JPH05283329A - 可動板を有するスピンコーター - Google Patents
可動板を有するスピンコーターInfo
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- JPH05283329A JPH05283329A JP10566192A JP10566192A JPH05283329A JP H05283329 A JPH05283329 A JP H05283329A JP 10566192 A JP10566192 A JP 10566192A JP 10566192 A JP10566192 A JP 10566192A JP H05283329 A JPH05283329 A JP H05283329A
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- Japan
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- work
- movable plate
- rotary table
- cam pin
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 構成の簡略化を進めると共に、ワークの端面
及び裏面への表面被覆剤の付着を防止できる可動板を有
するスピンコーターを提供する。 【構成】 本発明のスピンコーターには、ワーク10に
接触可能な可動板19が設けられ、この可動板19には
カム溝19bが形成され、このカム溝19bに挿通可能
なカムピン26が設けられ、カムピン26をカム溝19
bに挿通する挿通手段(ロッドレスシリンダ27)が設
けられている。
及び裏面への表面被覆剤の付着を防止できる可動板を有
するスピンコーターを提供する。 【構成】 本発明のスピンコーターには、ワーク10に
接触可能な可動板19が設けられ、この可動板19には
カム溝19bが形成され、このカム溝19bに挿通可能
なカムピン26が設けられ、カムピン26をカム溝19
bに挿通する挿通手段(ロッドレスシリンダ27)が設
けられている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、LCD等のワーク表面
にフォトレジスト等の表面被覆剤を塗布するスピンコー
ターに関するものであり、特に簡単な構成でワークの端
面及び裏面に表面被覆剤の付着を防止するスピンコータ
ーに係る。
にフォトレジスト等の表面被覆剤を塗布するスピンコー
ターに関するものであり、特に簡単な構成でワークの端
面及び裏面に表面被覆剤の付着を防止するスピンコータ
ーに係る。
【0002】
【従来の技術】従来より、LCD等のワークの表面に対
してフォトレジスト等の表面被覆剤を塗布する装置とし
てスピンコーターが知られている。スピンコーターと
は、回転テーブルに処理しようとするワークを載置し、
ワーク表面に表面被覆剤を滴下した後、回転テーブルご
とワークを回転させて表面被覆剤をワーク表面上に塗布
する装置である。
してフォトレジスト等の表面被覆剤を塗布する装置とし
てスピンコーターが知られている。スピンコーターと
は、回転テーブルに処理しようとするワークを載置し、
ワーク表面に表面被覆剤を滴下した後、回転テーブルご
とワークを回転させて表面被覆剤をワーク表面上に塗布
する装置である。
【0003】このスピンコーターによれば、ワークの回
転によって生じる遠心力の作用によってワーク上の表面
被覆剤がワーク表面を均一に広がるため、処理剤の塗り
ムラがなく、高い精度で塗布処理を行うことができる。
転によって生じる遠心力の作用によってワーク上の表面
被覆剤がワーク表面を均一に広がるため、処理剤の塗り
ムラがなく、高い精度で塗布処理を行うことができる。
【0004】又、回転テーブルの上方には回転テーブル
を上側から覆う上カップが、回転テーブルの下方には回
転テーブルを下側から覆う下カップが各々設けられてい
る。これらの上カップ及び下カップは、回転するワーク
の外周部から飛び散る表面被覆剤を受け止め、表面被覆
剤がワーク周囲の作業員等にかかることを防いでいる。
を上側から覆う上カップが、回転テーブルの下方には回
転テーブルを下側から覆う下カップが各々設けられてい
る。これらの上カップ及び下カップは、回転するワーク
の外周部から飛び散る表面被覆剤を受け止め、表面被覆
剤がワーク周囲の作業員等にかかることを防いでいる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のスピ
ンコーターには、次のような問題点が指摘されていた。
この問題点を図5を参照して説明する。図は回転テーブ
ル上で回転するワークを模式的に示したもので、テーブ
ルの回転方向に対して後方のワーク端面を、回転方向と
垂直の方向から見た拡大側面図である。
ンコーターには、次のような問題点が指摘されていた。
この問題点を図5を参照して説明する。図は回転テーブ
ル上で回転するワークを模式的に示したもので、テーブ
ルの回転方向に対して後方のワーク端面を、回転方向と
垂直の方向から見た拡大側面図である。
【0006】すなわち、ワーク1が回転すると、遠心力
の作用でワーク1の表面1a上の表面被覆剤8の一部が
飛沫2となってワーク1の外周部から周囲に飛散する。
この時、回転するワーク1は慣性力によって停止しよう
とする空気流3に逆らって回転している。従って、回転
方向に対して後方となるワーク1の端面1bの直後に、
渦気流4が発生する。この渦気流4は飛散する飛沫2を
飛沫5のように巻き込む。その結果、ワーク1の端面1
bや裏面1cに対して表面被覆剤8である飛沫6,7が
付着した。なお、この様なワーク1端面への表面被覆剤
8の付着は、回転方向に対して前方となる端面が空気流
3を切りながら回転する時、周囲の飛沫2と衝突して付
着することも考えられる。
の作用でワーク1の表面1a上の表面被覆剤8の一部が
飛沫2となってワーク1の外周部から周囲に飛散する。
この時、回転するワーク1は慣性力によって停止しよう
とする空気流3に逆らって回転している。従って、回転
方向に対して後方となるワーク1の端面1bの直後に、
渦気流4が発生する。この渦気流4は飛散する飛沫2を
飛沫5のように巻き込む。その結果、ワーク1の端面1
bや裏面1cに対して表面被覆剤8である飛沫6,7が
付着した。なお、この様なワーク1端面への表面被覆剤
8の付着は、回転方向に対して前方となる端面が空気流
3を切りながら回転する時、周囲の飛沫2と衝突して付
着することも考えられる。
【0007】ワーク1の端面1bや裏面1cに付着した
表面被覆剤8は、不必要なものであり、ワーク1の精
度、性能及び外観を低下させた。特に、ワーク1の端面
1bは電極板を積層した電極の接続部となるので、この
様な端面1bへの表面被覆剤8の付着は不要な絶縁や短
絡を発生させる原因となった。又、この表面被覆剤8を
除去するためには、洗浄工程が必要となり、この洗浄工
程がワーク1の製造費用と時間との増大を招いた。
表面被覆剤8は、不必要なものであり、ワーク1の精
度、性能及び外観を低下させた。特に、ワーク1の端面
1bは電極板を積層した電極の接続部となるので、この
様な端面1bへの表面被覆剤8の付着は不要な絶縁や短
絡を発生させる原因となった。又、この表面被覆剤8を
除去するためには、洗浄工程が必要となり、この洗浄工
程がワーク1の製造費用と時間との増大を招いた。
【0008】本発明は、上記の従来技術の問題点を解決
するために提案されたものであり、その目的は、簡単な
構成でワークの端面及び裏面への表面被覆剤の付着を確
実に防止できる可動板を有するスピンコーターを提供す
ることである。
するために提案されたものであり、その目的は、簡単な
構成でワークの端面及び裏面への表面被覆剤の付着を確
実に防止できる可動板を有するスピンコーターを提供す
ることである。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、ワークを載置可能な回転テーブルと、こ
の回転テーブルの駆動手段と、ワークの表面に対して表
面被覆剤を滴下する滴下手段と、回転テーブルを上側か
ら覆う上カップと、回転テーブルを下側から覆う下カッ
プとを具備しており、回転テーブルには可動板が回転テ
ーブルに載置されるワークに対して接離するように移動
可能に設けられ、この可動板には、ワーク端面に接触可
能な接触辺と、該接触辺をワーク端面に接触させるよう
に設けられたカム溝とが形成され、前記カム溝に挿通可
能なカムピンが設けられ、前記カム溝に対して前記カム
ピンを挿通・解除する挿通手段が設けられたことを特徴
とする。
に、本発明は、ワークを載置可能な回転テーブルと、こ
の回転テーブルの駆動手段と、ワークの表面に対して表
面被覆剤を滴下する滴下手段と、回転テーブルを上側か
ら覆う上カップと、回転テーブルを下側から覆う下カッ
プとを具備しており、回転テーブルには可動板が回転テ
ーブルに載置されるワークに対して接離するように移動
可能に設けられ、この可動板には、ワーク端面に接触可
能な接触辺と、該接触辺をワーク端面に接触させるよう
に設けられたカム溝とが形成され、前記カム溝に挿通可
能なカムピンが設けられ、前記カム溝に対して前記カム
ピンを挿通・解除する挿通手段が設けられたことを特徴
とする。
【0010】
【作用】上記の構成を有する本発明においては、挿通手
段がカムピンを可動板のカム溝に挿通し、駆動手段によ
り回転テーブルと共に可動板が水平方向に回動すると、
カムピンは固定されたままの状態で、カム溝に沿って可
動板を押し、可動板はスライド移動して、ワーク端面に
可動板の接触辺が接触する。
段がカムピンを可動板のカム溝に挿通し、駆動手段によ
り回転テーブルと共に可動板が水平方向に回動すると、
カムピンは固定されたままの状態で、カム溝に沿って可
動板を押し、可動板はスライド移動して、ワーク端面に
可動板の接触辺が接触する。
【0011】ワーク端面に対する可動板の接触動作を行
った後、挿通手段がカムピンをカム溝から解除し、この
状態で滴下手段がワーク表面に表面被覆剤を滴下し、回
転テーブルごとワークが回転して遠心力により表面被覆
剤が均一に広がり、ムラなく塗布処理を行うことができ
る。この時、ワーク端面に接触する可動板の接触辺がワ
ークの端面及び裏面に表面被覆剤が回り込むことを防止
するため、ここに処理剤が付着することがない。従っ
て、ワーク端面にて余分な絶縁や短絡が発生する恐れが
なく、また表面被覆剤を除去するための洗浄工程も不要
となる。その結果、ワークの製造に係る費用及び時間を
削減することができ、且つワークの精度、性能及び外観
の低下を防止できる。
った後、挿通手段がカムピンをカム溝から解除し、この
状態で滴下手段がワーク表面に表面被覆剤を滴下し、回
転テーブルごとワークが回転して遠心力により表面被覆
剤が均一に広がり、ムラなく塗布処理を行うことができ
る。この時、ワーク端面に接触する可動板の接触辺がワ
ークの端面及び裏面に表面被覆剤が回り込むことを防止
するため、ここに処理剤が付着することがない。従っ
て、ワーク端面にて余分な絶縁や短絡が発生する恐れが
なく、また表面被覆剤を除去するための洗浄工程も不要
となる。その結果、ワークの製造に係る費用及び時間を
削減することができ、且つワークの精度、性能及び外観
の低下を防止できる。
【0012】以上のように本発明においては、駆動手段
の回転力を利用して可動板の接離動作を行うことができ
るため、カムピンを水平方向に移動させるスライド手段
が不要となる。従って、スピンコーターの構成の簡略化
を進めることができる。
の回転力を利用して可動板の接離動作を行うことができ
るため、カムピンを水平方向に移動させるスライド手段
が不要となる。従って、スピンコーターの構成の簡略化
を進めることができる。
【0013】
【実施例】以上の本発明の一実施例について図1〜図3
を参照して具体的に説明する。本実施例は、長方形状の
ワーク10の表面10aに対して表面被覆剤13を塗布
するスピンコーターであり、可動板19を有することを
特徴としている。尚、本発明は正面から見て左右対称に
設けられているため、図では右側部分のみを示し、左側
部分は省略した。
を参照して具体的に説明する。本実施例は、長方形状の
ワーク10の表面10aに対して表面被覆剤13を塗布
するスピンコーターであり、可動板19を有することを
特徴としている。尚、本発明は正面から見て左右対称に
設けられているため、図では右側部分のみを示し、左側
部分は省略した。
【0014】まず本実施例の構成に関して説明する。本
実施例のスピンコーターは基本的に、回転テーブル11
と、この回転テーブル11を駆動する駆動モータ12
と、前記回転テーブル11の上方に表面被覆剤13を滴
下する滴下手段14とを備えている。
実施例のスピンコーターは基本的に、回転テーブル11
と、この回転テーブル11を駆動する駆動モータ12
と、前記回転テーブル11の上方に表面被覆剤13を滴
下する滴下手段14とを備えている。
【0015】回転テーブル11の上部にはワーク10を
載置するワーク台15が固定されている。ワーク台15
はワーク10より一回り小さい長方形状の載置面を有し
ている。このワーク台15の載置面には、図示しないが
ワーク10をワーク台15に固定するためのバキューム
吸着穴が設けられている。又、回転テーブル11の外周
には回転テーブル11を下から覆う下カップ16が取り
付けられている。更に、回転テーブル11の上方には回
転テーブル11を上から覆う上カップ17が設けられて
いる。
載置するワーク台15が固定されている。ワーク台15
はワーク10より一回り小さい長方形状の載置面を有し
ている。このワーク台15の載置面には、図示しないが
ワーク10をワーク台15に固定するためのバキューム
吸着穴が設けられている。又、回転テーブル11の外周
には回転テーブル11を下から覆う下カップ16が取り
付けられている。更に、回転テーブル11の上方には回
転テーブル11を上から覆う上カップ17が設けられて
いる。
【0016】又、ワーク台15の外周には支持盤18が
取り付けられている。この支持盤18上に一対の可動板
19が設けられている。図2及び図3に示すように、可
動板19の内側(図中左側)の縁部は接触辺19aと成
る。この接触辺19aはワーク10の端面10bに接触
するようになっている。又、可動板19の図中右寄りに
は、図中左上から右下へ傾斜するカム溝19bが設けら
れている。更に、可動板19の両端部付近にはガイドピ
ン19c,19cが設置されている。
取り付けられている。この支持盤18上に一対の可動板
19が設けられている。図2及び図3に示すように、可
動板19の内側(図中左側)の縁部は接触辺19aと成
る。この接触辺19aはワーク10の端面10bに接触
するようになっている。又、可動板19の図中右寄りに
は、図中左上から右下へ傾斜するカム溝19bが設けら
れている。更に、可動板19の両端部付近にはガイドピ
ン19c,19cが設置されている。
【0017】一対の可動板19は相互に対称的に移動
し、且つワーク端面10bに接触辺19aが接触する接
触位置(図3に示す位置)と、ワーク10から離脱する
離脱位置(図2に示す位置)との間を水平方向にスライ
ド移動する。更に、支持盤18には略円弧状のガイド溝
18a,18aと、回転テーブル11の回転中心と同軸
の円弧状のガイド溝18bとが設けられている。このガ
イド溝18aには可動板19,19のガイドピン19c
が、ガイド溝18bには後述するカムピン26が、にそ
れぞれ挿通されている。
し、且つワーク端面10bに接触辺19aが接触する接
触位置(図3に示す位置)と、ワーク10から離脱する
離脱位置(図2に示す位置)との間を水平方向にスライ
ド移動する。更に、支持盤18には略円弧状のガイド溝
18a,18aと、回転テーブル11の回転中心と同軸
の円弧状のガイド溝18bとが設けられている。このガ
イド溝18aには可動板19,19のガイドピン19c
が、ガイド溝18bには後述するカムピン26が、にそ
れぞれ挿通されている。
【0018】又、下カップ16において可動板19の下
方に相当する位置には、貫通穴20が開口されている。
この貫通穴20にはこの貫通穴20を上方から開閉する
蓋部21が取り付けられている。蓋部21には蓋部21
の開閉を制御する伸縮可能な開閉用シリンダ22が取り
付けられている。
方に相当する位置には、貫通穴20が開口されている。
この貫通穴20にはこの貫通穴20を上方から開閉する
蓋部21が取り付けられている。蓋部21には蓋部21
の開閉を制御する伸縮可能な開閉用シリンダ22が取り
付けられている。
【0019】ところで、駆動モータ12に近接して断面
形状がL字形の支持部材23が設けられている。支持部
材23の上下方向に延びる側縁部には上下方向に延びる
レール24が設けられている。このレール24にはスラ
イダ25が摺動自在に嵌着されている。スライダ25に
カムピン26が立ち上げられている。このカムピン26
は貫通穴20、ガイド溝18b及びカム溝19bに挿通
するようになっている。更に、スライダ25にはスライ
ダ25を昇降させるロッドレスシリンダ27が設けられ
ている。
形状がL字形の支持部材23が設けられている。支持部
材23の上下方向に延びる側縁部には上下方向に延びる
レール24が設けられている。このレール24にはスラ
イダ25が摺動自在に嵌着されている。スライダ25に
カムピン26が立ち上げられている。このカムピン26
は貫通穴20、ガイド溝18b及びカム溝19bに挿通
するようになっている。更に、スライダ25にはスライ
ダ25を昇降させるロッドレスシリンダ27が設けられ
ている。
【0020】上記の構成を有する本実施例においては、
各部材は次のような動作をとる。まず、図示しない搬送
手段によりワーク台15にワーク10を載置する。この
時、ワーク10の端面10bはワーク台15より外方に
飛び出ている。又、可動板19は離脱位置(図2に示す
位置)にあり、カムピン26は下カップ16下方に位置
している。更に開閉用シリンダ22は延びており、蓋部
21は開いている。
各部材は次のような動作をとる。まず、図示しない搬送
手段によりワーク台15にワーク10を載置する。この
時、ワーク10の端面10bはワーク台15より外方に
飛び出ている。又、可動板19は離脱位置(図2に示す
位置)にあり、カムピン26は下カップ16下方に位置
している。更に開閉用シリンダ22は延びており、蓋部
21は開いている。
【0021】この様な状態から、まずロッドレスシリン
ダ27が駆動してスライダ25がレール24に沿って上
昇する。スライダ25と共にカムピン26が上昇し、貫
通穴20及びガイド溝18bを貫通して可動板19のカ
ム溝19bに挿通する。続いて、駆動モータ12が駆動
して回転テーブル11ごとワーク台15及び支持盤18
が時計回転方向に回動する。
ダ27が駆動してスライダ25がレール24に沿って上
昇する。スライダ25と共にカムピン26が上昇し、貫
通穴20及びガイド溝18bを貫通して可動板19のカ
ム溝19bに挿通する。続いて、駆動モータ12が駆動
して回転テーブル11ごとワーク台15及び支持盤18
が時計回転方向に回動する。
【0022】この時、固定されたカムピン26がカム溝
19bに沿って可動板19を押し、可動板19はスライ
ド移動する。なお、カムピン26はガイド溝18b内を
円弧状に移動する。この時、ガイド溝18a,18a内
をガイドピン19c,19cが摺動して可動板19の移
動をガイドしつつ、可動板19の接触辺19bがワーク
10の端面10bから接触する(図2から図3へ)。
19bに沿って可動板19を押し、可動板19はスライ
ド移動する。なお、カムピン26はガイド溝18b内を
円弧状に移動する。この時、ガイド溝18a,18a内
をガイドピン19c,19cが摺動して可動板19の移
動をガイドしつつ、可動板19の接触辺19bがワーク
10の端面10bから接触する(図2から図3へ)。
【0023】その後、ロッドレスシリンダ27が逆方向
に駆動し、第1のスライダ25が第1のレール24に沿
って下降する。そのため第1のスライダ25と共にカム
ピン26が下降し、カムピン26はカム溝19b及びガ
イド溝18bから外れ、貫通穴20を通過して初期位置
まで下降する。更に、開閉用シリンダ22が蓋部21を
閉じるように動作して貫通穴20は閉状態となる。
に駆動し、第1のスライダ25が第1のレール24に沿
って下降する。そのため第1のスライダ25と共にカム
ピン26が下降し、カムピン26はカム溝19b及びガ
イド溝18bから外れ、貫通穴20を通過して初期位置
まで下降する。更に、開閉用シリンダ22が蓋部21を
閉じるように動作して貫通穴20は閉状態となる。
【0024】この様にワーク端面10bに可動板19が
接触し、貫通穴20が閉じた状態で、滴下手段14がワ
ーク表面10aに表面被覆剤13を滴下し、駆動モータ
12の駆動力を受けて回転するワーク台15ごとワーク
10が回転し、遠心力により表面被覆剤13を均一にワ
ーク表面10a上に塗布することができる。
接触し、貫通穴20が閉じた状態で、滴下手段14がワ
ーク表面10aに表面被覆剤13を滴下し、駆動モータ
12の駆動力を受けて回転するワーク台15ごとワーク
10が回転し、遠心力により表面被覆剤13を均一にワ
ーク表面10a上に塗布することができる。
【0025】又、ワーク表面10aに対する表面被覆剤
13の塗布処理が完了すると、まずロッドレスシリンダ
27が逆方向に駆動して、スライダ25がレール24に
沿って上昇し、スライダ25と共にカムピン26が上昇
する。カムピン26の上昇動作と同時に開閉用シリンダ
22が蓋部21を開けるように動作して、貫通穴20は
開状態となる。
13の塗布処理が完了すると、まずロッドレスシリンダ
27が逆方向に駆動して、スライダ25がレール24に
沿って上昇し、スライダ25と共にカムピン26が上昇
する。カムピン26の上昇動作と同時に開閉用シリンダ
22が蓋部21を開けるように動作して、貫通穴20は
開状態となる。
【0026】従って、上昇するカムピン26が貫通穴2
0及びガイド溝18bを通過して、カムピン26は可動
板19のカム溝19bに再度挿通する。続いて、駆動モ
ータ12が駆動して回転テーブル11ごとワーク台15
及び支持盤18が反時計回転方向に回動する。この時、
カムピン26は固定されたまま、ガイド溝18a内を摺
動しつつ、カム溝19bに沿って可動板19を押し、可
動板19は逆方向にスライド移動する。従って、ガイド
ピン19c,19cがガイド溝18a,18a内を摺動
して可動板19の移動をガイドしつつ、可動板19の接
触辺19bがワーク10の端面10bから離脱する(図
3から図2へ)。
0及びガイド溝18bを通過して、カムピン26は可動
板19のカム溝19bに再度挿通する。続いて、駆動モ
ータ12が駆動して回転テーブル11ごとワーク台15
及び支持盤18が反時計回転方向に回動する。この時、
カムピン26は固定されたまま、ガイド溝18a内を摺
動しつつ、カム溝19bに沿って可動板19を押し、可
動板19は逆方向にスライド移動する。従って、ガイド
ピン19c,19cがガイド溝18a,18a内を摺動
して可動板19の移動をガイドしつつ、可動板19の接
触辺19bがワーク10の端面10bから離脱する(図
3から図2へ)。
【0027】以上述べたように本実施例によれば、ワー
ク10回転時、ワーク端面10bには可動板19が接触
しているため、ワーク端面10b及び裏面10cに表面
被覆剤13が回り込むことがなく、ここに処理剤13が
付着することがない。従って、端面1bに余分な絶縁や
短絡が発生する恐れがなく、また表面被覆剤13を除去
するための洗浄工程も必要ない。その結果、ワーク10
の製造に係る費用及び時間を削減することができ、且つ
ワーク10の精度、性能及び外観の低下を防止できる。
ク10回転時、ワーク端面10bには可動板19が接触
しているため、ワーク端面10b及び裏面10cに表面
被覆剤13が回り込むことがなく、ここに処理剤13が
付着することがない。従って、端面1bに余分な絶縁や
短絡が発生する恐れがなく、また表面被覆剤13を除去
するための洗浄工程も必要ない。その結果、ワーク10
の製造に係る費用及び時間を削減することができ、且つ
ワーク10の精度、性能及び外観の低下を防止できる。
【0028】しかも、本実施例では駆動モータ12の回
転力を利用して可動板19の接離動作を行うことができ
るため、カムピン26を水平方向に移動させるスライド
手段が不要である。従って、スピンコーターの構成の簡
略化を進めることができる。
転力を利用して可動板19の接離動作を行うことができ
るため、カムピン26を水平方向に移動させるスライド
手段が不要である。従って、スピンコーターの構成の簡
略化を進めることができる。
【0029】又、貫通穴20は閉状態であるため、下カ
ップ16が回転テーブル11を下方から完全に覆ってい
る。従って、回転テーブル11が回転して表面被覆剤1
3がワーク10から飛び散っても、貫通穴20から表面
被覆剤13が飛び出すことがなく、表面被覆剤13がワ
ーク10周囲の作業員等にかかる心配がない。
ップ16が回転テーブル11を下方から完全に覆ってい
る。従って、回転テーブル11が回転して表面被覆剤1
3がワーク10から飛び散っても、貫通穴20から表面
被覆剤13が飛び出すことがなく、表面被覆剤13がワ
ーク10周囲の作業員等にかかる心配がない。
【0030】更に本実施例においては、回転テーブル1
1の上方に可動板19を動作させる部材が設置されてい
ないので、塗布処理後のワーク10の交換作業等の作業
スペースを十分に確保することができる。
1の上方に可動板19を動作させる部材が設置されてい
ないので、塗布処理後のワーク10の交換作業等の作業
スペースを十分に確保することができる。
【0031】なお、本発明は以上のような実施例に限定
されるものではなく、例えば可動板の形状や寸法、およ
び設置数はワークに合せて適宜変更可能であり、カムピ
ンをカム溝に挿通させる挿通手段、及びその設置箇所も
適宜選択可能である。例えば、挿通手段を下カップの上
面側に配設することによって上記の実施例から貫通穴2
0、蓋部21及び開閉用シリンダ22を省くことも可能
である。又、蓋部21を閉状態側に付勢し、開閉用シリ
ンダ22に代えてカムピン26の昇降により蓋部21の
開閉動作を行うことも可能である。
されるものではなく、例えば可動板の形状や寸法、およ
び設置数はワークに合せて適宜変更可能であり、カムピ
ンをカム溝に挿通させる挿通手段、及びその設置箇所も
適宜選択可能である。例えば、挿通手段を下カップの上
面側に配設することによって上記の実施例から貫通穴2
0、蓋部21及び開閉用シリンダ22を省くことも可能
である。又、蓋部21を閉状態側に付勢し、開閉用シリ
ンダ22に代えてカムピン26の昇降により蓋部21の
開閉動作を行うことも可能である。
【0032】更に、本発明は、図5に示すような他の実
施例を含むものである。この実施例は、上カップ上方に
カムピン26を設けたものである。このカムピン26
は、その昇降手段であるアクチュエータ31に取り付け
られており、ワーク台15を上方から覆う蓋33の上方
に配置され、下降動作(図中矢印b)を行う時、蓋33
を上方から貫通する。なお、32はアクチュエータ31
を支持する取付台であり、この取付台32は基台34に
設置されている。基台34は、レール37をスライダ3
6が摺動することによってガイドされつつロッドレスシ
リンダ38の昇降動作により上下動を行うようになって
いる。
施例を含むものである。この実施例は、上カップ上方に
カムピン26を設けたものである。このカムピン26
は、その昇降手段であるアクチュエータ31に取り付け
られており、ワーク台15を上方から覆う蓋33の上方
に配置され、下降動作(図中矢印b)を行う時、蓋33
を上方から貫通する。なお、32はアクチュエータ31
を支持する取付台であり、この取付台32は基台34に
設置されている。基台34は、レール37をスライダ3
6が摺動することによってガイドされつつロッドレスシ
リンダ38の昇降動作により上下動を行うようになって
いる。
【0033】以上のような実施例においては、ロッドレ
スシリンダ38が下降動作(図中矢印a)を行い、蓋3
3がワーク台15を上方から覆った時点で、アクチュエ
ータ31が動作して、カムピン26の下降動作を行う。
これにより、上記実施例と同じように、カムピン26が
ガイド溝18a,18aに貫通する。そして、図示しな
いカムピン26のスライド手段により可動板19を移動
させることによって、上記実施例と同様の作用効果を発
揮することができる。しかも、この実施例によれば、カ
ムピン26を駆動させる昇降手段及びスライド手段をワ
ーク台15の上部に取り付けることができるため、取付
作業の容易化を図ることが可能となる。
スシリンダ38が下降動作(図中矢印a)を行い、蓋3
3がワーク台15を上方から覆った時点で、アクチュエ
ータ31が動作して、カムピン26の下降動作を行う。
これにより、上記実施例と同じように、カムピン26が
ガイド溝18a,18aに貫通する。そして、図示しな
いカムピン26のスライド手段により可動板19を移動
させることによって、上記実施例と同様の作用効果を発
揮することができる。しかも、この実施例によれば、カ
ムピン26を駆動させる昇降手段及びスライド手段をワ
ーク台15の上部に取り付けることができるため、取付
作業の容易化を図ることが可能となる。
【0034】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の可動板を有
するスピンコーターによれば、可動板がワーク端面及び
裏面への表面被覆剤の付着を防止でき、且つ駆動手段の
回転力を利用して可動板のワークに対する接離動作を行
うことができるため、カムピンを水平方向に移動させる
スライド手段が不要となり、構成の簡略化が向上した。
するスピンコーターによれば、可動板がワーク端面及び
裏面への表面被覆剤の付着を防止でき、且つ駆動手段の
回転力を利用して可動板のワークに対する接離動作を行
うことができるため、カムピンを水平方向に移動させる
スライド手段が不要となり、構成の簡略化が向上した。
【図1】本発明の可動板を有するスピンコーターの一実
施例の右側正面図
施例の右側正面図
【図2】本実施例の要部平面図(可動板の離脱状態)
【図3】本実施例の要部平面図(可動板の接触状態)
【図4】本発明の他の実施例の右側正面図
【図5】従来のスピンコーターにより回転するワーク端
面を模式的に示した拡大側面図
面を模式的に示した拡大側面図
10 ワーク 11 回転テーブル 12 駆動モータ 13 表面被覆剤 14 滴下手段 15 ワーク台 16 下カップ 17 上カップ 18 支持盤 19 可動板 20 貫通穴 21 蓋部 22 開閉用シリンダ 23 支持部材 24 レール 25 スライダ 26 カムピン 27 ロッドレスシリンダ
Claims (1)
- 【請求項1】 ワークを載置可能な回転テーブルと、こ
の回転テーブルの駆動手段と、前記ワークの表面に対し
て表面被覆剤を滴下する滴下手段と、前記回転テーブル
を上側から覆う上カップと、前記回転テーブルを下側か
ら覆う下カップとを具備したスピンコーターにおいて、 前記回転テーブルには可動板が前記ワークに対して接離
するように移動可能に設けられ、 前記可動板には、前記ワーク端面に接触可能な接触辺
と、この接触辺をワーク端面に接離させるように設けら
れたカム溝とが形成され、 前記カム溝に挿通可能なカムピンが設けられ、 前記カム溝に対して前記カムピンを挿通・解除する挿通
手段が設けられたことを特徴とする可動板を有するスピ
ンコーター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10566192A JPH05283329A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 可動板を有するスピンコーター |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10566192A JPH05283329A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 可動板を有するスピンコーター |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05283329A true JPH05283329A (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=14413626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10566192A Pending JPH05283329A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 可動板を有するスピンコーター |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05283329A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7101588B2 (en) * | 2001-12-28 | 2006-09-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for applying liquid material to form a resin layer |
JP2008034768A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-14 | Tokyo Electron Ltd | 薄膜除去装置及び薄膜除去方法 |
JP2008218535A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
KR100954895B1 (ko) * | 2003-05-14 | 2010-04-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 박막제거장치 및 박막제거방법 |
-
1992
- 1992-03-31 JP JP10566192A patent/JPH05283329A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7101588B2 (en) * | 2001-12-28 | 2006-09-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for applying liquid material to form a resin layer |
KR100954895B1 (ko) * | 2003-05-14 | 2010-04-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 박막제거장치 및 박막제거방법 |
JP2008034768A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-14 | Tokyo Electron Ltd | 薄膜除去装置及び薄膜除去方法 |
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