JP7090478B2 - 基板載置台及び基板検査装置 - Google Patents
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Description
本開示の一実施形態に係る基板検査装置について、プローバを例に挙げて説明する。図1は、プローバの構成例を示す斜視図である。
図3は、ステージの構成例を示す断面図である。図4は、ステージ内部の冷媒流路の一例の説明図である。図4は、平面視における冷媒流路の形状の概略を示す。また、図4では、冷媒の流れる方向を矢印で示す。図5、図6、及び図7は、それぞれ図4のA-A線断面図、B-B線断面図、及びC-C線断面図である。
図10は、ステージ11のウエハ載置面における温度分布を示す図である。図10の上段には、図4から図7を参照して説明したチャックトップ11cを有するステージ11を用いたときのステージ11のウエハ載置面における温度分布のシミュレーション結果(実施例の結果)を示す。一方、図10の下段には、冷媒流路が同一平面に配置されているチャックトップ11cを有するステージ11を用いたときのステージ11のウエハ載置面における温度分布のシミュレーション結果(比較例の結果)を示す。
11 ステージ
11c チャックトップ
17 プローブカード
101 下部板
101a 溝
102 中間板
102a 溝
103 上部板
F 冷媒流路
F1 第1流路
F2 第2流路
I 流入口
O 流出口
W ウエハ
Claims (7)
- 内部に冷媒流路が形成され、上面に基板を載置する基板載置台であって、
前記冷媒流路は、
流入口を有する第1流路と、
前記第1流路と連通し、流出口を有する第2流路と、
を有し、
前記第1流路は、前記第2流路よりも下方に設けられ、
前記第2流路には、冷媒の流れ方向に沿って間隔を有して複数の吸熱促進部材が設けられている、
基板載置台。 - 平面視で、前記第1流路の一部は前記第2流路と重なるように設けられている、
請求項1に記載の基板載置台。 - 平面視で、前記第1流路は、鋭角を有する流路を含まない、
請求項1又は2に記載の基板載置台。 - 前記第2流路の長さは、前記第1流路の長さよりも長い、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の基板載置台。 - 前記第1流路は、前記第2流路よりも断面積が小さい、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の基板載置台。 - 前記冷媒流路は、複数形成されている、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の基板載置台。 - 基板に形成された半導体デバイスの電気的特性を検査する基板検査装置であって、
前記基板を載置する基板載置台と、
前記基板載置台の前記基板が載置される面に対向して設けられ、前記半導体デバイスと電気的に接触可能な多数のプローブを有するプローブカードと、
を備え、
前記基板載置台は、内部に形成された冷媒流路を有し、
前記冷媒流路は、
流入口を有する第1流路と、
前記第1流路と連通し、流出口を有する第2流路と、
を有し、
前記第1流路は、前記第2流路よりも下方に設けられ、
前記第2流路には、冷媒の流れ方向に沿って間隔を有して複数の吸熱促進部材が設けられている、
基板検査装置。
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