KR100843836B1 - 척 장치 및 척 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (24)
- 반도체 웨이퍼(W)상에 형성된 복수의 집적 회로를 프로브 검사하기 위한 척 장치(10; 20)에 있어서,상기 반도체 웨이퍼를 탑재하기 위한 웨이퍼 척으로서, 상기 웨이퍼 척은 반도체 웨이퍼를 탑재하기 위한 탑재면과, 웨이퍼 척 내부에 배치되고 상기 반도체 웨이퍼를 냉각하기 위한 냉각 기구를 구비하는, 상기 웨이퍼 척과,상기 웨이퍼 척의 상기 탑재면에 형성되며, 상기 탑재면의 표면을 복수의 영역(11A, 11B, 11C, 11D, 11E; 21A, 21B, 21C, 21D)으로 분할하도록 형성되는 복수의 홈(12A, 12B, 12C, 12D, 12E; 22A, 22A', 22B, 22B', 22C, 22C', 22D, 22D')과,상기 웨이퍼 척의 각 영역마다 마련된 공급 및 배기로(13A, 13B, 13C, 13D, 13E; 23A, 23B, 23C, 23D)로서, 상기 각 공급 및 배기로의 한쪽 단부는 상기 각 홈의 내부로 개방되고, 다른쪽 단부는 상기 척의 외주면으로 개방되는, 상기 공급 및 배기로와,상기 공급 및 배기로 각각에 열전도성이 우수한 유체의 공급원(17A) 및 진공 배기 수단(17B)을 서로 전환 가능하게 접속하기 위한 전환 기구(15)를 포함하는척 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 웨이퍼 척은 반도체 웨이퍼를 인덱스 이송하면서, 상기 반도체 웨이퍼상에 형성된 복수의 집적 회로를 프로브 검사하기 위한 것인척 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 각각의 홈은 상기 반도체 웨이퍼의 인덱스 이송 방향을 따라 배열되는척 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 각각의 홈은 고리 형상의 홈(12A, 12B, 12C, 12D, 12E)인척 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 전환 기구(15)는 솔레노이드 밸브(15A, 15B, 15C, 15D, 15E)인척 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 복수의 홈은 상기 탑재면의 표면을 그 중심으로부터 반경방향으로 분할한 복수의 영역을 형성하는척 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 복수의 홈(22A, 22A', 22B, 22B', 22C, 22C', 22D, 22D')은 상기 탑재면의 표면을 십자형상으로 4분할한 복수의 영역(21A, 21B, 21C, 21D)을 형성하는척 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 복수의 홈은 상기 반경방향의 각 영역내에도 설치되는척 장치.
- 복수의 집적 회로가 형성된 반도체 웨이퍼를 그 내부에 냉각 기구를 갖는 웨이퍼 척상에 탑재하고, 상기 반도체 웨이퍼를 인덱스 이송시키면서, 상기 집적 회로의 프로브 검사를 실행하기 위한 척 방법에 있어서,상기 프로브 검사되고 있는 복수의 집적 회로가 위치하는 반도체 웨이퍼의 이면 부분과 상기 웨이퍼 척의 간격에 열전도성이 우수한 유체를 공급하는 단계와,상기 프로브 검사되고 있지 않은 복수의 집적 회로가 위치하는 반도체 웨이퍼의 이면 부분과 상기 웨이퍼 척의 간격을 진공 흡인하는 단계를 포함하는척 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 열전도성이 우수한 유체는 헬륨 가스인척 방법.
- 피 검사체(W)를 탑재하기 위한 척 장치(10)에 있어서,피 검사체를 탑재하기 위한 상부 표면을 갖는 척으로서, 상기 척 내부에는 피 검사체를 냉각하기 위한 냉각 기구가 설치되고, 상기 척의 상부 표면에는 복수의 홈(12A, 12B, 12C, 12D, 12E)이 형성되고, 상기 복수의 홈은 척 상부 표면을 복수의 영역(11A, 11B, 11C, 11D, 11E)으로 분할하도록, 또한 서로 연통하지 않도록 형성되어 있는, 상기 척과,상기 척의 각 영역마다 마련된 공급 및 배기로(13A, 13B, 13C, 13D, 13E)로서, 각 공급 및 배기로는 그 한쪽 단부가 상기 각 홈내로 개방되고, 그 다른쪽 단부는 척의 외주면으로 개방되어 있는, 상기 공급 및 배기로를 포함하는척 장치.
- 제 11 항에 있어서,각 공급 및 배기로의 상기 다른쪽 단부에 접속된 전환 기구(15)를 더 포함하며, 상기 전환 기구는 열전도성의 유체 공급 기구(17A)와 진공 배기 기구(17B)를 상기 다른쪽 단부에 전환 가능하게 접속하는척 장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 피 검사체는 그 표면에 복수의 측정 대상 소자를 갖고, 상기 각 홈은 상기 측정 대상 소자중 일괄해서 검사되는 복수의 측정 대상 소자가 배치된 각 영역을 실질적으로 둘러싸도록 형성되어 있는척 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 각 홈은 피 검사체가 인덱스 이송되는 방향에 대하여 평행하게 배치되는 복수의 영역으로 상기 척 상부 표면을 분할하도록 형성되는척 장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 각 공급 및 배기로의 다른쪽 단부가 척의 외주 측면 및 외주 저면중 적어도 하나의 면으로 개방되어 있는척 장치.
- 피 검사체(W)를 탑재하기 위한 척 장치(50)에 있어서,피 검사체를 탑재하기 위한 상부 표면과, 그 내부에 피 검사체를 냉각하기 위한 냉각 기구를 갖는 척으로서, 상기 상부 표면은 제 1 직경을 갖는 피 검사체를 탑재하기 위한 중심 영역(11BC, 11CC, 11DC)과, 상기 제 1 직경보다 큰 제 2 직경을 갖는 피 검사체를 탑재하기 위해, 상기 중심 영역의 외측에 동심원 형상으로 배치된 적어도 하나의 고리 형상 영역(11A, 11BL, 11BR, 11CL, 11CR, 11DL, 11DR, 11E)을 구비하며, 상기 상부 표면에는 복수의 홈(12A, 12B, 12C, 12D, 12E)이 형성되고, 상기 복수의 홈이, 척 상부 표면의 상기 중심 영역 및 상기 고리 형상 영역의 각각을, 또한 복수의 작은 영역으로 분할하고 서로 연통하지 않도록 형성되는, 상기 척과,상기 척내에 설치된 복수의 공급 및 배기로(13A, 13B, 13C, 13D, 13E; 13H, 13I, 13J)로서, 각 공급 및 배기로는 그 한쪽 단부가 상기 복수의 홈의 각각의 내부로 개방되고, 그 다른쪽 단부는 척의 외주면으로 개방되어 있는, 상기 공급 및 배기로를 포함하는척 장치.
- 제 16 항에 있어서,상기 복수의 공급 및 배기로는 그 한쪽 단부가 상기 중심 영역내의 상기 홈 내로 개방되는 중심 영역용 공급 및 배기로(13H, 13I, 13J)와, 상기 고리 형상 영역내의 상기 홈 내로 개방되는 고리 형상 영역용 공급 및 배기로(13A, 13B, 13C, 13D, 13E)를 포함하며,상기 척 장치는 상기 복수의 공급 및 배기로의 각 다른쪽 단부에 접속되는 제 1 및 제 2 전환 기구(19, 15)를 더 포함하며, 상기 제 1 전환 기구(19)는 열전도성의 유체를 공급하는 기구(20F)와 진공 배기 기구(20G)를 상기 중심 영역용 공급 및 배기로의 각 다른쪽 단부에 전환 가능하게 접속하고, 상기 제 2 전환 기구(15)는 열전도성의 유체를 공급하는 기구(17A)와 진공 배기 기구(17B)를 상기 중심 영역용 공급 및 배기로와 상기 고리 형상 영역용 공급 및 배기로의 각 다른쪽 단부에 전환 가능하게 접속하는척 장치.
- 제 16 항에 있어서,상기 피 검사체는 그 표면에 복수의 측정 대상 소자를 가지며, 상기 각각의 홈은 상기 측정 소자중 한번에 검사되는 복수의 측정 대상 소자가 배치된 각 영역을 실질적으로 둘러싸도록 형성되어 있는척 장치.
- 제 16 항에 있어서,상기 피 검사체는 그 표면에 복수의 측정 대상 소자를 가지며, 상기 각각의 홈은 피 검사체가 인덱스 이송되는 방향에 대하여 평행하게 배치된 복수의 영역으로 상기 척 표면을 분할하도록 형성되는척 장치.
- 피 검사체상에 형성된 측정 대상 소자의 전기적 특성을 검사하기 위한 척 방법에 있어서,피 검사체를 그 내부에 냉각 기구를 갖는 척상에 탑재하는 단계와,상기 피 검사체상에 형성된 복수의 측정 대상 소자중 일부의 검사와, 상기 피 검사체의 이동을 순차적으로 반복함으로써, 상기 복수의 측정 대상 소자를 검사하는 단계를 포함하며,상기 검사되고 있는 상태에 있는 상기 일부의 측정 대상 소자가 배치되어 있는 피 검사체상의 영역의 이면과 상기 척 표면의 간격에는 열전도성의 유체가 공급되고, 다른 영역의 이면과 상기 척 표면의 간격은 진공 흡인되는척 방법.
- 제 20 항에 있어서,상기 피 검사체상의 영역의 이면으로 열전도성이 우수한 유체를 공급하는 상기 단계와, 다른 영역의 이면을 진공력에 의해 척을 향해 흡착시키는 상기 단계는 피 검사체의 이면과 상기 척의 각각의 작은 영역의 표면의 간격에 열전도성 유체의 공급 기구와 진공 배기 기구를 전환하여 접속함으로써 실행되는척 방법.
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