CN106216857A - 晶片的生成方法 - Google Patents
晶片的生成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106216857A CN106216857A CN201610373433.0A CN201610373433A CN106216857A CN 106216857 A CN106216857 A CN 106216857A CN 201610373433 A CN201610373433 A CN 201610373433A CN 106216857 A CN106216857 A CN 106216857A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wafer
- laser beam
- ingot
- modification layer
- starting point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 72
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims abstract description 43
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims abstract description 43
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 12
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 claims description 8
- 230000005494 condensation Effects 0.000 abstract 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 41
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 11
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 6
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 208000037656 Respiratory Sounds Diseases 0.000 description 1
- 229910009372 YVO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000852 azido group Chemical group *N=[N+]=[N-] 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/0869—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
- B23K26/0876—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0005—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing
- B28D5/0011—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing with preliminary treatment, e.g. weakening by scoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02587—Structure
- H01L21/0259—Microstructure
- H01L21/02598—Microstructure monocrystalline
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
- H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
- H01L21/268—Bombardment with radiation with high-energy radiation using electromagnetic radiation, e.g. laser radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
- B23K2103/56—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26 semiconducting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/102—Material of the semiconductor or solid state bodies
- H01L2924/1025—Semiconducting materials
- H01L2924/1026—Compound semiconductors
- H01L2924/1027—IV
- H01L2924/10272—Silicon Carbide [SiC]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/102—Material of the semiconductor or solid state bodies
- H01L2924/1025—Semiconducting materials
- H01L2924/1026—Compound semiconductors
- H01L2924/1032—III-V
- H01L2924/1033—Gallium nitride [GaN]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
Abstract
提供晶片的生成方法,从锭高效地生成晶片。晶片的生成方法具有:分离起点形成步骤,将对于六方晶单晶锭具有透过性的波长的激光束聚光点定位在距正面相当于要生成的晶片厚度的深度,并且使聚光点与锭相对地移动而对正面照射激光束,形成与正面平行的改质层和从改质层伸长的裂痕而形成分离起点;以及晶片剥离步骤,从分离起点将相当于晶片的厚度的板状物从锭剥离而生成六方晶单晶晶片。如果将聚光光斑的直径设为d、将相邻的激光束的聚光光斑的间隔设为x,则按照‑0.3≤(d‑x)/d≤0.5的范围照射激光束而形成改质层。
Description
技术领域
本发明涉及晶片的生成方法,将六方晶单晶锭切片成晶片状。
背景技术
在以硅等作为原材料的晶片的正面上层叠功能层,在该功能层上在通过多个分割预定线划分出的区域中形成有IC、LSI等各种器件。并且,通过切削装置、激光加工装置等加工装置对晶片的分割预定线实施加工,将晶片分割成各个器件芯片,分割得到的器件芯片广泛应用于移动电话、个人计算机等各种电子设备。
并且,在以SiC、GaN等六方晶单晶作为材料的晶片的正面上层叠有功能层,在所层叠的功能层上通过形成为格子状的多条分割预定线进行划分而形成有功率器件或者LED、LD等光器件。
形成有器件的晶片通常是利用线切割对锭进行切片而生成的,对切片得到的晶片的正面背面进行研磨而精加工成镜面(例如,参照日本特开2000-94221号公报)。
在该线切割中,将直径约为100~300μm的钢琴丝等一根金属丝缠绕在通常设置于二~四条间隔辅助辊上的多个槽中,按照一定间距彼此平行配置且使金属丝在一定方向或者双向上行进,将锭切片成多个晶片。
但是,当利用线切割将锭切断,并对正面背面进行研磨而生成晶片时,会浪费锭的70~80%,存在不经济这样的问题。特别是SiC、GaN等六方晶单晶锭的莫氏硬度较高,利用线切割而进行的切断很困难,花费相当长的时间,生产性较差,在高效地生成晶片方面存在课题。
为了解决这些问题,在日本特开2013-19461号公报中记载了如下技术:将对于SiC具有透过性的波长的激光束的聚光点定位在六方晶单晶锭的内部而进行照射,在切断预定面上形成改质层和裂痕,并施加外力而沿着形成有改质层和裂痕的切断预定面割断晶片,从锭分离晶片。
在该公开公报所记载的技术中,以脉冲激光束的第一照射点和距该第一照射点最近的第二照射点处于规定的位置的方式,将脉冲激光束的聚光点沿着切断预定面呈螺旋状照射,或者呈直线状照射,而在锭的切断预定面上形成非常高密度的改质层和裂痕。
专利文献1:日本特开2000-94221号公报
专利文献2:日本特开2013-49161号公报
但是,在专利文献2所记载的锭的切断方法中,激光束的照射方法相对于锭呈螺旋状或者直线状,对于在直线状的情况下扫描激光束的方向则没有任何规定。
在专利文献2所记载的锭的切断方法中,将激光束的第一照射点与距该第一照射点最近的第二照射点之间的间距设定为1μm~10μm。该间距是从改质层产生的裂纹沿着c面延伸的间距。
由于以这种方式照射激光束时的间距非常小,因此不论激光束的照射方法是螺旋状或者直线状,都需要以非常小的间距间隔照射激光束,存在无法充分实现生产性的提高这样的问题。
发明内容
本发明是鉴于这样的点而完成的,其目的在于,提供一种晶片的生成方法,能够高效地从锭生成晶片。
根据本发明,提供晶片的生成方法,从六方晶单晶锭生成晶片,该六方晶单晶锭具有:第一面和位于该第一面的相反侧的第二面;从该第一面至该第二面的c轴;以及与该c轴垂直的c面,该晶片的生成方法的特征在于,具有如下的步骤:分离起点形成步骤,将对于六方晶单晶锭具有透过性的波长的激光束的聚光点定位在距该第一面相当于要生成的晶片的厚度的深度,并且使该聚光点与该六方晶单晶锭相对地移动而对该第一面照射该激光束,形成与该第一面平行的改质层和从该改质层伸长的裂痕而形成分离起点;以及晶片剥离步骤,在实施了该分离起点形成步骤之后,从该分离起点将相当于晶片的厚度的板状物从该六方晶单晶锭剥离而生成六方晶单晶晶片,该分离起点形成步骤包含如下的步骤:改质层形成步骤,该c轴相对于该第一面的垂线倾斜偏离角,使激光束的聚光点沿着与在该第一面和该c面之间形成偏离角的方向垂直的方向相对地移动而形成直线状的改质层;以及转位步骤,在形成该偏离角的方向上使该聚光点相对地移动而转位规定的量,在该改质层形成步骤中,如果将激光束的聚光光斑的直径设为d,将彼此相邻的聚光光斑的间隔设为x,则按照-0.3≤(d-x)/d≤0.5的范围照射激光束。
根据本发明的晶片的生成方法,由于重复如下的步骤:使激光束的聚光点沿着与在锭的第一面和c面之间形成偏离角的方向垂直的方向相对地移动而在锭内部形成直线状的改质层,并且在形成该偏离角的方向上进行了转位之后,使激光束的聚光点沿着与形成有该偏离角的方向垂直的方向相对地移动而形成直线状的改质层,因此改质层距第一面形成为规定的深度,并且裂痕在改质层的两侧沿着c面传播,从而一个改质层和相邻的改质层通过裂痕而连结,能够从分离起点将相当于晶片的厚度的板状物从六方晶单晶锭容易地剥离,而生成六方晶单晶晶片。
由于将激光束的移动方向设定为与形成有偏离角的方向垂直的方向,还将激光束的聚光光斑的直径和相邻的聚光光斑之间的间隔设定在最适范围,因此从改质层的两侧沿着c面传播而形成的裂痕伸长为非常长,因此能够增大转位量,能够充分地实现生产性的提高,并且能够充分地减轻所舍弃的锭的量而将其抑制为30%左右
附图说明
图1是适合实施本发明的晶片的生成方法的激光加工装置的立体图。
图2是激光束产生单元的框图。
图3的(A)是六方晶单晶锭的立体图,图3的(B)是其主视图。
图4是说明分离起点形成步骤的立体图。
图5是六方晶单晶锭的俯视图。
图6是说明改质层形成步骤的示意性剖面图。
图7是说明改质层形成步骤的示意性俯视图。
图8是示出相邻的聚光光斑的重叠率的关系的示意图。
图9是示出形成于锭的改质层与相邻的聚光光斑的重叠率的关系的示意性俯视图。
图10是示出形成于锭的裂痕的长度与重叠率的关系的图表。
图11的(A)、(B)是说明晶片剥离步骤的立体图。
图12是所生成的六方晶单晶晶片的立体图。
标号说明
2:激光加工装置;11:六方晶单晶锭;11a:第一面(正面);11b:第二面(背面);13:第一定向平面;15:第二定向平面;17:第一面的垂线;19:c轴;21:c面;23:改质层;25:裂痕;26:支承工作台;30:激光束照射单元;31:聚光光斑;36:聚光器(激光头);54:按压机构;56:头;58:按压部件。
具体实施方式
以下,参照附图详细地说明本发明的实施方式。参照图1,示出了适合实施本发明的晶片的生成方法的激光加工装置2的立体图。激光加工装置2包含以能够在X轴方向上移动的方式搭载在静止基台4上的第一滑动块6。
第一滑动块6借助由滚珠丝杠8和脉冲电动机10构成的加工进给机构12沿着一对导轨14在加工进给方向、即X轴方向上移动。
第二滑动块16以能够在Y轴方向上移动的方式搭载在第一滑动块6上。即,第二滑动块16借助由滚珠丝杠18和脉冲电动机20构成的分度进给机构22沿着一对导轨24在分度进给方向、即Y轴方向上移动。
在第二滑动块16上搭载有支承工作台26。支承工作台26能够借助加工进给机构12和分度进给机构22在X轴方向和Y轴方向上移动,并且借助收纳在第二滑动块16中的电动机而旋转。
在静止基台4上竖立设置有柱28,在该柱28上安装有激光束照射机构(激光束照射构件)30。激光束照射机构30由收纳在外壳32中的图2所示的激光束产生单元34和安装于外壳32的前端的聚光器(激光头)36构成。在外壳32的前端安装有具有显微镜和照相机的摄像单元38,该摄像单元38与聚光器36在X轴方向上排列。
如图2所示,激光束产生单元34包含振荡出YAG激光或者YVO4激光的激光振荡器40、重复频率设定构件42、脉冲宽度调整构件44以及功率调整构件46。虽然未特别图示,但激光振荡器40具有布鲁斯特窗,从激光振荡器40射出的激光束是直线偏光的激光束。
借助激光束产生单元34的功率调整构件46被调整为规定的功率的脉冲激光束被聚光器36的反射镜48反射,进而借助聚光透镜50将聚光点定位在作为固定于支承工作台26的被加工物的六方晶单晶锭11的内部而进行照射。
参照图3的(A),示出了作为加工对象物的六方晶单晶锭11的立体图。图3的(B)是图3的(A)所示的六方晶单晶锭11的主视图。六方晶单晶锭(以下,有时简称为锭)11由SiC单晶锭或者GaN单晶锭构成。
锭11具有第一面(上表面)11a和与第一面11a相反侧的第二面(背面)11b。由于锭11的正面11a是激光束的照射面因此将其研磨成镜面。
锭11具有第一定向平面13和与第一定向平面13垂直的第二定向平面15。第一定向平面13的长度形成为比第二定向平面15的长度长。
锭11具有c轴19和c面21,该c轴19相对于正面11a的垂线17向第二定向平面15方向倾斜偏离角α,该c面21与c轴19垂直。c面21相对于锭11的正面11a倾斜偏离角α。通常在六方晶单晶锭11中,与较短的第二定向平面15的伸长方向垂直的方向是c轴的倾斜方向。
在锭11中按照锭11的分子级设定有无数个c面21。在本实施方式中,偏离角α被设定为4°。但是,偏离角α不限于4°,能够在例如1°~6°的范围中自由地设定而制造出锭11。
再次参照图1,在静止基台4的左侧固定有柱52,在该柱52上经由形成于柱52的开口53以能够在上下方向上移动的方式搭载有按压机构54。
在本实施方式的晶片的生成方法中,如图4所示,以锭11的第二定向平面15在X轴方向上排列的方式例如利用蜡或者粘接剂将锭11固定在支承工作台26上。
即,如图5所示,使箭头A方向与X轴相符而将锭11固定在支承工作台26上,其中,该A方向即是与形成有偏离角α的方向Y1、换言之c轴19的与正面11a的交点19a相对于锭11的正面11a的垂线17所存在的方向垂直的方向。
由此,沿着与形成有偏离角α的方向垂直的方向A扫描激光束。换言之,与形成有偏离角α的方向Y1垂直的A方向成为支承工作台26的加工进给方向。
在本发明的晶片的生成方法中,将从聚光器36射出的激光束的扫描方向设为与锭11的形成有偏离角α的方向Y1垂直的箭头A方向是很重要的。
即,本发明的晶片的生成方法的特征在于探索出如下情况:通过将激光束的扫描方向设定为上述这样的方向,从形成于锭11的内部的改质层传播的裂痕沿着c面21非常长地伸长。
在本实施方式的晶片的生成方法中,首先,实施分离起点形成步骤,将对于固定于支承工作台26的六方晶单晶锭11具有透过性的波长(例如1064nm的波长)的激光束的聚光点定位在距第一面(正面)11a相当于要生成的晶片的厚度的深度,并且使聚光点与六方晶单晶锭11相对地移动而对正面11a照射激光束,形成与正面11a平行的改质层23以及从改质层23沿着c面21传播的裂痕25而成为分离起点。
该分离起点形成步骤包含:改质层形成步骤,c轴19相对于正面11a的垂线17倾斜偏离角α,在与在c面21和正面11a之间形成有偏离角α的方向即图5的箭头Y1方向垂直的方向即A方向上使激光束的聚光点相对地移动而在锭11的内部形成改质层23和从改质层23沿着c面21传播的裂痕25;以及转位步骤,如图7和图8所示,在形成有偏离角的方向即Y轴方向上使聚光点相对地移动且转位规定的量。
如图6和图7所示,当在X轴方向上将改质层23形成为直线状时,裂痕25从改质层23的两侧沿着c面21传播而形成。在本实施方式的晶片的生成方法中包含转位量设定步骤,对从直线状的改质层23起在c面方向上传播而形成的裂痕25的宽度进行测量,设定聚光点的转位量。
在转位量设定步骤中,如图6所示,当将从直线状的改质层23起在c面方向上传播而形成在改质层23的单侧的裂痕25的宽度设为W1的情况下,将应该进行转位的规定的量W2设定为W1以上2W1以下。
这里,以如下的方式设定优选的实施方式的激光加工方法。
光源:Nd:YAG脉冲激光
波长:1064nm
重复频率:80kHz
平均输出:3.2W
脉冲宽度:4ns
光斑直径:3μm
聚光透镜的数值孔径(NA):0.43
转位量:250~400μm
进给速度:120~260nm/s
在上述的激光加工条件中,在图6中,将从改质层23沿着c面传播的裂痕25的宽度W1设定为大致250μm,将转位量W2设定为400μm。
但是,激光束的平均输出不限于3.2W,在本实施方式的加工方法中,将平均输出设定为2W~4.5W而得到良好的结果。在平均输出为2W的情况下,裂痕25的宽度W1为大致100μm,在平均输出为4.5W的情况下,裂痕25的宽度W1为大致350μm。
由于在平均输出小于2W的情况下和大于4.5W的情况下,无法在锭11的内部形成良好的改质层23,因此优选照射的激光束的平均输出在2W~4.5W的范围内,在本实施方式中对锭11照射平均输出为3.2W的激光束。在图6中,将形成改质层23的聚光点的距正面11a的深度D1设定为500μm。
接着,参照图8~图10对相邻的激光束的聚光光斑的最佳的重叠率的范围进行说明。若参照图8,示出相邻的聚光光斑的重叠率的示意图。
如果将聚光光斑31的直径设为d,将相邻的聚光光斑31之间的间隔设为x,则重叠率OL由(d-x)/d×100%表示。这里,在相邻的聚光光斑31未重叠的情况下,重叠率OL为负值。
若参照图9,在本发明的晶片的生成方法中,在与形成有偏离角的方向垂直的X轴方向上扫描激光束而在锭11的内部形成改质层23。接着,在形成有偏离角的方向上对聚光光斑31进行转位进给,然后通过在X轴方向上扫描激光束而形成相邻的改质层23。因此,Y轴方向的裂痕25的长度越长,越能够使转位量增多。
若参照图10,示出了表示使重叠率发生变化的情况下的改质层的长度与裂痕的长度的关系的图表。即使在重叠率大幅变化的情况下,改质层23的长度也几乎是一定的。但是,可以观察到裂痕25的长度根据重叠率的变化而大幅变动。
这里,如果将最佳的聚光光斑31的直径设为d,则存在d=1.22(λ/NA)的关系。由此,如果波长λ=1064nm、聚光透镜50的数值孔径NA=0.43,则最佳的聚光光斑31的直径d为3.0μm。图10的图表中示出的是聚光光斑直径为3.0μm的情况下的重叠率。
根据图10的图表可以观察到,为了得到尽量长的裂痕25,重叠率最适合处于-30%~50%范围。因此,得出-0.3≤(d-x)/d≤0.5。
如果转位进给规定的量,并且完成了在锭11的整个区域的深度为D1的位置上形成多个改质层23以及从改质层23沿着c面21延伸的裂痕25,则实施晶片剥离工序,施加外力而从由改质层25和裂痕23构成的分离起点将相当于要形成的晶片的厚度的板状物从六方晶单晶锭11分离而生成六方晶单晶晶片27。
该晶片剥离工序例如借助图11所示的按压机构54实施。按压机构54包含:头56,其借助内设于柱52内的移动机构而在上下方向上移动;以及按压部件58,其相对于头56如图11的(B)所示那样在箭头R方向上旋转。
如图11的(A)所示,将按压机构54定位在固定于支承工作台26上的锭11的上方,如图11的(B)所示,使头56下降直到按压部件58压接于锭11的正面11a为止。
当在使按压部件58压接于锭11的正面11a的状态下使按压部件58在箭头R方向上旋转时,在锭11中产生扭转应力,锭11从形成有改质层23和裂痕25的分离起点断裂,能够从六方晶单晶锭11中分离出图12所示的六方晶单晶晶片27。
优选在从锭11分离晶片27之后,对晶片27的分离面和锭11的分离面进行研磨而加工成镜面。
Claims (2)
1.一种晶片的生成方法,从六方晶单晶锭生成晶片,该六方晶单晶锭具有:第一面和位于该第一面的相反侧的第二面;从该第一面至该第二面的c轴;以及与该c轴垂直的c面,该晶片的生成方法的特征在于,具有如下的步骤:
分离起点形成步骤,将对于六方晶单晶锭具有透过性的波长的激光束的聚光点定位在距该第一面相当于要生成的晶片的厚度的深度,并且使该聚光点与该六方晶单晶锭相对地移动而对该第一面照射该激光束,形成与该第一面平行的改质层和从该改质层伸长的裂痕而形成分离起点;以及
晶片剥离步骤,在实施了该分离起点形成步骤之后,从该分离起点将相当于晶片的厚度的板状物从该六方晶单晶锭剥离而生成六方晶单晶晶片,
该分离起点形成步骤包含如下的步骤:
改质层形成步骤,该c轴相对于该第一面的垂线倾斜偏离角,使激光束的聚光点沿着与在该第一面和该c面之间形成偏离角的方向垂直的方向相对地移动而形成直线状的改质层;以及
转位步骤,在形成该偏离角的方向上使该聚光点相对地移动而转位规定的量,
在该改质层形成步骤中,如果将激光束的聚光光斑的直径设为d,将彼此相邻的聚光光斑的间隔设为x,则按照-0.3≤(d-x)/d≤0.5的范围照射激光束。
2.根据权利要求1所述的晶片的生成方法,其中,
六方晶单晶锭从SiC锭或者GaN锭中进行选择。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015-112316 | 2015-06-02 | ||
JP2015112316A JP6472333B2 (ja) | 2015-06-02 | 2015-06-02 | ウエーハの生成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106216857A true CN106216857A (zh) | 2016-12-14 |
CN106216857B CN106216857B (zh) | 2019-07-30 |
Family
ID=57352244
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610373433.0A Active CN106216857B (zh) | 2015-06-02 | 2016-05-31 | 晶片的生成方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10610973B2 (zh) |
JP (1) | JP6472333B2 (zh) |
KR (1) | KR102459564B1 (zh) |
CN (1) | CN106216857B (zh) |
DE (1) | DE102016208958A1 (zh) |
MY (1) | MY188444A (zh) |
SG (1) | SG10201603714RA (zh) |
TW (1) | TWI687294B (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109894725A (zh) * | 2018-11-30 | 2019-06-18 | 全讯射频科技(无锡)有限公司 | 一种等离子切割实现超窄切割道的工艺 |
CN110625275A (zh) * | 2018-06-20 | 2019-12-31 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
CN111727492A (zh) * | 2018-02-20 | 2020-09-29 | 西尔特克特拉有限责任公司 | 用于在固体中产生短的亚临界裂纹的方法 |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6399913B2 (ja) * | 2014-12-04 | 2018-10-03 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6358941B2 (ja) | 2014-12-04 | 2018-07-18 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6399914B2 (ja) * | 2014-12-04 | 2018-10-03 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6358940B2 (ja) * | 2014-12-04 | 2018-07-18 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6391471B2 (ja) | 2015-01-06 | 2018-09-19 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6395632B2 (ja) | 2015-02-09 | 2018-09-26 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6395633B2 (ja) | 2015-02-09 | 2018-09-26 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6429715B2 (ja) | 2015-04-06 | 2018-11-28 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6494382B2 (ja) | 2015-04-06 | 2019-04-03 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6425606B2 (ja) | 2015-04-06 | 2018-11-21 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6456228B2 (ja) * | 2015-04-15 | 2019-01-23 | 株式会社ディスコ | 薄板の分離方法 |
JP6478821B2 (ja) * | 2015-06-05 | 2019-03-06 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6482423B2 (ja) * | 2015-07-16 | 2019-03-13 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6472347B2 (ja) | 2015-07-21 | 2019-02-20 | 株式会社ディスコ | ウエーハの薄化方法 |
JP6482425B2 (ja) | 2015-07-21 | 2019-03-13 | 株式会社ディスコ | ウエーハの薄化方法 |
JP6690983B2 (ja) | 2016-04-11 | 2020-04-28 | 株式会社ディスコ | ウエーハ生成方法及び実第2のオリエンテーションフラット検出方法 |
JP2018093046A (ja) | 2016-12-02 | 2018-06-14 | 株式会社ディスコ | ウエーハ生成方法 |
JP6781639B2 (ja) * | 2017-01-31 | 2020-11-04 | 株式会社ディスコ | ウエーハ生成方法 |
JP6858587B2 (ja) | 2017-02-16 | 2021-04-14 | 株式会社ディスコ | ウエーハ生成方法 |
US10388526B1 (en) | 2018-04-20 | 2019-08-20 | Semiconductor Components Industries, Llc | Semiconductor wafer thinning systems and related methods |
US10896815B2 (en) | 2018-05-22 | 2021-01-19 | Semiconductor Components Industries, Llc | Semiconductor substrate singulation systems and related methods |
US11121035B2 (en) | 2018-05-22 | 2021-09-14 | Semiconductor Components Industries, Llc | Semiconductor substrate processing methods |
US20190363018A1 (en) | 2018-05-24 | 2019-11-28 | Semiconductor Components Industries, Llc | Die cleaning systems and related methods |
US10468304B1 (en) | 2018-05-31 | 2019-11-05 | Semiconductor Components Industries, Llc | Semiconductor substrate production systems and related methods |
US11830771B2 (en) | 2018-05-31 | 2023-11-28 | Semiconductor Components Industries, Llc | Semiconductor substrate production systems and related methods |
US11309191B2 (en) | 2018-08-07 | 2022-04-19 | Siltectra Gmbh | Method for modifying substrates based on crystal lattice dislocation density |
US10562130B1 (en) | 2018-12-29 | 2020-02-18 | Cree, Inc. | Laser-assisted method for parting crystalline material |
US10576585B1 (en) | 2018-12-29 | 2020-03-03 | Cree, Inc. | Laser-assisted method for parting crystalline material |
US11024501B2 (en) | 2018-12-29 | 2021-06-01 | Cree, Inc. | Carrier-assisted method for parting crystalline material along laser damage region |
US10611052B1 (en) | 2019-05-17 | 2020-04-07 | Cree, Inc. | Silicon carbide wafers with relaxed positive bow and related methods |
JP7547105B2 (ja) * | 2020-07-29 | 2024-09-09 | 株式会社ディスコ | Si基板生成方法 |
TWI803019B (zh) * | 2021-10-20 | 2023-05-21 | 國立中央大學 | 一種晶柱快速切片方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050217560A1 (en) * | 2004-03-31 | 2005-10-06 | Tolchinsky Peter G | Semiconductor wafers with non-standard crystal orientations and methods of manufacturing the same |
CN101297394A (zh) * | 2005-11-10 | 2008-10-29 | 株式会社瑞萨科技 | 半导体器件的制造方法以及半导体器件 |
JP2013049161A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Hamamatsu Photonics Kk | 加工対象物切断方法 |
US20140038392A1 (en) * | 2012-02-26 | 2014-02-06 | Solexel, Inc. | Systems and methods for laser splitting and device layer transfer |
Family Cites Families (84)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5223692A (en) | 1991-09-23 | 1993-06-29 | General Electric Company | Method and apparatus for laser trepanning |
FR2716303B1 (fr) | 1994-02-11 | 1996-04-05 | Franck Delorme | Laser à réflecteurs de Bragg distribués, accordable en longueur d'onde, à réseaux de diffraction virtuels activés sélectivement. |
US5561544A (en) | 1995-03-06 | 1996-10-01 | Macken; John A. | Laser scanning system with reflecting optics |
TW350095B (en) | 1995-11-21 | 1999-01-11 | Daido Hoxan Inc | Cutting method and apparatus for semiconductor materials |
US6146979A (en) | 1997-05-12 | 2000-11-14 | Silicon Genesis Corporation | Pressurized microbubble thin film separation process using a reusable substrate |
JP2000094221A (ja) | 1998-09-24 | 2000-04-04 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | 放電式ワイヤソー |
JP4659300B2 (ja) * | 2000-09-13 | 2011-03-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法及び半導体チップの製造方法 |
US6720522B2 (en) | 2000-10-26 | 2004-04-13 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Apparatus and method for laser beam machining, and method for manufacturing semiconductor devices using laser beam machining |
JP4731050B2 (ja) | 2001-06-15 | 2011-07-20 | 株式会社ディスコ | 半導体ウエーハの加工方法 |
TWI261358B (en) | 2002-01-28 | 2006-09-01 | Semiconductor Energy Lab | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
CN100355031C (zh) | 2002-03-12 | 2007-12-12 | 浜松光子学株式会社 | 基板的分割方法 |
US6992765B2 (en) | 2002-10-11 | 2006-01-31 | Intralase Corp. | Method and system for determining the alignment of a surface of a material in relation to a laser beam |
TWI520269B (zh) | 2002-12-03 | 2016-02-01 | Hamamatsu Photonics Kk | Cutting method of semiconductor substrate |
US7427555B2 (en) | 2002-12-16 | 2008-09-23 | The Regents Of The University Of California | Growth of planar, non-polar gallium nitride by hydride vapor phase epitaxy |
US20040144301A1 (en) | 2003-01-24 | 2004-07-29 | Neudeck Philip G. | Method for growth of bulk crystals by vapor phase epitaxy |
JP2004343008A (ja) * | 2003-05-19 | 2004-12-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザ光線を利用した被加工物分割方法 |
JP4684544B2 (ja) * | 2003-09-26 | 2011-05-18 | 株式会社ディスコ | シリコンから形成された半導体ウエーハの分割方法及び装置 |
JP3998639B2 (ja) | 2004-01-13 | 2007-10-31 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2005268752A (ja) | 2004-02-19 | 2005-09-29 | Canon Inc | レーザ割断方法、被割断部材および半導体素子チップ |
JP2005294325A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Sharp Corp | 基板製造方法及び基板製造装置 |
US20080070380A1 (en) | 2004-06-11 | 2008-03-20 | Showda Denko K.K. | Production Method of Compound Semiconductor Device Wafer |
JP2006108532A (ja) | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの研削方法 |
JP2006187783A (ja) | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
JP2006315017A (ja) | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Canon Inc | レーザ切断方法および被切断部材 |
JP4809632B2 (ja) | 2005-06-01 | 2011-11-09 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2007019379A (ja) | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの加工方法 |
JP4749799B2 (ja) | 2005-08-12 | 2011-08-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法 |
US9138913B2 (en) | 2005-09-08 | 2015-09-22 | Imra America, Inc. | Transparent material processing with an ultrashort pulse laser |
JP4183093B2 (ja) | 2005-09-12 | 2008-11-19 | コバレントマテリアル株式会社 | シリコンウエハの製造方法 |
US20070111480A1 (en) | 2005-11-16 | 2007-05-17 | Denso Corporation | Wafer product and processing method therefor |
US8835802B2 (en) | 2006-01-24 | 2014-09-16 | Stephen C. Baer | Cleaving wafers from silicon crystals |
JP2007329391A (ja) | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハの結晶方位指示マーク検出機構 |
US8980445B2 (en) | 2006-07-06 | 2015-03-17 | Cree, Inc. | One hundred millimeter SiC crystal grown on off-axis seed |
EP2009687B1 (en) | 2007-06-29 | 2016-08-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing an SOI substrate and method of manufacturing a semiconductor device |
JP5011072B2 (ja) | 2007-11-21 | 2012-08-29 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
US8338218B2 (en) | 2008-06-26 | 2012-12-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Photoelectric conversion device module and manufacturing method of the photoelectric conversion device module |
JP5692969B2 (ja) | 2008-09-01 | 2015-04-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | 収差補正方法、この収差補正方法を用いたレーザ加工方法、この収差補正方法を用いたレーザ照射方法、収差補正装置、及び、収差補正プログラム |
KR101697383B1 (ko) | 2009-02-25 | 2017-01-17 | 니치아 카가쿠 고교 가부시키가이샤 | 반도체 소자의 제조 방법 |
JP5446325B2 (ja) * | 2009-03-03 | 2014-03-19 | 豊田合成株式会社 | レーザ加工方法および化合物半導体発光素子の製造方法 |
EP2422374A4 (en) | 2009-04-21 | 2016-09-14 | Tetrasun Inc | METHOD FOR PRODUCING STRUCTURES FOR A SOLAR CELL |
JP5537081B2 (ja) | 2009-07-28 | 2014-07-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 加工対象物切断方法 |
JP5379604B2 (ja) | 2009-08-21 | 2013-12-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法及びチップ |
JP5558128B2 (ja) | 2010-02-05 | 2014-07-23 | 株式会社ディスコ | 光デバイスウエーハの加工方法 |
JP2011165766A (ja) | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 光デバイスウエーハの加工方法 |
JP5775266B2 (ja) * | 2010-05-18 | 2015-09-09 | 株式会社 オプト・システム | ウェハ状基板の分割方法 |
JP5370262B2 (ja) | 2010-05-18 | 2013-12-18 | 豊田合成株式会社 | 半導体発光チップおよび基板の加工方法 |
DE102010030358B4 (de) * | 2010-06-22 | 2014-05-22 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zum Abtrennen einer Substratscheibe |
US8722516B2 (en) * | 2010-09-28 | 2014-05-13 | Hamamatsu Photonics K.K. | Laser processing method and method for manufacturing light-emitting device |
RU2459691C2 (ru) | 2010-11-29 | 2012-08-27 | Юрий Георгиевич Шретер | Способ отделения поверхностного слоя полупроводникового кристалла (варианты) |
JP5480169B2 (ja) * | 2011-01-13 | 2014-04-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法 |
JP6004338B2 (ja) * | 2011-02-10 | 2016-10-05 | 信越ポリマー株式会社 | 単結晶基板製造方法および内部改質層形成単結晶部材 |
WO2012108055A1 (ja) * | 2011-02-10 | 2012-08-16 | 信越ポリマー株式会社 | 単結晶基板製造方法および内部改質層形成単結晶部材 |
JP5860221B2 (ja) | 2011-03-17 | 2016-02-16 | 株式会社ディスコ | 非線形結晶基板のレーザー加工方法 |
JP5904720B2 (ja) | 2011-05-12 | 2016-04-20 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法 |
JP5912287B2 (ja) | 2011-05-19 | 2016-04-27 | 株式会社ディスコ | レーザー加工方法およびレーザー加工装置 |
JP5912293B2 (ja) | 2011-05-24 | 2016-04-27 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
JP6002982B2 (ja) | 2011-08-31 | 2016-10-05 | 株式会社フジシール | パウチ容器 |
JP5878330B2 (ja) | 2011-10-18 | 2016-03-08 | 株式会社ディスコ | レーザー光線の出力設定方法およびレーザー加工装置 |
US8747982B2 (en) | 2011-12-28 | 2014-06-10 | Sicrystal Aktiengesellschaft | Production method for an SiC volume monocrystal with a homogeneous lattice plane course and a monocrystalline SiC substrate with a homogeneous lattice plane course |
JP5843393B2 (ja) * | 2012-02-01 | 2016-01-13 | 信越ポリマー株式会社 | 単結晶基板の製造方法、単結晶基板、および、内部改質層形成単結晶部材の製造方法 |
JP2014041925A (ja) | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Hamamatsu Photonics Kk | 加工対象物切断方法 |
JP2014041924A (ja) | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Hamamatsu Photonics Kk | 加工対象物切断方法 |
EP2754524B1 (de) * | 2013-01-15 | 2015-11-25 | Corning Laser Technologies GmbH | Verfahren und Vorrichtung zum laserbasierten Bearbeiten von flächigen Substraten, d.h. Wafer oder Glaselement, unter Verwendung einer Laserstrahlbrennlinie |
JP6090998B2 (ja) | 2013-01-31 | 2017-03-08 | 一般財団法人電力中央研究所 | 六方晶単結晶の製造方法、六方晶単結晶ウエハの製造方法 |
WO2014179368A1 (en) | 2013-04-29 | 2014-11-06 | Solexel, Inc. | Damage free laser patterning of transparent layers for forming doped regions on a solar cell substrate |
JP6341639B2 (ja) | 2013-08-01 | 2018-06-13 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
US20150121960A1 (en) | 2013-11-04 | 2015-05-07 | Rofin-Sinar Technologies Inc. | Method and apparatus for machining diamonds and gemstones using filamentation by burst ultrafast laser pulses |
US10144088B2 (en) * | 2013-12-03 | 2018-12-04 | Rofin-Sinar Technologies Llc | Method and apparatus for laser processing of silicon by filamentation of burst ultrafast laser pulses |
US9850160B2 (en) | 2013-12-17 | 2017-12-26 | Corning Incorporated | Laser cutting of display glass compositions |
US9757815B2 (en) | 2014-07-21 | 2017-09-12 | Rofin-Sinar Technologies Inc. | Method and apparatus for performing laser curved filamentation within transparent materials |
JP6390898B2 (ja) | 2014-08-22 | 2018-09-19 | アイシン精機株式会社 | 基板の製造方法、加工対象物の切断方法、及び、レーザ加工装置 |
US10074565B2 (en) | 2014-10-13 | 2018-09-11 | Evana Technologies, Uab | Method of laser processing for substrate cleaving or dicing through forming “spike-like” shaped damage structures |
US10307867B2 (en) | 2014-11-05 | 2019-06-04 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Laser fiber array for singulating semiconductor wafers |
JP6358941B2 (ja) | 2014-12-04 | 2018-07-18 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP5917677B1 (ja) | 2014-12-26 | 2016-05-18 | エルシード株式会社 | SiC材料の加工方法 |
JP6395613B2 (ja) | 2015-01-06 | 2018-09-26 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6395634B2 (ja) | 2015-02-09 | 2018-09-26 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6395633B2 (ja) | 2015-02-09 | 2018-09-26 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6425606B2 (ja) | 2015-04-06 | 2018-11-21 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6482389B2 (ja) | 2015-06-02 | 2019-03-13 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6482423B2 (ja) | 2015-07-16 | 2019-03-13 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
JP6486239B2 (ja) | 2015-08-18 | 2019-03-20 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP6486240B2 (ja) | 2015-08-18 | 2019-03-20 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP6602207B2 (ja) | 2016-01-07 | 2019-11-06 | 株式会社ディスコ | SiCウエーハの生成方法 |
-
2015
- 2015-06-02 JP JP2015112316A patent/JP6472333B2/ja active Active
-
2016
- 2016-05-02 TW TW105113653A patent/TWI687294B/zh active
- 2016-05-10 SG SG10201603714RA patent/SG10201603714RA/en unknown
- 2016-05-12 MY MYPI2016701705A patent/MY188444A/en unknown
- 2016-05-24 DE DE102016208958.7A patent/DE102016208958A1/de active Pending
- 2016-05-25 KR KR1020160063911A patent/KR102459564B1/ko active IP Right Grant
- 2016-05-26 US US15/165,259 patent/US10610973B2/en active Active
- 2016-05-31 CN CN201610373433.0A patent/CN106216857B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050217560A1 (en) * | 2004-03-31 | 2005-10-06 | Tolchinsky Peter G | Semiconductor wafers with non-standard crystal orientations and methods of manufacturing the same |
CN101297394A (zh) * | 2005-11-10 | 2008-10-29 | 株式会社瑞萨科技 | 半导体器件的制造方法以及半导体器件 |
JP2013049161A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Hamamatsu Photonics Kk | 加工対象物切断方法 |
US20140038392A1 (en) * | 2012-02-26 | 2014-02-06 | Solexel, Inc. | Systems and methods for laser splitting and device layer transfer |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111727492A (zh) * | 2018-02-20 | 2020-09-29 | 西尔特克特拉有限责任公司 | 用于在固体中产生短的亚临界裂纹的方法 |
CN110625275A (zh) * | 2018-06-20 | 2019-12-31 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
CN109894725A (zh) * | 2018-11-30 | 2019-06-18 | 全讯射频科技(无锡)有限公司 | 一种等离子切割实现超窄切割道的工艺 |
CN109894725B (zh) * | 2018-11-30 | 2021-11-02 | 全讯射频科技(无锡)有限公司 | 一种等离子切割实现超窄切割道的工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201700249A (zh) | 2017-01-01 |
JP6472333B2 (ja) | 2019-02-20 |
SG10201603714RA (en) | 2017-01-27 |
DE102016208958A1 (de) | 2016-12-08 |
US10610973B2 (en) | 2020-04-07 |
KR20160142231A (ko) | 2016-12-12 |
TWI687294B (zh) | 2020-03-11 |
MY188444A (en) | 2021-12-09 |
KR102459564B1 (ko) | 2022-10-26 |
JP2016225535A (ja) | 2016-12-28 |
CN106216857B (zh) | 2019-07-30 |
US20160354862A1 (en) | 2016-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106216857A (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN106041329A (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN106216858A (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN105750742B (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN106041328A (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN106346619B (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN105665948B (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN105665949B (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN105665946B (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN106041294A (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN105862135A (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN105855732A (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN105665947B (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN106363823B (zh) | 晶片的薄化方法 | |
CN106239751B (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN106945190A (zh) | SiC晶片的生成方法 | |
CN105750741A (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN106064425A (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN107262945A (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN105855734A (zh) | 晶片的生成方法 | |
CN106057737A (zh) | 薄板的分离方法 | |
CN106469680A (zh) | 晶片的加工方法 | |
CN106469679A (zh) | 晶片的加工方法 | |
JP6355540B2 (ja) | ウエーハの生成方法 | |
JP6366485B2 (ja) | ウエーハの生成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |