JP2016122673A - 切断装置及び切断方法 - Google Patents
切断装置及び切断方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016122673A JP2016122673A JP2014259909A JP2014259909A JP2016122673A JP 2016122673 A JP2016122673 A JP 2016122673A JP 2014259909 A JP2014259909 A JP 2014259909A JP 2014259909 A JP2014259909 A JP 2014259909A JP 2016122673 A JP2016122673 A JP 2016122673A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- rotary blade
- displacement
- displacement sensor
- cutting device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/782—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, each consisting of a single circuit element
Abstract
Description
2 スピンドル本体部
3 回転軸
4 回転刃
5 テーパ部(所定領域)
6 フランジ(固定部材)
7 変位センサ(測定手段)
8 センサコイル
9 センサ部
10 変換器
11 同軸ケーブル
12 高周波磁界
13 渦電流
14 出力特性
15 電圧波形の振幅
16a、16b フランジ(固定部材)
16c、16d、16e、16f 外周部端(所定領域)
17 取付板
17a 縦棒に相当する部分
17b 横棒に相当する部分
18 切断装置
19 基板供給機構
20 封止済基板(被切断物)
21 切断用テーブル(テーブル)
22 移動機構
23 回転機構
24 検査用テーブル
25 切断済基板
26 トレイ
d0、dX、d1、d2 変位センサの先端部からテーパ部までの測定距離
L0、LX スピンドル本体の先端部から回転刃の厚さ方向における中心線までの距離
α 固定値
V1、V2、V3 出力電圧
A 基板供給ユニット
B 基板切断ユニット
C 検査ユニット
CTL 制御部
P 製品
Claims (18)
- 被切断物が載置されるテーブルと、前記被切断物を切断する切断機構と、前記テーブルと前記切断機構とを相対的に移動させる移動機構とを備え、前記被切断物を切断線に沿って切断することによって個片化する際に使用される切断装置であって、
前記切断機構に設けられた回転軸と、
前記回転軸の先端部に取り付けられた回転刃と、
前記回転刃の両側の側面においてそれぞれ設けられ前記回転刃を挟んで固定する2個の固定部材と、
前記固定部材の所定領域に向かうようにして前記切断機構に設けられた測定手段とを備え、
前記測定手段が前記固定部材の所定領域における変位を検出することによって、前記回転刃が変位した変位量が測定され、
前記変位量は、前記回転刃が前記回転軸の軸方向に沿って変位することに起因する第1の変位量と、前記回転刃が前記回転軸の径方向に沿って変位することに起因する第2の変位量とを含むことを特徴とする切断装置。 - 請求項1に記載された切断装置において、
前記第1の変位量に基づいて前記回転刃と前記被切断物との相対的な位置関係が補正されることによって、前記回転刃の位置と前記切断線の位置とが合わせられることを特徴とする切断装置。 - 請求項1に記載された切断装置において、
前記第2の変位量に基づいて前記回転刃の振動に関する特性が測定されることを特徴とする切断装置。 - 請求項1に記載された切断装置において、
前記所定領域は中心側の厚さと周辺側の厚さとが異なるように形成されたテーパ部を有することを特徴とする切断装置。 - 請求項1に記載された切断装置において、
前記所定領域は前記固定部材の外周部において前記回転刃の面に対して垂直に形成された端部を含むことを特徴とする切断装置。 - 請求項1に記載された切断装置において、
前記所定領域は導電性を有する物質からなることを特徴とする切断装置。 - 請求項6に記載された切断装置において、
前記測定手段は渦電流式変位センサを含むことを特徴とする切断装置。 - 請求項1〜7のいずれかに記載された切断装置において、
前記被切断物は封止済基板であることを特徴とする切断装置。 - 請求項1〜7のいずれかに記載された切断装置において、
前記被切断物は、複数の領域にそれぞれ対応する機能素子が作りこまれた基板であることを特徴とする切断装置。 - テーブルに被切断物を載置する工程と、前記テーブルと回転刃を有する切断機構とを相対的に移動させる工程と、前記テーブルと前記切断機構とを相対的に移動させることによって前記切断機構を使用して前記被切断物を切断線に沿って切断する工程とを備えた切断方法であって、
前記切断機構に設けられた回転軸の先端部において、前記回転刃の両側の側面に設けられた2個の固定部材によって固定された前記回転刃を回転させる工程と、
前記固定部材の所定領域に前記切断機構に設けられた測定手段を対向させる工程と、
前記測定手段が前記固定部材の所定領域における変位を検出することによって、前記回転刃が変位した変位量を測定する工程とを備え、
前記変位量を測定する工程は、前記回転刃が前記回転軸の軸方向に沿って変位することに起因する第1の変位量を測定する工程と、前記回転刃が前記回転軸の径方向に沿って変位することに起因する第2の変位量を測定する工程とを含むことを特徴とする切断方法。 - 請求項10に記載された切断方法において、
前記第1の変位量に基づいて前記回転刃と前記被切断物との相対的な位置関係を補正することによって、前記回転刃の位置と前記切断線の位置とを合わせる工程を備えることを特徴とする切断方法。 - 請求項10に記載された切断方法において、
前記第2の変位量に基づいて前記回転刃の振動の振幅に関する特性を測定する工程を備えることを特徴とする切断方法。 - 請求項10に記載された切断方法において、
前記所定領域は中心側の厚さと周辺側の厚さとが異なるように形成されたテーパ部を有することを特徴とする切断方法。 - 請求項10に記載された切断方法において、
前記所定領域は前記固定部材の外周部において前記回転刃の面に対して垂直に形成された端部を含むことを特徴とする切断方法。 - 請求項10に記載された切断方法において、
前記所定領域は導電性を有する物質からなることを特徴とする切断方法。 - 請求項15に記載された切断方法において、
前記測定手段は渦電流式変位センサを含むことを特徴とする切断方法。 - 請求項10〜16のいずれかに記載された切断方法において、
前記被切断物は封止済基板であることを特徴とする切断方法。 - 請求項10〜16のいずれかに記載された切断方法において、
前記被切断物は、複数の領域にそれぞれ対応する機能素子が作りこまれた基板であることを特徴とする切断方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014259909A JP6235453B2 (ja) | 2014-12-24 | 2014-12-24 | 切断装置及び切断方法 |
CN201510726801.0A CN105742245B (zh) | 2014-12-24 | 2015-10-30 | 切断装置以及切断方法 |
TW104135969A TWI602641B (zh) | 2014-12-24 | 2015-11-02 | Cutting device and cutting method |
KR1020150153623A KR101749422B1 (ko) | 2014-12-24 | 2015-11-03 | 절단 장치 및 절단 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014259909A JP6235453B2 (ja) | 2014-12-24 | 2014-12-24 | 切断装置及び切断方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016122673A true JP2016122673A (ja) | 2016-07-07 |
JP6235453B2 JP6235453B2 (ja) | 2017-11-22 |
Family
ID=56295989
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014259909A Active JP6235453B2 (ja) | 2014-12-24 | 2014-12-24 | 切断装置及び切断方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6235453B2 (ja) |
KR (1) | KR101749422B1 (ja) |
CN (1) | CN105742245B (ja) |
TW (1) | TWI602641B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019115961A (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-18 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
TWI690385B (zh) * | 2019-06-28 | 2020-04-11 | 鼎朋企業股份有限公司 | 具隨意偏心軌道運動速度檢測的研磨工具機 |
KR20210036490A (ko) * | 2019-09-26 | 2021-04-05 | 한국광기술원 | 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하기 위한 다이싱 블레이드 및 이를 이용한 웨이퍼 렌즈 어레이 다이싱 장치 및 방법 |
CN113838775A (zh) * | 2020-06-24 | 2021-12-24 | Towa株式会社 | 切割装置以及切割品的制造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6846657B2 (ja) * | 2017-01-20 | 2021-03-24 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030060022A1 (en) * | 2001-08-24 | 2003-03-27 | Peng Neo Chee | Method for cutting semiconductor wafers |
JP2003203885A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工機 |
JP2005224926A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレード装着装置,切削装置 |
JP2009206362A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物の切削方法 |
JP2010076065A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置及び切削ブレードの回転バランス調整方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06310596A (ja) | 1993-04-23 | 1994-11-04 | Seiko Seiki Co Ltd | ダイシング装置 |
JP3049464B2 (ja) * | 1993-11-26 | 2000-06-05 | セイコー精機株式会社 | ダイシング装置 |
ITMI20041269A1 (it) * | 2004-06-24 | 2004-09-24 | Paper Converting Machine Co | Sistema di controllo della lama di taglio particolarmente per macchine troncatrici per il taglio di log di materiale in foglio |
JP4549818B2 (ja) * | 2004-11-10 | 2010-09-22 | 株式会社ディスコ | 振幅測定方法 |
JP4311686B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2009-08-12 | 日立ビアメカニクス株式会社 | プリント基板の加工方法 |
CN202278449U (zh) * | 2011-08-16 | 2012-06-20 | 北京工业大学 | 机床结合部对刀尖点位移量的测试装置 |
JP5643729B2 (ja) * | 2011-09-02 | 2014-12-17 | Towa株式会社 | エアースピンドルユニットにおけるスピンドルのロック装置 |
CN102554780A (zh) * | 2012-02-17 | 2012-07-11 | 上海理工大学 | 金属结合剂砂轮磨削径向跳动的测量装置 |
-
2014
- 2014-12-24 JP JP2014259909A patent/JP6235453B2/ja active Active
-
2015
- 2015-10-30 CN CN201510726801.0A patent/CN105742245B/zh active Active
- 2015-11-02 TW TW104135969A patent/TWI602641B/zh active
- 2015-11-03 KR KR1020150153623A patent/KR101749422B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030060022A1 (en) * | 2001-08-24 | 2003-03-27 | Peng Neo Chee | Method for cutting semiconductor wafers |
JP2003203885A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工機 |
JP2005224926A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレード装着装置,切削装置 |
JP2009206362A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物の切削方法 |
JP2010076065A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置及び切削ブレードの回転バランス調整方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019115961A (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-18 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP7051205B2 (ja) | 2017-12-27 | 2022-04-11 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
TWI690385B (zh) * | 2019-06-28 | 2020-04-11 | 鼎朋企業股份有限公司 | 具隨意偏心軌道運動速度檢測的研磨工具機 |
KR20210036490A (ko) * | 2019-09-26 | 2021-04-05 | 한국광기술원 | 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하기 위한 다이싱 블레이드 및 이를 이용한 웨이퍼 렌즈 어레이 다이싱 장치 및 방법 |
KR102279726B1 (ko) | 2019-09-26 | 2021-07-20 | 한국광기술원 | 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하기 위한 다이싱 블레이드 및 이를 이용한 웨이퍼 렌즈 어레이 다이싱 장치 및 방법 |
CN113838775A (zh) * | 2020-06-24 | 2021-12-24 | Towa株式会社 | 切割装置以及切割品的制造方法 |
CN113838775B (zh) * | 2020-06-24 | 2024-01-30 | Towa株式会社 | 切割装置以及切割品的制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20160078227A (ko) | 2016-07-04 |
KR101749422B1 (ko) | 2017-06-20 |
JP6235453B2 (ja) | 2017-11-22 |
TW201622879A (zh) | 2016-07-01 |
CN105742245B (zh) | 2018-12-07 |
TWI602641B (zh) | 2017-10-21 |
CN105742245A (zh) | 2016-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6235453B2 (ja) | 切断装置及び切断方法 | |
JP2896746B2 (ja) | 半導体ウエハを研削するための回転研削盤用ワークホルダ及び該ワークホルダを位置決めするための方法 | |
US10821568B2 (en) | Method and device for determining a vibration amplitude of a tool | |
JP6444717B2 (ja) | 切断装置及び切断方法 | |
KR102644406B1 (ko) | 가공 장치 | |
JP4915823B2 (ja) | 超音波接合装置 | |
JP6143668B2 (ja) | 電子部品製造用の切断装置及び切断方法 | |
JP2007155725A (ja) | ホイールの摩耗測定装置及び測定方法 | |
JP5829211B2 (ja) | 円板ワーク、特に、成形ウエハの変形を測定するための方法および装置 | |
TW201901771A (zh) | 切削裝置 | |
JP4914648B2 (ja) | 半導体装置用クランプ装置 | |
JP4750527B2 (ja) | 超音波接合装置 | |
JP2012134333A (ja) | 測定方法 | |
JP2011151117A (ja) | 加工装置 | |
JP2006156970A5 (ja) | ||
JP2007276081A (ja) | 研磨装置および研磨方法 | |
JP4529759B2 (ja) | 電子部品装着装置および電子部品装着方法 | |
US9308622B2 (en) | Lapping head with a sensor device on the rotating lapping head | |
JP2005340780A (ja) | 電子部品装着装置および電子部品装着方法 | |
KR20150105222A (ko) | 절삭 장치 | |
JP5606838B2 (ja) | 切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具および取り付け状態確認方法 | |
WO2023112243A1 (ja) | 表面検査装置 | |
JP5334054B2 (ja) | スティッチング加工方法 | |
CN110757336A (zh) | 基板处理装置和基板处理方法 | |
JP2009103466A (ja) | コンタクトプローブ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170915 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170926 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171026 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6235453 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |