JP2016004811A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
3 チャックテーブル
4 切削手段
15 切削ブレード
21、61 スピンドルハウジング
22、62 スピンドルハウジングの先端部
25 供給路
27、63 エアーシール溝
28 高圧エアー源
31、66 回転スピンドル
35、71 フランジ
36、72 ボス部
37、73 装着部
41、74 装着面
43、75 フランジ背面
44、76 溝
64 突起部
C フランジ回転中心
W 被加工物
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段とを備え、
該切削手段は、切削ブレードを装着するフランジを先端に固定する回転スピンドルと、該回転スピンドルの先端を先端部から突出させた状態でエアーベアリングで回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの該先端部の内周側に設けられたエアーシール溝と、該エアーシール溝に連通して高圧エアー源から高圧エアーが供給されるエアー供給路と、を備えた切削装置であって、
該フランジは、該回転スピンドルの先端に装着される嵌合穴を備えたボス部と、該ボス部から回転方向側方に突出して形成され円環形状の切削ブレードが装着される装着面を有する装着部とを備え、
該フランジの該装着面の反対側のフランジ背面には、フランジ回転中心と同心円状に円環状の略弧状断面を有する溝が形成されており、
該エアーシール溝から流出する高圧エアーが該フランジ背面に沿って該スピンドルハウジング側へ流れることで、該切削ブレードに該装着部の装着面の方向に向かう吸引力が生じること、を特徴とする切削装置。 - 該スピンドルハウジングの該先端部は、先端側に突起して該ボス部を外周側から覆い且つ該ボス部の回転を阻害しない隙間を有した突起部を備え、
該エアーシール溝から流出する高圧エアーが整流されて該ボス部と該突起部との該隙間から該フランジ背面に沿って流れ、該フランジ背面の該溝に流出させること、を特徴とする請求項1記載の切削装置。
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Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
JP2017127910A (ja) * | 2016-01-18 | 2017-07-27 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2018012149A (ja) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 株式会社ディスコ | スピンドルユニット |
JP2018113276A (ja) * | 2017-01-06 | 2018-07-19 | 株式会社ディスコ | 切削装置及びエアー遮断部材 |
JP2020194874A (ja) * | 2019-05-28 | 2020-12-03 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの固定方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0426708U (ja) * | 1990-06-26 | 1992-03-03 | ||
JP2005059151A (ja) * | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2009279662A (ja) * | 2008-05-19 | 2009-12-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンドルユニット及び切削装置 |
JP2011054847A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0426708U (ja) * | 1990-06-26 | 1992-03-03 | ||
JP2005059151A (ja) * | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2009279662A (ja) * | 2008-05-19 | 2009-12-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンドルユニット及び切削装置 |
JP2011054847A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017127910A (ja) * | 2016-01-18 | 2017-07-27 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2018012149A (ja) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 株式会社ディスコ | スピンドルユニット |
JP2018113276A (ja) * | 2017-01-06 | 2018-07-19 | 株式会社ディスコ | 切削装置及びエアー遮断部材 |
JP2020194874A (ja) * | 2019-05-28 | 2020-12-03 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの固定方法 |
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