CN105452887B

CN105452887B - 探针装置

Info

Publication number: CN105452887B
Application number: CN201480043403.2A
Authority: CN
Inventors: 宫园光义
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2013-08-01
Filing date: 2014-06-06
Publication date: 2018-09-14
Anticipated expiration: 2034-06-06
Also published as: KR101794979B1; TWI638172B; TW201520565A; US10082524B2; JP6220596B2; US20160161527A1; EP3012645A4; EP3012645A1; CN105452887A; KR20160039186A; WO2015015921A1; JP2015031578A

Abstract

本发明提供一种能够容易更换探头的探针装置。探针装置(10)包括：主体(12)；配置在该主体(12)的内部的载置晶片(W)的载置台(11)；配置在主体(12)的内部且与载置台(11)相对的探针卡(16)；和配置在主体(12)的内部且能够向探针卡(16)移动的探头保持件(24)，探针卡(16)具有相对于该探针卡(16)可拆装且配置有多个探针(35)的探头(30)，探头保持件(24)保持探头(30)地向探针卡(16)移动。

Description

探针装置

技术领域

本发明涉及探针装置，特别涉及自动更换探针卡的探头。

背景技术

作为检查形成在作为基片的半导体晶片(以下简称为“晶片”。)上的半导体器件例如功率器件、存储器的电特性的基片检查装置，已知有探针装置。

探针装置包括：具有多个探针的圆板状的探针卡；和载置晶片且能够上下左右移动的载置台，使探针卡的各探针与半导体器件具有的电极垫、焊料凸点接触，从各探针向电极垫、焊料凸点流动检查电流，由此检查半导体器件的电特性(例如参照专利文献1)。

在探针装置中，探针卡的各探针反复与电极垫等接触，针头发生磨损，因此需要定期地更换探针。

一直以来，各探针与探针卡内的配线焊接，因此在更换探针时也更换探针卡，但是，探针卡配置在探针装置的主体的内部，因此更换并不容易，另外，探针卡价格昂贵，因此探针卡的更换需要相当高的成本。

于是，如图12所示提出了一种探针装置，其设置相对于探针卡120可拆装的探头(探针插入件)121，向该探头121集中配置各探针122，由此，仅更换探头121就能够更换针头磨损了的各探针122(例如参照专利文献2)。

另外，为了使探头121的更换工作容易，因此提出了在探针卡120设置可翻倒式夹具123，如图13A所示，当将探头121向探针卡120按压时，如图13B所示，夹具123翻倒而保持探头121的更换方法。

进一步，还提出了在圆板状的探头140的周缘局部地设置有凸缘141(图14A和图14D)，并且，在探针卡120的前端局部地设置具有凸缘142的圆筒状的夹具143(图14A和图14C)，在使探头140插嵌入夹具143后，使该探头140相对于夹具143相对地旋转，如图14B和图14E所示，使探头140的凸缘141与夹具143的凸缘142卡合，从而保持探头140的更换方法。

此外，由于图13A至图13B和图14A至图14E所示的探针卡120也配置在探针装置的主体的内部，在探针装置的主体的内部无法确保操作者的操作空间，因此，为了更换探头121、140，需要使探针卡120从探针装置脱离并再次安装到探针装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平7-297242号公报

专利文献2：日本特表2009-500633号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

但是，伴随近年来的晶片的大口径化，探针卡120也变大，重量存在例如超越20kg的情况，因此，探针卡120的拆装工作变得困难，其结果是，存在无法容易地更换探头的问题。

本发明的目的在于提供一种能够容易地更换探头的探针装置。

用于解决问题的技术方案

为了实现上述目的，根据本发明，提供一种探针装置，其包括：主体；配置在该主体的内部的载置基片的载置台；和配置在上述主体的内部且与上述载置台相对的探针卡，上述探针卡具有相对于该探针卡可拆装且配置有多个探针的探头，上述探针装置包括配置在上述主体的内部并且能够保持上述探头地向上述探针卡移动的移动机构。

在本发明中，优选上述移动机构能够以沿移动方向的轴为中心轴进行转动。

在本发明中，优选还包括配置在上述主体的内部的能够收纳上述探头的收纳室。

在本发明中，优选还包括用于确认上述移动机构的位置的摄像机，该摄像机检测设置在上述移动机构上的位置确认用的标记。

在本发明中，优选上述移动机构具有与上述探针卡相对且配置有2个上述位置确认用的标记的相对面，2个上述位置确认用的标记在该相对面上对角配置。

在本发明中，优选上述移动机构具有能够真空吸附上述探头的真空吸附机构，并能够判断是否能够对上述真空吸附机构施加负压。

为了实现上述目的，根据本发明，提供一种探针装置，其包括：主体；配置在该主体的内部的载置基片的载置台；配置在上述主体的内部且与上述载置台相对的探针卡；和能够向上述探针卡移动以更换该探针卡的探针卡更换机构，上述探针卡具有相对于该探针卡可拆装且配置有多个探针的探头，上述探针卡更换机构具有能够保持上述探头且能够与该探针卡更换机构独立地向上述探针卡移动的移动机构。

为了实现上述目的，根据本发明，提供一种探针装置，其包括：主体；配置在该主体的内部的载置基片的载置台；和配置在上述主体的内部且与上述载置台相对的探针卡，上述探针卡具有相对于该探针卡可拆装且配置有多个探针的探头，上述载置台具有能够向上述探针卡移动，并且相对于上述载置台可拆装且保持上述探头的适配件。

在本发明中，优选上述载置台具有能够经由上述适配件来真空吸附上述探头的真空吸附机构，并能够判断是否能够对上述真空吸附机构施加负压。

为了实现上述目的，根据本发明，提供一种探针装置，其包括：主体；配置在该主体的内部的载置基片的载置台；和配置在上述主体的内部且与上述载置台相对的探针卡，上述探针卡具有相对于该探针卡可拆装且配置有多个探针的探头，上述探针装置还包括对安装到上述探针卡的探头的各探针的针头进行研磨的针头研磨机构，上述针头研磨机构具有能够向上述探针卡移动，并且相对于上述针头研磨机构可拆装且保持上述探头的适配件。

为了实现上述目的，根据本发明，提供一种探针装置，其包括探针卡，上述探针卡具有相对于该探针卡可拆装且配置有多个探针的探头，上述探针装置包括能够保持上述探头地向上述探针卡移动的移动机构。

发明的效果

根据本发明，因为包括配置在主体的内部并且能够保持探头地向探针卡移动的移动机构，所以能够利用该移动机构使探头向探针卡移动，从而无需操作者的手操作且无需使探针卡从主体脱离就能够更换探头。其结果，能够容易更换探头。

根据本发明，因为探针卡更换机构具有能够保持探头且能够独立于该探针卡更换机构地向探针卡移动的移动机构，所以能够利用该移动机构使探头向探针卡移动，从而无需操作者的手操作且无需使探针卡从主体脱离就能够更换探头。其结果，能够容易更换探头。

根据本发明，因为能够向探针卡移动的载置台具有保持探头的适配件，所以能够利用载置台使保持于适配件的探头向探针卡移动，从而无需操作者的手操作且无需使探针卡从主体脱离就能够更换探头。其结果，能够容易更换探头。

根据本发明，因为能够向探针卡移动的针头研磨机构具有保持探头的适配件，所以能够利用针头研磨机构使保持于适配件的探头向探针卡移动，从而无需操作者的手操作且无需使探针卡从主体脱离就能够更换探头。其结果，能够容易更换探头。

附图说明

图1是示意地表示本发明的第一实施方式的探针装置的结构的立体图。

图2是示意地表示图1的探针装置的主体内部中的结构的立体图。

图3A至图3B是表示图1的探针装置中的探头向探针卡的安装方法的工序图。

图4A至图4B是表示图1的探针装置中的探头向探针卡的另一安装方法的工序图。

图5是表示图2中的探针卡保持件的变形例的结构的截面图。

图6是表示图2中的位置确认用标记的配置的变形例的图。

图7是示意地表示本发明的第二实施方式的探针装置的主体内部中的结构的立体图。

图8A至图8C是表示图7的探针装置中的探头向探针卡的安装方法的工序图。

图9是示意地表示本实施方式的探针装置的主体内部中的结构的立体图。

图10是示意地表示本实施方式的探针装置的变形例的主体内部中的结构的立体图。

图11A至图11B是表示图9和图10的探针装置中的探头向探针卡的安装方法的工序图。

图12是示意地表示具有探头的探针卡的结构的立体图。

图13A至图13B是表示图12的探头向探针卡的安装方法的工序图。

图14A至图14E是表示图12的探头向探针卡的另一安装方法的工序图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

首先，对本发明的第一实施方式的探针装置进行说明。

图1是示意地表示本实施方式的探针装置的结构的立体图。

在图1中，探针装置10包括：内置有载置晶片W的载置台11的主体12；与该主体12相邻配置的装载机13；和以覆盖主体12的方式配置的测试头14，进行在大口径例如直径为300mm、450mm的晶片W上形成的半导体器件的电特性的检查。

主体12为内部具有空腔的壳体形状，在顶板部12a设置有在载置于载置台11的晶片W的上方开口的开口部12b，该开口部12b与大致圆板状的探针卡保持件(未图示)卡合，探针卡保持件保持圆板状的探针卡16(参照后述的图2)。由此，探针卡16与载置于载置台11的晶片W相对。晶片W以相对于载置台11的相对位置不偏离的方式，由后述的真空孔42(真空吸附机构)真空吸附向该载置台11。

测试头14为长方体形状，通过设置在主体12上的铰链机构15能够向上方转动。在测试头14覆盖主体12时，该测试头14经由触点环(未图示)与探针卡16电连接。另外，测试头14具有：将从探针卡16传送来的表示半导体器件的电特性的电信号作为测定数据存储的数据存储部；和基于该测定数据判断检查对象的晶片W的半导体器件有无电缺陷的判断部(均未图示)。

装载机13将收纳于作为输送容器的FOUP(晶片输送盒，未图示)的用于形成半导体器件的晶片W，从FOUP中取出并载置于主体12的载置台11，并且，将半导体器件的电特性的检查结束了的晶片W从载置台11取下并收纳于FOUP。

探针卡16具有可拆装的探头30，在该探头30集中配置有多个探针35(参照后述的图3A、图4A)。载置台11调整探针卡16与晶片W的相对位置，使半导体器件的电极垫等与各探针35抵接。

当使半导体器件的电极垫等与各探针35抵接时，测试头14经由探针卡16的各探针35向半导体器件流动检查电流，之后，探针卡16将表示半导体器件的电特性的电信号传送到测试头14的数据存储部，该数据存储部将传送来的电信号作为测定数据存储，判断部基于存储了的测定数据判断检查对象的半导体器件有无电缺陷。

在图2中，载置台11由以下移动单元支承：沿着图中所示的Y方向移动的Y方向移动单元17；沿着图中所示的X方向移动的X方向移动单元18；和沿着图中所示的Z方向移动，使载置台11向探针卡16移动的Z方向移动单元19。

Y方向移动单元17通过沿着Y方向配置的滚珠丝杠(未图示)的转动而在Y方向上被高精度地驱动，滚珠丝杠通过作为步进电动机的Y方向移动单元用电动机(未图示)而被转动。X方向移动单元18通过沿着X方向配置的滚珠丝杠18a的转动而在X方向上被高精度地驱动。滚珠丝杠18a也通过作为步进电动机的X方向移动单元用电动机(未图示)而被转动。另外，载置台11以在图中所示的θ方向上可移动的方式配置在Z方向移动单元19之上，在该载置台11上载置晶片W。

即，Y方向移动单元17、X方向移动单元18、Z方向移动单元19能够使载置台11在图中Y方向、图中X方向、图中Z方向、图中θ方向上移动，使载置晶片W的载置台11与探针卡16相对。尤其是，Z方向移动单元19使载置台11沿着图中Z方向向探针卡16移动，使晶片W中的半导体器件的电极垫等与各探针35抵接。

在主体12的内部，与载置台11相邻地配置有探针卡保持件引导机构20(探针卡更换机构)。探针卡保持件引导机构20具有能够载持保持探针卡16的探针卡保持件的叉状的叉子21，能够在图中Y方向和图中Z方向上移动。

在更换探针卡16时，探针卡保持件引导机构20的叉子21在图中Y方向移动与探针卡16相对，并且沿着图中Z方向向探针卡16移动后，将探针卡16和探针卡保持件整个接取，向主体12的外部搬出。其中，探针卡保持件从主体12的拆卸，由操作者从主体12的外部进行。

另外，在主体12的内部，在载置台11与探针卡保持件引导机构20之间配置有ASU摄像机22、针头研磨单元23(针头研磨机构)和探头保持件24(移动机构)，并且，在载置台11的上方配置有对准桥25。

ASU摄像机22、针头研磨单元23和探头保持件24与载置台11连接，在图中X方向和该Y方向上能够与载置台11一起移动，但是，针头研磨单元23和探头保持件24能够在图中Z方向上与载置台11不同地移动，并且，探头保持件24能够以沿着图中Z方向的轴为中心轴在图中θ方向上转动。另外，对准桥25能够在图中Y方向上移动。

ASU摄像机22以与对准桥25相对的方式移动，检测设置在该对准桥25的位置确认用标记(未图示)来确认主体12的内部中的载置台11的正确位置。针头研磨单元23向探针卡16移动，对探针卡16的探头30中的各探针35的针头进行研磨。探头保持件24保持探头30，向探针卡16移动，如后述的图3A至图3B、图4A至图4B所示，将探头30安装到探针卡16，或者从探针卡16接取探头30。由此，探头保持件24能够更换探针卡16的探头30。

在探头保持件24的附近配置有能够收纳多个探头30的收纳室26，在该收纳室26与探头保持件24之间配置有具有臂27的探头供给单元28。探头供给单元28从收纳室26取出更换用的探头30，使其保持于探头保持件24，并且，将探头保持件24保持的从探针卡16取下的探头30收纳到收纳室26。收纳室26和探头供给单元28在主体12的内部配置在探头保持件24的附近，因此，能够以短时间对探头保持件24进行更换用的探头30的交接，并且能够以短时间进行探头30的更换。

探头保持件24在与对准桥25相对的相对面24a具有2个位置确认用标记29，另一方面，对准桥25具有朝向探头保持件24的摄像机(未图示)，该摄像机检测探头保持件24的各位置确认用标记29，由此确认探头保持件24的位置。在利用探头保持件24更换探头30时，基于由摄像机确认了的位置，使探头保持件24移动而与探针卡16正对。

图3A至图3B是表示图1的探针装置中的探头向探针卡的安装方法的工序图。图3A至图3B中，在探针卡16中的探头30的安装部位设置有可翻倒式夹具31。

首先，利用探头供给单元28使更换用的探头30保持到探头保持件24，探头保持件24沿着图2中Z方向向探针卡16移动(图3A)。

接着，当探头30向探针卡16被按压时，探头30的一部分与夹具31接触，夹具31向图中内侧翻倒而保持探头30(图3B)。

另外，在从探针卡16接取探头30的情况下，执行与图3A至图3B所示的方法相反的步骤。由此，探头保持件24能够对探针卡16更换探头30。

图4A至图4B是表示图1的探针装置中的探头向探针卡的另一安装方法的工序图。图4A至图4B中，在探针卡16中的探头30的安装部位的前端，局部地设置有具有凸缘32的圆筒状的夹具33，在探头30的周缘局部地设置有凸缘34。

首先，利用探头供给单元28使更换用的探头30保持到探头保持件24，探头保持件24沿着图2中Z方向向探针卡16移动(图4A)。

接着，在使探头30插入到夹具33后，使该探头30相对于夹具33在图2中θ方向上旋转，使探头30的凸缘34与夹具33的凸缘32卡合，由此保持探头30(图4B)。

另外，在本安装方法中，在从探针卡16接取探头30的情况下，执行与图4A至图4B所示的方法相反的步骤。由此，探头保持件24能够对探针卡16更换探头30。

根据本实施方式的探针装置10，由于具有配置在主体12的内部并且能够保持探头30地向探针卡16移动的探头保持件24，因此，能够利用探头保持件24使探头30向探针卡16移动，不使探针卡16从主体12脱离就能够更换探头30。其结果是，能够容易更换探头30。

另外，在上述探针装置10中，无需操作者的手操作就能够更换探头30，并且，在探头30更换时无需拆装作为重物的探针卡16，因此减轻了操作者的负担，能够提高工作的安全性。

并且，在上述的探针装置10中，探头保持件24相对于现有的探针装置所具有的载置台11、探针卡保持件引导机构20、ASU摄像机22和针头研磨单元23独立地设置，因此，为了实现本发明，仅对现有的探针装置追加探头保持件24即可。并且，因为追加的探头保持件24仅保持比较轻且小的探头30，所以不需要使探头保持件24的构造坚固，因此能够以简单的结构实现探头保持件24。

另外，在上述的探针装置10中，探头保持件24能够以沿着图2中Z方向的轴为中心轴在θ方向上转动，因此，在将探头30插入到探针卡16的夹具33后，能够使该探头30在θ方向上旋转，将探头30的凸缘34与夹具33的凸缘32卡合。其结果是，即使是带凸缘34的探头30，也能够容易更换。

在上述的探针装置10中，对准桥25的摄像机检测设置在探头保持件24上的位置确认用标记29，因此能够正确把握探头保持件24的位置，并且能够正确调整探头保持件24与探针卡16的相对位置。其结果是，能够利用探头保持件24使探头30向探针卡16的夹具33以正确地正对的状态进行移动，能够可靠地进行探头30的更换。

另外，在上述的探针装置10中，如图5所示，探头保持件24可以具有在相对面24a开口的真空孔36(真空吸附机构)，可以在保持探头30时，对真空孔36施加负压，将探头30真空吸附于探头保持件24。由此，在探头保持件24向探针卡16移动时，能够防止探头30相对于探头保持件24相对偏离。

并且，在探头保持件24从探头供给单元28或探针卡16接取了探头30时，可以判断是否能够对真空孔36施加负压。在能够对真空孔36施加负压的情况下，除了探头30被吸附于探头保持件24的情况之外没有其他情况，因此，通过判断是否能够对真空孔36施加负压，能够判断探头保持件24是否接取了探头30。

此外，在探头保持件24没有设置真空孔36，没有使探头真空吸附到探头保持件24的情况下，优选在探头保持件24设置销，并且在探头30设置与该销卡合的销孔或切口，由此防止探头30相对于探头保持件24相对偏离。

在上述的探针装置10中，探头保持件24在相对面24a具有2个位置确认用标记29，但是，如图6所示，2个位置确认用标记29也可以在相对面24a对角配置。在该情况下，利用对准桥25的摄像机检测2个位置确认用标记29，由此能够正确把握探头保持件24在旋转方向上的位置，并且能够正确调整旋转方向上的探头保持件24与探针卡16的相对位置。

接着，说明本发明的第二实施方式的探针装置。

本实施方式，其结构和作用与上述第一实施方式基本相同，但在以下方面与上述第一实施方式不同：不具有独立设置的探头保持件24，探针卡保持件引导机构20具有保持探头30且能够向探针卡16移动的探头保持件38。因此，对于重复的结构、作用，省略说明，以下对不同的结构、作用进行说明。

图7是示意性地表示本实施方式的探针装置的主体内部中的结构的立体图。

在图7中，探针装置37的探针卡保持件引导机构20具有能够保持探头30的探头保持件38。探头保持件38能够与探针卡保持件引导机构20一起在图中Y方向和图中Z方向上移动，但是，在该Z方向上，也能够独立于探针卡保持件引导机构20的叉子21地移动，与保持的探头30一起向探针卡16移动，如后述的图8A至图8C所示，将探头30安装向探针卡16，或者从探针卡16接取探头30。由此，探头保持件38能够更换探针卡16的探头30。

此外，在常态时，探头保持件38在图中Z方向上位于比叉子21更靠下方的位置，使得在由探针卡保持件引导机构20载持探针卡保持件时不干涉探针卡保持件。

图8A至图8C表示图7的探针装置中的探头向探针卡的安装方法的工序图。图8A至图8C中，也在探针卡16中的探头30的安装位置设置有可翻倒式夹具31。

首先，探头保持件38与探针卡保持件引导机构20一起在图7中Y方向上移动，达到主体12的外部之后，从操作者处接取探头30并将其保持。

接着，探头保持件38与探针卡保持件引导机构20一起在图7中Y方向上移动，进入到主体12的内部之后，与探针卡16的夹具31正对(图8A)。

接着，探头保持件38沿着图7中Z方向独立于探针卡保持件引导机构20的叉子21地移动，向探针卡16移动(图8B)。

接着，当探头30被按压到探针卡16时，探头30的一部分与夹具31接触，夹具31向图中内侧翻倒而保持探头30(图8C)。

另外，在从探针卡16接取探头30的情况下，执行与图8A至图8C所示的方法相反的步骤。由此，探头保持件38能够对探针卡16更换探头30。

根据本实施方式的探针装置37，探针卡保持件引导机构20具有能够保持探头30且独立于针卡保持件引导机构20的叉子21地向探针卡移动的探头保持件38，因此能够利用探头保持件38使探头30向探针卡16移动，由此能够容易更换探头30。

另外，探头保持件38与探针卡保持件引导机构20一起在图7中Y方向上移动，到达主体12的外部，因此操作者能够使探头30容易地保持到探头保持件38。

接着，说明本发明的第三实施方式的探针装置。

本实施方式的结构和作用与上述第一实施方式基本相同，但在以下方面与上述第一实施方式不同：不具有独立设置的探头保持件24，载置台11具有探头适配件40。因此，对于重复的结构、作用，省略说明，以下对不同的结构、作用进行说明。

图9是示意性地表示本实施方式的探针装置的主体内部中的结构的立体图。

在图9中，探针装置39的载置台11具有相对于该载置台11可拆装且能够保持探头30的探头适配件40。探头适配件40载置在载置台11的顶部，与载置台11一起在图中X方向、图中Y方向、图中Z方向上移动。尤其是，探头适配件40保持探头30地与载置台11一起向探针卡16移动，如后述的图11A至图11B所示，将探头30安装到探针卡16，或者从探针卡16接取探头30。由此，探头适配件40能够更换探针卡16的探头30。

另外，探头适配件40在与对准桥25相对的相对面40a具有2个位置确认用标记29，利用对准桥25的摄像机检测各位置确认用标记29来确认探头适配件40的位置。在利用探头适配件40更换探头30时，基于由摄像机确认的位置，探头适配件40进行移动而与探针卡16正对。此外，2个位置确认用标记29在相对面40a可以对角地配置。

并且，探头适配件40在相对面40a开口并且具有与载置台11的真空孔42连通的真空孔41(参照后述的图11A)，在探头适配件40保持探头30时，经由真空孔42对真空孔41施加负压，使探头30吸附到探头适配件40。由此，能够防止在探头适配件40向探针卡16移动时，探头30相对于探头适配件40相对偏离。另外，被真空吸附的探头30向着载置台11按压探头适配件40，因此能够防止探头适配件40相对于载置台11相对偏离。

在图10中，探针装置43的针头研磨单元23具有相对于该针头研磨单元23可拆装且能够保持探头30的探头适配件44。探头适配件44载置在针头研磨单元23的顶部，与针头研磨单元23一起在图中X方向、图中Y方向、图中Z方向上移动。尤其是，探头适配件44保持探头30地与针头研磨单元23一起向探针卡16移动，更换探针卡16的探头30。

另外，探头适配件44在与对准桥25相对的相对面44a具有2个位置确认用标记29，利用对准桥25的摄像机检测各位置确认用标记29来确认探头适配件44的位置。在通过探头适配件44更换探头30时，基于由摄像机确认的位置，探头适配件44进行移动而与探针卡16正对。此外，2个位置确认用标记29可以呈对角地配置在相对面44a。

并且，探头适配件44在相对面44a开口并且具有与针头研磨单元23的真空孔45(真空吸附机构)连通的真空孔46(参照后述的图11A)，在探头适配件44保持探头30时，经由真空孔45对真空孔46施加负压，使探头30真空吸附到探头适配件44。由此，能够防止在探头适配件44向探针卡16移动时，探头30相对于探头适配件44相对偏离。另外，被真空吸附的探头30向着针头研磨单元23按压探头适配件44，因此，能够防止探头适配件44相对于针头研磨单元23相对偏离。

图11A至图11B是表示图9和图10的探针装置中的探头向探针卡的安装方法的工序图。图11A至图11B中，在探针卡16中的探头30的安装位置设置有可翻倒式夹具31。此外，以下主要对图9的探针装置39中的探头30的安装工序进行说明，但是，图10的探针装置43也执行同样的安装工序，因此，探针装置43中的探头30的安装工序使用带括号标记进行说明。

首先，向探头适配件40(探头适配件44)保持更换用的探头30，探头适配件40(探头适配件44)与载置台11(针头研磨单元23)一起沿着图9(图10)中Z方向向探针卡16移动(图11A)。

接着，在探头30被按压到探针卡16时，探头30的一部分与夹具31接触，夹具31向图中内侧翻倒而保持探头30(图11B)。

另外，在从探针卡16接取探头30的情况下，执行与图11A至图11B所示的方法相反的步骤。由此，探头适配件40(探头适配件44)能够对探针卡16更换探头30。

根据本实施方式的探针装置39，能够向探针卡16移动的载置台11具有保持探头30的探头适配件40，因此能够利用载置台11使保持于探头适配件40的探头30向探针卡16移动，由此能够容易更换探头30。

另外，根据本实施方式的探针装置43，能够向探针卡16移动的针头研磨单元23具有保持探头30的探头适配件44，因此能够利用针头研磨单元23使保持于适配件的探头30向探针卡16移动，由此能够容易更换探头30。

在上述的探针装置39、探针装置43中，经由真空孔42、真空孔45对真空孔41、真空孔46施加负压而使探头30被真空吸附到探头适配件40、探头适配件44，但是，在探头适配件40、探头适配件44从操作者或探针卡16接取了探头30时，可以判断出是否能够对真空孔42、真空孔45施加负压，由此能够判断出探头适配件40、探头适配件44是否接取了探头30。

另外，在上述的探针装置39、探针装置43中，仅对现有的探针装置所具有的载置台11、针头研磨单元23追加探头适配件40、探头适配件44就能够构成，因此能够有效地应用于现有的设备中，能够避免多余的设备投资。

以上，使用上述各实施方式对本发明进行了说明，但是本发明不限于上述实施方式。

本申请主张基于2013年8月1日申请的日本专利申请第2013-160764号的优先权，将该日本专利申请中记载的所有内容援引于本申请。

附图标记说明

W 晶片

10、39、43 探针装置

11 载置台

12 主体

20 探针卡保持件引导机构

23 针头研磨单元

24、38 探头保持件

24a、40a、44a 相对面

26 收纳室

29 位置确认用标记

30 探头

35 探针

36、42、45 真空孔

40、44 探头适配件。

Claims

1.一种探针装置，其特征在于，包括：

主体；

配置在该主体的内部的载置基片的载置台；和

配置在所述主体的内部且与所述载置台相对的探针卡，

所述探针卡具有相对于该探针卡可拆装且配置有多个探针的探头，

所述探针装置还包括：

为了更换所述探针卡而能够向所述探针卡移动的探针卡更换机构；和

与所述探针卡更换机构分体地配置在所述主体的内部，并且为了更换所述探头而能够保持所述探头地向所述探针卡移动的探头移动机构。

2.如权利要求1所述的探针装置，其特征在于：

所述移动机构能够以沿移动方向的轴为中心轴进行转动。

3.如权利要求1或2所述的探针装置，其特征在于：

还包括配置在所述主体的内部的能够收纳所述探头的收纳室。

4.如权利要求1或2所述的探针装置，其特征在于：

还包括用于确认所述移动机构的位置的摄像机，该摄像机检测设置在所述移动机构上的位置确认用的标记。

5.如权利要求4所述的探针装置，其特征在于：

所述移动机构具有与所述探针卡相对且配置有2个所述位置确认用的标记的相对面，2个所述位置确认用的标记在该相对面上对角配置。

6.如权利要求1或2所述的探针装置，其特征在于：

所述移动机构具有能够真空吸附所述探头的真空吸附机构，并能够判断是否能够对所述真空吸附机构施加负压。

7.一种探针装置，其特征在于，包括：

主体；

配置在该主体的内部的载置基片的载置台；

配置在所述主体的内部且与所述载置台相对的探针卡；和

能够向所述探针卡移动以更换该探针卡的探针卡更换机构，

所述探针卡更换机构具有：能够载持所述探针卡的叉子；和为了更换所述探头而能够保持所述探头且能够向所述探针卡移动的探头移动机构，

所述探头移动机构能够在向所述探针卡移动的方向上独立于所述叉子地移动。

8.一种探针装置，其特征在于，包括：

主体；

配置在该主体的内部的载置基片的载置台；和

配置在所述主体的内部且与所述载置台相对的探针卡，

所述载置台构成为能够向所述探针卡移动，并且为了更换所述探头而具有相对于所述载置台可拆装且保持所述探头的适配件。

9.如权利要求8所述的探针装置，其特征在于：

所述载置台具有能够经由所述适配件来真空吸附所述探头的真空吸附机构，并能够判断是否能够对所述真空吸附机构施加负压。

10.一种探针装置，其特征在于，包括：

主体；

配置在该主体的内部的载置基片的载置台；和

配置在所述主体的内部且与所述载置台相对的探针卡，

所述探针装置还包括对安装到所述探针卡的探头的各探针的针头进行研磨的针头研磨机构，

所述针头研磨机构构成为能够向所述探针卡移动，并且为了更换所述探头而具有相对于所述针头研磨机构可拆装且保持所述探头的适配件。

11.如权利要求10所述的探针装置，其特征在于：

12.一种探针装置，其特征在于：

包括探针卡，

所述探针装置包括：

与所述探针卡更换机构分体地配置，并且为了更换所述探头而能够保持所述探头地向所述探针卡移动的探头移动机构。