TWI638172B - Probe instrument - Google Patents

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TWI638172B
TWI638172B TW103126016A TW103126016A TWI638172B TW I638172 B TWI638172 B TW I638172B TW 103126016 A TW103126016 A TW 103126016A TW 103126016 A TW103126016 A TW 103126016A TW I638172 B TWI638172 B TW I638172B
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宮園光義
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Abstract

提供可以容易將探針頭交換的探針儀。探針儀(10)，是具備：本體(12)、及被配置於該本體(12)的內部將晶圓(W)載置的載台(11)、及被配置於本體(12)的內部且相面對於載台(11)的探針卡(16)、及被配置於本體(12)的內部朝向探針卡(16)可移動的探針頭支架(24)，探針卡(16)是具有從該探針卡(16)可裝卸且配置有複數探針針(35)的探針頭(30)，探針頭支架(24)是將探針頭(30)保持並朝向探針卡(16)移動。

Description

探針儀
本發明，是有關探針儀，尤其是，有關於將探針卡的探針頭自動交換的探針儀。
將形成作為基板的半導體晶圓(以下，只稱為「晶圓」)的半導體設備，例如，功率元件和記憶體的電氣特性檢查的基板檢查裝置，已知有探針儀。
探針儀，是具備：具有多數的探針的圓板狀的探針卡、及將晶圓載置上下左右自由地移動的載台，將探針卡的各探針與半導體設備所具有的電極銲墊和焊料隆起接觸，藉由從各探針朝電極銲墊和焊料隆起將檢查電流流動來將半導體設備的電氣特性檢查(例如專利文獻1參照)。
在探針儀中，探針卡的各探針會反覆朝電極銲墊等的接觸，因此針尖會磨耗，有必要定期地交換探針。
習知，因為各探針是被熔接在探針卡內的配線，將探針交換時探針卡雖也交換，但是因為探針卡是被 配置於探針儀的本體的內部，交換不容易，且，探針卡因為高價，在探針卡的交換中需要相當的成本。
在此，如第12圖所示，設置可從探針卡120裝卸的探針頭(探針嵌入部)121，藉由朝該探針頭121將各探針122集中地配置，只有將探針頭121交換就可將針尖磨耗的各探針122交換的探針儀已被提案(例如專利文獻2參照)。
且為了使探針頭121的交換作業容易，在探針卡120設置可倒下式的挾具123，如第13圖A所示，將探針頭121朝探針卡120推壓的話，如第13圖B所示，挾具123倒下使探針頭121被保持的交換方法已被提案。
進一步，朝圓板狀的探針頭140的周緣部分地設置凸緣141(第14圖A及第14圖D)，並且在探針卡120的先端設置部分地具有凸緣142的圓筒狀的挾具143(第14圖A及第14圖C)，將探針頭140朝挾具143插嵌之後，將該探針頭140對於挾具143相對地旋轉，如第14圖B及第14圖E所示，藉由將探針頭140的凸緣141朝挾具143的凸緣142卡合，將探針頭140保持的交換方法也已被提案。
但是第13圖A乃至第13圖B和第14圖A乃至第14圖E所示的探針卡120也被配置於探針儀的本體的內部，在探針儀的本體的內部中作業者的作業空間因為無法確保，所以為了將探針頭121、140交換而有必要 將探針卡120從探針儀脫離，進一步再度朝探針儀裝設。
[習知技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開平7-297242號公報
[專利文獻2]日本特表2009-500633號公報
但是伴隨近年來的晶圓的大口徑化，探針卡120也變大，因為也存在重量超過例如20kg者，所以探針卡120的裝卸作業是困難的作業，其結果，具有無法容易地將探針頭交換的問題。
本發明的目的，是提供可以容易將探針頭交換的探針儀。
為了達成上述目的，依據本發明的話，可提供一種探針儀，具備：本體、及被配置於該本體的內部將基板載置的載台、及被配置於前述本體的內部且相面對於前述載台的探針卡，前述探針卡是具有可從該探針卡裝卸且配置有複數探針的探針頭，該探針儀，具備：被配置於前述本體的內部，並且可將前述探針頭保持且可朝向前述探針卡移動的移動機構。
在本發明中，前述移動機構是將沿著移動方向的軸作為中心軸可轉動地構成較佳。
在本發明中，進一步具備被配置於前述本體的內部可收容前述探針頭的貯藏庫較佳。
在本發明中，進一步具備前述移動機構的位置確認用的照相機，該照相機是將設在前述移動機構的位置確認用的標識檢出較佳。
在本發明中，前述移動機構是具有與前述探針卡相面對且配置有2個前述位置確認用的標識的相對面，在該相對面前述2個位置確認用的標識是被配置成對角較佳。
在本發明中，前述移動機構是具有可將前述探針頭真空吸附的真空吸附機構，判別是否可在前述真空吸附機構外加負壓較佳。
為了達成上述目的，依據本發明的話，可提供一種探針儀，具備：本體、及被配置於該本體的內部將基板載置的載台、及被配置於前述本體的內部且相面對於前述載台的探針卡、及為了將該探針卡交換而可朝向前述探針卡移動的探針卡交換機構，前述探針卡是具有可從該探針卡裝卸且配置有複數探針的探針頭，該探針儀的前述探針卡交換機構，是具有可將前述探針頭保持且可與該探針卡交換機構個別朝向前述探針卡移動的移動機構。
為了達成上述目的，依據本發明的話，可提供一種探針儀，具備：本體、及被配置於該本體的內部將 基板載置的載台、及被配置於前述本體的內部且相面對於前述載台的探針卡，前述探針卡是具有可從該探針卡裝卸且配置有複數探針的探針頭，該探針儀的前述載台，是可朝向前述探針卡移動地構成，進一步，可從前述載台裝卸且具有可將前述探針頭保持的轉換器。
在本發明中，前述載台是具有可透過前述轉換器將前述探針頭真空吸附的真空吸附機構，判別是否可在前述真空吸附機構外加負壓較佳。
為了達成上述目的，依據本發明的話，可提供一種探針儀，具備：本體、及被配置於該本體的內部將基板載置的載台、及被配置於前述本體的內部且相面對於前述載台的探針卡，前述探針卡是具有可從該探針卡裝卸且配置有複數探針的探針頭，該探針儀，進一步具備將朝前述探針卡被裝設的探針頭的各探針的針尖研磨的針尖研磨機構，前述針尖研磨機構，是可朝向前述探針卡移動地構成，進一步具有從前述針尖研磨機構可裝卸且將前述探針頭可保持的轉換器。
在本發明中，前述載台是具有可透過前述轉換器將前述探針頭真空吸附的真空吸附機構，判別是否可在前述真空吸附機構外加負壓較佳。
為了達成上述目的，依據本發明的話，可提供一種探針儀，具備探針卡，前述探針卡是具有可從該探針卡裝卸且配置有複數探針的探針頭之探針儀，具備可將前述探針頭保持且可朝向前述探針卡移動的移動機構。
依據本發明的話，因為具備被配置於本體的內部，並且將探針頭保持朝向探針卡可移動的移動機構，所以可以藉由該移動機構將探針頭朝向探針卡移動，也不需麻煩作業者的手，且不需將探針卡從本體脫離，就可以將探針頭交換。其結果，可以將探針頭容易地交換。
依據本發明的話，探針卡交換機構，因為是具有將探針頭保持且與該探針卡交換機構個別朝向探針卡可移動的移動機構，所以可以藉由該移動機構將探針頭朝向探針卡移動，也不需麻煩作業者的手，且不需將探針卡從本體脫離，就可以將探針頭交換。其結果，可以將探針頭容易地交換。
依據本發明的話，因為朝向探針卡可移動的載台具有將探針頭保持的轉換器，所以可以將藉由載台被保持在轉換器的探針頭朝向探針卡移動，也不需麻煩作業者的手，且不需將探針卡從本體脫離，就可以將探針頭交換。其結果，可以將探針頭容易地交換。
依據本發明的話，因為朝向探針卡可移動的針尖研磨機構具有將探針頭保持的轉換器，所以可以將藉由針尖研磨機構被保持在轉換器的探針頭朝向探針卡移動，也不需麻煩作業者的手，且不需將探針卡從本體脫離，就可以將探針頭交換。其結果，可以將探針頭容易地交換。
W‧‧‧晶圓
10、39、43‧‧‧探針儀
11‧‧‧載台
12‧‧‧本體
12a‧‧‧頂部
12b‧‧‧開口部
13‧‧‧裝載部
14‧‧‧測試頭
15‧‧‧鉸鏈機構
16‧‧‧探針卡
17‧‧‧Y方向移動單元
18‧‧‧X方向移動單元
18a‧‧‧滾珠螺桿
19‧‧‧Z方向移動單元
20‧‧‧探針卡支架導引
21‧‧‧叉
22‧‧‧ASU照相機
23‧‧‧針尖研磨單元
24、38‧‧‧探針頭支架
24a、40a、44a‧‧‧相對面
25‧‧‧校正架橋
26‧‧‧貯藏庫
27‧‧‧臂
28‧‧‧探針頭供給單元
29‧‧‧位置確認用標識
30‧‧‧探針頭
31‧‧‧挾具
32‧‧‧凸緣
33‧‧‧挾具
34‧‧‧凸緣
35‧‧‧探針
36‧‧‧真空孔
36、42、45‧‧‧真空孔
37‧‧‧探針儀
40、44‧‧‧探針頭轉換器
41‧‧‧真空孔
46‧‧‧真空孔
120‧‧‧探針卡
121、140‧‧‧探針頭
122‧‧‧探針
123‧‧‧挾具
141‧‧‧凸緣
142‧‧‧凸緣
143‧‧‧挾具
[第1圖]將本發明的第1實施例的探針儀的構成概略地顯示的立體圖。
[第2圖]將第1圖的探針儀的本體的內部的構成概略地顯示的立體圖。
[第3圖A乃至第3圖B]顯示第1圖的探針儀中的朝探針卡的探針頭的裝設方法的過程圖。
[第4圖A乃至第4圖B]顯示第1圖的探針儀中的朝探針卡的探針頭的別的裝設方法的過程圖。
[第5圖]顯示第2圖中的探針頭支架的變形例的構成的剖面圖。
[第6圖]顯示第2圖中的位置確認用標識的配置的變形例的圖。
[第7圖]將本發明的第2實施例的探針儀的本體的內部的構成概略地顯示的立體圖。
[第8圖A乃至第8圖C]顯示第7圖的探針儀中的朝探針卡的探針頭的裝設方法的過程圖。
[第9圖]將本實施例的探針儀的本體的內部的構成概略地顯示的立體圖。
[第10圖]將本實施例的探針儀的變形例的本體的內部的構成概略地顯示的立體圖。
[第11圖A乃至第11圖B]顯示第9圖及第10圖的 探針儀中的朝探針卡的探針頭的裝設方法的過程圖。
[第12圖]將具有探針頭的探針卡的構成概略地顯示的立體圖。
[第13圖A乃至第13圖B]顯示朝第12圖的探針卡的探針頭的裝設方法的過程圖。
[第14圖A乃至第14圖E]顯示朝第12圖的探針卡的探針頭的別的裝設方法的過程圖。
以下，對於本發明的實施例一邊參照圖面一邊說明。
首先，說明本發明的第1實施例的探針儀。
第1圖，是將本實施例的探針儀的構成概略地顯示的立體圖。
在第1圖中，探針儀10，是具備：將載置晶圓W的載台11內藏的本體12、及鄰接配置於該本體12的裝載部13、及將本體12覆蓋地配置的測試頭14，進行形成大口徑，例如，直徑是300mm和450mm的晶圓W的半導體設備的電氣特性的檢查。
本體12是內部呈空洞的框體形狀，在頂部12a中在被載置於載台11的晶圓W的上方設有開口的開口部12b，在該開口部12b中，卡合有大致圓板狀的探針卡支架(無圖示)，探針卡支架是將圓板狀的探針卡16保持(後述的第2圖參照)。由此，探針卡16是與被載 置於載台11的晶圓W相面對。晶圓W是對於載台11的相對位置無偏離的方式朝該載台11藉由後述的真空孔42(真空吸附機構)被真空吸附。
測試頭14是呈正方體形狀，藉由設在本體12上的鉸鏈機構15朝上方向可轉動地構成。測試頭14將本體12覆蓋時，該測試頭14是透過接觸環(無圖示)與探針卡16電連接。且，測試頭14是具有依據將顯示從探針卡16被傳送的半導體設備的電氣特性的電氣訊號作為測量資料記憶的資料記憶部和該測量資料判別檢查對象的晶圓W的半導體設備的電氣缺陷的有無的判別部(皆無圖示)。
裝載部13，是被收容於搬運容器也就是FOUP(前開口式通用容器)(無圖示)，將形成有半導體設備的晶圓W從FOUP(前開口式通用容器)取出朝本體12的載台11載置，且，將半導體設備的電氣特性的檢查終了的晶圓W從載台11除去朝FOUP(前開口式通用容器)收容。
探針卡16是具有可裝卸的探針頭30，在該探針頭30中多數的探針35(後述的第3圖A和第4圖A參照)是被集中地配置。載台11是將探針卡16及晶圓W的相對位置調整將半導體設備的電極銲墊等朝各探針35抵接。
將半導體設備的電極銲墊等朝各探針35抵接時，測試頭14是透過探針卡16的各探針35朝半導體設 備將檢查電流流出，其後，探針卡16是將顯示半導體設備的電氣特性的電氣訊號朝測試頭14的資料記憶部傳送，將該資料記憶部被傳送的電氣訊號作為測量資料記憶，判別部是依據被記憶的測量資料判別檢查對象的半導體設備的電氣缺陷的有無。
第2圖，是將第1圖的探針儀的本體的內部的構成概略地顯示的立體圖。
在第2圖，載台11，是藉由：沿著圖中所示的Y方向移動的Y方向移動單元17、及沿著圖中所示的X方向移動的X方向移動單元18、及沿著圖中所示的Z方向移動將載台11朝向探針卡16移動的Z方向移動單元19被支撐。
Y方向移動單元17是藉由沿著Y方向被配置的滾珠螺桿(無圖示)的轉動朝Y方向被高精度地驅動，滾珠螺桿是藉由步進馬達也就是Y方向移動單元用馬達(無圖示)被轉動。X方向移動單元18是藉由沿著X方向被配置的滾珠螺桿18a的轉動朝X方向被高精度地驅動。滾珠螺桿18a也藉由步進馬達也就是X方向移動單元用馬達(無圖示)被轉動。且，載台11，是在Z方向移動單元19之上，朝圖中所示的θ方向可移動自如地被配置，使晶圓W被載置在該載台11上。
即，Y方向移動單元17、X方向移動單元18、Z方向移動單元19是將載台11朝圖中Y方向、同X方向、同Z方向、同θ方向可移動，將載置了晶圓W的 載台11與探針卡16相面對。尤其是，Z方向移動單元19是將載台11沿著圖中Z方向朝向探針卡16移動，將晶圓W中的半導體設備的電極銲墊等朝各探針35抵接。
在本體12的內部，鄰接於載台11地配置有探針卡支架導引20(探針卡交換機構)。探針卡支架導引20，是具有可載持將探針卡16保持的探針卡支架的二股狀的叉21，朝圖中Y方向及同Z方向可移動地構成。
將探針卡16交換時，探針卡支架導引20的叉21是朝圖中Y方向移動並與探針卡16相面對，進一步，沿著圖中Z方向朝向探針卡16移動之後，將探針卡16連同探針卡支架一起收取，朝本體12的外部搬出。又，來自本體12的探針卡支架的取下，是從本體12的外部由作業者進行。
且在本體12的內部，在載台11及探針卡支架導引20之間，配置有：ASU照相機22、及針尖研磨單元23(針尖研磨機構)、及探針頭支架24(移動機構)，進一步，在載台11的上方，配置有校正架橋25。
ASU照相機22、針尖研磨單元23及探針頭支架24是朝載台11被連接，並且與載台11一起朝圖中X方向及同Y方向可移動地構成，但是針尖研磨單元23及探針頭支架24，是朝圖中Z方向與載台11個別可移動地構成，進一步，探針頭支架24是將沿著圖中Z方向的軸作為中心軸朝圖中θ方向可轉動地構成。且，校正架橋25是朝圖中Y方向可移動地構成。
ASU照相機22是相面對於校正架橋25的方式移動，將設在該校正架橋25的位置確認用標識(無圖示)檢出而將本體12的內部中的載台11的正確的位置確認。針尖研磨單元23是朝向探針卡16移動將探針卡16的探針頭30中的各探針35的針尖研磨。探針頭支架24是將探針頭30保持並朝向探針卡16移動，如後述的第3圖A乃至第3圖B和第4圖A乃至第4圖B所示，將探針頭30朝探針卡16裝設，或是從探針卡16將探針頭30收取。由此，探針頭支架24是可以將探針卡16的探針頭30交換。
在探針頭支架24的附近配置有可收容複數探針頭30的貯藏庫26，該貯藏庫26及探針頭支架24之間配置有具有臂27的探針頭供給單元28。探針頭供給單元28是將從貯藏庫26交換用的探針頭30取出朝探針頭支架24被保持，且，將探針頭支架24所保持的從探針卡16被取出的探針頭30朝貯藏庫26收容。貯藏庫26及探針頭供給單元28因為是在本體12的內部被配置於探針頭支架24的附近，所以可以將交換用的探針頭30朝探針頭支架24短時間交接，也可以將探針頭30的交換由短時間進行。
探針頭支架24是在相面對於校正架橋25的相對面24a具有2個位置確認用標識29，另一方面，校正架橋25是具有將探針頭支架24定向的照相機(無圖示)，該照相機是藉由將探針頭支架24的各位置確認用 標識29檢出，將探針頭支架24的位置確認。藉由探針頭支架24將探針頭30交換時，依據藉由照相機被確認的位置使探針頭支架24被移動並與探針卡16正對。
第3圖A乃至第3圖B，是顯示朝第1圖的探針儀中的探針卡的探針頭的裝設方法的過程圖。在第3圖A乃至第3圖B中，在探針卡16中的探針頭30的裝設處設有可倒下式的挾具31。
首先，藉由探針頭供給單元28將朝探針頭支架24交換用的探針頭30保持，探針頭支架24是沿著第2圖中Z方向朝向探針卡16移動(第3圖A)。
接著，探針頭30是朝探針卡16被推壓的話，探針頭30的一部分是與挾具31接觸，挾具31是朝圖中內側倒入將探針頭30保持(第3圖B)。
且從探針卡16將探針頭30收取的情況時，實行與第3圖A乃至第3圖B所示的方法相反的步驟。由此，探針頭支架24可以在探針卡16將探針頭30交換。
第4圖A乃至第4圖B，是顯示朝第1圖的探針儀中的探針卡的探針頭的別的裝設方法的過程圖。在第4圖A乃至第4圖B中，在探針卡16中的探針頭30的裝設處設有在先端的一部分具有凸緣32的圓筒狀的挾具33，在探針頭30的周緣中部分地設有凸緣34。
首先，藉由探針頭供給單元28將朝探針頭支架24交換用的探針頭30保持，探針頭支架24是沿著第 2圖中Z方向朝向探針卡16移動(第4圖A)。
接著，將探針頭30朝挾具33插嵌之後，藉由將該探針頭30對於挾具33朝第2圖中θ方向旋轉，將探針頭30的凸緣34朝挾具33的凸緣32卡合，而將探針頭30保持(第4圖B)。
且本裝設方法，若從探針卡16將探針頭30收取的情況時，也實行與第4圖A乃至第4圖B所示的方法相反的步驟。由此，探針頭支架24可以在探針卡16將探針頭30交換。
依據本實施例的探針儀10的話，因為具備被配置於本體12的內部，並且將探針頭30保持且朝向探針卡16可移動的探針頭支架24，所以可以藉由探針頭支架24將探針頭30朝向探針卡16移動，不需將探針卡16從本體12脫離，就可以將探針頭30交換。其結果，可以將探針頭30容易地交換。
且在上述的探針儀10中，可以不麻煩作業者的手的方式將探針頭30交換，進一步，因為探針頭30的交換的時不必要將重量物也就是探針卡16裝卸，所以作業者的負擔減輕，可以提高作業的安全性。
進一步，在上述的探針儀10中，探針頭支架24，因為是與習知的探針儀所具備的載台11、探針卡支架導引20、ASU照相機22和針尖研磨單元23獨立地設置，所以在實現本發明時，在習知的探針儀只要追加探針頭支架24即可。進一步，被追加的探針頭支架24，因為 是比較輕量且只有將小的探針頭30保持，所以不必要強固的探針頭支架24的構造，使探針頭支架24也可以由簡潔的構造實現。
且在上述的探針儀10中，因為探針頭支架24是將沿著第2圖中Z方向的軸作為中心軸朝θ方向可轉動地構成，所以將探針頭30朝探針卡16的挾具33插嵌之後，可以將該探針頭30朝θ方向旋轉使探針頭30的凸緣34朝挾具33的凸緣32卡合。其結果，凸緣34附的探針頭30也可以容易地交換。
在上述的探針儀10中，校正架橋25的照相機因為是將設在探針頭支架24的位置確認用標識29檢出，所以可以將探針頭支架24的位置正確地把握，也可以將探針頭支架24及探針卡16的相對位置正確地調整。其結果，可以藉由探針頭支架24將探針頭30朝向探針卡16的挾具33正確地正對的狀態下移動，可以將探針頭30的交換確實地進行。
且在上述的探針儀10中，如第5圖所示，探針頭支架24是在相對面24a具有開口的真空孔36(真空吸附機構)較佳，將探針頭30保持時，朝真空孔36外加負壓將探針頭30朝探針頭支架24被真空吸附也可以。由此，探針頭支架24朝向探針卡16移動時，可以防止探針頭30對於探針頭支架24相對地偏離。
進一步，探針頭支架24是從探針頭供給單元28或探針卡16將探針頭30收取時，可以判別是否可在 真空孔36外加負壓。在真空孔36外加負壓的情況下，除了探針頭30被吸附在探針頭支架24的情況之外不可能有其他情況存在，所以藉由判別是否可在真空孔36外加負壓，就可以判別探針頭支架24是否收取了探針頭30。
又，在探針頭支架24不設置真空孔36，朝探針頭支架24未真空吸附之情況時，藉由在探針頭支架24設置銷，並且在探針頭30設置與該銷卡合的銷孔和缺口，來防止探針頭30對於探針頭支架24相對地偏離較佳。
在上述的探針儀10中，探針頭支架24是在相對面24a具有2個位置確認用標識29，但是如第6圖所示，2個位置確認用標識29是在相對面24a被配置成對角也可以。此情況，藉由由校正架橋25的照相機將2個位置確認用標識29檢出，就可以將有關於探針頭支架24的旋轉方向的位置正確地把握，也可以朝旋轉方向將探針頭支架24及探針卡16的相對位置正確地調整。
接著，說明本發明的第2實施例的探針儀。
本實施例，其構成和作用是與上述的第1實施例基本上相同，不具備獨立設置的探針頭支架24，探針卡支架導引20具有將探針頭30保持且朝向探針卡16可移動的探針頭支架38的點是與上述的第1實施例相異。因此，對於重複的構成、作用是省略說明，在以下對於不同的構成、作用進行說明。
第7圖，是將本實施例的探針儀的本體的內 部的構成概略地顯示的立體圖。
在第7圖中，探針儀37的探針卡支架導引20，是具有可將探針頭30保持的探針頭支架38。探針頭支架38，雖與探針卡支架導引20一起朝圖中Y方向及同Z方向可移動地構成，但是也可朝同Z方向與探針卡支架導引20的叉21個別移動地構成，與被保持的探針頭30一起朝向探針卡16移動，如後述的第8圖A乃至第8圖C所示，將探針頭30朝探針卡16裝設，或是從探針卡16將探針頭30收取。由此，探針頭支架38是可以將探針卡16的探針頭30交換。
又，藉由探針卡支架導引20使探針卡支架被載持時不與探針卡支架干涉的方式，在常態下，探針頭支架38是在圖中Z方向位於比叉21更下方。
第8圖A乃至第8圖C，是顯示第7圖的探針儀中的朝探針卡的探針頭的裝設方法的過程圖。由第8圖A乃至第8圖C，也在探針卡16中的探針頭30的裝設處設有可倒下式的挾具31。
首先，探針頭支架38是與探針卡支架導引20一起朝第7圖中Y方向移動並朝本體12的外部進出之後，從作業者將探針頭30收取保持。
接著，探針頭支架38是與探針卡支架導引20一起朝第7圖中Y方向移動並朝本體12的內部進入之後，與探針卡16的挾具31正對(第8圖A)。
接著，探針頭支架38，是沿著第7圖中Z方 向與探針卡支架導引20的叉21個別移動地朝向探針卡16移動(第8圖B)。
接著，探針頭30是朝探針卡16被推壓的話，探針頭30的一部分是與挾具31接觸，挾具31是朝圖中內側倒入將探針頭30保持(第8圖C)。
且從探針卡16將探針頭30收取的情況時，實行與第8圖A乃至第8圖C所示的方法相反的步驟。由此，探針頭支架38是可以在探針卡16將探針頭30交換。
依據本實施例的探針儀37的話，探針卡支架導引20，因為具有將探針頭30保持且與探針卡支架導引20的叉21個別朝向探針卡16可移動的探針頭支架38，所以可以藉由探針頭支架38將探針頭30朝向探針卡16移動，也可以將探針頭30容易地交換。
且因為探針頭支架38是與探針卡支架導引20一起朝第7圖中Y方向移動並朝本體12的外部進出，所以作業者可以容易朝探針頭支架38將探針頭30保持。
接著，說明本發明的第3實施例的探針儀。
本實施例，其構成和作用是與上述的第1實施例基本上相同，不具備獨立設置的探針頭支架24，載台11具有探針頭轉換器40(相當於轉換器)的點等是與上述的第1實施例相異。因此，對於重複的構成、作用是省略說明，在以下對於不同的構成、作用進行說明。
第9圖，是將本實施例的探針儀的本體的內 部的構成概略地顯示的立體圖。
在第9圖中，探針儀39的載台11，是具有：從該載台11可裝卸，且可將探針頭30保持的探針頭轉換器40。探針頭轉換器40是被載置在載台11的頂部且與載台11一起朝圖中X方向、同Y方向、同Z方向移動。尤其是，探針頭轉換器40是將探針頭30保持且朝向探針卡16與載台11一起移動，如後述的第11圖A乃至第11圖B所示，將探針頭30朝探針卡16裝設，或是從探針卡16將探針頭30收取。由此，探針頭轉換器40是可以將探針卡16的探針頭30交換。
且探針頭轉換器40是在相面對於校正架橋25的相對面40a具有2個位置確認用標識29，各位置確認用標識29是藉由校正架橋25的照相機被檢出使探針頭轉換器40的位置被確認。藉由探針頭轉換器40將探針頭30交換時，依據藉由照相機被確認的位置使探針頭轉換器40被移動並與探針卡16正對。又，2個位置確認用標識29是在相對面40a被配置成對角也可以。
進一步，探針頭轉換器40是具有朝相對面40a開口並且與載台11的真空孔42連通的真空孔41(後述的第11圖A參照)，探針頭轉換器40是將探針頭30保持時，透過真空孔42朝真空孔41外加負壓將探針頭30朝探針頭轉換器40被真空吸附。由此，探針頭轉換器40朝向探針卡16移動時，可以防止探針頭30對於探針頭轉換器40相對地偏離。且，探針頭轉換器40因為是藉 由被真空吸附的探針頭30朝載台11被推壓，所以也可以防止探針頭轉換器40對於載台11相對地偏離。
第10圖，是將本實施例的探針儀的變形例的本體的內部的構成概略地顯示的立體圖。
在第10圖中，探針儀43的針尖研磨單元23，是從該針尖研磨單元23可裝卸，且具有可將探針頭30保持的探針頭轉換器44(相當於轉換器)。探針頭轉換器44是被載置在針尖研磨單元23的頂部並與針尖研磨單元23一起朝圖中X方向、同Y方向、同Z方向移動。尤其是，探針頭轉換器44是將探針頭30保持且朝向探針卡16與針尖研磨單元23一起移動，將探針卡16的探針頭30交換。
且探針頭轉換器44是在相面對於校正架橋25的相對面44a具有2個位置確認用標識29，各位置確認用標識29是藉由校正架橋25的照相機被檢出使探針頭轉換器44的位置被確認。藉由探針頭轉換器44將探針頭30交換時，依據藉由照相機被確認的位置使探針頭轉換器44被移動而與探針卡16正對。又，2個位置確認用標識29是在相對面44a被配置成對角也可以。
進一步，探針頭轉換器44是具有：在相對面44a開口並且與針尖研磨單元23的真空孔45(真空吸附機構)連通的真空孔46(後述的第11圖A參照)，且探針頭轉換器44將探針頭30保持時，透過真空孔45朝真空孔46外加負壓將探針頭30朝探針頭轉換器44被真空 吸附。由此，探針頭轉換器44朝向探針卡16移動時，可以防止探針頭30對於探針頭轉換器44相對地偏離。且，因為探針頭轉換器44是藉由被真空吸附的探針頭30朝針尖研磨單元23被推壓，所以也可以防止探針頭轉換器44對於針尖研磨單元23相對地偏離。
第11圖A乃至第11圖B，是顯示第9圖及第10圖的探針儀中的朝探針卡的探針頭的裝設方法的過程圖。在第11圖A乃至第11圖B中，在探針卡16中的探針頭30的裝設處設有可倒下式的挾具31。又，在以下雖主要說明第9圖的探針儀39中的探針頭30的裝設過程，但是因為第10圖的探針儀43也實行同樣的裝設過程，所以對於探針儀43中的探針頭30的裝設過程是使用括弧說明。
首先，保持朝探針頭轉換器40(探針頭轉換器44)交換用的探針頭30，探針頭轉換器40(探針頭轉換器44)是與載台11(針尖研磨單元23)一起沿著第9圖(第10圖)中Z方向朝向探針卡16移動(第11圖A)。
接著，探針頭30是朝探針卡16被推壓的話，探針頭30的一部分是與挾具31接觸，挾具31是朝圖中內側倒入將探針頭30保持(第11圖B)。
且從探針卡16將探針頭30收取的情況時，實行與第11圖A乃至第11圖B所示的方法相反的步驟。由此，探針頭轉換器40(探針頭轉換器44)是可以 在探針卡16將探針頭30交換。
依據本實施例的探針儀39的話，朝向探針卡16可移動的載台11因為具有將探針頭30保持的探針頭轉換器40，所以可以將藉由載台11被保持在探針頭轉換器40的探針頭30朝向探針卡16移動，也可以將探針頭30容易地交換。
且依據本實施例的探針儀43的話，朝向探針卡16可移動的針尖研磨單元23因為具有將探針頭30保持的探針頭轉換器44，所以可以將藉由針尖研磨單元23被保持在轉換器的探針頭30朝向探針卡16移動，也可以將探針頭30容易地交換。
在上述的探針儀39和探針儀43中，透過真空孔42和真空孔45朝真空孔41和真空孔46外加負壓將探針頭30朝探針頭轉換器40和探針頭轉換器44真空吸附，但是探針頭轉換器40和探針頭轉換器44是從作業者和探針卡16將探針頭30收取時，判別是否可在真空孔42和真空孔45外加負壓也可以，由此，可以判別探針頭轉換器40和探針頭轉換器44是否收取了探針頭30。
且上述的探針儀39和探針儀43，因為是對於習知的探針儀所具備的載台11和針尖研磨單元23只追加探針頭轉換器40和探針頭轉換器44就可構成，所以可以將既有的設備有效地活用，可以迴避多餘的設備投資。
以上，對於本發明，雖使用上述各實施例說明，但是本發明不限定於上述各實施例。

Claims (12)

  1. 一種探針儀，其特徵為：是具備：本體、及被配置於該本體的內部將基板載置的載台、及被配置於前述本體的內部且具有相面對於前述載台的表面且內部具有複數的配線的卡、及可從前述卡的相面對的表面裝卸且配置有複數探針的探針頭、以及配置於前述本體的內部並且保持前述探針頭而可朝向前述卡移動的移動機構，前述移動機構，可將前述探針頭安裝於前述卡或從前述卡接受前述探針頭；當前述探針頭安裝於前述卡時，前述複數探針抵接到前述複數的配線，讓前述卡與前述探針頭作為將檢查電流流動到目標設備的探針卡的功能。
  2. 如申請專利範圍第1項的探針儀，其中，前述移動機構是將沿著移動方向的軸作為中心軸可轉動地構成。
  3. 如申請專利範圍第1或2項的探針儀，其中，進一步具備被配置於前述本體的內部且可收容前述探針頭的貯藏庫。
  4. 如申請專利範圍第1或2項的探針儀，其中，進一步具備前述移動機構的位置確認用的照相機，該照相機是將設在前述移動機構的位置確認用的標識檢出。
  5. 如申請專利範圍第4項的探針儀，其中，前述移動機構是具有與前述卡相面對且配置有2個前 述位置確認用的標識的相對面，在該相對面前述2個位置確認用的標識是被配置成對角。
  6. 如申請專利範圍第1或2項的探針儀，其中，前述移動機構是具有：可將前述探針頭真空吸附的真空吸附機構。
  7. 一種探針儀，其特徵為：是具備：本體、及被配置於該本體的內部將基板載置的載台、及被配置於前述本體的內部且具有相面對於前述載台的表面且內部具有複數的配線的卡、及可從前述卡的相面對的表面裝卸且配置有複數探針的探針頭、以及為了將前述探針頭交換而可朝向前述卡移動的探針頭交換機構，前述探針頭交換機構，是具有：將前述探針頭保持且與該探針頭交換機構個別朝向前述卡可移動的移動機構；前述移動機構，可將前述探針頭安裝於前述卡或從前述卡接受前述探針頭；當前述探針頭安裝於前述卡時，前述複數探針抵接到前述複數的配線，讓前述卡與前述探針頭作為將檢查電流流動到目標設備的探針卡的功能。
  8. 一種探針儀，其特徵為：是具備：本體、及被配置於該本體的內部將基板載置的載台、及被配置於前述本體的內部且具有相面對於前述載台的表面且內部具有複數的配線的卡、以及可從前述卡的相面對的表面裝卸且配置有複數探針的探針頭， 前述載台，是可朝向前述探針卡移動地構成，進一步具有從前述載台可裝卸且將前述探針頭保持的轉換器；前述轉換器，可將前述探針頭安裝於前述卡或從前述卡接受前述探針頭；當前述探針頭安裝於前述卡時，前述複數探針抵接到前述複數的配線，讓前述卡與前述探針頭作為將檢查電流流動到目標設備的探針卡的功能。
  9. 如申請專利範圍第8項的探針儀，其中，前述載台是具有：可透過前述轉換器將前述探針頭真空吸附的真空吸附機構。
  10. 一種探針儀，其特徵為：是具備：本體、及被配置於該本體的內部將基板載置的載台、及被配置於前述本體的內部且具有相面對於前述載台的表面且內部具有複數的配線的卡、及可從前述卡的相面對的表面裝卸且配置有複數探針的探針頭、以及將朝前述卡被裝設的探針頭的各探針的針尖研磨的針尖研磨機構，前述針尖研磨機構，是可朝向前述卡移動地構成，進一步具有從前述針尖研磨機構可裝卸且將前述探針頭保持的轉換器；前述轉換器，可將前述探針頭安裝於前述卡或從前述卡接受前述探針頭；當前述探針頭安裝於前述卡時，前述複數探針抵接到前述複數的配線，讓前述卡與前述探針頭作為將檢查電流 流動到目標設備的探針卡的功能。
  11. 如申請專利範圍第10項的探針儀，其中，前述載台是具有：可透過前述轉換器將前述探針頭真空吸附的真空吸附機構。
  12. 一種探針儀，其特徵為：是具備：具有與用來載置基板的載台相面對的表面且內部具有複數的配線的卡、及可從前述卡的相面對的表面裝卸且配置有複數探針的探針頭、以及將前述探針頭保持且朝向前述卡可移動的移動機構；前述移動機構，可將前述探針頭安裝於前述卡或從前述卡接受前述探針頭；當前述探針頭安裝於前述卡時，前述複數探針抵接到前述複數的配線，讓前述卡與前述探針頭作為將檢查電流流動到目標設備的探針卡的功能。
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