JP2018113276A - 切削装置及びエアー遮断部材 - Google Patents
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Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
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Abstract
Description
4 基台
6 カバー
6a 前面
8 切削ユニット(切削手段)
10 チャックテーブル(保持手段)
12 カセットテーブル
14 カセット
16 モニター
18 スピンドル
18a スラストプレート
18a 一端部(先端部)
20 スピンドルハウジング
20a エアー供給路
20b エアー供給口
20c 第1供給路
20d 第2供給路
20e 開口部
22 ラジアルエアーベアリング部(ラジアルエアーベアリング)
24 スラストエアーベアリング部(スラストエアーベアリング)
26 装着フランジ
28 切削ブレード
30 固定ナット
32 モーター
34 ステーター
36 ローター
38 エアーシール部(エアーシール)
40 エアー遮断部材(エアー遮断手段)
42 上半部
42a 装着溝(掛止溝)
42b 上端部
44 下半部
11 被加工物
Claims (4)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を切削加工する切削ユニットと、を備え、
該切削ユニットは、
切削ブレードを装着するための装着フランジが先端部に固定されるスピンドルと、
先端側の開口部から該スピンドルの先端部を外側に突出させた状態で該スピンドルをエアーベアリングで回転可能に支持するスピンドルハウジングと、
該スピンドルハウジングの該開口部と該スピンドルとの隙間を含むエアーシール部と、を有し、
該エアーシール部から噴出されるエアーシール用のエアーが該装着フランジに到達しないように、該装着フランジと該スピンドルハウジングの該開口部との間にエアー遮断部材が設けられることを特徴とする切削装置。 - 前記エアー遮断部材は、板状に形成されており、
該エアー遮断部材の上端側には、該エアー遮断部材を前記スピンドルの前記先端部へと掛止するために上端部が開かれたU字状の掛止溝が形成されており、
該掛止溝の該上端部の長さは、該スピンドルの該先端部の直径よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の切削装置。 - 切削ブレードを装着するための装着フランジが先端部に固定されるスピンドルと、先端側の開口部から該スピンドルの先端部を外側に突出させた状態で該スピンドルをエアーベアリングで回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの該開口部と該スピンドルとの隙間を含むエアーシール部と、を備える切削ユニットに装着されるエアー遮断部材であって、
該エアーシール部から噴出されるエアーシール用のエアーが該装着フランジに到達しないように、該装着フランジと該スピンドルハウジングの該開口部との間に設けられることを特徴とするエアー遮断部材。 - 前記スピンドルの前記先端部へと掛止するために上端部が開かれたU字状の掛止溝を上端側に有する板状に形成され、該掛止溝の該上端部の長さは、該スピンドルの該先端部の直径よりも小さいことを特徴とする請求項3に記載のエアー遮断部材。
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---|---|---|---|---|
JPS49105463A (ja) * | 1973-02-07 | 1974-10-05 | ||
JPH11330009A (ja) * | 1998-05-14 | 1999-11-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ユニット |
JP2005059151A (ja) * | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2009279662A (ja) * | 2008-05-19 | 2009-12-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンドルユニット及び切削装置 |
JP2014210304A (ja) * | 2013-04-18 | 2014-11-13 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2016004811A (ja) * | 2014-06-13 | 2016-01-12 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2016013598A (ja) * | 2014-07-02 | 2016-01-28 | 株式会社ディスコ | スピンドルユニット |
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- 2017-01-06 JP JP2017001093A patent/JP6877821B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49105463A (ja) * | 1973-02-07 | 1974-10-05 | ||
JPH11330009A (ja) * | 1998-05-14 | 1999-11-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ユニット |
JP2005059151A (ja) * | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2009279662A (ja) * | 2008-05-19 | 2009-12-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンドルユニット及び切削装置 |
JP2014210304A (ja) * | 2013-04-18 | 2014-11-13 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2016004811A (ja) * | 2014-06-13 | 2016-01-12 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2016013598A (ja) * | 2014-07-02 | 2016-01-28 | 株式会社ディスコ | スピンドルユニット |
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