JP2005224926A - 切削ブレード装着装置,切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 切削ブレードをスピンドルに装着するための切削ブレード装着装置が提供される。この切削ブレード装着装置は,切削ブレード22を保持した状態でスピンドルに軸着されるフランジ210を備え,このフランジ210の外周面215は切削ブレード22に近いほど拡径するような略テーパ面である。かかるフランジ210において,スピンドル22の高速回転時にフランジ210の外周部に作用する遠心力に対抗してフランジ210内に作用するモーメントが,フランジの切削ブレード取付面216を背面217側に反らせる方向に作用しないように,フランジ210の背面217には円周溝50が形成されている。
【選択図】 図4
Description
まず,図1に基づいて,本発明の第1の実施形態にかかる切削装置の一例として構成されたダイシング装置10の全体構成について説明する。なお,図1は,本実施形態にかかるダイシング装置10を示す全体斜視図である。
20 : 切削ユニット
21 : フランジ
22 : 切削ブレード
23 : ナット
24 : スピンドル
25 : 係止部材
27 : ボルト
50 : 円周溝
210 : 第1フランジ
212 : 筒状ベース部
214 : ブレード保持部
215 : 外周面
216 : 切削ブレード取付面
217 : 背面
219 : 外周部
220 : 第2フランジ
F : 第1フランジの外周部に作用する遠心力
MA : 第1フランジの切削ブレード取付面側に作用するモーメント
MB : 第1フランジの背面側に作用するモーメント
d : 円周溝の深さ
Claims (5)
- 切削ブレードをスピンドルに装着するための切削ブレード装着装置であって:
前記切削ブレードを保持した状態で前記スピンドルに軸着されるフランジを備え,
前記フランジの外周面は,前記切削ブレードに近いほど拡径するような略テーパ面であり,
前記スピンドルの高速回転時に前記フランジの外周部に作用する遠心力に対抗して前記フランジ内に作用するモーメントが,前記フランジの切削ブレード取付面を前記フランジの背面側に反らせる方向に作用しないように,前記フランジの背面には円周溝が形成されていることを特徴とする,切削ブレード装着装置。 - 前記モーメントが,前記フランジの切削ブレード取付面を前記切削ブレード側に倒す方向に作用するように,前記円周溝が形成されていることを特徴とする,請求項1に記載の切削ブレード装着装置。
- 前記円周溝は,前記フランジの背面において,前記フランジの半径方向の中央部より内周側に形成されていることを特徴とする,請求項1または2のいずれかに記載の切削ブレード装着装置。
- 前記円周溝の深さは,前記フランジの切削ブレード取付面と背面との間の厚さの半分よりも深いことを特徴とする,請求項1,2または3のいずれかに記載の切削ブレード装着装置。
- 切削ブレードと,スピンドルと,請求項1,2,3または4のいずれかに記載の切削ブレード装着装置とを備え,被加工物を切削する切削ユニットと;
前記被加工物を保持する保持手段と;
前記切削ユニットと前記保持手段とを少なくとも切削方向に相対移動させる移動機構と;
を備えたことを特徴とする,切削装置。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008105114A (ja) * | 2006-10-24 | 2008-05-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | ハブブレードおよび切削装置 |
JP2008258496A (ja) * | 2007-04-06 | 2008-10-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工方法 |
JP2009074690A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-09 | Man Diesel Se | スラストベアリング装置 |
JP2009269158A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレード |
JP2010017820A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Asahi Diamond Industrial Co Ltd | ハブ付きブレード |
JP2010052084A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Asahi Diamond Industrial Co Ltd | ハブ付きブレード |
JP2011062778A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
KR101285962B1 (ko) | 2010-12-22 | 2013-07-12 | 토와 가부시기가이샤 | 블레이드 착탈 장치 |
JP2016122673A (ja) * | 2014-12-24 | 2016-07-07 | Towa株式会社 | 切断装置及び切断方法 |
JP2016132046A (ja) * | 2015-01-16 | 2016-07-25 | 株式会社ディスコ | マウントフランジ |
JP2016209980A (ja) * | 2015-05-13 | 2016-12-15 | Towa株式会社 | 切断装置及び切断方法 |
CN107498074A (zh) * | 2016-06-14 | 2017-12-22 | 株式会社迪思科 | 刀具容器 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0569315A (ja) * | 1991-09-12 | 1993-03-23 | Fuji Oozx Kk | 砥石車の心出し方法及びそれに用いる装置 |
JPH08127023A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレード及びそれを用いた切削方法 |
JPH10555A (ja) * | 1996-06-13 | 1998-01-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | ブレード装着機構 |
JP2002103236A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-09 | Toyoda Mach Works Ltd | 砥石車 |
-
2004
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0569315A (ja) * | 1991-09-12 | 1993-03-23 | Fuji Oozx Kk | 砥石車の心出し方法及びそれに用いる装置 |
JPH08127023A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレード及びそれを用いた切削方法 |
JPH10555A (ja) * | 1996-06-13 | 1998-01-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | ブレード装着機構 |
JP2002103236A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-09 | Toyoda Mach Works Ltd | 砥石車 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008105114A (ja) * | 2006-10-24 | 2008-05-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | ハブブレードおよび切削装置 |
JP2008258496A (ja) * | 2007-04-06 | 2008-10-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工方法 |
KR101491587B1 (ko) * | 2007-09-18 | 2015-02-09 | 만 디젤 앤 터보 에스이 | 스러스트 베어링 장치 |
JP2009074690A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-09 | Man Diesel Se | スラストベアリング装置 |
JP2009269158A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレード |
JP2010017820A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Asahi Diamond Industrial Co Ltd | ハブ付きブレード |
JP2010052084A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Asahi Diamond Industrial Co Ltd | ハブ付きブレード |
JP2011062778A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
KR101285962B1 (ko) | 2010-12-22 | 2013-07-12 | 토와 가부시기가이샤 | 블레이드 착탈 장치 |
JP2016122673A (ja) * | 2014-12-24 | 2016-07-07 | Towa株式会社 | 切断装置及び切断方法 |
JP2016132046A (ja) * | 2015-01-16 | 2016-07-25 | 株式会社ディスコ | マウントフランジ |
CN105810577A (zh) * | 2015-01-16 | 2016-07-27 | 株式会社迪思科 | 安装法兰 |
JP2016209980A (ja) * | 2015-05-13 | 2016-12-15 | Towa株式会社 | 切断装置及び切断方法 |
CN107498074A (zh) * | 2016-06-14 | 2017-12-22 | 株式会社迪思科 | 刀具容器 |
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