CZ284490B6

CZ284490B6 - Skleněný výrobek s vrstveným povlakem a způsob jeho výroby

Info

Publication number: CZ284490B6
Application number: CZ93735A
Authority: CZ
Inventors: Klaus W. Hartig; Philip J. Lingle
Original assignee: Guardian Industries Corp.
Priority date: 1992-04-30
Filing date: 1993-04-26
Publication date: 1998-12-16
Also published as: ATE172701T1; CA2089421C; NZ247491A; ES2125920T3; DE69321754T3; RU2090919C1; NO931570D0; TR28296A; HU9301271D0; EP0567735B2; MX9301838A; KR960010585B1; DE69321754T2; CN1078219A; NO931570L; EP0567735A1; ZA932087B; CA2089421A1; SK39393A3; PL175403B1

Abstract

Sklo s odolným povlakem s vysokou průhledností a s vysokou odrazivostí infračervené energie je opatřené vrstvou Si.sub.3.n.N.sub.4.n., první vrstvou niklu nebo jeho slitiny s chromem, vrstvou stříbra, druhou vrstvou niklu nebo jeho slitiny s chromem a vrchní vrstvou Si.sub.3.n.N.sub.4.n.. Způsob výroby soustavy vrstev sestává z postupného povlékání vakuovým rozprašováním v atmosféře obsahující dusík. ŕ

Description

Oblast techniky

Vynález se týká skel s povlakem, naneseným vakuovým rozprašovacím postupem, a způsobů jejich výroby. Přesněji se tento vynález týká takových skel, která vykazují vysokou průhlednost a značnou odrazivost infračervené energie, která jsou vzhledem k těmto vynikajícím vlastnostem použitelná jako architektonická skla. Jsou též uvedeny efektivní způsoby jejich výroby.

Dosavadní stav techniky

Architektonická bytová plavená skla se upravují nanášením povlaků, omezujících sluneční záření, několika postupy, z nichž lze uvést zejména pyrolytický postup a magnetronové vakuové rozprašovací nanášení (magnetron sputter-coating), dále zjednodušeně rozprašovací nanášení. Nevýhodami, známými při tomto postupu podle dosavadního stavu techniky, jsou jednak dosti snadné odírání naneseného povlaku, tedy nedostatek odolnosti, a dále skutečnost, že těsnění, používané u vícetabulových oken, povlak často poškozuje. Tím se zase narušuje těsnost a dochází k nežádoucí kondenzaci vody mezi tabulemi. Na druhé straně skla s povlakem, naneseným rozprašovací technikou, mají již historickou výhodu, že je u nich možno dosáhnout nízkých hodnot emisivity a vysoké propustnosti pro viditelné světlo ve srovnání s většinou pyrolyticky nanášených povlaků. Tyto posledně jmenované dvě vlastnosti patří mezi nejdůležitější, kterých je třeba u určitých architektonických skel dosáhnout.

Výrazy emisivita a propustnost jsou pro odborníky dostatečně jasné a je jich zde užíváno v obvyklém významu. Tak například propustností se zde rozumí propustnost pro solární záření. Je tvořena propustností pro viditelné světlo, propustností pro infračervenou energii a propustností pro ultrafialové světlo. Celkovou propustností pro solární energii se pak obvykle rozumí vážený průměr těchto tří hodnot. Zde uvedená propustnost pro viditelné světlo (dále průhlednost) se stanovuje pomocí techniky, využívající standardu Illuminant C v rozmezí 380 až 720 nm, infračervená propustnost se stanovuje v rozmezí 800 až 2100 nm, ultrafialová v rozmezí 300 až 400 nm a celková propustnost pro sluneční záření (dále solární) se rozumí v rozmezí 300 až 2100 nm. Pro měření emisivity se používá určitého infračerveného rozmezí (např. 2500 až 40 000 nm), jak je uvedeno dále.

Průhlednost lze měřit s použitím známých zavedených technik, například s použitím spektrofotometru, jako je Beckman 5240 (Beckman Sci. Inst. Corp.), čímž se získá spektrální křivka, vyjadřující propustnost pro každou vlnovou délku. Průhlednost se pak vypočítá pomocí metody ASTM E-308 metodou pro výpočet barevnosti objektů s využitím' CIE systému, popsanou v Annual Book of ASTM Standards, Vol. 14.02. Je též možno použít menší počet bodů na křivce, než je předepsáno, jestliže si přejeme výpočet zjednodušit. Jiným způsobem pro měření průhlednosti je postup, při kterém se využívá spektrometru typu, jako je například Spectragard, který vyrábí Pacific Scientific Corporation. Toto zařízení měří a přímo hlásí zjištěnou hodnotu průhlednosti.

Emisivita (E) je měřítkem (popřípadě vyjádřeným v závislosti na vlnové délce) jak absorbce, tak odrazivosti světla při dané vlnové délce. Obvykle je představována výrazem:

Ε = 1 - Odrazivostfiím

Pro architektonické účely jsou hodnoty emisivit dosti důležité v takzvané střední oblasti, někdy také nazývané vzdálená oblast, infračervené části spektra, tj. oblasti v rozmezí zhruba 2500 až 40000 nm. Výraz emisivita, jak je zde užíván, znamená hodnoty, naměřené v tomto infračerveném rozmezí, podle návrhu ASTM normy pro měření a vyhodnocování vyzařování zr. 1991, jak byl předložen radou Primary Glass Manufacturers s názvem Test Method for Measuring and Calculating Emittance of Architectural Fiat Glass Products Using Radiometric

-1CZ 284490 B6

Measurements. V této normě se emisivita dělí na dvě složky, hemisférickou emisivitu (E_h) a normální emisivitu (En).

Vlastní shromažďování dat pro měření těchto emisivit se provádí obvyklým způsobem a lze jej provést například s použitím spektrofotometru Beckman model 4260 s doplňkem VW (Beckman Scientific Instr. Corp.). Tento spektrofotometr měří odrazivost při jednotlivých vlnových délkách a z těchto údajů se vypočte emisivita pomocí shora zmíněného návrhu normy ASTM z r. 1991.

Dalším zde používaným termínem je odpor vrstvy. Označuje veličinu (Rs), která je v oboru velmi dobře známá a znamená odpor v ohmech, který má plošná jednotka vrstveného systému, naneseného na skleněný podklad, vůči elektrickému proudu, který jí prochází. Odpor vrstvy podává informaci o tom, jak dobře odráží vrstva infračervenou energii a je proto často používán spolu s emisivitiou jako měřítko této vlastnosti, jejíž charakteristika je velice důležitá pro mnoho architektonických skel. Výrazem charakteristika se v celém textu míní závislost dané vlastnosti na vlnové délce, popřípadě jiné sledované veličině, ve výrazné oblasti z hlediska aplikace. Odpor vrstvy se obvykle měří ohmmetrem pomocí čtyřbodové sondy, jako je například samostatná čtyřbodová sonda pro měření měrného odporu spolu s hlavou Magnetron Corp., model M-800, což vyrábí Signatone Corp. v Santa Clara v Kalifornii.

Jak již bylo uvedeno, pro mnohé architektonické aplikace se vyžaduje, aby hodnoty emisivity a R_s byly co nejnižší, čímž se dosahuje toho, že takovým sklem zasklené okno odráží v podstatě veškerou infračervenou energii, která na sklo dopadá. Obecně jsou za málo vyzařující neboli low-E (s nízkou emisivitou) považována ta skla, která mají hemisférickou emisivitu (Eh) menší než asi 0,16 a normální emisivitu (En) menší než asi 0,12. Výhodně je asi Eh = 0,13 a E_n = 0,10 nebo menší. Současně je odpor vrstvy (R_s) výhodně menší než asi 0,5 Ω. U takovýchto skel se požaduje, aby byla obchodně přijatelná, propustnost viditelného světla tak velká, jak je jen možno, často kolem 76 % nebo více, měřeno s použitím standardu Illuminant C u skla o tloušťce 2 až 6 mm. Uvedená takto naměřená průhlednost by však byla žádoucí u skel o tloušťce 2 až 6 mm alespoň 78 % nebo větší, výhodně by měla být asi 80 % či více a ještě výhodněji větší než asi 80 %.

Technika vytváření architektonických skel metodou magnetronového rozprašovacího nanesení více vrstev kovu a/nebo oxidů kovů nebo nitridů na plavením vyrobená skla je známa včetně velkého množství variací a kombinací známých kovů (například stříbra Ag, zlata Au atd.), oxidů a nitridů, které jsou zkoušeny a publikovány. Při těchto technikách se používá plochých či trubkovitých anod nebo kombinace obou typů ve více anodami obsazených zónách, čímž dosahuje každý postup určitých žádoucích výsledků. Příkladem známého zařízení, které lze výhodně použít při realizaci tohoto vynálezu, je magnetronový sputter-coater, prodávanou firmou Airco Corporation. Toto obchodně dostupné zařízení je popsáno v patentech US 4,356,073 a US 4,422,916.

Je tedy známo používat shora zmíněné zařízení (sputter-coater) Airco pro vakuové rozprašovací nanášení soustavy vrstev při výrobě architektonických skel. Vrstvy jsou nanášeny na sklo (například na normální plavené sklo) postupně zvnějšku podle známého stavu techniky například takto:

Si₃N4/Ni:Cr/Ag/Ni:Cr/Si₃N4 přičemž v praxi bylo zjištěno, že ve slitině Ni:Cr je žádoucí hmotnostní poměr Ni/Cr 80/20 (tj. nichrom) a tloušťka každé z uvedených dvou nichromových vrstev se uvádí 0,7 nm. Tloušťka Ag vrstvy se uvádí jen asi 7 nm a vrstvy Si₃N₄ jsou relativně silnější (například 32 nm pro spodní a kolem 45 nm pro povrchový povlak). Stříbrná vrstva (Ag) ve skutečnosti není zcela spojitá, což je způsobeno tím, zeje velmi tenká (kolem 7 nm).

Obr. 1 (jak je níže podrobně vysvětleno) znázorňuje schematicky typické zařízení pro rozprašovací nanášení (sputter-coater Airco), které bylo shora zmíněno a které se používá k výrobě uvedených známých výrobků. Na obr. 1 jsou zóny 1, 2, 4 a 5 vybaveny křemíkovými

-2CZ 284490 B6 (Si) trubkovými anodami t a rozprašování je vedeno ve 100% dusíkové (N₂) atmosféře. V zóně 3 se typicky používá plochých anod P a tato zóna slouží k vytváření tří prostředních vrstev, například Ni:Cr/Ag/Ni:Cr. Používá se v ní 100% argonové atmosféry. Dosud se mělo za to, že N₂má nepříznivý vliv na stříbro v průběhu nanášení, a tak byla zóna 3 udržována v podstatě bez dusíku. Tento názor byl v oboru rozprašovacího nanášení v období před tímto vynálezem obecně přijímán.

Takto získané povlaky dosahovaly dobré odolnosti (tj. byly odolné proti otěru a poškrábání a byly chemicky stabilní) a překonávaly tak v důležitých charakteristikách pyrolytické povlaky, jejich další charakteristiky byly v praxi pod úrovněmi charakteristiky infračervené odrazivosti a průhlednosti, normálně požadovanými pro skla s nízkou emisívitou pro architektonické použití. Tak například u skel o tloušťce kolem 3 mm je průhlednost (Illuminant C) normálně jen asi 76 %, E_h je zhruba 0,20 až 0,22 a E_n je cca 0,14 až 0,17. Obě tyto hodnoty emisivity jsou dosti vysoké. K tomu odpor vrstvy (R_s) má relativně vysokou hodnotu 15,8 ohm, přičemž mnohem přijatelnější hodnota by byla 10,5 nebo méně. Tudíž přestože odolnost byla zřetelně zlepšena a přestože takováto skla jsou použitelná v kombinaci s obvyklými těsnicími materiály (čímž byl překonán zmíněný problém u vícetabulových skel, spočívající v poškozování okrajů do té míry, že jeho další řešení již není požadováno), byla kvalita po stránce omezení slunečního záření pod optimem pro mnohé architektonické aplikace.

K uvedenému Airco systému vrstev je třeba dodat, že v patentové a odborné literatuře jsou popsány další povlaky, obsahující vrstvy stříbra a/nebo Ni:Cr, pro odrážení v infračervené oblasti a ovlivňování dalších druhů světla. Tak například filtry Fabry-Perot a další známé povlaky a techniky jsou popsány v US 3,682,528 a US 4,799,745 (ave stavu techniky, diskutovaném a/nebo zmíněném v těchto patentech). Viz dá’e dielektrické kovové sendviče, pcpsané v mnoha patentech, například US 4,179,181, US 3,698,946, US 3,978,273, US 3,901,997 a US 3,889,026 a mnoha dalších. Přestože je známo nebo popsáno mnoho takových povlaků, bylo v oboru před tímto vynálezem rozšířeno přesvědčení, že nelze podle žádného z nich dosáhnout rozprašovacím procesem efektivní výroby architektonických skel, která by se odolností π “jen přiblížila sklům s pyrolytickými povlaky, ale která by zároveň dosahovala vynikajících kvalit po stránce omezení solárního záření.

Dále je známo, že ačkoli základní zařízení Airco a základní postup jsou přijatelné, jeho výkonnost je příliš nízká. Příčina této nízké produktivity souvisí s domněnkou, která se podle tohoto vynálezu ukázala nesprávnou, že stříbro je nutno v průběhu rozprašovacího nanášení udržovat izolovaně od plynného N₂.

Z toho, co bylo shora uvedeno, je zřejmé, že existuje potřeba takového systému vrstev pro rozprašovací nanášení, který by se odolností přibližoval pyrolytickým povlakům, nebo by dosahoval odolnosti stejné jako tyto povlaky, a zároveň dosahoval optimálních charakteristik pro omezení solárního zařízení, resp. jeho nežádoucích složek, čímž by se vyřešil problém, který běžné pyrolytické povlaky vždy doprovází. Výrazy odolný a odolnost jsou užívány v souladu s jejich běžným významem v tomto oboru a vyjadřují mechanickou a chemickou odolnost vůči poškození, dosahující hodnoty, jakou mají pyrolytické povlaky, nebo stejnou, jako mají tyto pyrolytické povlaky. Je také zřejmé, jak bylo vysvětleno, že existuje v oboru potřeba nalézt povlak, vhodný pro nanášení magnetronovým rozprašovacím procesem, jehož propustnost pro jednotlivé druhy záření, emisivita a zejména také odpor vrstvy by při nanesení povlaku Airco procesem shora popsaným byl lepší, stejně tak jako produktivita, která by se měla zlepšit při využití známého procesu.

Účelem tohoto vynálezu je splnit popsané potřeby, stejně jako další potřeby v oboru, které lépe osvětlí odborníkovi v oboru následující text, který objasňuje vynález.

-3CZ 284490 B6

Podstata vynálezu

Splnění výše uvedených potřeb se dosahuje pomocí tohoto vynálezu, jehož předmětem je skleněný výrobek s povlakem, vytvořeným rozprašovacím nanášením, tvořený skleněným podkladem, opatřeným soustavou vrstev, jehož podstata spočívá v tom, že soustava vrstev je směrem od skla ven tvořena podkladovou vrstvou nitridu křemíku o tloušťce 40 až 42,5 nm a vrchní vrstvou nitridu křemíku o tloušťce 54 až 57,5 nm, mezi nimiž jsou upraveny alespoň dvě vrstvy niklu nebo slitiny niklu a alespoň jedna vrstva stříbra.

Ve výhodném provedení jsou mezi podkladovou a krycí vrstvou dvě vrstvy niklu nebo slitiny niklu o tloušťce menší než 0,7 nm, mezi nimiž je jedna vrstva stříbra, která má tloušťku větší než 9 nm.

Konkrétně může být výrobek podle vynálezu vytvořen tak, že mezi podkladovou a krycí vrstvou je směrem od skla ven první vrstva niklu nebo slitiny niklu, první vrstva stříbra, druhá vrstva niklu nebo slitiny niklu, druhá vrstva stříbra a třetí vrstva niklu nebo slitiny niklu. Přitom výhodně mají vrstvy niklu nebo slitiny niklu tloušťku menší než 0,7 nm a vrstva stříbra má tloušťku větší než 9 nm.

Vrstva stříbra má v tom případě výhodně tloušťku 9 až 10.5 nm.

Výrobek může být proveden také tak, že tloušťka každé vrstvy stříbra je kolem 5 nm a tloušťka každé vrstvy niklu nebo slitiny niklu je menší než 0,7 nm.

Výhodné je, jestliže alespoň jednu z vrstev niklu nebo slitiny niklu tvoří niklchromová slitina, přičemž podstatná část chromuje ve formě nitridu.

Ještě výhodněji jsou všechny vrstvy niklu nebo slitiny niklu tvořeny niklchromovou slitinou, ve které je podstatný podíl chrómu ve formě nitridu.

Niklchromová slitina přitom konkrétně obsahuje hmotnostně kolem 80 % niklu a kolem 20 % chrómu.

Je pak výhodné, jestliže tloušťka kterékoli nichromové vrstvy je menší než 0,7 nm a celková tloušťka stříbra je 9 až 10,5 nm.

Výrobek podle vynálezu může obsahovat jen jednu vrstvu stříbra, jejíž tloušťka je kolem 9,5 nm.

V jiném provedení obsahuje výrobek dvě vrstvy stříbra oddělené nichromovou vrstvou, přičemž každá z vrstev stříbra má tloušťku kolem 5 nm.

U výrobku podle vynálezu má pak skleněný základ tloušťku asi 2 až 6 mm, povlečené sklo má výhodně průhlednost alespoň asi 78 % (Illuminant C), normální emisivitu (E_n) menší než asi 0,12 a hemisférickou emisivitu (Eh) menší než asi 0,16.

V určitých výhodných provedeních tohoto vynálezu je soustava vrstev odolná a průhlednost, jak byla shora specifikována, je alespoň asi 80 % nebo větší a ještě výhodněji větší než 80 %. V ještě výhodnějších provedeních jsou hodnoty emisivity kolem 0,13 nebo menší pro E_h a kolem 0,10 nebo méně pro En. Nejvýhodněji jsou hodnoty Eh kolem 0,12 až 0,13 a hodnoty E_n kolem 0,09 až 0,10. V těchto provedeních je výhodným rozsahem, v němž se nalézá hodnota odporu vrstvy, výhodně 10,5 Ω nebo méně a nejvýhodněji asi 9 až 10 Ω.

Sedmivrstvová soustava podle vynálezu, vzniklá ze základní pětivrstvové soustavy rozdělením stříbrné vrstvy na dvě vrstvy, mezi které se nanese vrstva na bázi niklu, vykazuje obecně poněkud lepší odolnost proti poškrábání a další charakteristiky ve srovnání s pětivrstvovým povlakem, a dokonce i vyšší infračervenou odrazivost.

Další povlaky mohou popřípadě zahrnovat povrchové vrstvy pro dosažení ještě vyšší odolnosti proti poškrábání, nebo podkladové vrstvy pro dosažení vyšší přilnavosti a podobně. Nicméně v praxi jsou nejvýhodnějšími soustavami podle vynálezu pětivrstvové a sedmivrstvové povlaky uvedené shora.

-4CZ 284490 B6

V takových provedeních, kdy je stříbrná vrstva rozdělena na dvě vrstvy, mezi kterými je vrstva na bázi niklu, je vhodnou celkovou tloušťkou obou stříbrných vrstev 9 až 10,5 nm, přičemž každá z nich představuje kolem 5 nm. Je třeba poznamenat, že vrstvy o tloušťce 5 nm jsou již do jisté míry nespojité. Kromě dodržení těchto podmínek, což představuje při použití Airco systému problém, neprojevuje se při praktickém provedení tohoto vynálezu žádný nežádoucí efekt.

Předmětem vynálezu je dále způsob vytváření tenké odolné soustavy vrstev na skleněném podkladu, která výrazně omezuje nežádoucí složky slunečního záření, jehož podstata spočívá v tom, že se rozprašovacím nanášením pomocí následujících kroků vytvoří sled vrstev v pořadí směrem od skleněného podkladu:

a) v atmosféře obsahující dusík se vytvoří podkladová vrstva nitridu křemíku,

b) v atmosféře obsahující dusík se vytvoří první vrstva niklchromové slitiny, obsahující podstatný podíl chrómu ve formě nitridu,

c) v téže atmosféře jako ve stupni b) se vytvoří alespoň jedna vrstva stříbra,

d) v téže atmosféře jako ve stupních b) a c) se vytvoří druhá vrstva niklchromové slitiny, ve které je podstatná část chrómu ve formě nitridu,

e) v atmosféře obsahující dusík se vytvoří vrchní vrstva nitridu křemíku, přičemž pokud má skleněný podklad tloušťku 2 až 6 mm, má povlečené sklo normální emisivitu E_n menší než 0,12 a hemisférick u emisivitu Eh menší než 0,16.

Ve výhodném provedení se nanášení provádí v několika zónách, od sebe navzájem oddělených, přičemž stupně vytváření vrstev nitridu křemíku rozprašovacím nanášením se provádějí v alespoň dvou oddělených zónách, z nichž každá má atmosféru sestávající v podstatě ze 100 % N₂, a přičemž stupně vytváření vrstvy Nř.Cr nitridu a vrstvy stříbra se provádějí v týchž zónách a nanášení je vedeno v atmosféře, sestávající v podstatě objemově ze 100 až 25 % N₂ a až 75 % Ar.

Konkrétně se nanášení vrstev Ni:Cr nitridu a stříbra provádí v atmosféře, obsahující kolem 50 % objemových každého z plynů Ar a N₂.

Výhodné je, jestliže při nanášení vrstvy nitridu křemíku se používá trubkových anod, tvořených v podstatě z křemíku (Si), a anodami pro vytváření vrstev Ni:Cr nitridu, resp. stříbra jsou ploché anody z nichromu, resp. ze stříbra.

Výhodně se vrstvy Ni:Cr nitridu nanášejí do dosažení tloušťky menší než 0,7 nm a vrstvy stříbra do celkové tloušťky 9 až 10,5 nm.

Konkrétně je možno způsob provádět tak, že se nanáší soustava sedmi vrstev, zahrnující alespoň dvě vrstvy stříbra s mezivrstvou z Ni:Cr nitridu mezi nimi.

Přitom se nanášení provádí v atmosféře, obsahující směs argonu a N₂.

V architektuře jsou ve značném měřítku používána vícetabulová skla. Soustava vrstev podle vynálezu je vhodná pro veškerá obvykle používaná těsnění pro tato okna, a tak ře^? f výše uvedený problém ve stejné míře, v jaké jej řeší povlak Airco. Proto nedochází k narušování okrajových oblastí povlaku.

Mezi technické představy, které jsou významné v oboru a které byly ověřeny v konkrétním provedení podle vynálezu, patří například to, že není nutné izolovat stříbro od N₂ v průběhu rozprašovacího nanášení, ale že je naopak výhodné provádět rozprašování stříbra a niklové slitiny v tomto prostředí současně. V tomto směru nebyla pozorována žádná podstatná ztráta účinnosti stříbra. Toto pak vedlo k neočekávanému zjištění, že obsahuje-li vrstva na bázi niklu chrom, mění se chrom v průběhu rozprašování na nitrid, dojde k překvapivému zlepšení vlastností, týkajících se propustností. Takže v určitém výhodném provedení tohoto .ynálezu je anoda na bázi niklu tvořena slitinou Ni:Cr a Cr se v průběhu rozprašovacího nanášení mění (alespoň zčásti) na nitrid Cr ve stejné rozprašovací zóně spolu se stříbrem. Toto, jak bylo

-5CZ 284490 B6 zjištěno, zvyšuje znatelně průhlednost konečného produktu. Navíc výroba tohoto nitridu v téže zóně, kde se rozprašuje stříbro, snižuje cenu a zvyšuje produktivitu.

Zlepšení produktivity a snížení nákladů ve srovnání s Airco procesem lze vysvětlit tímto způsobem: Při Airco procesu (a dalších) probíhá rozprašování Si obtížně a pomalu, a proto příkon anod (například trubkových, používaných při Airco procesu) se musí zvyšovat často až k limitní hodnotě zařízení, neboť použitou atmosférou je 100% N₂. Pokud se předpokládá, že nanášení stříbra rozprašováním nesmí probíhat v prostředí obsahujícím N₂, a jestliže si přejeme přeměňovat Cr na nitrid, musí být umístěny Ni:Cr anody v samostatných zónách, což má za následek vyšší náklady. Alternativně mohou být rozprašovány tyto elektrody ve společných N₂obsahujících zónách s Si, ale to by mělo za následek zpomalení výroby v důsledku snížení počtu Si anod, které by bylo možno použít. Zjištění, zeje v praktickém provedení podle vynálezu oboje výhodné pro vytváření nitridu chrómu a že N₂ nemá nepříznivý vliv na stříbro v průběhu nanášecího procesu, eliminuje nutnost používat shora popsaných drahých a neproduktivních alternativ, protože lze spolu se stříbrnými anodami použít v téže zóně dvě anody Ni:Cr a rozprašování může být vedeno v atmosféře Ar/N₂, na rozdíl od čisté argonové atmosféry, která byla, jak se dosud věřilo, nezbytná.

Vynález bude nyní popsán pomocí příkladů konkrétních provedení spolu s odkazy na doprovodné výkresy.

Přehled obrázků na výkrese

Obr. 1 znázorňuje schematicky zařízení Airco, které lze použít v praxi podle tohoto vynálezu (a které se podle vynálezu provozuje odlišně od známého stavu techniky, jak bylo popsáno shora).

Obr. 2 představuje řez soustavou nanesených vrstev podle známého Airco postupu.

Obr. 3 představuje řez jednoho provedení soustavy vrstev podle vynálezu.

Obr. 4 je řez jiným provedením podle vynálezu.

Příklady provedení podle vynálezu

Na obr. 1 je znázorněno obvyklé zařízení pro nanášení magnetronovým rozprašováním, jakým je například sputter coater Airco, na které se odkazuje již v předchozím textu. Ve výhodném konkrétním provedení podle vynálezu se používá pěti zón J až 5. Vrstvy jsou postupně nanášeny na sklo G, jak toto postupuje ve směru šipky A. Zóna J obsahuje šest trubkovitých křemíkových anod ίμβ (například Si se 3 až 5 % hmot. Al kvůli vodivosti). Zóna 2 obsahuje dále navíc šest trubkovitých anod t₇.i₂ ze stejného materiálu.

Střední zóna 3 je výhodně tvořena buď třemi plochými anodami Pjj (t.j. číslovanými 31. 16 a 33) pro pětivrstvové soustavy, jaká je znázorněna na obr. 3, nebo pěti až šesti anodami trubkového nebo plochého typu) pro vytvoření sedmivrstvové soustavy, jaká je na obr. 4. Systém tří plochých anod, který je znázorněn, může samozřejmě také být použit pro výrobu soustavy Airco podle známého stavu techniky, která je na obr. 2. Uspořádání anod pro výrobu sedmivrstvové soustavy je volitelné podle znalostí zkušeného odborníka v daném oboru a není znázorněno. Aby bylo schůdné umístění šesti anod v zónách J - 2 a 4 - 5, používá se jedné techniky, typické pro takovéto zařízení, dané relativně dosti značnou požadovanou tloušťkou tří vrstev na bázi niklu /např. nichromových/. Tato technika spočívá v tom, že se použije anod 31 a 33 (t.j. Ei a P3) na bázi niklu a místo anody 16 (t.j. P₂) se použije několika anod mezi Pj aPj, kde ti3 je stříbro, tuje na bázi niklu, a tu nebo tuje stříbrná.

Při provozu jsou zóny 1 až 5 odděleny vhodnými přepážkami C na okrajích tak, aby bylo možno udržovat v každé zóně danou atmosféru, to vše s pomocí obvyklého dobře známého zařízení v oboru rozprašovacího nanášení. Jak bylo již shora vysvětleno, dříve se věřilo, že pokud se má

-6CZ 284490 B6 při rozprašovacím nanášení používat jako anoda stříbro, je důležité udržovat příslušnou zónu (tj. zónu 3) v podstatě prostou N₂ v nejvyšší možné míře. Z tohoto důvodu se při známém procesu výroby známé soustavy podle obr. 2 používal podle uvedených údajů jako plyn 100% argon. Také se mělo za to, že rozprašování Si by mělo být prováděno ve 100% N₂, a tak byla uváděna tato atmosféra.

použitím uvedeného zařízení a složení atmosfér v zónách při regulaci rychlosti a elektrického příkonu přiváděného do rozprašovacího procesu současně byla vyrobena známým Airco procesem taková soustava vrstev, jaká je znázorněná na obr. 2. Na tomto obr. 2 je tak znázorněn skleněný podklad G. Tímto skleněným podkladem byla výhodně vrstva skla o tloušťce 2 až mm, obvykle vyráběná plavením, typického složení soda-vápno-oxid křemičitý, které se již dlouho tímto procesem zpracovává. V zónách 1 až 2 se nanášela první podkladová vrstva 111. sestávající v podstatě z S13N4. Její jmenovitá tloušťka byla kolem 32,5 nm. Zóny _1 až 2 byly provozovány s atmosférou, tvořenou v podstatě 100% N₂. Dále byla použita zóna 3, využívající v podstatě 100% argonovou atmosféru k prvnímu nanesení relativně tenké (například 0,7 nm nebo více) vrstvy 113 nichromu o složení 80/20, následované relativně silnou (například asi nm) poněkud nespojitou stříbrnou vrstvou 115, jejíž r. ^spojitost je znázorněna póry 117. V téže zóně 3 pak byla nanesena na stříbro další, relativně tenká (například 0,7 nm nebo více) vrstva 119 nichromu o složení 80/20. Povrchový povlak 121. tvořený Si₃N₄, byl poté vytvořen v zónách 4 až 5 o tloušťce poněkud větší než byla tloušťka podkladového povlaku 111 (například kolem 45 nm). V předcházejícím textu již byly zmíněny kvality tohoto skla, které jsou nižší než je žádoucí, a příklad tohoto skla podle známého stavu techniky je dále uváděn pod názvem Standard (Std.) Airco.

Obr. 3 znázorňuje dvě provedení podle našeho vynálezu, která lze uskutečnit s použitím zařízení na obr. 1. Jak je znázorněno, povlak je vytvořen z pěti vrstev na plaveném skleněném podkladu G o tloušťce 2 až 6 mm. První vrstva 211 je Si₃N₄ a tvoří se v zónách 1 až 2 při atmosféře, tvořené v podstatě 100% N₂. Popřípadě lze přidat za určitých podmínek (například pokud jde o menší velikosti) argon, například do zóny 2 pro zvýšení rozprašování Si. Další vrstvy 213. (213'), 215 a 219 (219¹) se tvoří v zóně 3.

Podle jednoho provedení tohoto vynálezu se v zóně 3 používá v podstatě 100% argon. Při tomto provedení je anoda Pj (31) výhodně tvořena nichromem o složení 80/20, avšak může to být i nikl či jiná slitina niklu, je-li to žádoucí. Aby se dosáhlo zlepšených charakteristik při omezování slunečního záření, a tak se překonaly problémy spojené s použitím produktu z obr. 2, udržuje se tloušťka vrstvy 213, což je v podstatě kovová vrstva, na hodnotě pod asi 0,7 nm. Dosáhne se toho snížením příkonu do anody Pj (31) ve srovnání s příkonem při výrobě soustavy vrstev z obr. 2 o cca 20 % nebo více. Dále se jako další vylepšení oproti výrobku z obr. 2 zesílí stříbrná vrstva 215, nanášená z anody P₂ (16). například na asi 9 až 10,5 nm, oproti odpovídající vrstvě 115. čímž se dosáhne vrstvy 215 v podstatě spojité. Toho se dosáhne obvykle zvětšením příkonu anody P₂ o asi 20 až 33 % nebo více oproti odpovídajícímu příkonu, jehož se používá při výrobě vrstvy 115.

Dále se vytvoří další, v podstatě kovová vrstva 219 nichromu o složení 80/20 (nebo jiné slitiny na bázi niklu) stejnou cestou jako vrstva 213 a také o stejné tloušťce. Poté následuje nanesení povrchové vrstvy 221, tvořené SÍ3N_4> v zónách 4 a 5 podobným způsobem, jakého se použilo k vytvoření podkladové vrstvy 211. Vrstva 221 je obvykle o něco silnější než vrstva 211 (například kolem 54 nm ve srovnání s cca 40 nm pro vrstvu 211 ). Přestože tedy mohou být ve výhodných provedeních vynálezu občas obě vrstvy SÍ3N4 (podkladová i povrchová, například 211 a 221 nebo 311 a 321, popsané dále) podle vynálezu stejně silné jako u produktu Airco (například 111 a 121), je každá z nich oproti produktu Airco zesílena. Dosahuje se toho zvýšením příkonu do zařízení v zónách J až 2 a 4 až 5 zhruba o 20 % nebo více. Výsledná soustava vrstev má odolnost zhruba stejnou jako soustava vrstev ve výrobku, znázorněném na obr. 2 při poněkud lepší odolnosti proti poškrábání, avšak vykazuje výrazně výhodnější vlastnosti, jako emisivitu, propustnost a odpor vrstvy, ve srovnání se soustavou podle obr. 2 (tj.

-7CZ 284490 B6 propustnosti dosahují 80 % hodnoty uvedené známé srovnávací soustavy a emisivita a hodnoty R_s jsou znatelně nižší).

Podle dalšího výhodného provedení, znázorněného příkladem na obr. 3, se používá unikátního způsobu, využívajícího výhodně zařízení podle obr. 1, podle kterého se dokonce dosahuje vlastností ještě lépe omezujících nežádoucí složky slunečního záření. Při tomto unikátním způsobu se využívá stejných základních stupňů, jaké jsou popsány v prvním provedení, s výjimkou toho, že v souladu s využitím nových představ a na rozdíl od známého stavu se používá společně s argonem v zóně 3 plynný N₂ a slitina nikl-chrom se používá buď v jedné nebo výhodně v obou anodách £2 (31) a P3 (33). takže se ukládá chrom jako nitrid ve vrstvě (vrstvách) Ni:Cr (tj. v jedné z vrstev 213' a 219' nebo v obou těchto vrstvách). Přitom může poměr argonu k N₂ být různý podle potřeby, ale obecně bylo zjištěno, že objemový poměr až 75 % Ar k 100 až 25 % N₂ a výhodně objemový poměr 50 % - 50 % Ar k N₂ umožňuje dosáhnout zlepšených charakteristik (například propustnosti aR_s), překonávajících dokonce první provedení podle vynálezu, které bylo shora popsáno. Ve výhodné podobě tohoto provedení se udržují tloušťky vrstev stejné, jako jsou odpovídající tloušťky v prvním provedení. Typické hodnoty příkonů jsou uvedeny dále.

Soustava vrstev, jejíž příklad je na obr. 4, se může vyrábět, jak je shora popsáno, vytvořením vrstev na bázi niklu jako v podstatě čistých kovových vrstev, nebo nanášením v prostředí N₂s obsahem argonu, přičemž se jako jedna či více anod použije slitina nikl-chrom, jak je shora popsáno, a dosáhne se lepších výsledků vzhledem k tvorbě nitridu chrómu v jedné nebo více (výhodně ve všech) vrstvách Ni:Cr. Při tomto provedení se dále jedna stříbrná vrstva 215 z obr. 3 rozdělí na dvě stříbrné vrstvy s mezivrstvou na bázi niklu, umístěnou mezi tyto stříbrné vrstvy. Tudíž provedení podle obr. 4 lze vyrábět použitím příslušného počtu anod (nejsou zobrazeny) v zóně 3, vytvořením podkladové vrstvy 311 z Si₃N₄ v zónách_1 až 2 a vrchní vrstvy 321 z Si₃N₄v zónách 4 až 5. Jsou výhodné stejné tloušťky vrstev 311 a 321. jaké jsou použity u vrstev 211 a 221.

Obr. 4 se v zásadě liší od obr. 3 v tom, že v zóně 3 nanášená první kovová vrstva 313 na bázi niklu (tj. výhodně nichrom 80/20) nebo její nitrid obsahující analogická vrstva 313' má tloušťku menší než asi 0,7 nm. Dále se vytváří první vrstva stříbra 315A o tloušťce kolem 5 nm, následovaná další kovovou vrstvou 314 na bázi niklu nebo její nitrid obsahující analogickou vrstvou 314' o tloušťce pod 0,7 nm. Poté následuje nanesení druhé stříbrné vrstvy 315B o tloušťce kolem 5 nm, po kterém přichází nanesení další kovové vrstvy 319 nebo jejího nitrid obsahujícího analogu 319', který má tloušťku méně než asi 0,7 nm. Zde je třeba poznamenat, že celková tloušťka obou stříbrných vrstev je výhodně v rozmezí asi 9 až 10,5 nm. Nanášení soustavy se ukončuje vrchní vrstvou 321, která se vytvoří z Si₃N₄, jak bylo shora uvedeno,

Bylo by očekávatelné, že když v provedení na obr. 4 mají stříbrné vrstvy 315A. 315B každá tloušťku pouze 5 nm, projeví se nespojitost existencí pórů 317. jaké doprovázejí provedení z obr. 2 (póry 117). Takové nespojitosti, přestože při provedení podle obr. 2 jsou znatelné a vadí, se však při praktickém provedení, znázorněném na obr. 4 neprojevují.

Sedmivrstvová soustava na obr. 4 je odolnější než předchozí dvě provedení na obr. 3 a přestože vykazuje nižší propustnost než tato provedení (tj. slabě nad minimální úroveň 76 %), jeho emisivita a hodnoty R_s jsou lepší než u provedení na obr. 3. Přesná příčina, proč tomu tak je, není známa, avšak lze předpokládat, že je to následkem rozdělení stříbra na dvě vrstvy, spolu s použitím mezivrstvy na bázi Ni (například Ni:Cr). V tomto směru lze dále mít za to, že mezivrstva na bázi Ni je významná a výrazně napomáhá dosažení odolnosti, zejména pokud je tvořena slitinou Ni:Cr (například nichrom 80/20), ve které byl chrom přeměněn na nitrid.

Vynález je dále popsán pomocí konkrétních příkladů provedení. V tabulkách použité symboly a a b označují souřadnice, na nichž se měří barevné charakteristiky a obs znamená pozorovatel.

-8CZ 284490 B6

Příklady

Typická standardní (STD) Airco soustava vrstev, představovaná obr. 2, a dvě provedení, představovaná obr. 3, byla nanesena s použitím zařízení podle obr. 1. První provedení je označováno jako typ A a druhé (t.j. kde se tvoří nitrid v obou vrstvách 213 a219 ) je 5 označováno jako typ B. Používalo se trubkových anod Airco o složení Si s určitým množstvím hliníku pro anody ti,i₂ a ti9.₃Q. Anody P^ (31) a P₃ (33) byly tvořeny slitinou, sestávací hmotnostně z 80 % Ni a 20 % Cr. Anoda P₂ (16) byla tvořena stříbrem (Ag). Použitým sklem bylo běžné sodno-vápenato-křemičité plavené sklo, vyrobené Guardian Industries Corp., o tloušťce 3 mm, rychlost posuvu byla 8,763 m/min. Tlak v zónách 1-2 a 4-5 byl udržován na ίο 0,3333 Pa. V těchto zónách bylo použito atmosféry, tvořené 100% N₂. V zóně 3 byl udržován tlak 0,2666 Pa. Pro nanášení STD Airco soustavy a pro nanášení typu A podle vynálezu bylo použito jako atmosféry 100% argonu. Pro nanášení typu B podle vynálezu bylo použito směsi 50 % argonu a 50 % N₂. Údaje o dodávané elektrické energii jsou uvedeny v následujícím souhrnu:

Tabulka 1 (Typy A a B, zóny 1-2 a 4-5)

ANODA ě.	NAPĚTÍ (V)	PROUD (A)	PŘÍKON (KW)
1	470	124	58,0
2	481	115	55,5
3	431	21	8,9
4	446	123	55,0
5	446	124	55,5
6	449	124	55,5
7	440	123	54,1
8	449	130	58,2
9	429	123	52,7
10	420	123	51,5
11	479	30	14,3
12	450	112	50,4
19	425	136	: 57,5
20	444	135	60,0
21	453	129	50,6
22	426	130	55,0
23	415	104	43,1
24	441	135	59,5
25	458	35	16,1
26	477	138	65,6
27	455	133	60,5
28	478	137	58,6
29	447	86	38,2
30	429	86	36,8

-9CZ 284490 B6

Tabulka 2 (Typ A, zóna 3)

ANODA č.	NAPĚTÍ (V)	PROUD (A)	PŘÍKON (KW)
31	390	2,6	1,0
16	447	22,8	10,2
33	392	2,6	1,0

Tabulka 3 (Typ B, zóna 3)

ANODA č.	NAPĚTÍ m	PROUD ίΑΊ*	PŘÍKON (KW)*
31	403	5,0	2,0
16	446	32	14,2
33	400	5,1	2,0

*Příkon, napětí a proud musí být větší při téže tloušťce filmu, vzniká-li nitrid.

Tabulka 4 (STD, zóny 1-5)
ANODA č.	PROUD (A)	PŘÍKON (KW)
1		80
2		80
3		80
4	Zóna 1	80
5		80
6		80
7		80
8		80
9	Zóna 2	80
10		80
11		80
12		80
31		3,8	1,5
16	Zóna 3	18,4	8,1
33		3,8	1,5
19		135
20		105
21		125
22	Zóna 4	125
23		105
24		25

-10CZ 284490 B6

25	Zóna 5	125
26		120
27		50
28		110
29		110
30		80

Tabulka 5 (Srovnání výsledků)	STRANA SKLA (Ro) ODRAZIVOST	STRANA POVLAKU (Rf) ODRAZIVOST
SOUSTAVA VRSTEV	PRŮHLEDNOST
Typ A	Y(%)	78,75	8,42	4,08
111.C	X	0,3097	0,2610	0,2449
2° OBS.	y	0,3192	0,2722	0,2427
	a*	- 1,69	- 1,64	+ 1,64
	b*	+ 1,03	- 11,57	- 14,68
TypB	Y	79,57	7,56	3,75
111.c	X	0,3089	0,2641	0,2559
2° OBS.	y	0,3190	0,2709	0,2441
	a*	- 1,98	-0,40	+ 3,77
	b*	+ 0,84	-11,19	- 13,45
STD	Y	76,45	8,26	5,09
111.c	X	0,3078	0,2626	0,2723
2° OBS.	y	0,3163	0,2801	0,2857
	a*	-1,19	-3,25	- 1,76
	b*	-0,30	-9,88	-6,95

Tabulka 6 (Srovnání výsledků)

SOUSTAVA VRSTEV	Ea	Eh	Rj(ohm)
Typ A	0,10	0,13	10,0
Typ B	0,10	0,13	9,4
STD	0,16	0,20	15,8

Jako dalších dvou příkladů provedení podle vynálezu a jako ukázku vlivu tloušťky vrstvy, 15 zejména vrstvy na bázi Ni, lze uvést propustnost a odrazivost infračervené energie dvou B

-11 CZ 284490 B6 typů, které byly vyrobeny za podmínek v podstatě shodných v zónách 1 a 2 a znovu v zónách 4 a 5, přičemž byl nanesen povlak SiN v atmosféře tvořené 100% dusíkem. Anody v zónách 1, 2, 4 a 5 byly Si s příměsí Al, P (31) aP (33) byly 80/20 nichrom aP (16) bylo stříbro. Jediným rozdílem bylo, že se v zóně 3 použilo rozdílných příkonů, jak uvádí následující tabulka.

Použitým sklem bylo 3 mm tlusté plavené sodno-vápenato-křemičité sklo.

Tabulka 7 (Zóna 3, 50/50 Ar/N₂ Atmos.)

ANODA (KW) PROPUSTNOST (111. C)

Plili)	bílé)	P.Í33)	Rs	Eh	Y%	a+	bí
Sklo č. 1
1,5	15,0	1,5	8,3	0,11	80,97	-1,88	+1,13
Sklo č. 2
2,0	14,0	2,0	9,1	0,12	80,02	-1,71	+0,70

Jak je možno vidět, mírným zvětšením tloušťky dvou Ni:Cr (nitridových) vrstev a mírným zmenšením tloušťky stříbrné vrstvy došlo ke snížení infračervené propustnosti a odrazivosti. Obě tato skla jsou přesto komerčně použitelná pro okna s více tabulemi v architektuře.

Další příklady typu A byly připraveny při různých úrovních příkonů jednotlivých zón, jak je 15 dále uvedeno. Sklo mělo tloušťku 3 mm a bylo to stejné sklo, jako v tabulce 7 v předcházejícím příkladu.

Tabulka 8

PROPUSTNOST (111. C)

SKLO č. ..........Ϊ..........	ANODA č. -^1249-30 4 31	PROUD ÍA) ..............85.............. 35 2,9	KW 1,1	R* .............	Eh 0J3	Y% 77’11......	a* ’-2’28.........	b^ -ΪΪ53
	16		10,2
	33	2,9	1,1
2	1-3,5-12	85		10,3	0,14	78,02	-2,38	-1,56
	19-30	85
	4	35
	31	2,6	1,0
	16		10,2
	33	2,6	1,0
3	ti	11	1!	10,0	0,13	77,84	-2,45	-1,66
	16		10,4
4	11	11	11	9,8	0,13	79,41	-2,13	-0,30
	19-30	105

- 12CZ 284490 B6

Tabulka 8 - pokračování

PROPUSTNOST (111. C)

SKLO č.	ANODA č.	PROUD (A)	KW	Rs		Y%	a*	bí
5	1-3,5-12	90	H	9,8	0,13	79,20	-2,10	-0,40
	19-30	90
	4	40
6	11	11	11	9,8	0,13	79,48	-1,95	+0,17
	19-30	115
7	1-3,5-12	95
	19-30	115
	4	40
	31,16,33		11	9,7	0,12	79,61	-1,89	+0,05
8	It		11	9,7	0,13	79,78	-1,81	+0,31
	19-30	120
	4	40
	31,16,33		11	9,8	0,13	79,95	-1,80	+0,15
10	1-3,5-10,12	105		9,8	0,13	79,48	-1,68	+0,66
	19-30	125
	4	95
	11	30
11	H	II	11	9,7	0,12	79,66	-1,74	+0,62
12	1-2,5-10,12	107		10,1	0,13	79,76	-1,61	+0,68
	3,4	47
	11	32
	19-30	125
	31,33		1,0
	16	10,2
13*	Π	11	11	9,9	0,13	79,60	-1,62	+0,64

*Toto sklo bylo ohodnoceno jako nejvýhodnější pro obchodní využití do vícetabulových oken.

Po shora uvedeném vysvětlením vynálezu jsou zřejmé odborníkovi i další modifikace, znaky a vylepšení. Takovéto znaky, modifikace a vylepšení je třeba zahrnout do rozsahu vynálezu, 5 který je dále definován patentovými nároky.

Claims

1. Skleněný výrobek s povlakem, vytvořeným rozprašovacím nanášením, tvořený skleněným podkladem, opatřeným soustavou vrstev, vyznačující se tím, že soustava vrstev je směrem od skla ven tvořena podkladovou vrstvou nitridu křemíku o tloušťce 40 až 42,5 nm a vrchní vrstvou nitridu křemíku o tloušťce 54 až 57,5 nm, mezi nimiž jsou upraveny alespoň dvě vrstvy niklu nebo slitiny niklu a alespoň jedna vrstva stříbra.

2. Výrobek podle nároku 1, vyznačující se tím, že mezi podkladovou a krycí vrstvou jsou dvě vrstvy niklu nebo slitiny niklu o tloušťce menší než 0,7 nm, mezi nimiž je jedna vrstva stříbra, která má tloušťku větší než 9 nm.

3. Výrobek podle nároku 1, vyznačující se tím, že mezi podkladovou a krycí vrstvou je směrem od skla ven první vrstva niklu nebo slitiny niklu, první vrstva stříbra, druhá vrstva niklu nebo slitiny niklu, druhá vrstva stříbra a třetí vrstva niklu nebo slitiny niklu.

4. Výrobek podle nároku 2, vyznačující se tím, že vrstvy niklu nebo slitiny niklu mají tloušťku menší než 0,7 nm a vrstva stříbra má tloušťku větší než 9 nm.

5. Výrobek podle nároku 2, vyznačující se tím, že vrstva stříbra má tloušťku 9 až 10,5 nm.

6. Výrobek podle nároku 3, vyznačující se tím, že tloušťka každé vrstvy stříbra je kolem 5 nm a tloušťka každé vrstvy niklu nebo slitiny nikluje menší než 0,7 nm.

7. Výrobek podle nároku 1, vyznačující se tím, že alespoň jednu z vrstev niklu nebo slitiny niklu tvoří niklchromová slitina, přičemž podstatná část chromuje ve formě nitridu.

8. Výrobek podle nároku 7, vyznačující se tím, že všechny vrstvy niklu nebo slitiny niklu jsou tvořeny niklchromovou slitinou, ve které je podstatný podíl chrómu ve formě nitridu.

9. Výrobek podle nároku 8, vyznačující se tím, že niklchromová slitina obsahuje hmotnostně kolem 80 % niklu a kolem 20 % chrómu.

10. Výrobek podle nároku 9, vyznačující se tím, že tloušťka kterékoli nichromové vrstvy je menší než 0,7 nm a celková tloušťka stříbra je 9 až 10,5 nm.

11. Výrobek podle nároku 10, vyznačující se tím, že obsahuje jen jednu vrstvu stříbra, jejíž tloušťka je kolem 9,5 nm.

12. Výrobek podle nároku 10, vyznačující se tím, že obsahuje dvě vrstvy stříbra, oddělené nichromovou vrstvou, přičemž každá z vrstev stříbra má tloušťku kolem 5 nm.

13. Způsob vytváření tenké odolné soustavy vrstev na skleněném podkladu, která výrazně omezuje nežádoucí složky slunečního záření, vyznačující se tím, že se rozprašovacím nanášením pomocí následujících kroků vytvoří sled vrstev v pořadí směrem od skleněného podkladu:

-14CZ 284490 B6

e) v atmosféře obsahující dusík se vytvoří vrchní vrstva nitridu křemíku, přičemž pokud má skleněný podklad tloušťku 2 až 6 mm, má povlečené sklo normální emisivitu E_n menší než 0,12 a hemisférickou emisivitu Eh menší než 0,16.

14. Způsob podle nároku 13, vyznačující se tím, že nanášení se provádí v několika zónách, od sebe navzájem oddělených, přičemž stupně vytváření vrstev nitridu křemíku rozprašovacím nanášením se provádějí v alespoň dvou oddělených zónách, z nichž každá má atmosféru sestávající v podstatě ze 100% N₂, a přičemž stupně vytváření vrstvy Ni.Cr nitridu a vrstvy stříbra se provádějí v týchž zónách a nanášení je vedeno v atmosféře, sestávající v podstatě objemově ze 100 až 25 % N₂ a až 75 % Ar.

15. Způsob podle nároku 14, vyznačující se t í m , že nanášení vrstev Ni:Cr nitridu a stříbra se provádí v atmosféře, obsahující kolem 50 % objemových každého z plynů Ar a N₂.

16. Způsob podle nároku 15, vyznačující se tím, že při nanášení vrstvy nitridu křemíku se používá trubkových anod, tvořených v podstatě z křemíku (Si), a anodami pro vytváření vrstev Ni:Cr nitridu, resp. stříbra jsou ploché anody z nichromu, resp. ze stříbra.

17. Způsob podle nároku 16, vyznačující se tím, že vrstvy Ni:Cr nitridu se nanášejí do dosažení tloušťky menší než 0,7 nm a vrstvy stříbra do celkové tloušťky 9 až 10,5 nm.

18. Způsob podle nároku 13, vyznačující se tím, že se nanáší soustava sedmi vrstev, zahrnující alespoň dvě vrstvy stříbra s mezivrstvou z Ni:Cr nitridu mezi nimi.

19. Způsob podle nároku 13, vyznačující se tím, že nanášení se provádí v atmosféře, obsahující směs argonu a N₂.