TWI239526B - Manufacturing method and device of optical disk - Google Patents

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1239526 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7_ 五、發明説明（1) 技術領域 本發明係關於光碟片之製造方法及光碟片製造裝置， 更詳細爲關於包含藉由旋轉塗佈法，塗佈液狀物質之工程 的光碟片之製造方法及該製造方法所使用之光碟片製造裝 置。 習知技術 近年來，記錄大容量的數位資料用的記錄媒體，以CD 和DVD所代表的光碟片被廣泛使用。一般，再生專用的光 碟片，係由再生光射入面側起，以光透過層、反射層、保 護層之順序而堆積各層，可寫入之光碟片，係由再生光射 入面側起，以光透過層、記錄層、反射層、保護層之順序 而堆積各層，在任一種形式的光碟片中，於資料讀出之際 ，由光透過層側照射雷射光，該反射光被檢測出。 第14圖係顯示最爲一般的再生專用的光碟片- CD-R〇Μ之層構造的剖面圖。 如第14圖所示般地，CD-ROM係由厚度約1.2mm的光 透過層1、及厚度約50nm的反射層2、及厚度約5 // m的保 護層3所構成；一般，光透過層1係由預先形成預置細孔-(pit)的聚碳酸酯所形成，反射層2係由鋁形成，保護層 3係由紫外線硬化性樹脂形成。在具有此種構造的CD-ROM 中，首先，利用壓印機，射出成形具有對應應記錄數位資 料的預置細孔的光透過層1，接著，在光透過層1之中，藉 由濺鍍法在形成細孔之面形成鋁膜，形成反射層2。然後， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ " · ^ ^^裝 ：-1T^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1239526 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（2) 在反射層2的表面藉由旋轉塗佈法形成紫外線硬化性樹脂 ，形成保護層3。藉由此，製作了由光透過層1、反射層2 及保護層3形成之CD-ROM。 此處，形成保護層3用的旋轉塗佈法，係作爲塗佈液 狀物質的方法，不單在光碟片的製造，在半導體裝置的製 造等，也是被廣泛使用之方法。但是，藉由旋轉塗佈法所 形成之膜的膜厚，由滴下紫外線硬化性樹脂之部份（滴下 點）往外側離開之部份，雖然分布得幾乎均勻，但是，在 滴下點的附近，愈接近滴下點，有急速變薄的傾向之故， 在光碟片的記錄面中，爲了在形成細孔的區域（記錄區域 )儘可能均勻形成保護層3 ,以光碟片的中心部爲滴下點最 爲理想。可是，一般在光碟片的中心部形成驅動裝置的夾 持用孔之故，因此無法將光碟片的中心點當成滴下點。因 此，在日本專利特開平10-320850號公報、特開平10-249264號公報、特開平10-289489號公報、特開平11-195250號公報、特開平1 1- 19525 1號公報、特開平11-203724號公報、特開平1 1-21 3459號公報中，以罩子賭塞光 碟片的中心部的孔，在罩子的中心部份滴下紫外線硬化性 樹脂之手法被提出。 但是，在記載於上述各公報的方法中，罩子上面之幾 乎整面由紫外線硬化性樹脂所覆蓋之故，在罩子的處理上 ，產生種種的問題。例如，在上述公報所記載的方法中， 在處理罩子用的機械臂上，無可避免的會附著紫外線硬化 性樹脂，因此，不單機械臂被紫外線硬化性樹脂所污染， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） — ^ „-1T^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -5- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1239526 A7 __B7___ 五、發明説明（3 ) 製造裝置的其它部份和其它的製造裝置也有附著紫外線硬 化性樹脂之虞，此爲原因，有使製造工程整體的可靠性惡 化之虞。附著在機械臂的紫外線硬化性樹脂，雖然可以考 慮藉由設置機械臂的淸洗工程而去除，但是，在此情形， 製造工程整體變得複雜化。 另外，在記載於上述各公報之方法中，也產生在所形 成之膜中，捲入具有其膜厚以下的直徑的氣泡之問題。此 種問題，在形成CD-ROM的保護層3之情形中，雖然不變 成很大的問題，但是，如下一世代型的光記錄媒體般地， 在形成藉由基板的相反側面照射雷射光，進行資料的記錄 及/或者再生之形式的光記錄媒體的光透過層之情形，會 成爲重大的問題。 例如，在記錄軌距爲0.3 // m，光透過層的厚度約1 〇 〇 //m之下一世代型的光記錄媒體中，l〇//mX10/zm尺寸的 氣泡存在於光透過層中之情形，如位元長設定爲〇. 1 30 // m 而進行記錄/再生，在記錄/再生時，會產生連續76位元 的大規模錯誤，另外，設光碟片1周爲1磁軌之情形，會 產生涵蓋33磁軌的大規模錯誤。另外，比50 // m之程度大 的氣泡，也對光拾取頭的追跡伺服以及聚焦伺服帶來不好 影響，變成無法訂正之錯誤的原因，成爲引起追跡偏離和 聚焦偏離之原因。 發明之揭示 因此，本發明之目的在於提供：被改良的光碟片之製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇><297公釐） [T ' I ^ ^ ^"IT7 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1239526 A7 _B7_ ___ 五、發明説明（4) 造方法及光碟片製造裝置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 另外，本發明之其它目的在於提供：包含藉由旋轉塗 佈法以塗佈液狀物質的工程之被改良的光碟片之製造方法 及光碟片製造裝置。 另外，本發明之另外其它目的在於提供：防止污染處 理罩子用之機械臂的光碟片之製造方法及光碟片製造裝置 〇 另外，本發明之另外其它目的在於提供：可以防止氣 泡混入光透過層之光碟片之製造方法。 本發明之此種目的，係藉由具備：處理具有一面爲凸 面的圓形的傘部及由前述傘部的前述凸面的中心突出而設 置的處理用突起的罩子的前述處理用突起，將前述罩子載 置於成膜基板的略中心部的載置工程；及在前述罩子的前 述傘部的前述凸面滴下液狀物質的滴下工程；及藉由使前 述成膜基板及前述罩子一體旋轉，將前述液狀物質塗佈於 前述成膜基板的表面的旋轉塗佈工程的光碟片之製造方法 而被達成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如依據本發明，罩子具備處理用之突起，另外，將應 塗佈之液狀物質的滴下點設爲罩子的傘部之故，應塗佈之 液狀物質不會附著在處理罩子用的機械臂。因此，應塗佈 之液狀物質附著、污染製造裝置等之顧慮大幅降低之故， 可以提升製造工程整體的可靠性之外，同時，不需要設置 機械臂的淸洗工程。 在本發明之合適的實施形態中，前述罩子另外具有設 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ " 1239526 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5) 置在與前述傘部的前述凸面相反側之面的定位部，藉由利 用前述定位部之定位以進行前述載置工程的前述罩子的載 置。 如依據本發明之合適的實施形態，由於在罩子設置定 位部之故，可以容易進行載置工程。 在本發明之另外合適的實施形態中，前述罩子的前述 傘部係具有愈朝向外周部，肉厚變得愈薄之形狀，前述罩 子的前述定位部，係由前述傘部的前述相反側之面的中心 突出而設置的定位用突起所形成。 在本發明之另外合適的實施形態中，另外具備：在前 述載置工程後，藉由吸引前述罩子的前述定位用突起，將 前述罩子的前述傘部的最外周部壓住前述成膜基板的表面 的吸引工程。 如依據本發明之另外合適的實施形態，可以提高傘部 的表面與成膜基板的表面的平坦性之故，在旋轉塗佈工程 中所塗佈的液狀物質的膜厚可以更爲均勻。 在本發明之另外的合適的實施形態中，前述液狀物質 係紫外線硬化性樹脂。 在本發明之另外合適的實施形態中，例外具備：藉由 第1紫外線遮罩，一面覆蓋前述成膜基板的中央部，對形 成在前述成膜基板的表面的前述紫外線硬化性樹脂照射紫 外線，使其硬化之第1紫外線照射工程，前述第1紫外線 遮罩的直徑比前述罩子的前述傘部的直徑大。 在本發明之另外合適的實施形態中，另外具備：處理 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝_ 钉 -8- 1239526 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _____B7__ 五、發明説明（6 ) 前述罩子的前述處理用突起，由前述成膜基板的表面去除 前述罩子的去除工程；及在前述去除工程後，對形成在前 述成膜基板的表面的前述紫外線硬化性樹脂照射紫外線， 使其硬化之第2紫外線照射工程。 在本發明之另外合適的實施形態中，前述罩子係由塑 膠形成。 在本發明之另外合適的實施形態中，前述罩子係由聚 烯烴所形成。 如依據本發明之另外合適的實施形態，罩子與紫外線 硬化性樹脂之親和性比較低之故，罩子的材質之聚烯烴與 紫外線硬化性樹脂之分離可以比較容易進行。 另外，本發明之光碟片製造裝置，係具備：處理具有 一面爲凸面的圓形的傘部及由前述傘部的前述凸面的中心 突出而設置的處理用突起的手段；及在被載置於成膜基板 的略中心部的前述罩子的前述傘部的前述凸面滴下液狀物 質的手段；及使前述成膜基板及前述罩子一體旋轉之手段 〇 另外，本發明之光碟片製造裝置，是一種在成膜基板 的表面藉由旋轉塗佈法以塗佈液狀物質的光碟片製造裝置 ，其特徵爲具備：載置前述成膜基板而可以旋轉之工作台 ;及將前述成膜基板固定在前述工作台之第1吸引手段； 及搬運罩子，將其載置於前述工作台上的前述成膜基板的 中央部份之機械臂；及將前述罩子固定在前述成膜基板之 第2吸引手段。在此情形，前述第2吸引手段，以包含定 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ — ^ 裝 ^ 訂 ^-1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1239526 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___ B7 五、發明説明（7 ) 位前述罩子之吸引口爲佳。 本發明之前述目的又藉由一種製造：在具有中心孔的 碟片狀的支持基體上依序具有資訊記錄層、及包含樹脂的 光透過層，記錄或者再生用之雷射光束通過前述光透過層 ，射入前述資訊記錄層而被使用之光資訊媒體的方法， 該方法係設置： 在前述支持基體上設置前述資訊記錄層後，藉由具有 圓板孔之堵塞手段之前述圓板孔覆蓋前述支持基體的中心 孔，接著，對前述圓板孔上供給包含放射線硬化型樹脂之 塗佈液，接著，藉由使前述堵塞手段與前述支持基體一體 旋轉，使前述塗佈液延展於前述支持基體上，形成環狀的 樹脂層之樹脂延展工程；及 藉由放射線照射，硬化前述樹脂層，形成前述光透過 層之硬化工程； 利用在前述塗佈液接觸之前述圓板部表面的至少其中 一部份，至少滿足： (1 )中心線平均粗度Ra爲lOOnm以下 (2 )十點平均粗度Rz爲1 // m以下 (3 )粗度的平均傾斜角β a爲Γ以下 之至少其中之一^的堵塞手段的光資訊媒之製造方法 而被達成。 在本發明之合適的貫施形態中，前述堵·塞手:段，彳系藉 由樹脂之射出成形而製作。 在本發明之另外合適的貫施形態中，前^述堵:塞手:段亘 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210><297公釐） - -10- I ；---,0^^----Ί.--1T--Γ--- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1239526 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8) 備：由前述圓板部表面的中心部份突出之處理用突起。 本發明之發明者們，經過重複檢討之結果，發現：在 堵塞手段表面之中，藉由控制被供應塗佈液的區域的表面 粗度，可以顯著減少混入光透過層中的氣泡的數目。 在本發明中，利用材料成本低的旋轉塗佈法，而且， 藉由利用可以抑制媒體半徑方向的光透過層的厚度不均之 堵塞手段，能夠抑制氣泡混入光透過層中之故，可以低成 本提供高性能的光資訊媒體。 依據本發明，如控制堵塞手段之表面粗度，與堵塞手 段之構成材料無關，可以實現上述效果。 例如，可以使用不鏽鋼等之金屬材料，藉由切削等之 加工手段，製作堵塞手段，藉由鏡面硏磨其表面，以使表 面粗度降低而構成。但是，需要切削以及表面硏磨之加工 的金屬製堵塞手段，由於製造成本高之故，以重複使用爲 前提。但是，一度被使用過之堵塞手段，由於其表面附著 塗佈液之故，原樣再利用並不好。因此，爲了重複使用， 在每使用1次後，需要淸洗堵塞手段之故，產生淸洗成本 。而且，爲了減少由於淸洗之時間損失，需要準備多數的 堵塞手段之故，成本變得更高 另外，爲了減少金屬製的堵塞手段的表面粗度，也可 以利用硏磨以外的手段。例如，藉由將紫外線硬化型樹脂 等各種樹脂塗佈於堵塞手段表面，也可以獲得本發明所限 定之表面粗度。在使用紫外線硬化型樹脂之情形，在塗佈 後，也可以硬化，也可以不硬化。但是，如進行樹脂塗佈 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I ；-------Ί—--、町--；---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 11 1239526 A7 B7 五、發明説明（9) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，在塗佈膜表面附著粉麈，在塗佈之際，由於流入堵塞手 段之裡面的樹脂，堵塞手段會黏貼在支持基體側。如在堵 塞手段表面的塗佈膜附著粉塵，成爲旋轉塗佈時的缺陷發 生的原因，有無法獲得均勻的光透過層之虞。另外，在塗 佈之際，由於流入堵塞手段的裡面之樹脂，堵塞手段與支 持基體一成爲接著之狀態，會引起旋轉塗佈裝置的動作上 的不合適狀況。 在本發明中，以藉由樹脂的射出成形而製作堵塞手段 爲最理想。在射出成形法中，可以低成本大量生產表面粗 度小的堵塞手段。另外，構成堵塞手段的樹脂也可以與支 持基體構成材料相同（例如，聚碳酸酯樹脂）之故，藉由 相同材料的大量採用，可以降低材料成本。另外，也可以 再利用在藉由射出成形製作支持基體之際所排出的剩餘樹 脂而製作堵塞手段之故，可以減少廢棄物。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，藉由本發明之此種方法所能製造的光碟片的種類 ，並無特別限制，不單是如CD-ROM、CD-R、CDORW、 DVD-ROM、DVD-R、DVD-RW之藉由旋轉塗佈法形成保護 膜的形式的光碟片，也可以製造藉由旋轉塗佈法以形成光 透過層之形式的光碟片。 發明之實施形態 以下，一面參考所附圖面，一面詳細說明本發明之合 適實施形態。 第1圖是槪略顯示由關於本實施形態之方法所製造的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- 1239526 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（10) 光碟片（光記錄媒體）10之剖面圖。 如第1圖所示般地，光碟片10係由：厚度約1.1 m m的 基板11、及厚度約70〜130nm之反射層12、及厚度約100 〜25 0nm之記錄層13、及厚度約50〜150//m之光透過層14 所構成。另外，在光碟片10的中央部份設置孔15。基板 11係由聚碳酸酯形成，反射層12係由以銀爲主成分的合金 形成。另外，記錄層1 3實際上戲劇有以電介質膜夾住記錄 資料之相變化膜的上下之多層構造。另外，光透過層14係 由紫外線硬化性樹脂形成。在由具有此種構造之光碟片10 讀出資料之際，由光透過層14側照射讀出用雷射，該反射 光量被檢測出。另外，在將資料寫入光碟片10之際，由光 透過層14照射寫入用雷射，藉由此，使記錄層13的狀態 (相變化膜的結晶構造）變化。 藉由關於本實施形態的方法所製造的光碟片10，係藉 由旋轉塗佈法以形成光透過層14之形式的光碟片。但是， 如上述般地，藉由本發明之方法所能製造的光碟片的種類 ，並不限定於此，也包含以旋轉塗佈法形成保護膜之形式 的光碟片（例如，CD-ROM)。 第2 ( a )圖是槪略顯示實現關於本實施形態的方法用 之製造裝置20的主要部份的斜視圖、第2 ( b )圖是其之槪 略剖面圖。 如第2 ( a )及（b )圖所示般地，製造裝置20係具備 直徑幾乎與光碟片10的直徑相等的工作台21、及設置在工 作台21的中央部的第1突出部22、及設置在第1突出部22 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -13- 1239526 A7 ___B7_ 五、發明説明（11) 的中央部的第2突出部23。這些工作台21、第1突出部22 及第2突出部23，實質上是一體的，未圖示出的旋轉機構 如動作，這些成爲一體而旋轉。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1突出部22係應製造的光碟片10的前驅體（在本 說明書中，將其稱爲「成膜基板1〇、）的中心部附近的夾 持區域被載置之部份，在其表面設置複數的第1吸氣口 24 。藉由此，未圖示出的第1吸氣機構如動作，被載置於第1 突出部22的成膜基板10’會成爲吸附狀態，實質上被固定 在製造裝置20上。 第2突出部23其直徑係對應光碟片10的孔15的直徑 ，如在第1突出部22載置成膜基板1(Τ，變成第2突出部 23被插入成膜基板1(Τ的孔15的狀態。另外，在第2突出 部23的中央部設置第2吸氣口 25。第2吸氣口 25係藉由 未圖示出的第2吸氣機構而被吸氣。 接著，說明關於本實施形態的光碟片的製造方法。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 首先，利用壓印機，藉由射出成形法製作形成預置溝 之基板11。接著，在基板11之中，形成預置溝的面的整面 ，藉由濺鍍法形成反射層12，接著，在反射層12的整面， 藉由濺鍍法形成記錄層1 3。 接著，如第3圖所示般地，利用由前端具有彈性的吸 附墊所形成的第1機械臂31以搬運在基板11上形成反射 層12及記錄層13的成膜基板10’，在第1突出部22載置 成膜基板HT。此處，第1機械臂31係製造裝置20的一部 份。第4圖係顯示如此在第1突出部22載置成膜基板1(Τ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 1239526 A7 B7 五、發明説明（12) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 之狀態。此處，成膜基板係被載置爲形成記錄層13之 面成爲上面。另外，第1機械臂31在搬運成膜基板10’之 際，在記錄層1 3的表面之中，吸附沒有記錄資料之區域（ 典型上爲由成膜基板1(Τ的中心起約21mm以內的區域）， 即孔1 5的附近。又，有藉由使用在成形之模具內的「壓印 機壓板」，在基板11的上述沒有記錄資料的區域的內側形 成圓環狀溝1 6，在形成此種圓環狀溝1 6之情形，藉由吸附 其之內側區域以搬運成膜基板10’較爲理想。第3圖及第4 圖是顯不第1機械臂3 1藉由吸附圓ί哀狀溝1 6的內側區域 以搬運成膜基板1(Τ之狀態。又，此種溝16，在第1圖中被 省略。 如此，在第1突出部22 —載置成膜基板10’，未圖示 出的第1吸氣機構動作，藉由此，被載置於第1突出部22 的成膜基板10’藉由第1吸氣口 24的吸附，成爲第2突出 部23嵌合在孔1 5之狀態，實質上被固定。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接著，利用第2機械臂32搬運罩子（堵塞手段）40， 在被固定的成膜基板1CT的中心部載置罩子40。第2機械臂 32爲製造裝置20的一部份。第5圖係顯示如此在成膜基板 1 0 ’的中心部載置罩子4 0的狀態。 第6圖是顯示罩子40的形狀之簡略斜視圖。 如第6圖所示般地，罩子40係具備：具有凸面及凹面 ，愈朝外周部，肉厚變得愈薄之圓形傘部（圓板部）41、 及由傘部41的凹面的中心突出於一面而設置的第1突起42 、及由傘部41的凸面的中心突出於另一面而設置的第2突 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） Η ^ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1239526 A7 -------------- B7 五、發明説明（13) 起43。罩子40的材質，可以爲金屬、樹脂、陶瓷等之任何 一種，也可以利用這些之2種以上的複合材料。另外，也 可以由不同的材料構成傘部41與第1及第2突起42、43。 但是，爲求低成本化，以藉由樹脂的射出成形以製作罩子 40爲佳。 藉由樹脂的射出成形以製作罩子40之情形，使用之樹 脂並無特別限制，例如，可以由丙烯系、苯乙烯系、烯烴 系、耐龍系、橡膠系等之各種樹脂，因應要求之價格和特 性（耐藥品性、彈性等），適當加以選擇，特別是，聚碳 酸酯樹脂、聚烯烴樹脂、氟樹脂之任何一種皆可，以使用 聚烯烴樹脂特別好。另外，射出成形條件也不特別限定， 例如，模具溫度以及樹脂熔解溫度，可以有各種之組合。 .但是，通常，以模具溫度以及樹脂熔解溫度低者爲佳。這 些溫度如低，模具表面的複製性變低之故，表面粗度變小 。另外，冷卻變快之故，由模具取出時的溫度變低之結果 ，取出時，不易變形，平坦性變好。 傘部41的直徑，係設定爲比應製造的光碟片1〇的孔 15的直徑大，而且，比應製造的光碟片1〇的資料記錄區域 的最內周的直徑小。但是，後述的紫外線硬化性樹脂流入 傘部41的下面，污染孔15的周面（光碟片基板的內周面 )之故，傘部41的直徑以比孔1 5的直徑大4mm以上，特 別是大8mm以上爲佳。另外，在取出傘部41之際，容易弄 亂其附近的光透過層14的形狀之故，傘部41的直徑以比 資訊記錄層的內徑小3mm以上，特別是，小5mm以上爲佳 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） —I 裝 .Ί 訂 ； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1239526 A7 _B7 五、發明説明（14) 。另外，在存在上述圓環狀溝1 6之情形，被設定爲比圓環 狀溝16的直徑大。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 具體的尺寸雖依據孔15的直徑以及資訊記錄層的內徑 而不同，但是，在光碟片10的直徑爲60〜130mm程度之情 形，傘部41的直徑，以20〜40mm，特別是25〜38mm之範 圍內爲佳。另外，在存在上述圓環狀溝1 6之情形，應製造 之光碟片10的孔15的直徑爲15mm，圓環狀溝16的直徑 爲36mm，在應製造的光碟片10的資料記錄區域的最內周 的直徑爲42mm之情形，傘部41的直徑，以設定爲 36.5mm〜40mm之程度爲佳。 傘部41的推拔形狀，在成膜基板10’的中心部載置罩 子40之情形，以做成傘部41的最外周部（前端）與成膜 基板1(Τ的表面相接，而且，內周部不與製造裝置20的第2 突出部23相接之形狀爲佳。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另外，第1突起42的直徑係對應製造裝置20的第2 吸氣口 25的直徑，如第5圖所示般地，如在成膜基板10’ 的中心部載置罩子40，成爲此第1突起42被插入第2吸氣 口 25之狀態。即第1突起42當成載置罩子40之際的定位 構件的功能。又，第1突起42的長度，並無特別限制。 另外，第2突起43的直徑以及長度，只要藉由第2機 械臂32可以處理，並無特別限制，傘部41附近的第2突 起43的最小直徑，最好爲未滿4mm,更好爲在2mm以下。 傘部41附近的第2突起43的直徑如太大，塗佈開始位置 由傘部41的中央分離，所形成的光透過層14的直徑方向 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -17- 1239526 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（π) 的厚度不均會變大。但是，傘部41附近的第2突起43的 直徑如太小，第2突起43的機械強度變得不足夠之故，上 述最小値徑最好在0.5mm以上，更好爲〇.7mm以上。第2 突起43的長度並無特別限制，可以考慮對其外周面容易供 應塗佈液，另外，握持之際的處理容易度等而適當決定， 最好爲5〜100mm，更好爲1〇〜30mm。第2突起43如太短 ，會有紫外線硬化性樹脂附著在處理罩子40用的第2機械 臂32之虞，另外，變得不易握持。另一方面，第2突起43 如太長，處理上變得麻煩。 另外，罩子40最好以傘部41的凸面（設置第2突起 43之面）的至少一部份，最好爲全部，其中心線平均粗度 Ra在100nm以下，更好爲70nm以下，或者，十點平均粗 度Rz在l//m以下，更好爲〇.5//m以下，或者粗度的平均 傾斜角Θ a爲1°以下，更好爲〇.4°以下。上述Ra、Rz以 及0 a中的任何一種，如偏離上述範圍，在旋轉塗佈時，會 有大的氣泡多數混入光透過層14之虞。因此，上述Ra、Rz 以及β a之至少其中一種，特別是最好全部，如都在上述範 圍內，可以防止大的氣泡混入光透過層14。又，即使使上 述Ra、Rz以及β a成爲極端小，並不能夠顯著提升抑制對 光透過層14中的氣泡混入，另外，如使上述Ra、RZ以及 (9a成爲極端小，罩子40的製造成本提高之故，通常，上 述Ra並不需要設爲未滿lnm,上述Rz並不需要設爲未滿 0_001// m,上述β a並不需要設爲未滿〇.〇1。。 又，中心線平均粗度Ra以及十點平均粗度Rz，都由 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I ：---0^----Ί--訂--；---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -18- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1239526 A7 ____B7 五、發明説明（16) JISB0601所規定。另外，粗度的平均傾斜角0 a係與日本專 利特開2001- 1006號公報所記載的粗度的平均傾斜角0 a相 同，係以下式（1 )所表示之値。 6b = [tan1 (AYi / ΑΧ)]/ N ( 1) i=\ 在上述式子（1 )中，△ X爲測量節距，以△ X= 2// m 爲佳。△ Yi係以測量節距△ X將基準測量長度L做N分割 而獲得的N個的區間中，第i號區間的區間兩端的垂直方 向距離。 控制罩子40表面的表面粗度的手段並無特別限制，可 以因應罩子40的構成材料以及製作方法而適當選擇。例如 ，在以金屬構成罩子40之情形，可以藉由表面硏磨以控制 表面粗度。另外，在以射出成形製作樹脂製的罩子40之情 形，可以藉由模具的表面粗度、樹脂的純度、射出成形條 件的控制等以控制表面粗度。 具有此種構成之罩子40如被載置於被固定的成膜基板 1 (T的中心部，使未圖示出的第2吸氣機構動作。藉由此， 罩子40藉由第2吸氣口 25所吸附，第1突起42以嵌合在 第2吸氣口 25之狀態被實質地固定。在此之際，罩子40 的傘部41，藉由第2吸氣口 25之吸附，僅僅稍微變形，傘 部41的最外周部（前端）接觸成膜基板1〇’之表面，而且 ，傘部41的凹面部接觸製造裝置20的第2突出部23，被 壓在成膜基板1 (V的表面。 在此狀態中，使未圖示出的旋轉機構動作，使工作台 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐) ΓΓ7 "~ m· ^—Βϋ· t^Mmf mol atmmamtm 11 ί — ^ϋ·— ϋ_ιϋ *ιϋ·> mi Γ 、 nni tmemmeMmm ϋΗϋ an··— ·ϋϋ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1239526 Μ _ Β7 五、發明説明（17) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 21、第1突出部22以及第2突出部23 —體旋轉（以20〜 lOOrpm爲佳），另外，如第7圖所不般地，在罩子40的傘 部4 1的凸面滴下紫外線硬化性樹脂50。在此情形，成膜基 板10’藉由第1吸氣口 24的吸附而被固定在第1突出部22 ，罩子40藉由第2吸氣口 25的吸附而被固定在第2突出 部23之故，這些成膜基板10’以及罩子40也與工作台21、 第1突出部22以及第2突出部23成爲一體而一起旋轉。 另外，紫外線硬化性樹脂50的滴下點，以儘可能設定在傘 部41的凸面的中央部的附近爲佳。藉由以上，成爲紫外線 硬化性樹脂50滯留在罩子40的傘部41的凸面之狀態。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接著，藉由未圖示出的旋轉機構，使工作台21、第1 突出部22以及第2突出部23 —體高速旋轉，如第8圖所 示般地，藉由離心力將滯留在罩子40的傘部41的凸面的 紫外線硬化性樹脂50塗佈在成膜基板10’的表面（記錄層 13的表面）。藉由此，在成膜基板1 (T的表面（記錄層13 的表面）形成厚度約100 // m的紫外線硬化性樹脂50的薄 膜。在此情形，在上述紫外線硬化性樹脂50的滴下工程的 滴下點愈接近傘部41的凸面的中央部，紫外線硬化性樹脂 50的薄膜的平坦性變得愈好。 如此，在成膜基板10’的表面（記錄層13的上面）形 成紫外線硬化性樹脂50之薄膜，接著，藉由未圖示出的旋 轉機構，使工作台21、第1突出部22以及第2突出部23 一體中速旋轉。在此狀態下，如第9圖所示般地，藉由第1 紫外線遮罩60，一面覆蓋成膜基板HT的中央部，一面在形 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） 〇n 1239526 A7 _____B7 五、發明説明（18) 成於成膜基板1 0 ’的表面的紫外線硬化性樹脂5 〇的薄膜照 射紫外線，使其硬化。第1紫外線遮罩60係製造裝置2〇 的一部份。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 此處，第1紫外線遮罩60的直徑係被設定爲比罩子40 的傘部41的直徑大，而且，比應製造的光碟片1〇的資料 記錄區域的最內周的直徑小。因此，在上述紫外線的照射 工程中，存在於罩子40的傘部4 1的表面的紫外線硬化性 樹脂50與形成在成膜基板1〇’的表面的紫外線硬化性樹脂 50之中，形成在罩子40的附近的部份成爲未硬化之狀態， 形成在其他部份的紫外線硬化性樹脂50成爲硬化狀態。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接著，使未圖示出的旋轉機構的動作停止，以使旋轉 停止後，使未圖示出的第2吸氣機構的動作停止。此時， 關於未圖示出的第1吸氣機構，使維持動作狀態。在此狀 態中，如第10圖所示般地，利用第2機械臂32，去除罩子 40。在此情形，形成在罩子40的傘部41的最外周部（前 端）與成膜基板10’的表面的邊界的紫外線硬化性樹脂50， 由於是未硬化之狀態之故，可以沒困難地進行罩子40的去 除。被去除的罩子40被收集在未圖示出之使用完畢罩子40 容器，之後，被分離爲罩子4 0的材料之聚烯烴與紫外線硬 化性樹脂，分別被回收。 如此去除罩子4 0後，如第11圖所不般地，藉由具有 圓形孔63之第2紫外線遮罩62，一面覆蓋除了成膜基板 10’的中央部之部份，一面對形成在成膜基板10’的表面的未 硬化的紫外線硬化性樹脂50的薄膜照射紫外線，使其硬化 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210'〆 297公董Ί ~Λ ' "~ 1239526 A7 B7 五、發明説明（1¾ 。第2紫外線遮罩62係製造裝置20的一部份。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 此處，第2紫外線遮罩62的孔63的直徑係對應第1 紫外線遮罩60的直徑。因此，在上述紫外線的照射工程中 ，在形成於成膜基板丨〇,的表面的未硬化的紫外線硬化性樹 脂50照射紫外線，使其硬化，在已經硬化的紫外線硬化性 樹脂50，實質上不照射。藉由此，可以防止由於過度的紫 外線照射所導致的紫外線硬化性樹脂50的變質、變色。 藉由以上，形成在成膜基板1〇’的表面的紫外線硬化性 樹脂50的硬化完成，光透過層14的成膜完成。而且，使 未圖示出的第1吸氣機構的動作停止，如第丨2圖所示般地 ，搬出光透過層14的成膜完成的光碟片10。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如以上說明般地，在本實施形態中，利用具有滴下紫 外線硬化性樹脂50的傘部41、藉由嵌合在第2吸氣口 25 之第1突起42以及第2機械臂32進行處理用之第2突起 43之罩子40，旋轉塗佈紫外線硬化性樹脂50，藉由此，形 成光透過層14之故，不會在處理罩子40的第2機械臂32 附著紫外線硬化性樹脂50。因此，紫外線硬化性樹脂50附 著、污染製造裝置20的其它部份和其它裝置之顧慮大幅降 低之故，可以提升製造工程整體的可靠度，而且，不需要 設置第2機械臂3 2的淸洗工程。 另外，罩子40的材料，如使用聚烯烴樹脂等之具有彈 性的材料，藉由第2吸氣口 25的吸附，傘部41僅稍微變 形，成爲由成膜基板10’的表面所壓住之狀態之故，傘部41 的表面與成膜基板1 〇’的表面的平坦性變高。藉由此，在旋 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210><297公釐） 22 1239526 A7 B7 五、發明説明（20) 轉塗佈時，可以擔保紫外線硬化性樹脂50的薄膜的良好的 均勻性。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 另外，罩子40的材料，如使用聚烯烴樹脂，對於紫外 線硬化性樹脂的親和性比較低，另外，對於溶劑的耐受性 提高，可以比較容易進行回收時的聚烯烴樹脂與紫外線硬 化性樹脂的分離。 而且，如將罩子40的傘部4 1的表面粗度設定在本實 施形態中說明的範圍內，可以防止在光透過層14有大的氣 泡混入。 又，在前述日本專利特開平1 1- 19525 1號公報中，記載 將由中空筒狀的支持體或者複數的棒狀體形成的支持體與 罩子一體化的堵塞手段，與其相比，在本實施形態所使用 的罩子40，具有以下說明之優點。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在前述日本專利特開平1 1 - 1 9525 1號公報中，樹脂由支 持體的壁或者棒狀體堵住之故，薄膜容易產生不均。相對 於此，在本實施形態所使用的罩子40，在第2突起43的外 周面供給塗佈液而進行旋轉塗佈之故，塗膜不易產生不均 。另外，在本實施形態所使用的罩子40中，樹脂附著的是 第2突起43的外周面之故，與前述日本專利特開平11 -1 9525 1號公報相比，堵塞手段的淸洗比較容易。另外，在 前述日本專利特開平1 1 - 1 9525 1號公報中，在中空筒狀的支 持體的內部供給黏度比較高的塗佈液之故，爲了確保塗佈 液的流動性，不能使支持體的外徑太小。因此，塗佈開始 位置變得比較遠離旋轉中心。相對於此，在本實施形態所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210'〆297公釐） -23- 1239526 A7 B7 五、發明説明（21) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 使用的罩子40中，與該公報相比，可以使第2突起43的 外徑顯著變小之故，能夠使塗佈開始位址靠近旋轉中心。 其結果爲：可以使半徑方向的光透過層14的厚度不均變得 更小。 本發明並不限定於以上的實施形態，在記載於專利申 請範圍之發明的範圍內，可以有種種變更之可能，不用說 ，那些也是被包含在本發明之範圍內。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 例如，在上述實施形態中，將在藉由第11圖所示之紫 外線照射工程，完成光透過層14的成膜之時間點當成完成 光碟片10，也可以附加在那之後，更在光透過層14的表面 形成厚塗層之工程。厚塗層的形成方法，並無特別限制， 以在旋轉塗佈厚塗層液後，利用面板加熱器，使包含在厚 塗層液的溶劑蒸發，之後，藉由照射紫外線，使其硬化之 方法爲佳。如此，在附加厚塗層之情形，追加使厚塗層液 硬化用的紫外線照射工程之故，以使第9圖以及第11圖所 示之工程的紫外線的照射量減少該份量爲佳。即在第9圖 以及第11圖所示工程中，使紫外線硬化性樹脂50成爲半 硬化狀態，藉由使厚塗層液硬化之紫外線照射，使紫外線 硬化性樹脂5 0完成硬化。 另外，在上述實施形態中，雖然藉由第9圖所示之紫 外線照射工程，使沒有由第1紫外線遮罩60所覆蓋的部份 的紫外線硬化性樹脂5 0硬化，藉由第11圖所示之紫外線 照射工程，使沒有由第2紫外線遮罩62所覆蓋的部份的紫 外線硬化性樹脂50硬化；但是，也可以在第9圖所示之紫 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -24- 1239526 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（22) 外線照射工程中，不使沒有由第i紫外線遮罩60所覆蓋的 部份的紫外線硬化性樹脂50成爲完全硬化狀態，而且，在 第11圖所示之紫外線照射工程中，不使用第2紫外線遮罩 62，藉由對整面照射紫外線，以使紫外線硬化性樹脂5〇硬 化。如依據此，不使用2種之紫外線遮罩之故，可以降低 製造成本。 又，在對紫外線硬化性樹脂50照射紫外線之前，將罩 子40由光碟片1 〇取出亦可。另外，在將罩子40由光碟片 10取出之前，雖也可以使紫外線硬化性樹脂50的全部硬化 ，但是，如在硬化後再取出罩子40，在存在於傘部41上的 樹脂層與存在於光碟片10上的樹脂層的邊界附近產生毛邊 ，硬化後的樹脂成爲破片，容易飛散於光碟片10上。因此 ，關於紫外線的照射以及罩子40的取出順序，以使用在上 述實施形態中說明的順序爲佳。 另外，在本實施形態所使用的罩子40的傘部41，雖具 有愈朝外周部，其肉厚變得愈薄之形狀，但是傘部41愈朝 外周部，其肉厚變得愈薄之形狀並非必須，也可以至少一 部份，其肉厚具有一定或者增加之區域。 另外，在本實施形態所使用的罩子40的傘部41，雖具 有凸面與凹面，但是，本發明並不限定於此，傘部的形狀 也可以具有與此不同之形狀。於第1 3 ( A)〜（E )圖顯示 此種罩子之例子。 第13 ( A)圖所示之罩子70係具備：圓錐台狀之傘部 71與由傘部71的中央往相互相反方向突出之第1以及第2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25- I _ 裝 ^ 钉 ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1239526 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（23) 突起72、73。如此，本發明可以使用之罩子，也可以爲裏 面是平坦面。 第13(B)圖所示之罩子80係具備：圓錐台狀之傘部 8 1與由傘部8 1的中央往相互相反方向突出的第1以及第2 突起82、83,雖具有與第13 ( A)圖所示之罩子70幾乎相 同之形狀，但是第2突起80具有愈朝前端變得愈細之形狀 。如將第2突起83設成此種形狀，在藉由射出成形而製造 之際，可以容易由模具拔出罩子80。 第13 ( C )圖所示之罩子90係具備：凸面爲曲線狀， 裏面爲平坦之傘部9 1以及由傘部9 1的中央往相互相反方 向突起之第1以及第2突起92、93。如此，本發明可以使 用之罩子，也可以是傘部的凸面爲曲線狀。 第13 (D)圖所示之罩子100係具備：外周爲垂直面之 傘部101與由傘部的中央往相互相反方向突起之第1以及 第2突起102、103。如此，本發明可以使用之罩子，也可 以是傘部的外周爲垂直面。但是，傘部101的外周的厚度t ，以設定在0.4 m m以下爲佳。厚度t如太大，難於均勻塗 佈光透過層14。 第13 ( E)圖所示之罩子110係具備：厚度一定的傘部 111與由傘部111的中央往相互相反方向突起之第1以及第 2突起112、113。如此，本發明可以使用之罩子，也可以 是傘部的厚度爲一定。在此情形，傘部丨丨丨的外周的厚度t ，也是以設定在0.4mm以下爲佳。 另外，在使用在本實施形態的罩子40設置第1突起42 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ ' ; ^ 訂 Γ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1239526 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（24) ，藉由此種第1突起42嵌合在第2吸氣口 25以完成定位 ，但是，只要可以進行罩子40的定位，也不必要具備此種 第1突起42。因此，代替第1突起42而在傘部41的中央 設置凹部，藉由此，進行罩子40的定位亦可。 另外，藉由本發明之方法所製造的光碟片的層構成， 並無特別限定各層的厚度以及各層的材料，只要是藉由以 包含旋轉塗佈法而塗佈液狀物質之工程所製造的光碟片， 對於任何之光碟片的1製造都可以適用。此處，藉由本發明 之方法所形成的膜的厚度，係與塗佈液（上述實施形態中 ，爲紫外線硬化性樹脂50 )的黏度的平方根成正比，而且 ，旋轉數愈大，以及旋轉時間愈長者變得愈薄。因此，藉 由本發明之方法以形成膜之際，可以因應所要求之厚度而 設定塗佈液的黏度、旋轉數（高速旋轉時）以及旋轉時間 。具體爲：在形成之膜的厚度爲30/zm〜300//m之情形， 可以設定塗佈液的黏度爲100〜100000CP、旋轉數爲500〜 6000rpm、旋轉時間爲2〜10秒。 如以上說明般地，如依據本發明，不會在處理罩子的 機械臂附著紫外線硬化性樹脂之故，可以大幅降低紫外線 硬化性樹脂附著、污染製造裝置的其它部份和其它的製造 裝置之顧慮。藉由此，可以提升製造工程整體之可靠度， 而且，不須設定機械臂的淸洗工程之故，可以避免工程的 複雜化。 實施例 本紙張尺度適用中周國家標準（CNS ) Α4規格（21〇><297公釐） — “ ^ ^ 、-1τ·, (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -27- 1239526 A7 B7_ 五、發明説明（25) [實施例1 ] (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在形成保持資訊的細孔的碟片狀支持基體丨聚碳酸酉旨 樹脂製、外徑120mm、內徑（中心孔的直徑）15mm、厚度 1.1mm丨的表面，藉由濺鍍法形成由A1形成之反射層，獲 得成膜基板10’。 接著，利用使用罩子4〇之本發明的方法，以以下之順 序形成光透過層14。使用之罩子40係由不鏽鋼銳削後，進 行表面硏磨而製作者。此罩子40係具有如第1 3 ( A )圖之 形狀者，傘部41係直徑36mm、第2突起43爲直徑1mm、 長度20mm。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 首先，將罩子40載置於成膜基板10’上，藉由使第1 以及第2吸氣機構動作，將罩子40以及成膜基板10’吸附 在工作台21。接著，一面以低速使工作台21旋轉，一面將 紫外線硬化性樹脂（日本化藥（株）製、25 °C之黏度500cP )供應給第2突起43的外周面，在傘部41上使樹脂擴展 ，接著，以2000rpm使工作台21旋轉8秒鐘，在成膜基板 10 ’上延展樹脂，形成樹脂層。接著，使罩子4 0由成膜基板 10 ’分開後，藉由紫外線硬化樹脂層，當成光透過層14，獲 得光碟樣本。 [實施例2] 使用在實施例1使用後的罩子40。即使用在旋轉塗佈 之際，藉由樹脂塗佈傘部41的表面之罩子40。此外，與實 施例1相同，製作光碟片樣本。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1239526 A7 B7___ 五、發明説明（26) [實施例3] (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 除了使用與實施例所使用之罩子40相同的形狀，而且 由聚碳酸酯樹脂所形成之罩子40外，與實施例1相同，製 作光碟片樣本。此罩子40係藉由射出成形法製作。在射出 成形之際，使用對表面粗度給予不好影像的不純物少的光 碟片用聚碳酸酯，條件設爲：模具溫度30°C、樹脂熔解溫 度3 20°C、模具夾緊力490MPa、射出時間1秒鐘。 [實施例4] 不進行表面硏磨之外，使用與實施例1相同而製作的 不鏽鋼製罩子，除此之外，與實施例1相同，製作光碟片 樣本。 [實施例5] 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 除了使用與實施例4相同製作的不鏽鋼製罩子外，與 實施例1相同，製作光碟片樣本。此罩子與實施例4使用 的罩子相比，藉由切削加工的表面的粗糙度稍微小。 [實施例6] 使用與實施例1所使用的罩子40相同形狀，而且，藉 由POM(聚氧化甲烯）之銑削而製作的罩子40，此外，與實 施例1相同，製作光碟片樣本。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇'〆297公釐） 1239526 A7 B7 五、發明説明（27) [評估] (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在使用於上述各樣本的製作的罩子40中，以表面粗度 測量器（東京精密株式會社製SURFCOM SE30H、探針··同 公司製PU-DH-10/10 □ mR、截止頻率0.8mm )進行測量， 求得中心線平均粗度Ra、十點平均粗度Rz、以及粗度的平 均傾斜角Θ a。將結果顯示於表1。又，基準測量長度設爲 2.5mm。如表1所示般地，在實施例1〜3中所使用的罩子 40的表面粗度，係在上述實施形態所規定的範圍內，實施 例4〜6所使用之罩子40的表面粗度，係在上述實施形態 所規定的範圍外。 另外，在上述各樣本中，藉由光學顯微鏡以及泛用光 碟片外觀缺陷檢查機（Dr.SCHENK公司製）以調查包含在 光透過層之缺陷。在光學顯微鏡中，以目視進行氣泡的尺 寸以及個數的定量化，在泛用光碟片外觀缺陷檢查機中， 進行藉由CCD照相機資料的畫像處理的缺陷檢查。將各樣 本的氣泡的存在密度顯示於表1。另外，在以下顯示各樣本 的缺陷檢查結果的詳細。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在實施例1的樣本中，在光透過層的半徑18〜30mm的 區域中，在外周方向之一部份，由光學顯微鏡以〇〜1個/ mm2之比例觀察到直徑20〜40// m之程度的氣泡。另外， 在光碟片外觀缺陷檢查機中，也觀察到與此相當之缺陷。 在貫施例2的樣本中，在光透過層的半徑1 8〜3 0 m m之 區域中，在圓周方向之一部份，由光學顯微鏡以1〜5個/ mm2之比例觀察到直徑20〜40// m之程度的氣泡。另外， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格Γ210Χ297公釐） 一 1239526 A7 __ B7_ 五、發明説明（28) 在光碟片外觀缺陷檢查機中，也觀察到與此相當之缺陷。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在實施例3的樣本中，於光透過層之全部區域中，以 光學顯微鏡也無法確認1個氣泡，以光碟片外觀缺陷檢查 機，也無法檢測出同樣的缺陷。 在實施例4的樣本中，在光透過層的半徑18〜30mm之 區域中，在圓周方向的幾乎全部區域中，以5〜10個/ mm2 的比例觀察到直徑20〜40 // m程度的氣泡。另外，以光碟 片外觀缺陷檢查機也觀察到與此相當的缺陷。 表1 堵塞手段 Ra (nm) Rz (Mm) 0a (deg) 氣泡存在密度 (個 /mm2) 實施例 1 金屬（表面硏磨） 59 0.418 0.31 0〜1 實施例 2 金屬（表面硏磨） 27 0.303 0.22 1〜5 +樹脂塗佈 實施例 3 樹脂（射出成形） 42 0.060 0.09 0 實施例 4 金屬 479* 2.592* 2.80* 10 〜20 實施例 5 金屬 264* 1.919* 3.15* 5〜10 實施例 6 樹脂（切削） 932* 4.412* 4.63* 20 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 * :規定範圍外 在實施例6的樣本中，在光透過層的半徑10〜30mm的 區域中，在圓周方向的全部區域中，以20個/ mm2的比例 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 1239526 A7 B7 五、發明説明（29) 觀察到直徑20〜40 // m程度的氣泡。另外，以光碟片外觀 缺陷檢查機也觀察到與此相當的缺陷。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 由以上之實施例的結果，本發明之效果變得很淸楚。 即藉由將罩子的表面粗度控制在上述實施形態所規定的範 圍內，可以使光透過層的缺陷顯著降低。 表1所示之個樣本的細孔形成區域（半徑23〜58mm的 區域）中，藉由雷射聚焦位移計做測量。其結果，光透過 層的厚度在任何之樣本中都是1〇〇± 2 // m，確認到半徑方向 的厚度不均極爲小。 圖面之簡單說明 第1圖是槪略顯示由關於本發明之合適實施形態的方 法所製造的光碟片1 〇的剖面圖。 第2 ( a )圖是槪略顯示實現關於本發明之合適實施形 態的方法用的製造裝置20的主要部份的斜視圖、第2 ( b ) 圖是其之簡略剖面圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第3圖是顯τπ：關於本發明之合適實施形態的光碟片的 製造方法的一工程（搬入工程）圖。 第4圖是顯示關於本發明之合適實施形態的光碟片的 製造方法的一工程（成膜基板10’之載置工程）圖。 第5圖是顯示關於本發明之合適實施形態的光碟片的 製造方法的一工程（罩子40的載置工程）圖。 第6圖是顯示罩子40的形狀的簡略斜視圖。 第7圖是顯示關於本發明之合適實施形態的光碟片的 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ ^ Ϊ239526 Α7 Β7 五、發明説明（30) 製造方法的一工程（紫外線硬化性樹脂50的滴下工程）圖 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 第8圖是顯示關於本發明之合適實施形態的光碟片的 製造方法的一工程（旋轉塗佈工程）圖。 第9圖是顯示關於本發明之合適實施形態的光碟片的 製造方法的一工程（第1紫外線照射工程）圖。 第1 0圖是顯示關於本發明之合適實施形態的光碟片的 製造方法的一工程（罩子40的去除工程）圖。 第11圖是顯示關於本發明之合適實施形態的光碟片的 製造方法的一工程（第2紫外線照射工程）圖。 第1 2圖是顯示關於本發明之合適實施形態的光碟片的 製造方法的一工程（搬出工程）圖。 第13 ( A)〜（E)圖是分別顯示罩子70〜110之構造的簡 略剖面圖。 第14圖是顯示CD-ROM的層構成之剖面圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 主要元件對照表 1光透過層 2反射層 3保護層 10光碟片 成膜基板 1 1基板 15孔 -33- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 1239526 A7 B7 五、發明説明（31) 16溝 20製造裝置 21工作台 22第1突出部 23第2突出部 ，24第1吸氣口 25第2吸氣口 31第1機械臂 32第2機械臂 40罩子 41 傘部 42第1突起 43第2突起 50紫外線硬化性樹脂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210><297公釐） -34

Claims (1)

1239526 Α8 Β8 C8 D8 ,91·? 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍1 附件la : 第9 1 1 17686號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國94年1月27日修正 1，一種光碟片之製造方法，其特徵爲： 具備： 處理具有一面爲凸面之圓形的傘部，以及由前述傘部 '巧的前述凸面的中心突出設置的處理用突起的罩子的前述處 、理用突起，將前述罩子載置於成膜基板的略中心部的載置 ^工程；及在前述罩子的前述傘部的前述凸面滴下液狀物質 的滴下工程；及藉由使前述成膜基板及前述罩子一體旋轉 ^ “ ，將前述液狀物質塗佈在前述成膜基板的表面的旋轉塗佈 '丨工程。 :i 2·如申請專利範圍第1項所述之光碟片之製造方法， * ί Λ? ^其中前述罩子，係另外具有設置在與前述傘部的前述凸面 相反側之面的定位部，藉由使用前述定位部的定位，進行 前述載置工程的前述罩子的載置。 3 ·如申請專利範圍第2項所述之光碟片之製造方法， 其中前述罩子的前述傘部，係具有愈朝外周部，肉厚變得 愈薄之形狀，前述罩子的前述定位部，係由前述傘部的前 述相反側之面的中心突出設置的定位用突起所形成。 4 ·如申請專利範圍第3項所述之光碟片之製造方法， 其中另外具有在前述載置工程之後，藉由吸引前述罩子的 前述定位用突起，將前述罩子的前述傘部的最外周部壓住 本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1239526 「 厂·！ 二.： C8 ….，一· …—一.、一^ Do 六、申請專利範圍2 前述成膜基板的表面之吸引工程。 5 ·如申請專利範圍第1至第4項中任一項所述之光碟 片之製造方法，其中前述液狀物質，係紫外線硬化性樹脂 〇 6 ·如申請專利範圍第5項所述之光碟片之製造方法， 其中另外具備：一面藉由第1紫外線遮罩覆蓋前述成膜基 板的中央部，一面對形成在前述成膜基板的表面的前述紫 外線硬化性樹脂照射紫外線，使其硬化之第1紫外線照射 工程，即述萊r 1紫外線遮罩的直徑，係比前述罩子的前述 傘部的直徑大。 7 ·如申請專利範圍第6項所述之光碟片之製造方法， 其中另外具備：處理前述罩子的前述處理用突起，將前述 罩子由前述成膜基板的表面去除之工程；及在前述去除工 程之後，對形成在前述成膜基板的表面的前述紫外線硬化 性樹脂照射紫外線，使其硬化之第2紫外線照射工程。 8 ·如申請專利範圍第1至第4項中任一項所述之光碟 片之製造方法，其中前述罩子，係由塑膠所形成。 9 ·如申請專利範圍第5項所述之光碟片之製造方法， 其中前述罩子，係由塑膠所形成。 10 ·如申請專利範圍第6項所述之光碟片之製造方法 ，其中前述罩子，係由塑膠所形成。 11 ·如申請專利範圍第7項所述之光碟片之製造方法 ，其中前述罩子，係由塑膠所形成。 12 ·如申請專利範圍第8項所述之光碟片之製造方法 ( CNS ) ( 210X297^^； ) 一 ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -2- 1239526

六、申請專利範圍3 ，其中前述罩子，係由聚烯烴所形成。 1 3 ·如申請專利範圍第9項所述之光碟片之製造方法 ，其中前述罩子，係由聚烯烴所形成。 14 ·如申·請專利範圍第10項所述之光碟片之製造方法 ，其中前述罩子，係由聚烯烴所形成。 1 5 ·如申請專利範圍第11項所述之光碟片之製造方法 ，其中前述罩子，係由聚烯烴所形成。 16· —種光碟片之製造裝置，其特徵爲： 具備： 處理具有一面爲凸面之圓形的傘部，以及由前述傘部 的前述凸面的中心突出設置的處理用突起的罩子的前述處 理用突起之手段；及在被載置於成膜基板的略中心部的前 述罩子的前述傘部的前述凸面滴下液狀物質之手段；及使 前述成膜基板及前述罩子一體旋轉之手段。 17· —種光碟片製造裝置，是針對藉由旋轉塗佈法在 成膜基板的表面塗佈液狀物質用的光碟片製造裝置，其特 徵爲： 具備： 載置前述成膜基板而可以旋轉之工作台；及將前述成 膜基板固定在前述工作台用之第1吸引手段；及搬運罩子 ，將其載置於前述工作台上的前述成膜基板的中央部份之 機械臂；及將前述罩子固定於前述成膜基板用之第2吸引 手段。 1 8 ·如申請專利範圍第1 7項所述之光碟片製造裝置， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格7 210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -3- 1239526 ^ B8 C8 D8 六、申請專利範圍4 其中前述第2吸引手段，係包含定位前述罩子之吸引口。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 19· 一種光資訊媒體之製造方法，是針對製造在具有 中心孔的碟片狀的支持基體上，以資訊記錄層與包含樹脂 之光透過層之順序具有該兩層，記錄或者再生用的雷射光 束通過前述光透過層，射入前述資訊記錄層而被使用之光 資訊媒體之方法，其特徵爲： 設置： 在前述支持基體上設置前述資訊記錄層後，藉由具有 圓板部之堵塞手段的前述圓板部覆蓋前述支持基體的中心 孔，接著，將含有放射線硬化型樹脂之塗佈液供應給前述 圓板部上，接著，藉由使前述堵塞手段與前述支持基體一 體旋轉，使前述塗佈液在前述支持基體上延展開，形成環 狀的樹脂層之樹脂延展工程；及 藉由放射線照射以使前述樹脂層硬化，形成前述光透 過層之硬化工程； 利用在前述塗佈液接觸之前述圓板部表面的至少其中 一部份中，中心線平均粗度Ra爲lOOnm以下之堵塞手段。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 20· —種光資訊媒體之製造方法，是針對製造在具有 中心孔的碟片狀的支持基體上，以資訊記錄層與包含樹脂 之光透過層之順序具有該兩層，記錄或者再生用的雷射光 束通過前述光透過層，射入前述資訊記錄層而被使用之光 資訊媒體之方法，其特徵爲： ~η β · δ又置· 在前述支持基體上設置前述資訊記錄層後，藉由具有 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -4-

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍5 圓板部之堵塞手段的前述圓板部覆蓋前述支持基體的中心 孔，接著，將含有放射線硬化型樹脂之塗佈液供應給前述 圓板部上，接著，藉由使前述堵塞手段與前述支持基體一 體旋轉，使前述塗佈液在前述支持基體上延展開，形成環 狀的樹脂層之樹脂延展工程；及 藉由放射線照射以使前述樹脂層硬化，形成前述光透 過層之硬化工程； 利用在前述塗佈液接觸之前述圓板部表面的至少其中 一部份中，十點平均粗度Rz爲1 // m以下之堵塞手段。 21· —種光資訊媒體之製造方法，是針對製造在具有 中心孔的碟片狀的支持基體上，以資訊記錄層與包含樹脂 之光透過層之順序具有該兩層，記錄或者再生用的雷射光 束通過前述光透過層，射入前述資訊記錄層而被使用之光 資訊媒體之方法，其特徵爲： 設置： 在前述支持基體上設置前述資訊記錄層後，藉由具有 圓板部之堵塞手段的前述圓板部覆蓋前述支持基體的中心 孔，接著，將含有放射線硬化型樹脂之塗佈液供應給前述 圓板部上，接著，藉由使前述堵塞手段與前述支持基體一 體旋轉，使前述塗佈液在前述支持基體上延展開，形成環 狀的樹脂層之樹脂延展工程；及 藉由放射線照射以使前述樹脂層硬化，形成前述光透 過層之硬化工程； 利用在前述塗佈液接觸之前述圓板部表面的至少其中 本紙張尺度適用中國國家襟準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-5- 1239526 I4 a A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍® 一部份中，粗度之平均傾斜角Θ a爲1。以下之堵塞手段。 2 2 ·如申請專利範圍第19〜21項中任一項所述之光資 訊媒體之製造方法，其中前述堵塞手段，係藉由樹脂的射 出成形所製作者。 2 3 ·如申|靑專利範圍第1 9〜21項中任一項所述之光資 訊媒體之製造方法，其中前述堵塞手段，係具備由前述圓 板部表面的中心部份突出之處理用突起。 24 ·如申請專利範圍第22項所述之光資訊媒體之製造 方法，其中則述堵塞手段，係具備由前述圓板部表面的中 心部份突出之處理用突起。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -6 - 1239526

第91117686號專利申請案 中文圖式修正頁民國94年1月27曰呈

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(D) 、 \ (Ε) 第13圖