JP2003203885A

JP2003203885A - 加工機

Info

Publication number: JP2003203885A
Application number: JP2002001331A
Authority: JP
Inventors: Kenji Masutani; 謙治升谷
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2002-01-08
Filing date: 2002-01-08
Publication date: 2003-07-18

Abstract

(57)【要約】【課題】回転スピンドル（８８）に切削工具（９０）
の如き回転工具が装着されている形態の切削機の如き加
工機において、スピンドルに対する回転工具の装着状態
を適切に検出することができるようになす。【解決手段】回転工具が回転せしめられる間の、回転
工具の所定面の状態を検出し、これによってスピンドル
に対する回転工具の装着状態を検出する検出手段（１４
４）を配設する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回転スピンドルと
このスピンドルに着脱自在に装着される切削工具の如き
回転工具とを具備する加工機に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体チップの製造においては、半導体
ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートによっ
て複数個の矩形領域が区画され、矩形領域の各々に半導
体回路が配設される。そして、ストリートに沿って半導
体ウエーハを切削することによって矩形領域を個々に分
離して半導体チップが生成される。ストリートに沿った
半導体ウエーハの切削には、ダイサーと称されている切
削機が使用されている。かかる切削機は高速回転せしめ
られるスピンドルとこのスピンドルに着脱自在に装着さ
れる切削工具を含んでいる。通常、スピンドルには装着
具が固定され、切削工具は装着具に着脱自在に装着され
る。切削工具は金属製ハブとこのハブに固定された環状
薄板形状の切削ブレードとから構成されている。切削ブ
レードは適宜の結合剤によって結合されたダイヤモンド
粒子を含有している。切削工具はそのハブをスピンドル
に固定された装着具に着脱自在に装着することによっ
て、スピンドルに着脱自在に装着される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】当業者には周知の如
く、上記ストリートに沿った半導体ウエーハの切削は著
しく精密に遂行されることが重要であり、従ってスピン
ドルに対する切削工具の装着も著しく精密に遂行される
ことが重要である。然るに、本発明者の経験によれば、
例えばスピンドルに装着された装着具と切削工具のハブ
との間に微細な埃乃至切削屑が挟み込まれることに起因
して、スピンドルの中心軸線に対して切削工具の中心軸
線が若干ではあるが傾斜し、従ってスピンドルの中心軸
線に対して垂直に延在すべきである切削工具の切削ブレ
ードがスピンドルの中心軸線に対して垂直から若干では
あるが傾斜してしまうことがある。切削工具のかかる傾
斜を修正することなく切削機を作動せしめて半導体ウエ
ーハの切削を遂行すると、ストリートに沿った切削にお
ける切削幅が過剰になり、そしてまた切削された半導体
チップの切削縁に許容し得ない欠けが生成されてしまう
傾向がある。

【０００４】本発明は上記事実に鑑みてなされたもので
あり、その主たる技術的課題は、切削機の如き加工機、
更に詳しくは回転スピンドルとこのスピンドルに着脱自
在に固定される切削工具の如き回転工具とを具備する加
工機にして、スピンドルに対する回転工具の装着が充分
精密に遂行されなかった場合に、かかる不備を検出する
ことができる検出手段が装備された加工機を提供するこ
とである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、上記主
たる技術的課題を達成するために、回転工具が回転させ
しめられる間の、回転工具の所定面の状態を検出し、こ
れによってスピンドルに対する回転工具の装着状態を検
出する検出手段を加工機に装備する。

【０００６】即ち、本発明によれば、上記主たる技術的
課題を達成する加工機として、回転スンドルと該スピン
ドルに着脱自在に装着された回転工具とを具備する加工
機において、該回転工具が回転せしめられる間の、該回
転工具の所定面の状態を検出し、これによって該スピン
ドルに対する該回転工具の装着状態を検出する検出手段
を含む、ことを特徴とする加工機が提供される。

【０００７】好ましくは、該回転工具の該所定面は該回
転工具の中心軸線に対して垂直に延在する垂直平面であ
り、該検出手段は該回転工具が回転せしめられる間の、
該垂直平面における複数箇所の、該スピンドルの中心軸
線方向位置を測定して該垂直平面の状態を検出する。該
検出手段は該回転工具の該垂直平面に対して該スピンド
ルの中心軸線方向に離隔して配置された非接触式検出ヘ
ッドを有する測長器を含むのが好適である。該検出手段
は、該回転工具の該垂直平面の該複数箇所の、該スピン
ドルの中心軸線方向位置間の最大変位長さを算出し、そ
してまた該最大変位長さが所定閾値を越えると警告信号
を生成するのが好ましい。好適実施形態においては、該
回転工具は金属製ハブと該ハブに固定された環状薄板形
状の切削ブレードとから構成され、該切削ブレードは結
合剤によって結合されたダイヤモンド粒子を含有する切
削工具であり、該垂直平面は該ハブの前面又は後面であ
る。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に従って構成された
加工機の好適実施形態を図示している添付図面を参照し
て更に詳述する。

【０００９】図１には、本発明に従って構成された加工
機の典型例である切削機が図示されている。図示の切削
機はハウジング２を具備しており、このハウジング２上
には装填域４、待機域６、チャッキング域８、アライメ
ント域１０、切削域１２並びに洗浄及び乾燥域１４が規
定されている。装填域４には昇降テーブル１６が配設さ
れており、この昇降テーブル１６上にはカセット１８が
装填される。このカセット１８内には上下方向に間隔を
おいて複数個の半導体ウエーハ２０（図２）が収納され
ている。

【００１０】図２に明確に図示する如く、カセット１８
に収納されている半導体ウエーハ２０は、装着テープ２
２を介してフレーム２４に装着されている。金属或いは
合成樹脂から形成することができるフレーム２４は中央
部に比較的大きな円形開口２６を有し、装着テープ２２
は円形開口２６を跨いで延在せしめられており、フレー
ム２４の裏面に貼着されている。半導体ウエーハ２０は
円形開口２６内に位置せしめられ、その裏面が装着テー
プ２２に貼着されている。半導体ウエーハ２０の表面に
はストリート２８が格子状に配列されており、かかるス
トリート２８によって複数個の矩形領域３０が区画され
ている。矩形領域３０の各々には半導体回路が配設され
ている。

【００１１】図１を参照して説明を続けると、装填域４
及び待機域６に関連せしめて第一の搬送手段３２が配設
されている。昇降テーブル１６の昇降に応じて第一の搬
送手段３２が作動せしめられ、切断すべき半導体ウエー
ハ２０が装着されているフレーム２４をカセット１８か
ら順次に待機域６に搬出する（そしてまた、後に更に言
及する如く、切断され、洗浄及び乾燥された半導体ウエ
ーハ２０が装着されているフレーム２４を待機域６から
カセット１８に搬入する）。待機域６、チャッキング域
８並びに洗浄及び乾燥域１４に関連せしめて第二の搬送
手段３４が配設されている。カセット１８から待機域６
に搬出されたフレーム２４は、第二の搬送手段３４によ
ってチャッキング域８に搬送される。チャッキング域８
においては、フレーム２４及びこれに装着された半導体
ウエーハ２０がチャック手段３６に保持される。更に詳
述すると、チャック手段３６は実質上水平な吸着表面を
有するチャック板３８を有し、このチャック板３８には
複数個の吸引孔乃至溝が形成されている。フレーム２４
に装着されている半導体ウエーハ２０はチャック板３８
上に載置され、チャック板３８上に真空吸着される。チ
ャック手段３６には一対の把持手段４０も配設されてお
り、フレーム２４はかかる一対の把持手段４０によって
把持される。

【００１２】後に更に言及する如く、チャック手段３６
は実質上水平である第一の方向即ちＸ軸方向に移動せし
められ、チャック手段３６に保持されている半導体ウエ
ーハ２０はチャック手段３６の移動に付随して移動せし
められて、アライメント域１０及び切削域１２に順次に
搬送せしめられる。図示の実施形態においては、Ｘ軸方
向に見てチャック手段３６の両側（即ち下流側及び上流
側）にはチャック手段３６の移動に応じて伸縮せしめら
れる蛇腹手段４１が配設されている。アライメント域１
０に関連せしめてアライメント手段４２が配設されてい
る。アライメント域１０においてはチャック手段３６上
に保持されている半導体ウエーハ２０の表面の画像が撮
像され、かかる画像に応じて半導体ウエーハ２０が所要
とおりに充分精密に位置付けられる。しかる後に、切削
域１２において、切削手段４４の作用によって半導体ウ
エーハ２０がストリート２８に沿って切削される。かか
る切削によって矩形領域３０が個々に分離されるが装着
テープ２２が切削されることはなく、従って個々に分離
された矩形領域３０は装着テープ２２を介してフレーム
２４に装着され続ける。アライメント手段４２及び切削
手段４４については、後に更に詳述する。

【００１３】切削域１２において半導体ウエーハ２０が
所要とおりに切削された後においては、チャック手段３
６がチャッキング域８に戻される。チャッキング域８並
びに洗浄及び乾燥域１４に関連せしめて第三の搬送手段
４６が配設されており、この第三の搬送手段４６によっ
てフレーム２４及びこれに装着されている半導体ウエー
ハ２０が洗浄及び乾燥域１４に搬入される。そして、洗
浄及び乾燥域１４においては、切削された半導体ウェー
ハ２０が洗浄及び乾燥手段（図示していない）によって
洗浄され、乾燥される。しかる後に、フレーム２４及び
これに装着されている半導体ウエーハ２０が第二の搬送
手段３４によって待機域６に戻され、次いで第一の搬送
手段３２によってカセット１８に戻される。

【００１４】図３においては、ハウジング２の上面壁及
びチャック手段３６の両側に配設されている蛇腹手段４
１を省略して、これらの下方に配設されている構成要素
を図示している。図１と共に図３を参照して説明する
と、ハウジング２内には支持基板４８が配設されてい
る。この支持基板４８上にはＸ軸方向に延びる一対の案
内レール５０が固定されており、かかる一対の案内レー
ル５０上には滑動ブロック５２がＸ軸方向に移動自在に
装着されている。一対の案内レール５０間にはＸ軸方向
に延びるねじ軸５４が回転自在に装着されており、かか
るねじ軸５４にはパルスモータ５６の出力軸が連結され
ている。滑動ブロック５２は下方に垂下する垂下部（図
示していない）を有し、かかる垂下部にはＸ軸方向に貫
通して延びる雌ねじ孔が形成されており、かかる雌ねじ
孔にねじ軸５４が螺合せしめられている。滑動ブロック
５２には円筒部材５８を介して支持テーブル５９が固定
されていると共に、チャック手段３６が装着されてい
る。従って、パルスモータ５６が正転せしめられると、
支持テーブル５９及びチャック手段３６が矢印６０で示
す切削方向に移動せしめられ、パルスモータ５６が逆転
せしめられると、支持テーブル５９及びチャック手段３
６が矢印６２で示す戻り方向に移動せしめられる。チャ
ック手段３６を構成するチャック板３８及び一対の把持
手段４０は実質上鉛直に延びる中心軸線を中心として回
転自在に装着されており、円筒部材５８内にはチャック
板３８及び一対の把持手段４０を回転せしめるためのパ
ルスモータ（図示していない）が配設されている。

【００１５】支持基板４８にはＹ軸方向に延びる一対の
案内レール６４も固定されており、かかる一対の案内レ
ール６４上には滑動ブロック６６がＹ軸方向に移動自在
に装着されている。一対の案内レール６４間にはＹ軸方
向に延びるねじ軸６８が回転自在に装着されており、か
かるねじ軸６８にはパルスモータ７２の出力軸が連結さ
れている。滑動ブロック６６は略Ｌ字形状であり、水平
基部７４とこの水平基部７４から上方に延びる直立部７
６とを有する。水平基部７４には下方に垂下する垂下部
（図示していない）が形成されており、かかる垂下部に
はＹ軸方向に貫通して延びる雌ねじ孔が形成され、かか
る雌ねじ孔にねじ軸６８が螺合せしめられている。滑動
ブロック６６の直立部７６にはＺ軸方向に延びる一対の
案内レール８０（図３には一方の案内レール８０の上端
のみを図示している）が形成されている。そして、この
一対の案内レール８０には連結ブロック８２がＺ軸方向
に移動自在に装着されている。滑動ブロック６６の直立
部７６にはＺ軸方向に延びるねじ軸（図示していない）
が回転自在に装着されており、このねじ軸にはパルスモ
ータ８４の出力軸が連結されている。連結ブロック８２
には滑動ブロック６６の直立部７６に向けて突出せしめ
られた突出部（図示していない）が形成されており、か
かる突出部にはＺ軸方向に貫通して延びる雌ねじ孔が形
成されており、かかる雌ねじ孔にＺ軸方向に延びる上記
ねじ軸が螺合せしめられている。連結ブロック８２には
上述した切削手段４４が装着されている。切削手段４４
は連結ブロック８２に固定されたケーシンジ８６を有
し、かかるケーシンジ８６内にはＹ軸方向に延びる回転
スピンドル８８（図４）が回転自在に装着され、そして
かかる回転スピンドル８８の先端部に回転工具即ち切削
工具９０が着脱自在に装着されている。切削工具９０自
体及び回転スピンドル８８に対する切削工具９０の装着
様式については後に更に言及する。ケーシング８６内に
は回転スピンドル８８を高速回転せしめるためのモータ
（図示していない）も配設されている。ケーシング８６
の先端には、純水でよい冷却液を噴射するための冷却液
噴射手段９２も配設されている。

【００１６】パルスモータ７２が正転せしめられると滑
動ブロック６６がＹ軸方向に割出移動せしめられ、これ
によって切削工具９０がＹ軸方向前方に割出移動せしめ
られる。パルスモータ７２が逆転せしめられると滑動ブ
ロック６６がＹ軸方向後方に割出移動せしめられ、これ
によって切削工具９０がＹ軸方向後方に割出移動せしめ
られる。パルスモータ８４が正転せしめられると、連結
ブロック８２がＺ軸方向に下降せしめられ、これによっ
て切削工具９０がＺ軸方向に下降せしめられる。パルス
モータ８４が逆転せしめられると、連結ブロック８２が
Ｚ軸方向に上昇せしめられ、これによって切削工具９０
がＺ軸方向に上昇せしめられる。

【００１７】上記ケーシング８６にはＸ軸方向に突出す
る支持ブロック９４も固定されており、この支持ブロッ
ク９４には上記アライメント手段４２を構成する顕微鏡
９６が装着されている。チャック手段３６がアライメン
ト域１０に位置せしめられると、チャック手段３６は顕
微鏡９６の下方に位置し、チャック手段３６上に保持さ
れている半導体ウエーハ２０の表面の光像が顕微鏡９６
に入射される。顕微鏡９６に入射した光像はＣＣＤから
構成することができる撮像手段（図示していない）によ
って撮像され、所要画像処理される。画像処理された画
像信号は制御手段に送信されて半導体ウエーハ２０のス
トリート２８と切削手段４４における切削工具９０との
アライメントに利用される。画像信号はハウジング２に
配設されているモニター９８にも送信されてモニター９
８上に表示される。

【００１８】而して、図示の切削機における上述したと
おりの構成は当業者には周知の形態でよく、従ってこれ
らの構成についての詳細な説明は本明細書においては省
略する。

【００１９】図４を参照して説明を続けると、上記ケー
シング８６（図３）に回転自在に装着されている上記回
転スピンドル８８の先端部はケーシング８６から突出せ
しめられており、かかる先端部に装着具１００を介して
回転工具即ち切削工具９０が装着されている。詳述する
と、ステンレス鋼の如き適宜の金属から形成することが
できるスピンドル８８の先端部には先端（図４において
左端）に向かって外径が漸次低減せしめられたテーパ部
１０２が配設され、そして更にテーパ部１０２よりも先
端側には雄螺条部１０４が配設されている。雄螺条部１
０４はテーパ部１０２の最小外径に略対応した外径を有
し、雄螺条部１０６の外周面には雄螺条が形成されてい
る。同様にステンレス鋼の如き適宜の金属から形成する
ことができる装着具１００には先端に向かって内径が漸
次低減せしめられた貫通テーパ穴１０６が配設されてい
る。スピンドル８８に配設されているテーパ部１０２の
テーパ角度と装着具１００に配設されているテーパ穴１
０６のテーパ角度とは実質上同一に設定されている。装
着具１００の後部には半径方向外方に突出するフランジ
部１０８が形成されており、かかるフランジ部１０８の
外周縁部前面には前方に突出せしめられた環状突起が形
成されており、その前面には装着具１００の中心軸線に
対して実質上垂直である環状支持面１１０が形成されて
いる。環状支持面１１０の前側には装着部１１２と雄螺
条部１１４とが配設されている。装着部１１２は円筒形
状の外周面を有する。雄螺条部１１４は装着部１１２の
外径と略上同一の外径を有し、その外周面には雄螺条が
形成されている。装着具１００の前部の内径は上記テー
パ穴１０６の先端の内径よりも大きくテーパ穴１０６の
後端の内径と略同一にせしめられており、装着具１００
の前面には装着具１１０の中心軸線に対して垂直である
環状受面１１６が形成されている。図４に図示する如
く、装着具１００の貫通テーパ穴１０６がスピンドル８
８のテーパ部１０２に組み合わされる。そして、スピン
ドル８８の雄螺条部１０２に固定ナット１１８が装着さ
れ、固定ナット１１８から装着具１００に装着具１００
を後方（図４において右方）に強制する力が加えられ、
これによってスピンドル８８のテーパ部１０２に装着具
１００のテーパ穴１０６が密着され、スピンドル８８に
装着具１００が固定される。

【００２０】図４を参照して説明を続けると、図示の実
施形態における切削工具９０はハブ１２４と切削ブレー
ド１２６とから形成されている。アルミニウムの如き適
宜の金属から形成することができるハブ１２４の中央部
には、装着具１００の装着部１１２の外径と実質上同一
の内径を有する貫通穴１２８が形成されている。ハブ１
２４の後端には環状フランジ１３０が形成されている。
ハブ１２４の後面１３２（即ち環状フランジ１３０の後
面１３２）及び前面１３４は共にハブ１２４の中心軸線
に対して実質上垂直に延びている。切削ブレード１２６
は環状薄板形状であり、その内周部がハブ１２４の環状
フランジ１３０の後面外周部に固定されており、その外
周部は環状フランジ１３０の外周縁を越えて突出せしめ
られている。切削ブレード１２６は、例えばハブ１２４
の環状フランジ１３０上に電気メッキされるニッケルの
如き電着金属中にダイヤモンド粒子が分散せしめられた
所謂電鋳ブレードでよい。かような切削工具９０は、図
４に明確に図示する如く、装着具１００の装着部１１２
に被嵌し、次いで装着具１００の雄螺条部１１４に固定
ナット１３６を螺合することによって装着具１００に着
脱自在に装着される。固定ナット１３６は中心軸線に対
して実質上垂直である後面１４０を有する。固定ナット
１３６を装着具１００の雄螺条部１１４に螺合し、装着
部１００の環状支持面１１０と固定ナット１３６の後面
１４０との間に切削工具９０を挟持することによって切
削工具９０が所定位置に装着される。

【００２１】而して、本発明に従って構成された切削機
においては、切削工具９０の所定面の状態を検出し、こ
れによってスピンドル８８に対する切削工具９０の装着
状態を検出する検出手段１４４（図４と共に図３も参照
されたい）が配設されていることが重要である。図示の
実施形態における検出手段１４４は、上記支持テーブル
５９の上面に固定されたケーシング１４６とこのケーシ
ング１４６に固定されケーシング１４６からＹ軸方向後
方に実質上水平に突出せしめられている非接触式検出ヘ
ッド１４８を含む測長器から構成されている。非接触式
検出ヘッド１４４を含む測長器は精密測長器であること
が重要であり、好適に使用し得る測長器としては、レー
ザ光を利用した変調光式或いはドプラービート式の測長
器、渦電流を利用した渦電流式測長器を挙げることがで
きる。例えば切削機の運転開始時に、実際に半導体ウエ
ーハ２０の切削を開始するのに先立って、切削工具９０
の装着状態を検出する検出工程が遂行される。この検出
工程においては、図４に図示する如く、切削工具９０の
ハブ１２４の前面１３４が非接触式検出ヘッド１４８に
対向して位置せしめられる。換言すれば、非接触式検出
ヘッド１４８が切削工具９０におけるハブ１２４の前面
１３４に対してスピンドル８８の中心軸線方向に所要距
離だけ離隔せしめられた状態が確立される。そして、ス
ピンドル８８が回転せしめられ、スピンドル８８が回転
せしめされている間に、測長器に接続されたパルス発信
器１５０が発生するパルスに応じて非接触式検出ヘッド
１４８が作動せしめられ、非接触式検出ヘッド１４８と
切削工具９０におけるハブ１２４の前面１３４との間の
距離、換言すれば切削工具９０におけるハブ１２４の前
面の、スピンドル８８の中心軸線方向位置、が測定され
る。パルス発信器１５０が発生するパルス間隔は、例え
ば切削工具９０が１回転するのに要する時間の１／４に
設定される。従って、切削工具９０におけるハブ１２４
の前面１３４の、周方向に間隔をおいた４個の測定点に
て、非接触式検出ヘッド１４８と切削工具９０における
ハブ１２４の前面１３４との間の距離が測定される。

【００２２】図４と共に検出工程のフローチャートであ
る図５を参照して説明すると、ステップｎ−１において
はパルス発信器１５０が発生するパルスに応じて測長が
遂行される。検出手段１４４には適宜の演算回路（図示
していない）も付設されており、ステップｎ−２におい
ては測長値の最大値が保持され、ステップｎ−３におい
ては測長値の最小値が保持される。ステップｎ−４にお
いては最大値と最小値の差（従って切削工具９０におけ
るハブ１２４の前面１３４の、測定される複数箇所の、
スピンドル８８の中心軸線方向位置の最大変位長さ）が
所定閾値以下か否かが判断される。スピンドル８８に充
分精密に切削工具９０が装着されている場合には、切削
工具９０におけるハブ１２４の前面１３４はスピンドル
８８の中心軸線に対して充分精密に垂直であり、従って
上記最大値と上記最小値との差は、例えば１μｍである
閾値以下である。しかしながら、回転スピンドル８８に
装着された装着具１００と切削工具９０のハブ１２４と
の間に埃或いは切削屑が挟み込まれたりすると、切削工
具９０の装着精度が不充分になり、ハブ１２４の前面１
３４がスピンドル９０の中心軸線に対して若干ではある
が傾斜し、これに起因して上記最大値と上記最小値との
差が閾値を越えてしまう。ステップｎ−４にて差が閾値
以下である場合にはステップｎ−５に進み、ステップｎ
−５においては例えば４回でよい所定回数の測長が遂行
されたか否かが判断される。所定回数の測長が遂行され
ていない場合にはステップｎ−１に戻る。所定回数の測
長が遂行された場合には、切削工具９０が充分精密に装
着されていることが確認されたことになり、実際の切削
工程に進むことが許容される。一方、上記ステップｎ−
４において差が閾値を越えた場合には、ステップｎ−６
に進み、警告信号が生成される。この警告信号が生成さ
れると、例えば警告ブザー及び／又は警告ランプが付勢
され、切削工具９０の装着が不充分であることが操作者
に警告される。この場合には、切削工程に進むことな
く、切削工具９０を再度装着する。

【００２３】切削工具９０におけるハブ１２４の前面１
３４の状態を検出、即ちハブ１２４の前面１３４がスピ
ンドル８８の中心軸線に対して充分精密に垂直であるか
否かを検出することに代えて、例えば、図４に二点鎖線
で図示する如く、スピンドル８８が装着されている上記
ケーシング８６に、検出手段１４４を構成する測長器の
ケーシング１４６を固定し、検出工程の際には非接触検
出ヘッド１４４を切削工具９０におけるハブ１２４の後
面１３２に対向して位置せしめ、かくしてスピンドル８
８の中心軸線に対してハブ１２４の後面１３２が充分精
密に垂直であるか否かを検出することもできる。切削工
具９０におけるハブ１２４の前面１３４或いは後面１３
２に代えて、切削ブレード１２６の前面或いは後面がス
ピンドル８８の中心軸線に対して充分精密に垂直である
か否かを検出することも意図され得るが、切削ブレード
１２６の前面或いは後面には分散せしめられているダイ
ヤモンド砥粒に起因して若干の凹凸（通常、かかる凹凸
は１μｍよりも大きい）が存在する故に、切削ブレード
１２６の前面或いは後面ではなくて、ハブ１２６の前面
１３４或いは後面１３２を検出するのが望ましい。

【００２４】

【発明の効果】本発明の加工機においては、スピンドル
に対する回転工具の装着が充分精密に遂行されなかった
場合には、実際に所要加工を遂行する前に、検出手段に
よってかかる不備を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従って構成された加工機の好適実施形
態である切削機の全体を示す簡略斜面図。

【図２】図２の切削機において切削される半導体ウエー
ハを、装着テープを介してフレームに装着された状態で
示す斜面図。

【図３】図１の切削機における主要構成要素を示す斜面
図。

【図４】図１の切削機における、スピンドルに対する切
削工具の装着様式と共に検出手段を簡略に図示する断面
図。

【図５】図１の切削機において遂行される、切削工具の
装着状態を検出するための検出工程の典型例を示すフロ
ーチャート。

【符号の説明】

８８：回転スピンドル９０：切削工具（回転工具）１２４：切削工具のハブ１２６：切削工具の切削ブレード１３２：ハブの後面１３４：ハブの前面１４４：検出手段１４８：非接触検出ヘッド１５０：パルス発信器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転スンドルと該スピンドルに着脱自在
に装着された回転工具とを具備する加工機において、該回転工具が回転せしめられる間の、該回転工具の所定
面の状態を検出し、これによって該スピンドルに対する
該回転工具の装着状態を検出する検出手段を含む、こと
を特徴とする加工機。
【請求項２】該回転工具の該所定面は該回転工具の中
心軸線に対して垂直に延在する垂直平面であり、該検出
手段は該回転工具が回転せしめられる間の、該垂直平面
における複数箇所の、該スピンドルの中心軸線方向位置
を測定して該垂直平面の状態を検出する、請求項１記載
の加工機。
【請求項３】該検出手段は該回転工具の該垂直平面に
対して該スピンドルの中心軸線方向に離隔して配置され
た非接触式検出ヘッドを有する測長器を含む、請求項２
記載の加工機。
【請求項４】該検出手段は、該回転工具の該垂直平面
の該複数箇所の、該スピンドルの中心軸線方向位置間の
最大変位長さを算出する、請求項２又は３記載の加工
機。
【請求項５】該検出手段は、該最大変位長さが所定閾
値を越えると警告信号を生成する、請求項４記載の加工
機。
【請求項６】該回転工具は金属製ハブと該ハブに固定
された環状薄板形状の切削ブレードとから構成され、該
切削ブレードは結合剤によって結合されたダイヤモンド
粒子を含有する切削工具であり、該垂直平面は該ハブの
前面又は後面である、請求項１から５までのいずれかに
記載の加工機。