CN1320155C - 高电阻透明导电膜用溅射靶及高电阻透明导电膜的制造方法 - Google Patents
高电阻透明导电膜用溅射靶及高电阻透明导电膜的制造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1320155C CN1320155C CNB021244332A CN02124433A CN1320155C CN 1320155 C CN1320155 C CN 1320155C CN B021244332 A CNB021244332 A CN B021244332A CN 02124433 A CN02124433 A CN 02124433A CN 1320155 C CN1320155 C CN 1320155C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- high resistance
- oxide
- nesa coating
- resistivity
- mole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 33
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 50
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 63
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 62
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 34
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 13
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 7
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 24
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 20
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 15
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 13
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 7
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 6
- IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N strontium oxide Chemical compound [O-2].[Sr+2] IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 5
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical class [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- MMKQUGHLEMYQSG-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);praseodymium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Pr+3].[Pr+3] MMKQUGHLEMYQSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 5
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 5
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- FRWYFWZENXDZMU-UHFFFAOYSA-N 2-iodoquinoline Chemical compound C1=CC=CC2=NC(I)=CC=C21 FRWYFWZENXDZMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 241000588731 Hafnia Species 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N beryllium oxide Inorganic materials O=[Be] LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(IV) oxide Inorganic materials O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N iron oxide Inorganic materials [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 3
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 3
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- NDLPOXTZKUMGOV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoferriooxy)iron hydrate Chemical compound O.O=[Fe]O[Fe]=O NDLPOXTZKUMGOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001392 phosphorus oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- VSAISIQCTGDGPU-UHFFFAOYSA-N tetraphosphorus hexaoxide Chemical compound O1P(O2)OP3OP1OP2O3 VSAISIQCTGDGPU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical group 0.000 description 1
- 239000006259 organic additive Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 1
- 239000002195 soluble material Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A22—BUTCHERING; MEAT TREATMENT; PROCESSING POULTRY OR FISH
- A22C—PROCESSING MEAT, POULTRY, OR FISH
- A22C29/00—Processing shellfish or bivalves, e.g. oysters, lobsters; Devices therefor, e.g. claw locks, claw crushers, grading devices; Processing lines
- A22C29/02—Processing shrimps, lobsters or the like ; Methods or machines for the shelling of shellfish
- A22C29/021—Cleaning operations on shellfish, e.g. evisceration, brushing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A22—BUTCHERING; MEAT TREATMENT; PROCESSING POULTRY OR FISH
- A22C—PROCESSING MEAT, POULTRY, OR FISH
- A22C29/00—Processing shellfish or bivalves, e.g. oysters, lobsters; Devices therefor, e.g. claw locks, claw crushers, grading devices; Processing lines
- A22C29/04—Processing bivalves, e.g. oysters
- A22C29/043—Cleaning operations on bivalves, e.g. evisceration, brushing, separation of meat and shell material
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A23—FOODS OR FOODSTUFFS; TREATMENT THEREOF, NOT COVERED BY OTHER CLASSES
- A23L—FOODS, FOODSTUFFS, OR NON-ALCOHOLIC BEVERAGES, NOT COVERED BY SUBCLASSES A21D OR A23B-A23J; THEIR PREPARATION OR TREATMENT, e.g. COOKING, MODIFICATION OF NUTRITIVE QUALITIES, PHYSICAL TREATMENT; PRESERVATION OF FOODS OR FOODSTUFFS, IN GENERAL
- A23L17/00—Food-from-the-sea products; Fish products; Fish meal; Fish-egg substitutes; Preparation or treatment thereof
- A23L17/40—Shell-fish
Landscapes
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Zoology (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Abstract
本发明提供一种可以基本采用DC磁控管溅射装置来制造能形成透明且高电阻的膜的高电阻透明导电膜用溅射靶以及高电阻透明导电膜的制造方法。该溅射靶是形成电阻率约为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜的高电阻透明导电膜用氧化铟系溅射靶,含有氧化铟和根据需要的氧化锡、且含有绝缘性氧化物。
Description
技术领域
本发明涉及在制作电阻率约为0.8~10×10-3Ωcm的高电阻导电膜时所使用的高电阻透明导电膜用溅射靶(Sputtering targot)及使用它制造高电阻透明导电膜的高电阻透明导电膜的制造方法。
背景技术
由于氧化铟-氧化锡(In2O3-SnO2的复合氧化物,以下称为‘ITO’)膜的可见光透过性高,且导电性高,所以作为透明导电膜被广泛应用于液晶显示装置、玻璃的防止结霜用发热膜和红外线反射膜等。
例如,就平板显示(FPD)中所使用的透明导电膜来说,选择低电阻(电阻率约为2×10-4Ωcm)的透明导电膜。
另一方面,从原理上来看,安装在这样的FPD等上而使用的电阻式按键操纵板用透明导电膜,作为要求特性,需要高电阻的透明导电膜。然而,目前存在如下问题:若使用被用于FPD的ITO,则必须是非常薄的膜,这样不能确保按键操纵板的强度。
另外,若将溅射靶自身的电阻变为高电阻,就不能使用比高频磁控管价格便宜的DC磁控管溅射装置,存在设备投资较大的问题。
发明内容
鉴于这样的情况,本发明的目的在于提供一种高电阻透明导电膜用溅射靶及高电阻透明导电膜的制造方法,基本上能够使用DC磁控管溅射装置,可以制作成透明且高电阻的膜。
为了达到上述目的,本发明提供一种高电阻透明导电膜用溅射靶,是用于形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的高电阻导电膜的高电阻透明导电膜用氧化铟系溅射靶,其特征在于:含有氧化铟及绝缘性氧化物,且体电阻率为10-4数量级,所述绝缘性氧化物包括氧化硅。
本发明还提供一种高电阻透明导电膜的制造方法,其特征在于:使用含有氧化铟及绝缘性氧化物,且体电阻率为10-4数量级的氧化铟系溅射靶,所述绝缘性氧化物包括氧化硅,通过DC磁控管溅射形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜。
本发明的第一方式在于高电阻透明导电膜用溅射靶,是用于形成电阻率约为0.8~10×10-3Ωcm的高电阻导电膜的高电阻透明导电膜用氧化铟系溅射靶,其特征是,含有氧化铟及根据需要的氧化锡,并且含有绝缘性氧化物。
在该第一方式中,通过在氧化铟系溅射靶中添加绝缘性氧化物,可以不使靶自身的电阻率产生大的变化,而提高所形成的透明导电膜的电阻率。
本发明的第二方式在于高电阻透明导电膜用溅射靶,其特征是,在第一方式中,所述绝缘性氧化物是选自氧化硅、氧化铝、氧化钽、氧化铪、氧化铌、氧化钇、氧化铈、氧化镨、氧化铍、氧化镁、氧化钙、氧化锶、氧化钡、氧化钪、氧化钛、氧化锆、氧化钒、氧化硼、氧化镓、氧化锌、氧化铬、氧化锰、氧化铁、氧化钼、氧化磷和氧化镧族元素的至少一种。
在该第二方式中,通过添加氧化硅、氧化铝、氧化钽、氧化铌、氧化钇、氧化铈、氧化镨等,可以不使靶自身的电阻率产生大的变化,而提高所形成的透明导电膜的电阻率。
本发明的第三方式在于高电阻透明导电膜用溅射靶,其特征是,在第二方式中,所述绝缘性氧化物是氧化硅。
在该第三方式中,通过添加氧化硅,可以不使靶自身的电阻率产生大的变化,而提高所形成的透明导电膜的电阻率。
本发明的第四方式在于高电阻透明导电膜用溅射靶,其特征是,在第一~三的任一方式中,相对于1摩尔铟,构成所述绝缘性氧化物的元素为0.00001~0.26摩尔。
在该第四方式中,通过添加给定量的绝缘性氧化物,可以不使靶自身的电阻率产生大的变化,而提高所形成的透明导电膜的电阻率。
本发明的第五方式在于高电阻透明导电膜用溅射靶,其特征是,在第一~四的任一方式中,相对于1摩尔铟,含有0~0.3摩尔锡(Sn)。
在该第五方式中,成为以氧化铟为主体、根据需要含有氧化锡的溅射靶。
本发明的第六方式在于高电阻透明导电膜用溅射靶,其特征是,在第一~五的任一方式中,可以通过DC磁控管溅射形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜。
在该第六方式中,可以通过DC磁控管溅射制作成高电阻的透明导电膜。
本发明的第七方式在于高电阻透明导电膜的制造方法,其特征是,使用含有氧化铟及根据需要的氧化锡、并且含有绝缘性氧化物的氧化铟系溅射靶,通过DC磁控管溅射形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜。
在该第七方式中,通过使用已添加有绝缘性氧化物的氧化铟系溅射靶,可以不使靶自身的电阻率产生大的变化,而由DC磁控管溅射来形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜。
本发明的第八方式在于高电阻透明导电膜的制造方法,其特征是,在第七方式中,所述绝缘性氧化物是选自氧化硅、氧化铝、氧化钽、氧化铪、氧化铌、氧化钇、氧化铈、氧化镨、氧化铍、氧化镁、氧化钙、氧化锶、氧化钡、氧化钪、氧化钛、氧化锆、氧化钒、氧化硼、氧化镓、氧化锌、氧化铬、氧化锰、氧化铁、氧化钼、氧化磷和氧化镧族元素的至少一种。
在该第八方式中,通过使用已添加有氧化硅、氧化铝、氧化钽、氧化铌、氧化钇、氧化铈、氧化镨等的氧化铟系溅射靶,可以不使靶自身的电阻率产生大的变化,而由DC磁控管溅射来形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜。
本发明的第九方式在于高电阻透明导电膜的制造方法,其特征是,在第八方式中,所述绝缘性氧化物是氧化硅。
在该第九方式中,通过使用已添加有氧化硅的氧化铟系溅射靶,可以不使靶自身的电阻率产生大的变化,而由DC磁控管溅射来形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜。
本发明的第十方式在于高电阻透明导电膜的制造方法,其特征是,在第七~九的任一方式中,相对于1摩尔铟,构成所述绝缘性氧化物的元素为0.00001~0.26摩尔。
在该第十方式中,通过使用已添加给定量的绝缘性氧化物的氧化铟系溅射靶,可以不使靶自身的电阻率产生大的变化,而由DC磁控管溅射来形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜。
本发明的第十一方式在于高电阻透明导电膜的制造方法,其特征是,在第七~十的任一方式中,相对于1摩尔铟,含有0~0.3摩尔锡(Sn)。
在该第十一方式中,可以使用以氧化铟为主体、根据需要含有氧化锡的溅射靶,通过DC磁控管溅射来形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜。
本发明的高电阻透明导电膜用溅射靶是以氧化铟为主体、根据需要含有氧化锡、并含有绝缘性氧化物的氧化物烧结体,各氧化物可以以氧化物本来的形态、或复合氧化物形态、或固溶体形态存在,没有特别限定。
在此,就绝缘性氧化物来说,可以列举出氧化硅、氧化铝、氧化钽、氧化铪、氧化铌、氧化钇、氧化铈、氧化镨、氧化铍、氧化镁、氧化钙、氧化锶、氧化钡、氧化钪、氧化钛、氧化锆、氧化钒、氧化硼、氧化镓、氧化锌、氧化铬、氧化锰、氧化铁、氧化钼、氧化磷和氧化镧族元素等。
就绝缘性氧化物来说,优选在0~1600℃范围内标准生成能量比氧化铟低的绝缘性氧化物。这是因为与氧化铟相比,化学性更稳定,难以分解。
优选绝缘性氧化物的含有量处于如下的范围内:相对于1摩尔铟,构成该绝缘性氧化物的元素为0.00001~0.26摩尔。原因是,若比该范围少,则添加的效果不显著,并且,若比该范围多,则所形成的透明导电膜的电阻过高。
并且,锡(Sn)相对于1摩尔铟为0~0.3摩尔。在含有锡的情况下,相对于1摩尔铟,锡的含量为0.001~0.3摩尔的范围,优选为0.01~0.15摩尔的范围,更优选为0.05~0.1摩尔的范围。如果处于该范围内,就可以适当控制溅射靶的载流子电子的密度和移动度,确保导电性处于良好的范围内。并且,如果超出该范围进行添加,就会使溅射靶的载流子电子的移动度降低,并使导电性向劣化的方向发展,所以不可取。
本发明的高电阻透明导电膜用溅射靶具有可由DC磁控管溅射进行溅射的程度的电阻值,可以形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜。
当然,使用高频磁控管溅射装置也可以形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜。
下面,说明本发明的溅射靶的制造方法,这仅是示例,制造方法不局限于此。
首先,构成本发明的溅射用靶的初始原料,一般是In2O3、SnO2、SiO2的粉末。而且,也可以以这些单质、化合物、复合氧化物等为原料。使用单质、化合物时,需要预先经过变为氧化物的工序。
对于以所期望的配合率将这些原料粉进行混合、成型的方法不作特别的限定,可以使用现有公知的各种湿式法或干式法。
就干式法来说,可列举出冷压(Cold Press)法或热压(Hot Press)法等。在冷压法中,将混合粉填充到压模中,制作成成型体,在大气氛围气下或氧气氛围气下进行烧制、烧结。在热压法中,将混合粉直接置于压模内进行烧结。
就湿式法来说,例如,优选使用过滤成型法(参照特开平11-286002号公报)。该过滤式成型法是,使用从陶瓷原料淤浆中减压排出水分而得到成型体的由非水溶性材料构成的过滤式压模,并调制由混合粉、离子交换水和有机添加剂组成的淤浆,将该淤浆注入过滤式压模中,只从过滤器这侧减压排出淤浆中的水分而制作成型体,将所得到的陶瓷成型体干燥脱脂后,进行烧制。上述过滤式压模,是由具有一个以上除水孔的成型用下模、配置于该成型用下模上的具有通水性的过滤器、以及通过用于密封该过滤器的密封件从上面进行挟持的成型用模板构成,可分别拆卸地组装上述成型用下模、成型用模板、密封件、以及过滤器,只从该过滤器这侧减压排出淤浆中的水分。
在各种方法中,烧制温度优选为1300~1600℃,更优选为1300~1450℃。然后,实施用于加工、成型为给定尺寸的机械加工,制成靶。
附图说明
图1是表示实施例1的针对氧气分压的电阻率和波长550nm的透过率之间关系的图。
图2是表示比较例1的针对氧气分压的电阻率和波长550nm的透过率之间关系的图。
图3是表示实施例2的针对氧气分压的电阻率和波长550nm的透过率之间关系的图。
具体实施方式
以下,借助实施例说明本发明,但不局限于此。
(实施例1)
准备纯度>99.99%的In2O3粉和SnO2粉、以及纯度>99.9%的SiO2粉。按照SnO2为10wt%、SiO2为5wt%、In2O3为85wt%的比率且全量为1.5Kg准备该粉末(相对于1摩尔In而言,Si相当于约0.13摩尔),采用过滤成型法得到成型体。然后,在氧气氛围气、1550℃条件下,对该烧制体进行8小时的烧制、烧结。加工该烧结体,得到相对于理论密度的相对密度为100%的靶。该靶的体电阻率为2.4×10-4Ωcm。
使用该靶,在下述条件下,通过DC磁控管溅射来成膜,得到厚度为1200的膜。
靶尺寸:φ=6in.τ=6mm
溅射方式:DC磁控管溅射
排气装置:旋转泵+低温泵
到达真空度:4.0×10-5[Torr]
Ar压力:3.0×10-3[Torr]
氧气压力:1~10×10-5[Torr]
基板温度:200℃
溅射功率:300W(功率密度1.6W/cm2)
使用基板:Denpax(液晶显示用玻璃)t=1.8mm
通过分析该膜的电阻率和透过率,得到图1那样的针对氧气分压的电阻率和波长550nm的透过率之间的关系。
(比较例1)
准备纯度>99.99%的In2O3粉和SnO2粉。按照SnO2为10wt%、In2O3为90wt%的比率且全量为1.5Kg准备该粉末,采用过滤成型法得到成型体。然后,在氧气氛围气、1550℃条件下,对该烧制体进行8小时的烧制、烧结。加工该烧结体,得到相对于理论密度的相对密度为99.6%的靶。该靶的体电阻率为1.7×10-4Ωcm。
使用该靶,在与实施例1相同的条件下,通过DC磁控管溅射来成膜,得到厚度为2000的膜。通过分析该膜的电阻率和透过率,得到图2那样的针对氧气分压的电阻率和波长550nm的透过率之间的关系。
(实施例2)
准备纯度>99.99%的In2O3粉和SnO2粉、以及纯度>99.9%的SiO2粉。按照SnO2为10wt%、SiO2为10wt%、In2O3为80wt%的比率且全量为1.5Kg准备该粉末(相对于1摩尔In而言,Si相当于约0.26摩尔),采用过滤成型法得到成型体。然后,在氧气氛围气、1550℃条件下,对该烧制体进行8小时的烧制、烧结。加工该烧结体,得到相对于理论密度的相对密度为100%的靶。该靶的体电阻率为4.0×10-4Ωcm。
使用该靶,在与实施例1相同的条件下,通过DC磁控管溅射来成膜,得到厚度为1200的膜。通过分析该膜的电阻率和透过率,得到图3那样的针对氧气分压的电阻率和波长550nm的透过率之间的关系。
(实施例3)
准备纯度>99.99%的In2O3粉和SnO2粉、以及纯度>99.9%的SiO2粉。按照SnO2为10wt%、SiO2为5wt%、In2O3为85wt%的比率且全量为1.5Kg准备该粉末(相对于1摩尔In而言,Si相当于约0.13摩尔),采用过滤成型法得到成型体。然后,在氧气氛围气、1450℃条件下,对该烧制体进行8小时的烧制、烧结。加工该烧结体,得到相对于理论密度的相对密度为100%的靶。该靶的体电阻率为3.0×10-4Ωcm。
使用该靶,在与实施例1相同的条件下,通过DC磁控管溅射来成膜,得到厚度为1200的膜。分析该膜的电阻率和透过率,显示出与图1近乎同等的氧气分压特性。
由以上结果可以看出,实施例1~3的体电阻率为10-4Ωcm数量级,显示出与比较例1所示的现有ITO靶近乎同等的值,DC磁控管溅射是可以的。
并且可知,与比较例1所示的现有ITO膜的氧气分压依赖性相比较,实施例1~3所示的也具有近乎同等的特性,可以使用现有的ITO膜的成膜方法。
与比较例1所示的现有ITO膜的优选氧气分压中的电阻率相比较,实施例1的电阻率变为10倍的大小,并且,就实施例2来说,变为100倍的大小。
实际上,若将适用于商品时的膜厚设定约为150,在实施例1中,薄膜电阻约为700Ω。另一方面,在实施例2中,薄膜电阻约为7000Ω。另外,若将膜厚设定为1500,在实施例1中,薄膜电阻约为70Ω。另一方面,在实施例2中,薄膜电阻约为700Ω。
另外,我们知道,通过增加SnO2的添加量,可以生成载流子,具有降低电阻的倾向。由此可知,不仅SiO2,而且通过调整SnO2的添加量也可以控制电阻率。
由以上可知,通过控制SnO2、SiO2的量,可得到最佳的电阻率。
如以上所说明的,本发明可以提供一种用于形成电阻率约为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜的高电阻透明导电膜用氧化铟系溅射靶,即,含有氧化铟和根据需要的氧化锡、且含有绝缘性氧化物的高电阻透明导电膜用溅射靶,由此,可以采用基本的DC磁控管溅射装置来制造能形成透明且高电阻的膜的高电阻透明导电膜。
Claims (10)
1.一种高电阻透明导电膜用溅射靶,是用于形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的高电阻导电膜的高电阻透明导电膜用氧化铟系溅射靶,其特征在于:
含有氧化铟及绝缘性氧化物,且体电阻率为10-4Ωcm的数量级,所述绝缘性氧化物包括氧化硅。
2.如权利要求1所述的高电阻透明导电膜用溅射靶,其特征在于:相对于理论密度的相对密度为100%。
3.如权利要求1所述的高电阻透明导电膜用溅射靶,其特征在于:相对于1摩尔铟,构成所述绝缘性氧化物的元素为0.00001~0.26摩尔。
4.如权利要求1或3所述的高电阻透明导电膜用溅射靶,其特征在于:含有氧化锡,所述氧化锡(Sn)的含量相对于1摩尔铟,为0.3摩尔以下。
5.如权利要求1或3所述的高电阻透明导电膜用溅射靶,其特征在于:通过DC磁控管溅射形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜。
6.如权利要求4所述的高电阻透明导电膜用溅射靶,其特征在于:通过DC磁控管溅射形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜。
7.一种高电阻透明导电膜的制造方法,其特征在于:使用含有氧化铟及绝缘性氧化物,且体电阻率为10-4Ωcm的数量级的氧化铟系溅射靶,所述绝缘性氧化物包括氧化硅,通过DC磁控管溅射形成电阻率为0.8~10×10-3Ωcm的透明导电膜。
8.如权利要求7所述的高电阻透明导电膜的制造方法,其特征在于:相对于理论密度的相对密度为100%。
9.如权利要求7所述的高电阻透明导电膜的制造方法,其特征在于:相对于1摩尔铟,构成所述绝缘性氧化物的元素为0.00001~0.26摩尔。
10.如权利要求7或9所述的高电阻透明导电膜的制造方法,其特征在于:含有氧化锡,所述氧化锡(Sn)的含量相对于1摩尔铟,为0.3摩尔以下。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001192522 | 2001-06-26 | ||
JP2001192522 | 2001-06-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1397661A CN1397661A (zh) | 2003-02-19 |
CN1320155C true CN1320155C (zh) | 2007-06-06 |
Family
ID=19030962
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB021244332A Expired - Lifetime CN1320155C (zh) | 2001-06-26 | 2002-06-26 | 高电阻透明导电膜用溅射靶及高电阻透明导电膜的制造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010031382A (zh) |
KR (1) | KR100744017B1 (zh) |
CN (1) | CN1320155C (zh) |
TW (1) | TW570909B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105063555A (zh) * | 2007-06-26 | 2015-11-18 | Jx日矿日石金属株式会社 | 非晶质复合氧化膜、结晶质复合氧化膜、非晶质复合氧化膜的制造方法、结晶质复合氧化膜的制造方法及复合氧化物烧结体 |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4488184B2 (ja) * | 2004-04-21 | 2010-06-23 | 出光興産株式会社 | 酸化インジウム−酸化亜鉛−酸化マグネシウム系スパッタリングターゲット及び透明導電膜 |
JP4727664B2 (ja) | 2005-06-15 | 2011-07-20 | Jx日鉱日石金属株式会社 | スパッタリングターゲット用酸化クロム粉末及びスパッタリングターゲット |
KR101317080B1 (ko) * | 2005-07-01 | 2013-10-11 | 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 | Izo 스퍼터링 타겟의 제조방법 |
JP2007176706A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-12 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 酸化物焼結体及びその製造方法並びにスパッタリングターゲット及び透明導電膜 |
KR101699968B1 (ko) * | 2006-12-13 | 2017-01-26 | 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 | 스퍼터링 타겟 및 산화물 반도체막 |
KR100844894B1 (ko) * | 2007-01-16 | 2008-07-09 | (주)레이저옵텍 | 자성 반도체 박막 및 이의 제조방법 |
KR100787635B1 (ko) * | 2007-01-22 | 2007-12-21 | 삼성코닝 주식회사 | 산화인듐주석 타겟, 이의 제조 방법 및 이로부터 제조된산화인듐주석 투명 전극 |
KR101294328B1 (ko) * | 2007-06-28 | 2013-08-07 | 삼성코닝정밀소재 주식회사 | 산화 인듐 주석 타겟, 이의 제조 방법 및 이로부터 제조된산화 인듐 주석 투명 전극 |
KR101208380B1 (ko) * | 2007-09-27 | 2012-12-05 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | ZnO 증착재와 그 제조 방법, 및 ZnO 막 |
WO2009044888A1 (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-09 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | 酸化インジウム系ターゲット |
KR101049560B1 (ko) * | 2008-11-11 | 2011-07-15 | 희성금속 주식회사 | 고밀도 산화 아연계 스퍼터링 타겟 |
KR101412319B1 (ko) * | 2009-07-21 | 2014-06-26 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | ZnO계 투명 도전막용 타깃 및 그 제조 방법 |
CN105439541B (zh) * | 2009-10-06 | 2018-09-14 | 吉坤日矿日石金属株式会社 | 氧化铟烧结体、氧化铟透明导电膜以及该透明导电膜的制造方法 |
KR101283686B1 (ko) * | 2009-11-18 | 2013-07-08 | 주식회사 나노신소재 | 열안정성 투명 도전막 및 투명 도전막의 제조방법 |
KR20120070597A (ko) * | 2009-11-19 | 2012-06-29 | 가부시키가이샤 아루박 | 투명 도전막의 제조 방법, 투명 도전막의 제조 장치, 스퍼터링 타겟 및 투명 도전막 |
JP4968318B2 (ja) * | 2009-12-22 | 2012-07-04 | 住友金属鉱山株式会社 | 酸化物蒸着材 |
KR101298897B1 (ko) * | 2010-06-25 | 2013-08-21 | 주식회사 유아이디 | 터치 패널의 코팅 유리용 ito 타겟 |
GB2482544A (en) * | 2010-08-06 | 2012-02-08 | Advanced Tech Materials | Making high density indium tin oxide sputtering targets |
CN102383090B (zh) * | 2010-08-25 | 2015-11-25 | 三菱综合材料株式会社 | 薄膜形成用气相沉积材、具备该薄膜的薄膜片材和层压片材 |
JP2012180248A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Kobelco Kaken:Kk | 酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット |
KR101298490B1 (ko) * | 2011-05-02 | 2013-08-21 | 한국생산기술연구원 | 몰리브덴이 도핑된 ito계 tco 박막 및 이의 코팅방법 |
CN103620084B (zh) * | 2011-07-06 | 2016-03-02 | 出光兴产株式会社 | 溅射靶 |
JP5301021B2 (ja) * | 2011-09-06 | 2013-09-25 | 出光興産株式会社 | スパッタリングターゲット |
KR101128499B1 (ko) * | 2011-10-25 | 2012-03-27 | 희성금속 주식회사 | 고밀도 산화아연 타겟 및 투명도전막의 제조 방법 |
KR101240197B1 (ko) * | 2011-11-18 | 2013-03-06 | 주식회사 나노신소재 | 열 안정성이 우수한 투명도전막, 투명도전막용 타겟 및 투명도전막용 타겟의 제조방법 |
TW201422835A (zh) * | 2012-12-03 | 2014-06-16 | Solar Applied Mat Tech Corp | 濺鍍靶材及導電金屬氧化物薄膜 |
CN104099562A (zh) * | 2013-04-09 | 2014-10-15 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 导电薄膜、其制备方法及应用 |
WO2015059938A1 (ja) * | 2013-10-24 | 2015-04-30 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 酸化物焼結体、酸化物スパッタリングターゲット及び高屈折率の導電性酸化物薄膜並びに酸化物焼結体の製造方法 |
JP6560497B2 (ja) * | 2015-01-27 | 2019-08-14 | デクセリアルズ株式会社 | Mn−Zn−W−O系スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
JP6042520B1 (ja) * | 2015-11-05 | 2016-12-14 | デクセリアルズ株式会社 | Mn−Zn−O系スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
JP6125689B1 (ja) * | 2016-03-31 | 2017-05-10 | Jx金属株式会社 | 酸化インジウム−酸化亜鉛系(izo)スパッタリングターゲット |
JP6842927B2 (ja) | 2017-01-06 | 2021-03-17 | 株式会社ジャパンディスプレイ | タッチ検出装置及びタッチ検出機能付き表示装置 |
JP6849481B2 (ja) | 2017-03-02 | 2021-03-24 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 検出装置及び表示装置 |
CN110546300B (zh) * | 2017-05-15 | 2022-09-30 | 三井金属矿业株式会社 | 透明导电膜用溅射靶 |
KR102268160B1 (ko) * | 2017-05-15 | 2021-06-21 | 미쓰이금속광업주식회사 | 투명 도전막용 스퍼터링 타깃 |
KR102321663B1 (ko) | 2017-07-11 | 2021-11-03 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광소자를 이용한 조명장치 및 그 제조방법 |
KR102321724B1 (ko) | 2017-07-11 | 2021-11-03 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광소자를 이용한 조명장치 및 그 제조방법 |
CN110741106A (zh) * | 2017-08-08 | 2020-01-31 | 三井金属矿业株式会社 | 氧化物烧结体及溅射靶 |
CN107628811A (zh) * | 2017-08-11 | 2018-01-26 | 东台市超品光电材料有限公司 | 大尺寸绑定式镓和钇共掺杂氧化锌旋转陶瓷管靶材 |
CN109796209B (zh) * | 2019-03-11 | 2022-03-29 | 华南理工大学 | 一种(Ti, Zr, Hf, Ta, Nb)B2高熵陶瓷粉体及其制备方法 |
CN112103177B (zh) * | 2020-09-22 | 2023-01-24 | 山东大学 | 一种非晶铟铝锡氧化物半导体薄膜的制备方法 |
CN112359333B (zh) * | 2020-10-27 | 2022-11-04 | 金堆城钼业股份有限公司 | 一种制备大尺寸、高纯度、高致密度三氧化钼靶材的方法 |
KR20220093625A (ko) | 2020-12-28 | 2022-07-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | 컬러필터 기판 및 이를 포함하는 인셀 터치방식 디스플레이 장치 |
CN115261792B (zh) * | 2022-07-05 | 2023-10-13 | 锦西化工研究院有限公司 | 一种电致变色涂层的制备方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5071800A (en) * | 1989-02-28 | 1991-12-10 | Tosoh Corporation | Oxide powder, sintered body, process for preparation thereof and targe composed thereof |
JPH04206403A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Nitto Denko Corp | アナログ式タツチパネル |
JPH05222526A (ja) * | 1992-02-07 | 1993-08-31 | Asahi Glass Co Ltd | Ito透明導電膜用スパッタリングターゲットとその製造方法 |
CN1119850A (zh) * | 1993-02-11 | 1996-04-03 | 维苏威乌斯坩埚公司 | 制造氧化铟/氧化锡烧结体的方法和用其制造的制品 |
JPH10237632A (ja) * | 1997-02-26 | 1998-09-08 | Oputoron:Kk | Ito焼結体およびその製造方法ならびに前記ito焼結体を用いたito膜の成膜方法 |
JP2000119062A (ja) * | 1998-02-16 | 2000-04-25 | Japan Energy Corp | 光透過膜及び光透過膜形成用スパッタリングタ―ゲット |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5788028A (en) * | 1980-11-14 | 1982-06-01 | Asahi Glass Co Ltd | Formation of electrically conductive transparent film of indium oxide |
JPH0664959A (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-08 | Tosoh Corp | Ito焼結体 |
JP3864425B2 (ja) * | 1994-03-22 | 2006-12-27 | 東ソー株式会社 | アルミニウムドープ酸化亜鉛焼結体およびその製造方法並びにその用途 |
JP3803132B2 (ja) * | 1996-01-31 | 2006-08-02 | 出光興産株式会社 | ターゲットおよびその製造方法 |
JP3780100B2 (ja) * | 1998-05-15 | 2006-05-31 | 株式会社神戸製鋼所 | 加工性に優れた透明導電膜 |
JP2000067657A (ja) * | 1998-08-26 | 2000-03-03 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 赤外線透過に優れた透明導電膜及びその製造方法 |
-
2002
- 2002-06-26 KR KR1020020035914A patent/KR100744017B1/ko active IP Right Grant
- 2002-06-26 TW TW091113997A patent/TW570909B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-06-26 CN CNB021244332A patent/CN1320155C/zh not_active Expired - Lifetime
-
2009
- 2009-11-04 JP JP2009253490A patent/JP2010031382A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5071800A (en) * | 1989-02-28 | 1991-12-10 | Tosoh Corporation | Oxide powder, sintered body, process for preparation thereof and targe composed thereof |
JPH04206403A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Nitto Denko Corp | アナログ式タツチパネル |
JPH05222526A (ja) * | 1992-02-07 | 1993-08-31 | Asahi Glass Co Ltd | Ito透明導電膜用スパッタリングターゲットとその製造方法 |
CN1119850A (zh) * | 1993-02-11 | 1996-04-03 | 维苏威乌斯坩埚公司 | 制造氧化铟/氧化锡烧结体的方法和用其制造的制品 |
JPH10237632A (ja) * | 1997-02-26 | 1998-09-08 | Oputoron:Kk | Ito焼結体およびその製造方法ならびに前記ito焼結体を用いたito膜の成膜方法 |
JP2000119062A (ja) * | 1998-02-16 | 2000-04-25 | Japan Energy Corp | 光透過膜及び光透過膜形成用スパッタリングタ―ゲット |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105063555A (zh) * | 2007-06-26 | 2015-11-18 | Jx日矿日石金属株式会社 | 非晶质复合氧化膜、结晶质复合氧化膜、非晶质复合氧化膜的制造方法、结晶质复合氧化膜的制造方法及复合氧化物烧结体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW570909B (en) | 2004-01-11 |
KR100744017B1 (ko) | 2007-07-30 |
KR20030076917A (ko) | 2003-09-29 |
CN1397661A (zh) | 2003-02-19 |
JP2010031382A (ja) | 2010-02-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1320155C (zh) | 高电阻透明导电膜用溅射靶及高电阻透明导电膜的制造方法 | |
US7008519B2 (en) | Sputtering target for forming high-resistance transparent conductive film, and method for producing the film | |
KR101596211B1 (ko) | 산화물 소결물체와 그 제조 방법, 타겟, 및 그것을 이용해 얻어지는 투명 도전막 및 투명 도전성 기재 | |
US20100003495A1 (en) | Transparent conductive film and method for manufacturing the transparent conductive film, and sputtering target used in the method | |
US7754110B2 (en) | Indium-oxide-based transparent conductive film and method for producing the film | |
CN1726299A (zh) | 复合溅射靶和磷光体淀积的方法 | |
CN1754408A (zh) | 电致发光功能膜和电致发光元件 | |
KR100814320B1 (ko) | 스퍼터링 타겟의 제조방법 | |
CN102863954B (zh) | 铕掺杂铝硅酸钙发光材料、制备方法及其应用 | |
CN102791052B (zh) | 钛铈共掺杂钨酸钡发光薄膜、其制备方法及有机电致发光器件 | |
KR100203671B1 (ko) | 아이티오 소결체,아이티오 투명전도막 및 그 막의 형성방법 | |
JP2002260447A (ja) | 透明導電膜形成用材料とその製造方法、透明導電膜、タッチパネルとその製造方法、プラズマディスプレイとその製造方法、太陽電池とその製造方法、導電性フィルムとその製造方法、熱線反射ガラスとその製造方法、液晶表示装置とその製造方法、無機エレクトロルミネッセンス素子とその製造方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子とその製造方法 | |
CN102796517B (zh) | 一种含氮硅酸镁薄膜及其制备方法和应用 | |
CN101887831B (zh) | 等离子体显示面板及其制造方法 | |
CN103534332B (zh) | 铈掺杂钨酸钡镁发光薄膜及其制备方法和应用 | |
WO2014021374A1 (ja) | 酸化物焼結体およびそれを加工したタブレット | |
CN100552078C (zh) | 透明导电性薄膜及其制造方法和制造用烧结体靶及其应用 | |
CN104178137A (zh) | 镨掺杂铟硅酸盐的发光薄膜及其制备方法和电致发光器件 | |
CN102786930B (zh) | 钛铈共掺杂硅铝氮氧发光薄膜、其制备方法及有机电致发光器件 | |
CN102796984B (zh) | 多元素掺杂磷酸锶的发光薄膜及其制备方法和应用 | |
CN104178140A (zh) | 锰钛共掺杂铟硅酸盐的发光薄膜及其制备方法和电致发光器件 | |
CN104178139A (zh) | 铕铽共掺杂镓硅酸盐的发光薄膜及其制备方法和电致发光器件 | |
CN103289682B (zh) | 氟铜共掺杂硫化钙发光材料、制备方法及其应用 | |
CN115142033A (zh) | 非化学计量比氧化铝材料及其制备方法 | |
CN111836912A (zh) | 透明氧化物膜、透明氧化物膜的制造方法、氧化物烧结体和透明树脂基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CX01 | Expiry of patent term | ||
CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20070606 |