CN1241191C - 光盘的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的是提供一种防止用于操作盖罩的支杆的污染的光盘制造方法。本发明具有：对具有一个面是凸面的圆形伞部(41)、和从伞部(41)的凸面中心突出设置的操作用突起(43)的盖罩(40)的操作用突起(43)进行操作，将盖罩(40)载置在成膜基片(10′)中心部的载置工序；在盖罩(40)的伞部(41)的凸面滴下液状物质的滴下工序；一体地旋转成膜基片(10′)和盖罩(40)使液状物质涂敷在成膜基片(10′)表面的旋转涂敷工序。这样，应涂敷的液状物质就不会附着在用于操作盖罩(40)的支杆上。

Description

光盘的制造方法

技术领域

本发明涉及光盘的制造方法和光盘制造装置，更详细地说，本发明涉及包含用旋转涂敷法涂敷液状物质的工序的光盘制造方法、和采用这种方法的光盘制造装置。

背景技术

近年来，作为用于记录大容量数字数据的记录媒体，广泛使用以CD和DVD为代表的光盘。一般来说，再生专用光盘是从再生光入射面侧开始按光透过层、反射层、保护层的顺序，叠层各个层而构成；可写入光盘是从再生光入射面侧开始按光透过层、记录层、反射层、保护层的顺序，叠层各个层而构成，不管是哪种类型的光盘，在数据读出时，都是从光透过层侧照射激光，检出该反射光。

图14是表示作为最一般的再生专用光盘的CD-ROM的层构成的剖面图。

如图14所示，CD-ROM由厚度约1.2mm的光透过层1、厚度约50nm的反射层2、厚度约5μm的保护层3构成，一般来说，光透过层1由预先形成凹坑的聚碳酸酯构成，反射层2由铝构成，保护层3由紫外线硬化性树脂构成。在具有这种构成的CD-ROM制作中，首先，使用原模注射模型成型具有与应记录的数字数据对应的凹坑的光透过层1，然后，在光透过层1中，在形成凹坑的面上用溅射法使铝成膜，形成反射层2。接着，在反射层2的表面用旋转敷层法形成紫外线硬化性树脂，制成保护层3。这样，即制成了由光透过层1、反射层2和保护层3构成的CD-ROM。

形成保护层3的旋转涂敷法，作为涂敷液状物质的方法不仅是光盘的制造方法，也是一种在半导体装置制造中广泛使用的方法。但是，用旋转涂敷法形成的膜的膜厚，在远离滴下紫外线硬化性树脂部分(滴下点)的外侧部分大致是均匀的，在滴下点附近，越接近滴下点则有急速变薄的倾向，为了在光盘记录面上形成凹坑的区域(记录区域)尽可能均匀地形成保护层3，理想的情况是将光盘的中心部作为滴下点。然而，在光盘的中心部，由于一般是形成用于驱动用卡紧的孔，因此不可能就那样将光盘的中心部作为滴下点。为此，在日本特开平10-320850号公报、特开平10-249264号公报、特开平10-289489号公报、特开平11-195250号公报、特开平11-195251号公报、特开平11-203724号公报、特开平11-213459号公报中，都提出了用盖罩塞住光盘中心部的孔，在盖罩的中心部分滴下紫外线硬化性树脂的方案。

但是，在上述各公报记载的方法中，由于用紫外线硬化性树脂覆盖了整个盖罩上面，则在盖罩的操作中将产生各种问题。例如，在该公报记录的方法中，紫外线硬化性树脂将不可避免地附着在用于操作盖罩的支杆上，不仅支杆被紫外线硬化性树脂污染，而且担心在制造装置的其他部分和其他制造装置也将附着紫外线硬化性树脂，因此将使整个制造工序的可靠性变坏。附着在支杆上的紫外线硬化性树脂，可考虑由设置支杆洗净工序除去，然而，整个制造工序复杂化了。

上述各公报记载的方法，也存在在形成的膜中容易卷入具有该膜厚以下直径的气泡的问题。这个问题在形成CD-ROM的保护层3时还不是很大问题，但对于下个世代型的光记录媒体来说，在形成通过从与基片的反面照射激光进行数据的记录和/或再生类型的光记录媒体的光透过层时，则是重大问题。

例如，对于记录磁道间距为0.3μm、光透过层厚度约100μm的下个世代型的光记录媒体，在光透过层中存在10μm×10μm大小的气泡的情况下，当设定位长为0.130μm进行记录/再生时，则在记录/再生时将产生连续76位的大规模误差，并且，在以磁盘1周为1磁道时，将产生跨越33磁道的大规模误差。比50μm大的气泡，将对光拾波器的跟踪随动系统和聚焦随动系统产生不良影响，是不能订正的误差的原因，也是造成跟踪失误和聚焦失误的主要原因。

发明内容

本发明的目的是提供改进的光盘制造方法和光盘制造装置。

本发明的另一个目的是提供改进的、包含用旋转涂敷法涂敷液状物质的工序的光盘制造方法和光盘制造装置。

本发明的进一步目的是提供防止污染用于操作盖罩的支杆的光盘制造方法和光盘制造装置。

本发明的进一步目的是提供可以防止向光透过层混入气泡的光盘制造方法。

本发明的目的由具有以下工序的光盘制造方法来达到，即：对具有一个面是凸面的圆形伞部、和从上述伞部的上述凸面的中心突出设置的操作用突起的盖罩的上述操作用突起进行操作，将上述盖罩载置在成膜基片的大致中心部；在上述盖罩的上述伞部的上述凸面滴下紫外线硬化性树脂；通过一体地旋转上述成膜基片和上述盖罩，借助旋转涂敷法将上述紫外线硬化性树脂涂敷在上述成膜基片的表面；一边用直径比上述伞部的直径大的第一紫外线掩模覆盖上述成膜基片的中央部，一边在上述成膜基片表面形成的上述紫外线硬化性树脂上照射紫外线、使上述紫外线硬化性树脂硬化。

本发明中，由于在盖罩上具有用于操作的突起，并将应涂敷的液状物质的滴下点作为盖罩的伞部，则在用于操作盖罩的支杆上不会附着应涂敷的液状物质。因此，大大地减少了在制造装置等上附着应涂敷的液状物质而造成污染的危险，可以提高整个制造工序的可靠性，不必再设置支杆的洗净工序。

本发明的理想实施例中，上述盖罩还具有在上述伞部的上述凸面的反面设置的位置决定部，使用上述位置决定部将上述盖罩载置在成膜基片的大致中心部。

按照本发明的理想实施例，由于在盖罩设置了位置决定部，则能够容易地进行载置工序。

本发明的另一个理想实施例中，上述盖罩的上述伞部具有越向外周部厚度越薄的形状，上述盖罩的上述位置决定部由从上述伞部的上述反面的中心突出设置的位置决定用突起构成。

本发明的另一个理想实施例中，进而，在将上述盖罩载置在成膜基片的大致中心部之后，在上述盖罩的上述伞部的上述凸面滴下紫外线硬化性树脂之前，吸引上述盖罩的上述位置决定用突起，将上述盖罩的上述伞部的最外周部按压在上述成膜基片的表面。

按照本发明的该理想实施例，可以提高伞部表面和成膜基片表面的平坦性，从而可使在旋转涂敷工序中涂敷的液状物质的膜厚更为均匀。

本发明的另一个理想实施例中，上述液状物质是紫外线硬化性树脂。

本发明的再一个理想实施例中，还具有：一边用第一紫外线掩模覆盖上述成膜基片的中央部，一边在上述成膜基片表面形成的上述紫外线硬化性树脂上照射紫外线、使其硬化的第一紫外线照射工序；上述第一紫外线掩模的直径大于上述盖罩的上述伞部的直径。

本发明的再一个理想实施例中，用上述第一紫外线掩模覆盖上述成膜基片的中央部，同时，在上述成膜基片的表面形成的上述紫外线硬化性树脂上照射紫外线，使上述紫外线硬化性树脂硬化之后，进而操作上述盖罩的上述操作用突起，将上述盖罩从上述成膜基片的表面除去，一边用第二紫外线掩模覆盖上述成膜基片的除了上述中央部的部分，一边在上述成膜基片的表面形成的上述紫外线硬化性树脂上照射紫外线，使上述紫外线硬化性树脂硬化。

本发明的另一个理想实施例中，上述盖罩由塑料构成。

本发明的另一个理想实施例中，上述盖罩由聚烯烃构成。

按照本发明的理想实施例，由于盖罩和紫外线硬化性树脂的亲和性比较低，则比较容易进行作为盖罩材料的聚烯烃和紫外线硬化性树脂的分离。

本发明的光盘制造装置具有：对具有一个面是凸面的圆形伞部、和从上述伞部的上述凸面的中心突出设置的操作用突起的盖罩的上述操作用突起进行操作的部件；在成膜基片大致中心部载置的上述盖罩的上述伞部的上述凸面上滴下液状物质的部件；一体地旋转上述成膜基片和上述盖罩的部件。

本发明的光盘制造装置是采用旋转涂敷法在成膜基片表面涂敷液状物质的光盘制造装置，其特征是具有：载置上述成膜基片的可旋转工作台；将上述成膜基片固定在上述工作台的第一吸引部件；搬送盖罩并将其载置在上述工作台上的上述成膜基片中央部分的支杆；将上述盖罩固定在上述成膜基片的第二吸引部件。上述第二吸引部件最好包含对上述盖罩进行位置确定的吸引口。

本发明的上述目的由光信息媒体制造方法完成，其光信息媒体是在具有中心孔的盘状支持基体上，顺次具有信息记录层和含有树脂的光透过层，用于记录或再生的激光射束通过上述光透过层入射到上述信息记录层；该制造方法具有：

在上述支持基体上设置上述信息记录层后，用具有圆板部的闭塞部件的上述圆板部覆盖上述支持基体的中心孔，接着，将含有紫外线硬化性树脂的涂敷液供给上述圆板部，然后，通过一体地旋转上述闭塞部件和上述支持基体，使上述涂敷液在上述支持基体上延展、形成环状树脂层，用直径比上述圆板部的直径大的第一紫外线掩模覆盖上述支持基体的中央部，同时，在上述环状的树脂层上照射紫外线、使上述环状的树脂层硬化，形成上述光透过层的工序。

在上述涂敷液接触的上述圆板部表面的至少一部分，使用满足至少以下条件之一的闭塞部件，即：

(1)中心线平均粗糙度Ra为100nm以下

(2)十点平均粗糙度Rz为1μm以下

(3)粗糙度的平均倾斜角θa为1°以下。

本发明的理想实施例中，上述闭塞部件利用树脂的注射模塑成形制成。

本发明的理想实施例中，在上述闭塞部件上设有从上述圆板部表面的中心部分突出的操作用突起。

本发明的发明者们反复研究的结果发现：在闭塞部件表面，通过控制供给涂敷液区域的表面粗糙度，显著地减少了混入到光透过层中的气泡数量。

本发明中，利用降低材料成本的旋转涂敷法，而且，使用可在媒体半径方向抑制光透过层的厚度不均匀的闭塞部件以后，即能抑制向光透过层中的气泡混入，以低成本提供高性能的光信息媒体。

若按照本发明控制闭塞部件的表面粗糙度，则可不依靠闭塞部件的构成材料实现上述效果。

例如，使用不锈钢等金属材料，经切削等加工部件制成闭塞部件，再对其表面进行镜面研磨，可以降低表面粗糙度。但是，必须经切削和表面研磨加工的金属制闭塞部件，由于制造费用较高，所以反复使用为前提。然而，使用一次的闭塞部件，因其表面附着了涂敷液，不易于再利用。因此，为了反复使用，每使用一次都必需洗净闭塞部件，增加了洗净费用。而且，为了减少洗净带来的时间损失，必需准备多个闭塞部件，进一步提高了成本。

此外，为了减低金属制闭塞部件的表面粗糙度，也可利用研磨以外的方法。例如，用紫外线硬化型树脂等各种树脂对闭塞部件表面进行涂敷，也可以得到本发明限定的表面粗糙度。使用紫外线硬化型树脂时，在涂敷后可以进行硬化也可以不进行硬化。但有时，在进行树脂涂敷时，在涂敷膜表面附着了灰尘，或由于在涂敷时向闭塞部件背面蔓延的树脂，使闭塞部件贴在支持基体侧。灰尘附着在闭塞部件表面的涂敷膜时，是旋转涂敷时缺点产生的原因，担心不能得到均匀的光透过层。并且，由涂敷时向闭塞部件背面蔓延的树脂使闭塞部件和支持基体形成粘结状态时，有时将引起旋转涂敷装置动作上的不协调。

本发明中，最好是采用树脂注射模塑成形制作闭塞部件。用注射模塑成形法，能以低成本大量生产表面粗糙度小的闭塞部件。因此，闭塞部件可以用完扔掉。构成闭塞部件的树脂，由于可以与支持基体构成材料相同(例如聚碳酸酯树脂)，则可通过同一材料的大量供应而降低材料成本。并且，当利用注射模塑成形制作支持基体时，由于可对排出的剩余树脂再利用，制作闭塞部件，则可减少废弃物。

利用本发明的方法可制造的光盘种类，没有特别的限制，不仅是例如CD-ROM、CD-R、CD-RW、DVD-ROM、DVD-R、DVD-RW等保护膜用旋转涂敷法成膜类型的光盘，也可以制造光透过层用旋转涂敷法成膜类型的光盘。

附图说明

图1是概略表示用本发明的理想实施例的方法制造的光盘10的剖面图。

图2(a)是概略表示用于实现本发明理想实施例的方法的制造装置20主要部分的立体图，图2(b)是其概略剖面图。

图3是表示本发明理想实施例的光盘制造方法的一个工序(搬入工序)的图。

图4是表示本发明理想实施例的光盘制造方法的一个工序(成膜基片10’的载置工序)的图。

图5是表示本发明理想实施例的光盘制造方法的一个工序(盖罩40的载置工序)的图。

图6是表示盖罩40形状的概略立体图。

图7是表示本发明理想实施例的光盘制造方法的一个工序(紫外线硬化性树脂50的滴下工序)的图。

图8是表示本发明理想实施例的光盘制造方法的一个工序(旋转涂敷工序)的图。

图9是表示本发明理想实施例的光盘制造方法的一个工序(第一紫外线照射工序)的图。

图10是表示本发明理想实施例的光盘制造方法的一个工序(盖罩40的除去工序)的图。

图11是表示本发明理想实施例的光盘制造方法的一个工序(第二紫外线照射工序)的图。

图12是表示本发明理想实施例的光盘制造方法的一个工序(搬出工序)的图。

图13(A)～(E)是分别表示盖罩70～110构造的概略剖面图。

图14是表示CD-ROM层构成的剖面图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的理想实施例。

图1是概略表示利用本实施例的方法制造的光盘(光记录媒体)10的剖面图。

如图1所示，光盘10由厚度约1.1m的基片11、厚度约70～130nm的反射层12、厚度约100～250nm的记录层13、厚度约50～150μm的光透过层14构成。在光盘10的中央部分设有孔15。基片11由聚碳酸酯构成，反射层12由以银为主要成分的合金构成。记录层13实际上具有用电介质膜夹住记录数据的相变化膜上下的多层构造。光透过层14由紫外线硬化性树脂构成。当进行具有上述构造的光盘10的数据读出时，从光透过层14侧照射读出用激光并检出其反射光通量差。当向光盘10进行数据写入时，从光透过层14侧照射写入用激光，使记录层13的状态(相变化膜的结晶构造)变化。

利用本实施例的方法制造的光盘10是光透过层14用旋转涂敷法成膜类型的光盘。但是，如上所述，利用本发明的方法能制造的光盘的种类，不限定于此，也包含保护膜用旋转敷层法成膜类型的光盘(例如CD-ROM)。

图2(a)是概略表示用于实现本实施例的方法的制造装置20主要部分的立体图，图2(b)是其概略剖面图。

如图2(a)和(b)所示，制造装置20具有：直径与光盘10的直径大致相等的工作台21；设置在工作台21的中央部的第一突出部22；设置在第一突出部22的中央部的第二突出部23。工作台21、第一突出部22和第二突出部23实质上是一体的，当未图示的旋转机构动作时，它们整体旋转。

第一突出部22是载置应制造光盘10的前驱体(本说明书中称其为「成膜基片10’」)的中心部近旁的卡紧区域的部分，在其表面设置了多个第一吸气口24。当未图示的第一吸气机构动作时，第一突出部22载置的成膜基片10’为吸着状态，实质上被固定在制造装置20上。

第二突出部23，其直径对应于光盘10的孔15的直径，当第一突出部22载置成膜基片10’时，成为将第二突出部23插入在成膜基片10’的孔15的状态。在第二突出部23的中央部设置了第二吸气口25。第二吸气口25通过未图示的第二吸气机构吸气。

以下，说明本实施例的光盘制造方法。

首先，利用捣实器并采用注射模塑成形法制作形成了予置沟槽的基片11。接着，在基片11上形成予置沟槽的整个面上用喷溅法形成反射层12，然后，在反射层12的整个面上采用喷溅法形成记录层13。

然后，如图3所示，利用前端由具有柔软性的吸着衬垫构成的第一支杆31，搬送在基片11上形成反射层12和记录层13的成膜基片10’，将成膜基片10’载置在第一突出部22上。这里，第一支杆31是制造装置20的一部分。图4表示在第一突出部22上载置成膜基片10’的状态。成膜基片10’的载置是以形成记录层13的一侧为上面。当第一支杆31搬送成膜基片10’时，吸着记录层13表面未记录数据的区域(典型的是距成膜基片10’中心约21mm以内的区域)，即孔15的近旁。此外，在基片11上，通过成形用金属模内的「捣实器捣锤」，往往在未记录上述数据区域的内侧形成圆环状沟16，当形成这种圆环状沟16时，即可通过吸着其内侧区域搬送成膜基片10’。图3和图4表示第一支杆31通过吸着圆环状沟16的内侧区域搬送成膜基片10’的状态。沟16在图1中被省略。

当在第一突出部22载置成膜基片10’时，未图示的第一吸气机构动作，在第一突出部22载置的成膜基片10’，由第一吸气口24吸着，实质上以第二突出部23嵌合在孔15中的状态被固定。

接着，用第二支杆32搬送盖罩(闭塞部件)40，将盖罩40载置在已固定的成膜基片10’的中心部。第二支杆32是制造装置20的一部分。图5表示在成膜基片10’的中心部载置盖罩40的状态。

图6是表示盖罩40形状的概略立体图。

如图6所示，盖罩40具有：带有凸面和凹面并越向外周部厚度越薄的圆形伞部(圆板部)41；从伞部41的凹面中心向一方突出设置的第一突起42；从伞部41的凸面中心向另一方突出设置的第二突起43。盖罩40的材料可以是金属、树脂、陶瓷等任意一种，也可以是使用其2种以上的复合材料。伞部41和第一与第二突起42、43可以由不同的材料构成。但是，为了实现低成本化，理想的情况是用树脂的注射模塑成形制作盖罩40。

利用树脂的注射模塑成形制作盖罩40时，所用树脂没有特别的限定，可以从丙烯基系列、苯乙烯系列、链烯烃系列、酰胺纤维系列、橡胶系列等各种树脂中，根据要求的价格和特性(耐药品性、柔软性等)适当选择，特别是聚碳酸酯树脂、聚烯烃树脂、氟树脂中的任一种都是理想的，使用聚烯烃树脂特别理想。注射模塑成形条件没有特别的限定，例如可以设定金属模温度和树脂熔融温度的各种组合。通常，希望金属模温度和树脂熔融温度较低。这些温度若较低，则由于金属模表面的复制性较低，表面粗糙度变小。并且，由于冷却迅速，则从金属模取出时的温度较低，其结果是取出时不易变形，平坦性良好。

伞部41的直径，设定大于应制造的光盘10的孔15的直径，小于应制造的光盘10的数据记录区域的最内周的直径。但是，由于后述的紫外线硬化性树脂蔓延到伞部41的下面，污染孔15的周面(盘基片的内周面)，希望伞部41的直径比孔15的直径大4mm以上，最好大8mm以上。当取出伞部41时，由于很容易损坏其近旁光透过层14的形状，希望伞部41的直径比信息记录层的内径小3mm以上，最好小5mm以上并且，当存在上述圆环状沟16时，将设定大于圆环状沟16的直径。

具体的尺寸，也可以随孔15的直径和信息记录层的内径而不同，当光盘10的直径是60～130mm时，伞部41的直径是20～40mm，最好在25～38mm的范围内。当存在上述圆环状沟16时，应制造的光盘10的孔15的直径是15mm，圆环状沟16的直径是36mm，当应制造的光盘10的数据记录区域最内周的直径是42mm时，伞部41的直径最好设定在36.5mm～40mm。

伞部41的锥形状，当在成膜基片10’的中心部载置盖罩40时，理想的情况是：伞部41的最外周部(前端)连接成膜基片10’的表面，内周部不与制造装置20的第二突出部23连接。

第一突起42的直径对应于制造装置20的第二吸气口25的直径，如图5所示，当在成膜基片10’的中心部载置盖罩40时，成为将第一突起42插入在第二吸气口25的状态。也就是，第一突起42具有当载置盖罩40时的位置决定构件的作用。第一突起42的长度，没有特别的限定。

第二突起43的直径和长度，对于第二支杆32来说若可以操作，也没有特别的限定，但在伞部41近旁的第二突起43的最小直径，希望不足4mm，最好是2mm以下。当在伞部41近旁的第二突起43的直径过大时，涂敷开始位置将离开伞部41的中央，加大了在形成的光透过层14的直径方向的厚度不均匀。当在伞部41近旁的第二突起43的直径过小时，第二突起43的机械强度将不够充分，因此，上述最小直径希望是0.5mm以上，最好是0.7mm以上。第二突起43的长度，没有特别的限定，可以考虑到向其外周面容易供给涂敷液以及把持时容易操纵来适当决定，希望是5～100mm，最好是10～30mm。当第二突起43过短时，担心在用于操作盖罩40的第二支杆32上附着紫外线硬化性树脂，并且也难于把持。当第二突起43过长时，操纵烦琐。

盖罩40，其伞部41的凸面(设置第二突起43的一面)的至少一部分，希望是全部，中心线平均粗糙度Ra为100nm以下，最好是70nm以下，或者十点平均粗糙度Rz为1μm以下，最好是0.5μm以下，或者粗糙度的平均倾斜角θa为1°以下，最好是0.4°以下。当上述Ra、Rz和θa的任一个脱离上述范围时，担心当旋转涂敷时在光透过层14混入多个大的气泡。因此，若上述Ra、Rz和θa的至少其中之一，最好是全部在上述范围内，则可防止大的气泡混入光透过层14。然而，上述Ra、Rz和θa极小时，并不能显著提高抑制向光透过层14混入气泡的效果，而且，当上述Ra、Rz和θa极小时，提高了盖罩40的制造成本，通常，上述Ra没有必要不足1nm，上述Rz没有必要不足0.001μm，上述θa没有必要不足0.01°。

中心线平均粗糙度Ra和十点平均粗糙度Rz都由JISB0601规定。粗糙度的平均倾斜角θa与特开2001-1006号公报记载的粗糙度平均倾斜角θa相同，是下式(1)表示的值。

$\mathrm{\θa}=\underset{i=1}{\overset{N}{\mathrm{\Σ}}}\left[{\tan }^{-1}(\mathrm{\ΔYi}/\mathrm{\ΔX})\right]/N---\left(1\right)$

上式(1)中，ΔX是测定节距，最好ΔX＝2μm。ΔYi是在用测定的节距ΔX对基准测定长度L进行N分割得到的N个区间中，第i区间的区间两端的垂直方向距离。

控制盖罩40表面的表面粗糙度的办法并不特别限定，可以根据盖罩40的构成材料和制作方法适当选择。例如，用金属构成盖罩40时，可用表面研磨控制表面粗糙度。利用注射模塑成形制作树脂制盖罩40时，通过金属模表面粗糙度、树脂的纯度、注射模塑成形条件的控制等，控制表面粗糙度。

当具有上述构成的盖罩40被载置在已固定的成膜基片10’的中心部时，未图示的第二吸气机构动作。这样，盖罩40由第二吸气口25吸着，第一突起42以配合第二吸气口25的状态被实际固定。这时，盖罩40的伞部41由于第二吸气口25的吸着而稍微有些变形，伞部41的最外周部(前端)连接成膜基片10’的表面，伞部41的凹面部连接制造装置20的第二突出部23，按压在成膜基片10’的表面。

在这种状态下，起动未图示的旋转机构，使工作台21、第一突出部22和第二突出部23一体地低速旋转(希望是20～100rpm)，如图7所示，在盖罩40的伞部41的凸面上滴下紫外线硬化性树脂50。这时，成膜基片10’由第一吸气口24吸着固定在第一突出部22，盖罩40由第二吸气口25吸着固定在第二突出部23，则成膜基片10’与盖罩40也和工作台21、第一突出部22以及第二突出部23一体地旋转。紫外线硬化性树脂50的滴下点尽可能设定在伞部41的凸面中央部附近这样，在盖罩40的伞部41的凸面，紫外线硬化性树脂50为停滞状态。

然后，利用未图示的旋转机构，使工作台21、第一突出部22和第二突出部23一体地高速旋转，如图8所示，由于离心力，将使停滞在盖罩40的伞部41的凸面的紫外线硬化性树脂50因离心力旋转涂敷在成膜基片10’的表面(记录层13的表面)。这样，在成膜基片10’的表面(记录层13的表面)，形成厚度约100μm的紫外线硬化性树脂50的薄膜。此时，上述紫外线硬化性树脂50的滴下工序的滴下点越接近伞部41的凸面的中央部，紫外线硬化性树脂50的薄膜的平坦性越好。

在成膜基片10’的表面(记录层13的上面)形成紫外线硬化性树脂50的薄膜时，利用未图示的旋转机构，使工作台21、第一突出部22和第二突出部23一体地中速旋转。这种状态下，如图9所示，用第一紫外线掩模60覆盖成膜基片10’的中央部，在成膜基片10’表面形成的紫外线硬化性树脂50的薄膜上照射紫外线，使其硬化。第一紫外线掩模60是制造装置20的一部分。

第一紫外线掩模60的直径，设定大于盖罩40的伞部41的直径，小于应制造的光盘10的数据记录区域最内周的直径。因此，在上述紫外线照射工序中，存在于盖罩40的伞部41表面的紫外线硬化性树脂50，以及形成于成膜基片10’表面的紫外线硬化性树脂50中盖罩40近旁的部分，都是未硬化状态，在其他部分形成的紫外线硬化性树脂50为硬化状态。

在使未图示的旋转机构停止动作并旋转停止后，停止未图示的第二吸气机构的动作。这时，未图示的第一吸气机构，维持动作状态。在该状态下，如图10所示，用第二支杆32除去盖罩40。这种情况下，由于在盖罩40的伞部41最外周部(前端)和成膜基片10’的表面的交界面形成的紫外线硬化性树脂50为未硬化状态，则可以无困难地进行盖罩40的除去。被除去的盖罩40集中在未图示的使用过的盖罩容器中，此后，分离为作为盖罩40材料的聚烯烃和紫外线硬化性树脂，分别予以再利用。

除去盖罩40以后，如图11所示，用具有圆形孔63的第二紫外线掩模62边覆盖除去成膜基片10’中央部的部分，边在成膜基片10’表面形成的未硬化紫外线硬化性树脂50的薄膜上照射紫外线，使其硬化。第二紫外线掩模62是制造装置20的一部分。

第二紫外线掩模62的孔63的直径对应于第一紫外线掩模60的直径。因此，在上述紫外线照射工序中，在成膜基片10’表面形成的未硬化紫外线硬化性树脂50上照射紫外线，使其硬化，而在已经硬化的紫外线硬化性树脂50上实质上没有被照射。这样，防止了由于过度的紫外线照射导致紫外线硬化性树脂50的变质、变色。

如上所述，完成了在成膜基片10’表面形成的紫外线硬化性树脂50的硬化，也完成了光透过层14的成膜。然后，停止未图示的第一吸气机构的动作，如图12所示，将已完成光透过层14成膜的光盘10搬出。

从上述说明可见，本实施例中，利用具有紫外线硬化性树脂50滴下的伞部41、嵌合在第二吸气口25的第一突起42以及通过第二支杆32进行操作的第二突起43的盖罩40，旋转涂敷紫外线硬化性树脂50，形成光透过层14，在用于操作盖罩40的第二支杆32上没有附着紫外线硬化性树脂50。因此，大大降低了在制造装置20的其他部分和其他制造装置上附着紫外线硬化性树脂50而受到污染的担心，可提高整个制造工序的可靠性，不必要再设置第二支杆32的洗净工序。

若采用聚烯烃树脂等具有弹性的材料作为盖罩40的材料，则由第二吸气口25吸着而使伞部41仅稍微有些变形，由于成为按压在成膜基片10’的表面的状态，所以伞部41表面和成膜基片10’表面的平坦性提高了。这样，当旋转涂敷时，可以保证紫外线硬化性树脂50薄膜的良好均匀性。

若采用聚烯烃树脂作为盖罩40的材料，则对于紫外线硬化性树脂的亲和性比较低，并且由于提高了对溶剂的耐性，当再利用时，可以比较容易地进行聚烯烃树脂和紫外线硬化性树脂的分离。

若将盖罩40的伞部41的表面粗糙度设定在本实施例说明的范围内，则可防止大的气泡混入光透过层14。

在上述特开平11-195251号公报中，记载了使由中空筒状支持体或多个棒状体组成的支持体与盖罩一体化的闭塞部件，与其相比较，本实施例采用的盖罩40具有以下优点。

在上述特开平11-195251号公报中，由于用支持体的壁或棒状体阻止树脂，则易于在涂膜上产生不均匀。与此不同，本实施例中使用盖罩40，将涂敷液供给第二突起43的外周面进行旋转涂敷，则不易在涂膜上产生不均匀。并且，由于在本实施例中使用盖罩40，树脂附着的是第二突起43的外周面，则与上述特开平11-195251号公报比较，闭塞部件的洗净较容易。此外，在上述特开平11-195251号公报中，在中空筒状支持体的内部供给粘度比较高的涂敷液，为了确保涂敷液的流动性，不可能使支持体的外径较小。因此，涂敷开始位置距离旋转中心较远。与此不同，本实施例中使用盖罩40，在该公报相比，可以显著减小第二突起43的外径，使涂敷开始位置接近旋转中心。其结果是在半径方向的光透过层14的厚度不均匀性更小。

本发明并不限定于以上实施例，在权利要求记载的发明范围内可以有各种变更，不言而喻，它们也都包含在本发明的范围内。

例如，上述实施例中，在利用图11所示紫外线照射工序完成光透过层14的成膜时，将光盘10作为完成品，然而，此后也可以附加在光透过层14表面形成硬涂敷层的工序。硬涂敷层的形成方法没有特别的限制，优选地，在对硬涂敷液进行旋转涂敷后，用嵌板式加热器使硬涂敷液中包含的溶剂蒸发，再照射紫外线使其硬化。这样，在附加硬涂敷层的情况下，由于追加了使硬涂敷液硬化的紫外线照射工序，则希望尽量减少图9和图11所示工序中的部分紫外线照射量。也就是，在图9和图11所示工序中，使紫外线硬化性树脂50为半硬化状态，再通过使硬涂敷液硬化的紫外线照射，完全硬化紫外线硬化性树脂50。

另外，在上述实施例中，通过图9所示的紫外线照射工序，使未被第一紫外线掩模60覆盖部分的紫外线硬化性树脂50硬化，通过图11所示的紫外线照射工序，使未被第二紫外线掩模62覆盖部分的紫外线硬化性树脂50硬化，然而，可以在图9所示紫外线照射工序中，不使未被第一紫外线掩模60覆盖部分的紫外线硬化性树脂50为完全硬化状态，而且，在图11所示紫外线照射工序中，不使用第二紫外线掩模62而在整个面上照射紫外线，使紫外线硬化性树脂50硬化。这样，由于不必要使用2种紫外线掩模，则可降低制造成本。

在紫外线硬化性树脂50上照射紫外线之前，可以从光盘10取出盖罩40。在从光盘10取出盖罩40之前，也可以使整个紫外线硬化性树脂50硬化，但在硬化后取出盖罩40时，在伞部41上的树脂层和光盘10上的树脂层的边界附近将产生溢料，并且硬化后的树脂形成碎片很容易飞散到光盘10上。因此，紫外线照射和盖罩40的取出的顺序，应采用上述实施例说明的顺序。

本实施例使用的盖罩40的伞部41具有越向外周部其厚度越薄的形状，但是伞部41越向外周部越薄的形状不是必须的，至少其一部分可以具有厚度一定或增大的区域。

本实施例使用的盖罩40的伞部41具有凸面和凹面，但是本发明并不限定于此，伞部形状可以具有与此不同的形状。图13(A)～(E)表示这种盖罩的例子。

图13(A)所示盖罩70具有圆锥台状的伞部71和从伞部71中央相互向反方向突出的第一和第二突起72、73。本发明可以使用的盖罩，背面也可以是平坦面。

图13(B)所示盖罩80具有圆锥台状的伞部81和从伞部81中央相互向反方向突出的第一和第二突起82、83，与图13(A)所示的盖罩70有大致相同的形状，但是第二突起83具有越向前端越细的形状。若使第二突起83为这种形状，则在利用射出成形制造时容易从金属模中抽出盖罩80。

图13(C)所示盖罩90具有凸面是曲线状背面平坦的伞部91和从伞部91中央相互向反方向突出的第一和第二突起92、93。这样，本发明可以使用的盖罩，其伞部凸面也可以是曲线状。

图13(D)所示盖罩100具有外周是垂直面的伞部101和从伞部101中央相互向反方向突出的第一和第二突起102、103。这样，本发明可以使用的盖罩，其伞部的外周也可以是垂直面。但是，伞部101的外周的厚度t，应设定在0.4mm以下。厚度t过大时，难于均匀地涂敷光透过层14。

图13(E)所示盖罩110具有厚度一定的伞部111和从伞部111中央相互向反方向突出的第一和第二突起112、113。这样，本发明可以使用的盖罩，其伞部的厚度也可以是一定的。这时，伞部111的外周厚度t优选地设定在0.4mm以下。

在本实施例使用的盖罩40上设置了第一突起42，通过该第一突起42与第二吸气口25嵌合决定位置，但仅限于盖罩40的位置决定是可能时，则不必具有该第一突起42。可以在伞部41中央设置凹部代替第一突起42，以此进行盖罩40的位置决定。

用本发明的方法制造的光盘的层构成、各层的厚度和各层的材料没有特别的限定，利用包含按照旋转涂敷层法涂敷液状物质的工序的方法制造光盘，对于任何光盘的制造都可以适用。用本发明的方法形成的膜厚度，与涂敷液(上述实施例的紫外线硬化性树脂50)粘度的平方根成比例，并且，转速越大、旋转时间越长则越薄。因此，用本发明的方法形成膜时，可以根据要求的厚度设定涂敷液粘度、转速(高速旋转时)以及旋转时间。具体地说，形成的膜的厚度是30μm～300μm时，可以设定涂敷液粘度为100～100000cp、转速为500～6000rpm、旋转时间为2～10秒。

从以上说明可见，本发明中，由于在操作盖罩的支杆上未附着紫外线硬化性树脂，则大大地降低了在制造装置的其他部分和其他制造装置上附着紫外线硬化性树脂造成污染的担心。因此，可以提高整个制造工序的可靠性，并且由于不必设置支杆洗净工序，则可避免工序的复杂化。

[实施例1]

在形成了保持信息的凹坑的盘状支持基体{聚碳酸酯树脂制，外径120mm，内径(中心孔直径)15mm，厚度1.1mm}的表面，用溅射法形成由A1构成的反射层，得到成膜基片10’。

然后，利用使用盖罩40的本发明的方法，按以下顺序形成光透过层14。使用的盖罩40，从不锈钢切削后，进行表面研磨而制成。该盖罩40具有图13(A)所示的形状，伞部41为直径36mm，第二突起43为直径1mm，长度为20mm。

首先，将盖罩40载置在成膜基片10’上，起动第一和第二吸气机构，把盖罩40和成膜基片10’吸着在工作台21上。接着，通过使工作台21低速旋转并将紫外线硬化性树脂(日本化药(株)制，25℃时的粘度500cp)供给第二突起43的外周面，在伞部41上扩展树脂，然后，以2000rpm使工作台21旋转8秒，在成膜基片10’上延展树脂形成树脂层。在使盖罩40从成膜基片10’分离后，对树脂层进行紫外线硬化作为光透过层14，即得到光盘样品。

[实施例2]

利用在实施例1中使用后的盖罩40。也就是，在旋转涂敷时，利用伞部41表面由树脂涂敷的盖罩40。除此之外，都与实施例1一样，即可制成光盘样品。

[实施例3]

与实施例1使用的盖罩40形状相同，而且除了使用由聚碳酸酯树脂构成的盖罩40以外，都与实施例1一样，即可制成光盘样品。该盖罩40用注射模塑成形法制作。在注射模塑成形时，采用对表面粗糙度有不好影响的不纯物较少的光盘用聚碳酸酯，金属模温度30℃、树脂熔融温度320℃、合模力490MPa、射出时间为1秒。

[实施例4]

除了不进行表面研磨以外，使用与实施例1一样制作的不锈钢制盖罩，其他与实施例1同样即可制成光盘样品。

[实施例5]

采用与实施例4同样制作的不锈钢制盖罩，其也与实施例1同样即可制成光盘样品。该盖罩与实施例4使用的盖罩相比较，切削加工产生的表面粗糙程度稍微小一些。

[实施例6]

与实施例1使用的盖罩40形状相同，而且使用通过POM(聚氧化甲烯树脂)切削制作的盖罩40，其他与实施例1同样即可制成光盘样品。

上述各样品制作中使用的盖罩40，用表面粗糙度测定器(东京精密株式会社制サ一フコムSE-30H、针：该社制PU-DH-10/10□mR、截止频率0.8mm)测定伞部41上面的表面粗糙度，求出中心线平均粗糙度Ra、十点平均粗糙度Rz、以及粗糙度的平均倾斜角θa。表1表示其结果。基准测定长度为2.5mm。如表1所示，实施例1～3使用的盖罩40的表面粗糙度在上述实施例规定的范围内，实施例4～6使用的盖罩40的表面粗糙度在上述实施例规定的范围以外。

对于上述各样品，用光学显微镜和通用光盘外观缺陷检查机(Dr.SCHENK公司制)检查光透过层中的缺陷。用光学显微镜，目视进行气泡大小和个数的定量化，用通用光盘外观缺陷检查机，通过CCD摄象机数据图象处理进行缺陷检查。表1表示各样品的气泡存在密度。以下详细表示各样品的缺陷检查结果。

实施例1的样品，在光透过层的半径18～30mm的区域，在周方向的一部分，用光学显微镜观察到直径20～40μm的气泡为0～一个/mm²。并且，用光盘外观缺陷检查机也观测到与此相当的缺陷。

实施例2的样品，在光透过层的半径18～30mm的区域，在周方向的一部分，用光学显微镜观察到直径20～40μm的气泡为1～5个/mm²。并且，用光盘外观缺陷检查机也观测到与此相当的缺陷。

实施例3的样品，在整个光透过层，用光学显微镜一个气泡也未能确认，用光盘外观缺陷检查机同样未检出缺陷。

实施例4的样品，在光透过层的半径18～30mm的区域，在整个周方向，观察到直径20～40μm的气泡为10～20个/mm²。并且，用光盘外观缺陷检查机也观测到与此相当的缺陷。

实施例5的样品，在光透过层的半径18～30mm的区域，在大致整个周方向，观察到直径20～40μm的气泡为5～10个/mm²。并且，用光盘外观缺陷检查机也观测到与此相当的缺陷。

实施例6的样品，在光透过层的半径18～30mm的区域，在整个周方向，观察到直径20～40μm的气泡为20个/mm²。并且，用光盘外观缺陷检查机也观测到与此相当的缺陷。

                                      表1

	闭塞部件	Ra(nm)	Rz(μm)	θa(deg)	气泡存在密度(个/mm2)
						实施例1	金属(表面研磨)	59	0.418	0.31	0～1
实施例2	金属(表面研磨)+树脂涂敷	27	0.303	0.22	1～5
						实施例3	树脂(注射模塑成型)	42	0.060	0.09	0
实施例4	金属	479*	2.592*	2.80*	10～20
						实施例5	金属	264*	1.919*	3.15*	5～10
实施例6	树脂(切削)	932*	4.412*	4.63*	20

*：规定范围外

从以上实施例的结果明显看到本发明的效果。也就是，将盖罩的表面粗糙度控制在上述实施例规定的范围之内，可以显著减少光透过层的缺陷。

在表1所示各样品的凹坑形成区域(半径23～58mm的区域)，用激光聚焦位移计测定光透过层的厚度。其结果是光透过层的厚度对于任一个样品都是100±2μm，在半径方向的厚度不均匀极小。

Claims (12)

1.一种光盘制造方法，其特征是具有：对具有一个面是凸面的圆形伞部、和从上述伞部的上述凸面的中心突出设置的操作用突起的盖罩的上述操作用突起进行操作，将上述盖罩载置在成膜基片的大致中心部；在上述盖罩的上述伞部的上述凸面滴下紫外线硬化性树脂；通过一体地旋转上述成膜基片和上述盖罩，借助旋转涂敷法将上述紫外线硬化性树脂涂敷在上述成膜基片的表面；一边用直径比上述伞部的直径大的第一紫外线掩模覆盖上述成膜基片的中央部，一边在上述成膜基片表面形成的上述紫外线硬化性树脂上照射紫外线、使上述紫外线硬化性树脂硬化。

2.如权利要求1记载的光盘制造方法，其特征是，上述盖罩还具有在上述伞部的上述凸面的反面设置的位置决定部，使用上述位置决定部将上述盖罩载置在成膜基片的大致中心部。

3.如权利要求2记载的光盘制造方法，其特征是：上述盖罩的上述伞部具有越向外周部厚度越薄的形状，上述盖罩的上述位置决定部由从上述伞部的上述反面的中心突出设置的位置决定用突起构成。

4.如权利要求3记载的光盘制造方法，其特征是：进而，在将上述盖罩载置在成膜基片的大致中心部之后，在上述盖罩的上述伞部的上述凸面滴下紫外线硬化性树脂之前，吸引上述盖罩的上述位置决定用突起，将上述盖罩的上述伞部的最外周部按压在上述成膜基片的表面。

5.如权利要求1记载的光盘制造方法，其特征是：上述第一紫外线掩模的直径大于上述盖罩的上述伞部的直径。

6.如权利要求1至5中的任一项记载的光盘制造方法，其特征是：用上述第一紫外线掩模覆盖上述成膜基片的中央部，同时，在上述成膜基片的表面形成的上述紫外线硬化性树脂上照射紫外线，使上述紫外线硬化性树脂硬化之后，进而操作上述盖罩的上述操作用突起，将上述盖罩从上述成膜基片的表面除去，一边用第二紫外线掩模覆盖上述成膜基片的除了上述中央部的部分，一边在上述成膜基片的表面形成的上述紫外线硬化性树脂上照射紫外线，使上述紫外线硬化性树脂硬化。

7.如权利要求1至5的任一项记载的光盘制造方法，其特征是：上述盖罩由塑料构成。

8.如权利要求7记载的光盘制造方法，其特征是：上述盖罩由聚烯烃构成。

9.一种光信息媒体的制造方法，该光信息媒体在有中心孔的盘状支持基体上，顺次具有信息记录层和含有树脂的光透过层，用于记录或再生的激光射束通过上述光透过层入射到上述信息记录层；

其特征是，该制造方法具有：

在上述支持基体上设置上述信息记录层后，用具有圆板部的闭塞部件的上述圆板部覆盖上述支持基体的中心孔，将含有紫外线硬化性树脂的涂敷液供给上述圆板部，然后，通过一体地旋转上述闭塞部件和上述支持基体，使上述涂敷液在上述支持基体上延展、形成环状树脂层，用直径比上述圆板部的直径大的第一紫外线掩模覆盖上述支持基体的中央部，同时，在上述环状的树脂层上照射紫外线、使上述环状的树脂层硬化，形成上述光透过层的工序；

在涂敷液接触的上述圆板部表面的至少一部分，使用中心线平均粗糙度Ra是100nm以下的由树脂注射模塑成形制成的闭塞部件。

10.一种光信息媒体的制造方法，该光信息媒体在有中心孔的盘状支持基体上，顺次具有信息记录层和含有树脂的光透过层，用于记录或再生的激光射束通过上述光透过层入射到上述信息记录层；

其特征是，该制造方法具有：

在上述支持基体上设置上述信息记录层后，用具有圆板部的闭塞部件的上述圆板部覆盖上述支持基体的中心孔，将含有紫外线硬化性树脂的涂敷液供给上述圆板部，然后，通过一体地旋转上述闭塞部件和上述支持基体，使上述涂敷液在上述支持基体上延展、形成环状树脂层，用直径比上述圆板部的直径大的第一紫外线掩模覆盖上述支持基体的中央部，同时，在上述环状的树脂层上照射紫外线、使上述环状的树脂层硬化，形成上述光透过层的工序；

在上述涂敷液接触的上述圆板部表面的至少一部分，使用十点平均粗糙度Rz是1μm以下的由树脂注射模塑成形制成的闭塞部件。

11.一种光信息媒体的制造方法，该光信息媒体在有中心孔的盘状支持基体上，顺次具有信息记录层和含有树脂的光透过层，用于记录或再生的激光射束通过上述光透过层入射到上述信息记录层；

其特征是，该制造方法具有：

在上述支持基体上设置上述信息记录层后，用具有圆板部的闭塞部件的上述圆板部覆盖上述支持基体的中心孔，将含有紫外线硬化性树脂的涂敷液供给上述圆板部，然后，通过一体地旋转上述闭塞部件和上述支持基体，使上述涂敷液在上述支持基体上延展、形成环状树脂层，用直径比上述圆板部的直径大的第一紫外线掩模覆盖上述支持基体的中央部，同时，在上述环状的树脂层上照射紫外线、使上述环状的树脂层硬化，形成上述光透过层的工序；

在上述涂敷液接触的上述圆板部表面的至少一部分，使用粗糙度的平均倾斜角θa是1°以下的由树脂注射模塑成形制成的闭塞部件。

12.如权利要求9至11中的任一项记载的光信息媒体制造方法，其特征是：在上述闭塞部件上设有从上述圆板部表面的中心部分突出的操作用突起。

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