CN1429664A - 液体材料的涂布方法及其树脂层形成法 - Google Patents

Abstract

一种在平板上形成树脂层的方法，包括：(1)在平板(102)的第1主面(112)上涂布作为液体材料的光硬化性树脂组成物(110)；(2)然后通过将光硬化性树脂组成物曝光而硬化、形成树脂层，光硬化性树脂组成物的涂布是通过将平板的侧面与导向构件(103、104)大致接触、并使导向构件的上面(114、120)位于相对平板的第1主面大致同一的水平面，在将平板配置于载物台上的状态下进行旋转涂布，而在平板的第1主面涂布光硬化性树脂组成物，形成向导向构件的上面和平板的第1主面延伸的涂膜，将该涂膜曝光。由此，通过旋转涂布可使形成的涂膜厚度均匀化，使最终形成的树脂层的厚度均匀化。

Description

液体材料的涂布方法及其树脂层形成法

技术领域

本申请主张根椐日本国特许申请第2001-399934号(2001年12月28日提出申请、发明名称：涂布方法及其树脂层形成法)的巴黎条约中的优先权、通过其引用而将记载于所述申请中的内容构成本发明书的一部分。

本发明涉及采用旋转涂布的涂布方法及其用于该方法的涂布装置，采用这种涂布方法制造的物品(如光盘、液晶、磁盘等)以使用这种涂布方法的物品制造方法及制造装置。

背景技术

传统的液体材料的涂布方法如图8所示，包括用笔802将液体材料804涂布于被涂物的基板806上的方法(参照图8(a))、将液体材料804从喷嘴808向基板806上滴下的方法(参照图8(b))、将雾状的液体材料804从喷嘴810吹附到基板806的喷射方法(参照图8(c))、将沾于滚子812上的液体材料804向基板806复制的滚涂法(参照图8(d))等。

并且，为了清除涂布于被涂物上多余的液体材料、使涂布所形成的涂膜厚度均匀化，或者为了将供给于被涂物的液体材料在其上面均匀地散开，有一种方法是将被涂物放在旋转工作台上、工作台在放有被涂物的状态下旋转而使离心力作用于液体材料的旋转涂布法。一般来讲，为了实现涂膜厚度均匀化，只有在涂膜厚度十分小的场合才使用该旋转涂布法，涂膜厚度大时，旋转涂布后的涂膜厚度在涂布面内的误差变大，涂膜厚度为10μm以上时，平均厚度会出现20％以上的涂膜厚度的误差。

图9为模式表示采用传统的旋转涂布法、将被涂物即平板901载置于旋转工作台的载置台902上进行涂布液体材料903的涂布后状态的剖视图。在传统的旋转涂布法中，平板901的外周部910(由两方向箭头所示的平板区域)形成有厚度的隆起部904(参照图9(a))。另外，在向中央部具有孔908的平板901涂布液体材料时，平板901的孔908的周边部、即平板的内周部920(由两方向箭头所示的平板区域)的厚度变薄(参照图9(b))。

作为使用这种旋转涂布法制造的制品，近年来，出现了用作大容量记录媒体的光盘。目前正在开展光盘的更高容量化、高密度记录化方面的研究，作为具体的方法，正在研究加大记录·再生机的物镜的开口数(NA)的方法以及缩短所使用的激光波长的方法。在光盘中，成为光透过层的记录·再生侧基材〔激光入射侧的基板〕厚度较薄，可减小接受激光点的收差的影响，增大盘片倾斜度(倾斜)容许值。由此，提出有将记录·再生侧基材的厚度作成约为0.1mm、NA约为0.85、激光波长约为400nm的方案。此时，从对于记录·再生光的焦点和球面收差的影响角度考虑，最好是将记录·再生侧基材的厚度控制在5％以内。

作为可控制成这种较小厚度的误差的方法，一般考虑采用将均匀厚度(数十μm)的片状基板用光硬化性树脂进行贴合的方法。但是，使用这种片状基板时，因成本非常高，故最好是使用旋转涂布法，单由光硬化性树脂形成记录·再生侧基材。

采用传统的旋转涂布法，要想将液体材料涂布成厚度数十微米以上且均匀的涂膜是非常困难的。使用传统的旋转涂布法时，因离心力会使按压液体材料的力始终作用于被涂物的外周部，故由涂布形成的涂膜厚度在被涂物的内周侧薄、在外周侧厚。另外，因液体材料的表面张力而使外周部极端变厚。由此，本发明的课题是提供在被涂物上利用旋转涂布法形成涂膜时、可使其厚度更加均匀化的方法。

本发明内容

为了解决上述课题，本发明第1涂布方法(或涂膜形成方法)是液体材料的涂布方法，其向由相对的第1主面和第2主面规定的平板的第1主面供给液体材料，利用旋转涂布(旋转涂布法)将液体材料涂布于第1主面形成涂膜。该第1涂布方法的特征在于，使外侧导向构件与平板的外周侧面大致接触，在使外侧导向构件的上面和平板的第1主面位于大致同一水平面的状态下实施旋转涂布。这种方法是，使外侧导向构件与平板的外周侧面(即、将平板的第1主面与第2主面连接的、沿平板厚度方向延伸的面)大致接触，使平板的第1主面和外侧导向构件的上面在几何学上实质性地位于同一平面内。另外，所谓水平面是指在将某一基准点的高度定为零时，从该点开始至特定的面(此时是平板的第1主面或导向构件的上面)的距离。进而意味着是特定面的高度。

在本发明书中，所谓某一面与其它面处于「大致同一水平面」是指这些面的水平面相同或相近的状态(即、大致同一水平面状态)的位置。具体地讲，后述的导向构件通过将与平板的外周及/或内周侧面「大致接触」的特征和「大致同一的水平面」的特征组合，与不使用导向构件而使用旋转涂布的传统技术的涂布方法相比较，只要能使由本发明的涂布方法形成的涂膜厚度的均匀性提高，即使存在着实际的水平面差，这种水平面差也可满足本发明书中所说的「大致同一的水平面」。另外，有关「大致同一的水平面」的特征在后面予以更具体地说明。

采用本发明的涂布方法，可在外侧导向构件的上面形成涂膜厚度的隆起部，结果是在平板的外周部，厚度均匀的涂膜也可形成在平板上。

在本发明书中，平板是一种由相对的平坦的第1和第2主面规定的片状(相对主面的大小、厚度方向的大小相当小)的构件，主面的形状可以是圆形(中央部有孔时是圆环状)、矩形、正方形、多边形(包含正多边形)或其它形状。主面最好是点及/或线对称的形状。较佳的平板是称之为盘片的圆形基板、称之为卡片的矩形(包含正方形)形状的基板。

旋转涂布时实施的平板的旋转，是通过使平板围绕垂直经过平板的第1主面内的任一点、最好是1主面中心点的轴周围旋转来实施。在此，中心点既可是第1主面的几何学上的重心，也可以是在第1主面是点对称形状时、将对称的中心作为中心点。例如，当平板是圆形的盘片形状时，第1主面即圆的中心就是中心点，当平板是矩形(包含正方形)的片状时，第1主面即矩形的对角线的交点就是中心点。

在一种形态中，平板的中央具有沿平板厚度方向贯通的孔。该孔的形状与主面一样，可以是圆形、矩形、其它形状等。最好是，其中心点与平板的中心点是同一点。另外，孔的中心点的含义是与前面的平板中心点相同。这样，在有孔的平板上涂布液体材料的形态下，内侧导向构件与平板的内周侧面(对孔进行限定)大致接触，在使内侧导向构件的上面与平板的第1主面位于大致同一水平面的状态下实施旋转涂布。

为了解决上述课题，本发明第2涂布方法的特征在于，设置有内侧导向构件，该内侧导向构件在向有孔的平板的第1主面旋转涂布液体材料时，被配置于涂布的平板的孔内，与限定孔的平板的内周侧面大致接触，并且，具有相对第1主面大致为同一水平面的上面，然后，供给液体材料使平板旋转。采用本发明的涂布方法，在平板的内周部也可形成厚度均匀的涂膜。另外，在第2涂布方法中，也可进一步设置与第1涂布方法一样的与平板外周侧面大致接触的外侧导向构件。

另外，在上述的涂布方法中，液体材料的供给可以是平板的第1主面或存在时的内侧导向构件的上面。例如，可从喷嘴供给液体材料。在向平板的第1主面上供给时，为了加大有效的涂膜区域，最好是尽可能地向内侧供给。

在此，在本发明的第1和第2涂布方法中，外侧导向构件和内侧导向构件分别与平板的外周侧面和内周侧面大致接触。这意味着外侧导向构件围绕平板外周侧面的全周而存在、而平板的内周侧面围绕内侧导向构件的全周而存在。例如，外侧导向构件的上面可以是具有某一宽度的环状，而内侧导向构件的上面可以是具有某一宽度的圆环或圆形。例如，外侧导向构件可以是具有与平板的外周侧面(第1主面外周部的形状)对应的开口的构件、如在平板是圆板时可以是圆环状构件。例如，内侧导向构件可以是具有与平板的内周侧面(规定孔的第1主面内周部的形状)对应的外形的构件、如在平板有圆形孔时可以是圆环状或圆板状构件。

在本发明书中，术语「导向构件」是一种具有供液体材料流动的上面的构件，是指从其上面向平板的第1主面(内侧导向构件时)、并从平板的第1主面向其上面(外侧导向构件时)、液体横穿这些面的边界部进行顺利流动的构件。按该含义，导向构件可以说是为了形成这种顺利流动而对液体材料进行引导即进行导向。导向构件的上面只要是实质性确保与平板大致接触且位于与平板的第1主面大致同一的水平面而进行顺利的流动，则无特别的限定。例如，导向构件的上面可以具有与平板大致接触的平面部分，而上面整体最好是平面。

旋转涂布时，在可能的情况下，导向构件最好是以与平板相同的旋转中心和旋转方向、并以相同的角速度进行旋转。例如，在平板是圆形盘片形状、平板绕其中心旋转的场合，可按此方式使与圆形盘片外周侧面大致接触的圆环状的外侧导向构件旋转。另外，在平板具有与其中心同心状的圆形孔的场合，可按此方式使与平板的内周侧面大致接触的圆形或圆环状的内侧导向构件旋转。这样，通过使导向构件旋转，因实质上不存在导向构件的上面与平板的第1主面间的相对移动，故可提高本发明的第1和第2涂布方法的效果。另外，在另一形态中，在上述的导向构件旋转时，角速度也可与平板不相同，在又一个形态中，旋转方向也可与平板相反。

在上述本发明的第1和第2涂布方法中，都是将导向构件与平板(或平板的侧面)大致接触。在本说明书中，所谓「大致接触」是指平板的侧面和与其相对的导向构件的面处于接触状态，或者如后所述、只要能体现发明的效果，也可在这些面之间存在微小的间隙(即这些面隔有间隙而对置)。通过这种的大致接触，将导向构件的上面与平板的第1主面的边缘部分接触、或者如上所述隔着微小的间隙而存在。

前者的形态(即接触的形态)可适用于导向构件与平板相同的旋转中心及其相同的旋转方向、以相同的角速度旋转的场合(即从旋转的平板看到时、看上去导向构件静止时)。后者的形态(即隔着间隙的形态)可适用于从旋转的平板看到时、看上去导向构件正在绕其旋转(或沿其周围正在移动)的场合。另外，从平板看到时，看上去导向构件静止的场合也可适用于后者的形态。

这样，在大致接触的状态下，对于平板的侧面与导向构件间的接触、或者对于隔着这些间隙的状态的对置，与平板的侧面接触或相对的导向构件的部分实质上是线状、即平板的侧面与导向构件最好是线状大致接触。其在接触的场合是指导向构件的线状部分与平板的侧面接触，在隔着间隙的状态下对置时，是指导向构件的线状部分隔着间隙而与平板的侧面相对。在平板的侧面与导向构件线状大致接触的形态下，旋转涂布后，在将形成了涂膜的平板除去之后，当下一个新的平板与导向构件大致接触时，可防止残留于导向构件上的液体材料沾附于新涂布的平板的侧面，或者可大幅度减少沾附量。

在上述的本发明中，旋转涂布时，将平板配置于可旋转的载物台上，在接触状态下由载物台支承平板的第2主面。此时，平板的第2主面的外周部最好是位于载物台外周部的外侧。在此场合，即使将平板配置于载物台上，平板的第2主面的外周部也不与载物台接触。采用该方法，在将涂布后的平板取走后，可防止残留于外侧导向构件上的液体材料从外侧导向构件流下而沾附于载物台外周部的现象。

另外，在平板的中心部具有孔时，最好是平板的内周部位于载物台内周部的内侧，构成载物台。这样，在本发明的涂布方法中，在将平板配置于载物台上时，平板的第2主面的内周部也不与载物台接触。采用该方法，在将涂布后的平板除去后，可防止残留于内侧导向构件上的液体材料从内侧导向构件流下而沾附于载物台的内周部。

在本发明的涂布方法中，在采用上述各种形态中的任一形态向平板涂布液体材料之后，将导向构件远离平板，其后将涂有液体材料的平板移至别的场所(即将平板从载物台取走)。这样，一旦先将导向构件与平板分离，则在涂布后的平板取走之后，可防止残留于平板的导向构件上的液体材料附着在下1次涂布的平板的侧面。另外，不论载物台的构造如何，在涂布后将平板除去时，可防止残留于内侧导向构件上的液体材料向载物台的内周部流下而附着在其上。另外，在涂布后将平板取走时，可防止残留于外侧导向构件上的液体材料流下而附着在载物台的外周部上。这样，在为了使下一个新的平板上形成涂膜而配置载物台时，可防止沾于载物台上的液体材料不必要地附着在平板的第2主面上。

上述的本发明的涂布方法适用于将各种液体材料涂布于平板的场合。液体材料只要是作为流体能流动，根椐需要也可包含各种形态(例如粉末、填充物、粒状物或其它任一形态)的固体材料。这种液体材料，包含光盘用来形成保护层、光透过层等的液体状树脂组成物(例如光硬化性(如紫外线硬化性)树脂组成物)等。另外，在可适用本发明涂布方法的平板中，包含各种形状的片状或板状构件，其中，例如包含光盘用的圆形基板或其它形状(如矩形、多边形等)的基板。基板的中央部可以有孔(如圆形或其它形状的孔。这样，本发明的涂布方法可适用于在平板上形成树脂层的方法。

换言之，本发明提供在平板上形成树脂层的方法，该方法包括：

(1)在具有相对的第1主面和第2主面所组成的平板的第1主面上涂布光硬化性树脂组成物；

(2)然后，通过将光硬化性树脂组成物曝光而硬化、形成树脂层，

光硬化性树脂组成物的涂布是通过采用上述本发明的液体材料的涂布方法来实施：将平板的侧面与导向构件(即外侧导向构件及/或内侧导向构件)大致接触，并导向构件的上面相对平板的第1主面位于大致同一的水平面，在将平板配置于载物台上的状态下、将光硬化性树脂组成物进行旋转涂布，形成向导向构件的上面和平板的第1主面延伸的光硬化性树脂组成物的涂膜。

另外，如后所述，光硬化性树脂组成物的硬化最好是采用以下两种方法中的一种来实施，即：(1)将平板从载物台上取走，将平板曝光而仅使第1主面上的涂膜部分硬化，或者(2)在导向构件与平板的侧面大致接触的状态下，使向导向构件的上面和平板的第1主面延伸的涂膜硬化。

这种本发明的树脂层形成方法是包含：采用上述本发明的涂布方法的任一种而在平板上涂布作为液体材料的光硬化性树脂组成物，获得在光硬化性树脂组成物未硬化的状态下涂布的平板，然后，通过使涂布于平板上的光硬化性树脂组成物硬化(如利用紫外线使其硬化)而形成树脂层。采用本发明的树脂层形成方法，树脂层的膜厚误差非常小，又容易回收·再利用未硬化的树脂组成物，总之，可形成低成本的树脂层。

并且，本发明提供采用上述本发明的涂布方法的涂布装置，该装置具有上述的外侧导向构件及/或内侧导向构件而组成。另外，本发明提供树脂层的形成装置，该装置具有本发明的涂布装置而组成，还具有在形成光硬化性树脂组成物后使其涂膜硬化的构件。采用这种树脂层的形成装置，可形成膜厚误差非常小的涂膜以及厚度均匀的树脂层。

本发明提供利用旋转涂布在平板上涂布液体材料用的涂布装置，该涂布装置包括：

支承平板、可作旋转的载物台；

与配置于载物台的平板的侧面大致线状接触的导向构件、即具有位于与配置于载物台的平板的第1主面大致同一水平面的上面的导向构件；以及

向平板的第1主面上供给液体材料的机构，

导向构件最好是上述外侧导向构件及/或内侧导向构件。另外，在具有内侧导向构件时，供给液体材料的机构将液体材料供给到平板的第1主面上及/或内侧导向构件的上面。

并且，本发明提供在平板上形成光硬化性树脂组成物硬化后的树脂层的树脂层形成装置，该装置包括：

上述的本发明的涂布装置；

将形成有作为液体材料的光硬化性树脂组成物的涂膜的平板从载物台取走的机构；以及

将形成于取走后的平板上的涂膜部分曝光、使光硬化性树脂组成物硬化而形成树脂层的机构。

并且，本发明提供在平板上形成光硬化性树脂组成物硬化后的树脂层的另一个树脂层形成装置，该装置包括：

上述的本发明的涂布装置；

将形成于平板的第1主面和导向构件的上面的涂膜保持原样地曝光、使光硬化性树脂组成物硬化而形成树脂层的机构；

将平板从载物台取走的机构；以及

将从取走后的平板的边缘突出的树脂层部分予以除去的机构。

另外，上述的树脂层形成方法及形成装置可适用于制造光盘的场合。由此，本发明提供光盘制造方法，在该方法中，采用上述本发明的树脂层形成方法，将光盘的光透过层或保护层形成为树脂层。并且，本发明提供光盘的制造装置，该装置具有上述本发明的树脂层的形成装置而组成，使用该装置形成作为光透过层或保护层的树脂层。

附图的简单说明

图1(a)为模式表示采用本发明的方法、向配置于载物台上并具有中心孔的平板涂布液体材料后的状态的剖视图，图1(b)为模式表示内侧导向构件的中央部具有突出部的形态的剖视图，图1(c)为模式表示内侧导向构件的中央部具有空隙形态的剖视图，图1(d)为模式表示采用本发明的涂布方法、在导向构件上面的水平面高于平板的第1主面的水平面时进行涂布后的涂膜状态的剖视图。

图2(a)为模式表示外侧导向构件与平板外周侧面的一部分大致接触形态的剖视图(图2(a))及其俯视图(图2(a))。

图3(a)为表示采用本发明的涂布方法和传统的涂布方法形成的涂膜位置与厚度之关系(图3(a))及涂膜厚度与误差之关系(图3(a))的图表。

图4为在多个平板上连续涂布形成涂膜时的模式剖视图，图4(a)表示涂布后将平板从载物台取走的形态，图4(b)表示将应涂布的平板配置于载物台上的形态(内侧导向构件和外侧导向构件与平板的内周侧面和外周侧面线状接触)，图4(c)表示与平板的内周侧面和外周侧面线状接触的内侧导向构件和外侧导向构件的倾斜面与平板的内周侧面和外周侧面相对的形态。

图5(a)～(e)是在本发明的涂布方法中按顺序表示利用旋转涂布涂布液体材料后、使涂布后的导向构件远离平板、其后将平板从载物台取走再配置新的平板、将导向构件与平板大致接触的形态，图5(f)和(g)模式表示从上方看到图5(a)和(b)时的状态。

图6为模式表示采用本发明的涂布方法、在平板上形成光硬化性树脂组成物的涂膜(图6(a))、在该形成的涂膜内、仅将实质上位于平板上的涂膜曝光并硬化(图6(b))的形态。

图7为模式表示采用本发明的涂布方法、在平板、导向构件及其上面形成涂膜(图7(a))、将该形成的涂膜实质上全部硬化形成树脂层(图7(b))、其后将平板从载物台取走(图7(c))、最后将从平板露出的树脂层除去(图7(d))形态的剖视图。

图8为表示传统涂布方法的图。

图9为表示使用传统的旋转涂布的涂布方法的图。

具体实施方式

现参照附图说明本发明的各种实施形态。下面，具体引用的是例如将用于光盘的圆板(中心有圆孔)作为平板例子，但在本发明中，平板也可无孔，另外，平板的形状也可是例如卡片状的方形板而不是圆板，本发明也适用于采用旋转涂布的任一涂布方法、任一涂布装置、任一树脂层形成法以及任一树脂层形成装置。

(实施形态1)

在本发明的方法中，对于液体材料向应涂布的平板的供给法，无特别限定，例如，采用滴下、喷涂法，向旋转涂布时的平板的第1主面的旋转中心及其附近或平板第1主面的整个面供给。此时，既可在旋转中连续供给，也可在旋转开始前停止供给。平板有孔时，在使内侧导向构件大致接触的场合，将液体材料供给至内侧导向构件的上面即可。

图1(a)表示采用本发明的方法、向配置于载物台上并具有中心孔的平板102涂布液体材料110后的状态的、与图9相同模式的剖视图。在图示的形态中，配置有与平板102的外周侧面116大致接触的外侧导向构件103，平板的第1主面112的水平面与外侧导向构件103的上面114的水平面实质上相同、即大致同一的水平面，以此而构成外侧导向构件103。另外，在平板102的孔内，配置有内侧导向构件104，内侧导向构件104与平板102内周部的侧面118大致接触，平板的第1主面112的水平面与导向构件104的上面120的水平面实质上相同、即大致同一的水平面，以此而构成内侧导向构件104。

图1(a)表示涂布后的状态(液体材料110处于涂膜的形态)，但涂布前的形态只是在不存在有液体材料110这一点上实质上不同，例如，将液体材料向内侧导向构件104的中心附近供给，然后，使配置于圆板105上的平板102旋转。在图示的形态下，外侧导向构件103与平板102的外周侧面整体大致接触，另外，内侧导向构件104配置于孔内，外侧导向构件103与平板的内周侧面整体大致接触。虽然以导向构件与平板实质接触的状态表示，但如前所述，在它们之间也可不存在间隙。另外，如上所述，导向构件103和104的上面的水平面与平板102的第1主面的水平面大致相同。通过这样的大致接触，导向构件103和104的上面以及平板的第1主面实质上存在于单一的平面内。

如上所述，在配置导向构件进行旋转涂布时，由传统的涂布方法产生的外周部的隆起部101不是平板102(如光盘用板材)的外周部上，而是形成于图示的外侧导向构件103的上面，结果是对于平板的第1主面，可避免由隆起部101引起的涂膜厚度的误差。另外，在传统的涂布方法中，在平板具有中心孔时，为了防止涂布时液体材料流入中心孔，有时不能充分地向平板的最内周部供给液体材料而使平板内周部的涂膜厚度变薄。按照本发明的涂布方法，通过将内侧导向构件104配置成与平板102大致接触的状态，从而可将液体材料供给至内侧导向构件104上，结果是，平板的最内周部也能供给足够量的涂布液体材料。并且，因旋转涂布的条件不同，有时在平板的旋转中心附近、进而在内周部会发生涂膜厚度的较薄部分，但在本发明中，由于此时的涂膜厚度薄的部分位于内侧导向构件104的上面，因此可实现平板102上整体均匀的涂膜厚度。

为了获得上述的效果，本发明的要点在于，为仅使由旋转涂布形成的涂膜厚度均匀的部分(除了形成的涂膜的外周部的部分之外、更好的形态是除了外周部和内周部之外的中间的圆环状部分)位于平板102上而设置外侧导向构件103，最好是设置外侧导向构件103和内侧导向构件104。这是因为在旋转涂布时，平板102的第1主面和外侧导向构件103的上面、更好的形态是平板102的第1主面、外侧导向构件103的上面和内侧导向构件104的上面必须相互接触或略微有间隙地存在于1个平面内。并且，液体材料(如光硬化性树脂)必须横穿这些面与面之间(严格地讲是这些面的边缘相互之间)的边界部而实质上顺利地流动。为了实现这一目标，外侧导向构件103及/或内侧导向构件与平板的侧面大致接触，外侧导向构件103的上面114和平板102的第1主面112、并且平板102的第1主面112和内侧导向构件104的上面120处于大致同一水平面。

为了使液体材料实质上顺利流动，外侧导向构件103的上面114和内侧导向构件104的上面120与平板102的第1主面112水平面之差最好是所形成的涂膜的所需厚度的50％以内。25％以内更好。既可以提高导向构件的上面水平面一方，也可以提高平板的第1主面水平面一方。这样，在本发明中，当处于所形成的涂膜所需厚度的50％以内的水平面之差时，这些面的水平面称为实质上大致同一水平面。

另外，内侧导向构件104的上面120或外侧导向构件103的上面114的水平面高于平板102的第1主面112的水平面时，沿着内侧导向构件104或外侧导向构件103的上面120或114和平板102的第1主面112的界面，而在平板102的第1主面上形成涂膜厚度的隆起部106(参照图1(d))。该隆起部106的隆起高度与外侧导向构件103的上面114或内侧导向构件104的上面120与平板102的第1主面112水平面之差大致相等。这样，外侧导向构件103的上面114和内侧导向构件104的上面120与平板102的第1主面112水平面之差最好是处于涂膜厚度的容许误差范围内。另外，若水平面之差大于上述的水平面之差，则会降低本发明的效果。这样，在本发明书中，所谓大致同一水平面是指与不使用导向构件而使用传统技术的旋转涂布的涂布方法相比、只要提高由本发明的涂布方法形成的涂膜厚度均匀性，则也包括水平面之差大于上述的水平面之差的场合。这样，容许误差内的上述水平面之差最好的形态是大致同一水平面。

导向构件与平板侧面的间隙、具体是外侧导向构件103上面的缘部或导向构件104上面的缘部与平板102的第1主面112的缘部间的距离，可以根椐液体材料的粘度来选择可实现本发明效果的间隙大小。为了使液体材料能顺利地横穿上述的边界部进行流动，间隙以小为好，特别是在导向构件与平板一体旋转时，间隙可以是零，由此，也可使其实质性接触。一般来讲，在不损害本发明效果的情况下，液体材料的粘度越高、间隙可以越大。但防碍液体材料流动那样大的间隙则是不适当的。通常，间隙的大小(缘部与缘部间的距离)一般最好作成应形成的涂膜所需厚度的500％以内，更好是在200％以内。另外，例如由于导向构件的转速与平板不同、平板的尺寸(如直径)有误差、与平板的侧面相对、导向构件面上附有液体材料等原因，在最好不使导向构件与平板的侧面接触时，选择的间隙以处于所需涂膜厚度的50～500％范围内为好，最好是100～200％范围内。

通常，对于涂布的平板形状及尺寸，存在着某种程度的个体差，因该个体差而使间隙变化。如上所述，考虑到间隙的大小，若希望按照应形成的涂膜厚度来进行选择的话，则个体差会对采用本发明的方法涂布的涂膜厚度造成影响。

例如，对直径12cm的光盘用的圆形基板进行考虑。实际制造中的直径误差可控制在10～20μm。在此，应涂布的涂膜厚度为20μm时，可得到本发明最良好效果的上述间隙是涂布厚度的100％～200％，即20～40μm，具有20μm的宽度。这样，光盘用基板外周缘的位置即使是因不同的个体而产生最大20μm变化时，也能确保可得到本发明最良好效果的上述间隙。考虑到将其校正为光盘用基板的直径，则容许的个体差是2倍的40μm，大于实际制造时的个体差10～20μm。

对于上述的个体差和涂布厚度，通常可以说：可得到本发明最良好效果的上述间隙是涂布厚度的100％～200％，具有涂布厚度的100％宽度。该宽度与容许涂布的平板外周侧面位置的个体差相对应。考虑到将这种容许的个体差校正为平板的尺寸(如直径)，则应形成的涂膜厚度的200％就成为平板容许的直径的个体差。

另外，上述说明的数值是用来可得到本发明最佳效果的例示，即使在个体差大于上述值(即200％)的平板的场合，也能得到本发明的效果。

如上所述，在具有尺寸的个体差x的平板上形成涂膜时，本发明的方法可适用于涂膜厚度(1/2)x(或0.5x)以上的场合。对于上述那种光盘用基板，若涂膜厚度至少20μm，则可适用本发明的方法。当然，在光盘用基板方面，若制造时的尺寸的个体差更小，则本发明的方法也适用于更薄的涂膜厚度。

在图1的形态中，外侧导向构件103或内侧导向构件104与载物台105实质一体接合，外侧导向构件103与平板外周侧面的整体大致接触，内侧导向构件104与平板内周侧面的整体大致接触。然而，导向构件未必一定要与外周侧面或内周侧面的整体大致接触，如参照图2的后面所述，只要与外周侧面或内周侧面的一部分大致接触即可。另外，如图1所示，平板102与外侧导向构件103及内侧导向构件104接触，使它们一起、进而恰如一体状地进行旋转。

并且，外侧导向构件103及/或内侧导向构件104也可是不同于载物台105的构件，构成它们与载物台分开地独立旋转。在此场合，导向构件也可以不同于平板的角速度围绕与平板同一的中心进行旋转，即使有某种大小的不同，也可得到本发明的效果。但是，外侧导向构件103及/或内侧导向构件104最好是与载物台105(连同平板102)以同一轴、同一转速进行相同方向旋转(即、导向构件与平板一体状旋转)，因为液体材料横穿导向构件103上面与平板102的第1主面的边界部、平板102的第1主面与导向构件104上面的边界部、更容易地进行顺利流动，故较佳。

在本发明的1个形态中，如由与图1相同的模式剖视图所示的图2(a)和表示其俯视图的图2(b)所示，也可是只与配置于载物台204上的平板201外周侧面的一部分大致接触的外侧导向构件202。在此场合，也可抑止或避免在不使用导向构件的使用旋转涂布场合所产生的涂膜厚度的误差、以及形成于平板201外周部的涂膜的隆起部101的发生。外侧导向构件202既可使用图2所示的2个，也可使用其它数。

在图2所示的形态中，相对平板201外周侧面一部分的外侧导向构件202的面206呈平坦状，但也可是该面整体与平板侧面的一部分大致接触的其它形状、即弯曲形状(最好是实质与外周侧面相同曲率的弯曲形状)。如图2所示，在外侧导向构件202与平板201外周侧面的一部分相对时，为了能使外侧导向构件在平板的周围相对旋转(或移动)，必须选择外侧导向构件和平板的转速(根据情况也可只使平板旋转而外侧导向构件不旋转)。

另外，外侧导向构件和内侧导向构件既可分别单独使用，或者有可能的话，也可使用两者，可得到本发明的效果。对于外侧导向构件和内侧导向构件的形态，也不局限于图1(a)所示的形态，只要是符合上述本发明特征的条件范围内，平板与导向构件可处于大致接触状态，平板的第1主面与导向构件的上面处于大致同一水平面，若它们都存在于同一平面内，则也可是其它形态。

例如，如图1(b)所示，内侧导向构件104的中心部可以具有突出部130、或者外侧导向构件103可以是图1(b)所示的其厚度朝向外侧逐渐变薄的形态、或者也可是具有朝向外侧分阶段地减小的阶梯形态。设置突出部130时，其优点是内侧导向构件容易移动。

并且，在另1个形态中，内侧导向构件104例如也可是圆形(圆板状)，不需要将平板的孔实质性整体堵塞，如图1(c)所示，可在中央部具有空隙132。例如，内侧导向构件104可以是圆环状(或平坦的环状)。这样，其优点是内侧导向构件容易移动(或装取)。特别是规定空隙、导向构件的壁部增厚、其结果如图1(c)所示，在壁部突出于液体材料的上方时，例如可用手指将突出部分抬起，此时，其优点是可使手指不直接沾上液体材料。另外，当平板的孔的中心位置偏离旋转中心时，导向构件的位置也可偏离旋转中心。

图3(a)表示采用无导向构件的传统法、在平板上形成涂膜时以及采用本发明的涂布方法在平板上形成涂膜时的结果。图3(a)表示从平板中心的半径方向位置及其该位置的涂膜厚度之关系。作为平板，例如使用了光盘用的基板之类的具有直径15mm中心孔的半径60mm的圆板。利用旋转涂布将液状硬化性树脂组成物涂布在该圆板上并使其硬化，形成100μm厚度的涂膜。

在传统法中，一边使圆板以50rpm旋转，一边在离中心的半径位置25mm的附近，将粘度400mPa·s的液状硬化性树脂组成物圆环状滴下，然后，圆板以转速350rpm旋转15秒钟。形成的涂膜厚度是内周部薄、外周部厚(误差80％)。另外，所谓误差是指相对于平均厚度的厚度变动量的比例。

在本发明的涂布方法中，如图1(a)所示，配置内侧导向构件104(外径15mm)和外侧导向构件103(内径120mm)(导向构件与平板是接触状态)，一边使平板与导向构件一起以50rpm旋转，一边将粘度400mPa·s的树脂向内侧导向构件104上滴下，圆板以转速350rpm旋转15秒钟。形成的涂膜厚度误差可抑止在从圆板的内周部至外周部的2％。另外，在传统法中，涂膜厚度误差变化大的区域是圆板的内周部和外周部各自宽度(半径方向的距离)10mm左右的区域，从其结果中可以看出，本发明的导向构件的宽度(即沿着第1主面半径方向的长度)均为10mm较好。

图3(b)表示在与图3(a)相同的圆板上、采用传统法和本发明的方法改变涂布的液体材料和涂布条件、涂膜的平均厚度(均是在厚度变化小的区域(即、除了圆板的内周部和外周部之外的区域)中的平均厚度)涂布成20～600μm时的膜厚误差。这样，在形成涂膜厚度20～500μm、特别是40～300μm、更特别是50～200μm、例如50～150μm厚度的涂膜时，可以看到本发明的效果。

(实施形态2)

在多个平板上连续涂布、依次形成涂膜的场合，如模式的剖视图即图4(a)所示，在将涂布后的平板402(如光盘用基板)按箭头所示取走后，如图4(b)的箭头所示，将下一个平板411配置于载物台上。这样，取走后残留于外侧导向构件403或内侧导向构件404上的液体材料401(如液状的光硬化性树脂组成物)有可能从该处而流落在载物台405上。在此场合，载物台405上的液体材料401沾附在下一个涂布的平板所需的部分(第1主面)以外的部分(第2主面的一部分)，有可能使最终得到的平板引起问题。

在此，如图4(b)所示，设置有在导向构件403、404的下方与其邻接的、形成有周状槽408、409的载物台405。另外，也可是只在单一方的导向构件设置槽的形态。这样，即使残留于导向构件上的液体材料401流下，也可使实际支承载物台405的平板的部分不存在液体材料。换言之，支承平板的载物台在邻接于导向构件的部分具有凹部，可使残留于导向构件的液体材料流入该凹部，由存在着凹部而导致形成的凸部能发挥载物台本来的功能而支承平板。

如前所述，在平板411的侧面与其对向的导向构件403或404的面之间设置间隙的场合，在导向构件403或404的如此相对的面上沾有的液体材料401不容易与平板411的侧面沾合。然而，如前所述，在将平板侧面与导向构件大致接触时，如图4(b)的具体例子所示，将外侧导向构件403及/或内侧导向构件404与平板的侧面线状大致接触，由此，在平板411的外周侧面及/或内周侧面上，更加不容易沾附与平板的外周侧面及/内周侧面相对的导向构件的面406及/或面407上的液体材料401。

另外，在图示的形态中，流入槽408和槽409中的液体材料401从排出口410排出后回收，可再利用。对于液体材料401的排出，可采用适当的方法，例如利用真空吸引、重力、或者在将平板402取走后、放载平板411之前使载物台旋转而产生的离心力等。

在图4(b)所示的形态中，在与平板411的侧面相对的导向构件的面406、407内，不与平板411大致接触的部分虽实质上沿垂直方向延伸，但面406、407也可如图4(c)所示地倾斜延伸。例如，预先将外侧导向构件403的该面406倾斜成如图所示那样处于向外下方，对于沾在外侧导向构件的该面406上的液体材料，在将涂布的平板402取走后、载置新的平板411之前，若使载物台旋转，则利用由此产生的离心力而可使液体材料顺利地向槽流下，便于排出。

另外，参照图4说明的槽408、槽409、外侧导向构件403和内侧导向构件404的特征即使各自单独使用，也可得到本发明的效果，或通过对其进行适当的多种组合，可进一步增大效果。

在本发明的涂布方法中，在利用旋转涂布来涂布液体材料后，最好是使导向构件远离平板。例如，如图5(a)所示，按照本发明的涂布方法，使用与平板即圆板501大致接触配置的外侧导向构件503和内侧导向构件507，通过旋转涂布方式涂布液体材料502后，如图5(b)所示，使外侧导向构件503相对圆板501作支点旋转而向外侧下方(斜下方)移动，或者使内侧导向构件507向上方移动(参照箭头)。

其次，如图5(c)所示，从载物台506将圆板501取走，再如图5(d)所示，将应涂布的新的圆板505载置于载物台506上，然后如图5(e)所示，使外侧导向构件503和内侧导向构件507返回至原来位置。

另外，图5(f)  (外侧导向构件503移动前)和图5(g)(外侧导向构件移动后)表示从上方看到外侧导向构件503动作的形态。其中，内侧导向构件未作图示。另外，外侧导向构件由4个部件构成配置于平板全周的圆环状的导向构件。这样，涂布后残留于外侧导向构件503及/或内侧导向构件507上的液体材料504可被有效地避免沾附于与圆板505的涂布面即第1主面相对的面(即第2主面)及/或圆板的侧面。

如图5(b)所示，导向构件移动后，一旦放置一定以上的时间，则往往会在平板的外周部附近引起涂膜厚度变化，引起这种变化的区域有时在径向上达到涂膜厚度的约数倍。该程度的变化只要不出问题就行，但变化有问题时，最好是在涂布后立即实施下一道处理。例如，液体材料是光硬化性树脂组成物时，最好是在例如30秒以内进行曝光而使涂膜硬化。

另外，根据液体材料的种类，在导向构件移动时，应考虑液体材料划线。在此，对数种光硬化性树脂组成物作了研讨，在涂布成数十～数百微米程度的涂膜厚度时，没有发现问题。特别是在将容易划线的液体材料涂布成某种程度厚度时，也应考虑会引起划线的问题，但在这种场合，可采取不使导向构件移动而使其硬化的后述的方法。

另外，残留于外侧导向构件503上的液体材料504，在下一个平板505的旋转涂布时被甩开，但由于新的同量的液体材料残留于外侧导向构件503上，因此不必在旋转涂布后除去。另外，外侧导向构件503和内侧导向构件507的形状、构造、移动的方法及其移动后的位置等不限定于图5的形态，也可选择其它任一适当的形态。只要是涂布后快速地使导向构件远离平板，就可得到本发明的效果。

(实施形态3)

下面参照图6和图7，对采用上述任一形态的本发明的液体材料涂布方法、通过将涂布于平板的硬化性树脂组成物一例子的光硬化性树脂组成物曝光、并使其硬化形成树脂层的方法作出说明。在后述的任一形态中，也是在最初使用本发明的涂布方法，在平板上形成光硬化性树脂组成物的涂膜。

图6为模式表示使形成在平板606上的涂膜607内、仅实质上位于平板上的涂膜部分硬化的形态。首先，如图6(a)所示，将平板606载置于具有外侧导向构件601、内侧导向构件602、外侧槽603和内侧槽604的涂布装置620的载物台605上，利用旋转涂布而形成液体材料的涂膜607。

其后，如图6(b)所示，为了利用例如向上移动的支柱(或向上顶的构件)608等沿箭头A所示使平板606移动、且能按箭头B所示仅使平板606曝光，通过具有覆盖平板606的盖子609的曝光装置610进行曝光，使光硬化性树脂组成物硬化而形成树脂层611。在此形态下，盖子609与平板侧面紧密接合，不会向盖子外部漏光。结果是，平板上的涂膜611以外的涂膜部分(如导向构件上的涂膜部分)不曝光，在旋转涂布时被甩开的树脂组成物例如、残留于外侧导向构件601和内侧导向构件602上的树脂组成物在曝光时不会起变化，从而可将其回收进行再利用。

另外，也考虑到了不使导向构件离开、只曝光位于平板上的涂膜部分而欲使光硬化性树脂组成物硬化的情况。在此场合，不曝光位于导向构件上的硬化性树脂组成物的涂膜部分而仅曝光位于平板上的涂膜部分实际上是不可能的，或者即使可能，也需要化费特别的工夫。即使覆盖导向构件上地配置面罩，在欲可靠地曝光位于平板上的涂膜部分的场合，也可曝光、硬化与平板邻接的、位于导向构件上的涂膜部分的一部分。如此，硬化形成的树脂层沾附、残留于导向构件的上面，在这种状态下使用导向构件、在下一个平板上形成涂膜时会引起问题。因此，必须将导向构件上沾附的树脂层除去。

图7是用模式剖视图来表示在平板706、导向构件701和702上形成的涂膜实质上全部硬化、其后将从平板露出的树脂层除去形态。首先，如图7(a)所示，与图6(a)一样，将具有孔的平板706载置于具有外侧导向构件701、内侧导向构件702、外侧槽703和内侧槽704的涂布装置720的载物台705上，利用旋转涂布形成液体材料的涂膜707。

其后，如图7(b)所示，通过具有将包含外侧导向构件701和内侧导向构件702上的部分在内的涂膜707整体包围而可曝光的盖子708的曝光装置709，将涂膜707曝光，使光硬化性树脂组成物硬化，形成树脂层710。其次，如图7(c)所示，将平板706与树脂层710一起从载物台取走，如图7(d)所示，例如使用具有锐利的刀口部的冲压机711等，将从平板露出的不要的部分以及位于平板的孔上的树脂层部分除去，制成所需的树脂层的形状即、只是在平板706上的部分存在树脂层。采用这种方法，可在形成涂膜的状态下曝光，即使涂膜以外的部分曝光也无特别问题，这样，因可在涂布后马上对涂膜进行曝光，因此，与图6的场合相比，可使曝光装置709构造简单化。

在此形态下，由于可将涂布后残留于外侧导向构件701和内侧导向构件702上的树脂组成物在每次涂布后除去，因此也可避免树脂组成物与下1次应涂布的平板的不需要的部位沾合。在将平板706与树脂层710一起除去时(图7(c))，如图6的形态所示，既可由支柱608之类的机构从下向上推，或者，因树脂组成物已经硬化，故通过真空抽吸等从平板的上侧向上吸引，或者也可使用以上的两者。

此时，为了容易地将外侧导向构件701和内侧导向构件702上的树脂层剥离，可对外侧导向构件701和内侧导向构件702作点改进。例如，通过在外侧导向构件701和内侧导向构件702的上面形成许多细槽，例如放射状及/或周状，可使剥离时的方向性适当化，或者，通过使用氟化合物例如、氟聚合体等的表面处理，使其具有易剥离的表面性，或者预先设置多个贯通导向构件的可使气体流通的小孔，剥离时由气体进行加压而从下向上推，也是有效的。

采用图6所示的本发明的方法，在厚度约1.1mm的光盘基板(直径120mm)的信号面上，例如利用转速350rpm·15秒钟的旋转涂布涂布粘度400mPa·s的紫外线硬化性树脂组成物，通过光硬化而形成厚度约0.1mm且厚度误差2％以下的光透过层，对如此制造的光盘通过NA为0.85左右、激光波长约400nm的再生机进行评价，结果是显示出球面收差、聚焦性能良好的结果。例如，在聚焦残差方面，与使用片状基板形成光透过层的光盘相比，约缩小20％。从中可以证明，本发明的涂布方法(本发明的树脂层形成方法)对于制造光盘的光透过层是一种良好的方法。

另外，在实施形态3中，涂布的平板例如是光盘之类的有孔的平板，但涂布的平板即使无孔、或不是圆形而是椭圆、三角形、方形、多边形等的形状，也可得到本发明的效果。

综上所述，采用本发明的涂布方法，与传统的涂布方法相比，可飞跃性地形成膜厚误差小的涂布膜。另外，采用本发明的树脂层涂布方法，与以往相比，可减少膜厚误差，降低成本，可形成高品质的树脂层。特别是导向构件相对平板侧面线状大致接触时，本发明的效果明显。

另外，采用本发明的涂布方法，在向平板涂布光硬性化树脂组成物、使形成后的涂膜曝光而硬化成为树脂层的场合，在使导向构件远离平板的状态下得到具有涂膜的平板，其次，将其涂膜曝光、或者在形成了涂膜的状态下保持原样地(即、保持导向构件与平板侧面大致接触的状态)  将涂膜曝光而形成树脂层，然后，通过将多余的树脂层除去，可在平板上形成厚度误差小的树脂层。这种树脂层的形成方法对光盘例如、保护层、光透过层等由光硬化性树脂组成物形成的场合特别有用。

Claims (34)

1.一种树脂层的形成方法，它是在平板上形成树脂层的方法，其特征在于，包括：

(1)在具有相对的第1主面和第2主面所组成的平板的第1主面上涂布光硬化性树脂组成物；

(2)然后，通过将光硬化性树脂组成物曝光而使其硬化，形成树脂层，

光硬化性树脂组成物的涂布，是通过使用液体材料的涂布方法来实施，即通过将平板的侧面与导向构件大致接触、并使导向构件的上面位于相对平板的第1主面大致同一的水平面，在将平板配置于载物台上的状态下，对光硬化性树脂组成物进行旋转涂布，形成向导向构件的上面和平板的第1主面延伸的光硬化性树脂组成物的涂膜，

光硬化性树脂组成物的硬化采用以下两种方法中的一种来实施，即：(a)、将平板从载物台上取走，使该平板曝光而使第1主面上的涂膜部分硬化，或者(b)、在导向构件与平板的侧面大致接触的状态下，使向导向构件的上面和平板的第1主面延伸的涂膜硬化。

2.如权利要求1所述的树脂层的形成方法，其特征在于，在液体材料的涂布方法中，导向构件与平板的侧面线状大致接触。

3.如权利要求1所述的树脂层的形成方法，其特征在于，导向构件是与平板的外周侧面大致接触的外侧导向构件。

4.如权利要求3所述的树脂层的形成方法，其特征在于，平板具有贯通于其厚度方向的孔，导向构件又是与平板的内周侧面大致接触的内侧导向构件。

5.如权利要求1所述的树脂层的形成方法，其特征在于，在液体材料的涂布方法中，在旋转涂布时，导向构件围绕与平板相同的旋转中心并以相同的角速度旋转。

6.如权利要求1所述的树脂层的形成方法，其特征在于，在液体材料的涂布方法中，为了进行旋转涂布，在将平板配置于载物台时，平板的第2主面的外周部与载物台不接触。

7.如权利要求4所述的树脂层的形成方法，其特征在于，在液体材料的涂布方法中，为了进行旋转涂布，在将平板配置于载物台时，平板的第2主面的内周部与载物台不接触。

8.如权利要求1所述的树脂层的形成方法，其特征在于，形成的涂膜厚度是20μm～500μm。

9.如权利要求1所述的树脂层的形成方法，其特征在于，在光硬化性树脂组成物硬化时，在将涂布后的平板从载物台取走之前，使导向构件离开平板。

10.如权利要求1所述的树脂层的形成方法，其特征在于，在光硬化性树脂组成物硬化时，在使向导向构件的上面和平板的第1主面延伸的涂膜硬化后，将平板从载物台取走，将从平板的外周缘向外突出的树脂层部分除去。

11.如权利要求1所述的树脂层的形成方法，其特征在于，平板是光盘基板。

12.一种液体材料的涂布方法，包括：在具有相对的第1主面和第2主面所组成的平板的第1主面上涂布液体材料，其特征在于，

液体材料的涂布是使用外侧导向构件来实施，通过将外侧导向构件与平板的外周侧面线状大致接触，并使外侧导向构件上面位于相对平板的第1主面大致同一的水平面，在将平板配置于载物台上的状态下，旋转涂布液体材料，而形成向外侧导向构件的上面和平板的第1主面延伸的液体材料的涂膜。

13.一种液体材料的涂布方法，包括：在具有相对的第1主面和第2主面所组成的平板的第1主面上涂布液体材料，其特征在于，

平板具有贯通于其厚度方向的孔，液体材料的涂布是使用配置于孔中的内侧导向构件来实施，通过将内侧导向构件与平板的内周侧面线状大致接触，并使内侧导向构件上面位于相对平板的第1主面大致同一的水平面，在将平板配置于载物台上的状态下，旋转涂布液体材料，而形成向内侧导向构件的上面和平板的第1主面延伸的液体材料的涂膜。

14.如权利要求13所述的液体材料的形成方法，其特征在于，内侧导向构件与平板的内周侧面线状大致接触。

15.如权利要求13所述的液体材料的形成方法，其特征在于，液体材料的涂布是还使用外侧导向构件来实施，将外侧导向构件与平板的外周侧面线状大致接触，并使外侧导向构件上面位于相对平板的第1主面大致同一的水平面，在将平板配置于载物台上的状态下进行液体材料的旋转涂布。

16.如权利要求13所述的液体材料的形成方法，其特征在于，在旋转涂布时，导向构件围绕与平板相同的旋转中心、并以相同的角速度旋转。

17.如权利要求13所述的液体材料的形成方法，其特征在于，形成的涂膜厚度是20μm～500μm。

18.如权利要求12所述的液体材料的形成方法，其特征在于，外侧导向构件与平板的外周侧面线状大致接触。

19.如权利要求12所述的液体材料的形成方法，其特征在于，在旋转涂布时，导向构件围绕与平板相同的旋转中心、并以相同的角速度旋转。

20.如权利要求12所述的液体材料的形成方法，其特征在于，形成的涂膜厚度是20μm～500μm。

21.一种涂布装置，是利用旋转涂布向平板涂布液体材料用的涂布装置，其特征在于，包括：

支承平板、且可旋转的载物台；

与配置于载物台的平板的侧面线状大致接触的导向构件，其上面位于相对配置于载物台的平板的第1主面大致同一水平面；以及

向平板的第1主面上供给液体材料的机构。

22.如权利要求21所述的涂布装置，其特征在于，平板还包括具有贯通于其厚度方向的孔、并与配置于载物台的平板的内周侧面大致接触的内侧导向构件，

内侧导向构件具有位于相对平板的第1主面大致同一水平面的上面，

供给液体材料的机构向平板的第1主面及/或内侧导向构件的上面供给液体材料。

23.如权利要求22所述的涂布装置，其特征在于，内侧导向构件与平板的内周侧面线状大致接触。

24.如权利要求21所述的涂布装置，其特征在于，在将平板配置于载物台上时，平板的第2主面的外周部与载物台不接触。

25.如权利要求22所述的涂布装置，其特征在于，在将平板配置于载物台上时，平板的第2主面的内周部与载物台不接触。

26.如权利要求21所述的涂布装置，其特征在于，外侧导向构件以与载物台旋转相同的旋转中心、并以相同的角速度进行旋转。

27.如权利要求22所述的涂布装置，其特征在于，外侧导向构件和内侧导向构件以与载物台旋转相同的旋转中心、并以相同的角速度进行旋转。

28.如权利要求21所述的涂布装置，其特征在于，具有平板涂布后使外侧导向构件远离平板、然后将涂布的平板从载物台取走的机构。

29.如权利要求21所述的涂布装置，其特征在于，具有平板涂布后使外侧导向构件和内侧导向构件远离平板、然后将涂布后的平板从载物台取走的机构。

30.一种光盘制造方法，是采用权利要求1所述的树脂层形成方法的光盘制造方法，其特征在于，将光透过层或保护层形成为树脂层。

31.一种树脂层的形成装置，是在平板上形成使光硬化性树脂组成物硬化的树脂层的树脂层形成装置，其特征在于，包括：

权利要求21所述的涂布装置；

将形成有作为液体材料的光硬化性树脂组成物涂膜的平板从载物台取走的机构；以及

将取走后的平板上形成的涂膜部分曝光、使光硬化性树脂组成物硬化而形成树脂层的机构。

32.一种树脂层的形成装置，是在平板上形成使光硬化性树脂组成物硬化的树脂层的树脂层形成装置，其特征在于，包括：

权利要求21所述的涂布装置；

将形成于平板的第1主面和导向构件的上面上的涂膜保持原样地曝光、使光硬化性树脂组成物硬化而形成树脂层的机构；

将平板从载物台取走的机构；以及

将从除去后的平板的边缘突出的树脂层部分除去的机构。

33.一种光盘的制造装置，是具有光透过层或保护层的光盘的制造装置，其特征在于，具有形成作为光透过层或保护层的树脂层的如权利要求31所述的树脂层形成装置所组成。

34.一种光盘的制造装置，是具有光透过层或保护层的光盘的制造装置，其特征在于，具有形成作为光透过层或保护层的树脂层的如权利要求32所述的树脂层形成装置所组成。

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