JP2012129334A

JP2012129334A - 部品実装装置及び部品実装装置の吸着ツール

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Publication number: JP2012129334A
Application number: JP2010278787A
Authority: JP
Inventors: Tomoaki Nakanishi; 智昭中西
Original assignee: Panasonic Corp
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 2010-12-15
Filing date: 2010-12-15
Publication date: 2012-07-05
Anticipated expiration: 2030-12-15
Also published as: JP5445437B2

Abstract

【課題】正圧供給によるエアブロー時、吸着ツールが装着ヘッドから外れてしまう事態を防止することができる部品供給装置及び部品供給装置の吸着ツールを提供することを目的とする。
【解決手段】装着ヘッド１４の下端のツール保持面１４Ｓと吸着ツール１５の上端の被保持面１５Ｓとを接触させた状態で、ツール保持面１４Ｓに設けられたツール保持面側窪部２３に負圧を供給して装着ヘッド１４の下端に吸着ツール１５を保持するとともに、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓに設けられた誘導溝３１及び誘導溝３１から下方に延びて設けられた部品吸着孔３２に負圧を供給することによって吸着ツール１５の下端に部品３を吸着させる部品実装装置１において、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓに、被保持面１５Ｓがツール保持面１４Ｓと接触した状態でツール保持面側窪部２３と連通して被保持面１５Ｓに負圧が作用する領域を増大させる被保持面側窪部３３を設ける。
【選択図】図２

Description

本発明は、装着ヘッドにより部品をピックアップして基板に装着する部品実装装置及び部品実装装置の吸着ツールに関するものである。

装着ヘッドにより部品をピックアップして基板に装着する部品実装装置の中には、装着ヘッドの下端に保持した吸着ツールを介して部品を吸着するタイプのものがあり（例えば、特許文献１）、吸着ツールに部品を吸着させるときには吸着ツール内に設けられた部品吸着孔内に負圧（真空圧）を供給して吸着ツールの下端に部品の吸着力を発生させ、吸着ツールに吸着させた部品を基板上に装着するときには部品吸着孔内に正圧を供給して吸着ツールの下端に部品の離脱力を発生させるようになっている（エアブロー）。

このようなタイプの部品実装装置では、装着ヘッドの下端（ツール保持面）に吸着ツールの上端（被保持面）を接触させた状態で吸着ツールを装着ヘッドに保持するが、部品のサイズ等に応じた吸着ツールの交換を容易に行うことができるようにするため、吸着ツールは負圧による吸引で装着ヘッドの下端に保持するようになっている。具体的には、装着ヘッドのツール保持面に開口する窪（くぼみ）部（ツール保持面側窪部）を設け、装着ヘッドのツール保持面に吸着ツールの被保持面が接触した状態でツール保持面側窪部内（ツール保持面側窪部と吸着ツールの保持面とで形成される空気管路内）に負圧を供給する。

このように負圧吸引によって吸着ツールを装着ヘッドに保持する場合、部品を基板に装着する際のエアブロー時には、部品吸着孔内に供給される正圧によって吸着ツールには装着ヘッドから突き放される方向の力（以下、ツール突き放し力と称する）が作用するが、このツール突き放し力は通常、負圧吸引によって吸着ツールを装着ヘッドの下端に保持する力（以下、ツール保持力と称する）よりも小さいため、エアブロー時に吸着ツールが装着ヘッドから外れてしまうことはない。

特開２０００−３３２４９７号公報

しかしながら、吸着ツールの中には、吸着対象とする部品の上面の中央部に吸着不可な部分があってその吸着不可部分を避けた部品の周辺部を吸着する必要があるため、被保持面にこの被保持面に沿って吸着ツールの中央部から周辺部に水平方向に延びる誘導溝を有し、この誘導溝の端部（吸着ツールの周辺部に位置する側の端部）から部品吸着孔が下方に延びて設けられたものがある。このように被保持面に誘導溝が設けられた吸着ツールでは、エアブロー時の正圧が誘導溝に作用することから、吸着ヘッドに作用するツールを突き放し力はその分増大し、ツール突き放し力がツール保持力を上回って吸着ツールが装着ヘッドの下端から外れてしまう事態が起こり得た。

そこで本発明は、正圧供給によるエアブロー時、吸着ツールが装着ヘッドから外れてしまう事態を防止することができる部品供給装置及び部品供給装置の吸着ツールを提供することを目的とする。

請求項１に記載の部品実装装置は、下端のツール保持面及びこのツール保持面に開口して設けられたツール保持面側窪部を有した装着ヘッドと、上端の被保持面を装着ヘッドの前記ツール保持面に接触させ、前記被保持面に沿って延びて設けられた誘導溝及びこの誘導溝から下方に延びて設けられて下端に開口する部品吸着孔を有した吸着ツールと、装着ヘッドの前記ツール保持面に吸着ツールの前記被保持面が接触した状態で装着ヘッドの前記ツール保持面側窪部内に負圧を供給し、前記被保持面を前記ツール保持面側に引き寄せることによって吸着ツールを装着ヘッドの下端に保持するツール保持手段と、吸着ツールの前記誘導溝から前記部品吸着孔内に負圧を供給することによって吸着ツールの下端に部品の吸着力を発生させ、また前記誘導溝から前記部品吸着孔内に正圧を供給することによって吸着ツールの下端に部品の離脱力を発生させる正圧負圧供給制御手段とを備え、吸着ツールの下端に部品の吸着力を発生させて吸着ツールによる部品のピックアップを行った後、部品を基板に接触させつつ吸着ツールの下端に部品の離脱力を発生させて部品を基板に装着する部品実装装置であって、吸着ツールの前記被保持面に開口し、前記被保持面が装着ヘッドの前記ツール保持面と接触した状態で前記ツール保持面側窪部と連通して前記被保持面に負圧が作用する領域を増大させる被保持面側窪部が設けられた。

請求項２に記載の部品実装装置の吸着ツールは、下端のツール保持面及びこのツール保持面に開口して設けられたツール保持面側窪部を有した装着ヘッドと、上端の被保持面を装着ヘッドの前記ツール保持面に接触させ、前記被保持面に沿って延びて設けられた誘導溝及びこの誘導溝から下方に延びて設けられて下端に開口する部品吸着孔を有した吸着ツールと、装着ヘッドの前記ツール保持面に吸着ツールの前記被保持面が接触した状態で装着ヘッドの前記ツール保持面側窪部内に負圧を供給し、前記被保持面を前記ツール保持面側に引き寄せることによって吸着ツールを装着ヘッドの下端に保持するツール保持手段と、吸着ツールの前記誘導溝から前記部品吸着孔内に負圧を供給することによって吸着ツールの下端に部品の吸着力を発生させ、また前記誘導溝から前記部品吸着孔内に正圧を供給することによって吸着ツールの下端に部品の離脱力を発生させる正圧負圧供給制御手段とを備え、吸着ツールの下端に部品の吸着力を発生させて吸着ツールによる部品のピックアップを行った後、部品を基板に接触させつつ吸着ツールの下端に部品の離脱力を発生させて部品を基板に装着する部品実装装置の吸着ツールであって、前記被保持面に開口し、前記被保持面が装着ヘッドの前記ツール保持面と接触した状態で前記ツール保持面側窪部と連通して前記被保持面に負圧が作用する領域を増大させる被保持面側窪部が設けられた。

本発明では、吸着ツールの被保持面に、被保持面が装着ヘッドのツール保持面と接触した状態でツール保持面側窪部と連通して被保持面に負圧が作用する領域を増大させる被保持面側窪部が設けられているので、その分、吸着ツールを装着ヘッドの下端（ツール保持面）側に引き寄せて装着ヘッドの下端に保持する力（ツール保持力）が増大する。このため、正圧供給によるエアブロー時、吸着ツールが装着ヘッドから外れてしまう事態を防止することができる。

本発明の一実施の形態における部品実装装置の斜視図（ａ）本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える吸着ツールを保持した状態の装着ヘッド及び吸着ツールの断面図（ｂ）装着ヘッドの下面図（ｃ）吸着ツールの平面図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える装着ヘッド及び吸着ツールの断面図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える吸着ツールの平面図

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１に示す部品実装装置１は、基板２上の部品装着部位２ａに部品（電子部品）３を装着するダイボンダーであり、基板位置決め部１１、部品供給部１２、撮像カメラ１３、装着ヘッド１４及び吸着ツール１５を備えている。

図１において、基板位置決め部１１は、基板２を保持する基板保持部としてのテーブル状の基板保持台１１ａと基板保持台１１ａを水平面内方向に移動させる基板保持台移動機構１１ｂから成り、基板２が載置された基板保持台１１ａを基板保持台移動機構１１ｂにより移動させることによって基板２の位置決めを行う。

図１において、部品供給部１２は複数の部品３が収容されたパレット１２ａと、パレット１２ａを保持して移動させるパレット保持移動機構１２ｂから成る。本実施の形態では、図１中の拡大図に示すように、部品３の上面の中央部に、吸着ツール１５による吸着が不可である吸着不可部分（例えば、部品３が撮像素子である場合には撮像素子部であり、部品３が加速度センサであれば加速度検出部）３ａが設けられている。

図１において、撮像カメラ１３は基板保持台１１ａによって保持された基板２の上方への水平面内での進退移動（図１中に示す矢印Ａ）が自在であり、撮像視野を下方に向けた下方撮像部１３ａによる下方領域の撮像と撮像視野を上方に向けた上方撮像部１３ｂによる上方領域の撮像とが可能である。

装着ヘッド１４は水平移動が自在に設けられており、図１に示すように、下部には下方に延びて昇降自在な昇降部１４ａが設けられている。昇降部１４ａの下端には、図２（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、ヒータＨを備えたツール保持部１４ｂが複数の螺子ＳＲによって取り付けられており、吸着ツール１５はツール保持部１４ｂの下端に保持されている。ここで、図２（ｂ）は図２（ａ）における矢視Ｂ−Ｂから見た装着ヘッド１４の下面図、図２（ｃ）は図２（ａ）における矢視Ｃ−Ｃから見た吸着ツール１５の平面図である。

図２（ａ）において、装着ヘッド１４の内部の中央には、上下方向に延びた正圧負圧供給管路２１が設けられている。この正圧負圧供給管路２１は、下端がツール保持部１４ｂの下端のツール保持面１４Ｓの中央部に開口している（図２（ｂ））。また、装着ヘッド１４の内部の正圧負圧供給管路２１を挟む（或いは取り囲む）位置には、上下方向に延びた複数（本実施の形態では２つ）のツール吸引管路２２が設けられている。各ツール吸引管路２２の下端は正圧負圧供給管路２１の下端開口部を間に挟む位置に開口している（図２（ｂ））。

図２（ａ），（ｂ）において、ツール保持部１４ｂの下端のツール保持面１４Ｓには、ツール保持面１４Ｓに開口したツール保持面側窪（くぼみ）部２３が設けられている。このツール保持面側窪部２３は、本実施の形態では、図２（ｂ）に示すように、ツール保持面１４Ｓの中央に設けられた正圧負圧供給管路２１を取り囲む周回形状に形成されており、２つのツール吸引管路２２それぞれの下端開口部は、ツール保持面側窪部２３内に開口している。

吸着ツール１５は、上端の被保持面１５Ｓをツール保持部１４ｂの下端のツール保持面１４Ｓに接触させた状態でツール保持部１４ｂに（すなわち装着ヘッド１４に）取り付けられている。図２（ｃ）において、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓには、この被保持面１５Ｓに沿って被保持面１５Ｓの中央部から周辺部に向けて水平方向に広がるように延びた誘導溝３１と、この誘導溝３１から下方に延びて下端に開口する複数（ここでは６つ）の部品吸着孔３２が設けられている。ここで、誘導溝３１は、装着ヘッド１４の下端のツール保持面１４Ｓと吸着ツール１５の上端の被保持面１５Ｓとが接触した状態において、装着ヘッド１４のツール保持面１４Ｓに設けられたツール保持面側窪部２３と繋がらない領域を延びており、各部品吸着孔３２はその端部（吸着ツール１５の周辺部に位置する側の端部）から下方に延びて吸着ツール１５の下端に開口している。図２（ｃ）には、ツール保持面１４Ｓと被保持面１５Ｓとが接触した状態での被保持面１５Ｓ上におけるツール保持面側窪部２３の位置を一点鎖線で示している。

なお、このように部品吸着孔３２が被保持面１５Ｓの中央部からそのまま下方に延びて設けられているのではなく、被保持面１５Ｓの中央部から周辺部に向けて延びた誘導溝３１の端部から下方に延びて設けられているのは、前述のように、吸着対象とする部品３の上面の中央部に吸着不可部分３ａがあり、この吸着不可部分３ａを避けた部品３の周辺部を吸着する必要があるからである。

また、図２（ｃ）において、吸着ツール１５の上端の被保持面１５Ｓには、この被保持面１５Ｓが装着ヘッド１４のツール保持面１４Ｓと接触した状態でツール保持面側窪部２３と連通する複数の被保持面側窪部３３が吸着ツール１５の被保持面１５Ｓに開口して設けられている。各被保持面側窪部３３は被保持面１５Ｓに設けられた誘導溝３１と繋がらない領域に配置されている。

図２（ａ）において、吸着ツール１５の上端の被保持面１５Ｓが装着ヘッド１４のツール保持面１４Ｓに下方から接触した状態では、ツール保持面１４Ｓに設けられたツール保持面側窪部２３と吸着ツール１５の被保持面１５Ｓとによって周回状の空気管路が形成される。また、被保持面１５Ｓに設けられた複数の被保持面側窪部３３とツール保持面１４Ｓとによって複数の直線状の空気管路が形成される。このため、この状態（吸着ツール１５の被保持面１５Ｓが装着ヘッド１４のツール保持面１４Ｓに接触した状態）でツール吸引管路２２内に負圧が供給されると、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓのうち、ツール保持面側窪部２３と上下に対向する領域に負圧が作用するうえ、各被保持面側窪部３３の平面視投影領域にも負圧が作用するので、吸着ツール１５はツール保持面１４Ｓに引き寄せられて装着ヘッド１４の下端（ツール保持面１４Ｓ）に吸引保持される。

ここで、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓに被保持面側窪部３３が設けられていない場合であっても、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓにおけるツール保持面側窪部２３と上下に対向する領域にツール吸引管路２２に供給された負圧が作用することから、吸着ツール１５は装着ヘッド１４の側に引き寄せられることになるが、本実施の形態では、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓ上に更に複数の被保持面側窪部３３が設けられており、各被保持面側窪部３３の平面視投影領域にもツール吸引管路２２に供給された負圧が作用することにより、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓに負圧が作用する領域が増大される構成となっている。

基板位置決め部１１における基板２の位置決め動作は、部品実装装置１が備える制御装置４０（図１）が前述の基板保持台移動機構１１ｂの作動制御を行って基板２を保持した基板保持台１１ａを移動させることによってなされる。

部品供給部１２におけるパレット１２ａの位置決め動作は、制御装置４０が前述のパレット保持移動機構１２ｂの作動制御を行ってパレット１２ａを移動させることによって行う。

撮像カメラ１３の移動動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成る撮像カメラ移動機構４１（図１）の作動制御を行うことによってなされ、撮像カメラ１３の下方撮像部１３ａによる下方領域の撮像動作及び上方撮像部１３ｂによる上方領域の撮像動作の制御は制御装置４０によってなされる。撮像カメラ１３の撮像によって得られた画像データは制御装置４０に入力され、制御装置４０が備える画像認識部（図示せず）において画像認識される。

ツール吸引管路２２内に負圧を供給する動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータや配管等から成るツール吸引機構４２（図１）の作動制御を行うことによってなされる。

装着ヘッド１４のツール保持面１４Ｓに吸着ツール１５の被保持面１５Ｓが接触した状態で制御装置４０により制御されたツール吸引機構４２によってツール吸引管路２２内に負圧が供給されると、その負圧が装着ヘッド１４のツール保持面側窪部２３（ツール保持面側窪部２３と吸着ツール１５の被保持面１５Ｓとから形成される周回状の空気管路）内に作用し、被保持面１５Ｓがツール保持面１４Ｓ側に引き寄せられて吸着ツール１５が装着ヘッド１４の下端に吸引保持される。

すなわち本実施の形態において、ツール吸引機構４２は、装着ヘッド１４のツール保持面１４Ｓに吸着ツール１５の被保持面１５Ｓが接触した状態で装着ヘッド１４のツール保持面側窪部２３内に負圧を供給し、被保持面１５Ｓをツール保持面１４Ｓ側に引き寄せることによって吸着ツール１５を装着ヘッド１４の下端に保持するツール保持手段として機能する。

装着ヘッド１４の水平面内方向への移動動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等の駆動によって作動する装着ヘッド移動ロボット４３（図１）の作動制御を行うことによってなされ、装着ヘッド１４が備える昇降部１４ａの昇降動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成る昇降部昇降機構４４（図１）の作動制御を行うことによってなされる。

正圧負圧供給管路２１内に正圧又は負圧を選択的に供給する動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータや配管等から成る吸着・エアブロー機構４５（図１）の作動制御を行うことによってなされる。

装着ヘッド１４のツール保持面１４Ｓに吸着ツール１５の被保持面１５Ｓが接触した状態で制御装置４０により制御された吸着・エアブロー機構４５によって正圧負圧供給管路２１内に負圧が供給されると、その負圧が吸着ツール１５の誘導溝３１（誘導溝３１と装着ヘッド１４のツール保持面１４Ｓとから形成される空気管路）内にも供給され、各部品吸着孔３２を通じて吸着ツール１５の下端に部品３の吸着力が発生する。また、吸着・エアブロー機構４５によって正圧負圧供給管路２１内に正圧が供給されると、その正圧が吸着ツール１５の誘導溝３１（誘導溝３１と装着ヘッド１４のツール保持面１４Ｓとから形成される空気管路）内にも供給され、各部品吸着孔３２を通じて吸着ツール１５の下端に部品３の離脱力が発生する。

すなわち本実施の形態において、吸着・エアブロー機構４５は、吸着ツール１５の誘導溝３１から部品吸着孔３２内に負圧を供給することによって吸着ツール１５の下端に部品３の吸着力を発生させ、また誘導溝３１から部品吸着孔３２内に正圧を供給することによって吸着ツール１５の下端に部品３の離脱力を発生させる正圧負圧供給制御手段として機能する。

制御装置４０は、基板保持台１１ａに保持された基板２に対する部品実装作業を行うときは、装着ヘッド１４を部品供給部１２が備えるパレット１２ａの上方に移動させた後、装着ヘッド１４の昇降部１４ａを下降させて負圧吸引によってツール保持面１４Ｓに保持した吸着ツール１５をパレット１２ａ上の部品３に接触させる。そして、吸着・エアブロー機構４５による正圧負圧供給管路２１内への負圧供給を行い、吸着ツール１５の下端に部品３の吸着力を発生させて、吸着ツール１５に部品３を吸着させる。これにより部品３がピックアップされる（ピックアップ工程）。ここでは、部品３は中央部の吸着不可部分３ａを避けた位置（部品３の周辺部）に吸着ツール１５の部品吸着孔３２が接触して部品３が吸着される（図３（ａ））。

なお、このピックアップ工程では、ツール吸引管路２２内に供給される負圧がツール保持面側窪部２３及び各被保持面側窪部３３から吸着ツール１５の被保持面１５Ｓに作用するほか（図３（ａ）中に示す力Ｆ１、Ｆ２参照）、正圧負圧供給管路２１内に供給される負圧が誘導溝３１から吸着ツール１５の被保持面１５Ｓに作用するが（図３（ａ）中に示す力Ｆ３参照）、この誘導溝３１から吸着ツール１５の被保持面１５Ｓに作用する負圧は、吸着ツール１５を装着ヘッド１４の側に引き付ける力を増大させるものであって、吸着ツール１５をツール保持面１４Ｓから脱落させる作用をするものではない。

制御装置４０は、部品３をピックアップしたら、装着ヘッド１４を基板２の部品装着部位２ａの直上に位置させて、部品装着部位２ａと部品３の位置合わせを行う（位置合わせ工程）。この位置合わせは、基板２上の部品装着部位２ａを撮像カメラ１３の下方撮像部１３ａによって部品装着部位２ａの上方から撮像して画像認識するとともに、装着ヘッド１４によりピックアップした部品３を撮像カメラ１３の上方撮像部１３ｂによって部品３の下方から撮像して画像認識し、得られた両画像中における部品３と部品装着部位２ａの位置ずれに基づいて部品３を（装着ヘッド１４を）基板２に対して相対移動させることによって行う。

制御装置４０は、部品装着部位２ａと部品３の位置合わせが終わったら、部品３を部品装着部位２ａに装着する（部品装着工程）。この部品装着工程では、制御装置４０は、装着ヘッド１４の昇降部１４ａを下降させて部品３を基板２の部品装着部位２ａに接触させつつ、吸着・エアブロー機構４５による正圧負圧供給管路２１内への正圧供給を行い、吸着ツール１５の下端に部品３の離脱力を発生させて（エアブロー）、部品３を基板２の部品装着部位２ａに装着する。なお、このとき部品３の下面の電極に設けられた半田は、装着ヘッド１４のツール保持部１４ｂに設けられたヒータＨにより、部品３を介して加熱されて溶融される。

この部品装着工程では、ツール吸引管路２２内に供給される負圧がツール保持面側窪部２３及び各被保持面側窪部３３から吸着ツール１５の被保持面１５Ｓに作用する一方で、（図３（ｂ）中に示す力Ｆ１、Ｆ２参照）、正圧負圧供給管路２１から誘導溝３１を通じて各部品吸着孔３２内に正圧を供給した際、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓのうち、誘導溝３１の平面視投影領域に正圧が作用するので、吸着ツール１５にはツール保持面１４Ｓから突き放される方向の下方への力（ツール突き放し力）が作用する（図３（ｂ）中に示す力Ｐ３参照）。しかし、前述のように、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓに複数の被保持面側窪部３３が設けられることによって、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓに負圧が作用する領域が増大されるようになっているので、ツール突き放し力が、負圧吸引によって吸着ツール１５を装着ヘッド１４の下端のツール保持面１４Ｓに保持する力（ツール保持力）を超えないようにすることができ、これによりエアブロー時に吸着ツール１５が装着ヘッド１４から外れてしまう事態を防止できる。

制御装置４０は装着工程が終了したら、現在、部品３の装着対象となっている基板２に装着すべき部品３を全て装着したかどうかの判断を行い、基板２に装着すべき部品３を全て装着していなかった場合には、パレット１２ａ内の部品３のピックアップを新たに行い、基板２に装着すべき部品３を全て装着していた場合には、その基板２に対する部品実装作業を終了する。

このように本実施の形態における部品実装装置１は、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓに、被保持面１５Ｓが装着ヘッド１４のツール保持面１４Ｓと接触した状態でツール保持面側窪部２３と連通して被保持面１５Ｓに負圧が作用する領域を増大させる被保持面側窪部３３が設けられたものとなっており、この被保持面側窪部３３が設けられている分、吸着ツール１５を装着ヘッド１４の下端（ツール保持面１４Ｓ）側に引き寄せて装着ヘッド１４の下端に保持する力（ツール保持力）が増大するため、正圧供給によるエアブロー時、吸着ツール１５が装着ヘッド１４から外れてしまう事態を防止することができる。そして、吸着ツール１５を装着ヘッド１４の下端に保持するツール保持力を増大させる手段（被保持面側窪部３３）が吸着ツール１５に設けられるものとすることにより、吸着ツール１５における誘導溝３１や部品吸着孔３２の形状や配置を変えても装着ヘッド１４の側の構成に変更はなく、コストの増大を抑えることができる。

なお、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓに設けられる被保持面側窪部３３の形状及び配置は、吸着ツール１５に設けられる部品吸着孔３２の配置に応じて様々な変形が可能である。例えば、図４（ａ）に示すように、誘導溝３１が被保持面１５Ｓ上を直線状に延びてその両端部から２つの部品吸着孔３２が下方に延びて設けられている場合には、吸着ツール１５の被保持面１５Ｓ上の誘導溝３１を挟んで対向する両位置にひとつずつ又は複数ずつ（図４（ａ）では３つずつ）の被保持面側窪部３３を設けることができる。また、図４（ｂ）に示すように、誘導溝３１が被保持面１５Ｓ上を十字形状延びてその４つの端部の各々から計４つの部品吸着孔３２が下方に延びて設けられている場合には、隣接する２つの部品吸着孔３２の間を延びる位置にひとつずつ又は複数ずつ（図４（ｂ）ではひとつずつ）の被保持面側窪部３３を設けることができる。

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、部品吸着孔３２の個数は６つであったが、これは一例であり、部品吸着孔３２の個数は特に限定されない。また、上述の実施の形態では、ツール保持面側窪部２３の形状は、ツール保持面１４Ｓの中央に設けられた正圧負圧供給管路２１を取り囲む周回形状であったが、このツール保持面側窪部２３の形状は任意である。

正圧供給によるエアブロー時、吸着ツールが装着ヘッドから外れてしまう事態を防止することができる部品供給装置及び部品供給装置の吸着ツールを提供する。

１部品実装装置
２基板
１４装着ヘッド
１４Ｓツール保持面
１５吸着ツール
１５Ｓ被保持面
２３ツール保持面側窪部
３１誘導溝
３２部品吸着孔
３３被保持面側窪部
４２ツール吸引機構（ツール保持手段）
４５吸着・エアブロー機構（正圧負圧供給制御手段）

Claims

下端のツール保持面及びこのツール保持面に開口して設けられたツール保持面側窪部を有した装着ヘッドと、上端の被保持面を装着ヘッドの前記ツール保持面に接触させ、前記被保持面に沿って延びて設けられた誘導溝及びこの誘導溝から下方に延びて設けられて下端に開口する部品吸着孔を有した吸着ツールと、装着ヘッドの前記ツール保持面に吸着ツールの前記被保持面が接触した状態で装着ヘッドの前記ツール保持面側窪部内に負圧を供給し、前記被保持面を前記ツール保持面側に引き寄せることによって吸着ツールを装着ヘッドの下端に保持するツール保持手段と、吸着ツールの前記誘導溝から前記部品吸着孔内に負圧を供給することによって吸着ツールの下端に部品の吸着力を発生させ、また前記誘導溝から前記部品吸着孔内に正圧を供給することによって吸着ツールの下端に部品の離脱力を発生させる正圧負圧供給制御手段とを備え、吸着ツールの下端に部品の吸着力を発生させて吸着ツールによる部品のピックアップを行った後、部品を基板に接触させつつ吸着ツールの下端に部品の離脱力を発生させて部品を基板に装着する部品実装装置であって、
吸着ツールの前記被保持面に開口し、前記被保持面が装着ヘッドの前記ツール保持面と接触した状態で前記ツール保持面側窪部と連通して前記被保持面に負圧が作用する領域を増大させる被保持面側窪部が設けられたことを特徴とする部品実装装置。
下端のツール保持面及びこのツール保持面に開口して設けられたツール保持面側窪部を有した装着ヘッドと、上端の被保持面を装着ヘッドの前記ツール保持面に接触させ、前記被保持面に沿って延びて設けられた誘導溝及びこの誘導溝から下方に延びて設けられて下端に開口する部品吸着孔を有した吸着ツールと、装着ヘッドの前記ツール保持面に吸着ツールの前記被保持面が接触した状態で装着ヘッドの前記ツール保持面側窪部内に負圧を供給し、前記被保持面を前記ツール保持面側に引き寄せることによって吸着ツールを装着ヘッドの下端に保持するツール保持手段と、吸着ツールの前記誘導溝から前記部品吸着孔内に負圧を供給することによって吸着ツールの下端に部品の吸着力を発生させ、また前記誘導溝から前記部品吸着孔内に正圧を供給することによって吸着ツールの下端に部品の離脱力を発生させる正圧負圧供給制御手段とを備え、吸着ツールの下端に部品の吸着力を発生させて吸着ツールによる部品のピックアップを行った後、部品を基板に接触させつつ吸着ツールの下端に部品の離脱力を発生させて部品を基板に装着する部品実装装置の吸着ツールであって、
前記被保持面に開口し、前記被保持面が装着ヘッドの前記ツール保持面と接触した状態で前記ツール保持面側窪部と連通して前記被保持面に負圧が作用する領域を増大させる被保持面側窪部が設けられたことを特徴とする部品実装装置の吸着ツール。