CN1742378A - 半导体装置及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种半导体装置(20、21、22)，它包括：沟道区域(4)，在半导体基板(1)的表层部上形成，是第1导电型；源极区域(25)，形成在贯通该沟道区域(4)形成的沟槽(17)的边缘部上，是与上述第1导电型不同的第2导电型；漏极区域(2)，在与上述沟槽(17)的底部邻接的区域上形成，是上述第2导电型；栅极绝缘膜(13)，沿着上述沟槽(17)的内侧壁形成；栅极电极(26、36)，在上述沟槽(17)内，配置为隔着上述栅极绝缘膜(13)与上述沟道区域(4)对置；导电层(37、40、40a、40b)，形成在上述沟槽(17)内，比上述栅极电极(26、36)更靠漏极区域(2)一侧；以及，绝缘层(15)，覆盖上述导电层(37、40、40a、40b)的周围，使上述导电层(37、40、40a、40b)、上述栅极电极(26、36)以及上述漏极区域(2)之间电绝缘。

Description

半导体装置及其制造方法
技术领域
本发明，涉及具有沟槽(trench)结构的半导体装置及其制造方法，特别涉及具有沟槽结构的高频开关用的MOS FET及其制造方法。
背景技术
图5是，图解表示了形成有具有现有的沟槽结构的MOS FET的半导体装置的结构的剖面图。
N-外延层52形成于硅基板51的表面，在N-外延层52上形成有扩散区域65。贯通扩散区域65、达到N-外延层52在厚度方向上的中途的多个沟槽54，被每隔一定间隔形成。在沟槽54内部，配置有栅极电极55，由因杂质的导入而被导电化的多晶硅构成。
沿沟槽54的内壁，设有栅极氧化膜56。也就是说栅极电极55与N-外延层52以及扩散区域65，隔着栅极氧化膜56对置。沟槽54的内侧壁为基本平坦的面，沟槽54的底形成为向硅基板51侧突出的弯曲面。描述沟槽54的这种形状，栅极氧化膜56和扩散区域65以及N-外延层52的界面，具有平坦面56f和弯曲面56c。平坦面56f，是在扩散区域65中具有特定的晶向的面，当电流沿该面流过时沿着的是电阻值降低的面。
在扩散区域65的表层部、沟槽54的周围(边缘部)，形成有N+源极区域57。扩散区域65的剩余部分构成导电型为P型的沟道区域53。
由氧化硅构成的绝缘膜59，覆盖沟槽54的上方形成。绝缘膜59，在平面上看也存在于沟槽54的边缘部(N+源极区域57上)。在邻接的两个绝缘膜59之间，形成接触孔60。在扩散区域65和绝缘膜59上，设有由铝等金属构成的电极膜61。电极膜61，填埋接触孔60内形成。
当以上的半导体装置动作时(导通状态时)，在N+源极区域57与N-外延层52之间，会流有电流(漏极电流)。漏极电流，沿着栅极氧化膜56，在沟道区域53中的栅极氧化膜56附近流动。
这种半导体装置，公开于例如特开平8-167711号公报中。
然而，具有以上这种结构的半导体装置，不适用作高频开关(例如，DC-DC转换器)。这种用途中使用的半导体装置，要求导通电阻低以及开关损耗低，而具有上述结构的半导体装置，无法同时做到导通电阻降低和开关损耗降低。其理由如下。
由于漏极电流沿着栅极氧化膜56，在栅极氧化膜56附近流动，因此如果沟道区域53与弯曲面56c相接，漏极电流就会沿弯曲面56c在弯曲面56c附近流动。这样，由于漏极电流的流经路径，包含有偏离了具有电阻值降低的晶向的面的路径，因此导通电阻变高。因而，为了降低导通电阻，必须如图5所示，沟道区域53对于栅极氧化膜56、仅与平坦面56f接触。也就是说，弯曲面56c的整个面与N-外延层52相接。
可是这样一来，栅极电极55与N-外延层52的对置部分的面积会变大，N-外延层52和栅极电极55间的电容量，也就是漏极-栅极间的电容CDG就会变大，开关损耗也变大。
例如，具有上述构造的半导体装置，虽然能够用来在300kHz的频率下动作，但是很难在1MHz的频率下进行满意的动作。
通过将沟槽54的底形成为平坦面，并相对N-外延层52较浅地形成沟槽54，就能够使栅极电极55和N-外延层52的对置部分的面积变小，减小漏极-栅极间的电容CDC。但是，要将沟槽54形成为这种形状十分困难，即便可以形成，沟槽54的底和内侧壁之间也会形成角部，在该角部中电场会集中，无法获得良好的特性。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种既可以降低导通电阻、又可以降低开关损耗的半导体装置。
本发明的另一目的在于，提供一种既可以降低导通电阻、又可以降低开关损耗的半导体装置的制造方法。
本发明的半导体装置包括：沟道区域，为第1导电型，形成在半导体基板的表层部上；源极区域，为不同于所述第1导电型的第2导电型，在贯通该沟道区域的具有深度的沟槽的边缘部上形成；漏极区域，为所述第2导电型，形成在与所述沟槽的底部相邻的区域中；栅极绝缘膜，沿着所述沟槽的内侧壁形成；栅极电极，配置为在所述沟槽内、隔着所述栅极绝缘膜与所述沟道区域对置；导电层，在所述沟槽内，形成为比所述栅极电极更靠所述漏极区域一侧；以及，绝缘层，覆盖所述导电层周围，使所述导电层、所述栅极电极以及所述漏极区域之间电绝缘。
通过本发明，通过令栅极电极被设置到一定大小以上的电位，就能够使电流(漏极电流)经过沟道区域在源极区域和漏极区域之间流动。也就是说，该半导体装置具有MOS FET(Metal-Oxide-Semiconductor FieldEffect Transistor：金属氧化物半导体场效应晶体管)的功能。
在栅极电极和漏极区域之间，顺序排列有：绝缘膜、导电层(含导电化了的半导体层。以下相同。)、以及绝缘膜。因此，从栅极电极到漏极区域的部分，相当于多个电容被串联连接。例如，在1个导电层的情况下，可以视为栅极电极和漏极区域之间串联连接了两个电容器。由于串联连接的多个电容器的合成电容，比各电容器的电容小，所以降低了栅极电极和漏极区域之间的电容。
此外，导电层也可以是多个，绝缘层可以形成于这多个导电层之间。这种情况下，从栅极电极到漏极区域的部分，相当于三个以上的电容器串联连接，栅极电极和漏极区域之间的容量进一步变低。
沟槽的内侧壁可以做成大致的平坦面，该平坦面是沟道区域中的具有特定的晶向的面，电流沿该面流动时，沿的是电阻值变低的面。形成沟槽的底为弯曲面的情况下，可令该弯曲面的整个区域与漏极区域对置，沟道区域仅与沟槽的平坦的面对置。
由此，由于漏极电流可以仅沿着具有电阻值变低的晶向的面流动，因此导通电阻就能降低。此外，即使是在沿着该弯曲面、栅极电极与漏极区域大面积对置的情况下，由于它们之间的电容较小，所以就可以减小该半导体装置的开关损耗。
在半导体基板的表面上也可以形成外延层，这种情况下，沟道区域、源极区域以及漏极区域也可以形成在外延层上。
在该半导体装置的半导体部分是由硅构成的情况下，绝缘层中存在于导电层和漏极区域之间的部分和栅极绝缘膜，例如可由使该沟槽的内壁氧化所得到的氧化硅构成。
导电层，也可以由因杂质的导入而被导电化的多晶硅构成。
因杂质的导入而被导电化的多晶硅的形成，一般是在半导体装置的制造工序中进行。因此，在形成这种由多晶硅构成的导电层时，无需使用特别装置。被导电化的多晶硅，可以例如在利用CVD(Chemical VaporDeposition：化学气相沉积)法形成多晶硅膜之后，对该多晶硅膜离子注入杂质来获得。
这种情况下，绝缘膜中存在于导电层和栅极电极之间的部分，也可以由氧化导电层一部分得到的氧化硅构成。
本发明的半导体装置的制造方法，制造一种半导体装置。该半导体装置包括：沟道区域，为第1导电型，形成在半导体基板的表层部上；源极区域，为不同于所述第1导电型的第2导电型，在贯通该沟道区域的具有深度的沟槽的边缘部上形成；漏极区域，为所述第2导电型，形成在与所述沟槽的底部相邻的区域中；栅极绝缘膜，沿着所述沟槽的内侧壁形成；栅极电极，配置为在所述沟槽内、隔着所述栅极绝缘膜与所述沟道区域对置；导电层，在所述沟槽内，形成为比所述栅极电极更靠所述漏极区域一侧；以及，绝缘层，覆盖所述导电层周围，使所述导电层、所述栅极电极以及所述漏极区域之间电绝缘。
该方法具有以下工序：在半导体基板的表层部上形成所述第2导电型的外延层的工序；在该外延层上形成所述沟槽的工序；在所述沟槽的底部形成第1绝缘层的工序；在形成该第1绝缘层的工序之后，在所述沟槽内、所述第1绝缘层上形成所述导电层的工序；在形成该导电层的工序之后，在该导电层的露出表面上、形成与所述第1绝缘层一起构成所述绝缘层的所述第2绝缘层的工序；沿着所述沟槽的内侧壁，形成所述栅极绝缘膜的工序；在所述沟槽内，形成与所述导电层被所述绝缘层电绝缘的所述栅极电极的工序；在所述外延层上，形成要隔着所述栅极绝缘膜与所述栅极电极对置的所述第1导电型的所述沟道区域的工序；以及，在所述外延层中、对应所述沟槽边缘部的区域上，形成所述第2导电型的所述源极区域的工序。
漏极区域，例如可为在形成沟道区域和源极区域之后的外延层的剩余部。
形成沟道区域的工序和形成源极区域的工序，既可以在形成沟槽的工序之前实施，也可以在形成沟槽的工序之后实施。
形成上述第1绝缘层的工序，也可以包含：热氧化上述沟槽内壁，形成牺牲氧化膜的工序；和除去该牺牲氧化膜，残留存在于上述沟槽底部的部分的工序。在这种情况下，形成上述第2绝缘层的工序也可以包含使上述导电层的露出面氧化的工序。
通过这种结构，通过牺牲氧化膜的形成和除去，能够使牺牲氧化膜被除去后沟槽内壁平坦。由此可以使漏极电流沿着具有电阻值变低的晶向的特定的面、在沟道区域中流动，能够使导通电阻降低。
牺牲氧化膜的除去，也可以是仅对形成栅极绝缘膜的部分、即仅对栅极电极和沟道区域的对置部进行，可以残留其以外部分的牺牲氧化膜，作为绝缘层的一部分。由此可以形成绝缘层，且不会大幅度增加工序。绝缘层的其他部分，也可以通过氧化导电层的露出表面来形成。在通过热氧化形成栅极绝缘膜时，可以同时使导电层的露出表面氧化。
形成上述栅极电极的工序，也可以包含形成因杂质的导入而被导电化的多晶硅膜的工序。
本发明的上述的或者再其他的目的、特征和效果，可以参照附图，通过下面所述的实施方式的说明来理解。
附图说明
图1是图解表示本发明一个实施方式的半导体装置结构的剖面图。
图2(a)、图2(b)、图2(c)、图2(d)、图2(e)、图2(f)以及图2(g)，是用于图解说明图1所示的半导体装置的制造方法的剖面图。
图3是图解表示本发明的另一实施方式的半导体装置的结构的剖面图。
图4是图解表示本发明的再另一个实施方式的半导体装置结构的剖面图。
图5是图解表示形成有具有现有沟槽结构的MOS FET的半导体装置的结构的剖面图。
具体实施方式
图1是图解表示本发明一个实施方式中的半导体装置20的结构的剖面图。半导体装置20，是高频开关用的MOS FET。
在硅基板1的表面上，形成有N-外延层2，在N-外延层2上形成有扩散区域30。贯通扩散区域30、达到N-外延层2在厚度方向上的中途的多个沟槽17，被每隔一定间隔形成。各沟槽17，在垂直于图1的纸面的方向上相互基本平行地延伸。沟槽17的内侧壁，形成为基本平坦的面，沟槽17的底形成向硅基板1一侧突出的弯曲面。
在沟槽17的内部，配置了由因杂质的导入而被导电化了的多晶硅构成的栅极电极26和导电层40。导电层40在沟槽17的深部(N-外延层2一侧)，配置在与N-外延层2和扩散区域30对置的区域。栅极电极26，与导电层40隔离，配置在沟槽17内比导电层40浅的部分中。此外，栅极电极26，插入到沟槽17的深部中、扩散区域30和导电层40之间。
在沿着沟槽17内侧壁的区域上，形成有栅极氧化膜13。栅极电极26和扩散区域30，隔着栅极氧化膜13对置。导电层40的周围，被氧化层15覆盖。因此，氧化层15存在于导电层40和栅极电极26之间，以及导电层40和N-外延层2之间。因而导电层40和栅极电极26以及N-外延层2之间是电绝缘的。栅极电极26与N-外延层2之间，被用栅极氧化膜13和氧化层15被电绝缘。栅极氧化膜13与氧化层15，形成为一体化氧化膜18。
栅极氧化膜13和扩散区域30的界面，体现沟槽17的形状，形成基本平坦的平坦面13f。平坦面13f，是沟道区域4中的具有特定的晶向的面，在电流沿该面流过时，基本沿的是电阻值变低的面。所谓特定的晶向，是例如(1，0，0)。此外，氧化层15与N-外延层2的界面，体现沟槽17的形状，具有向硅基板1一侧突出的弯曲面15c。扩散区域30，对氧化膜18只与平坦面13f相接，不与弯曲面15c相接。
在扩散区域30的表层部上，形成有N+源极区域25，扩散区域30的剩余部分形成P型的沟道区域4。N+源极区域25形成在沟槽17的周边(边缘部)。
栅极电极26上，形成有由氧化硅构成的绝缘膜28。绝缘膜28，在平面上看是延伸到沟槽17的边缘部(N+源极区域25上)。邻接的2个绝缘膜28之间形，成有接触孔31。在扩散区域30和绝缘膜28上，设有由铝等金属构成的电极膜27。电极膜27，填埋接触孔31内形成，与接触孔31内露出的扩散区域30相接。
在以上的半导体装置20中，通过向N+源极区域25和N-外延层2之间施加适当的电压，使栅极电极26为规定大小以上的电位，就可使漏极电流在N+源极区域25和N-外延层2之间流动。换言之，N-外延层2，具有漏极区域的功能。
漏极电流沿着栅极氧化膜13在沟道区域4中流动。这时，漏极电流沿着栅极氧化膜13的平坦面13f流动，不会沿着弯曲面15c流动。因此，由于漏极电流能够沿着具有电阻值低的特定晶向的面，在沟道区域4中流动，因此导通电阻较低。这种半导体装置20的导通电阻，例如可以做到5mΩ到7mΩ或者更低。
此外，在栅极电极26与N-外延层2之间，依次排列有：氧化层15、导电层40、以及氧化层15。因此，从栅极电极26到N-外延层2的部分，相当于是两个电容器串联连接。串联连接的两个电容的合成电容量，比各电容的电容量小。所以，即使栅极电极26与N-外延层2通过弯曲面15c以较大面积对置，栅极电极26与N-外延层2之间的电容量、即漏极-栅极之间的电容CDG也会降低。因此，这种半导体装置20的开关损耗小。
在使用这种半导体装置20(MOS FET)，以1MHz驱动CPU(CentralProcessing Unit：中央处理器)的情况下，例如，能够令以1.3V驱动CPU时的功率变换效率(输入功率相对的输出功率的比率)达到85％左右，以3.3V或5V驱动CPU时使功率变换效率达到90％左右。
图2(a)到图2(g)，是用于图解说明图1所示的半导体装置20的制造方法的剖面图。
首先，在硅基板1的表面上，形成N-外延层2。接着，通过反应性离子蚀刻(RIE)，形成具有规定深度的沟槽17。沟槽17的底，是向硅基板1一侧突出的弯曲面。该状态如图2(a)所示。
然后，经过以上工序的半导体基板1的露出表面、即沟槽17的内壁以及N-外延层2的表面被热氧化，形成牺牲氧化膜11。牺牲氧化膜11的厚度，为例如1500至3000左右(例如2000左右)。该状态如图2(b)所示。
之后，利用CVD(Chemical Vapor Deposition：化学气相沉积)法，在经过以上工序的硅基板1上，形成多晶硅膜12以填埋沟槽17内(参照图2(c))。接着，在多晶硅膜12中导入杂质，使多晶硅膜12导电化。再内蚀(etch back)多晶硅膜12，残留存在于沟槽17底部(硅基板1一侧的部分)的部分(参照图2(d))。
接下来，内蚀牺牲氧化膜11。这时，多晶硅膜12的侧壁的一部分露出，残留N-外延层2和多晶硅膜12之间的牺牲氧化膜11(沟槽17底部一侧的部分)。
被除去牺牲氧化膜11的那部分沟槽17的宽度略微变宽。此外，被除去牺牲氧化膜11后的沟槽17的内侧壁，基本成为平坦的面。该状态表示在图2(e)中。
接着，经过以上工序的硅基板1的露出表面被热氧化。由此，在沟槽17的内侧壁形成栅极氧化膜13，在多晶硅膜12的露出表面上形成氧化膜14。栅极氧化膜13的厚度，为例如200到600。多晶硅膜12的剩余部，构成导电层40。牺牲氧化膜11的剩余部和氧化膜14，构成覆盖导电层40周围的氧化层15，氧化层15与栅极氧化膜13，成为一体化的氧化膜18。
栅极氧化膜13和扩散区域30的界面，体现沟槽17的形状，形成基本平坦的平坦面13f。氧化层15和N-外延层2的界面，体现沟槽17的形状，为具有弯曲面15c。该状态表示在图2(f)中。
其后，利用CVD法，形成多晶硅膜来填埋沟槽17的内部，该多晶硅膜中被导入杂质而导电化。然后，该多晶硅膜中沟槽17之外的部分被除去。多晶硅膜的剩余部分，构成栅极电极26。
接着，利用具有规定图形开口的掩模，将离子注入N-外延层2，形成P型沟道区域4。再利用具有另一图形开口的掩模，将离子注入沟道区域4，形成N+源极区域25。沟道区域4和N+源极区域25，构成扩散区域30。
在扩散区域30形成时，控制离子注入的深度，扩散区域30对氧化膜18，仅在平坦面13f相接，不与弯曲面15c相接。此外，隔着栅极氧化膜13，扩散区域30在整个区域上与栅极电极26对置。
然后，在经过以上工序的硅基板1的整个面上，利用CVD法，形成由氧化硅构成的绝缘膜28(参照图2(g))。然后，使用具有规定图形开口的掩模，在绝缘膜28上形成接触孔31。
再在经过了以上工序的硅基板1的整个面上，形成由铝等构成的电极膜27，从而得到图1所示的半导体装置20。
在以上的半导体装置20的制造方法中，牺牲氧化膜11形成之后，不是将该牺牲氧化膜11全部除去，而是残留存在于多晶硅膜12和N-外延层2之间的部分。这样，能够形成氧化层15而又不会大幅度增加工序。
再通过将牺牲氧化膜11形成得较厚，能够增加存在于导体层40和N-外延层2之间的氧化层15的厚度。由此还可以使得栅电极26和N-外延层2之间的电容降低，减少开关损耗。
图3是图解表示本发明的另一实施方式的半导体装置21的结构的剖面图。对与图1所示的半导体装置20的各部相对应的部分，标以相同的参照符号，并省略说明。
该半导体装置21，设置有栅极电极36和导电层37，分别与图1所示的半导体装置20的栅极电极26以及导电层40对应。在半导体装置20中，栅极电极26的一部分插入N-外延层2和导电层40之间，而在本半导体装置21中，栅极电极36不插入N-外延层2和导电层37之间。栅极电极36和导电层37之间，被基本平坦的氧化层15划分。
这种半导体装置21，可以通过在半导体装置20的制造方法中的除去牺牲氧化膜11的工序(参照图2(e))，不除去N-外延层2和多晶硅膜12之间的牺牲氧化膜11来完成。换言之，可在多晶硅膜12的内蚀面(与硅基板1一侧相反的面)与牺牲氧化膜11的内蚀面基本为一个面的时候，结束牺牲氧化膜11的内蚀。
图4是图解表示本发明的再另一个实施方式的半导体装置22的构造的剖面图。对与图1所示的半导体装置20的各部相对应的部分，标以相同的参照符号，并省略说明。
图1所示的半导体装置20中，导电层40仅形成了一个，而在本半导体装置22中，形成有两个导电层40a、40b。导电层40a、40b，沿沟槽17的深度方向排列，在导电层40a和导电层40b之间还存在有氧化层15。
因此，在栅极电极26和N-外延层2之间，氧化层15、导电层40a、氧化层15、导电层40b以及氧化层15依次排列。由此，从栅极电极26到N-外延层2的部分，相当于三个电容串联连接。使栅极电极26与N-外延层2之间电容量进一步降低。因此，与半导体装置20、21相比，半导体装置22实现了开关损耗的进一步降低。
也可以设置3个以上的导电层，来代替导电层40、40a、40b。
这种半导体装置22可以如下获得。直到用热氧化形成栅极氧化膜13(参照图2(f))为止，使用与半导体装置20同样的制造方法来实施。接着，在沟槽17内形成与多晶硅膜12同样的多晶硅膜，在该多晶硅膜中导入杂质而被导电化之后，内蚀该多晶硅膜。多晶硅膜的剩余部构成导电层40b。
接着，在导电层40b的露出面被热氧化之后，形成与多晶硅膜12同样的多晶硅膜，在该多晶硅膜中导入杂质而被导电化之后，再内蚀该多晶硅膜中沟槽17的外部的部分。多晶硅膜的剩余部，构成栅极电极26。
栅极电极26和导电层40、40a、40b，也可由钨(W)等金属构成。
虽然在以上的实施方式中，沟道区域4和N+源极区域25，在形成沟槽17之前形成，但也可以在形成沟槽17之后形成。
虽然以上实施方式的半导体装置，都是N沟道晶体管的例子，但半导体装置也可以是P沟道晶体管。
虽然对于本发明的实施方式进行了详细的说明，但这些只不过是用来理解本发明的技术内容的具体例子，本发明并不限于这些具体例子来解释，本发明的精神以及范围仅限定在附加的权利要求书中。
本申请，与2003年1月28日向日本国特许厅提出的特愿2003-19066相对应，本申请的全部公开内容，是通过引用其中内容来组合。

Claims (7)

1.一种半导体装置，其特征在于，包括：
沟道区域，为第1导电型，形成在半导体基板的表层部上；
源极区域，为不同于所述第1导电型的第2导电型，在贯通该沟道区域的具有深度的沟槽的边缘部上形成；
漏极区域，为所述第2导电型，形成在与所述沟槽的底部相邻的区域中；
栅极绝缘膜，沿着所述沟槽的内侧壁形成；
栅极电极，配置为在所述沟槽内、隔着所述栅极绝缘膜与所述沟道区域对置；
导电层，在所述沟槽内，形成为比所述栅极电极更靠所述漏极区域一侧；以及，
绝缘层，覆盖所述导电层周围，使所述导电层、所述栅极电极以及所述漏极区域之间电绝缘。
2.根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，
所述导电层，由因杂质的导入而被导电化的多晶硅构成。
3.根据权利要求1或2所述的半导体装置，其特征在于，
含有多个所述导电层，在这多个导电层之间配置有所述绝缘层。
4.根据权利要求1～3的任一项所述的半导体装置，其特征在于，
所述沟槽的内侧壁具有基本平坦的平坦面，该平坦面是所述沟道区域中的具有特定的晶向的面，电流沿该面流动时沿的是电阻值变低的面。
5.一种半导体装置的制造方法，用于制造半导体装置，所述半导体装置包括：沟道区域，为第1导电型，形成在半导体基板的表层部上；源极区域，为不同于所述第1导电型的第2导电型，在贯通该沟道区域的具有深度的沟槽的边缘部上形成；漏极区域，为所述第2导电型，形成在与所述沟槽的底部相邻的区域中；栅极绝缘膜，沿着所述沟槽的内侧壁形成；栅极电极，配置为在所述沟槽内、隔着所述栅极绝缘膜与所述沟道区域对置；导电层，在所述沟槽内，形成为比所述栅极电极更靠所述漏极区域一侧；以及，绝缘层，覆盖所述导电层周围，使所述导电层、所述栅极电极以及所述漏极区域之间电绝缘，其特征在于，包括：
在半导体基板的表层部上形成所述第2导电型的外延层的工序；
在该外延层上形成所述沟槽的工序；
在所述沟槽的底部形成第1绝缘层的工序；
在形成该第1绝缘层的工序之后，在所述沟槽内、所述第1绝缘层上形成所述导电层的工序；
在形成该导电层的工序之后，在该导电层的露出表面上、形成与所述第1绝缘层一起构成所述绝缘层的所述第2绝缘层的工序；
沿着所述沟槽的内侧壁，形成所述栅极绝缘膜的工序；
在所述沟槽内，形成与所述导电层被所述绝缘层电绝缘的所述栅极电极的工序；
在所述外延层上，形成要隔着所述栅极绝缘膜与所述栅极电极对置的所述第1导电型的所述沟道区域的工序；以及，
在所述外延层中、对应所述沟槽边缘部的区域上，形成所述第2导电型的所述源极区域的工序。
6.根据权利要求5所述的半导体装置的制造方法，其特征在于，
形成所述第1绝缘层的工序，包含：热氧化所述沟槽内壁，形成牺牲氧化膜的工序；和，除去该牺牲氧化膜，残留存在于所述沟槽底部的部分的工序，
形成所述第2绝缘层的工序，包含使所述导电层的露出面氧化的工序。
7.根据权利要求5或6所述的半导体装置的制造方法，其特征在于，
形成所述栅极电极的工序，包含：形成因杂质的导入而被导电化的多晶硅膜的工序。
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