JP2014082476A - 流路部材およびこれを用いた熱交換器ならびに半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被処理物が載置される蓋体部と、底板部と、前記蓋体部と前記底板部とに接続された複数の側壁部とを備え、内部に流体が流れる流路を有する流路部材であって、前記流体が流れる方向に直交する断面視において、前記複数の側壁部のうち少なくとも1つが、前記底板部から前記蓋体部にかけて幅が狭くなっている第1の側壁部とされていることから、蓋体部と側壁部との接続部に生じる熱応力を軽減することができるので、熱応力に対する流路部材の信頼性を向上することができる。
【選択図】 図1
Description
側壁部との接続部が破壊されることが抑制できるので、熱応力に対する信頼性の向上した流路部材とすることができる。
の断面を示す流路口4aとして示している。また、図1を含め、図2〜図6においては、7本の側壁部2のうち、外壁を除く5本が第1の側壁部2aとされている例を示している。
%以上の割合で占める成分のことをいう。そして、本実施形態の流路部材10が、炭化珪素を主成分とする炭化珪素質焼結体からなるときには、優れた機械的特性や耐食性に加えて、熱伝導率が高いことから熱交換効率の向上した流路部材10とすることができる。また、炭化珪素質焼結体は、主成分である炭化珪素が、他のセラミックス、例えばアルミナと比べて比重が小さく流路部材10の軽量化が図れるものであることから、大型の流路部材10が必要な場合に有用である。
5(b)の形態を適宜用いれば、熱交換の対象となる被処理物の温度分布を均一に近づけることができる。
部に流体を長く留まらせることができるので、熱交換を効率よく行なうことができる。
ては、図1〜図7に示す形状に特化した場合を除き、以降の流路部材には符号を付さずに説明する。
μm以上2μm以下である炭化珪素粉末と、焼結助剤として、炭化硼素およびカルボン酸塩の粉末とを準備する。そして、焼結助剤を、例えば、炭化珪素粉末100質量%に対して
、炭化硼素に粉末を0.12質量%以上1.4質量%以下、カルボン酸塩の粉末を1質量%以上3.4質量%以下となるように秤量して混合する。
スを、蓋体部1および底板部3よりも熱伝導率の高いセラミックスにて作製する場合の製造方法について説明する。なお、ここでの説明においては、蓋体部1と底板部3とをセラミックスにて作製する場合について説明する。
1:蓋体部
2:側壁部
2a:第1の側壁部
3:底板部
4:流路
4a:流路口
5:供給口
6:排出口
7:供給チューブ
8:排出チューブ
11:金属部材
80:半導体製造装置
81:熱交換器
82:ウェハ
Claims (8)
- 被処理物が載置される蓋体部と、底板部と、前記蓋体部と前記底板部とに接続された複数の側壁部とを備え、内部に流体が流れる流路を有する流路部材であって、前記流体が流れる方向に直交する断面視において、
前記複数の側壁部のうち少なくとも1つが、前記底板部から前記蓋体部にかけて幅が狭くなっている第1の側壁部とされていることを特徴とする流路部材。 - 前記第1の側壁部の幅が、前記底板部から前記蓋体部にかけて段階的に狭くなっていることを特徴とする請求項1に記載の流路部材。
- 前記断面視において、前記第1の側壁部が、少なくとも前記蓋体部側の1段目と、該1段目の前記底板部側に接合される2段目とを有し、該2段目における前記1段目側の少なくとも一部が、前記1段目に向けて突出する凸部を有していることを特徴とする請求項2に記載の流路部材。
- 前記蓋体部のうち前記流路を構成する部位が、流路側に向けて湾曲していることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の流路部材。
- 前記断面視において、前記第1の側壁部が3つ以上設けられ、前記第1の側壁部の最も幅の狭い部位における高さ方向の長さが、両端に位置する前記第1の側壁部から中央部に位置する前記第1の側壁部の方に向けて漸次異なっていることを特徴とする請求項2乃至請求項4のいずれかに記載の流路部材。
- 前記断面視において、前記第1の側壁部が3つ以上設けられ、前記第1の側壁部の前記底板部から前記蓋体部にかけての最も幅の狭い部位における幅が、両端に位置する前記第1の側壁部から中央部に位置する前記第1の側壁部の方に向けて漸次異なっていることを特徴とする請求項2乃至請求項4のいずれかに記載の流路部材。
- 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の流路部材の前記蓋体部の表面または内部に金属部材が設けられていることを特徴とする熱交換器。
- 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の流路部材の前記蓋体部の内部に金属部材が設けられている熱交換器を備えることを特徴とする半導体製造装置。
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