DE10062199B4 - Substratprozessvorrichtung und Verfahren zum Prozessieren eines Wafers - Google Patents
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Abstract
Substratprozessvorrichtung
zum Prozessieren eines Substrats (W) durch eine Mehrzahl von Prozessen
mit:
einer ersten Prozesskammer (2) zum Unterbringen des Substrats (W);
einer zweiten Prozesskammer (4) zum Unterbringen des Substrats (W), die an die erste Prozesskammer (2) angrenzt und mit der ersten Prozesskammer (2) verbindbar ist;
einem Halteglied (6) zum Halten des Substrats (W), um das Substrat (W) zwischen der ersten Prozesskammer (2) und der zweiten Prozesskammer (4) zu transportieren;
einer Lösungsdampfversorgungsöffnung (8), durch die Lösungsdampf in die erste Prozesskammer (2) zugeführt wird;
einer Prozessgasversorgungsöffnung (9), durch die ein Prozessgas in die erste Prozesskammer (2) zugeführt wird;
einer Trocknungsgasversorgungsöffnung (10), durch die ein Trocknungsgas in die erste Prozesskammer (2) zugeführt wird; und
einer Prozessflüssigkeitsversorgungsöffnung (11), durch die eine Prozessflüssigkeit in die zweite Prozesskammer (4) zugeführt wird.
wobei
der Lösungsdampf, der durch die Lösungsdampfversorgungsöffnung (8) zugeführt wird, Wasserdampf ist,
das Prozessgas, das...
einer ersten Prozesskammer (2) zum Unterbringen des Substrats (W);
einer zweiten Prozesskammer (4) zum Unterbringen des Substrats (W), die an die erste Prozesskammer (2) angrenzt und mit der ersten Prozesskammer (2) verbindbar ist;
einem Halteglied (6) zum Halten des Substrats (W), um das Substrat (W) zwischen der ersten Prozesskammer (2) und der zweiten Prozesskammer (4) zu transportieren;
einer Lösungsdampfversorgungsöffnung (8), durch die Lösungsdampf in die erste Prozesskammer (2) zugeführt wird;
einer Prozessgasversorgungsöffnung (9), durch die ein Prozessgas in die erste Prozesskammer (2) zugeführt wird;
einer Trocknungsgasversorgungsöffnung (10), durch die ein Trocknungsgas in die erste Prozesskammer (2) zugeführt wird; und
einer Prozessflüssigkeitsversorgungsöffnung (11), durch die eine Prozessflüssigkeit in die zweite Prozesskammer (4) zugeführt wird.
wobei
der Lösungsdampf, der durch die Lösungsdampfversorgungsöffnung (8) zugeführt wird, Wasserdampf ist,
das Prozessgas, das...
Description
- Gebiet der Erfindung
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine Substratprozessvorrichtung und ein Verfahren zum Prozessieren von Substraten, wie z.B. Halbleiterwafern durch eine Mehrzahl von Verfahren einschließlich eines Säuberungsverfahrens und Trocknungsverfahrens.
- Beschreibung des Standes der Technik
- Ein Herstellungsverfahren für Halbleitervorrichtungen verwendet eine Prozessvorrichtung, die Substrate säubert, wie z.B. Halbleiterwafer (anschließend einfach als Wafer bezeichnet), um einen Lackfilm, der auf den Wafern für ein fotolithografisches Verfahren gebildet ist, und Schmutzstoffe, die an den Wafern haften, wie z.B. Teilchen, organische Substanzen und metallische Verunreinigungen, von dem Wafer zu entfernen. Herkömmliche Prozessvorrichtungen dieser Art, die weit bekannt sind, sind Stapelprozessysteme, die eine Mehrzahl von Wafern in einem Stapel säubern und trocknen.
- Solch eine Prozessvorrichtung ist mit einer Waferprozesseinheit, einer Spüleinheit und einer Wafertrocknungseinheit versehen. Die Waferprozesseinheit prozessiert Wafer durch Zuführen von Prozessgasen und Dampf in eine Prozesskammer. Die Spüleinheit taucht die Wafer in reines Wasser, das in einem Säuberungstank zum Spülen enthalten ist (Spülverfahren). Die Wafertrocknungseinheit trocknet Wafer durch Zuführen von Isopropylalkohol (danach abgekürzt als "IPA") in eine Trocknungskammer. Bereits prozessierte Wafer werden nacheinander einem Spülverfahren und einem Trocknungsverfahren ausgesetzt.
- Ein mit Ozon unterstützter Prozess wird durchgeführt zum Verändern des Lackfilms, der auf den Wafern gebildet ist, durch Verwenden von z.B. Ozongas (O3-Gas) und Dampf in wasserlöslichen Filmen, die einfach durch ein nachfolgendes Spülverfahren von den Wafern entfernt werden können. Ein Fluorwasserstoffsäure-Säuberungsprozess zum Entfernen von natürlichen Oxidfilmen und Schmutzstoffen von den Wafern verwendet Fluorwasserstoffsäuredampf (HF-Dampf). Wird eine Mehrzahl von Waferprozessierverfahren durch eine einzelne Waferprozessvorrichtung ausgeführt, so wird eine Waferprozesseinheit und eine Spüleinheit für jeden der Mehrzahl der Waferprozessierverfahren verwendet, und die Mehrzahl der Waferprozessierverfahren und Spülverfahren wird wechselweise durchgeführt.
- Da die herkömmliche Waferprozessvorrichtung mit einer individuellen Waferprozesseinheit, einer individuellen Spüleinheit und einer individuellen Wafertrocknungseinheit versehen ist, ist die Waferprozessvorrichtung jedoch groß. Beim Ausführen einer Mehrzahl von Prozessen durch eine Mehrzahl von Prozesseinheiten, die in einer einzigen Prozessvorrichtung enthalten sind, muss die Prozessvorrichtung mit einer Mehrzahl von Waferprozesseinheiten und einer Mehrzahl von Spüleinheiten versehen sein. Folglich bedarf die Prozessvorrichtung für die Installation einer großen Bodenfläche. Wafer, die durch einen Prozess prozessiert werden, der ein Gemisch aus einem Prozessgas und Dampf verwendet, werden zu einer Spüleinheit transportiert. Während die Wafer zur Spüleinheit transportiert werden, werden die Wafer der Atmosphäre ausgesetzt, was nicht ideal ist, da das Aussetzen der Wafer der Atmosphäre die Möglichkeit einer Bildung eines natürlichen Oxidfilms auf den Wafern schafft. Falls das Transportieren der Wafer zur Spüleinheit lange andauert, werden Reaktionsprodukte, die auf den Wafern durch das Verfahren, welches das Gemisch aus Prozessgas und Dampf verwendet, produziert und verschlechterte Filme, die auf dem Wafer gebildet sind, werden in unterschiedliche Materie umgewandelt, wenn dieselben der Atmosphäre ausgesetzt sind. Folglich ist es möglich, dass die Reaktionsprodukte und Filme, von denen erwartet wird, dass sie auf einfache Weise von dem Wafer durch ein nachfolgendes Spülverfahren abgespült werden können, aushärten und unlöslich werden und als Kontaminierungen auf den Wafern zurückbleiben.
- Substratprozessvorrichtungen zum Reinigen und Trocknen von Halbleiterwafern sind z.B. aus der
DE 196 52 526 A1 und derDE 44 13 077 C2 bekannt. - ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
- Entsprechend ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Substratprozessvorrichtung bereitzustellen, die klein ist und in der Lage ist, prozessierte Substrate vor dem Aussetzen an die Atmosphäre zu schützen und ein Substratprozessierverfahren in Verbindung mit der Vorrichtung bereitzustellen.
- Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Patentansprüche 1 und 12 gelöst. Bevorzugte Merkmale sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche 2 bis 11 sowie 13, 14.
- Um diese Aufgabe zu lösen, ist entsprechend einem Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Substratprozessvorrichtung zum Prozessieren eines Substrats durch eine Mehrzahl von Verfahren versehen mit: einer ersten Prozesskammer zum Unterbringen eines Substrats; einer zweiten Prozesskammer zum Unterbringen des Substrats, die sich an die erste Prozesskammer anschließt und mit der ersten Prozesskammer in Verbindung ist; einem Halteglied zum Halten des Substrats, um das Substrat zwischen der ersten Prozesskammer und der zweiten Prozesskammer zu tragen; einer Lösungsdampfversorgungsöffnung, durch das Lösungsdampf in die erste Prozesskammer zugeführt wird; einer Prozessgasversorgungsöffnung, durch das ein Prozessgas der ersten Prozesskammer zugeführt wird; einer Trocknungsgasversorgungsöffnung, durch das ein Trocknungsgas in die erste Prozesskammer zugeführt wird; und einer Prozessflüssigkeitsversorgungsöffnung, durch die eine Prozessflüssigkeit in die zweite Prozesskammer zugeführt wird.
- Zuerst wird das Substrat in die erste Prozesskammer gestellt, wenn das Substrat durch diese Substratprozessiervorrichtung verarbeitet wird. Ein Lösungsdampf wird durch die Lösungsdampfversorgungsöffnung in die erste Prozesskammer zugeführt, und ein Prozessgas wird durch die Prozessgasversorgungsöffnung in die erste Prozesskammer zugeführt, um das Substrat zu prozessieren. Nachdem das Substrat prozesiert worden ist, trägt das Halteglied das Substrat von der ersten Prozesskammer in die zweite Prozesskammer. Anschließend wird eine Prozessflüssigkeit durch die Prozessflüssigkeits-versorgungsöffnung in die zweite Prozesskammer zugeführt, um das Substrat mit der Prozessflüssigkeit zu prozessieren. Anschließend trägt das Halteglied das Substrat von der zweiten Prozesskammer in die erste Prozesskammer. Anschließend wird ein Trocknungsgas durch die Trocknungsgasversorgungsöffnung in die erste Prozesskammer zugeführt, um das Substrat durch ein Trocknungsverfahren zu trocknen.
- Da das Verfahren, welches das Prozessgas und den Lösungsdampf verwendet, und das Verfahren, welches die Prozessflüssigkeit verwendet, und das Trocknungsverfahren in der ersten und zweiten Prozesskammer ausgeführt werden, die sich aneinander anschliessen und in der Lage sind, miteinander zu kommunizieren bzw. in Verbindung zu stehen, kann die Substratprozessiervorrichtung in kleinem Maßstab gebildet sein. Da das Substrat während all dieser Verfahren nicht aus der Prozessvorrichtung herausgenommen wird, kann vermieden werden, dass das Substrat, welches durch das Verfahren prozessiert wurde, welches das Prozessgas und den Lösungsdampf verwendet, der Atmosphäre ausgesetzt wird.
- Da die erste und zweite Prozesskammer sich aneinander anschliessen und das Substrat sehr rasch von der ersten Prozesskammer zur zweiten Prozesskammer transportiert werden kann, kann das Substrat mit der Prozessflüssigkeit sofort nach dem Verfahren prozessiert werden, welches das Prozessgas und den Lösungsdampf verwendet, und kann mit dem Trocknungsgas sofort nach dem Verfahren prozessiert werden, das die Prozessflüssigkeit verwendet. Entsprechend kann die Bildung von einem natürlichen Oxidfilm auf dem Substrat und das verändern der Reaktionsprodukte, die auf dem Substrat gebildet und in unterschiedliche Materie verändert werden, vermieden werden. Anschließend können die Verfahren auf geeignete Weise ausgeführt werden, und der Ausstoß dieser Verfahren kann verbessert sein.
- Erfindungsgemäß ist das Prozessgas, das durch die Prozessgasversorgungsöffnung zugeführt wird, Ozongas. Es wurde aber auch die Verwendung von Gasen in Betracht gezogen, die reaktive Arten (Radikale, Ionen), wie z.B. Chlorgas, Fluorgas und dergleichen enthalten.
- Erfindungsgemäß ist der Lösungsdampf, der durch die Lösungsdampfversorgungsöffnung zugeführt wird, Wasserdampf, das Prozessgas, welches durch die Prozessgasversorgungsöffnung zugeführt wird, ist Ozongas, das Trocknungsgas, welches durch die Trocknungsgasversorgungsöffnung zugeführt wird, kann ein Gas sein, welches IPA-Dampf enthält, und die Prozessflüssigkeit, die durch die Prozessflüssigkeitversorgungsöffnung zugeführt wird, ist Wasser.
- Die Substratprozessiervorrichtung kann das Substrat durch ein mit Ozon unterstütztes Verfahren prozessieren, wobei Ozongas durch die Prozessgasversorgungsöffnung in die erste Prozesskammer, die das Substrat enthält, zugeführt wird, nachdem Dampf durch die Lösungsdampfversorgungsöffnung in die erste Prozesskammer zugeführt wurde, und das Substrat wird von der ersten Prozesskammer in die zweite Prozesskammer durch das Halteglied transportiert, und kann das Substrat durch ein Spülverfahren prozessieren, indem Wasser durch die Prozessflüssigkeitversorgungsöffnung in die zweite Prozesskammer zugeführt wird, und kann das Substrat von der zweiten Prozesskammer in die erste Prozesskammer durch das Halteglied transportieren, und kann das Substrat durch ein Trocknungsverfahren trocknen, das ein Gas, welches IPA-Dampf enthält durch die Trocknungsgasversorgungsöffnung in die erste Prozesskammer zuführt.
- In der Substratprozessiervorrichtung kann eine Inertgasrohrleitung mit der Prozessgasversorgungsöffnung verbunden sein, so dass Inertgas von der Prozessgasversorgungsöffnung in die erste Prozesskammer zugeführt wird.
- Vorzugsweise wird in diesem Fall zumindest der Lösungsdampf, das Prozessgas und das Trocknungsgas mit Inertgas, die durch die Inertgasrohrleitung zugeführt wurde, von der ersten Prozesskammer ausgeblasen, so dass die Atmosphäre in der ersten Prozesskammer ersetzt wird. In der Substratprozessvorrichtung kann die zweite Prozesskammer unterhalb der ersten Prozesskammer gebildet sein. So kann das Verfahren, welches das Prozessgas und den Lösungsdampf verwendet, und das Verfahren, welches die Flüssigkeit verwendet, und das Trocknungsverfahren durch die Substratprozessvorrichtung, die eine Bodenfläche für eine Prozesskammer benötigt, ausgeführt werden.
- Vorzugsweise wird in diesem Fall eine Abgasrohrleitung mit der ersten Prozesskammer verbunden, so dass die in der ersten Prozesskammer enthaltene Atmosphäre entlassen wird.
- Vorzugsweise wird in diesem Fall ein Flusssteuerventil in der Abgasrohrleitung bereitgestellt, um so eine Flussrate der Atmosphäre zu steuern, die durch die Abgasrohrleitung entlassen wird, und um den Druck in der ersten Prozesskammer zu regeln.
- Vorzugsweise wird die Substratprozessvorrichtung mit einem Shutter versehen, der zwischen der ersten Prozesskammer und der zweiten Prozesskammer gestellt ist und in der Lage ist, geöffnet und geschlossen zu werden.
- Die Verteilung der Atmosphäre, die in der ersten Prozesskammer erzeugt wird, in die zweite Prozesskammer und der Fluss der Flüssigkeitsatmosphäre, der in der zweiten Prozesskammer erzeugt wurde, in die erste Prozesskammer kann verhindert werden durch Schließen des Shutters, während das Verfahren in der ersten Prozesskammer und der zweiten Prozesskammer durchgeführt wird.
- Vorzugsweise wird eine Mehrzahl von Prozessgasversorgungsrohrleitungen, durch die verschiedene Prozessgase zugeführt werden, entsprechend mit den Prozessgasversorgungsöffnungen verbunden.
- So kann eine Mehrzahl von verschiedenen Verfahren durch individuellen Gebrauch der unterschiedlichen Gase in Kombination mit einem Lösungsdampf erhalten werden. Vorzugsweise werden eine Mehrzahl von Rohrleitungen für die Prozessflüssigkeit, durch die verschiedene Prozessflüssigkeiten zugefügt werden, mit den Prozessflüssigkeitsversorgungsöffnungen verbunden. So kann eine Mehrzahl von verschiedenen Prozessen durch individuellen Gebrauch von verschiedenen Prozessflüssigkeiten erhalten werden.
- Vorzugsweise wird in diesem Fall die Substratprozessvorrichtung mit einer Mehrzahl von Ablassrohrleitungen versehen, um verschiedene Prozessflüssigkeiten von der zweiten Prozesskammer abzulassen.
- Entsprechend einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Substratprozessverfahren zum Prozessieren eines Substrates bzw. Wafers bereitgestellt, auf dem ein Lackfilm durch eine Mehrzahl von Prozessen gebildet wird, welche die Schritte umfassen: Tragen des Substrats in eine erste Prozesskammer zum Aufnehmen des Substrats; Oxidieren des Lackfilms auf dem Substrat in einen wasserlöslichen Film in der ersten Prozesskammer, wobei der Oxidationsschritt unter Verwendung eines Ozongases und Wasserdampf durchgeführt wird; Tragen des Substrats, auf welchem der Lackfilm oxidiert ist, von der ersten Prozesskammer in eine zweite Prozesskammer zum Aufnehmen des Substrats, wobei die erste und zweite Prozesskammer miteinander verbunden und über einen Shutter unterteilt sind; Spülen des Substrats mit Wasser in der zweiten Prozesskammer, so dass der wasserlösliche Film von dem Substrat entfernt wird; Tragen des gespülten Substrats von der zweiten Prozesskammer in die erste Prozesskammer; und Trocknen des gespülten Substrats in der ersten Prozesskammer.
- Vorzugsweise wird in diesem Fall der Schritt zum Oxidieren des Lackfilms in der ersten Prozesskammer unter einer Hochdruckatmosphäre durchgeführt.
- Vorzugsweise sind die erste und die zweite Prozesskammer durch einen Shutter voneinander isoliert, während der Schritt des Oxidierens des Lackfilms und der Schritt des Trocknens des gespülten Substrats durchgeführt werden.
- KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
-
1 ist eine Ansicht einer Substratprozessvorrichtung in einer ersten Ausführungsform entsprechend der vorliegenden Erfindung; -
2 ist eine vergrößerte Ansicht eines Behälters und eines Säuberungstanks, die in der Substratprozessvorrichtung, gezeigt in1 , enthalten sind; -
3 ist eine perspektivische Ansicht einer Waferführung; -
4 ist eine perspektivische Bodenansicht eines Shutters; -
5 ist ein Rohrleitungsdiagramm eines Dampfversorgungssystems, eines Ozongasversorgungssystems, eines IPA-Versorgungssystems und eines Reinwasserversorgungssystems; -
6 ist ein vergrößertes Rohrleitungsdiagramm eines wesentlichen Abschnitts des Dampfversorgungssystems; -
7 ist eine Seitenansicht eines Dampfversorgungsgliedes; -
8 ist ein Flussdiagramm eines Substratprozessierverfahrens, das von der in1 gezeigten Substratprozessiervorrichtung durchgeführt wird; -
9 ist eine vergrößerte Ansicht, ähnlich der2 , der Substratprozessiervorrichtung, im Falle, dass eine Abgasrohrleitung mit einem Drosselventil versehen ist; -
10 ist eine Ansicht einer Substratprozessiervorrichtung in einer zweiten Ausführungsform entsprechend der vorliegenden Erfindung; und -
11 ist ein Diagramm, das die Prozesse zeigt, die in Schritt S3' anstelle des Schrittes S3 des Substratprozessierverfahrens, gezeigt in8 , durchgeführt werden. - BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
- Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nun mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben. Die vorliegende Erfindung wird, angewendet auf Substratprozessiervorrichtungen, die z.B. 52 Wafer in einem Stapel säubern, beschrieben werden. Die Substratprozessiervorrichtung entfernt einen Lack durch Verwendung von Ozongas auf Wafern.
- Erste Ausführungsform
- Eine Substratprozessiervorrichtung
1 in einer ersten Ausführungsform entsprechend der vorliegenden Erfindung wird mit Bezug auf die1 bis9 beschrieben. - Mit Bezug auf
1 enthält die Substratprozessiervorrichtung1 einen Behälter3 , einen Säuberungstank5 , eine Waferführung6 , einen Shutter7 , ein Dampfversorgungssystem8 , ein Ozongasversorgungssystem9 , ein IPA-Versorgungssystem10 , ein Reinwasserversorgungssystem11 und eine Ablasseinheit12 . Der Behälter3 bestimmt eine erste Prozesskammer2 , die in der Lage ist, 52 Wafer W aufzunehmen. Der Säuberungstank5 , der unterhalb des Behälters, der die erste Prozesskammer2 bestimmt, angeordnet ist, bestimmt eine zweite Prozesskammer4 , die in der Lage ist, 52 Wafer W aufzunehmen. Die Waferführung6 , die als Trageglied dient, ist eine der Komponenten eines Tragegliedes zum Tragen des Substrates, um so die Wafer W zwischen der ersten Prozesskammer2 und der zweiten Prozesskammer4 zu transportieren. Ein Shutter7 ist so angeordnet, um eine Verbindung zwischen der ersten Prozesskammer2 und der zweiten Prozesskammer4 zu ermöglichen und die erste Prozesskammer2 und die zweite Prozesskammer4 voneinander zu trennen. Das Dampfversorgungssystem8 , das Ozongasversorgungssystem9 und das IPA-Versorgungssystem10 führen Dampf, d.h. einen Lösungsdampf, Ozongas (O3-Gas), d.h. ein Prozessiergas, bzw. IPA-Dampf, d.h. ein Trocknungsgas, in die erste Prozesskammer2 zu. Das Reinwasserversorgungssystem11 führt reines Wasser, d.h. eine Prozessflüssigkeit, in die zweite Prozesskammer4 zu. - Wie in
2 gezeigt, kann der Behälter3 ungefähr in einen Körper20 und eine Abdeckung21 unterteilt werden, die in der Lage ist, mit dem Körper20 so verbunden zu werden, das offene obere Ende des Körpers20 abzudecken und von dem Körper20 entfernt zu werden, um das offene, obere Ende des Körpers20 zu öffnen. Das offene obere Ende des Behälters3 öffnet sich zu einem offenen Raum46 in einer Durchführeinheit45 . Wenn das offene, obere Ende des Körpers20 mit der Abdeckung21 abgedeckt ist, wie in2 gezeigt, wird ein Lippen-O-Ring23 zwischen dem Körper20 und der Abdeckung21 gesetzt, um das Ausströmen der Atmosphäre in der ersten Prozesskammer2 zur Außenseite des Behälters3 zu verhindern. - Eine Lampenheizeinheit
25 ist an die äußere Oberfläche der Abdeckung21 angebracht. Die Lampenheizeinheit25 heizt die Wafer W, und eine Atmosphäre, welche die Wafer bei einer vorbestimmten Temperatur umgeben. Abgasbehälter26 sind in der ersten Prozesskammer2 gestellt. Die Atmosphäre in der ersten Prozesskammer2 wird in die Abgasbehälter26 gesaugt und wird außerhalb entlassen. Eine Abgasleitung27 weist ein Ende auf, das mit dem Abgasbehälter26 verbunden ist, während das andere Ende mit einem Fabrikabgassystem verbunden ist. - Der Säuberungstank
5 weist einen inneren Tank30 auf, der die zweite Prozesskammer4 bestimmt, einen mittleren Tank31 , der mit dem inneren Tank30 so verbunden ist, so dass er das offene, obere Ende des inneren Tanks30 umgibt, und einen äußeren Tank32 , der mit dem mittleren Tank31 so verbunden ist, so dass er das offene, obere Ende des mittleren Tanks31 umgibt. Das offene, obere Ende des inneren Tanks30 öffnet sich zu einem offenen Raum46 . Die zweite Prozesskammer4 ist mit einer Prozessflüssigkeit gefüllt. - Ein Ablassrohr
33 zum Ablassen der Prozessflüssigkeit, die in der zweiten Prozesskammer4 enthalten ist, ist mit einem zentralen Abschnitt der Bodenwand des inneren Tanks30 verbunden. Das Ablassrohr33 ist mit einem Sperrventil versehen. Die Prozessflüssigkeit, die von dem inneren Tank30 übergelaufen ist, wird von dem mittleren Tank31 aufgenommen und durch ein Überlaufrohr35 abgelassen, das mit dem Boden des inneren Tanks30 verbunden ist. Das Überlaufrohr35 ist mit einem Sperrventil36 versehen. Der äußere Tank32 enthält immer reines Wasser. Eine ringförmige Dichtplatte37 ist in den äußeren Tank32 gestellt. Das obere Ende der Abdichtplatte37 ist in geringem Abstand mit der Bodenoberfläche der Durchlaufeinheit45 . So besitzt der äußere Tank eine Wasserabdichtfunktion unter Verwendung von reinem Wasser, um das Ausströmen einer flüssigen Atmosphäre in den Säuberungstank5 außerhalb des Säuberungstanks5 zu verhindern. - Die Waferführung
6 wird vertikal bewegt, d.h. in den Richtungen der Pfeile in3 , durch einen Hebemechanismus, der nicht gezeigt ist. Die Waferführung6 und der Hebemechanismus bilden das Trageglied. Wie in3 gezeigt, umfasst die Waferführung6 ein Führungsglied40 und vier parallele Halteglieder41a ,41b ,41c und41d , die fest an dem Führungsglied40 in einer horizontalen Position angebracht sind. Jedes der Halteglieder41a bis41d ist mit52 Nuten42 versehen, die in gleichen Abständen angeordnet sind. Die unteren Abschnitte der Umfangsseiten der Wafer W werden in den Nuten42 aufgenommen. 52 Wafer W können in gleichen Abständen auf der Waferführung6 gehalten werden. Hinsichtlich der chemischen Widerstandsfähigkeit und der Härte wird es bevorzugt, dass jedes der Führungsglieder40 und der Halteglieder41 bis41d einen Aufbau aufweisen, der aus PCTFE (Polychlortrifluorethylen) gebildet ist und mit einem Kern aus rostfreiem Stahl versehen sind. - Wie in den
2 und4 gezeigt, kann das Shutter7 bewegt werden durch einen Antriebsmechanismus, der nicht gezeigt ist, in vertikalen Richtungen (Richtungen der Pfeile Z in4 ) und horizontalen Richtungen (Richtungen der Pfeile X in4 ). Die Abdichtglieder42 sind auf der oberen Oberfläche des Shutters7 gestellt. Der Shutter7 wird für die Öffnungs- und Schließvorgänge in der Durchlaufeinheit45 bewegt. Die Durchlaufeinheit45 ist zwischen dem Behälter3 und dem Säuberungstank5 gestellt. Die Durchlaufeinheit45 hat einen offenen Raum46 und einen Raum47 zum Aufnehmen eines Shutters. In2 wird der Shutter7 , der angezeigt ist durch durchgezogene Linien, zu dem offenen Raum46 durch den Antriebsmechanismus bewegt, und die Abdichtglieder42 sind in geringem Abstand mit der inneren Oberfläche der oberen Wand der Durchlaufeinheit45 , um die Atmosphäre in der ersten Prozesskammer2 und die Atmosphäre in der zweiten Prozesskammer4 voneinander zu trennen. In2 wird der Shutter7 , der angezeigt ist durch zwei Punkt-Strichlinien7' , zu dem Shutteraufnahmeraum47 durch den Antriebsmechanismus bewegt, um die erste Prozesskammer2 und die zweite Prozesskammer4 miteinander zu verbinden. - Der Shutter
7 hat eine Bodenwand, die in Vorabschnitte50a ,50b ,50c und50d unterteilt ist. Die Abschnitte50a bis50d sind von der Außenseite zu einem zentralen Abschnitt der Bodenwand nach unten geneigt. Der Shutter7 weist ebenfalls eine obere Wand auf mit im Wesentlichen der gleichen Anordnung wie die Bodenwand. Eine Ablassrohrleitung56 ist mit dem zentralen Abschnitt des Shutters7 verbunden. Ein Ablassglied51 ist in dem Boden des Shutteraufnahmeraumes47 der Durchlaufeinheit45 angeordnet. Ein Ablassrohr52 ist mit dem Ablassglied51 verbunden. Das Ablassrohr52 ist mit einem Sperrventil53 versehen. Wenn der Shutter7 geschlossen ist, tropft Flüssigkeit, die an der Bodenwand des Shutters7 durch Kondensation der Flüssigkeitsatmosphäre in dem Säuberungstank5 gebildet wird, und fließt entlang der Abschnitte50a bis50d der Bodenwand und sammelt sich in einem zentralen Abschnitt der Bodenwand, und die angesammelten Flüssigkeitstropfen werden durch eine Ablassrohrleitung56 . abgelassen, die sich in der Durchlaufeinheit45 erstreckt. Flüssigkeitstropfen, die an der oberen Wand des Shutters7 durch Kondensation der Atmosphäre in der ersten Prozesskammer gebildet werden, sammeln sich in dem zentralen Abschnitt des Shutters7 , und die gesammelten Flüssigkeitstropfen werden durch eine Pumpe54 abgelassen. Wenn der Shutter7 , der mit Flüssigkeitstropfen angefeuchtet ist, geöffnet wird, werden die Flüssigkeitstropfen, die von dem Shutter7 gefallen sind, durch ein Ablassglied51 und dem Ablassrohr52 abgelassen. - N2 Versorgungsöffnungen
55 sind in gegenüberliegenden Endabschnitten (rechte und linke Endabschnitte, wie in2 ersichtlich) der Bodenwand45a der Durchlaufeinheit45 gebildet. N2 Gas strömt durch die N2 Versorgungsöffnungen55 , um einen Luftvorhang über der zweiten Prozesskammer4 zu bilden. Die Atmosphären in der ersten Prozesskammer2 und der zweiten Prozesskammer4 können voneinander durch den Luftvorhang getrennt werden. - Mit Bezug auf die
5 und6 weist das Dampfversorgungssystem8 eine Reinwasserversorgungsrohrleitung60 zum Hinzuführen von reinem Wasser, eine Dampferzeugungseinheit61 , die Reinwasser verdampft, das durch die Reinwasserversorgungsrohrleitung60 zugeführt wird, um Dampf zu erzeugen, und eine Dampfversorgungsrohrleitung62 , durch welche Dampf, der erzeugt wurde durch die Dampferzeugungseinheit61 , zugeführt wird, auf. Wasserdampf, der durch die Dampfversorgungsrohrleitung62 zugeführt wird, wird durch die Dampfversorgungsglieder63 in die erste Prozesskammer2 abgegeben, wobei von diesen Gliedern jedes eine Lösungsdampfversorgungsöffnung bildet. Das Einlassende der Reinwasserversorgungsrohrleitung60 ist mit einer Reinwasserversorgungsrohrleitung130 verbunden, die in dem Reinwasserversorgungssystem11 eingeschlossen ist, welches später beschrieben werden wird. - Wie in
6 gezeigt, ist die Reinwasserversorgungsrohrleitung60 mit einem Durchflussregler70 und einem Sperrventil71 versehen. Der Durchflussregler70 ist mit einem Steuerungselement73 verbunden. Die Dampferzeugungseinheit61 weist einen Zylinder74 auf. Die Reinwasserversorgungsrohrleitung60 ist mit einem oberen Abschnitt des Zylinders74 verbunden. Ein Gummierhitzer wird auf die Seitenoberfläche des Zylinders74 angewendet. Ein Kartuschenheizer76 wird in den Zylinder74 eingeführt. Ein Fühlerkopf eines Temperaturfühlers77 wird in den Zylinder74 eingeführt. Der Temperaturfühler77 gibt ein Signal, das die von dem Temperaturfühler77 gemessene Temperatur der Innenseite des Zylinders anzeigt, an den Regler73 ab, und der Regler73 überwacht die Temperatur der Innenseite des Zylinders74 . Der Temperaturfühler77 ist z.B. ein K-Typ Thermoelement. Eine Reinwasserablassrohrleitung78 ist mit der Bodenwand des Zylinders74 verbunden, um Reinwasser, das nicht verdampft werden konnte, von dem Zylinder74 abzulassen. Die Reinwasserablassrohrleitung78 ist mit einem Durchflussregelventil79 versehen. - Der Gummierhitzer
75 ist mit dem Regler73 verbunden. Der Regler73 versorgt den Gummierhitzer75 mit Strom, um die Innenseite des Zylinders74 zu erwärmen. Ein Temperaturregelungssensor80 und ein Überhitzungssensor81 sind mit dem Gummierhitzer75 und dem Regler73 verbunden. Der Regler73 erhält ein Signal, das die gegenwärtige Temperatur des Gummierhitzers anzeigt, von dem Temperaturregelungssensor80 , um den Erwärmungsvorgang des Gummierhitzers75 zu regeln. Der Regler73 erhält ein Signal, das die Temperatur des Gummierhitzers75 anzeigt, von dem Überhitzungssensor81 und überwacht die Temperatur des Gummierhitzers75 , um ein Überhitzen des Gummierhitzers75 zu vermeiden. Der Gummierhitzer75 hat eine große spezifische Wärmekapazität, d.h. eine große thermische Abgabe pro Einheitsfläche. Der Temperaturregelungssensor80 und ein Überhitzungssensor81 sind z.B. K-Typ Thermoelemente. Der Gummierhitzer75 ist mit einem Wärmeisoliermaterial wärmeisoliert, welches nicht gezeigt ist, um den thermischen Einfluss des Gummierhitzers75 an die Umgebung zu vermeiden. Das Wärmeisoliermaterial ist ein Material, das in der Lage ist, eine Temperatur von 200°C oder mehr zu widerstehen, wie z.B. Siliziumgummi. - Der Kartuschenheizer
76 weist ein Heizrohr85 und eine Mehrzahl von Scheiben86 auf, die an dem äußeren Umfang des Wärmerohrs85 angebracht sind. Der Kartuschenheizer76 erzeugt Wärme, wenn Strom durch den Regler73 zugeführt wird. Ein Temperaturregelungssensor87 und ein Überhitzungssensor88 sind mit dem Kartuschenheizer76 verbunden. Der Temperaturregelungssensor87 und der Überhitzungssensor88 sind mit dem Regler73 verbunden. Der Heizvorgang des Kartuschenheizers76 , ähnlich dem des Gummierhitzers75 , werden korrekt von dem Regler73 geregelt. Reinwasser, das durch die Reinwasserversorgungsrohrleitung60 zugeführt wird, wird mit einer geringen Rate auf das erwärmte Heizrohr85 getropft, und die Scheiben86 erzeugen Dampf. Der Reinwasserfluss, die Dampferzeugungsrate und die Dichte und Temperatur des Dampfes können korrekt geregelt werden, indem das Öffnen des Flussreglers71 geregelt wird. Die Dampferzeugungseinheit61 kann mit einem Pegelmessrohr versehen sein, das die visuelle Beobachtung des Reinwasserpegels in dem Zylinder74 ermöglicht, um den Pegel des Reinwassers zu überwachen, das noch nicht verdampft worden ist und in dem Zylinder74 zurückbleibt. - Die Dampfversorgungsrohrleitung
62 ist mit einem oberen Abschnitt des Zylinders74 verbunden und ist mit einem Sperrventil90 versehen. Ein Plattenheizer90 ist mit einem Sperrventil90 kombiniert. Der Regler73 führt dem Plattenheizer91 Strom zu, so dass der Plattenheizer91 Wärme erzeugt. Die maximale Heiztemperatur (effektive Temperatur) des Plattenheizers91 ist z.B. 150°C. Ein Temperaturregelungssensor92 und ein Überhitzungssensor93 sind an dem Plattenheizer91 angebracht. Die entsprechenden Ausgaben des Temperaturregelungssensors92 und des Überhitzungssensors93 sind mit dem Regler73 verbunden. Der Regler73 regelt den Heizvorgang des Plattenheizers91 ordnungsgemäß. - Ein Bandheizer
95 ist mit der Dampfversorgungsrohrleitung62 kombiniert. Der Regler73 versorgt den Bandheizer95 mit Strom, so dass der Bandheizer95 Wärme erzeugt. Die effektive Temperatur des Bandheizers95 liegt in dem Bereich von90 bis 120°C. Ein Temperaturregelungssensor96 und ein Überhitzungssensor97 sind an dem Bandheizer95 angebracht. Die entsprechenden Ausgaben des Temperaturregelungssensors96 und des Überhitzungssensors97 sind mit dem Regler73 verbunden. Der Regler73 regelt den Heizvorgang des Bandheizers97 ordnungsgemäß. Der Plattenheizer91 und der Bandheizer95 erwärmen Dampf, der durch die Dampfversorgungsrohrleitung62 strömt, um zu verhindern, dass der Dampf sich verflüssigt. Eine Dampfausgaberohrleitung kann mit der Dampfversorgungsrohrleitung62 verbunden sein, um Dampf durch die Dampfausgaberohrleitung am Anfang der Dampferzeugung auszugeben, bis die Temperatur des Zylinders74 und die Dampferzeugung in dem Zylinder74 stabilisiert sind. Eine N2-Versorgungsleitung oder eine Luftversorgungsleitung können mit dem Zylinder74 verbunden sein, um Dampf von dem Zylinder74 durch N2 Gas oder Luft auszugeben. - Wie in
7 gezeigt, weist das Dampfversorgungsglied63 ein inneres Rohr100 und ein äußeres Rohr101 , welches das innere Rohr100 umgibt, auf. Das innere Rohr100 ist mit z.B. fünf Öffnungen102 versehen, die in gleichen Abständen angeordnet sind und ein 0,8 mm Durchmesserloch103 aufweisen, das in dem Endabschnitt gebildet ist. Das äußere Rohr101 ist mit fünfzig-zwei-sechs Öffnungen104 versehen, die in gleichen Abständen angeordnet sind, entsprechend z.B. dem Abstand von 3,175 mm der Wafer W, die in der ersten Prozesskammer2 an einer ihrer Seiten gehalten werden, gegenüber der anderen Seite, welche die Öffnungen102 aufweist. Jedes Dampfversorgungsglied63 verteilt Dampf, der in das innere Rohr100 gleichmäßig zugeführt wird, in das äußere Rohr101 , um den Dampf gleichmäßig durch die Öffnungen104 auszugeben. - Wie in
5 gezeigt, weist das Ozongasversorgungssystem9 eine Verzweigungsrohrleitung110 auf, die von der Reinwasserversorgungsrohrleitung60 abgezweigt ist, einen Ozongaserzeuger111 , der Ozongas erzeugt, und eine Ozongasversorgungsrohrleitung112 , durch welches Ozongas, das von dem Ozongaserzeuger111 erzeugt wurde, zugeführt wird. Ozongas, das durch die Ozongasversorgungsrohrleitung112 zugeführt wird, wird durch die Ozongasversorgungsglieder ausgegeben, von denen jedes eine Prozessgasversorgungsöffnung bildet. - Der Ozongaserzeuger
111 ist mit der Verzweigungsrohrleitung110 verbunden. Der Ozongaserzeuger111 erzeugt Ozongas durch die Elektrolyse von Reinwasser, das durch die Verzweigungsrohrleitung110 zugeführt wurde. Vorzugsweise wird Ozongas mit einer Ozonkonzentration von z.B. ungefähr 141 g/cm3 (normal) (ungefähr 6,6 Vol.-%) erzeugt und durch die Ozongasversorgungsrohrleitung112 bei einer Flussrate von ungefähr50 l/min zugeführt. Der Ozongaserzeuger111 kann Sauerstoffgas (O2-Gas) anstelle von Reinwasser verwenden und kann Ozongas durch Vorbeiführen von Sauerstoffgas durch einen Raum zwischen den Entladungselektroden erzeugen. Die Ozongasversorgungsrohrleitung112 ist mit einem Sperrventil114 versehen. Die Ozongasversorgungsglieder113 sind bezüglich ihrem Aufbau der Dampfversorgungsglieder63 ähnlich, und daher wird eine Beschreibung dieser weggelassen. - Das IPA-Versorgungssystem
10 weist eine IPA-Dampferzeugungseinheit112 auf, die IPA-Dampf erzeugt, und eine IPA-Versorgungsrohrleitung121 , durch welche IPA-Dampf, der von der IPA-Dampferzeugungseinheit120 erzeugt wurde, zugeführt wird. Der IPA-Dampf, der durch die IPA-Dampfversorgungsrohrleitung21 zugeführt wird, wird durch die IPA-Dampfversorgungsglieder122 in die erste Prozesskammer2 ausgegeben, von denen jedes Trocknungsgasversorgungsöffnungen bildet. Die IPA-Versorgungsrohrleitung121 ist mit einem Sperrventil123 versehen. Die IPA-Dampfversorgungsglieder122 sind bezüglich ihrem Aufbau ähnlich denen der Dampfversorgungsglieder63 und der Ozongasversorgungsglieder113 , und daher wird die Beschreibung derselben weggelassen. Ein N2-Gasversorgungsrohr kann mit der IPA-Dampfversorgungsrohrleitung121 verbunden sein. IPA-Dampf und N2-Gas können in der IPA-Dampfversorgungsrohrleitung121 gemischt sein, um ein Mischgas zu erzeugen, und das Mischgas kann den IPA-Dampfversorgungsglieder122 zugeführt werden. - Das Reinwasserversorgungssystem
11 weist die Reinwasserversorgungsrohrleitung130 auf, durch das Reinwasser (DIW) zugeführt wird. Reinwasser, das durch die Reinwasserversorgungsrohrleitung130 zugeführt wird, wird durch die Reinwasserversorgungsglieder131 in die zweite Prozesskammer4 ausgegeben, von denen jedes Prozessflüssigkeitsversorgungsöffnungen bildet. Ein Einlassende der Reinwasserversorgungsrohrleitung130 ist mit einer Reinwasserquelle, die nicht gezeigt ist, verbunden. Die Reinwasserversorgungsrohrleitung130 ist mit einem Durchflussregler132 und einem Sperrventil133 versehen. - Mit Bezug auf die
1 und2 weist die Ablasseinheit12 ein Gehäuse140 auf, das den Behälter3 und den Säuberungstank5 enthält, und eine Ablassrohrleitung141 (1 ), durch die die Prozessflüssigkeit abgelassen wird. Wie in2 gezeigt, erstrecken sich das Ablassrohr33 , das Laufrohr35 , das Ablassrohr52 und die Ablassrohrleitung56 in dem Gehäuse140 , und die entsprechenden Ausgänge derselben sind zum Gehäuse140 hin geöffnet. Die Ablassrohrleitung141 weist ein Ende auf, das mit einem Bodenabschnitt des Gehäuses140 verbunden ist, und das andere Ende ist mit einem Ablasssystem der Anlage verbunden. Die Ablassrohrleitung141 ist mit einem Sperrventil142 versehen. Das Sperrventil142 wird geöffnet, um die Prozessflüssigkeiten, welche durch die Ablassrohre33 und52 und das Überlaufrohr35 in das Gehäuse140 abgelassen wurden, durch die Ablassrohrleitung141 zum Ablasssystem der Anlage abzulassen. Eine Abgasrohrleitung143 zum Absaugen des Gehäuses140 ist mit dem Gehäuse140 verbunden. Eine Atmosphäre um den Behälter3 und den Säuberungstank4 kann aus dem Gehäuse140 abgesaugt werden. So kann die Verteilung der Atmosphäre in der ersten Prozesskammer2 und der Flüssigatmosphäre in dem Säuberungstank5 in den externen Raum vermieden werden, z.B. wenn die Abdeckung21 entfernt wird, um die Wafer W in und aus dem Behälter3 zu transportieren. - Mit Bezug auf die
1 und5 ist eine N2-Gasversorgungsrohrleitung150 zum Zuführen von N2-Gas oder heißem N2-Gas mit der Ozongasversorgungsrohrleitung112 des Ozongasversorgungssystems9 verbunden. Das Einlassende der N2-Gasversorgungsrohrleitung150 ist mit einer N2-Gasquelle, nicht gezeigt, verbunden. Die N2-Gasversorgungsrohrleitung150 ist mit einem Heizer151 zum Heizen des N2-Gases und einem Sperrventil152 versehen. So kann N2-Gas oder heißes N2-Gas an die Ozongasversorgungsglieder113 zugeführt werden. Wenn die Sperrventile114 und152 geöffnet sind und der Heizer151 mit Energie beaufschlagt ist, kann N2-Gas mit einer gewöhnlichen Temperatur, das von der N2-Gasquelle zugeführt wird, auf eine vorbestimmte Temperatur erwärmt werden, und heißes N2-Gas kann durch die Ozongasversorgungsglieder113 abgelassen werden. Wafer W können rasch auf eine vorbestimmte Temperatur erwärmt werden oder durch Blasen von heißem N2-Gas direkt an die Wafer W getrocknet werden. Falls der Heizer151 nicht mit Energie beaufschlagt ist, kann N2-Gas mit einer gewöhnlichen Temperatur zum Ausblasen abgelassen werden. Zum Beispiel wird N2-Ausblasen während einer Zeitspanne durchgeführt, die zwischen dem Zeitpunkt liegt, nachdem die prozessierten Wafer aus dem Behälter getragen worden sind, und dem Zeitpunkt, vor dem die zu prozessierenden Wafer in den Behälter3 getragen werden, um die erste Prozesskammer2 mit Ozongas und Dampf auszublasen, d.h. um die Atmosphäre in der ersten Prozesskammer3 mit N2-Gas zu ersetzen. - Heiße Luft kann anstelle des heißen N2-Gases verwendet werden zum Erwärmen der Wafer W. Wenn heiße Luft verwendet wird, um die Wafer W zu erwärmen, werden eine Heißluftversorgungsrohrleitung zum Zuführen von heißer Luft und eine Ausblas-N2-Gasversorgungsrohrleitung individuell verlängert. Die Heißluftversorgungsrohrleitung oder die N2-Gasversorgungsrohrleitung sind wahlweise mit den Ozongasversorgungsgliedern
113 verbunden; die Heißluftversorgungsrohrleitung ist mit den Ozongasversorgungsgliedern113 verbunden, wenn die Wafer W erwärmt werden, oder die N2-Versorgungsrohrleitung ist mit den Ozongasversorgungsgliedern113 verbunden, wenn N2-Ausblasen durchgeführt wird. - Die Substratprozessiervorrichtung
1 bewegt die Waferführung6 vertikal, um die Wafer W in die erste Prozesskammer2 oder die zweite Prozesskammer4 zu stellen. In den1 und2 werden die Wafer W auf der Waferführung6 gehalten, die zu einer oberen Position in der ersten Prozesskammer2 angehoben worden ist, und sind durch durchgezogene Linien angezeigt, und Wafer, die von der Waferführung6 gehalten werden, die zu einer unteren Position in der zweiten Prozesskammer4 abgesenkt worden ist, sind durch zwei Strich-Punkt-Linien W' angezeigt. - In einem Zustand, in dem die Wafer W in der ersten Prozesskammer
2 gestellt sind, kann ein mit Ozon unterstützter Prozess durchgeführt werden durch Zuführen von Ozongas durch das Ozongasversorgungssystem9 und Dampf durch das Dampfversorgungssystem8 in die erste Prozesskammer2 , und ein Trocknungsprozess kann durchgeführt werden durch Zuführen von IPA-Dampf durch die das IPA-Versorgungssystem10 in die erste Prozesskammer2 . In einem Zustand, in dem die Wafer W in der zweiten Prozesskammer4 gestellt sind, kann ein Spülprozess durchgeführt werden durch Zuführen von Reinwasser in die zweite Prozesskammer4 durch das Reinwasserversorgungssystem11 . So führt die Substratprozessiervorrichtung fortlaufend den mit Ozon unterstützten Prozess (ein Waferprozessierprozess, der Dampf als ein Prozessgas verwendet) und einen nachfolgenden Spülprozess und Trocknungsprozess in einem abgedichteten Raum aus. - Ein Säuberungsverfahren, das von der Substratprozessiervorrichtung
1 ausgeführt werden soll, wird mit Bezug auf ein Flussdiagramm, das in8 gezeigt ist, beschrieben. Die Abdeckung21 ist geöffnet und es werden z.B. 52 Wafer W, die mit einem Lackfilm versehen sind, in den Behälter3 im Schritt S1 getragen. Die Abdeckung21 wird im Schritt S2 geschlossen. Der Shutter wird geschlossen, und ein Luftvorhang wird durch Ablassen von N2-Gas durch die N2-Öffnungen55 gebildet, um die Atmosphäre in der ersten Prozesskammer2 von der in der zweiten Prozesskammer4 zu trennen. - Nachfolgend wird ein mit Ozon unterstützter Prozess in der ersten Prozesskammer
2 im Schritt S3 durchgeführt. Die Lampenheizeinheit25 wird mit Energie beaufschlagt, um Wärme zu erzeugen, und heißes N2 durch die Ozongasversorgungsglieder113 abgelassen, um die Wafer W auf eine vorbestimmte Temperatur zu erwärmen. Vorzugsweise ist die vorbestimmte Temperatur niedriger als der Taupunkt des Dampfes, der in die erste Prozesskammer2 zugeführt wird, und liegt in einem Temperaturbereich, welcher optimal für den Prozess ist. Nachdem die Wafer W während einer vorbestimmten Heizperiode erwärmt wurden, wird das Auslassen von heißem N2-Gas beendet, und das Dampfversorgungssystem8 führt Dampf in die erste Prozesskammer2 zu. Da die Wafer W bei einer niedrigeren Temperatur als der Taupunkt des Dampfes erwärmt werden, kondensiert der Dampf, welcher in Kontakt kommt mit den Wafern W, und ein dünner Reinwasserfilm kann auf den Wafern W gebildet werden. Nachfolgend führt das Ozongasversorgungssystem9 Ozongas in die erste Prozesskammer2 zu. Folglich löst sich das Ozongas in den dünnen Reinwasserfilmen auf, um ozonhaltige Flüssigkeitsfilme auf den Wafern W zu bilden. Die ozonhaltigen Flüssigkeitsfilme enthalten eine große Menge von Radikalen von Sauerstoffatomen, Wasserstoffatomen und Hydroxylgruppen. Die Radikale sterben nicht aus und verursachen sofort eine oxidierende Reaktion, um den Lack, der die Lackfilme bildet, in Carbonsäure, Kohlendioxid und Wasser aufzulösen. - So können die Lackfilme ausreichend oxidiert, aufgelöst und verändert werden in wasserlösliche Filme durch die ozonhaltigen Flüssigkeitsfilme. Da die Wafer W durch Wärme, die durch die Lampenheizeinheit
25 erzeugt wird, bei Temperaturen in einem Temperaturbereich erwärmt werden, welcher aktive oxidierende Reaktionen ermöglicht, kann der mit Ozon unterstützte Prozess gesteigert werden. Die wasserlöslichen Lackfilme können auf einfache Weise durch einen nachfolgenden Spülprozess entfernt werden. - Die Versorgung von Dampf und Ozongas wird beendet, um den mit Ozon unterstützten Prozess zu beenden. Nachfolgend wird der Spülprozess in der zweiten Prozesskammer
4 im Schritt S4 durchgeführt. Reinwasser wird in die zweite Prozesskammer4 durch die Reinwasserversorgungsglieder131 des Reinwasserversorgungssystems11 zugeführt. Nachdem die zweite Prozesskammer4 mit Reinwasser gefüllt worden ist, wird der Shutter7 geöffnet, die Waferführung6 herabgelassen, um die Wafer W rasch in die zweite Prozesskammer4 in der Substratprozessvorrichtung1 zu tragen. So können die Wafer W in das Reinwasser innerhalb kurzer Zeit für den Spülprozess eingetaucht werden, ohne der äußeren Atmosphäre ausgesetzt zu werden. Wie oben erwähnt, da der Lackfilm in einen wasserlöslichen Film verändert wird, können die Lackfilme auf einfache Weise von den Wafern W in der zweiten Prozesskammer4 entfernt werden. - Während des Spülprozesses wird neues Reinwasser kontinuierlich durch das Reinwasserversorgungssystem
11 zugeführt und das Reinwasser, welches in den inneren Tank30 überläuft, der die zweite Prozesskammer4 bestimmt, wird durch den mittleren Tank31 aufgenommen. So wird Reinwasser während des Spülprozesses zugeführt, um den inneren Tank30 zum Überlaufspülen überlaufen zu lassen. Das Ventil36 wird geöffnet, um das übergelaufene Reinwasser durch das Überlaufrohr35 und das Gehäuse140 in eine Ablasseinheit12 abzulassen. Während des Spülprozesses wird ein ansteigender Reinwasserfluss in der zweiten Prozesskammer4 erzeugt. So kann das Reinwasser gleichmäßig auf die Wafer W zur gleichmäßigen Spülung angewendet werden. - Danach werden die Wafer W einem Trocknungsprozess in der ersten Prozesskammer
2 im Schritt S5 ausgesetzt. Die Waferführung6 wird eingesetzt ("raided"), um die Wafer W rasch in die erste Prozesskammer2 zu tragen, und anschließend wird das Shutter7 geschlossen. IPA-Dampf oder ein Gemisch aus IPA-Dampf und N2-Gas wird in die erste Prozesskammer2 durch das IPA-Versorgungssystem10 zugeführt. Eine IPA-Komponente, wie z.B. Kohlenstoff, die auf den Wafern W zurückbleibt, kann verdampft werden und von den Wafern W durch Blasen von heißem N2-Gas durch die Ozongasversorgungsglieder113 gegen die Wafer W entfernt werden, nachdem IPA-Dampf oder ein Gemisch aus IPA-Dampf und N2-Gas in die erste Prozesskammer2 zugeführt ist. Heißes N2-Gas kann gegen die Wafer W für den Trocknungsprozess durch die Ozongasversorgungsglieder113 des Ozongasversorgungssystems9 geblasen werden anstelle von IPA-Dampf oder einem Gemisch aus IPA-Dampf oder N2-Gas, das gegen die Wafer W geblasen wird. - Es ist wünschenswert, eine Atmosphäre mit einer gewöhnlichen Temperatur in der ersten Prozesskammer
2 zu schaffen, nachdem der Trocknungsprozess beendet ist, um eine sichere Arbeitsumgebung durch Zuführen von N2-Gas mit einer gewöhnlichen Temperatur durch die Ozongasversorgungsglieder113 des Ozongasversorgungssystems9 in die erste Prozesskammer2 bereitzustellen. Es wird bevorzugt, IPA-Dampf oder ein Gemisch aus IPA-Dampf und N2-Gas in die erste Prozesskammer2 zuzuführen, um so die erste Prozesskammer2 aufzufüllen, bevor die Wafer W von der zweiten Prozesskammer4 in die erste Prozesskammer2 getragen werden, da der IPA-Dampf oder das Gemisch aus IPA-Dampf oder N2-Gas, das die erste Prozesskammer2 füllt, den Trocknungsprozess fördert. - Nachdem der Trocknungsprozess beendet worden ist, wird die Abdeckung
21 im Schritt S6 geöffnet, und die Wafer B werden aus dem Behälter3 herausgenommen und von der Substratprozessvorrichtung1 im Schritt S7 weggebracht. Wenn die Abdeckung21 geöffnet ist, wird die Atmosphäre, die den Behälter3 und den Säuberungstank5 umgibt, aus dem Gehäuse140 abgelassen, um die Diffusion der Atmosphären in der ersten Prozesskammer2 und der zweiten Prozesskammer4 zu verhindern. Die erste Prozesskammer2 wird von der Atmosphäre bzw. die Atmosphäre in der ersten Prozesskammer2 wird durch Zuführen von N2 mit einer gewöhnlichen Temperatur durch die Ozongasversorgungsglieder113 des Ozongasversorgungssystems9 in die erste Prozesskammer2 ausgeblasen, bevor 52 Wafer W aufgenommen werden, die in dem nächsten Prozesszyklus in der ersten Prozesskammer2 prozessiert werden. - Da die zweite Prozesskammer
4 unterhalb der ersten Prozesskammer2 gebildet ist, ist die Substratprozessvorrichtung1 in der Lage, den mit Ozongas unterstützten Prozess, den Spülprozess und den Trocknungsprozess kontinuierlich auszuführen durch Verwendung eines Bodenraums für eine Prozesskammer. So kann die Substratprozessvorrichtung bezüglich ihrer Größe klein ausgebildet sein. Da die Wafer W nicht aus der Substratprozessvorrichtung1 herausgenommen werden während einer Periode zwischen dem Beginn des mit Ozon unterstützten Prozesses und der Beendigung des Trocknungsprozesses, kann das Aussetzen der Wafer W der Luft außerhalb der Substratprozessvorrichtung nach dem mit Ozon unterstützten Prozess verhindert werden. - Da die zweite Prozesskammer
4 unterhalb der ersten Prozesskammer2 gebildet ist, können die Wafer W rasch in vertikaler Richtung bewegt werden, um den Spülprozess sofort nach dem mit Ozon unterstützten Prozess zu beginnen und um den Trocknungsprozess sofort nach dem Spülprozess zu beginnen. So ist es möglich, dass die Substratprozessvorrichtung die Bildung eines natürlichen Oxidfilms auf den Wafern W und die Änderung des wasserlöslichen Lackfilms, der durch Änderung des Lackfilms durch den mit Ozon unterstützten Prozess gebildet ist, in einen unlöslichen Film mittels der Luft außerhalb der Substratprozessvorrichtung verhindert. Es ist möglich, dass die Substratprozessvorrichtung die Änderung von verschiedenen reaktiven Reaktionsprodukten, die auf den Wafern W durch den mit Ozon unterstützten Prozess produziert sind, in andere Substanzen verhindert, wie z.B. Kontaminierungen durch das Luftmittel außerhalb der Substratprozessvorrichtung. Folglich kann der Spülprozess ordnungsgemäß ausgeführt werden, und die Durchsatzmenge der Substratprozessvorrichtung kann erhöht sein. - Beim Ausführen von verschiedenen Prozessen in der ersten Prozesskammer
2 und der zweiten Prozesskammer4 kann der Shutter7 geschlossen und ein Luftvorhang kann gebildet sein. Deshalb ist es möglich, die Diffusion der Atmosphäre in der ersten Prozesskammer2 in die zweite Prozesskammer4 und die Diffusion der flüssigen Atmosphäre in der zweiten Prozesskammer4 in die erste Prozesskammer2 zu verhindern. - Obgleich die Substratprozessvorrichtung in der ersten Ausführungsform die Atmosphäre in der ersten Prozesskammer
2 frei durch das Abgasrohr27 während des mit Ozon unterstützten Prozesses abgibt, so kann das Abgasrohr27 mit einem Flussregelmechanismus, wie in9 gezeigt, versehen sein, um wahlweise den Druck in der ersten Prozesskammer2 zu steuern. Wie in9 gezeigt, ist das Abgasrohr27 mit einem Drosselventil155 versehen. Das Drosselventil155 ist mit dem Regler73 verbunden. Der Druck in der ersten Prozesskammer2 wird durch einen Drucksensor156 gemessen. Der Drucksensor156 ist mit dem Regler73 verbunden. Der Regler73 regelt das Öffnen des Drosselventils155 anhand eines Signals, das von dem Drucksensor156 an dieses gegeben wird. - Während des Prozesses ist das Öffnen des Drosselventils
155 des Abgasrohres27 verringert, um die Atmosphäre bei einer geringen Rate abzulassen, so dass eine Druckatmosphäre z.B. von 196 kPa in der ersten Prozesskammer2 erzeugt ist. So kann die Ozonkonzentration der Atmosphäre in der ersten Prozesskammer2 erhöht sein. Beim Bilden eines Flüssigkeitsfilms, der Ozon enthält, auf dem Wafer W zum Prozessieren durch Auflösen des Ozongases in einen Reinwasserfilm, kann eine erhöhte Menge an Ozongas in dem Reinwasserfilm gelöst sein. So kann ein Flüssigkeitsfilm, der Ozon in einer sehr hohen Ozonkonzentration erhält, gebildet sein, was die Prozessfähigkeiten ferner erhöht. - In dem vorangegangenen Säuberungsverfahren wird Ozongas nach dem Zuführen von Dampf zugeführt, es kann aber auch Dampf und Ozongas gleichzeitig in die erste Prozesskammer
2 zugeführt werden. Wenn Dampf und Ozongas gleichzeitig in die erste Prozesskammer2 zugeführt werden, kollidieren der Dampf und das Ozongas und vermischen sich, um ein gemischtes Gas in der ersten Prozesskammer2 zu bilden. Das gemischte Gas enthält eine große Menge an freien Radikalen aus Sauerstoff und Wasserstoff. Die Radikale erreichen die Wafer W und verursachen eine oxidierende Reaktion, und, ähnlich dem ozonhaltigen Flüssigkeitsfilm, zersetzen den Lack, der die Lackfilme bildet, in Carbonsäure, Kohlendioxid und Wasser. So kann der Lackfilm zufriedenstellend oxidiert werden und in wasserlösliche Substanzen durch das Gasgemisch aus Dampf und Ozongas zersetzt werden. - Das Dampfversorgungssystem
8 und das Ozongasversorgungssystem9 sind individuell angeordnet, um Dampf und Ozongas individuell zu erzeugen, und Dampf und Ozongas werden gleichzeitig zugeführt. Deshalb kann das Gasgemisch produziert und Radikale können in der ersten Prozesskammer2 erzeugt werden. Folglich kann die Lebensdauer des Gasgemisches aus Dampf und Ozongas verlängert sein, und das Gasgemisch ist in der Lage, die Wafer W auf einfache Weise zu erreichen. Der Lackfilm, der auf dem Wafer W gebildet ist, ist in einen wasserlöslichen Film nicht nur durch die direkte Wechselwirkung mit dem Gasgemisch und dem Lackfilm verändert, sondern auch durch verschiedene Verfahren und Reaktionen in der ersten Prozesskammer2 . Zum Beispiel wird ein ozonhaltiger Flüssigkeitsfilm sofort durch Kondensieren des Gasgemisches auf dem Wafer W gebildet. Dieser ozonhaltige Film enthält eine große Menge an reaktiven Arten einschließlich Radikalen aus Sauerstoff und Wasserstoff und ist in der Lage, den Lackfilm zufriedenstellend zu oxidieren und zu zersetzen, um denselben in einen wasserlöslichen Film zu verändern. - Der Spülprozess kann anstelle eines Tauchsäuberungssystems durchgeführt werden, welches Wafer W in reines Wasser taucht, das durch die Reinwasserversorgungsglieder
131 zugeführt wird, und so kann der Spülprozess auch durch ein Duschsäuberungssystem durchgeführt werden, welches Reinwasser nach oben und nach unten gegen die Wafer W durch Duschköpfe, die in oberen und unteren Bereichen der zweiten Prozesskammer4 angeordnet sind, ausspritzt. Das Reinwasserversorgungssystem11 kann sowohl mit den Reinwasserversorgungsgliedern131 und den Duschköpfen versehen sein. Ist das Reinwasserversorgungssystem11 mit sowohl den Reinwasserversorgungsgliedern131 als auch den Duschköpfen versehen, kann der Spülprozess sowohl durch das Tauchsäuberungssystem als auch durch das Duschsäuberungssystem in der zweiten Prozesskammer4 durchgeführt werden. - Zweite Ausführungsform
- Eine Substratprozessvorrichtung
160 in der zweiten Ausführungsform entsprechend der vorliegenden Erfindung wird mit Bezug auf die10 beschrieben. - Die Substratprozessvorrichtung
160 , die sich von der Substratprozessvorrichtung1 dahingehend unterscheidet, dass es eine Art von Waferprozessierprozess ausführt unter Verwendung einer Art von Prozessgas und Dampf und einer Art von Flüssigkeitsprozessierprozess unter Verwendung einer Art von Prozessflüssigkeit, ist eine Mehrzwecksubstratprozessvorrichtung, die eine Mehrzahl von Arten von Waferprozessierprozessen unter Verwendung einer Mehrzahl von Arten von Prozessgasen und Dampf und eine Mehrzahl von Arten von Flüssigkeitsprozessierprozessen ausführt. - Mit Bezug auf
10 weist die Substratprozessvorrichtung160 ein Prozessgasversorgungssystem161 , welches in der Lage ist, Ozongas, Fluorwasserstoffsäuredampf (HF-Dampf) und Chlorgas (Cl2-Gas) zuzuführen und ein Prozessflüssigkeitsversorgungssystem162 auf, das in der Lage ist, Reinwasser, eine Ammoniumlösung (NH4OH), eine Wasserstoffperoxidlösung (H2O2), Wasserstoffsäure und eine Fluorwasserstoffsäure zuzuführen. Die Substratprozessvorrichtung160 ist mit einem Ablasssystem163 versehen zum Ablassen von APM, HPM und DHF zusätzlich zu dem Reinwasser. Die Substratprozessvorrichtung160 ist dem Aufbau nach gleich der vorher beschriebenen Substratprozessvorrichtung1 , außer dass die erstere mit dem Prozessgasversorgungssystem161 , dem Prozessflüssigkeitsversorgungssystem162 und dem Ablasssystem163 versehen ist. Teile, die in10 gezeigt sind, oder denen der Substratprozessvorrichtung1 , gezeigt in1 , entsprechen, sind durch die gleichen Bezugszeichen angezeigt, und eine Beschreibung derselben ist deshalb weggelassen. - Das Prozessgasversorgungssystem
161 weist Gasversorgungsglieder auf, von denen jedes eine Gasöffnung bildet, und eine Gasversorgungsrohrleitung164 , die mit den Gasversorgungsgliedern161 verbunden ist. Eine Ozongasversorgungsrohrleitung166 , eine Fluorwasserstoffsäure-Dampfversorgungsrohrleitung169 und eine Chlorgasversorgungsrohrleitung172 sind mit der Gasversorgungsrohrleitung164 verbunden. Die Ozongasversorgungsrohrleitung166 ist durch das Sperrventil114 mit dem Ozongaserzeuger111 verbunden. Die Fluorwasserstoffsäure-Dampfversorgungsrohrleitung169 ist durch ein Sperrventil168 mit einer Fluorwasserstoffsäure-Dampferzeugungseinheit167 verbunden. Die Chlorgasversorgungsrohrleitung172 ist durch ein Sperrventil171 mit einer Chlorgasversorgungseinheit170 verbunden. Eine N2-Gasversorgungsrohrleitung ist mit der Gasversorgungsrohrleitung164 verbunden, um ein N2-Ausblasen durch Zuführen von N2-Gas durch die Gasversorgungsglieder165 auszuführen. - Das Prozessflüssigkeitsversorgungssystem
162 weist eine Prozessflüssigkeitsversorgungsrohrleitung175 auf, die mit Versorgungsgliedern176 verbunden sind, von denen jedes Flüssigkeitsöffnungen bildet. Ein Verbindungsrohr177 ist verbunden mit dem Einlassende der Prozessflüssigkeitsversorgungsrohrleitung175 , um verschiedene Prozessflüssigkeiten darin zu mischen. Eine Reinwasserversorgungsrohrleitung178 , eine Ammoniumlösung-Versorgungsrohrleitung183 , eine Wasserstoffperoxidlösungs-Versorgungsrohrleitung188 , eine Chlorwasserstoffsäure-Versorgungsrohrleitung193 und eine Fluorwasserstoffsäure-Versorgungsrohrleitung198 sind mit dem Verbindungsrohr177 verbunden. Die Reinwasserversorgungsrohrleitung178 ist mit dem Durchflussregler132 und dem Sperrventil133 versehen. Die Ammoniumlösungs-Versorgungsrohrleitung183 ist durch einen Durchflussregler181 und einem Sperrventil182 mit einer Ammoniumlösungsversorgungseinheit180 verbunden. Die Wasserstoffperoxidlösungs-Versorgungsrohrleitung188 ist durch einen Durchflussregler186 und einem Sperrventil187 mit einer Wasserstoffperoxidlösungs-Versorgungseinheit185 verbunden. Die Chlorwasserstoffsäure-Versorgungsrohrleitung193 ist durch einen Durchflussregler191 und einem Sperrventil192 mit einer Chlorwasserstoffsäure-Versorgungseinheit190 verbunden. Die Fluorwasserstoffsäure-Versorgungsrohrleitung198 ist durch einen Durchflussregler196 und einem Sperrventil197 mit einer Fluorwasserstoffsäure-Versorgungseinheit195 verbunden. - Die APM-Prozessflüssigkeit kann durch ordnungsgemäßes Regeln der entsprechenden Öffnungen des Durchflussreglers
132 ,181 und186 hergestellt werden, um eine Ammoniumlösung, eine Wasserstoffperoxidlösung und Reinwasser in einem vorbestimmten Mischverhältnis in dem Verbindungsrohr177 herzustellen. Die HPM-Prozessflüssigkeit kann durch ordnungsgemäßes Regeln der entsprechenden Öffnungen des Durchflussreglers132 ,186 und191 hergestellt werden, um Chlorwasserstoffsäure, eine Wasserstoffperoxidlösung und Reinwasser in einem vorbestimmten Mischverhältnis in dem Verbindungsrohr177 herzustellen. Die DHF-Prozessflüssigkeit kann durch ordnungsgemäßes Regeln der entsprechenden Öffnungen der Durchflussregler186 und196 hergestellt werden, um Fluorwasserstoffsäure und eine Wasserstoffperoxidlösung in einem vorbestimmten Mischverhältnis in dem Verbindungsrohr177 zu mischen. Chemische Flüssigkeitssäuberungsprozesse, d.h. ein SC1-Säuberungsprozess unter Verwendung der APM (SC1-Behandlung), ein SC2-Säuberungsprozess unter Verwendung von HPM (SC2-Behandlung) und ein HF-Säuberungsprozess unter Verwendung von DHF (HF-Behandlung), können in der zweiten Prozesskammer ausgeführt werden. Nur Reinwasser wird in die zweite Prozesskammer4 zugeführt, um einen Spülprozess (QDR-Spülung) oder den OF-Spülprozess zwischen verschiedenen chemischen Flüssigkeitssäuberungsprozessen auszuführen. - Das Ablasssystem
163 weist eine APM-Ablassrohrleitung201 , eine HPM-Ablassrohrleitung203 , eine DHF-Ablassrohrleitung205 und eine Reinwasserablassrohrleitung207 auf, die mit den Bodenabschnitten des Gehäuses140 verbunden sind. Die APM-Abwasserrohrleitung201 , die HPM-Abwasserrohrleitung203 , die DHF-Ablassrohrleitung205 und die Reinwasserablassrohrleitung207 sind mit Sperrventilen200 ,202 ,204 bzw.206 versehen. - Ein Säuberungsverfahren, das von der Substratprozessvorrichtung
160 , die so aufgebaut ist, ausgeführt wird, ist im Wesentlichen das gleiche wie das Säuberungsverfahren, das durch das Flussdiagramm, gezeigt in8 , dargelegt ist, außer dass das Säuberungsverfahren, das von der Substratprozessvorrichtung160 ausgeführt wird, den Schritt S3', gezeigt in11 , anstelle des Schrittes S3 ausführt, nachdem die Wafer W in den Behälter3 im Schritt S1 transportiert sind und die Abdeckung21 im Schritt S2 geschlossen ist. In der ersten Prozesskammer2 kann ein Fluorwasserstoffsäure-Dampfsäuberungsprozess unter Verwendung von Fluorwasserstoffsäuredampf und Dampf (Fluorwasserstoffsäurebehandlung) und ein Chlorwasserstoffsäure-Säuberungsprozess unter Verwendung von Chlorwasserstoffsäuregas und Dampf (Chlorwasserstoffsäurebehandlung) zusätzlich zu einem mit Ozon unterstützten Säuberungsprozess unter Verwendung von Ozon durchgeführt werden. - Beim Ausführen der Fluorwasserstoffsäurebehandlung in der ersten Prozesskammer
2 wird Dampf zuerst zugeführt und anschließend wird Fluorwasserstoffsäuredampf zugeführt, um einen Fluorwasserstoffsäurelösungsfilm auf den Wafern W zu bilden. Natürliche Oxidfilme, die auf den Wafern W gebildet sind, und Teilchen, die an den Wafern W haften, werden von den Wafern W durch die Einwirkung der Radikale der Fluoratome entfernt. Dampf und Fluorwasserstoffsäuredampf können gleichzeitig zugeführt werden, um die Radikale der Fluoratome, die in einem Mischgas aus Dampf und Fluorwasserstoffsäuredampf produziert sind, zum Entfernen der natürlichen Oxidfilme und der Teilchen von den Wafern W zu verwenden. Beim Ausführen der Chlorwasserstoffsäurebehandlung wird Dampf zuerst zugeführt und anschließend wird Chlorwasserstoffsäuregas zugeführt, um einen Chlorwasserstoffsäurelösungsfilm auf den Wafern W zu bilden. Natürliche Oxidfilme, die auf den Wafern W gebildet sind, und Teilchen, die an den Wafern W haften, werden von den Wafern W durch die Einwirkung von Radikalen der Chlorwasserstoffsäure entfernt. Dampf und Chlorwasserstoffsäuredampf können gleichzeitig zugeführt werden, um Radikale der Chlorwasserstoffsäure, die in einem Mischgas aus Dampf und Chlorwasserstoffsäuredampf produziert sind, zum Entfernen der natürlichen Oxidfilme und der Partikel auf den Wafern W zu verwenden. - Die SC1-Behandlung, die SC2-Behandlung, die HF-Behandlung und der Spülprozess können in der zweiten Prozesskammer
4 durchgeführt werden. Die SC1-Behandlung entfernt organische Kontaminierungen und Teilchen von den Wafern W durch die Einwirkung von APM. Die SC2-Behandlung entfernt metallische Verunreinigungen von den Wafern W durch die Einwirkung von HPM. Die HF-Behandlung entfernt natürliche Oxidfilme und Teilchen von den Wafern W durch die Einwirkung von DHF. - Im Schritt S3' können solche Prozesse in einer erwünschten Reihenfolge durchgeführt werden. Zum Beispiel wird der mit Ozon unterstützte Prozess in der ersten Prozesskammer
2 durchgeführt, um die Lackfilme in wasserlösliche Filme zu verändern, und der Spülprozess wird in der zweiten Prozesskammer4 durchgeführt. Anschließend wird die Fluorwasserstoffsäurebehandlung in der ersten Prozesskammer2 durchgeführt, oder die HF-Behandlung wird in der zweiten Prozesskammer4 durchgeführt, um die Wafer W von Verunreinigungen durch Ätzen der Oberflächen der Wafer W aus Silizium zu säubern. Anschließend wird der Spülprozess in der zweiten Prozesskammer4 durchgeführt, und letztendlich wird ein Trocknungsprozess in der ersten Prozesskammer2 durchgeführt. Die Substratprozessvorrichtung160 kann für spezielle Waferprozessierungen verwendet werden. Zum Beispiel wird die Fluorwasserstoffsäurebehandlung in der ersten Prozesskammer2 durchgeführt, und anschließend wird der Spülprozess und der Trocknungsprozess durchgeführt. Es ist möglich, die SC1-Behandlung, den Spülprozess, die SC2-Behandlung, den Spülprozess, die HF-Behandlung und den Spülprozess nacheinander in der zweiten Prozesskammer4 auszuführen, und den Trocknungsprozess letztendlich in der ersten Prozesskammer2 auszuführen. - Das APM wird durch die APM-Ablassrohrleitung
201 nach Beendigung der SC1-Behandlung abgelassen, das HPM wird durch die HPM-Ablassrohrleitung203 nach Beendigung der SC2-Behandlung abgelassen, und die DHF wird durch die DHF-Ablassrohrleitung205 nach Beendigung der HF-Behandlung abgelassen. Da die unterschiedlichen Prozessflüssigkeiten durch die einzelnen Ablassrohrleitungen abgelassen werden, können Kreuzkontaminierungen, d.h. die Produktion von Kontaminierungen, wie z.B. Salzen, durch Mischen von z.B. einer säurereichen Substanz und einer alkalischen Substanz in einem Rohr, das die Ablassrohrleitung bildet, verhindert werden. - Die Substratprozessvorrichtung
160 ist in der Lage, eine Mehrzahl von chemischen Flüssigkeitssäuberungsprozessen (Flüssigkeitsbehandlungen) in Kombination mit einer Mehrzahl von Dampfsäuberungsprozessen (Prozesse, von denen jeder ein Prozessgas und Dampf verwendet) unter Verwendung eines Bodenraums für eine Prozesskammer ausführen. So ist die Substratprozessvorrichtung160 in der Lage, ferner effizient Bodenraum zu verwenden. Während des Prozesses kann N2-Gas kontinuierlich zugeführt werden, um den Prozess ordnungsgemäß in einer N2-Atmosphäre auszuführen. Die Substratprozessvorrichtung160 , die ähnlich der Substratprozessvorrichtung1 ist, kann verhindern, dass die Wafer der Luft außerhalb der Substratprozessvorrichtung160 ausgesetzt werden. - Obwohl die Erfindung anhand ihrer bevorzugten Ausführungsformen beschrieben worden ist, ist die vorliegende Erfindung nicht hierauf in ihrer praktischen Anwendung beschränkt, und verschiedene Modifikationen sind möglich. Es ist wirkungsvoll, ein oxidierende Reaktion durch die Förderung der Produktion von Radikalen oder Sauerstoffatomen in dem Flüssigkeitsfilm durch Zuführen einer kleinen Menge eines Katalysatorgases, wie z.B. eines NOx-Gases, in dem Behälter
3 zu aktivieren. - Das Prozessgas kann einer Anregungsreaktion ausgesetzt sein, um die Radikale zu vermehren. Der Säuberungsprozess kann gesteigert werden durch Zuführung von Ozongas, das Radikale aus Sauerstoffatomen enthält, von Chlorgas, das Radikale aus Chloratomen enthält, und Fluorgas, das Radikale aus Fluoratomen enthält, um eine erhöhte Menge an Radikalen zu produzieren.
- Die vorliegende Erfindung kann nicht nur auf eine Substratprozessvorrichtung angewendet werden, die eine Mehrzahl von Substraten in einem Stapel prozessiert, sondern ebenfalls auf eine Substratprozessvorrichtung, die Substrate gleichzeitig prozessiert. Die Substrate sind nicht beschränkt auf Wafer W und können CD-Substrate, Leiterplatten und keramische Substrate sein.
Claims (14)
- Substratprozessvorrichtung zum Prozessieren eines Substrats (W) durch eine Mehrzahl von Prozessen mit: einer ersten Prozesskammer (
2 ) zum Unterbringen des Substrats (W); einer zweiten Prozesskammer (4 ) zum Unterbringen des Substrats (W), die an die erste Prozesskammer (2 ) angrenzt und mit der ersten Prozesskammer (2 ) verbindbar ist; einem Halteglied (6 ) zum Halten des Substrats (W), um das Substrat (W) zwischen der ersten Prozesskammer (2 ) und der zweiten Prozesskammer (4 ) zu transportieren; einer Lösungsdampfversorgungsöffnung (8 ), durch die Lösungsdampf in die erste Prozesskammer (2 ) zugeführt wird; einer Prozessgasversorgungsöffnung (9 ), durch die ein Prozessgas in die erste Prozesskammer (2 ) zugeführt wird; einer Trocknungsgasversorgungsöffnung (10 ), durch die ein Trocknungsgas in die erste Prozesskammer (2 ) zugeführt wird; und einer Prozessflüssigkeitsversorgungsöffnung (11 ), durch die eine Prozessflüssigkeit in die zweite Prozesskammer (4 ) zugeführt wird. wobei der Lösungsdampf, der durch die Lösungsdampfversorgungsöffnung (8 ) zugeführt wird, Wasserdampf ist, das Prozessgas, das durch die Prozessgasversorgungsöffnung (9 ) zugeführt wird, ein Ozongas ist, die Prozessflüssigkeit, die durch die Prozessflüssigkeitsversorgungsöffnung (11 ) zugeführt wird, Wasser ist, und die zweite Prozesskammer (4 ) unterhalb der ersten Prozesskammer (2 ) gebildet ist. - Substratprozessvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Trocknungsgas, das durch die Trocknungsgasversorgungsöffnung (
10 ) zugeführt wird, ein Gas ist, das IPA-Dampf enthält. - Substratprozessvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, des Weiteren mit: einem Behälter (
3 ), der darin die erste Prozesskammer (2 ) und die zweite Prozesskammer (4 ) bildet; und einer Abgasrohrleitung (143 ), um mindestens eine Atmosphäre in dem Behälter (3 ) auszustoßen. - Substratprozessvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei eine Inertgasrohrleitung (
150 ) mit der Prozessgasversorgungsöffnung (9 ) verbunden ist, um das Inertgas von der Prozessgasversorgungsöffnung (9 ) in die erste Prozesskammer (2 ) zuzuführen. - Substratprozessvorrichtung nach Anspruch 4, wobei zumindest eines der folgenden, nämlich der Lösungsdampf, das Prozessgas, das Trocknungsgas, von der ersten Prozesskammer (
2 ) durch das Inertgas, das durch die Inertgasrohrleitung (150 ) zugeführt ist, ausgeblasen wird, um eine Atmosphäre in der ersten Prozesskammer (2 ) zu ersetzen. - Substratprozessvorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei eine Abgasrohrleitung (
27 ) mit der ersten Prozesskammer (2 ) verbunden ist, um die Atmosphäre in der ersten Prozesskammer (2 ) auszustoßen. - Substratprozessvorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei ein Drosselventil (
155 ) in der Abgasrohrleitung (27 ) bereitgestellt ist, um eine Flussrate der Atmosphäre zu steuern, die durch die Abgasrohrleitung (27 ) ausgestoßen wird, um einen Druck in der ersten Prozesskammer (2 ) zu regeln. - Substratprozessvorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, des Weiteren mit einem Shutter (
7 ), der zwischen der ersten Prozesskammer (2 ) und der zweiten Prozesskammer (4 ) angeordnet ist, und geeignet ist, geöffnet und geschlossen zu werden. - Substratprozessvorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei eine Mehrzahl von Prozessgasversorgungsrohrleitungen (
161 ), durch die verschiedene Prozessgase zugeführt werden, verbunden sind mit der Prozessgasversorgungsöffnung (9 ). - Substratprozessvorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei eine Mehrzahl von Prozessflüssigkeits-Versorgungsrohrleitungen (
162 ), durch die verschiedene Prozessflüssigkeiten zugeführt werden, verbunden sind mit der Prozessflüssigkeitsversorgungsöffnung (11 ). - Substratprozessvorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, des Weiteren mit einer Mehrzahl von Ablassrohrleitungen (
141 ), um verschiedene Prozessflüssigkeiten von der zweiten Prozesskammer (4 ) abzulassen. - Verfahren zum Prozessieren eines Wafers (W), auf dem ein Lackfilm gebildet ist, mit den Schritten: (a) Tragen des Wafers (W) in eine erste Prozesskammer (
2 ) zum Unterbringen des Wafers (W); (b) Oxidieren des Lackfilms auf dem Wafer (W) in einen wasserlöslichen Film in der ersten Prozesskammer (2 ), wobei der Oxidationsschritt unter Verwendung eines Ozongases und Wasserdampf durchgeführt wird; (c) Tragen des Wafers (W), auf dem der Lackfilm oxidiert ist, von der ersten Prozesskammer (2 ) in eine zweite Prozesskammer (4 ) zum Aufnehmen des Substrats, wobei die erste (2 ) und die zweite (4 ) Prozesskammer miteinander verbunden und über einen Shutter (7 ) unterteilt sind; (d) Spülen des Wafers (W) mit Wasser in der zweiten Prozesskammer (4 ), so dass der wasserlösliche Film von dem Wafer (W) entfernt wird; (e) Tragen des gespülten Wafers (W) von der zweiten Prozesskammer (4 ) in die erste Prozesskammer (2 ); und (f) Trocknen des gespülten Wafers (W) in der ersten Prozesskammer (2 ). - Verfahren nach Anspruch 12, wobei der Schritt des Oxidierens des Lackfilms ausgeführt wird in einer Druckatmosphäre in der ersten Prozesskammer (
2 ). - Verfahren nach Anspruch 13, wobei die erste und zweite Prozesskammer durch den Shutter (
7 ) voneinander isoliert sind, während der Schritt des Oxidierens des Lackfilms und der Schritt des Trocknens des gespülten Wafers (W) ausgeführt werden.
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