JP7398253B2

JP7398253B2 - 治具

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Publication number: JP7398253B2
Application number: JP2019212967A
Authority: JP
Inventors: 大輔細川; 俊介小林; 健川村
Original assignee: Yokowo Co Ltd
Current assignee: Yokowo Co Ltd
Priority date: 2019-11-26
Filing date: 2019-11-26
Publication date: 2023-12-14
Anticipated expiration: 2039-11-26
Also published as: CN114761815A; JP2021085697A; TW202120936A; WO2021106304A1; US20220413014A1

Description

本発明は、治具に関する。

例えば特許文献１に記載されているように、集積回路（ＩＣ）等の電子装置の電気的検査にプローブヘッドが用いられることがある。プローブヘッドには、プローブが設けられている。プローブヘッドは、ピンプレート及びピンブロックを備えている。プローブは、ピンプレート及びピンブロックの各々の段付穴を貫通している。

特開２０１９－９０７６０号公報

プローブヘッドに設けられたプローブを交換する場合、ピンブロックからピンプレートを取り外すことがある。プローブのピンプレート側のプランジャーが傾いていると、プローブのピンプレート側のプランジャーがピンプレートに引っ掛かり、プローブがピンプレートとともに移動してしまうことがある。この場合、プローブがピンプレートとともにピンブロックから取り外される、或いはピンブロックから取り外されたプローブがピンブロック側のプローブとプローブとの間に倒れ込む等の事態が生じる。例えば、プローブがピンプレートとともにピンブロックから取り外されると、交換を予定していないプローブもピンブロックから取り外され、交換を予定していないプローブをピンブロックに戻す作業が余計に発生してしまう。また、ピンブロックから取り外されたプローブがピンブロック側のプローブとプローブとの間に倒れ込むと、倒れ込んだプローブを取り出す作業に手間が生じ得る。したがって、上述した事態は、プローブの交換作業の障害となり得る。

本発明の目的の一例は、プローブの交換を容易にすることにある。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。

本発明の一態様は、
プローブヘッドが設置された第１ブロック部と、
前記第１ブロック部に形成された第１吸引口と、を備え、
前記プローブヘッドに設けられたプローブの一端が位置する側に存在する空気が前記第１吸引口から吸引される、治具である。

本発明の上記一態様によれば、プローブの交換を容易にすることができる。

実施形態に係る治具の分解斜視図である。図１に示したプローブヘッドの分解斜視図である。図２に示したピンブロックを図２の視点とは反対側の視点から見た斜視図である。図１に示した上部治具を図１の視点とは反対側の視点から見た斜視図である。図１に示した治具の動作の一例を説明するための図である。図１に示した治具の動作の一例を説明するための図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

本明細書において、「第１」、「第２」、「第３」等の序数詞は、特に断りのない限り、同様の名称が付された構成を単に区別するために付されたものであり、構成の特定の特徴（例えば、順番又は重要度）を意味するものではない。

図１は、実施形態に係る治具３０の分解斜視図である。

図１において、第１方向Ｘは、治具３０の長さ方向である。第１方向Ｘの正方向（第１方向Ｘに付された矢印によって示される方向）は、後述する第１ブロック部１００の第２側面１０６ｂから第１側面１０６ａに向かう方向である。第１方向Ｘの負方向（第１方向Ｘに付された矢印によって示される方向の反対方向）は、後述する第１ブロック部１００の第１側面１０６ａから第２側面１０６ｂに向かう方向である。第２方向Ｙは、第１方向Ｘに直交しており、治具３０の幅方向である。第２方向Ｙの正方向（第２方向Ｙに付された矢印によって示される方向）は、後述する第１ブロック部１００の第４側面１０６ｄから第３側面１０６ｃに向かう方向である。第２方向Ｙの負方向（第２方向Ｙに付された矢印によって示される方向の反対方向）は、後述する第１ブロック部１００の第３側面１０６ｃから第４側面１０６ｄに向かう方向である。第３方向Ｚは、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの双方に直交しており、治具３０の高さ方向である。第３方向Ｚの正方向（第３方向Ｚに付された矢印によって示される方向）は、後述する第１ブロック部１００の第２面１０４から第１面１０２に向かう方向（上方向）である。第３方向Ｚの負方向（第３方向Ｚに付された矢印によって示される方向の反対方向）は、後述する第１ブロック部１００の第１面１０２から第２面１０４に向かう方向（下方向）である。後述する図２～図６においても方向は図１と同様である。

治具３０は、下部治具１０及び上部治具２０を備えている。下部治具１０は、第１ブロック部１００及び台座部１５０を有している。上部治具２０は、第２ブロック部２００及び支持ブロック部２２０を有している。

第１ブロック部１００は、第１面１０２、第２面１０４、第１側面１０６ａ、第２側面１０６ｂ、第３側面１０６ｃ及び第４側面１０６ｄを有している。第１面１０２は、第１ブロック部１００の上面である。第２面１０４は、第１面１０２の反対側にあり、第１ブロック部１００の下面である。第１側面１０６ａ、第２側面１０６ｂ、第３側面１０６ｃ及び第４側面１０６ｄは、第１面１０２と第２面１０４との間に位置している。第１ブロック部１００は、第１ブロック部１００の第２方向Ｙにおける中心部分から第１方向Ｘの正方向に向けて突出した突出部を有している。また、第１ブロック部１００は、第１ブロック部１００の第２方向Ｙにおける中心部分から第１方向Ｘの負方向に向けて突出した他の突出部を有している。第１ブロック部１００の第１面１０２又は第２面１０４に垂直な方向（第３方向Ｚ）から見て、第３側面１０６ｃ及び第４側面１０６ｄは、平坦となっている。ただし、第１ブロック部１００の形状は、本実施形態に係る形状に限定されるものではない。

第１ブロック部１００は、第１ブロック部１００の第１面１０２から第３方向Ｚの正方向に向けて突出した隆起部１０８を有している。隆起部１０８は、プローブヘッド３００が第１ブロック部１００に設置されたときに、プローブヘッド３００を取り囲む領域に沿って延伸している。したがって、隆起部１０８は、プローブヘッド３００を第１ブロック部１００に対して適切な位置に案内するためのガイド部材として機能することができる。

さらに、本実施形態において、隆起部１０８は、プローブヘッド３００が第１ブロック部１００に設置されたときにプローブヘッド３００を取り囲む領域に沿って断続的に延伸している。言い換えると、第１ブロック部１００の第１面１０２の上方（第３方向Ｚの正方向）から見て、隆起部１０８の一部分は、途切れている。本実施形態では、隆起部１０８は、第１側面１０６ａの両端部分、第２側面１０６ｂの両端部分、第３側面１０６ｃの中心部分及び第４側面１０６ｄの中心部分において途切れている。したがって、治具３０のユーザが、隆起部１０８が途切れている位置においてプローブヘッド３００に例えば指をかけやすくなっており、プローブヘッド３００の第１ブロック部１００への設置、或いはプローブヘッド３００の第１ブロック部１００からの取り外し等の作業の効率を向上させることができる。また、隆起部１０８が途切れている位置に第２ブロック部２００の第２アーム２２４（詳細は後述する。）を設置することができ、隆起部１０８が第２ブロック部２００の第２アーム２２４と干渉しないようにすることができる。本実施形態では、第２ブロック部２００の第２アーム２２４は、第３側面１０６ｃの中心部分及び第４側面１０６ｄの中心部分に設置することができる。ただし、第２ブロック部２００の第２アーム２２４が設置される位置は、本実施形態に係る位置に限定されない。

隆起部１０８の形状は、本実施形態に係る形状に限定されない。例えば、隆起部１０８は、プローブヘッド３００が第１ブロック部１００に設置されたときにプローブヘッド３００を取り囲む領域に沿って連続的に延伸していてもよい。言い換えると、隆起部１０８は、プローブヘッド３００が第１ブロック部１００に設置されたときにプローブヘッド３００を取り囲む領域のいずれの部分においても途切れていなくてもよい。

また、本実施形態では、隆起部１０８は、プローブヘッド３００（後述するフレーム３４０）の外縁に沿って延伸している。しかしながら、例えば、フレーム３４０が設けられていない場合、隆起部１０８は、ピンプレート３２０（例えば、後述する図２）の外縁に沿って延伸していてもよい。

第１ブロック部１００の第１面１０２には、凹部１２０が形成されている。本実施形態では、２つの凹部１２０が第１ブロック部１００の第１面１０２に形成されている。２つの凹部１２０は、第２方向Ｙに沿って並んでおり、第１方向Ｘに沿って延伸している。ただし、凹部１２０の数、形状及び配置は、これに限定されない。例えば、凹部１２０の数は１つのみであってもよいし、又は３つ以上であってもよい。すなわち、第１ブロック部１００には、少なくとも１つの凹部１２０が形成されていてもよい。或いは、第１ブロック部１００には、凹部１２０が形成されていなくてもよい。

第１ブロック部１００のうち凹部１２０の底面を画定する部分には、第１吸引口１１２が形成されている。第１吸引口１１２は、第１ブロック部１００の内部に形成された第１通気経路１１０を介して、第１ブロック部１００の第１側面１０６ａに形成された第１開口１１４に通じている。第１開口１１４は、減圧レギュレータ（不図示）に接続されている。したがって、減圧レギュレータによって空気を吸引することで、プローブヘッド３００に設けられたプローブ３３０の第３方向Ｚにおける一端（下端）が位置する側に存在する（位置する）空気が第１吸引口１１２から吸引される。また、凹部１２０が形成されていない場合においてプローブヘッド３００に反りがあるとき（例えば、凹部１２０が形成されていれば凹部１２０に入り込むようにプローブヘッド３００が反っているとき）、第１ブロック部１００とプローブヘッド３００との間の隙間が大きくなり得る。これに対して、凹部１２０が形成されている場合、この隙間を小さくすることができる。このため、凹部１２０が形成されていない場合と比較して、プローブヘッド３００に設けられたプローブ３３０の第３方向Ｚにおける一端（下端）が位置する側に存在する（位置する）空気を効率的に吸引することができる。

第１吸引口１１２の位置は、本実施形態に係る位置に限定されない。例えば、第１吸引口１１２は、第１ブロック部１００のうち凹部１２０の内側面を画定する部分に形成されていてもよい。或いは、凹部１２０が第１面１０２に形成されていない場合、第１吸引口１１２は、凹部１２０が形成されていない第１面１０２に形成されていてもよい。

第１ブロック部１００のうち凹部１２０の底面を画定する部分には、可撓性部材１３０が設けられている。すなわち、可撓性部材１３０は、プローブヘッド３００が第１ブロック部１００に設置されたときにプローブヘッド３００に対向する領域に設けられている。可撓性部材１３０は、例えば、ゲルシートである。可撓性部材１３０の第３方向Ｚにおける高さは、凹部１２０の第３方向Ｚにおける深さより大きくなっている。したがって、プローブヘッド３００が第１ブロック部１００の第１面１０２上に設置されたとき、プローブヘッド３００は可撓性部材１３０に接触する。したがって、プローブヘッド３００の第３方向Ｚにおける一方の側（下方側）に存在する（位置する）空気が第１吸引口１１２から吸引されたとき、可撓性部材１３０はプローブヘッド３００によって第３方向Ｚに押しつぶされる。これによって、第１ブロック部１００とプローブヘッド３００とを互いに密着させることができる。したがって、凹部１２０を除いて、第１ブロック部１００とプローブヘッド３００との間に隙間が生じにくくなる。このため、第１ブロック部１００とプローブヘッド３００との間の隙間から、空気が吸引されることを抑えることができる。このため、可撓性部材１３０が設けられていない場合と比較して、プローブヘッド３００に設けられたプローブ３３０の第３方向Ｚにおける一端（下端）が位置する側に存在する（位置する）空気を効率的に吸引することができる。

可撓性部材１３０の位置は、本実施形態に係る位置に限定されない。例えば、凹部１２０が第１面１０２に形成されていない場合、可撓性部材１３０は、凹部１２０が形成されていない第１面１０２に形成されていてもよい。すなわち、可撓性部材１３０は、プローブヘッド３００が第１ブロック部１００に設置されたときにプローブヘッド３００に対向する領域に設けられていてもよい。この場合、可撓性部材１３０は、第１ブロック部１００に設置されたプローブヘッド３００に接触する。このため、上述したように、プローブヘッド３００に設けられたプローブ３３０の第３方向Ｚにおける一端（下端）が位置する側に存在する（位置する）空気を効率的に吸引することができる。

第１ブロック部１００のうち凹部１２０の底面を画定する部分には、突起部１４０が設けられている。すなわち、突起部１４０は、プローブヘッド３００が第１ブロック部１００に設置されたときにプローブヘッド３００に対向する領域に設けられている。突起部１４０は、第１ブロック部１００の第１面１０２の上方（第３方向Ｚの正方向）に向けて突出している。プローブヘッド３００が第１ブロック部１００に設置されたとき、第１ブロック部１００の突起部１４０は、プローブヘッド３００のピンブロック３１０の穴３１６（例えば、後述する図３）に差し込まれる。したがって、突起部１４０は、プローブヘッド３００を第１ブロック部１００に対して適切な位置に案内するためのガイド部材として機能することができる。

突起部１４０の位置は、本実施形態に係る位置に限定されない。例えば、凹部１２０が第１面１０２に形成されていない場合、突起部１４０は、凹部１２０が形成されていない第１面１０２に形成されていてもよい。すなわち、突起部１４０は、プローブヘッド３００が第１ブロック部１００に設置されたときにプローブヘッド３００に対向する領域に設けられていてもよい。この場合、突起部１４０は、第１ブロック部１００に設置されたプローブヘッド３００に差し込まれる。このため、上述したように、突起部１４０は、プローブヘッド３００を第１ブロック部１００に対して適切な位置に案内するためのガイド部材として機能することができる。

本実施形態において、第１ブロック部１００は、樹脂によって構成されている。この場合、第１ブロック部１００が例えば金属によって構成されている場合と比較して、第１通気経路１１０、第１吸引口１１２、第１開口１１４及び凹部１２０の切削加工が容易となる。ただし、第１ブロック部１００を構成する材料は、減圧レギュレータによる空気の吸引によって変形しない程度の硬度を有する材料であればよく、樹脂に代えて、例えば金属であってもよい。

第１ブロック部１００は、台座部１５０に設置されている。例えば、第１ブロック部１００は、ネジ等の固定具によって、台座部１５０に固定させることができる。台座部１５０を構成する材料（例えば、金属）の密度は、第１ブロック部１００を構成する材料（例えば、樹脂）の密度より高くなっている。したがって、第１ブロック部１００を樹脂等の比較的軽量の材料によって構成した場合であっても、台座部１５０の高重量によって、下部治具１０を下部治具１０の設置面に安定して設置することができる。ただし、下部治具１０を下部治具１０の設置面に安定して設置させる方法は、この例に限定されない。例えば、下部治具１０は、台座部１５０に代えて、第１ブロック部１００の第２面１０４に取り付けられたゴム等のストッパを備えていてもよい。また、下部治具１０は、台座部１５０を用いることなく下部治具１０を安定して設置することができれば、台座部１５０を有していなくてもよい。

図２は、図１に示したプローブヘッド３００の分解斜視図である。図３は、図２に示したピンブロック３１０を図２の視点とは反対側の視点から見た斜視図である。

プローブヘッド３００は、ピンブロック３１０、ピンプレート３２０、プローブ３３０及びフレーム３４０を有している。ピンブロック３１０には、複数の第１段付穴３１２が形成されている。ピンプレート３２０には、複数の第２段付穴３２２が形成されている。複数の第１段付穴３１２及び複数の第２段付穴３２２は、第３方向Ｚに延伸している。複数の第１段付穴３１２及び複数の第２段付穴３２２には、複数のプローブ３３０（図２、図３では図示を省略）が差し込まれている。

ピンブロック３１０及びピンプレート３２０は、フレーム３４０に取り付けられている。第３方向Ｚの負方向から第３方向Ｚの正方向に向かって、フレーム３４０、ピンブロック３１０及びピンプレート３２０は、この順で並んでいる。フレーム３４０には、２つの第３開口３４２が形成されている。ピンブロック３１０には、２つの凸部３１４が形成されている。また、フレーム３４０には、２つの位置決めピン３４８が設けられている。ピンブロック３１０には、２つの位置決め穴３１８が設けられている。フレーム３４０にピンブロック３１０が設置されたとき、フレーム３４０の２つの位置決めピン３４８がピンブロック３１０の２つの位置決め穴３１８に入り込むとともに、ピンブロック３１０の２つの凸部３１４がフレーム３４０の２つの第３開口３４２に入り込む。すなわち、フレーム３４０の２つの位置決めピン３４８及びピンブロック３１０の位置決め穴３１８は、ピンブロック３１０の２つの凸部３１４がフレーム３４０の２つの第３開口３４２に入り込むためのガイド部材として機能することができる。なお、位置決め穴３１８の数及び位置決めピン３４８の数の各々は、２つでなくてもよく、１つのみであってもよいし、又は３つ以上であってもよい。

図４は、図１に示した上部治具２０を図１の視点とは反対側の視点から見た斜視図である。

第２ブロック部２００は、第１ベース２０２及び２つの第１アーム２０４を含んでいる。第１アーム２０４は、第１ベース２０２から下方（第３方向Ｚの負方向）に向けて突出している。２つの第１アーム２０４は、第２方向Ｙに沿って並んでいる。したがって、２つの第１アーム２０４は、プローブヘッド３００のプローブエリア（ピンブロック３１０の２つの凸部３１４が配置されているエリア）を避けるように、プローブエリア（ピンブロック３１０の２つの凸部３１４が配置されているエリア）の第２方向Ｙにおける両側に配置することができる。各第１アーム２０４の下端面（第３方向Ｚの負方向に向けられている端面）には、２つの第２吸引口２１２が形成されている。第１ベース２０２の側面（第１方向Ｘの負方向に向けられている側面）には、第２方向Ｙに沿って並んだ２つの第２開口２１４が形成されている。第２ブロック部２００に対して第１方向Ｘの負方向側から見て、第２ブロック部２００の中心に対して左側に位置する２つの第２吸引口２１２と、第２ブロック部２００の中心に対して左側に位置する第２開口２１４とは、第２ブロック部２００の内部に設けられた第２通気経路（不図示）を介して、互いに通じている。また、第２ブロック部２００に対して第１方向Ｘの負方向側から見て、第２ブロック部２００の中心に対して右側に位置する２つの第２吸引口２１２と、第２ブロック部２００の中心に対して右側に位置する第２開口２１４とは、第２ブロック部２００の内部に設けられた第２通気経路（不図示）を介して、互いに通じている。第２開口２１４は、減圧レギュレータ（不図示）に接続されている。したがって、減圧レギュレータによって空気を吸引することで、プローブ３３０の第３方向Ｚにおける上記一端（下端）の反対側に位置する他端（上端）が位置する側に存在する（位置する）空気が第２吸引口２１２から吸引される。

第１ブロック部１００の第１吸引口１１２に接続された減圧レギュレータと、第２ブロック部２００の第２吸引口２１２に接続された減圧レギュレータとは、共通であってもよいし、又は異なっていてもよい。

本実施形態において、第２ブロック部２００及び支持ブロック部２２０は、金属で構成されている。この場合、第１ブロック部１００が例えば比較的軽量な樹脂によって構成されている場合と比較して、第２ブロック部２００及び支持ブロック部２２０を第１ブロック部１００に対して安定して設置することができる。ただし、第２ブロック部２００及び支持ブロック部２２０を構成する材料は、減圧レギュレータによる空気の吸引によって変形しない程度の硬度を有する材料であればよく、金属に代えて、例えば樹脂であってもよい。

第２ブロック部２００の形状は、本実施形態に係る形状に限定されない。例えば、第２ブロック部２００は、１つのみの第１アーム２０４を有していてもよいし、又は３つ以上の第１アーム２０４を有していてもよい。すなわち、第２ブロック部２００は、少なくとも１つの第１アーム２０４を有することができる。或いは、第２ブロック部２００は、第１アーム２０４を有していなくてもよい。この場合、第２吸引口２１２及び第２開口２１４は、例えば、第１ベース２０２に形成されていてもよい。

支持ブロック部２２０は、第２ベース２２２及び２つの第２アーム２２４を含んでいる。２つの第２アーム２２４は、第２ベース２２２から下方（第３方向Ｚの負方向）に向けて突出している。２つの第２アーム２２４は、ネジ等の固定具によって、第１ブロック部１００に固定させることができる。２つの第２アーム２２４は、第２方向Ｙに沿って並んでいる。第２ブロック部２００は、支持ブロック部２２０の下方（第３方向Ｚの負方向）に位置しており、第２方向Ｙにおいて２つの第２アーム２２４の間に位置している。

第２ブロック部２００は、支持ブロック部２２０に第３方向Ｚに移動可能に取り付けられている。本実施形態では、つまみネジ２３２（例えば、図１）が支持ブロック部２２０の第２ベース２２２を貫通して第２ブロック部２００の第１ベース２０２に差し込まれている。つまみネジ２３２を一方向に回すことで、第２ブロック部２００を第１ブロック部１００から遠ざかる方向（第３方向Ｚの正方向）に向けて移動させることができる。すなわち、第２ブロック部２００は、第１ブロック部１００から遠ざかる方向（第３方向Ｚの正方向）に移動可能となるように支持ブロック部２２０に支持されている。また、つまみネジ２３２を上記一方向の反対方向に回すことで、第２ブロック部２００を第１ブロック部１００に近づく方向（第３方向Ｚの負方向）に向けて移動させることができる。すなわち、第２ブロック部２００は、第１ブロック部１００に近づく方向（第３方向Ｚの負方向）に移動可能となるように支持ブロック部２２０に支持されている。

第２ブロック部２００の形状は、本実施形態に係る形状に限定されない。また、第２ブロック部２００を移動させる方法は、上記で説明した例に限定されるものではない。

図５及び図６は、図１に示した治具３０の動作の一例を説明するための図である。

図１から図４を参照しつつ、図５及び図６を用いて、プローブ３３０を交換する方法の一例を説明する。図５及び図６は、治具３０のうち、第１方向Ｘ及び第３方向Ｚに沿って複数のプローブ３３０を通る断面を模式的に示した図である。図５及び図６では、台座部１５０及びフレーム３４０は示していない。また、図５及び図６は模式図であるため、図５及び図６におけるプローブ３３０の数（６つ）は、図１から図４に示したプローブヘッド３００において第１方向Ｘに沿って並ぶ複数のプローブ３３０の実際の数を示唆するものではない。

まず、図５に示すように、ピンブロック３１０がピンプレート３２０に対して下方（第３方向Ｚの負方向）に位置するように、プローブヘッド３００を下部治具１０（第１ブロック部１００の第１面１０２）に設置する。次いで、下部治具１０に上部治具２０（例えば、図１）を設置する。

次いで、第１ブロック部１００の第１開口１１４（例えば、図１）に接続された減圧レギュレータを動作させる。これによって、プローブヘッド３００に設けられたプローブヘッド３００の第３方向Ｚにおける一端（下端）が位置する側に存在する（位置する）空気が第１吸引口１１２（例えば、図１）から吸引される。

次いで、第２ブロック部２００の第２開口２１４に接続された減圧レギュレータを動作させる。これによって、ピンプレート３２０を第２ブロック部２００の第１アーム２０４（例えば、図４）の下端面（第３方向Ｚの負方向に向けられている端面）に吸着させることができる。

次いで、つまみネジ２３２（例えば、図１）を一方向に回転させて、第２ブロック部２００（例えば、図１）を支持ブロック部２２０（例えば、図１）に対して上方（第３方向Ｚの正方向）に向けて移動させる。これによって、図６に示すように、ピンプレート３２０は、ピンブロック３１０から上方（第３方向Ｚの正方向）に向けて離れる。この時、プローブ３３０のピンブロック３１０側（第３方向Ｚの負方向側）の一端（下端）が位置する側に存在する（位置する）空気は、第１吸引口１１２（例えば、図１）から吸引されている。このため、例えば、プローブ３３０のピンプレート３２０側（第３方向Ｚの正方向側）の端部が傾いてピンプレート３２０に引っ掛かっていたとしても、プローブ３３０がピンプレート３２０とともにピンブロック３１０の上方（第３方向Ｚの正方向）に向けて移動しないようにすることができる。また、支持ブロック部２２０を用いて第２ブロック部２００を第１ブロック部１００から遠ざかる方向（第３方向Ｚの正方向）に移動させることで、プローブヘッド３００からピンプレート３２０を取り外す場合、例えば治具３０のユーザが手作業でプローブヘッド３００からピンプレート３２０を取り外す場合と比較して、プローブヘッド３００からピンプレート３２０を取り外す作業の効率を向上させることができる。

次いで、交換を予定したプローブ３３０をピンブロック３１０から取り外す。ピンブロック３１０からのプローブ３３０の取り外しは、例えばピンセットを用いた手作業によって行われる。次いで、プローブ３３０が取り外されたピンブロック３１０の第１段付穴３１２に、新たなプローブ３３０を差し込む。次いで、ピンプレート３２０の第２段付穴３２２にプローブ３３０の第３方向Ｚにおける上記他端（上端）が差し込まれるようにして、ピンプレート３２０をピンブロック３１０に取り付ける。このようにして、プローブ３３０が交換される。

本実施形態においては、上述したように、プローブヘッド３００からピンプレート３２０を取り外すときに、プローブ３３０がピンプレート３２０とともにピンブロック３１０の上方（第３方向Ｚの正方向）に向けて移動しないようにすることができる。したがって、交換を予定していないプローブ３３０がピンブロック３１０から取り外されることがなく、交換を予定していないプローブ３３０をピンブロック３１０に戻す作業が余計に発生しないようにすることができる。また、ピンブロック３１０から取り外されたプローブ３３０がピンブロック３１０側のプローブ３３０とプローブ３３０との間に倒れ込むことがなく、倒れ込んだプローブ３３０を取り出す作業の手間が生じないようにすることができる。このため、プローブ３３０の交換を容易にすることができる。

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

例えば、本実施形態において、治具３０は、下部治具１０及び上部治具２０の双方を備えている。しかしながら、治具３０は、上部治具２０を備えていなくてもよい。治具３０が上部治具２０を備えない場合であっても、下部治具１０を用いてプローブ３３０の第３方向Ｚにおける一端（下端）が位置する側に存在する（位置する）空気を吸引しながら、例えば治具３０のユーザの手作業でプローブヘッド３００からピンプレート３２０を取り外してもよい。

本実施形態では、プローブヘッド３００の下方（第３方向Ｚの負方向）側に位置する空気が第１吸引口１１２から吸引されている。言い換えると、プローブヘッド３００は、第１ブロック部１００の第１面１０２の上方（第３方向Ｚの正方向）に設置されている。しかしながら、プローブヘッド３００の下方（第３方向Ｚの負方向）側に存在する（位置する）空気でなく、例えば、プローブヘッド３００の上方（第３方向Ｚの正方向）側又はプローブヘッド３００の側方（例えば、第１方向Ｘの正方向及び負方向の一方、又は第２方向Ｙの正方向又は負方向の一方）側に存在する（位置する）空気が第１吸引口１１２から吸引されてもよい。言い換えると、プローブヘッド３００は、第１ブロック部１００の第１面１０２の下方（第３方向Ｚの負方向）又は第１ブロック部１００の第１面１０２の側方（例えば、第１方向Ｘの正方向及び負方向の一方、又は第２方向Ｙの正方向又は負方向の一方）に設置されていてもよい。

本実施形態において、ピンブロック３１０及びピンプレート３２０は、フレーム３４０に設置されている。しかしながら、プローブヘッド３００は、フレーム３４０に設置されていなくてもよい。この場合、プローブヘッド３００を、フレーム３４０を用いずに第１ブロック部１００に直接設置してもよい。

本明細書によれば、以下の態様が提供される。
（態様１）
プローブヘッドが設置される第１ブロック部と、
前記第１ブロック部に形成された第１吸引口と、を備え、
前記プローブヘッドに設けられたプローブの一端が位置する側に存在する空気が前記第１吸引口から吸引される、治具である。
態様１によれば、プローブヘッドからピンプレートを取り外すときに、プローブがピンプレートとともに移動しないようにすることができる。したがって、プローブがピンプレートとともに移動することによって生じる支障（例えば、交換を予定していないプローブがピンブロックから取り外されることで、交換を予定していないプローブをピンブロックに戻す作業が余計に発生すること、或いはピンブロックから取り外されたプローブがピンブロック側のプローブとプローブとの間に倒れ込むことで、倒れ込んだプローブを取り出す作業の手間が生じること等）が生じないようにすることができる。このため、プローブの交換を容易にすることができる。
（態様２）
前記第１ブロック部には、凹部が形成されており、
前記第１吸引口は、前記第１ブロック部のうち前記凹部を画定する部分に形成されている、態様１に記載の治具である。
態様２によれば、プローブヘッドに反りがあったとしても、第１ブロック部とプローブヘッドとの間の隙間を小さくすることができる。このため、プローブヘッドに設けられたプローブの一端が位置する側に存在する（位置する）空気を効率的に吸引することができる。
（態様３）
前記第１ブロック部は、前記第１ブロック部に設置された前記プローブヘッドに接触する可撓性部材を有する、態様１又は２に記載の治具である。
態様３によれば、第１吸引口から空気が吸引されたとき、可撓性部材はプローブヘッドによって押しつぶされて、第１ブロック部とプローブヘッドとを互いに密着させることができる。このため、プローブヘッドに設けられたプローブの一端が位置する側に存在する（位置する）空気を効率的に吸引することができる。
（態様４）
前記第１ブロック部は、前記第１ブロック部に設置された前記プローブヘッドに差し込まれる突起部を有する、態様１から３までのいずれか一に記載の治具である。
態様４によれば、第１ブロック部にプローブヘッドが設置されたとき、突起部は、プローブヘッドを第１ブロック部に対して適切な位置に案内するためのガイド部材として機能することができる。このため、プローブヘッドを第１ブロック部に対して適切な位置に案内することができる。
（態様５）
前記第１ブロック部は、前記プローブヘッドが前記第１ブロック部に設置されたときに前記プローブヘッドを取り囲む領域に沿って延伸する隆起部を有する、態様１から４までのいずれか一に記載の治具である。
態様５によれば、第１ブロック部にプローブヘッドが設置されたとき、隆起部は、プローブヘッドを第１ブロック部に対して適切な位置に案内するためのガイド部材として機能することができる。このため、プローブヘッドを第１ブロック部に対して適切な位置に案内することができる。
（態様６）
第２吸引口が形成された第２ブロック部をさらに備え、
前記プローブの前記一端の反対側に位置する他端が位置する側に存在する空気が前記第２吸引口から吸引される、態様１から５までのいずれか一に記載の治具である。
態様６によれば、ピンプレートを第２ブロック部に吸着させることができる。このため、プローブヘッドからピンプレートを取り外す作業の効率を向上させることができる。
（態様７）
前記第２ブロック部を移動可能に支持する支持ブロック部をさらに備える、態様６に記載の治具である。
態様７によれば、第２ブロック部を支持ブロック部に対して移動させることで、ピンプレートをピンブロックから離すことができる。このため、プローブヘッドからピンプレートを取り外す作業の効率を向上させることができる。

１０下部治具
２０上部治具
３０治具
１００第１ブロック部
１０２第１面
１０４第２面
１０６ａ第１側面
１０６ｂ第２側面
１０６ｃ第３側面
１０６ｄ第４側面
１０８隆起部
１１０第１通気経路
１１２第１吸引口
１１４第１開口
１２０凹部
１３０可撓性部材
１４０突起部
１５０台座部
２００第２ブロック部
２０２第１ベース
２０４第１アーム
２１２第２吸引口
２１４第２開口
２２０支持ブロック部
２２２第２ベース
２２４第２アーム
２３２つまみネジ
３００プローブヘッド
３１０ピンブロック
３１２第１段付穴
３１４凸部
３１６穴
３１８位置決め穴
３２０ピンプレート
３２２第２段付穴
３３０プローブ
３４０フレーム
３４２第３開口
３４８位置決めピン
Ｘ第１方向
Ｙ第２方向
Ｚ第３方向

Claims

プローブヘッドに設けられたプローブの交換に用いられる治具であって、
前記プローブヘッドが設置される第１ブロック部と、
前記第１ブロック部に形成された第１吸引口と、を備え、
前記プローブの一端が位置する側に存在する空気が前記第１吸引口から吸引される、治具。
前記第１ブロック部には、凹部が形成されており、
前記第１吸引口は、前記第１ブロック部のうち前記凹部を画定する部分に形成されている、請求項１に記載の治具。
前記第１ブロック部は、前記第１ブロック部に設置された前記プローブヘッドに接触する可撓性部材を有する、請求項１又は２に記載の治具。
前記第１ブロック部は、前記第１ブロック部に設置された前記プローブヘッドに差し込まれる突起部を有する、請求項１から３までのいずれか一項に記載の治具。
前記第１ブロック部は、前記プローブヘッドが前記第１ブロック部に設置されたときに前記プローブヘッドを取り囲む領域に沿って延伸する隆起部を有する、請求項１から４までのいずれか一項に記載の治具。
第２吸引口が形成された第２ブロック部をさらに備え、
前記プローブの前記一端の反対側に位置する他端が位置する側に存在する空気が前記第２吸引口から吸引される、請求項１から５までのいずれか一項に記載の治具。
前記第２ブロック部を移動可能に支持する支持ブロック部をさらに備える、請求項６に記載の治具。
前記プローブヘッドと前記第１ブロック部との間に、前記空気が通る隙間が存在している、請求項１から７までのいずれか一項に記載の治具。