JPH0426708U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0426708U JPH0426708U JP6747490U JP6747490U JPH0426708U JP H0426708 U JPH0426708 U JP H0426708U JP 6747490 U JP6747490 U JP 6747490U JP 6747490 U JP6747490 U JP 6747490U JP H0426708 U JPH0426708 U JP H0426708U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange
- rotating shaft
- clamps
- fixes
- outer circumferential
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の対象とする従来のダイシング
機の切削部の平面図、第２図はその側面図、第３
図は考案の実施例を示す平面図。 １……円形ブレード、２……回転軸、３……モ
ータ、４……外側フランジ、５……内側フランジ
、７……切削水ノズル、８……排気流方向、９…
…洗浄水ノズル。
機の切削部の平面図、第２図はその側面図、第３
図は考案の実施例を示す平面図。 １……円形ブレード、２……回転軸、３……モ
ータ、４……外側フランジ、５……内側フランジ
、７……切削水ノズル、８……排気流方向、９…
…洗浄水ノズル。
Claims (1)
- ダイシング機において、空気軸受けにより支持
される回転軸に、外周刃ブレードを内外両側から
挟持固定するフランジのモータ側の内側フランジ
に対して洗浄水を噴射する装置を有するダイシン
グ機の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990067474U JP2526738Y2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | ダイシング機の洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990067474U JP2526738Y2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | ダイシング機の洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0426708U true JPH0426708U (ja) | 1992-03-03 |
| JP2526738Y2 JP2526738Y2 (ja) | 1997-02-19 |
Family
ID=31601080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990067474U Expired - Lifetime JP2526738Y2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | ダイシング機の洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2526738Y2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002217135A (ja) * | 2001-01-19 | 2002-08-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| JP2016004811A (ja) * | 2014-06-13 | 2016-01-12 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2019181584A (ja) * | 2018-04-03 | 2019-10-24 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61148004A (ja) * | 1985-11-27 | 1986-07-05 | 株式会社日立製作所 | ダイシング装置 |
| JPS6480506A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-27 | Hitachi Ltd | Dicer |
| JPH01210314A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-23 | Nec Corp | 半導体ウェハーの切断方法 |
-
1990
- 1990-06-26 JP JP1990067474U patent/JP2526738Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61148004A (ja) * | 1985-11-27 | 1986-07-05 | 株式会社日立製作所 | ダイシング装置 |
| JPS6480506A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-27 | Hitachi Ltd | Dicer |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002217135A (ja) * | 2001-01-19 | 2002-08-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| JP2016004811A (ja) * | 2014-06-13 | 2016-01-12 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2019181584A (ja) * | 2018-04-03 | 2019-10-24 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2526738Y2 (ja) | 1997-02-19 |