlichen Bearbeitungsvorrichtung vorhanden, die wie oben beschrieben ausgestaltet ist: beim Anbringen des Drehwerkzeugs an der drehbaren Spindel oder beim Entfernen des Drehwerkzeugs, welches bei Gebrauch verschlissen bzw. abgenutzt worden ist, von der drehbaren Spindel für Austausch bzw. Ersatz, ist es erforderlich, das Schraubelement relativ zu der drehbaren Spindel zu drehen, um hierdurch das Schraubelement an die drehbare Spindel zu schrauben oder das Schraubelement von der drehbaren Spindel abzuschrauben. Für dieses Anschrauben oder Abschrauben besteht die Notwendigkeit, das Schraubelement zu drehen, während die Drehung der drehbaren Spindel verhindert wird. Eine manuelle Operation zum parallelen Ausführen der Drehung des Schraubelements und der Verhinderung der Drehung der drehbaren Spindel ist in beträchtlicher Weise kompliziert und schwierig. Um die Drehung der drehbaren Spindel ausreichend zuverlässig zu verhindern, ist ein spezielles Werkzeug zum Ergreifen der drehbaren Spindel erforderlich.

Die Erfindung besteht darin, eine neue und verbesserte Bearbeitungsvorrichtung zu schaffen, welche, wenn ein drehbares bzw. Drehwerkzeug an einer drehbaren Spindel angebracht oder von dieser entfernt wird, die Drehung der drehbaren Spindel zuverlässig verhindern kann, ohne ein spezielles Werkzeug oder eine komplizierte manuelle Operation zu erfordern, und welche folglich die Anbringung des Drehwerkzeugs an der drehbaren Spindel und dessen Entfernung von der drehbaren Spindel mit ausreichender Leichtigkeit ausführen kann.

Entsprechend der vorliegenden Erfindung ist, um die obige Aufgabe zu lösen, eine Bearbeitungsvorrichtung vorgesehen, welche eine drehbare Spindel, die drehbar angebracht ist, eine Drehantriebsquelle zum drehbaren Antreiben der drehbaren Spindel, ein Drehwerkzeug, das an der drehbaren Spindel abnehmbar angebracht ist, und wenigstens ein Schraubelement aufweist, welches an die drehbare Spindel zur Anbringung des Drehwerkzeugs an der drehbaren Spindel angeschraubt ist, wobei ein eine Drehung selektiv verhinderndes Mittel zum selektiven Verhindern der Drehung der drehbaren Spindel angeordnet ist.

Vorzugsweise weist das eine Drehung selektiv verhindernde Mittel wenigstens eine Stopp- bzw. Anschlag-Konkavität bzw. -Austiefung, die an einer Außenumfangsfläche der drehbaren Spindel gebildet ist, und ein Stopp- bzw. Anschlagelement auf, um selektiv an einer Operationsposition, an der das Anschlagelement mit der Anschlag-Konkavität in Eingriff kommt, und an einer Nichtoperationsposition angeordnet zu werden, an der das Anschlagelement von der Anschlag-Konkavität zurückgeht bzw. zurückweicht. Vorzugsweise ist eine Mehrzahl bzw. Vielzahl von Anschlag-Konkavitäten an Intervallen bzw. Zwischenräumen in einer Umfangsrichtung gebildet. Es wird bevorzugt, dass das eine Drehung selektiv verhindernde Mittel ein Anpassungs- bzw. Unterbringungselement aufweist, welches ein hierin gebildetes Anpassungs- bzw. Unterbringungsloch aufweist, welches eine zu der Außenumfangsfläche der drehbaren Spindel gegenüberliegende bzw. entgegengesetzte Öffnung aufweist, und dass das Anschlagelement in dem Unterbringungsloch gleit- bzw. verschiebbar aufgenommen bzw. untergebracht ist, und, wenn das Anschlagelement an der Operationsposition angeordnet ist, sein vorderer Endbereich teilweise von der Öffnung des Unterbringungsloches vorsteht, während, wenn das Anschlagelement an der Nichtoperationsposition angeordnet ist, seine wesentliche Gesamtheit in dem Unterbringungsloch untergebracht ist. Vorzugsweise weist das eine Drehung selektiv verhindernde Mittel ein elastisches Vorspannungsmittel, um das Anschlagelement zu der Nichtoperationsposition elastisch vorzuspannen, und ein gezwungenes bzw. getriebenes Gleit- bzw. Schiebemittel zum selektiven Gleiten bzw. Schieben des Anschlagelements zu der Operationsposition gegen die elastische Vorspannungsaktion bzw. -wirkung des elastischen Vorspannungsmittels auf. Das gezwungene Schiebemittel veranlasst vorzugsweise Druckluft dazu, auf das hintere Ende des Anschlagelements einzuwirken. Das Drehwerkzeug kann eine Form mit einer ringförmigen Schneidklinge bzw. -messer aufweisen, welches Diamantkörner enthält.

1 ist eine perspektivische Ansicht zur Veranschaulichung der Gesamtheit einer bevorzugten Ausführungsform einer Bearbeitungsvorrichtung, die entsprechend der vorliegenden Erfindung ausgebildet ist.
2 ist eine perspektivische Ansicht zur Veranschaulichung eines Halbleiterwafers, welcher durch die Bearbeitungsvorrichtung nach 1 zu schneiden ist, wobei der Halbleiterwafer an einem Rahmen mit Hilfe eines Befestigungsbandes angebracht ist.
3 ist eine perspektivische Ansicht zur Veranschaulichung der grundlegenden, auf das Schneiden bezogenen Bestandteile der Bearbeitungsvorrichtung nach 1.
4 ist eine Schnittansicht zur Veranschaulichung eines Schneidmittels bei der Bearbeitungsvorrichtung nach 1.
5-A bis 5-C sind Schnittansichten, die gemäß der Linie V-V nach 4 genommen sind.
Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
Die entsprechend der vorliegenden Erfindung ausgebildete Bearbeitungsvorrichtung wird nunmehr in größeren Einzelheiten unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, welche deren bevorzugten Ausführungsformen darstellen.
1 zeigt eine als ein "Dicer" bzw. Substratzerteiler bezeichnete Bearbeitungsvorrichtung, welche ein typisches Beispiel einer Bearbeitungsvorrichtung ist, bei welcher die vorliegende Erfindung angewendet wird. Die veranschaulichte Bearbeitungsvorrichtung weist ein Gehäuse 2 auf, wobei eine Ladezone 4, eine Standby- bzw. Bereitschaftszone 6, eine Futter- bzw. Einspannzone 8, eine Ausrichtungszone 10, eine Schneidzone 12 und eine Reinigungs/Trockenzone 14 an dem Gehäuse 2 definiert sind. Ein Anhebe/Absenktisch 16 ist in der Ladezone 4 angeordnet, und es wird eine Kassette 18 an dem Anhebe/Absenktisch 16 geladen. Eine Mehrzahl von Halbleiterwafern 20 (2) ist innerhalb der Kassette 18 mit Beabstandung in einer Aufwärts- und Abwärtsrichtung untergebracht.
Wie aus 2 klar zu ersehen ist, wird der in der Kassette 18 untergebrachte Halbleiterwafer 20 an einem Rahmen 24 mit Hilfe eines Anbringungsbandes 22 angebracht. Der Rahmen 24, der aus Metall oder einem synthetischen Harz gebildet sein kann, weist eine verhältnismäßig große, kreisförmige Öffnung 26 an seiner Mitte auf. Das Anbringungsband 22 erstreckt sich quer über die kreisförmige Öffnung 26 und ist an der Rückseite des Rahmens 24 festgeklemmt bzw. fest angebracht. Der Halbleiterwafer 20 wird innerhalb der kreisförmigen Öffnung 26 angeordnet und seine Rückseite wird an dem Anbringungsband 22 fest angebracht. Die Straßen 28 sind in einem Gittermuster an der Fläche des Halbleiterwafers 20 angeordnet und eine Mehrzahl von rechteckförmigen Regionen ist durch diese Straßen 28 abgegrenzt. Eine Halbleiterschaltung ist in jeder der rechteckförmigen Regionen angeordnet.
Unter weiterer Bezugnahme auf 1 wird erläutert, dass ein erstes Transportmittel 32 in Verbindung mit der Ladezone 4 und der Standby-Zone 6 angeordnet ist. Das erste Transportmittel 32 wird entsprechend dem Ansteigen und Absenken des Anhebe/Absenktisches 16 betätigt, wodurch die Rahmen 24, von denen jeder an dem zu schneidenden Halbleiterwafer 20 angebracht sind, sequentiell aus der Kassette 18 auf die Standby-Zone 6 getragen werden. (Wie ferner weiter unten erläutert wird, wird der Rahmen 24, der an dem Halbleiterwafer 20 angebracht ist, welcher geschnitten, gereinigt und getrocknet worden ist, von der Standby-Zone 6 in die Kassette 18 getragen). Ein zweites Transportmittel 34 ist in Verbindung mit der Standby-Zone 6, der Einspannzone 8 und der Reinigungs/Trockenzone 14 angeordnet. Der aus der Kassette 18 auf die Standby-Zone 6 getragene Rahmen 24 wird zu der Einspannzone 8 durch das zweite Transportmittel 34 transportiert. In der Einspannzone 8 werden der Rahmen 24 und der hieran angebrachte Halbleiterwafer 20 durch Einspannmittel 36 gehalten. In näheren Einzelheiten weist das Einspannmittel 36 eine Einspannplatte 38 mit einer im Wesentlichen horizontalen Anziehungsfläche auf und es ist eine Mehrzahl von Sauglöchern bzw. -öffnungen oder -nuten in der Einspannplatte 38 gebildet. Der an dem Rahmen 24 angebrachte Halbleiterwafer 20 wird an der Einspannplatte 38 platziert und durch Unterdruck an die Einspannplatte 38 angezogen. Ein Paar von Greifmitteln 40 ist in dem Einspannmittel 36 angeordnet und der Rahmen 24 wird durch das Paar von Greifmitteln 40 ergriffen.
Wie ferner weiter unten beschrieben wird, wird das Einspannmittel 36 in einer ersten Richtung, das heißt in einer X-Achsen-Richtung, an einer im Wesentlichen horizontalen Ebene bewegt. Der durch das Einspannmittel 36 gehaltene Halbleiterwafer 20 wird entsprechend der Bewegung des Einspannmittels 36 bewegt und zu der Ausrichtungszone 10 und zu der Schneidzone 12 in dieser Reihenfolge transportiert. Bei der veranschaulichten Ausführungsform sind Faltenbalg-Mittel 41, die entsprechend der Bewegung des Einspannmittels 36 expandiert bzw. ausgedehnt und kontrahiert bzw. zusammengezogen werden, an beiden Seiten (das heißt, an der Stromabwärtsseite und der Stromaufwärtsseite) des Einspannmittels 36 angeordnet, wenn in der X-Achsen-Richtung beobachtet. Das Ausrichtungsmittel 42 ist in Verbindung mit der Ausrichtungszone 10 angeordnet. In der Ausrichtungszone 10 wird ein Bild der Fläche des an dem Einspannmittel 36 gehaltenen Halbleiterwafers 20 erzeugt und der Halbleiterwafer 20 wird entsprechend diesem Bild ausreichend präzise positioniert, wie erforderlich. Sodann wird der Halbleiterwafer 20 entlang der Straßen 28 in der Schneidzone 12 durch die Wirkung des Schneidmittels 44 geschnitten. Die rechteckförmigen Regionen 30 werden durch dieses Schneiden einzeln getrennt, jedoch wird das Anbringungsband 22 hierdurch niemals geschnitten. Folglich sind die einzeln getrennten, rechteckförmigen Regionen 30 weiterhin an dem Rahmen 24 mit Hilfe des Anbringungsbandes 22 angebracht. Das Ausrichtungsmittel 42 und das Schneidmittel 44 werden in näheren Einzelheiten später beschrieben.
Nachdem der Halbleiterwafer 20 in der Schneidzone 12, wie erforderlich, geschnitten worden ist, wird das Einspannmittel 36 zu der Einspannzone 8 zurück gebracht. Ein drittes Transportmittel 46 ist in Verbindung mit der Einspannzone 8 und der Reinigungs/Trockenzone 14 angeordnet. Der Rahmen 24 und der hieran angebrachte Halbleiterwafer 20 werden in die Reinigungs/Trockenzone 14 durch das dritte Transportmittel 46 getragen. In der Reinigungs/Trockenzone 14 wird der Halbleiterwafer 20, der geschnitten worden ist, durch das (nicht gezeigte) Reinigungs/Trockenmittel gereinigt und getrocknet. Sodann werden der Rahmen 24 und der hieran angebrachte Halbleiterwafer 20 zu der Standby-Zone 6 durch das zweite Transportmittel 34 zurück gebracht und sodann in die Kassette 18 durch das erste Transportmittel 32 zurück gebracht.
In 3 sind die obere Wand des Gehäuses 2 und die Faltenbalgmittel 41, die an beiden Seiten des Einspannmittels 36 angeordnet sind, weggelassen und die unter diesen angeordneten Bestandteile sind veranschaulicht. Unter Bezugnahme auf 3 zusammen mit 1 wird erläutert, dass ein Stütz- bzw. Tragbrett bzw. -platte 48 innerhalb des Gehäuses 2 angeordnet ist. Ein Paar von sich in der X-Achsen-Richtung erstreckenden Führungsschienen 50 ist an der Stützplatte 48 befestigt und ein Gleitblock 52 ist an dem Paar der Führungsschienen 50 in der Weise befestigt, um in der X-Achsen-Richtung bewegbar zu sein. Ein sich in der X-Achsen-Richtung erstreckender, mit Gewinde versehener Schaft bzw. Welle 54 ist zwischen dem Paar von Führungsschienen 50 drehbar angebracht und eine Ausgangswelle eines Schrittmotors bzw. Schrittschaltmotors 56 ist mit der mit Gewinde versehenen Welle 54 verbunden. Der Gleitblock 52 weist einen (nicht gezeigten) herab hängenden Bereich, der sich abwärts erstreckt, auf und ein mit Innengewinde versehenes Loch, das sich als ein Durchgangsloch in der X-Achsen-Richtung erstreckt, ist in dem herab hängenden Bereich gebildet. Die mit Gewinde versehene Welle 54 ist in das mit Innengewinde versehene Loch geschraubt. Ein Stütz- bzw. Tragtisch 59 ist an dem Gleitblock 52 mittels eines zylindrischen Elements befestigt und das Einspannmittel 36 ist ebenfalls hieran angebracht. Folglich werden, wenn der Schrittmotor 56 in der normalen Richtung gedreht wird, der Stütztisch 59 und das Einspannmittel 36 in einer durch einen Pfeil 60 angegebenen Schneidrichtung bewegt. Wenn der Schrittmotor 56 in der umgekehrten Richtung gedreht wird, werden der Stütztisch 59 und das Einspannmittel 36 in einer durch einen Pfeil 62 angegebenen Rückwärtsrichtung bewegt. Die Einspannplatte 38 und das Paar von Greifmitteln 40, welche das Einspannmittel 36 bilden, sind in der Weise angeordnet, dass sie um eine mittlere Achse drehbar sind, die sich im Wesentlichen vertikal erstreckt. Ein (nicht gezeigter) Schrittmotor zum Drehen der Einspannplatte 38 und des Paares von Greifmitteln 40 ist innerhalb des zylindrischen Elements 58 angeordnet.
Ein Paar von sich in einer Y-Achsen-Richtung erstreckenden Führungsschienen 64 ist an der Stützplatte 48 befestigt und ein Gleitblock 66 ist an dem Paar der Führungsschienen 64 in der Weise angebracht, um in der Y-Achsen-Richtung bewegbar zu sein. Ein sich in der Y-Achsen-Richtung erstreckender, mit Gewinde versehener Schaft bzw. Welle 68 ist zwischen dem Paar von Führungsschienen 64 drehbar angebracht und eine Ausgangswelle des Schrittmotors 72 ist mit der mit Gewinde versehenen Welle 68 verbunden. Der Gleitblock 66 weist eine annähernde L-Gestalt auf und weist einen horizontalen Basisbereich 74 und einen aufrechten Bereich 76 auf, der sich von dem horizontalen Basisbereich 74 aufwärts erstreckt. Ein (nicht gezeigter) herab hängender Bereich, der sich nach abwärts erstreckt, ist in dem horizontalen Basisbereich 74 gebildet und ein mit Innengewinde versehenes Loch, das sich als ein Durchgangsloch in der Y-Achsen-Richtung erstreckt, ist in dem herab hängenden Bereich gebildet. Die mit Gewinde versehene Welle 68 ist in das mit Innengewinde versehene Loch geschraubt. Ein Paar von Führungsschienen 80 (nur das obere Ende einer der Führungsschienen 80 ist in 3 gezeigt), die sich in einer Z-Achsen-Richtung erstrecken, ist in dem aufrechten Bereich 76 des Gleitblocks 66 gebildet. Ein Verbindungsblock 82 ist an dem Paar der Führungsschienen 80 in der Weise angebracht, um in der Z-Achsen-Richtung bewegbar zu sein. Ein (nicht gezeigter) mit Gewinde versehener Schaft bzw. Welle, die sich in der Z-Achsen-Richtung erstreckt, ist an dem aufrechten Bereich 76 des Gleitblocks 66 drehbar angebracht und eine Ausgangswelle eines Schrittmotors 84 ist mit der mit Gewinde versehenen Welle verbunden. Ein (nicht gezeigter) Vorsprung, der in Richtung zu dem aufrechten Bereich 76 des Gleitblocks 66 vorsteht, ist in dem Verbindungsblock 82 gebildet und ein mit Innengewinde versehenes Loch, das sich als ein Durchgangsloch in der Z-Achsen-Richtung erstreckt, ist in dem Vorsprung gebildet. Die oben erwähnte, mit Gewinde versehene Welle, die sich in der Z-Achsen-Richtung erstreckt, ist in das mit Innengewinde versehene Loch geschraubt. Das vorher erwähnte Schneidmittel 44 ist an dem Verbindungsblock 82 angebracht. Das Schneidmittel 44 weist ein an dem Verbindungsblock 82 befestigtes Gehäuse 86 auf und eine drehbare bzw. drehbare Spindel 88 (4), die sich in der Y-Achsen-Richtung erstreckt, ist innerhalb des Gehäuses 86 drehbar angebracht. Ein drehbares bzw. Drehwerkzeug 90 ist an dem vorderen Endbereich der drehbaren Spindel 88 abnehmbar bzw. lösbar angebracht. Ein Kühlflüssigkeits-Ausspritz- bzw. Ausstoßmittel 92 zum Ausstoßen einer Kühlflüssigkeit, welche reines Wasser sein kann, ist an dem vorderen Ende des Gehäuses 86 angeordnet. Das Schneidmittel 44, das die drehbare Spindel 88 und das Drehwerkzeug 90 aufweist, wird in näheren Einzelheiten weiter unten beschrieben.
Wenn der Schrittmotor 72 in der normalen Richtung gedreht wird, wird der Gleitblock 66 in der Y-Achsen-Richtung vorwärts weiter geschaltet, wodurch das Drehwerkzeug 90 in der Y-Achsen-Richtung vorwärts weiter geschaltet wird. Wenn der Schrittmotor 72 in der umgekehrten Richtung gedreht wird, wird der Gleitblock 66 rückwärts in der Y-Achsen-Richtung weiter geschaltet, wodurch das Drehwerkzeug 90 rückwärts in der Y-Achsen-Richtung weiter geschaltet wird. Wenn der Schrittmotor 84 in der normalen Richtung gedreht wird, wird der Verbindungsblock 82 in der Z-Achsen-Richtung abgesenkt, wodurch das Drehwerkzeug 90 in der Z-Achsen-Richtung abgesenkt wird. Wenn der Schrittmotor 84 in der umgekehrten Richtung gedreht wird, wird der Verbindungsblock 82 in der Z-Achsen-Richtung angehoben, wodurch das Drehwerkzeug 90 in der Z-Achsen-Richtung angehoben wird.
Ein Stüz- bzw. Tragblock 94, der in der X-Achsen-Richtung vorsteht, ist an dem Gehäuse 86 befestigt und ein Mikroskop 96, welches das vorher erwähnte Ausrichtungsmittel 42 bildet, ist an dem Stützblock 94 angebracht. Wenn das Einspannmittel 36 in der Ausrichtungszone 10 angeordnet ist, ist das Einspannmittel 36 unterhalb des Mikroskops 96 angeordnet, woraufhin ein optisches Bild der Fläche des Halbleiterwafers 20, der an dem Einspannmittel 36 gehalten ist, an dem Mikroskop 96 einfällt. Das in das Mikroskop 96 eintretende, optische Bild wird durch (nicht gezeigte) Abbildungsmittel, die aus einer CCD gebildet sein können, für die erforderliche Bildverarbeitung aufgenommen bzw. empfangen. Bildsignale nach der Bildverarbeitung werden zu Steuer- bzw. Regelmitteln übertragen, wo die Bildsignale für Ausrichtung zwischen der Straße 28 des Halbleiterwafers 20 und dem Drehwerkzeug 90 des Schneidmittels 44 verwendet werden. Die Bildsignale werden ebenfalls zu einem Monitor 98 übertragen, der an dem Gehäuse 2 angeordnet ist, und an dem Monitor 98 angezeigt.
Unter Bezugnahme auf 4 wird erläutert, dass zwei radiale Luftlager 100 und 102 mit einem Abstand bzw. Entfernung in der axialen Richtung innerhalb des Gehäuses 86 des Schneidmittels 44 angeordnet sind und ein Axial- bzw. Axialdruck-Luftlager 104, das zwischen diesen radialen Luftlagern 100 und 102 angeordnet ist, ist innerhalb des Gehäuses 86 angeordnet. Ein Luftzufuhrkanal 106, der sowohl mit den radialen Luftlagern 100 und 102 als auch mit dem Axialdruck-Luftlager 104 in Verbindung steht, ist ebenfalls in dem Gehäuse 86 gebildet. Der Luftzufuhrkanal 106 ist mit einer Druckluftquelle 108 verbunden, so dass Druckluft zu den radialen Luftlagern 100 und 102 und zu dem Axialdruck-Luftlager 104 durch den Luftzufuhrkanal 106 zugeführt wird. Die drehbare Spindel 88 ist durch die radialen Luftlager 100 und 102 und das Axialdruck-Luftlager 104 drehbar angebracht. Ein ringförmiger Flansch 107, der durch das Axialdruck-Luftlager 104 getragen bzw. abgestützt ist, ist an der drehbaren Spindel 88 gebildet. Wegen der Abstützung des ringförmigen Flansches 107 durch das Axialdruck-Luftlager 104 wird die axiale Bewegung der drehbaren Spindel 88 eingeschränkt.
Eine Drehantriebsquelle 110 zum Drehen der drehbaren Spindel 88 mit einer hohen Drehzahl ist innerhalb des hinteren Endbereichs des Gehäuses 86 angeordnet. Die drehbare Antriebsquelle 110 bei der veranschaulichten Ausführungsform ist aus einem Elektromotor gebildet, der einen Rotor 112, der an einem hinteren Endbereich der drehbaren Spindel 88 angebracht ist, und einen Stator 114 aufweist, der um den Rotor 112 herum angeordnet ist. Der Rotor 112 ist aus einem Permanentmagneten gebildet, während der Stator 114 aus einer Spule gebildet ist.
Ein vorderer Endbereich der drehbaren Spindel 88 steht von dem Gehäuse 86 vor und das Drehwerkzeug 90 ist an diesem vorderen Endbereich mittels eines Anbringungsgeräts bzw. -werkzeugs 116 angebracht. In näheren Einzelheiten ist ein kegelförmiger bzw. sich verjüngender Bereich 118, der im Außendurchmesser in Richtung zu dem vorderen Ende (linkes Ende in 4) der drehbaren Spindel 88 graduell bzw. allmählich abnimmt, in dem vorderen Endbereich der drehbaren Spindel 88 angeordnet, welche aus einem geeigneten Metall, zum Beispiel aus einem nicht-rostendem Stahl gebildet sein kann. Ein mit Außengewinde versehener Bereich 120 ist vor dem sich verjüngendem Bereich 118 angeordnet. Der mit Außengewinde versehene Bereich 120 weist einen Außendurchmesser auf, der fast dem minimalen Außendurchmesser des sich verjüngendem Bereichs 118 entspricht, und es ist ein Außengewinde an der Außenumfangsfläche des mit Außengewinde versehenen Bereichs 120 gebildet. Ein Durchgangsloch 122, das im Innendurchmesser in Richtung zu dem vorderen Ende des Anbringungsgeräts 116 graduell bzw. allmählich abnimmt, ist in dem Anbringungsgerät 118 angeordnet, welches in ähnlicher Weise aus einem geeigneten Metall, zum Beispiel nicht-rostendem Stahl gebildet sein kann. Der Konus- bzw. Kegelwinkel des sich verjüngendem Bereichs 118, der in der drehbaren Spindel 88 angeordnet ist, und der Konus- bzw. Kegelwinkel des Durchgangslochs 122, das in dem Anbringungsgerät 116 angeordnet ist, sind so eingestellt, um im Wesentlichen gleich zu sein. Ein radial auswärts vorstehender Flansch 124 ist in einem inneren Bereich des Anbringungsgeräts 116 gebildet und ein nach vorne vorstehender, ringförmiger Vorsprung 126 ist an der vorderen Fläche des Außenumfangsrandbereichs des Flanschbereichs 124 gebildet. Die vordere Fläche des ringförmigen Vorsprungs 126 ist im Wesentlichen zu der mittleren Achse des Anbringungsgeräts 116 rechtwinklig. Ein Anbringungsbereich 128 und ein mit Außengewinde versehener Bereich 130 sind vor dem ringförmigen Vorsprung 126 angeordnet. Der Anbringungsbereich 128 weist eine zylindrische Außenumfangsfläche auf. Der mit Außengewinde versehene Bereich 130 weist beinahe den gleichen Außendurchmesser wie der Außendurchmesser des Anbringungsbereichs 128 auf und er weist ein Außengewinde auf, das an seiner Außenumfangsfläche gebildet ist. Ein nach vorne vorstehender, ringförmiger Vorsprung 132 ist an der vorderen Fläche des Anbringungsgeräts 116 gebildet und die vordere Endfläche des ringförmigen Vorsprungs 132 ist zu der mittleren Achse des Anbringungsgeräts 116 im Wesentlichen rechtwinklig. Wie in 4 gezeigt, ist das Durchgangsloch 122 des Anbringungsgeräts 116 über dem sich verjüngenden Bereich 118 der drehbaren Spindel 88 angebracht. Ein schraubbares bzw. Schraub- bzw. Gewindeelement, das heißt ein Mutterelement 134, ist an dem mit Außengewinde versehenen Bereich 120 der drehbaren Spindel 88 angebracht. Folglich wird eine Kraft, um das Anbringungsgerät 116 rückwärts (rechtswärts in 4) zu drängen, durch das Mutterelement 134 auf den ringförmigen Vorsprung 132 des Anbringungsgeräts 116 aufgebracht, wodurch das Durchgangsloch 122 des Anbringungsgeräts 116 in engen Kontakt mit dem sich verjüngenden Bereich 118 der drehbaren Spindel 88 gebracht wird. In Folge dessen ist das Anbringungsgerät 116 an der drehbaren Spindel 88 befestigt.
Unter weiterer Bezugnahme auf 4 wird erläutert, dass das Drehwerkzeug 90 bei der veranschaulichten Ausführungsform aus einer Nabe 136 und einer ringförmigen Schneidklinge bzw. -messer 138 besteht. Ein Durchgangsloch 140, welches im Wesentlichen den gleichen Innendurchmesser wie der Außendurchmesser des Anbringungsbereichs 128 des Anbringungsgeräts 116 aufweist, ist an einem mittleren Bereich der Nabe 136 gebildet, welche aus einem geeigneten Metall, zum Beispiel Aluminium gebildet sein kann. Ein ringförmiger Flansch 142 ist an dem hinteren Ende der Nabe 136 gebildet. Eine hintere Fläche der Nabe 136 (das heißt, die hintere Fläche des ringförmigen Flansches 142) und eine vordere Fläche der Nabe 136 erstrecken sich im Wesentlichen rechtwinklig zu der mittleren Achse der Nabe 136. Das ringförmige Schneidmesser 138 ist in der Form einer ringförmigen, dünnen Platte, deren innerer Umfangsbereich an einem äußeren Umfangsbereich der hinteren Fläche des ringförmigen Flansches 142 der Nabe 136 befestigt ist, und deren äußerer Umfangsbereich über den äußeren Umfangsrand des ringförmigen Flansches 136 hinaus vorsteht. Das ringförmige Schneidmesser 138 kann beispielsweise ein sogenanntes elektrogeformtes bzw. durch Galvanoformung bzw.
Elektroformung gebildetes Messer sein, das durch Dispergieren von Diamantkörnern in einem Galvanisierungsmetall, zum Beispiel Nickel, gebildet ist, um an dem ringförmigen Flansch 142 der Nabe 136 galvanisiert bzw. galvanisch beschichtet zu werden. Das somit ausgestaltete Drehwerkzeug 90, wie in 4 klar veranschaulicht, wird an dem Anbringungsbereich 128 des Anbringungsgeräts 116 angebracht, und sodann wird das Schraub- bzw. Gewindeelement, das heißt das Mutterelement 144, auf den mit Außengewinde versehenen Bereich 130 des Anbringungsgeräts 116 aufgeschraubt, wodurch das Drehwerkzeug 90 an dem Anbringungsgerät 116 abnehmbar angebracht ist. Das Mutterelement 144 weist eine hintere Fläche auf, die im Wesentlichen rechtwinklig zu dessen mittlerer Achse ist. Das Mutterelement 144 ist auf den mit Außengewinde versehenen Bereich 130 des Anbringungsbereichs 116 geschraubt, um das Drehwerkzeug 90 zwischen dem ringförmigen Vorsprung 126 des Anbringungsbereichs 116 und der hinteren Fläche des Mutterelements 144 anzuordnen, um hierdurch das Drehwerkzeug 90 an Ort und Stelle zu befestigen.
Bei der Bearbeitungsvorrichtung, die in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung ausgebildet ist, ist es wichtig, dass ein eine Drehung selektiv verhinderndes Mittel zum selektiven Verhindern der Drehung der drehbaren Spindel 88 angeordnet ist. Unter Bezugnahme auf die 5-A bis 5-C zusammen mit 4 weist ein eine Drehung selektiv verhinderndes Mittel, das insgesamt mit einer Ziffer 146 bezeichnet ist, wenigstens eine Stopp- bzw. Anschlag-Konkavität 148, die in einer Außenumfangsfläche der drehbaren Spindel 88 gebildet ist (vorzugsweise eine Mehrzahl von Anschlag-Konkavitäten 148, die mit gleichen Intervallen bzw.
Zwischenräumen in der Umfangsrichtung gebildet sind) und ein Stopp- bzw. Anschlagelement 150 auf, das mit der Anschlag-Konkavität 148 zusammenarbeitet. In näheren Einzelheiten sind bei der veranschaulichten Ausführungsform drei der Anschlag-Konkavitäten 148 mit gleichen Zwischenräumen in der Umfangsrichtung der Außenumfangsfläche der drehbaren Spindel 88 gebildet. Jede der Anschlag-Konkavitäten 148 kann im Querschnitt kreisförmig sein. Auf der anderen Seite ist ein Anpassungs- bzw. Unterbringungselement 152 an dem Gehäuse 86 angebracht. Dieses Unterbringungselement 152 ist durch Zusammenkoppeln bzw. -verbinden eines Basisbereichs 154 in der Form eines rechteckförmigen Parallelepipeds und eines vorstehenden Bereichs 156 in der Gestalt einer zylindrischen Säule, welche von der inneren Seitenfläche des Basisbereichs 154 vorsteht, durch ein geeignetes Mittel, zum Beispiel Verklebung bzw. Adhäsion, gebildet. Ein Durchgangsloch 158 mit einem Innendurchmesser, der dem Außendurchmesser des vorstehenden Bereichs 156 des Unterbringungselements 152 entspricht, ist in der Wand des Gehäuses 86 gebildet. Das Unterbringungselement 152 wird an dem Gehäuse 86 dadurch befestigt, dass der vorstehende Bereich 156 des Unterbringungselements 152 in das Durchgangsloch 158 des Gehäuses 86 eingesetzt wird und ein (nicht gezeigtes) geeignetes Befestigungsmittel, zum Beispiel eine Befestigungsschraube, angewendet wird. Ein Unterbringungsloch 160 ist in dem Unterbringungselement 152 gebildet. Das Unterbringungsloch 160 erstreckt sich von dem vorderen Ende des vorstehenden Bereichs 156 zu der Mitte in der Dickenrichtung des Basisbereichs 154. Die Querschnittsgestalt des Unterbringungslochs 160 kann kreisförmig sein. Die Öffnung an dem vorderen Ende des Unterbringungslochs 160 liegt der Außenumfangsfläche der drehbaren Spindel 88 gegenüber. Ein Vorsprung 162 ist an der Mitte der unteren Fläche des Unterbringungslochs 160 gebildet. Ein ringförmiger Vorsprung 164 ist an dem vorderen Ende des Unterbringungslochs 160 gebildet. Das Anschlagelement 150 weist einen zylindrischen Kopfbereich 166 mit einem verhältnismäßig großen Durchmesser und einen zylindrischen Schaftbereich 168 mit einem verhältnismäßig kleinen Durchmesser auf und ist in dem Unterbringungsloch 160 des Unterbringungselements 152 untergebracht. Ein elastisches Vorspannmittel 170, das aus einer zylindrischen Schraubendruckfeder besteht, ist ebenfalls in dem Unterbringungsloch 160 untergebracht. Das elastische Vorspannmittel 170 ist um den Schaftbereich 168 des Anschlagelements 150 herum angeordnet und ist zwischen dem ringförmigen Vorsprung 164 des Unterbringungslochs 160 und dem Kopfbereich 166 des Anschlagelements 150 dazwischen gesetzt. Folglich spannt das elastische Vorspannmittel 170 das Anschlagelement 150 in einer Richtung weg von der drehbaren Spindel 88 elastisch vor und, wie in 5-A gezeigt, spannt es das Anschlagelement 150 zu einer Nichtoperationsposition elastisch vor, wo der Kopfbereich 166 des Anschlagelements 150 den Vorsprung 162 berührt, der an der unteren Fläche des Unterbringungslochs 160 gebildet ist. Wenn das Anschlagelement 150 an der in 5-A gezeigten Nichtoperationsposition angeordnet ist, steht das Anschlagelement 150 von der Öffnung an dem vorderen Ende des Unterbringungslochs 160 nicht vor und seine wesentliche Gesamtheit ist in dem Unterbringungsloch 160 untergebracht.
Ein Luftzufuhrkanal 172, der mit einem hinteren Endbereich (rechter Endbereich in 5-A) des Unterbringungslochs 160 in Verbindung steht, ist ebenfalls in dem Basisbereich 154 des Unterbringungselements 152 gebildet. Der Luftzufuhrkanal 172 wird selektiv in Verbindung mit der Druckluftquelle 108 und der Atmosphäre mittels eines Wahlventils 174 gebracht. Wenn der Luftzufuhrkanal 172 in Verbindung mit der Atmosphäre ist, ist das Anschlagelement 150 an der in 5-A gezeigten Nichtoperationsposition mittels der elastischen Vorspannwirkung des elastischen Vorspannmittels 170 angeordnet. Wenn andererseits der Luftzufuhrkanal 172 in Verbindung mit der Druckluftquelle 108 gebracht ist, wird Druckluft zu dem hinteren Endbereich des Unterbringungslochs 160 durch den Luftzufuhrkanal 172 zugeführt und diese Druckluft wirkt auf das hintere Ende des Anschlagelements 150, wodurch das Anschlagelement 150 linkswärts in 5-A gegen die elastische Vorspannwirkung des elastischen Vorspannmittels 170 gezwungen bzw. getrieben wird. Wie in 5-B gezeigt, wird, wenn irgendeine der Anschlag-Konkavitäten 148, die in der drehbaren Spindel 88 gebildet sind, nicht in Ausrichtung mit dem freien Ende des Anschlagelements 150 ist, das freie Ende des durch die Druckluft gedrängten Anschlagelements 150 gegen die Außenumfangsfläche der drehbaren Spindel 88 gedrückt bzw. gepresst. Wenn die drehbare Spindel 88 etwas gedreht wird, um eine der Anschlag-Konkavitäten 148 in Ausrichtung mit dem freien Ende des Anschlagelements 150 zu bringen, wird das durch Druckluft gedrängte Anschlagelement 150 zu einer in 5-C gezeigten Operationsposition vorgeschoben, wodurch sein freies Ende mit dem Inneren der Anschlag-Konkavität 148 in Eingriff kommt. In Folge dessen wird die Drehung der drehbaren Spindel 88 verhindert. Wenn der Luftzufuhrkanal 172 in Verbindung mit der Atmosphäre gebracht ist, um Druckluft aus dem Unterbringungsloch 160 abzugeben, wird das Anschlagelement 150 zu der in 5-A gezeigten Nichtoperationsposition zurückgebracht. Folglich weicht das freie Ende des Anschlagelements 150 von der Anschlag-Konkavität 148 zurück, so dass die Drehung der drehbaren Spindel 88 erlaubt ist.
Unter weiterer Bezugnahme auf 5 zusammen mit 4 wird erläutert, dass, wenn die Drehantriebsquelle 110, die aus dem Elektromotor besteht, in dem oben beschriebenen Schneidmittel 44 entregt bzw. von der Stromquelle getrennt wird, sich die drehbare Spindel 88 in einem frei drehbaren Zustand befindet. Folglich ist es, wenn das Mutterelement 134, das zum Anbringen des Drehwerkzeugs 90 an der drehbaren Spindel 88 verwendet wird, an der drehbaren Spindel 88 anzubringen ist oder von der drehbaren Spindel 88 abzunehmen ist, oder, wenn das Mutterelement 144 an dem Anbringungsgerät 116 anzubringen oder von dem Anbringungsgerät 116 abzunehmen ist, erforderlich, die Drehung der drehbaren Spindel 88 zu verhindern und das Mutterelement 134 oder 144 in einer vorbestimmten Richtung zu drehen. Bei der entsprechend der vorliegenden Erfindung ausgebildeten Bearbeitungsmaschine kann die Drehung der drehbaren Spindel 88 einfach durch Betätigen des Wahlventils 174 verhindert werden, um den Luftzufuhrkanal 172 in Verbindung mit der Druckluftquelle 108 zu bringen. Wenn der Luftzufuhrkanal 172 in Verbindung mit der Druckluftquelle 108 gebracht ist, wird das Anschlagelement 150 linkswärts in 5-A gegen die elastische Vorspannwirkung des elastischen Vorspannmittels 170 gezwungen bzw. getrieben. Wenn eine der Anschlag-Konkavitäten 148 in Ausrichtung mit dem freien Ende des Anschlagelements 150 ist, wird das Anschlagelement 150 zu der in 5-C gezeigten Operationsposition bewegt, wodurch das freie Ende des Anschlagelements 150 mit der Anschlag-Konkavität 148 in Eingriff kommt. In Folge dessen wird die Drehung der drehbaren Spindel 88 verhindert. Wenn eine der Anschlag-Konkavitäten 148 aus der Ausrichtung mit dem freien Ende des Anschlagelements 150 heraus ist, wird die drehbare Spindel 88 etwas gedreht, bis eine der Anschlag-Konkavitäten 148 mit dem freien Ende des Anschlagelements 150 ausgerichtet ist. Nach einer gewissen Drehung der drehbaren Spindel 88 wird das freie Ende des Anschlagelements 150 in Eingriff mit der Anschlag-Konkavität 148 gebracht. Folglich wird die Drehung der drehbaren Spindel 88 verhindert.
Wie oben erwähnt, sind die bevorzugten Ausführungsformen der entsprechend der vorliegenden Erfindung ausgebildeten Bearbeitungsmaschine in Einzelheiten unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben worden. Jedoch versteht es sich, dass verschiedene Modifikationen und Änderungen bzw. Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne von dem Umfang und dem Gedanken der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
Bei den veranschaulichten Ausführungsformen wird beispielsweise das Anschlagelement 150 zu der Operationsposition durch Druckluft gedrängt. Statt dessen kann das Anschlagelement 150 zu der Operationsposition durch eine elektromagnetische Zylinderspule bzw. Solenoid oder ein anderes Betätigungsmittel gedrängt werden. Darüber hinaus kann, wenn erwünscht, ein geeigneter manueller Betätigungshebel angeordnet werden und das Anschlagelement 150 kann zu der Operationsposition mittels manueller Betätigung eines derartigen manuellen Betätigungshebels gedrängt werden. In diesem Falle ist es wünschenswert, an dem manuellen Betätigungshebel einen Verriegelungsmechanismus anzuhängen, welcher den manuellen Betätigungshebel in einem Zustand lösbar verriegeln kann, in dem das Anschlagelement 150 zu der Operationsposition gedrängt worden ist.
Darüber hinaus wird bei den veranschaulichten Ausführungsformen das Drehwerkzeug 90 mit dem an der Nabe 136 befestigten, ringförmigen Schneidmesser 138 verwendet. Jedoch können verschiedene Typen von Drehwerkzeugen verwendet werden, zum Beispiel ein Drehwerkzeug von dem Typ, der aus dem ringförmigen Schneidmesser allein besteht (ein derartiges Drehwerkzeug kann an der drehbaren Spindel 88 dadurch angebracht werden, dass das Drehwerkzeug zwischen dem Anbringungsgerät 116 und einem entsprechenden Greifelement gehalten wird).
Außerdem ist bei den veranschaulichten Ausführungsformen das Mutterelement 134 an das Außengewinde geschraubt, das in dem vorderen Endbereich der drehbaren Spindel 88 gebildet ist. Statt dessen ist es zulässig, ein Innengewindeloch in der vorderen Endfläche der drehbaren Spindel 88 zu bilden und ein Bolzen- bzw. Schraubbolzenelement in dieses Innengewindeloch zu schrauben, um hierdurch eine Kraft aufzubringen, welche das Anbringungsgerät 116 rückwärts von dem Kopf des Schraubbolzenelements zu der vorderen Fläche des Anbringungsgeräts 116 drängt.

Claims

Bearbeitungsvorrichtung, aufweisend: eine drehbare Spindel, die drehbar angebracht ist, eine Drehantriebsquelle zum drehbaren Antreiben der drehbaren Spindel, ein Drehwerkzeug, das an der drehbaren Spindel abnehmbar angebracht ist, und wenigstens ein Schraubelement, das an die drehbare Spindel angeschraubt ist, um das Drehwerkzeug an der drehbaren Spindel anzubringen, wobei ein eine Drehung selektiv verhinderndes Mittel für eine selektive Verhinderung der Drehung der drehbaren Spindel angeordnet ist.
Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher das eine Drehung selektiv verhindernde Mittel wenigstens eine Anschlagkonkavität bzw. -austiefung, die in einer Außenumfangsfläche der drehbaren Spindel gebildet ist, und ein Anschlagelement aufweist, um selektiv an einer Operationsposition, an der das Anschlagelement mit der Anschlagkonkavität in Eingriff kommt, und an einer Nichtoperationsposition angeordnet zu werden, an der das Anschlagelement von der Anschlagkonkavität zurückgeht bzw. zurückweicht.
Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 2, bei der eine Mehrzahl bzw. Vielzahl von Anschlagkonkavitäten an Intervallen bzw. Zwischenräumen in einer Umfangsrichtung gebildet ist.
Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, bei welcher das eine Drehung selektiv verhindernde Mittel ein Anpassungs- bzw. Unterbringungselement mit einem hierin gebildeten Anpassungs- bzw. Unterbringungsloch aufweist, das eine zu der Außenumfangsfläche der drehbaren Spindel gegenüberliegende bzw. entgegengesetzte Öffnung aufweist, wobei das Anschlagelement in dem Unterbringungsloch gleitbar bzw. verschiebbar aufgenommen bzw. untergebracht ist, und, wenn das Anschlagelement an der Operationsposition angeordnet ist, ein vorderer Endbereich von diesem teilweise von der Öffnung des Unterbringungslochs vorsteht, während, wenn das Anschlagelement an der Nichtoperationsposition angeordnet ist, eine wesentliche Gesamtheit von diesem in dem Unterbringungsloch untergebracht ist.
Bearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei der das eine Drehung selektiv verhindernde Mittel ein elastisches Vorspannungsmittel zum elastischen Vorspannen des Anschlagelements zu der Nichtoperationsposition und ein gezwungenes bzw. getriebenes Gleit- bzw. Schiebemittel zum selektiven Gleiten bzw. Schieben des Anschlagelements zu der Operationsposition gegen eine elastische Vorspannungsaktion bzw. -wirkung des elastischen Vorspannungsmittels aufweist.
Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 5, bei der das gezwungene Schiebemittel Druckluft dazu veranlasst, auf ein hinteres Ende des Anschlagelements einzuwirken.
Bearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei der das Drehwerkzeug eine ringförmige Schneidklinge bzw. -messer aufweist, welches Diamantkörner enthält.