TWI294330B - Machining apparatus equipped with rotary tool - Google Patents

Description

1294330 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明有關裝配有旋轉工具之加工設備，且更特別有 關一種具有扭緊構件之加工設備，該扭緊構件扭緊至一可 旋轉安裝之轉動心軸，用以可分離地安裝一旋轉工具至該 轉動心軸上。 【先前技術】 於半導體晶片之製造中，藉著配置成格子型式之街道 圖案在半導體晶圓之面上劃分複數長方形區域，且一半導 體電路係設置在每一長方形區域中。此半導體晶圓係沿著 街道圖案切割，以個別地分開該長方形區域，藉此形成半 導體晶片。爲沿著街道圖案切割該半導體晶圓，有利地使 用稱爲一切片機之加工設備，如日本專利特許公開申請案 第2 003 -2 03 8 8 5號中所揭示者。此一加工設備係裝配有一 可旋轉地安裝之轉動心軸、一用以旋轉式驅動該轉動心軸 之轉動驅動源、及一可分離地安裝在該轉動心軸上之旋轉 工具。該旋轉工具係由一包含鑽石顆粒之環狀切刃所構成 〇 一扭緊至該轉動心軸之扭緊構件係用於將該旋轉工具 安裝在該轉動心軸上。更特別是，如在前述之日本專利特 許公開申請案第2003 -203 8 8 5號中所揭示者，一安裝器具 係固定至該轉動心軸之前端部份，且該旋轉工具係固定至 該安裝器具。一朝向該轉動心軸前端逐漸縮減其外徑之錐 -4- (2) 1294330 形部份係形成於該轉動心軸之前端部份中，且一 裝器具前端逐漸縮減其內徑之穿透孔係形成在該 中，以致該安裝器具之穿透孔係裝配在該轉動心 部份上方。一外螺紋係形成在該轉動心軸之前端 螺紋孔係形成在該轉動心軸之前端。一螺帽構件 該外螺紋上，或一螺栓構件係扭緊進入該內螺紋 係藉著螺帽構件或該螺栓構件之頭部強迫該安裝 。以此方式，該安裝器具之穿透孔係緊密地裝配 轉動心軸之錐形部份，藉此該安裝器具係充分可 至該轉動心軸。 然而，如上面所述架構之習知加工裝置中呈 解決之問題：於將該旋轉工具安裝在該轉動心軸 替換於由該轉動心軸移去已使用磨損之旋轉工具 要相對該轉動心軸旋轉該扭緊構件，藉此扭緊該 至該轉動心軸或使該扭緊構件扭離該轉動心軸。 緊或扭離，在此需要旋轉該扭緊構件，同時抑止 軸之旋轉。用以平行地施行該扭緊構件之旋轉及 軸之抑止旋轉之手動操作係非常複雜及困難的。 可靠地抑止該轉動心軸旋轉，需要一用於抓緊該 之特別工具。 【發明內容】 本發明之一主要目的係提供一新穎及改善之 ’其當一旋轉工具係安裝至一轉動心軸上或由該 朝向該安 安裝器具 軸之錐形 ，或一內 係扭緊於 ，其結果 器具向後 環繞著該 靠地固定 現以下欲 上，或爲 中，其需 扭緊構件 對於此扭 該轉動心 該轉動心 爲該充分 轉動心軸 加工設備 轉動心軸 -5- (3) 1294330 移去時，能可靠地抑止該轉動心軸之旋轉，而不需要一特 別工具或一複雜之手動操作，且如此能充分輕鬆地施行該 旋轉工具之安裝在該轉動心軸上及其由該轉動心軸之移除 〇 根據本發明，爲獲得上面之目的，在此提供一加工設 備’其包含一可旋轉地安裝之轉動心軸；一轉動驅動源， 其用以旋轉式驅動該轉動心軸；一旋轉工具，其可分離地 安裝在該轉動心軸上；及至少一扭緊構件，其扭緊至該轉 動心軸上，用於將該旋轉工具安裝在該轉動心軸上，其中 設置選擇性之旋轉抑止機構，用以選擇性地抑止該轉動心 軸之旋轉。 該選擇性旋轉抑止機構最好包含至少一止動凹面，其 形成在該轉動心軸之一外周邊表面中；及一止動構件，其 選擇性地位在該止動構件嚙合該止動凹面之一操作位置及 該止動構件由該止動凹面退出之一非操作位置。最好，複 數止動凹面係形成在一圓周方向中之各間隔處。其較佳的 是該選擇性旋轉抑止機構包含一容置構件，該容置構件中 形成有一容置孔，該容置孔具有一相向於該轉動心軸之外 周邊表面之開口，該止動構件係可滑動地容置於該容置孔 中，且當該止動構件係位在該操作位置時，其前端部份局 部由該容置孔之開口突出，而當該止動構件係位在該非操 作位置時，其實質上整個容置於該容置孔中。該選擇性旋 轉抑止機構最好包含彈性偏向機構，用以使該止動構件彈 性地偏向至該非操作位置，且迫使用以選擇性地滑動該止 -6- (4) 1294330 動構件至該操作位置之滑動機構抵住該彈性偏向機構之彈 性偏向作用。該迫使滑動機構最好造成壓縮空氣作用於該 止動構件之後方端點上。該旋轉工具可爲一種具有包含鑽 石顆粒之環狀切刃之形式。 【實施方式】 現在將藉著參考所附顯示其較佳具體實施例之圖面更 詳細地敘述根據本發明所製成之加工設備。 圖1顯示一加工設備，稱爲一切片機，其爲應用於本 發明之加工設備之典型範例。所示加工設備具有一機殼2 ’且一裝載區4、一臨時等候區6、一夾緊區8、一對齊 區1 0、一切割區1 2、及一淸潔/乾燥區1 4係界定在該機 殼2上。一舉起/降低平台16係設置在該裝載區4中， 及一卡匣18係載入該舉起/降低平台16上。複數半導體 晶圓20(圖2)係在一垂直方向中設有間距地坐落在該卡匣 1 8內。 如在圖2所淸楚地顯示，容置在該卡匣18中之半導 體晶圓20係經由一安裝狹帶22安裝在一機架24上。可 由金屬或合成樹脂所形成之機架24在其中心具有一相當 大之圓形開口 26。該安裝狹帶22延伸越過該圓形開口 26 ，且放置至該機架24之背面。該半導體晶圓20係位於該 圓形開口 26內，且其背面係放置至該安裝狹帶22。街道 式圖案28係以格子型式配置在該半導體晶圓2〇之面上， 且複數長方形區域30係藉著這些街道式圖案28所劃分。 -7- (5) 1294330 一半導體電路係設置在每一長方形區域30中。 另參考圖1 ，與該裝載區4及該臨時等候區6有關 地設置第一運送機構32。按照該舉起/降低平台16之 昇及下降作動該第一運送機構32，藉此每一安裝有欲 割半導體晶圓20之機架24係連續地送出該卡匣18至 臨時等候區6上。（如稍後進一步論及，安裝有該半導 晶圓20並已切割、淸潔及乾燥之機架24係由該臨時等 區6載入該卡匣18)。與該臨時等候區6、該夾緊區8 及該淸潔/乾燥區14有關連地設置第二運送機構34。 出該卡匣18至該臨時等候區6之機架24係藉著該第二 送機構34運送至該夾緊區8。於該夾緊區8中，安裝 其上面之機架24及半導體晶圓20係藉著夾緊機構36 住。於進一步細節中，該夾緊機構3 6具有一大體上設 水平吸引表面之夾頭板3 8，且複數吸入孔或溝槽係形 在該夾頭板38中。安裝在該機架24上之半導體晶圓 係放在該夾頭板38上及被真空吸引至該夾頭板38。一 抓緊機構40係設置在該夾緊機構3 6中，且藉著該對抓 機構40抓緊該機架24。 如將稍後敘述者，該夾緊機構3 6係在大體上水平 上於第一方向中、亦即一 X軸方向中移動。由該夾緊 構3 6所夾住之半導體晶圓20係按照該夾緊機構3 6之 動而移動，且於此順序中運送至該對齊區1 〇及該切割 12。於所示具體實施例中，根據該夾緊機構36之移動 展開及收縮之伸縮軟管機構4 1係設置在該夾緊機構3 6 連 上 切 該 體 候 送 運 在 夾 有 成 20 對 緊 面 機 移 區 而 之 -8 - (6) 1294330 兩側面上（亦即下游側及上游側），如在該X軸方向中所視 。與該對齊區1 0有關連地設置對齊機構42。於該對齊區 1〇中，產生該夾緊機構36上所夾在之半導體晶圓20之 面之一影像，且依據此影像如所需地充分精確定位該半導 體晶圓20。然後，該半導體晶圓20係藉著該切割機構44 之作用於該切割區12中沿著該街道式圖案28切割。該長 方形區域3 0係藉著此切割個別地分開，但該安裝狹帶22 係決不會藉此切割。如此，該個別分開之長方形區域3 0 繼續經由該安裝狹帶22安裝在該機架24上。稍後將更進 一步詳細地敘述該對齊機構42及該切割機構44。 在如所需要地於該切割區1 2中切割該半導體晶圓20 之後，該夾緊機構36係返回至該夾緊區8。與該夾緊區 8及該淸潔/乾燥區14有關連地設置第三運送機構46。 安裝在其上面之機架24及半導體晶圓20係藉著該第三運 送機構46載入該淸潔/乾燥區14。於該淸潔/乾燥區14 中，已切割之半導體晶圓2 0係藉著淸潔/乾燥機構（未示 出）淸潔及乾燥。然後，安裝在其上面之機架24及半導體 晶圓20係藉著該第二運送機構34返回至該臨時等候區6 ，且然後藉著該第一運送機構32返回進入該卡匣18。 於圖3中，省略設置在該夾緊機構36之兩側面上之 機殻2之頂部壁面及該伸縮軟管機構41，及說明設置在 其下方之組件。隨著圖1參考圖3，支撐板48係設置在 該機殻2內。在該X軸方向中延伸之一對導軌50係固定 至該支撐板48上，且一滑塊52係安裝在該對導軌50上 -9- (7) 1294330 ，以致可於該X軸方向中移動。一在該X軸方向中延伸 之設有螺紋之軸桿5 4係可旋轉地安裝於該對導軌5 0之間 ’且一脈衝馬達5 6之輸出軸桿係連接至該設有螺紋之軸 桿54。該滑塊52具有一往下延伸之垂下部份（未示出）， 且於該X軸方向中延伸爲一穿透孔之內螺紋孔係形成在 該垂下部份中。該設有螺紋之軸桿5 4係扭緊進入該內螺 紋孔。一支撐平台5 9係經由一圓柱形構件5 8固定至該滑 塊5 2，且該夾緊機構3 6係亦安裝在其上面。如此，當該 脈衝馬達5 6係於該正常方向中旋轉時，該支撐平台5 9及 該夾緊機構3 6係在一由箭頭60所指示之切割方向中移動 。當該脈衝馬達5 6係在該反轉方向中旋轉時，該支撐平 台5 9及該夾緊機構3 6係在一由箭頭62所指示之返回方 向中移動。安裝構成該夾緊機構36之夾頭板38及該對抓 緊機構40，以便可繞著一大體上垂直地延伸之中心軸旋 轉。用於轉動該夾頭板3 8及該對抓緊機構4 0之一脈衝馬 達（未示出）係設置在該圓柱形構件58內。 一對在Y軸方向中延伸之導軌64係固定至該支撐板 48，且一滑塊66係安裝在該對導軌64上，以致可於該Y 軸方向中移動。一在該Y軸方向中延伸之設有螺紋之軸 桿68係可旋轉地安裝於該對導軌64之間，且一脈衝馬達 72之輸出軸係連接至該設有螺紋之軸桿68。該滑塊66係 幾乎呈L形，且具有一水平基部74及一由該水平基部74 向上延伸之直立部份76。一延伸往下之垂下部份（未示出） 係形成在該水平基部74中，且於該Y軸方向中延伸爲一 -10- 1294330 (8) 穿透孔之內螺紋孔係形成在該垂下部份中。該設有螺紋之 軸桿6 8係扭緊進入該內螺紋孔。於Z軸方向中延伸之一 對導軌80(圖3僅只顯示該導軌80之一之上端）係形成在 該滑塊66 β之直立部份76中。一連接塊件82係安裝在該 對導軌80上，以便可於該Ζ軸方向中移動。一在該Ζ軸 方向中延伸之設有螺紋之軸桿（未示出）係可旋轉地安裝在 該滑塊66之直立部份76上，且一脈衝馬達84之輸出軸 係連接至該設有螺紋之軸桿。一突出朝向該滑塊66直立 部份76之突出部份（未示出）係形成在該連接塊件82中， 且於該Ζ軸方向中延伸當作一穿透孔之內螺紋孔係形成在 該突出部份中。該前述在該Ζ軸方向中延伸之設有螺紋之 軸桿係扭緊進入該內螺紋孔。該前述之切割機構44係安 裝在該連接塊件82上。該切割機構44具有一固定至該連 接塊件82之殼體86，且一在該Υ軸方向中延伸之轉動心 軸88(圖4)係可旋轉地安裝在該殼體86內。一旋轉工具 9〇係可分離地安裝在該轉動心軸8 8之一前端部份上。一 用於噴射可爲純水之冷卻液體之冷卻液體噴射機構92係 設置在該殼體86之前端。將在稍後更進一步詳細敘述包 含該轉動心軸88及該旋轉工具90之切割機構44。 當該脈衝馬達7 2在該正常方向中旋轉時，該滑塊6 6 係於該Υ軸方向中按標示向前調整，藉此該旋轉工具90 係於該Υ軸方向中按標示向前調整。當該脈衝馬達72係 在該反轉方向中旋轉時，該滑塊66係於該Υ軸方向中按 標示向後調整，藉此該旋轉工具90係於該Υ軸方向中按 -11 - 1294330 (9) 標示向後調整。當該脈衝馬達8 4係在該正常之方向中旋 轉，該連接塊件8 2係在該Z軸方向中降低’藉此該旋轉 工具90係於該Z軸方向中降低。當該脈衝馬達84係在該 反轉方向中旋轉時，該連接塊件8 2係於該Z軸方向中升 高，藉此該旋轉工具90係在該Z軸方向中升高。 一於該X軸方向中突出之支撐塊件94係固定至該殼 體86，且一構成前述對齊機構42之顯微鏡96係安裝在 該支撐塊件94上。當該夾緊機構36係位在該對齊區10 中時，該夾緊機構3 6係位在該顯微鏡9 6之下方’然後夾 在該夾緊機構36上之半導體晶圓20之面一光學影像係入 射在該顯微鏡96上。藉著成像機構（未示出）對所需之影 像處理拾取進入該顯微鏡96之光學影像，該成像機構能 由電荷藕合元件所製成。在影像處理之後’影像信號係傳 送至控制機構，在此它們係用於該半導體晶圓20之條街 道式圖案28及該切割機構44之旋轉工具90間之對齊。 該影像信號係亦傳送至一設置在該機殼2上之監示器98 ，且顯示在該監示器98上。 參考圖4，二徑向空氣軸承及1〇2係在該切割機 構44之殼體86內設置於該軸向中之一距離處，且一位於 這些徑向空氣軸承100及102間之止推空氣軸承1〇4係設 置於該殼體86內。一與該徑向空氣軸承100及102以及 該止推空氣軸承1〇4相通之供氣通道106係亦形成在該殼 體86中。該供氣通道1〇6係連接至一壓縮空氣源1〇8， 以致壓縮空氣係經由該供氣通道1 0 6供給至該徑向空氣軸 -12- (10) 1294330 承100及102及該止推空氣軸承1〇4。該轉動心軸88係 藉著該徑向空氣軸承1〇〇及1〇2及該止推空氣軸承104可 旋轉地安裝。藉著該止推空氣軸承1〇4所支撐之一環狀凸 緣1 〇 7係形成在該轉動心軸8 8上。基於藉著該止推空氣 軸承104支撐該環狀凸緣107，限制該轉動心軸88之軸 向移動。 一用於在高速下轉動該轉動軸8 8之轉動驅動源1 i 〇 係設置在該殼體8 6之一後方端點部份內。於所示具體實 施例中之轉動驅動源1 1 0係由一電動馬達所構成，該馬達 包含一安裝在該轉動心軸8 8之後方端點部份上之轉子 112，及設置環繞著該轉子112之定子114。該轉子112 係由一永久之磁鐵所形成，而該定子1 1 4係由一線圈所形 成。 該轉動心軸8 8之一前端部份由該殼體8 6突出，且該 旋轉工具9 0係經由一安裝器具1 1 6安裝在此前端部份上 。更詳細地，朝向該轉動心軸8 8之前端（圖4中之左端） 於外徑中逐漸縮減之一錐形部份1 1 8係設置在該轉動心軸 88之前端部份中，該心軸可由一合適之金屬所形成，諸 如不銹鋼。一設有外螺紋之部份1 20具有一幾乎對應於該 錐形部份1 1 8之最小外徑之外徑’且一外螺紋係形成在設 有外螺紋之部份1 2 0之外周邊表面上。朝向該安裝器具 1 1 6之前面端點於內徑中逐漸縮減之一穿透孔1 2 2係設置 在該安裝器具116中，該安裝器具能同樣由由一合適之金 屬所形成，諸如不銹鋼。設置在該轉動心軸8 8中之錐形 -13- 1294330 (11) 部份118之錐角、及設置在該安裝器具116中 1 2 2之錐角係大體上設定成相同。一徑向地向外 緣1 2 4係形成於該安裝器具u 6之一後方部份中 前凸出之環狀突出部份126係形成在該凸緣部份 外周邊部份之前表面上。該環狀突出部份126之 體上係垂直於該安裝器具116之中心軸。一安裝 及一設有外螺紋之部份1 3 0係設置在該環狀突出 之前方。該安裝部份128具有一圓柱形之外周邊 設有外螺紋之部份1 3 0具有與該安裝部份1 2 8之 相同之外徑，及具有一形成在其外周邊表面上之 一向前凸出之環狀突出部份132係形成在該安裝 之前表面上，且該環狀突出部份132之前端表面 垂直於該安裝器具116之中心軸。如在圖4所示 器具116之穿透孔122係裝配在該轉動心軸88 份1 1 8上方。一扭緊構件、亦即一螺帽構件1 3 4 該轉動心軸8 8之設有外螺紋之部& 1 2 0上。如 該螺帽構件1 34施加一用以迫使該安裝器具1 1 < 圖4中向右）之力量至該安裝器具116之環狀 132，藉此使得該安裝器具116之穿透孔122與 軸8 8之錐形部份1 1 8形成接觸。其結果是該 Π 6係固定至該轉動心軸8 8。 進一步參考圖4，所示具體實施例中之旋奉| 係由一軸心1 3 6及一環狀切刃1 3 8所構成。一穿 係形成在該軸心1 3 6之一中心部份中，該穿透孔 之穿透孔 突出之凸 ，且一向 124 之一 前表面大 部份1 2 8 部份1 2 6 表面。該 外徑幾乎 外螺紋。 器具1 1 6 係大體上 ，該安裝 之錐形部 係安裝在 此，藉著 5向後（於 突出部份 該轉動心 安裝器具 I工具90 透孔1 4 0 之內徑大 -14- (12) 1294330 體上與該安裝器具116之安裝部份128之外徑相同’該軸 心可由由一合適之金屬所形成，諸如鋁。一環狀凸緣1 4 2 係形成在該軸心1 3 6之後方端點。該軸心1 3 6之一後方表 面（換句話說，該環狀凸緣142之後方表面）及其前表面大 體上延伸垂直於該軸心1 3 6之中心軸。該環狀切刃1 3 8係 呈環狀薄板之形式，其內部周邊部份係固定至該軸心1 3 6 之環狀凸緣142之後方表面之一外周邊部份，且其外周邊 部份突出超過該環狀凸緣136之外周邊。該環狀切刃138 可譬如係一藉著於諸如鎳之電解沉積金屬中散佈鑽石顆粒 所形成之所謂電鑄刃片，其欲電鍍在該軸心1 3 6之環狀凸 緣1 42上。如圖4所淸楚地說明，該如此架構之旋轉工具 90係裝在該安裝器具116之安裝部份128上，且然後該 扭緊構件、亦即螺帽構件1 44係扭緊至該安裝器具1 1 6之 設有外螺紋之部份130上，藉此該旋轉工具90係可分離 地安裝在該安裝器具116上。該螺帽構件144具有一大體 上垂直於其中心軸之後方表面。該螺帽構件1 44係扭緊至 該安裝部份1 1 6之設有外螺紋之部份1 30，以於該安裝部 份H6之環狀突出部份126及該螺帽構件144之後方表面 之間插入該旋轉工具90，藉此將該旋轉工具90安裝在適 當位置。 於按照本發明所製成之加工設備中，其重要的是設置 用於選擇性地抑止該轉動心軸8 8之旋轉之選擇性旋轉抑 止機構。隨著圖4參考圖5_六至5-C，完全以數字146指 示之選擇性旋轉抑止機構包含至少一形成在該轉動心軸 -15- (13) 1294330 88之一外周邊表面中之止動凹面148(最好於該圓周方向 中以相等間隔形成複數止動凹面148)，及一與該止動凹 面1 4 8配合之止動構件1 5 0。更詳細地，於所示具體實施 例中，三個該止動凹面1 4 8係於該轉動心軸8 8之外周邊 表面中以相等間隔形成在該圓周方向中。每一止動凹面 1 4 8可爲圓形剖面。另一方面，一容置構件1 5 2係安裝在 該殼體8 6上。此容置構件1 5 2係藉著諸如黏著之合適機 構將一呈長方形平行六面體形式之基部154及一呈圓柱形 狀之突起部份1 5 6耦合在一起所形成，該圓柱由該基部 1 5 4之內部側表面突出。一內徑對應於該容置構件1 5 2之 突起部份1 5 6之外徑之穿透孔1 5 8係形成在該殻體8 6之 壁面中。該容置構件1 5 2係藉著使其突起部份1 5 6插入該 殻體8 6之穿透孔1 5 8及應用諸如拴牢螺絲之合適拴牢機 構（未示出）而固定至該殼體86。一容置孔160係形成在該 容置構件152中。該容置孔160於該基部154之厚度方向 中由該突起部份156之前端延伸至該中心。該容置孔160 之橫截面形狀可爲圓形。在該容置孔1 60前端之開口係相 向於該轉動心軸8 8之外周邊表面。一突出部份1 62係形 成在該容置孔160之底部表面之中心。一環狀突出物164 係形成在該容置孔160之前端。該止動構件150具有一相 當大直徑之圓柱形頭部1 66，及一相當小直徑之圓柱形軸 桿部份168，且坐落在該容置構件152之容置孔160中。 一由螺旋壓縮彈簧所構成之彈性偏向機構1 7 〇係亦坐落在 該容置孔1 60中。該彈性偏向機構1 70係設置環繞著該止 -16- 1294330 (14) 動構件1 5 0之軸桿部份1 6 8，且係介入該容 狀突出物164及該止動構件150之頭部166 該彈性偏向機構1 7 〇於一方向中使該止動構 偏向遠離該轉動心軸8 8，及如圖5 - A所示 件1 5 0彈性地偏向至一非操作位置，在此該 之頭部166接觸形成在該容置孔160之底部 份162。當該止動構件150係位在圖5-A所 置時，該止動構件150不會在該容置孔160 口突出，且其實質上整個係坐落在該容置孔 一與該容置孔160之後面端點部份（圖 部份）相通之供氣通道1 7 2係亦形成在該容f 基部154中。選擇性地造成該供氣通道172 174與該壓縮空氣源108及該大氣相通。 1 72係與該大氣相通時，該止動構件1 5 0係 向機構1 70之彈性偏向作用位在圖5所示之 在另一方面，當使得該供氣通道172與該壓 相通時，壓縮空氣係經過該供氣通道1 72供 1 60之後方端點部份，且該壓縮空氣作用] 150之後方端點上，藉此於圖5-A中強迫該 向左抵住該彈性偏向機構1 70之彈性偏向作 所示，當該轉動心軸8 8中所形成之止動凹Ϊ 一個係未與該止動構件150之自由端對齊時 空氣所驅策之止動構件1 5 0之自由端係壓抵 8 8之外周邊表面。當該轉動心軸8 8係稍微 置孔160之環 之間。如此， 件1 5 0彈性地 ，使該止動構 止動構件1 5 0 表面之突出部 示之非操作位 之前端由該開 1 60 中。 5 - A中之右端 置構件1 5 2之 經由一選擇閥 當該供氣通道 藉著該彈性偏 非操作位置。 縮空氣源1 〇 8 給至容該置孔 於該止動構件 止動構件150 用。如圖5-B S 1 4 8之任何 ，藉著該壓縮 住該轉動心軸 旋轉至使得該 -17· (15) 1294330 止動凹面148之一與該止動構件150之自由端對齊 著該壓縮空氣所驅策之止動構件150係前進至圖5-示之操作位置，藉此其自由端係與該止動凹面1 4 8 嚙合。其結果是，抑止該轉動心軸8 8之旋轉。當 供氣通道172與該大氣相通以由該容置孔160排出 氣時，該止動構件150係返回至圖5-A中所示之非 置。如此，該止動構件150之自由端由該止動凹面 出，以致允許該轉動心軸8 8之旋轉。 另隨同圖4參考圖5，當於上述切割機構44 由該電動馬達所構成之轉動驅動源1 1 0通電時，該 軸8 8係於一可自由旋轉之狀態中。如此，當用於 轉工具9 0安裝在該轉動心軸8 8上之螺帽構件1 3 4 裝在該轉動心軸8 8上或由該轉動心軸8 8分離時， 螺帽構件144係欲安裝在該安裝器具116上或由該 具1 1 6分離時，其需要抑止該轉動心軸8 8之旋轉 預定方向中旋轉該螺帽構件1 3 4或1 4 4。於按照本 製成之加工設備中，可僅只藉著操作該選擇閥174 供氣通道172與該壓縮空氣源1〇8相通而抑止該轉 88之旋轉。當使得該供氣通道172與該壓縮空氣 相通時，於圖5 - A中強迫該止動構件1 5 0向左抵住 偏向機構1 7 〇之彈性偏向作用。如圖5 - C所示，當 凹面148之一係與該止動構件150之自由端對齊時 動構件150係移至圖5-C所示之操作位置，藉此該 件150之自由端係與該止動凹面148嚙合。其結果: 時，藉 C中所 之內部 使得該 壓縮空 操作位 148退 中不使 轉動心 將該旋 係欲安 或當該 安裝器 及於一 發明所 以使該 動心軸 源108 該彈性 該止動 ，該止 •L動構 1 ，抑 -18- 1294330 (16) 止該轉動心軸88之旋轉。當該止動凹面148之一未與該 止動構件1 5 0之自由端對齊時，該轉動心軸8 8係稍微旋 轉直至該止動凹面148之一與該止動構件150之自由端對 齊。在該轉動心軸8 8之數次旋轉之後，使得該止動構件 150之自由端係與該止動凹面148嚙合。如此，抑止該轉 動心軸8 8之旋轉。 如上所述，已參考所附圖面詳細地敘述按照本發明所 製成之加工設備之較佳具體實施例。然而，應了解可作各 種修改及變化，卻未脫離本發明之範圍及精神。 譬如，於所示具體實施例中，藉著壓縮空氣迫使該止 動構件1 5 0至該操作位置。反之，可藉著電磁螺管或其他 致動機構迫使該止動構件1 5 0至該操作位置。再者，假如 想要時，可設置一合適之手動操作桿，且可藉著手動地操 作此一手動操作桿迫使該止動構件1 5 0至該操作位置。於 此案例中，其想要的是將一鎖定機構附加至該手動操作桿 ，並能夠於已迫使該止動構件1 5 0至該操作位置之狀態中 可鬆開地鎖上該手動操作桿。 再者，於所示具體實施例中，使用具有該環狀切刃 138固定至於該軸心136之旋轉工具90。然而，能使用各 種型式之旋轉工具，諸如一種僅只由該環狀切刃之旋轉工 具（藉著於該安裝器具11 6及一對應抓緊構件之間夾住該 旋轉工具，此一旋轉工具可安裝在該轉動心軸88上）。 此外，於所示具體實施例中，該螺帽構件1 3 4係扭緊 至該轉動心軸8 8之前端部份中所形成之外螺紋。反之， -19- (17) 1294330 其允許於該轉動心軸8 8之前端表面中形成一內螺紋孔， 且將一扭緊構件扭緊進入此內螺紋孔，藉此由該螺栓構件 之頭部施加一力量至該安裝器具116之前表面，而迫使該 安裝器具1 1 6向後。 【圖式簡單說明】 圖1係一透視圖，其顯示根據本發明所製成之加工設 備較佳具體實施例之整體。 圖2係一透視圖，其顯示一欲藉著圖1之加工設備切 割之半導體晶圓，該半導體晶圓係經由一安裝狹帶安裝在 一機架上。 圖3係一透視圖，其顯示圖1加工設備之切割相關主 要組件。 圖4係一剖視圖，其顯示圖1加工設備之切割機構。 圖5-A至5-C係取自圖4剖線V-V之橫截面視圖。 元件對照表 2 :機殼 4 :裝載區 6 =臨時等候區 8 :夾緊區 1 0 :對齊區 1 2 :切割區 1 4 :淸潔/乾燥區 1 6 :舉起/降低平台 -20- (18) (18)1294330 1 8 :卡厘 2 0 :晶圓 22 :安裝狹帶 24 :機架 26 :開口 2 8 :街道式圖案 3 0 :長方形區域 32 :運送機構 3 4 :運送機構 3 6 :夾緊機構 3 8 :夾頭板 40 :抓緊機構 4 1 :伸縮軟管機構 42 :對齊機構 44 :切割機構 4 6 :運送機構 4 8 :支撐板 5 0 :導軌 5 2 :滑塊 54 :設有螺紋之軸桿 5 6 :脈衝馬達 5 8 :圓柱形構件 59 :支撐平台 60 :箭頭 -21 1294330 (19) 6 2 :箭頭 64 :導軌 6 6 :滑塊 6 8 :設有螺紋之軸桿 72 :脈衝馬達 7 4 :基部 7 6 :直立部份 8 0 :導軌 8 2 :連接塊件 84 :脈衝馬達 8 6 :殼體 8 8 :心軸 9 0 :旋轉工具 92 :噴射機構 94 :支撐塊件 96 :顯微鏡 9 8 :監示器 1 0 〇 :空氣軸承 1 0 2 :空氣軸承 104 :空氣軸承 106 :供氣通道 1 0 7 :凸緣 1 〇 8 :空氣源 1 1 0 :驅動源 -22 1294330 (20) 1 1 2 :轉子 1 14 :定子 116 :安裝器具 1 1 8 :錐形部份 120 :設有外螺紋之部份 122 :穿透孔 124 :凸緣 1 2 6 :突出部份 1 2 8 :安裝部份 1 3 0 :設有外螺紋之部份 1 3 2 :突出部份 1 3 4 :螺帽構件 1 3 6 :軸心 1 3 8 :切刃 140 :穿透孔 142 :凸緣 144 :螺帽構件 146 :旋轉抑止機構 1 48 :止動凹面 1 5 0 :止動構件 152 :容置構件 154 :基部 156 :突起部份 1 5 8 :穿透孔 -23 (21) 1294330 1 6 0 :容置孔 162 :突出部份 1 6 4 :突出物 1 6 6 :頭部 1 6 8 :軸桿部份 1 7 〇 :偏向機構 172 :供氣通道 174 :選擇閥

Claims (1)

1294330 〖捧丨(月^ R修(東)正替挺貝丨 拾、申請專利範圍 第93 1 0 1 762號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國96年11月29日修正 1 · 一種加工設備，其包含一可旋轉地安裝之轉動心軸 ;一轉動驅動源，其用以旋轉式驅動該轉動心軸；一旋轉 工具，其可分離地安裝在該轉動心軸上；及至少一扭緊構 件，其扭緊至該轉動心軸上，用於將該旋轉工具安裝在該 轉動心軸上，其中 設置選擇性旋轉抑止機構，用以選擇性地抑止該轉動 心軸之旋轉。 2.如申請專利範圍第1項之加工設備，其中該選擇性 旋轉抑止機構包含至少一止動凹面，其形成在該轉動心軸 之一外周邊表面中；及一止動構件，其選擇性地位在該止 動構件嚙合該止動凹面之一操作位置及該止動構件由該止 動凹面退出之一非操作位置。 3 .如申請專利範圍第2項之加工設備，其中複數止動 凹面係形成在一圓周方向中之各間隔處。 4.如申請專利範圍第2項之加工設備，其中該選擇性 旋轉抑止機構包含一容置構件，在該容置構件中形成有一 容置孔，該容置孔具有一相向於該轉動心軸之外周邊表面 之開口，該止動構件係可滑動地容置於該容置孔中，且當 該止動構件係位在該操作位置時’其前端部份局部由該容 置孔之開口突出，而當該止動構件係位在該非操作位置時 1294330 {i ；]^Γ

，其實質上整個容置於該容置孔中。 5 .如申請專利範圍第4項之加工設備，其中該選擇性 旋轉抑止機構包含彈性偏向機構，用以使該止動構件彈性 地偏向至該非操作位置，且迫使用以選擇性地滑動該止動 構件至該操作位置之滑動機構抵住該彈性偏向機構之彈性 偏向作用。 6 ·如申請專利範圍第5項之加工設備，其中該迫使滑 動機橇造成壓縮空氣作用於該止動構件之後方端點上。 7 ·如申請專利範圍第1項之加工設備，其中該旋轉工 具具有一包含鑽石顆粒之環狀切刃。