JPH05283329A - 可動板を有するスピンコーター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 構成の簡略化を進めると共に、ワークの端面
及び裏面への表面被覆剤の付着を防止できる可動板を有
するスピンコーターを提供する。 【構成】 本発明のスピンコーターには、ワーク１０に
接触可能な可動板１９が設けられ、この可動板１９には
カム溝１９ｂが形成され、このカム溝１９ｂに挿通可能
なカムピン２６が設けられ、カムピン２６をカム溝１９
ｂに挿通する挿通手段（ロッドレスシリンダ２７）が設
けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＬＣＤ等のワーク表面
にフォトレジスト等の表面被覆剤を塗布するスピンコー
ターに関するものであり、特に簡単な構成でワークの端
面及び裏面に表面被覆剤の付着を防止するスピンコータ
ーに係る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ＬＣＤ等のワークの表面に対
してフォトレジスト等の表面被覆剤を塗布する装置とし
てスピンコーターが知られている。スピンコーターと
は、回転テーブルに処理しようとするワークを載置し、
ワーク表面に表面被覆剤を滴下した後、回転テーブルご
とワークを回転させて表面被覆剤をワーク表面上に塗布
する装置である。

【０００３】このスピンコーターによれば、ワークの回
転によって生じる遠心力の作用によってワーク上の表面
被覆剤がワーク表面を均一に広がるため、処理剤の塗り
ムラがなく、高い精度で塗布処理を行うことができる。

【０００４】又、回転テーブルの上方には回転テーブル
を上側から覆う上カップが、回転テーブルの下方には回
転テーブルを下側から覆う下カップが各々設けられてい
る。これらの上カップ及び下カップは、回転するワーク
の外周部から飛び散る表面被覆剤を受け止め、表面被覆
剤がワーク周囲の作業員等にかかることを防いでいる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のスピ
ンコーターには、次のような問題点が指摘されていた。
この問題点を図５を参照して説明する。図は回転テーブ
ル上で回転するワークを模式的に示したもので、テーブ
ルの回転方向に対して後方のワーク端面を、回転方向と
垂直の方向から見た拡大側面図である。

【０００６】すなわち、ワーク１が回転すると、遠心力
の作用でワーク１の表面１ａ上の表面被覆剤８の一部が
飛沫２となってワーク１の外周部から周囲に飛散する。
この時、回転するワーク１は慣性力によって停止しよう
とする空気流３に逆らって回転している。従って、回転
方向に対して後方となるワーク１の端面１ｂの直後に、
渦気流４が発生する。この渦気流４は飛散する飛沫２を
飛沫５のように巻き込む。その結果、ワーク１の端面１
ｂや裏面１ｃに対して表面被覆剤８である飛沫６，７が
付着した。なお、この様なワーク１端面への表面被覆剤
８の付着は、回転方向に対して前方となる端面が空気流
３を切りながら回転する時、周囲の飛沫２と衝突して付
着することも考えられる。

【０００７】ワーク１の端面１ｂや裏面１ｃに付着した
表面被覆剤８は、不必要なものであり、ワーク１の精
度、性能及び外観を低下させた。特に、ワーク１の端面
１ｂは電極板を積層した電極の接続部となるので、この
様な端面１ｂへの表面被覆剤８の付着は不要な絶縁や短
絡を発生させる原因となった。又、この表面被覆剤８を
除去するためには、洗浄工程が必要となり、この洗浄工
程がワーク１の製造費用と時間との増大を招いた。

【０００８】本発明は、上記の従来技術の問題点を解決
するために提案されたものであり、その目的は、簡単な
構成でワークの端面及び裏面への表面被覆剤の付着を確
実に防止できる可動板を有するスピンコーターを提供す
ることである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、ワークを載置可能な回転テーブルと、こ
の回転テーブルの駆動手段と、ワークの表面に対して表
面被覆剤を滴下する滴下手段と、回転テーブルを上側か
ら覆う上カップと、回転テーブルを下側から覆う下カッ
プとを具備しており、回転テーブルには可動板が回転テ
ーブルに載置されるワークに対して接離するように移動
可能に設けられ、この可動板には、ワーク端面に接触可
能な接触辺と、該接触辺をワーク端面に接触させるよう
に設けられたカム溝とが形成され、前記カム溝に挿通可
能なカムピンが設けられ、前記カム溝に対して前記カム
ピンを挿通・解除する挿通手段が設けられたことを特徴
とする。

【００１０】

【作用】上記の構成を有する本発明においては、挿通手
段がカムピンを可動板のカム溝に挿通し、駆動手段によ
り回転テーブルと共に可動板が水平方向に回動すると、
カムピンは固定されたままの状態で、カム溝に沿って可
動板を押し、可動板はスライド移動して、ワーク端面に
可動板の接触辺が接触する。

【００１１】ワーク端面に対する可動板の接触動作を行
った後、挿通手段がカムピンをカム溝から解除し、この
状態で滴下手段がワーク表面に表面被覆剤を滴下し、回
転テーブルごとワークが回転して遠心力により表面被覆
剤が均一に広がり、ムラなく塗布処理を行うことができ
る。この時、ワーク端面に接触する可動板の接触辺がワ
ークの端面及び裏面に表面被覆剤が回り込むことを防止
するため、ここに処理剤が付着することがない。従っ
て、ワーク端面にて余分な絶縁や短絡が発生する恐れが
なく、また表面被覆剤を除去するための洗浄工程も不要
となる。その結果、ワークの製造に係る費用及び時間を
削減することができ、且つワークの精度、性能及び外観
の低下を防止できる。

【００１２】以上のように本発明においては、駆動手段
の回転力を利用して可動板の接離動作を行うことができ
るため、カムピンを水平方向に移動させるスライド手段
が不要となる。従って、スピンコーターの構成の簡略化
を進めることができる。

【００１３】

【実施例】以上の本発明の一実施例について図１〜図３
を参照して具体的に説明する。本実施例は、長方形状の
ワーク１０の表面１０ａに対して表面被覆剤１３を塗布
するスピンコーターであり、可動板１９を有することを
特徴としている。尚、本発明は正面から見て左右対称に
設けられているため、図では右側部分のみを示し、左側
部分は省略した。

【００１４】まず本実施例の構成に関して説明する。本
実施例のスピンコーターは基本的に、回転テーブル１１
と、この回転テーブル１１を駆動する駆動モータ１２
と、前記回転テーブル１１の上方に表面被覆剤１３を滴
下する滴下手段１４とを備えている。

【００１５】回転テーブル１１の上部にはワーク１０を
載置するワーク台１５が固定されている。ワーク台１５
はワーク１０より一回り小さい長方形状の載置面を有し
ている。このワーク台１５の載置面には、図示しないが
ワーク１０をワーク台１５に固定するためのバキューム
吸着穴が設けられている。又、回転テーブル１１の外周
には回転テーブル１１を下から覆う下カップ１６が取り
付けられている。更に、回転テーブル１１の上方には回
転テーブル１１を上から覆う上カップ１７が設けられて
いる。

【００１６】又、ワーク台１５の外周には支持盤１８が
取り付けられている。この支持盤１８上に一対の可動板
１９が設けられている。図２及び図３に示すように、可
動板１９の内側（図中左側）の縁部は接触辺１９ａと成
る。この接触辺１９ａはワーク１０の端面１０ｂに接触
するようになっている。又、可動板１９の図中右寄りに
は、図中左上から右下へ傾斜するカム溝１９ｂが設けら
れている。更に、可動板１９の両端部付近にはガイドピ
ン１９ｃ，１９ｃが設置されている。

【００１７】一対の可動板１９は相互に対称的に移動
し、且つワーク端面１０ｂに接触辺１９ａが接触する接
触位置（図３に示す位置）と、ワーク１０から離脱する
離脱位置（図２に示す位置）との間を水平方向にスライ
ド移動する。更に、支持盤１８には略円弧状のガイド溝
１８ａ，１８ａと、回転テーブル１１の回転中心と同軸
の円弧状のガイド溝１８ｂとが設けられている。このガ
イド溝１８ａには可動板１９，１９のガイドピン１９ｃ
が、ガイド溝１８ｂには後述するカムピン２６が、にそ
れぞれ挿通されている。

【００１８】又、下カップ１６において可動板１９の下
方に相当する位置には、貫通穴２０が開口されている。
この貫通穴２０にはこの貫通穴２０を上方から開閉する
蓋部２１が取り付けられている。蓋部２１には蓋部２１
の開閉を制御する伸縮可能な開閉用シリンダ２２が取り
付けられている。

【００１９】ところで、駆動モータ１２に近接して断面
形状がＬ字形の支持部材２３が設けられている。支持部
材２３の上下方向に延びる側縁部には上下方向に延びる
レール２４が設けられている。このレール２４にはスラ
イダ２５が摺動自在に嵌着されている。スライダ２５に
カムピン２６が立ち上げられている。このカムピン２６
は貫通穴２０、ガイド溝１８ｂ及びカム溝１９ｂに挿通
するようになっている。更に、スライダ２５にはスライ
ダ２５を昇降させるロッドレスシリンダ２７が設けられ
ている。

【００２０】上記の構成を有する本実施例においては、
各部材は次のような動作をとる。まず、図示しない搬送
手段によりワーク台１５にワーク１０を載置する。この
時、ワーク１０の端面１０ｂはワーク台１５より外方に
飛び出ている。又、可動板１９は離脱位置（図２に示す
位置）にあり、カムピン２６は下カップ１６下方に位置
している。更に開閉用シリンダ２２は延びており、蓋部
２１は開いている。

【００２１】この様な状態から、まずロッドレスシリン
ダ２７が駆動してスライダ２５がレール２４に沿って上
昇する。スライダ２５と共にカムピン２６が上昇し、貫
通穴２０及びガイド溝１８ｂを貫通して可動板１９のカ
ム溝１９ｂに挿通する。続いて、駆動モータ１２が駆動
して回転テーブル１１ごとワーク台１５及び支持盤１８
が時計回転方向に回動する。

【００２２】この時、固定されたカムピン２６がカム溝
１９ｂに沿って可動板１９を押し、可動板１９はスライ
ド移動する。なお、カムピン２６はガイド溝１８ｂ内を
円弧状に移動する。この時、ガイド溝１８ａ，１８ａ内
をガイドピン１９ｃ，１９ｃが摺動して可動板１９の移
動をガイドしつつ、可動板１９の接触辺１９ｂがワーク
１０の端面１０ｂから接触する（図２から図３へ）。

【００２３】その後、ロッドレスシリンダ２７が逆方向
に駆動し、第１のスライダ２５が第１のレール２４に沿
って下降する。そのため第１のスライダ２５と共にカム
ピン２６が下降し、カムピン２６はカム溝１９ｂ及びガ
イド溝１８ｂから外れ、貫通穴２０を通過して初期位置
まで下降する。更に、開閉用シリンダ２２が蓋部２１を
閉じるように動作して貫通穴２０は閉状態となる。

【００２４】この様にワーク端面１０ｂに可動板１９が
接触し、貫通穴２０が閉じた状態で、滴下手段１４がワ
ーク表面１０ａに表面被覆剤１３を滴下し、駆動モータ
１２の駆動力を受けて回転するワーク台１５ごとワーク
１０が回転し、遠心力により表面被覆剤１３を均一にワ
ーク表面１０ａ上に塗布することができる。

【００２５】又、ワーク表面１０ａに対する表面被覆剤
１３の塗布処理が完了すると、まずロッドレスシリンダ
２７が逆方向に駆動して、スライダ２５がレール２４に
沿って上昇し、スライダ２５と共にカムピン２６が上昇
する。カムピン２６の上昇動作と同時に開閉用シリンダ
２２が蓋部２１を開けるように動作して、貫通穴２０は
開状態となる。

【００２６】従って、上昇するカムピン２６が貫通穴２
０及びガイド溝１８ｂを通過して、カムピン２６は可動
板１９のカム溝１９ｂに再度挿通する。続いて、駆動モ
ータ１２が駆動して回転テーブル１１ごとワーク台１５
及び支持盤１８が反時計回転方向に回動する。この時、
カムピン２６は固定されたまま、ガイド溝１８ａ内を摺
動しつつ、カム溝１９ｂに沿って可動板１９を押し、可
動板１９は逆方向にスライド移動する。従って、ガイド
ピン１９ｃ，１９ｃがガイド溝１８ａ，１８ａ内を摺動
して可動板１９の移動をガイドしつつ、可動板１９の接
触辺１９ｂがワーク１０の端面１０ｂから離脱する（図
３から図２へ）。

【００２７】以上述べたように本実施例によれば、ワー
ク１０回転時、ワーク端面１０ｂには可動板１９が接触
しているため、ワーク端面１０ｂ及び裏面１０ｃに表面
被覆剤１３が回り込むことがなく、ここに処理剤１３が
付着することがない。従って、端面１ｂに余分な絶縁や
短絡が発生する恐れがなく、また表面被覆剤１３を除去
するための洗浄工程も必要ない。その結果、ワーク１０
の製造に係る費用及び時間を削減することができ、且つ
ワーク１０の精度、性能及び外観の低下を防止できる。

【００２８】しかも、本実施例では駆動モータ１２の回
転力を利用して可動板１９の接離動作を行うことができ
るため、カムピン２６を水平方向に移動させるスライド
手段が不要である。従って、スピンコーターの構成の簡
略化を進めることができる。

【００２９】又、貫通穴２０は閉状態であるため、下カ
ップ１６が回転テーブル１１を下方から完全に覆ってい
る。従って、回転テーブル１１が回転して表面被覆剤１
３がワーク１０から飛び散っても、貫通穴２０から表面
被覆剤１３が飛び出すことがなく、表面被覆剤１３がワ
ーク１０周囲の作業員等にかかる心配がない。

【００３０】更に本実施例においては、回転テーブル１
１の上方に可動板１９を動作させる部材が設置されてい
ないので、塗布処理後のワーク１０の交換作業等の作業
スペースを十分に確保することができる。

【００３１】なお、本発明は以上のような実施例に限定
されるものではなく、例えば可動板の形状や寸法、およ
び設置数はワークに合せて適宜変更可能であり、カムピ
ンをカム溝に挿通させる挿通手段、及びその設置箇所も
適宜選択可能である。例えば、挿通手段を下カップの上
面側に配設することによって上記の実施例から貫通穴２
０、蓋部２１及び開閉用シリンダ２２を省くことも可能
である。又、蓋部２１を閉状態側に付勢し、開閉用シリ
ンダ２２に代えてカムピン２６の昇降により蓋部２１の
開閉動作を行うことも可能である。

【００３２】更に、本発明は、図５に示すような他の実
施例を含むものである。この実施例は、上カップ上方に
カムピン２６を設けたものである。このカムピン２６
は、その昇降手段であるアクチュエータ３１に取り付け
られており、ワーク台１５を上方から覆う蓋３３の上方
に配置され、下降動作（図中矢印ｂ）を行う時、蓋３３
を上方から貫通する。なお、３２はアクチュエータ３１
を支持する取付台であり、この取付台３２は基台３４に
設置されている。基台３４は、レール３７をスライダ３
６が摺動することによってガイドされつつロッドレスシ
リンダ３８の昇降動作により上下動を行うようになって
いる。

【００３３】以上のような実施例においては、ロッドレ
スシリンダ３８が下降動作（図中矢印ａ）を行い、蓋３
３がワーク台１５を上方から覆った時点で、アクチュエ
ータ３１が動作して、カムピン２６の下降動作を行う。
これにより、上記実施例と同じように、カムピン２６が
ガイド溝１８ａ，１８ａに貫通する。そして、図示しな
いカムピン２６のスライド手段により可動板１９を移動
させることによって、上記実施例と同様の作用効果を発
揮することができる。しかも、この実施例によれば、カ
ムピン２６を駆動させる昇降手段及びスライド手段をワ
ーク台１５の上部に取り付けることができるため、取付
作業の容易化を図ることが可能となる。

【００３４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の可動板を有
するスピンコーターによれば、可動板がワーク端面及び
裏面への表面被覆剤の付着を防止でき、且つ駆動手段の
回転力を利用して可動板のワークに対する接離動作を行
うことができるため、カムピンを水平方向に移動させる
スライド手段が不要となり、構成の簡略化が向上した。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の可動板を有するスピンコーターの一実
施例の右側正面図

【図２】本実施例の要部平面図（可動板の離脱状態）

【図３】本実施例の要部平面図（可動板の接触状態）

【図４】本発明の他の実施例の右側正面図

【図５】従来のスピンコーターにより回転するワーク端
面を模式的に示した拡大側面図

【符号の説明】

１０ ワーク １１ 回転テーブル １２ 駆動モータ １３ 表面被覆剤 １４ 滴下手段 １５ ワーク台 １６ 下カップ １７ 上カップ １８ 支持盤 １９ 可動板 ２０ 貫通穴 ２１ 蓋部 ２２ 開閉用シリンダ ２３ 支持部材 ２４ レール ２５ スライダ ２６ カムピン ２７ ロッドレスシリンダ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークを載置可能な回転テーブルと、こ
   の回転テーブルの駆動手段と、前記ワークの表面に対し
   て表面被覆剤を滴下する滴下手段と、前記回転テーブル
   を上側から覆う上カップと、前記回転テーブルを下側か
   ら覆う下カップとを具備したスピンコーターにおいて、 前記回転テーブルには可動板が前記ワークに対して接離
   するように移動可能に設けられ、 前記可動板には、前記ワーク端面に接触可能な接触辺
   と、この接触辺をワーク端面に接離させるように設けら
   れたカム溝とが形成され、 前記カム溝に挿通可能なカムピンが設けられ、 前記カム溝に対して前記カムピンを挿通・解除する挿通
   手段が設けられたことを特徴とする可動板を有するスピ
   ンコーター。