JP5370323B2 - プローブユニット - Google Patents
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Description
また、接触抵抗より大きな抵抗をプローブに直列に挿入し、各プローブに流れる電流を均等化して、プローブの破損を防止する技術の提案がある(たとえば、特許文献2参照)。
プローブユニット1は、半導体チップ50の電気的特性検査をおこなう場合に、プローブ20を半導体チップ50の電極部51に接触させる。図1に図示するプローブユニット1は、プローブ20が電極部51に接触していない状態である。
なお、抵抗器13の抵抗値は、電極部51に印加する電圧と、外部試験装置が供給可能な電力とにより決定される上限値と、プランジャ10とプローブ20を溶着させない下限値とを満たすように決定される。たとえば、プローブ20、プランジャ10、電線11、の各抵抗値と、プローブ20と電極部51、プランジャ10とプローブ20の接触部抵抗値の合計が160mΩ程度であるとすると、抵抗器13の抵抗値は、160mΩより大きな1Ωなどが設定される。
プローブ20は、略円柱形状の本体部の一端にプランジャと当接するプランジャ当接部21を備える。プランジャ当接部21は、直径d1の円盤状であり、中心部分でプランジャ10と当接する。円盤状のプランジャ当接部21は、本体部の直径d2、プローブ保持孔43の直径d3よりも大きく、プローブ保持孔43からプローブ20が脱落することを防止する脱落防止部22を兼ねる。
また、プローブ保持孔43は、プローブ収納凹室45の底面(板厚d5)に形成されており、プローブ20の本体部は、板厚d5より十分に大きな長さd4である。これにより、プローブ保持孔43に保持されるプローブ20は、プローブホルダ40とプランジャホルダ30とが分離した場合であっても、プローブホルダ40に良好に保持される。また、このようなプローブ20は、簡易な構成のため、プローブユニット1のコスト低減に寄与する。
プランジャホルダ30は、1組のスリーブ33とスリーブ34とで1本のプランジャ10を摺動可能に保持する。プランジャ10は、直径の異なる3つの円柱を直列に接続したような形状をしている。プランジャ10のストッパ17より上(電線11)側部は、ばね16に挿入することで、プランジャ10の周囲でばね16が伸縮自在になっている。プランジャ10の上側部は、スリーブ33に挿通される。スリーブ33の直径は、ばね16の外径よりも小さく、プランジャ10の上側部の直径よりも大きくなっている。
プローブユニット61は、抵抗器63とプランジャ66を電線64を介して接続する。
プランジャ66は、プランジャ接合部65で電線64と接続する。抵抗器63は、両端に電線接合部62を備え、一方の電線接合部62を介して電線64と接続し、他方の電線接合部62を介して電線11と接続する。電線接合部62、プランジャ接合部65は、ハンダ付けにより電線11または電線64と接合するようにしてもよい。また、交換を容易にするため複数の電線接合部62、またはプランジャ接合部65をまとめたコネクタ接続としてもよい。
さらに、上述の実施形態は、多数の変形、変更が当業者にとって可能であり、説明した正確な構成および応用例に限定されるものではない。
10、66 プランジャ
11、64 電線
12、62 電線接合部
13、63 抵抗器
14、65 プランジャ接合部
16 ばね
17 ストッパ
18 プローブ当接部
20 プローブ
21 プランジャ当接部
22 脱落防止部
23 チップ電極当接部
30 プランジャホルダ
31 係合部
32 ガイドピン
33、34 スリーブ
35 付勢部収納空間
40 プローブホルダ
41 係止爪
42 嵌合凹部
43 プローブ保持孔
44 検査対象対向面
45 プローブ収納凹室
50 半導体チップ
51 電極部
Claims (5)
- プローブを保持するプローブホルダと、前記プローブと電気的に接触するプランジャを保持するプランジャホルダと、を含むプローブユニットであって、
前記プローブホルダは、前記プローブを収容する収納凹室と、前記収納凹室の検査対象対向面に配設されて前記プローブを摺動可能に保持するプローブ保持孔と、前記プランジャホルダと係合する係止部と、を備え、
前記プローブは、前記プローブ保持孔からの脱落を防止する脱落防止部と、一端に検査対象電極と当接する電極当接部と、他端に前記プランジャと当接するプランジャ当接部と、を備え、
前記係止部は、前記収納凹室の開放域を拡開する方向に変位するものであり、
前記プランジャホルダは、前記プランジャを摺動可能に保持するスリーブと、前記プランジャを前記プローブ方向に付勢する付勢部と、を備え、
前記プランジャは、一端に前記プローブと当接するプローブ当接部を備えることを特徴とするプローブユニット。 - 前記プローブホルダは、前記プランジャホルダが有するガイド部と嵌合する嵌合凹部を備えることを特徴とする請求項1記載のプローブユニット。
- 前記プローブは、略円柱形状であり、前記脱落防止部は、前記電極当接部側端部に設けられた舌片であることを特徴とする請求項1または2記載のプローブユニット。
- 前記プランジャは、抵抗器を介して配線と接続することを特徴とする請求項3記載のプローブユニット。
- 前記プローブと前記プランジャは、複数対が備えられ、
2以上の前記プローブが共通の前記検査対象電極と当接することを特徴とする請求項4記載のプローブユニット。
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