KR20210036490A - 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하기 위한 다이싱 블레이드 및 이를 이용한 웨이퍼 렌즈 어레이 다이싱 장치 및 방법 - Google Patents

웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하기 위한 다이싱 블레이드 및 이를 이용한 웨이퍼 렌즈 어레이 다이싱 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하기 위한 다이싱 블레이드 및 이를 이용한 웨이퍼 렌즈 어레이 다이싱 장치 및 방법을 개시한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 스핀들에 고정됨에 따라 상기 스핀들에 의해 회전 구동하며 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하는 다이싱 블레이드에 있어서, 관통공을 구비하며, 상기 스핀들에 결합되는 결합부, 상부, 하부면 및 외주면을 구비하는 본체부, 측벽을 구비하며, 상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성되는 제1 절단부, 및 상기 제1 절단부와 교호되는 형태로 배치되며, 측벽을 구비하고, 상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성되는 제2 절단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드를 제공한다.

Description

웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하기 위한 다이싱 블레이드 및 이를 이용한 웨이퍼 렌즈 어레이 다이싱 장치 및 방법{Wafer Lens Array Dicing Apparatus Including Dicing Blade for Cutting Wafer Lens Array and Method Using the Same}
본 발명은 웨이퍼 렌즈 어레이를 정교하게 절단하기 위한 다이싱 블레이드 및 이를 이용한 웨이퍼 렌즈 어레이 다이싱 장치 및 방법에 관한 것이다.
이 부분에 기술된 내용은 단순히 본 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.
웨이퍼 렌즈(Wafer Lens)는 웨이퍼 제조 공정을 이용하여 생산되는 웨이퍼 단위의 렌즈로서, 카메라 모듈, 디스크 픽업 장치 등에 사용된다. 통상적으로, 웨이퍼 렌즈는 마스터 스탬핑(Master Stamping) 공정 및 엠보싱(Embossing) 공정을 거친 후, 다이싱(Dicing) 장치에 의해 개별적으로 다이싱된다. 다이싱 장치는 다이싱 블레이드(Dicing Blade)와 같은 절삭(切削) 수단을 포함함으로써 웨이퍼 렌즈 어레이를 단위 웨이퍼 렌즈로 분리하도록 구성된다.
도 1은 종래의 다이싱 블레이드를 도시한 도면이다.
도 1(a)는 종래의 다이싱 블레이드가 웨이퍼 렌즈 어레이를 절삭하는 모습을 도시한 도면이고, 도 1(b)는 종래의 다이싱 블레이드에 의해 웨이퍼 렌즈 어레이가 절삭된 모습을 도시한 도면이다.
도 1(a) 및 (b)를 참조하면, UV 테이프(130)의 상면(+y축 방향)에 웨이퍼 렌즈 어레이(120)가 배치되며, 다이싱 블레이드(110)는 소잉 라인(Sawing Line, S)을 따라 웨이퍼 렌즈 어레이(120)를 절삭한다. 이에, 웨이퍼 렌즈 어레이(120)는 복수 개의 단위 웨이퍼 렌즈(125)로 분리된다. 여기서, 다이싱 블레이드(110)의 형상은 일측면이 비스듬하게 형성된 편측(片側) V 타입(또는, 편측 테이퍼 타입)으로 구현된다. 따라서, 다이싱 블레이드(110)에 의해 절단된 단위 웨이퍼 렌즈(125)의 상부(+y축 방향)면의 직경(UD, Upper Diameter)은 하부(-y축 방향)면의 직경(LD, Lower Diameter)보다 더 길게 구현된다.
통상적으로, 단위 웨이퍼 렌즈(125)는 다른 부품들과 함께 기판에 적층됨에 따라 모듈로 구성된다. 상술한 바와 같이, 단위 웨이퍼 렌즈(125)의 상부(+y축 방향)면의 직경(UD)과 하부(-y축 방향)면의 직경(LD)이 동일하지 않을 경우, 모듈 제조 시에 단위 웨이퍼 렌즈(125)의 절삭면을 재가공해야 하는 번거로움이 있다.
또한, 종래의 다이싱 블레이드(110)는 표면에 다이아몬드(Diamond)를 포함하며, 이에, 다이아몬드를 이용하여 톱질하듯이 소잉 라인(S)을 소잉(즉, 절삭(切削))하기 때문에, 칩핑(Chipping)이 발생할 확률이 매우 높다. 칩핑의 발생은 웨이퍼 렌즈(125)가 모듈 내에 구비될 때 모듈의 불량을 유발할 수 있으며, 이는 모듈 제조 시, 전체적인 수율 저하를 가져오는 원인으로 작용할 수 있다.
한편, 최근 들어, 경제성 및 생산성 측면에서 우수한 플라스틱(Plastic) 재질의 웨이퍼 렌즈가 각광받고 있다. 플라스틱 재질로 구성된 웨이퍼 렌즈는 사용되는 수지에 따라 열경화성과 UV 경화성으로 구분되며, 특히, UV 경화성 수지로 구성된 웨이퍼 렌즈는 소재 특성 상 연질이므로, 더욱 정밀한 절단방법이 요구된다.
본 발명의 일 실시예는, 웨이퍼 렌즈 어레이를 정교하게 절단할 수 있는 다이싱 블레이드 및 이를 이용한 웨이퍼 렌즈 어레이 다이싱 장치 및 방법을 제공하는 데 일 목적이 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예는, 웨이퍼 렌즈 어레이가 절단됨에 따라 절단면의 손실에 의해 칩핑이 발생되는 것을 최소화할 수 있는 다이싱 블레이드 및 이를 이용한 웨이퍼 렌즈 어레이 다이싱 장치 및 방법을 제공하는 데 일 목적이 있다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 스핀들에 고정됨에 따라 상기 스핀들에 의해 회전 구동하며 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하는 다이싱 블레이드에 있어서, 관통공을 구비하며, 상기 스핀들에 결합되는 결합부; 상부, 하부면 및 외주면을 구비하는 본체부; 측벽을 구비하며, 상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성되는 제1 절단부; 및 상기 제1 절단부와 교호되는 형태로 배치되며, 측벽을 구비하고, 상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성되는 제2 절단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제1 절단부는, 기 설정된 형태로 구현되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 기 설정된 형태는, 상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성됨에 따라, 본체부의 상부면 및 하부면 중 어느 하나의 면을 기준으로 적어도 90°보다 작은 각도로 기울어진 경사면을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제2 절단부는, 기 설정된 형태로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 기 설정된 형태는, 상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성됨에 따라, 본체부의 상부면 및 하부면 중 어느 하나의 면을 기준으로 적어도 90°보다 작은 각도로 기울어진 경사면을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 경사면은, 제1 절단부의 경사면과 서로 반대 방향으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하는 다이싱 장치에 있어서, 스핀들; 제1항의 다이싱 블레이드; 상기 웨이퍼 렌즈 어레이가 안착되며, 상기 웨이퍼 렌즈 어레이를 상기 다이싱 블레이드가 위치한 곳으로 이동시키는 워크 스테이션; 상기 웨이퍼 렌즈 어레이의 위치를 검출하는 정렬부; 상기 웨이퍼 렌즈 어레이를 상기 워크 스테이션의 상면에 안착시키는 이송부; 및 상기 다이싱 장치의 각 구성요소를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로하는 다이싱 장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 스핀들은, 모터에 의해 구동되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 다이싱 블레이드는, 상기 스핀들과 결합되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 웨이퍼 렌즈 어레이는, UV 테이프의 상면에 배치되어 상기 워크 스테이션에 안착되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 UV 테이프는, 진공 척의 상면에 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 다이싱 블레이드를 이용하여 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하는 방법에 있어서, 상기 웨이퍼 렌즈 어레이를 UV 테이프 및 진공 척의 상면에 배치하는 배치과정; 상기 UV 테이프 및 진공 척의 상면에 배치된 상기 웨이퍼 렌즈 어레이를 워크 스테이션에 안착하는 안착과정; 상기 웨이퍼 렌즈 어레이가 안착된 상기 워크 스테이션을 상기 다이싱 블레이드가 위치한 지점으로 이동시키는 이동과정; 상기 웨이퍼 렌즈 어레이의 컷팅 라인과 다이싱 브레이드의 위치를 정렬시키는 정렬과정; 및 상기 다이싱 브레이드가 상기 웨이퍼 렌즈 어레이의 컷팅 라인을 따라 절단하는 절단과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이싱 방법을 제공한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따르면, 기 설정된 형태의 절단부를 구비하는 다이싱 블레이드를 이용하여 웨이퍼 렌즈 어레이를 정교하게 절단할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 일 측면에 따르면, 기 설정된 형태의 절단부를 구비하는 다이싱 블레이드를 이용하여 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단함으로써, 웨이퍼 렌즈의 절단면이 손실됨에 따라 발생되는 칩핑을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래의 다이싱 블레이드를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이싱 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이싱 블레이드가 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하는 모습을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이싱 블레이드의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이싱 장치에 의해 절단된 단위 웨이퍼 렌즈를 촬영한 사진을 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에서, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서 "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해서 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 본 발명의 각 실시예에 포함된 각 구성, 과정, 공정 또는 방법 등은 기술적으로 상호간 모순되지 않는 범위 내에서 공유될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이싱 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 다이싱 장치(200)는 다이싱 블레이드(220)를 이용하여 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 절단(切斷)하는 장치로서, 다이싱 장치(200)에 의해 웨이퍼 렌즈 어레이(210)는 복수 개의 단위 웨이퍼 렌즈로 분리된다.
다이싱 장치(200)는 다이싱 블레이드(220), 스핀들(230), 워크 스테이션(240), 정렬부(250), 이송부(260) 및 제어부(270)를 포함한다.
웨이퍼 렌즈 어레이(210)는 다이싱 장치(200)의 대상체로서, 웨이퍼 제조 공정에 의해 생산되는 웨이퍼 단위의 렌즈가 다수개로 배치되어 형성된다. 웨이퍼 렌즈 어레이(210)는 다이싱 장치(200)에 의해 절단됨에 따라 복수 개의 단위 웨이퍼 렌즈로 분리되며, 단위 웨이퍼 렌즈는 카메라 모듈 등을 구성하는 부품으로 사용된다. 일반적으로, 웨이퍼 렌즈 어레이(210)로부터 절단된 웨이퍼 렌즈는 기판 등에 다른 구성요소들과 함께 적층됨에 따라 모듈로 구성된다. 따라서, 웨이퍼 렌즈의 절단면이 균일하지 않을 경우, 모듈 내 다른 구성요소의 규격에 맞춰 웨이퍼 렌즈의 절단면을 재가공해야 하는 문제점이 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 다이싱 장치(200)는 기 설정된 형태의 절단부를 구비하는 다이싱 블레이드(220)를 이용하여 이러한 문제를 해소하고자 한다. 웨이퍼 렌즈 어레이(210)는 플라스틱 재질로 구성될 수 있으며, 수지의 종류에 따라 연한(또는, 무른) 성질을 갖도록 구성될 수 있다. 이러한 특성에 의해 웨이퍼 렌즈 어레이(210)가 다이싱 장치(200)에 의해 절단될 경우, 절단면이 과도하게 마모될 수 있으며, 이는 칩핑(Chipping) 발생의 원인이 된다. 따라서, 다이싱 블레이드(220)를 이용하여 절단면의 마모를 최소화함으로써 고품질의 웨이퍼 렌즈를 제공하고자 한다.
다이싱 블레이드(220)는 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 절단한다.
다이싱 블레이드(220)는 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 절단함으로써 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 복수 개의 단위 웨이퍼 렌즈로 분리한다. 다이싱 블레이드(220)는 스핀들(230)의 선단에 결합되는 형태로 구성되며, 스핀들(230)에 의해 회전 구동함으로써 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 절단한다. 다이싱 블레이드(220)의 구조에 대해서는 도 4를 참조하여 상세하게 설명하도록 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이싱 블레이드의 사시도이다.
도 4를 참조하면, 다이싱 블레이드(220)는 결합부(410), 본체부(420), 제1 절단부(430) 및 제2 절단부(440)를 포함한다.
다이싱 블레이드(220)는 기 설정된 형태의 제1 및 제2 절단부(430, 440)를 구비함으로써 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 정교하게 절단한다. 다이싱 블레이드(220)의 형상은 다음과 같다.
결합부(410)는 관통공을 구비함으로써 스핀들(230)과 결합된다. 결합부(410)는 내부에 나사홈 등을 구비함으로써 스핀들(230)과 단단하게 결합될 수 있다.
본체부(420)는 기 설정된 두께를 갖는 환(丸) 형태로 구현된다. 본체부(420)의 외주면(422)이 제1 및 제2 절단부(430, 440)의 측벽을 둘러싸는 형태로 구성됨에 따라, 본체부(420)와 제1 및 제2 절단부(430, 440)는 일체형으로 구성될 수 있다.
제1 절단부(430)는 측벽을 구비하며, 측벽이 본체부(420)의 외주면(422)과 마주보도록 형성됨에 따라 제1 절단부(430)와 본체부(420)는 일체형으로 구현될 수 있다. 이와 동시에, 제1 절단부(430)는 본체부(420)의 상부(+z축 방향) 및 하부(-z축 방향)면 중 어느 하나의 면을 기준으로 적어도 90°보다 작은 각도로 기울어진 경사면을 구비하는 형태로 구현됨으로써, 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 절단한다.
제2 절단부(440)는 제1 절단부(430)와 교호(交互)되는 형태로 배치되며, 제1 절단부(430)의 형상과 대칭적으로 구성됨으로써 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 절단한다. 보다 구체적으로 설명하면, 제2 절단부(440)는 측벽을 구비하며, 측벽이 본체부(420)의 외주면(422)과 마주보도록 형성됨에 따라 제2 절단부(440)와 본체부(420)는 일체형으로 구현될 수 있다. 또한, 제2 절단부(440)는 본체부(420)의 상부(+z축 방향) 및 하부(-z축 방향)면 중 어느 하나의 면을 기준으로 적어도 90°보다 작은 각도로 기울어진 경사면을 구비하며, 제2 절단부(440)의 경사면은 제1 절단부(430)의 경사면과 서로 반대 방향을 향하도록 구성된다.
다이싱 블레이드(220)가 이러한 형상으로 구현됨에 따라, 단위 웨이퍼 렌즈의 절단면은 절단된 방향으로 형성된 가상의 선과 일직선을 이룬다. 다이싱 블레이드(220)가 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 절단하는 모습에 대해서는 도 3을 참조하여 후술하도록 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이싱 블레이드가 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하는 모습을 도시한 도면이다.
도 3(a)는 다이싱 블레이드가 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하는 모습을 도시한 도면이고, 도 3(b)는 다이싱 블레이드에 의해 절단된 웨이퍼 렌즈 어레이의 모습을 도시한 도면이다.
도 3(a)를 참조하면, 웨이퍼 렌즈 어레이(210)는 UV 테이프(320)의 상면(+y축 방향)에 배치되며, 진공 척(Chuck)(310)은 내부에 흡인원을 구비함으로써 상면(+y축 방향)에 배치된 UV 테이프(320)를 흡착하여 고정시킨다. 도면에는 도시되지 않았지만, 웨이퍼 렌즈 어레이(210)가 UV 테이프(320)의 상면(+y축 방향)에 배치됨에 따라 다이싱 장치(200)에 의해 진공 척(310), UV 테이프(320) 및 웨이퍼 렌즈 어레이(210)는 워크 스테이션(240)에 안착된다. 제어부(270)의 제어에 의해 워크 스테이션(240)이 이동함에 따라, 다이싱 블레이드(220)는 웨이퍼 렌즈 어레이(210) 표면에 형성된 컷팅 라인(Cutting Line, C)을 절단한다. 배경기술에서 언급하였듯이, 종래의 다이싱 블레이드(110)는 다이아몬드를 포함하고 있기 때문에, 톱질하듯이 소잉(또는, 절삭)하는 방법으로 웨이퍼 렌즈 어레이(120)를 단위 웨이퍼 렌즈(125)로 분리하나, 본 발명의 일 실시예에 따른 다이싱 블레이드(220)는 기 설정된 형태의 제1 및 제2 절단부(430, 440)를 이용하여 컷팅 라인(C)을 절단한다. 보다 구체적으로 설명하면, 다이싱 블레이드(220)는 본체부(420)의 상부(+z축 방향) 및 하부(-z축 방향)면 중 어느 하나의 면을 기준으로 적어도 90°보다 작은 각도로 기울어진 경사면을 갖는 제1 절단부(430)와 본체부(420)의 상부(+z축 방향) 및 하부(-z축 방향)면 중 어느 하나의 면을 기준으로 적어도 90°보다 작은 각도로 기울어짐과 동시에 제1 절단부(430)와 서로 반대 방향을 향하는 경사면을 갖는 제2 절단부(440)를 이용하여 컷팅 라인(C)을 순차적으로 절단한다.
이러한 방법을 이용하여 플라스틱 재질로 구성된 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 절단할 경우, 절단면에서 발생되는 손실이 최소화됨으로써 칩핑 현상을 방지할 수 있다.
도 3(b)를 참조하면, 다이싱 블레이드(220)가 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 절단함으로써 복수 개의 단위 웨이퍼 렌즈(330)가 형성된다. 전술한대로, 다이싱 블레이드(220)가 제1 및 제2 절단부(430, 440)를 이용하여 컷팅 라인(C)을 절단함에 따라, 단위 웨이퍼 렌즈(330)의 절단면은 절단된 방향(-y축 방향)으로 형성된 가상의 선과 일직선을 이룬다. 즉, 단위 웨이퍼 렌즈(330)의 상부(+y축 방향)면의 직경(UD)과 하부(-y축 방향)면의 직경(LD)은 거의 동일한 길이를 갖도록 구현된다.
다시 도 2를 참조하면, 스핀들(230)은 스핀들 모터(235)로부터 구동력을 전달받아 다이싱 블레이드(220)를 회전 구동시킨다.
스핀들(230)은 원통 형상의 축으로 구현되며, 스핀들(230)의 선단에는 다이싱 블레이드(220)가 결합된다. 스핀들(230)의 후단에 연결된 스핀들 모터(235)는 스핀들(230)로 구동력을 제공하며, 이에 따라, 스핀들(230)에 고정된 다이싱 블레이드(220)는 스핀들(230)과 동일한 방향으로 회전한다.
워크 스테이션(240)은 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 다이싱 블레이드(220)가 위치한 방향으로 이동시킨다.
워크 스테이션(240)은 제어부(270)의 제어에 따라 웨이퍼 렌즈 어레이(210)의 컷팅 라인(C)과 다이싱 블레이드(220)의 위치가 일치하도록 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 이동시킨다. 워크 스테이션(240)은 바퀴와 같은 이송 수단(미도시)을 구비함으로써, 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 다이싱 블레이드(220)가 위치한 지점으로 이동시킨다.
정렬부(250)는 웨이퍼 렌즈 어레이(210) 표면의 컷팅 라인(C)을 검출한다.
정렬부(250)는 웨이퍼 렌즈 어레이(210)의 표면을 촬영하는 촬영 수단(미도시)을 구비함으로써, 웨이퍼 렌즈 어레이(210) 표면에 형성된 컷팅 라인(C)을 검출한다. 정렬부(250)는 컷팅 라인(C) 검출 정보를 제어부(270)로 제공함으로써, 제어부(270)가 워크 스테이션(240)의 이동을 제어할 수 있도록 한다.
정렬부(250)는 이송부(260)를 촬영하는 촬영 수단(미도시)을 구비함으로써, 워크 스테이션(240)의 상면에 안착된 웨이퍼 렌즈 어레이(210)의 위치를 검출한다. 정렬부(250)는 웨이퍼 렌즈 어레이(210)의 위치 정보를 제어부(270)로 제공함으로써, 제어부(270)가 이송부(260)의 구동을 제어할 수 있도록 한다.
이송부(260)는 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 워크 스테이션(240)으로 이송한다.
이송부(260)는 제어부(270)의 제어에 따라 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 스테이션(240)의 상면에 안착시킨다. 이송부(260)는 로봇 아암(미도시)등으로 구현될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며, 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 안정적으로 이송시킬 수 있는 형태라면 어떠한 것으로 구성되어도 무방하다.
제어부(270)는 별도의 전원공급장치(미도시)를 제어한다.
제어부(270)는 별도의 전원공급장치(미도시)를 제어함으로써 다이싱 장치(200)의 전원을 제어한다. 제어부(270)에 의해 전원공급장치(미도시)가 동작(On 상태)함에 따라 다이싱 장치(200)의 각 구성요소가 작동됨으로써 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 절단한다.
제어부(270)는 워크 스테이션(240)의 동작을 제어한다.
제어부(270)는 정렬부(250)로부터 수신한 데이터를 토대로 워크 스테이션(240)의 상면에 배치된 웨이퍼 렌즈 어레이(210)가 다이싱 블레이드(220)가 위치한 방향으로 이동할 수 있도록 워크 스테이션(240)의 이동을 제어한다. 이송부(260)에 의해 웨이퍼 렌즈 어레이(210)가 워크 스테이션(240)의 상면에 배치되면, 제어부(270)는 워크 스테이션(240)의 동작을 제어함으로써 다이싱 블레이드(220)가 웨이퍼 렌즈 어레이(210)를 절단할 수 있는 위치로 워크 스테이션(240)을 이동시킨다.
제어부(270)는 이송부(260)의 동작을 제어한다.
제어부(270)는 웨이퍼 렌즈 어레이(210)가 워크 스테이션(240)의 상면에 안착될 수 있도록 이송부(260)의 동작을 제어한다. 제어부(270)는 이송부(260)를 상·하·좌·우로 구동시킴으로써 웨이퍼 렌즈 어레이(210)가 워크 스테이션(240)의 상면에 안착될 수 있도록 한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이싱 장치에 의해 절단된 단위 웨이퍼 렌즈를 촬영한 사진을 도시한 도면이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 단위 웨이퍼 렌즈(330)의 상부면의 직경(UD)은 9.8685㎜이며, 하부면의 직경(LD)은 9.8675㎜정도로 구현된다. 즉, 상부면의 직경(UD)과 하부면의 직경(LD)의 차이는 0.001㎜ 수준으로 매우 작은 차이를 나타내는 것을 알 수 있다.
이상의 설명은 본 실시예의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 실시예들은 본 실시예의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 실시예의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 실시예의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 실시예의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
110, 220: 다이싱 블레이드
120, 210: 웨이퍼 렌즈 어레이
125, 330: 단위 웨이퍼 렌즈
130, 320: UV 테이프
200: 다이싱 장치
230: 스핀들
235: 스핀들 모터
240: 워크 스테이션
250: 정렬부
260: 이송부
270: 제어부
310: 진공 척
410: 결합부
420: 본체부
422: 외주면
430: 제1 절단부
440: 제2 절단부

Claims (12)

  1. 스핀들에 고정됨에 따라 상기 스핀들에 의해 회전 구동하며 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하는 다이싱 블레이드에 있어서,
    관통공을 구비하며, 상기 스핀들에 결합되는 결합부;
    상부, 하부면 및 외주면을 구비하는 본체부;
    측벽을 구비하며, 상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성되는 제1 절단부; 및
    상기 제1 절단부와 교호되는 형태로 배치되며, 측벽을 구비하고, 상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성되는 제2 절단부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 절단부는,
    기 설정된 형태로 구현되는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기 설정된 형태는,
    상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성됨에 따라, 본체부의 상부면 및 하부면 중 어느 하나의 면을 기준으로 적어도 90°보다 작은 각도로 기울어진 경사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 절단부는,
    기 설정된 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기 설정된 형태는,
    상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성됨에 따라, 본체부의 상부면 및 하부면 중 어느 하나의 면을 기준으로 적어도 90°보다 작은 각도로 기울어진 경사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 경사면은,
    제1 절단부의 경사면과 서로 반대 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드.
  7. 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하는 다이싱 장치에 있어서,
    스핀들;
    제1항의 다이싱 블레이드;
    상기 웨이퍼 렌즈 어레이가 안착되며, 상기 웨이퍼 렌즈 어레이를 상기 다이싱 블레이드가 위치한 곳으로 이동시키는 워크 스테이션;
    상기 웨이퍼 렌즈 어레이의 위치를 검출하는 정렬부;
    상기 웨이퍼 렌즈 어레이를 상기 워크 스테이션의 상면에 안착시키는 이송부; 및
    상기 다이싱 장치의 각 구성요소를 제어하는 제어부
    를 포함하는 것을 특징으로하는 다이싱 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 스핀들은,
    모터에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 다이싱 블레이드는,
    상기 스핀들과 결합되는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 웨이퍼 렌즈 어레이는,
    UV 테이프의 상면에 배치되어 상기 워크 스테이션에 안착되는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 UV 테이프는,
    진공 척의 상면에 배치되는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치.
  12. 다이싱 블레이드를 이용하여 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하는 방법에 있어서,
    상기 웨이퍼 렌즈 어레이를 UV 테이프 및 진공 척의 상면에 배치하는 배치과정;
    상기 UV 테이프 및 진공 척의 상면에 배치된 상기 웨이퍼 렌즈 어레이를 워크 스테이션에 안착하는 안착과정;
    상기 웨이퍼 렌즈 어레이가 안착된 상기 워크 스테이션을 상기 다이싱 블레이드가 위치한 지점으로 이동시키는 이동과정;
    상기 웨이퍼 렌즈 어레이의 컷팅 라인과 다이싱 브레이드의 위치를 정렬시키는 정렬과정; 및
    상기 다이싱 브레이드가 상기 웨이퍼 렌즈 어레이의 컷팅 라인을 따라 절단하는 절단과정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이싱 방법.
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