CN104884398B - 化学强化用浮法玻璃 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，顶面的归一化Na2O表面浓度的平方减去底面的归一化Na2O表面浓度的平方而得到的差Δ(N‑Na2O2)为0.040以下，所述顶面的归一化Na2O表面浓度是该顶面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，所述底面的归一化Na2O表面浓度是该底面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值。

Description

化学强化用浮法玻璃
技术领域
本发明涉及化学强化用浮法玻璃。
背景技术
近年来，在手机或便携信息终端(PDA)等平板显示器装置中，为了提高显示器的保护和美观，以区域比图像显示部分更大的方式进行在显示器的正面配置薄板状的保护玻璃。
对于这种平板显示器装置，要求轻量和薄型化，因此，也要求用于显示器保护的保护玻璃变薄。
然而，存在以下问题：随着保护玻璃的厚度变薄，强度降低，有时由于使用中或携带中的落下等而导致保护玻璃自身破裂，无法发挥保护显示器装置这一原本的作用。
因此，对于以往的保护玻璃而言，为了提高耐划伤性，通过对由浮法制造的浮法玻璃进行化学强化，由此在表面形成压应力层，提高保护玻璃的耐划伤性。
有报道称，浮法玻璃在化学强化后发生翘曲，平坦性受损(专利文献1)。认为该翘曲是由于浮法成形时不与熔融锡接触的玻璃面(以下也称作顶面)和与熔融锡接触的玻璃面(以下也称作底面)的化学强化的进行程度不同而产生的。
以往，作为浮法玻璃的顶面与底面的化学强化的进行程度不同的原因，一直认为是由于在浮法成形时熔融金属侵入与熔融金属接触的玻璃面(专利文献1)。
专利文献1中公开了：通过将由浮法方式制造并进行加工后的板状体在不进行表面抛光的情况下浸渍或接触Li离子或Na离子或者它们的混合无机盐后进行化学强化，由此改善上述翘曲。
另外，以往，为了减小上述翘曲，进行如下应对方法：减小由化学强化导致的强化应力、或者通过对浮法玻璃的顶面和底面进行磨削处理或抛光处理等而除去表面异质层后进行化学强化。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第2033034号公报
发明内容
发明所要解决的问题
然而，对于专利文献1所述的方法而言，需要在化学强化前将浮法玻璃在混合无机盐中进行浸渍处理，较为繁杂。另外，对于减小强化应力的方法而言，化学强化后的浮法玻璃的强度有可能不足。
此外，在化学强化前对浮法玻璃的顶面和底面进行磨削处理或抛光处理等的方法从提高生产率的观点出发存在问题，优选省略这些磨削处理或抛光处理等。
因此，本发明的目的在于提供能够有效抑制化学强化后的翘曲的化学强化用浮法玻璃。
用于解决问题的手段
本发明人发现，在对通过浮法制造的钠钙玻璃进行化学强化时，底面与顶面的化学强化的进行程度产生差异而发生翘曲的主要原因未必是在浮法成形时侵入与熔融金属接触的玻璃面的该金属，而是顶面与底面的风化(ヤケ)程度之差、即水合和脱碱程度之差。
还发现，通过抑制其影响，顶面和底面进行基于化学强化的强化的容易性变均衡，能够减小化学强化后的浮法玻璃的翘曲。另外发现，在压应力层的深度(DOL)通常为20μm以下、15μm以下或10μm以下的低DOL区域中，风化的影响特别大，通过在该区域中抑制风化程度的影响，能够有效地降低化学强化后的浮法玻璃的翘曲。基于该发现，完成了本发明。
即，本发明如下所述。
1.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，顶面的归一化Na2O表面浓度的平方减去底面的归一化Na2O表面浓度的平方而得到的差Δ(N-Na2O2)为0.040以下，所述顶面的归一化Na2O表面浓度是该顶面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，所述底面的归一化Na2O表面浓度是该底面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值。
在此，各自的Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而测定的值。
2.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，作为该顶面的离子交换量1减去该底面的离子交换量1而得到的值的Δ离子交换量1为0.32以下。
在此，离子交换量1是由下述式(2-1)求出的值。
离子交换量1＝5.51×(归一化Na2O表面浓度)-0.038×(Sn浓度)…式(2-1)
式(2-1)中，归一化Na2O表面浓度是表面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，在此，Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而得到的测定值。
另外，Sn浓度是顶面和底面每单位面积的Sn附着量(单位：按SnO2换算μg/cm2)。本说明书中将每单位面积的Sn附着量的单位设为“按SnO2换算μg/cm2”是为了明确表示每单位面积的Sn附着量由设定Sn以SnO2的形式存在时的每1cm2的按SnO2换算的附着质量表示，在本说明书中，每单位面积的Sn附着量(单位：μg/cm2)与每单位面积的Sn附着量(单位：按SnO2换算μg/cm2)是相同含义。
3.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，由下述式(3-1)求出的W1为56以下。
W1＝-16×(ΔH/Si)-6.47×(Sn浓度差)-43.8×(Δ离子交换量1)…式(3-1)
式(3-1)中，ΔH/Si是顶面的归一化氢浓度减去底面的归一化氢浓度而得到的值，归一化氢浓度是指深度0～10μm处的平均氢浓度除以深度105～110μm处的平均氢浓度而得到的值，深度0～10μm处的平均氢浓度和深度105～110μm处的平均氢浓度是在如下分析条件下测定的值。
(分析条件)
测定装置：具有四极杆型质谱分析器的二次离子质谱分析装置
一次离子种类：Cs+
一次加速电压：5.0kV
一次离子电流：1μA
一次离子入射角(与垂直于试样面的方向的角度)：60°
光栅尺寸：200×200μm2
检测区域：40×40μm2
二次离子极性：负
使用中和用的电子枪
式(3-1)中，Sn浓度差是底面每单位面积的Sn附着量(单位：按SnO2换算μg/cm2)减去顶面每单位面积的Sn附着量(单位：μg/cm2)而得到的差，在玻璃不含SnO2的情况下与底面每单位面积的Sn附着量相等。
式(3-1)中，Δ离子交换量1是顶面的离子交换量1减去该底面的离子交换量1而得到的值。
在此，离子交换量1由下述式求出，
离子交换量1＝5.51×(归一化Na2O表面浓度)-0.038×(Sn浓度)
上述式中，归一化Na2O表面浓度是表面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，在此，Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而得到的测定值。
4.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，由下述式(4-1)求出的W2的绝对值为56以下。
W2＝9.18×Δ[(离子交换量)/(H/Si)]+49…式(4-1)
式(4-1)中，Δ[(离子交换量)/(H/Si)]是如下得到的值：顶面的离子交换量1除以该顶面的归一化氢浓度H/Si而得到的值减去底面的离子交换量1除以该底面的归一化氢浓度H/Si而得到的值。
在此，离子交换量1由下述式求出。
离子交换量1＝5.51×(归一化Na2O表面浓度)-0.038×(Sn浓度)
上述式中，归一化Na2O表面浓度是表面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，在此，Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而得到的测定值，另外，Sn浓度是顶面和底面每单位面积的Sn附着量(单位：按SnO2换算μg/cm2)。
归一化氢浓度是指深度0～10μm处的平均氢浓度除以深度105～110μm处的平均氢浓度而得到的值，深度0～10μm处的平均氢浓度和深度105～110μm处的平均氢浓度是在如下分析条件下测定的值。
(分析条件)
测定装置：具有四极杆型质谱分析器的二次离子质谱分析装置
一次离子种类：Cs+
一次加速电压：5.0kV
一次离子电流：1μA
一次离子入射角(与垂直于试样面的方向的角度)：60°
光栅尺寸：200×200μm2
检测区域：40×40μm2
二次离子极性：负
使用中和用的电子枪。
5.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，由下述式(5-1)求出的W3为58以下。
W3＝744×[(ΔN-Na2O)+0.01×(Sn浓度差)]…式(5-1)
式(5-1)中，ΔN-Na2O是顶面的归一化Na2O表面浓度减去底面的归一化Na2O表面浓度而得到的值，所述顶面的归一化Na2O表面浓度是顶面的表面Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，所述底面的归一化Na2O表面浓度是底面的表面Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，在此，各自的Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而得到的测定值。
式(5-1)中，Sn浓度差是底面每单位面积的Sn附着量(单位：按SnO2换算μg/cm2)减去顶面每单位面积的Sn附着量(单位：按SnO2换算μg/cm2)而得到的差，在玻璃不含SnO2的情况下与底面每单位面积的Sn附着量相等。
6.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，
作为该顶面的离子交换量2减去该底面的离子交换量2而得到的值的Δ离子交换量2为0.33以下。
离子交换量2是由下述式(6-1)求出的值。
离子交换量2＝-0.02×(H/Si)+5.54×(N-Na2O浓度)-0.037×(Sn浓度)…式(6-1)
式(6-1)中，H/Si为归一化氢浓度，归一化氢浓度是指深度0～10μm处的平均氢浓度除以深度105～110μm处的平均氢浓度而得到的值，深度0～10μm处的平均氢浓度和深度105～110μm处的平均氢浓度是在以下的分析条件下测定的值。
(分析条件)
测定装置：具有四极杆型质谱分析器的二次离子质谱分析装置
一次离子种类：Cs+
一次加速电压：5.0kV
一次离子电流：1μA
一次离子入射角(与垂直于试样面的方向的角度)：60°
光栅尺寸：200×200μm2
检测区域：40×40μm2
二次离子极性：负
使用中和用的电子枪
式(6-1)中，N-Na2O浓度为归一化Na2O表面浓度，所述归一化Na2O表面浓度为表面Na2O浓度除以深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，在此，Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而得到的测定值。
Sn浓度是每单位面积的Sn附着量(单位：按SnO2换算μg/cm2)。
7.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，
顶面的归一化Na2O表面浓度减去底面的归一化Na2O表面浓度而得到的差ΔN-Na2O的平方(ΔN-Na2O)2为5.0×10-4以下，所述顶面的归一化Na2O表面浓度是该顶面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，所述底面的归一化Na2O表面浓度是该底面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值。各自的Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而测定的值。
8.如上述1～7中任一项所述的化学强化用浮法玻璃，其用于化学强化温度为T(单位：K)、化学强化时间为t(单位：小时)的化学强化，并且含有SiO2，使用SiO2、Al2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZrO2、Na2O和K2O各自的以质量百分率计的含量由下式求出的dol为20以下。
dol＝-0.13×Al2O3-1.88×MgO-2.41×CaO-1.85×SrO-1.35×BaO-1.59×ZrO2+1.50×Na2O+2.42×K2O-129359/T+9.28×t0.5+182.88。
需要说明的是，Al2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZrO2、Na2O和K2O并非必要成分。用于化学强化的盐通常KNO3浓度为95～100质量％。
9.如上述1～8中任一项所述的化学强化用浮法玻璃，其中，
以质量百分率计，含有60～80％的SiO2、0～8％的Al2O3、8～22％的Na2O、0～7％的K2O、0～17％的MgO、0～22％的CaO、0～8％的SrO、0～8％的BaO、0～5％的ZrO2。
在此，例如含有“0～7％的K2O”是指K2O并非必要成分但可以含有7％以下。
作为优选的组成范围，为64～77％的SiO2、0.01～7％的Al2O3、10～18％的Na2O、0～5％的K2O、1～10％的MgO、1～12％的CaO、0～5％的SrO、0～5％的BaO、0～3％的ZrO2。
10.如上述1～9中任一项所述的化学强化用浮法玻璃，其中，以质量百分率计，含有60～80％的SiO2、0.01～8％的Al2O3、8～22％的Na2O、0～7％的K2O、0～5％的ZrO2，在含有MgO、CaO、SrO或BaO的情况下，MgO、CaO、SrO和BaO的含量的合计为5～25％，Na2O和Al2O3的含量之比Na2O/Al2O3为1.5以上。
11.如上述10所述的化学强化用浮法玻璃，其中，Na2O/Al2O3为6以下。
12.如上述9、10或11所述的化学强化用浮法玻璃，其中，含有CaO、SrO或BaO，且CaO、SrO和BaO的含量的合计为1～7％。
13.一种化学强化玻璃的制造方法，其为制造压应力层深度为20μm以下的化学强化玻璃的方法，其特征在于，对上述1～12中任一项所述的化学强化用玻璃进行化学强化。
发明效果
本发明的化学强化用浮法玻璃由于顶面与底面的风化程度之差小，因此即使不减小由化学强化导致的应力，并且简化或省略化学强化前的抛光处理等，也能够降低化学强化后的浮法玻璃的翘曲而得到优良的平坦度。
附图说明
图1是表示化学强化前的钠钙玻璃板(原板)的表层的归一化氢浓度[基于SIMS分析的(H/Si)0～10μm的平均H/Si除以105～110μm的平均H/Si而得到的值]和归一化Na2O表面浓度(基于荧光X射线分析的表面Na2O浓度除以100μm深度位置的Na2O浓度而得到的值)之间的相关关系的图。
图2表示在化学强化前的玻璃中玻璃中的Na+和大气中的H+发生离子交换的机理。
图3是表示化学强化后的钠钙玻璃板的离子交换量(K2O、wt％)(荧光X射线分析)和化学强化前(原板)的归一化Na2O表面浓度(基于荧光X射线分析的表面Na2O浓度除以100μm深度位置的Na2O浓度而得到的值)之间的相关关系的图。需要说明的是，wt％为质量％。
图4是表示基于荧光X射线分析的离子交换量的计算方法的示意图。
图5(a)～(d)是表示在通过将Na+和H+发生了离子交换的钠钙玻璃板浸渍于KNO3的混合熔盐而进行化学强化后的情况下离子交换量降低的机理的示意图。
图6是以供于化学强化的玻璃的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度的平方之差、即Δ(N-Na2O2)(顶面-底面)为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
图7是以顶面和底面的离子交换量之差为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
图8示出以顶面和底面的离子交换量除以氢浓度而得到的值之差为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
图9示出以化学强化前的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度差(ΔNa2O)和Sn浓度差(每单位面积附着量)和Δ翘曲量作为因子进行多元回归分析而得到的图。
图10是本发明的化学强化用浮法玻璃的制造装置的纵剖视图。
图11是对本发明的化学强化用浮法玻璃进行化学强化后用作平板显示器用的保护玻璃的平板显示器的剖视图。
图12示出以W1为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
图13示出以W2为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
图14示出以W3为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
图15表示以顶面和底面的离子交换量2之差(Δ离子交换量2)为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
图16示出以顶面的归一化Na2O表面浓度减去底面的归一化Na2O表面浓度而得到的差的平方[ΔN-Na2O(顶面-底面)]2为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
图17示出以[(ΔN-Na2O)+0.01×(Sn浓度差)]为横轴、以W3为纵轴而绘制的图。
具体实施方式
1.玻璃的风化
利用二次离子质谱分析装置(SIMS)对通过浮法制造的钠钙玻璃的表面的H分布(1H-/30Si-)进行了分析，结果风化(水合和脱碱)层的深度为约3μm。因此，在将离子交换深度设为20μm以下进行化学强化时，作为底面和顶面的化学强化的进行程度产生差异而发生翘曲的原因，认为顶面和底面的风化程度之差是重要的。
本发明中，“风化”是指玻璃表面由于大气的侵蚀、通常由于湿度的影响而劣化的现象，但本发明中是指玻璃的表层的碱金属成分、典型地为Na2O脱离的现象。玻璃的风化的程度可以通过利用荧光X射线分析测定Na2O浓度来进行分析。
图1中表示化学强化前的钠钙玻璃板(原板)的表层的归一化氢浓度(SIMS分析)和归一化Na2O表面浓度(基于荧光X射线分析的表面Na2O浓度除以100μm深度位置的Na2O浓度而得到的值)之间的相关关系。如图1所示，化学强化前的钠钙玻璃板的表层的归一化氢浓度和归一化Na2O表面浓度之间呈反比例的关系。
如图2所示，图1的图表示在化学强化前的玻璃中构成玻璃的Si-O-Na与大气中的H2O发生反应，Na+与H+发生了离子交换。因此，认为玻璃的风化程度越大，玻璃表层的归一化氢浓度越增加。
图3中表示化学强化后的钠钙玻璃板的离子交换量(wt％)(荧光X射线分析)与原板的归一化Na2O表面浓度之间的相关关系。此处，如图4所示，对于离子交换量而言，将化学强化后的K2O分析值减去化学强化前(原板)的K2O分析值而得到的值作为离子交换量。
由图3的图可知，化学强化前的玻璃中的Na2O浓度越高、即玻璃的风化程度越小，则化学强化后的离子交换量越增加。
由图3的图还进行如下考察。即，如图5所示，认为通过将如图2所示的Na+和H+发生了离子交换的钠钙玻璃板浸渍于KNO3熔盐而进行化学强化时，虽然玻璃中Na+和K+的离子交换在熵主导下进行离子交换，但是在H+和K+发生交换的情况下，玻璃中的H以SiOH(弱酸)的形式存在，假设H+和K+发生了离子交换的情况下，会生成HNO3(强酸)，因此在焓的作用下不会发生离子交换。
因此，认为钠钙玻璃的化学强化前的风化程度影响离子交换量，离子交换量在顶面和底面处不同，由此产生化学强化后的翘曲。由此，为了控制钠钙玻璃的化学强化后的翘曲，认为控制化学强化前的玻璃的顶面和底面处的玻璃表层的风化的程度之差(顶面和底面的Na2O浓度差)是重要的。
2.Sn浓度
利用二次离子质谱分析装置(SIMS)对通过浮法制造的钠钙玻璃的底面的Sn(锡)的分布(120Sn-/30Si-)进行分析，结果离子交换后的层的深度和Sn侵入的深度为约7μm。因此认为，根据离子交换深度进行DOL通常为20μm以下的低DOL的化学强化时，作为底面和顶面的化学强化的进行程度产生差异而发生翘曲的原因，有时需要考虑Sn浓度。
需要说明的是，上述Δ(N-Na2O2)和(ΔN-Na2O)2均依赖于风化程度之差，但不直接依赖于Sn浓度。然而，认为浮抛槽内的Sn向底面的侵入是由于与玻璃表层的Na的离子交换而造成的。因此，认为Sn附着量多的玻璃的表层的Na浓度低。因此，归一化Na2O表面浓度与Sn浓度有关。即可以说，虽然未明确表示，但是Δ(N-Na2O2)和(ΔN-Na2O)2均依赖于Sn浓度。
在浮法成形时Sn侵入玻璃由此玻璃发生高密度化时，Na离子与K离子发生离子交换时的路径变小，离子交换反应受阻，Sn侵入后的面(底面)的化学强化受阻。认为由此顶面和底面的化学强化的进行程度不同，发生玻璃的翘曲。
玻璃的Sn浓度通过测定每单位面积的Sn附着量求出。具体来说，例如可以在氢氟酸溶液中进行蚀刻并通过ICP发射光谱分析法对溶液中的Sn浓度进行定量而求出。
3.氢浓度
本发明的化学强化用浮法玻璃通过浮法成形，具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面。如下文所述，认为有时顶面与底面的氢浓度差也是对浮法玻璃进行化学强化而导致产生翘曲的原因之一。
在通过浮法制造玻璃时，通过从上游侧向贮存在浮抛槽中的熔融金属的表面连续地供给熔融玻璃而成形出玻璃带，同时从该浮抛槽的下游侧端部拉出成形后的玻璃带，在退火炉中进行退火，由此制造板玻璃。
通常，在通过浮法制造玻璃时，使用玻璃池窑与浮抛槽之间通过管道(キャナル)和斜槽(スパウト)连接而使流路变窄的类型的装置。这种情况下，需要在浮抛槽内使玻璃铺展，因此，与后述的另一类型的装置相比，使温度更高的熔融玻璃流出到熔融金属表面并成形。
但是，玻璃中的氢浓度高时，氢以SiOH的形式进入到玻璃的Si-O-Si键网络中，Si-O-Si键断开。玻璃中的氢浓度高时，Si-O-Si键断开的部分增多，玻璃化转变温度等热特性降低，因此，在高温下对玻璃进行加热的化学强化时发生应力松弛，导致应力降低。
因此，浮法玻璃的顶面和底面中，氢浓度高的玻璃面在化学强化时应力的产生程度小，氢浓度低的玻璃面在化学强化时容易产生应力。
即，认为在对顶面的氢浓度比底面的氢浓度低的浮法玻璃进行化学强化时，与氢浓度高的底面相比，在氢浓度低的顶面产生更强的应力，玻璃以向顶面侧凸起的方式弯曲，从而产生翘曲。
因此，浮法玻璃的顶面与底面的氢浓度越接近、即顶面与底面的氢浓度差的绝对值的值越小，则化学强化后的顶面与底面的应力的产生程度越接近均衡的状态，翘曲越减小。
需要说明的是，在本发明中，由于高精度地测定平均氢浓度本身及上述平均氢浓度差本身存在困难，因此，分别将与平均氢浓度成比例的[1H-/30Si-](也称作H/Si)作为平均氢浓度的直接指标，将与上述平均氢浓度差成比例的“顶面的归一化氢浓度与底面的归一化氢浓度之差”及“顶面的归一化强度与底面的归一化氢浓度之差”作为上述平均氢浓度差的直接指标使用。
在此，在本说明书中，[1H-/30Si-]是指在以下的分析条件下测定的值。
(分析条件)
测定装置：具有四极杆型质谱分析器的二次离子质谱分析装置
一次离子种类：Cs+
一次加速电压：5.0kV
一次离子电流：1μA
一次离子入射角(与垂直于试样面的方向的角度)：60°
光栅尺寸：200×200μm2
检测区域：40×40μm2
二次离子极性：负
使用中和用的电子枪
下面，对[1H-/30Si-]、归一化强度及归一化氢浓度进行说明。二次离子质谱中的元素M的同位素M1的二次离子强度IM1与一次离子强度IP、基质的溅射率Y、元素M的浓度CM(相对于总浓度的比)、同位素M1的存在概率α1、元素M的二次离子化率βM和质谱仪的穿透效率η(包含检测器的检测效率)成比例。
IM1＝A·IP·Y·CM·α1·βM·η (式1)
在此，A为二次离子的检测面积相对于一次离子束的扫描范围的比。一般而言，由于求出装置的η存在困难，因此，无法求出βM的绝对值。因此，通过将相同试样中的主要成分元素等用作参比元素，并获取与(式1)的比从而消去η。
在此，在将参比元素设为R，将其同位素设为Rj的情况下，得到(式2)。
IM1/IRj＝(CM·α1·βM)/(CR·αj·βR)＝CM/K (式2)
在此，K为相对于元素R的元素M的相对灵敏度因子。
K＝(CR·αj·βR)/(α1·βM) (式3)
在该情况下，元素M的浓度通过(式4)求出。
CM＝K·IM1/IRj (式4)
在本发明中，1H-对应于M1，30Si-对应于Rj。因此，根据(式2)，两者的强度比[1H-/30Si-]等于平均氢浓度CH除以K而得到的值。即，[1H-/30Si-]为平均氢浓度的直接指标。
归一化强度为某一深度x处的[1H-/30Si-]除以深度105～110μm处的[1H-/30Si-]而得到的值，即某一深度x处的CH/K除以深度105～110μm处的CH/K而得到的值。由于K被消去，因此，结果归一化强度与深度x处的CH除以深度105～110μm处的CH而得到的值相同，即，为深度x处的归一化氢浓度。
需要说明的是，在计算归一化氢浓度时将深度105～110μm处的平均氢浓度作为基准是由于考虑到深度105～110μm的区域为平均氢浓度不发生变动的内部区域。
浮法玻璃的顶面的归一化强度(Normalized Intensity)与底面的归一化强度之差的绝对值通过二次离子质谱分析(Secondary Ion Mass Spectrometry，SIMS分析)，例如，以以下的(i)～(iii)的步骤求出。需要说明的是，以下所示的分析条件为例示，应根据测定装置、样品等适当变更。
(i)在顶面和底面各自处，根据下述分析条件从表层起至深度20μm为止进行二次离子质谱分析。
(分析条件)
测定装置：具有四极杆型质谱分析器的二次离子质谱分析装置
一次离子种类：Cs+
一次加速电压：5.0kV
一次离子电流：1μA
一次离子入射角(与垂直于试样面的方向的角度)：60°
光栅尺寸：200×200μm2
检测区域：40×40μm2
二次离子极性：负
使用中和用的电子枪
需要说明的是，在深度55μm处的30Si-的强度比深度5μm处的30Si-的强度小超过3％的情况下，优选以预先将玻璃基板的表面蚀刻约45μm而得到的样品进行分析。
更具体的分析条件例如如下所示。
(分析条件)
测定装置：具有四极杆型质谱分析器的二次离子质谱分析装置
一次离子种类：Cs+
一次加速电压：5.0kV
一次离子电流：1μA
一次离子入射角(与垂直于试样面的方向的角度)：60°
光栅尺寸：200×200μm2
检测区域：40×40μm2
溅射速率：14nm/秒
二次离子极性：负
使用中和用的电子枪
作为具有四极杆型质谱分析仪的二次离子质谱分析装置，例如可以列举ULVAC-PHI公司制造的ADEPT1010。
ii)将通过二次离子质谱分析得到的[1H-/30Si-]分布的深度0～10μm处的[1H-/30Si-]除以深度105～110μm的[1H-/30Si-]而得到的值作为深度0～10μm的二次离子质谱分析的归一化强度。
(iii)对于通过次级离子质谱分析得到的深度0～10μm处的归一化强度，计算出顶面的深度0～10μm处的归一化强度与底面的深度0～10μm处的归一化强度之差的绝对值。
4.离子交换量
离子交换量为应力产生因子，与化学强化后的玻璃中的K2O浓度呈比例关系。因此，顶面和底面的离子交换量之差可以由K2O浓度之差进行分析。K2O浓度可以通过荧光X射线分析进行分析。
5.翘曲量
本发明的化学强化用浮法玻璃是化学强化后的翘曲量小的浮法玻璃。浮法玻璃的翘曲量可以利用接触式表面形状测定器[例如株式会社东京精密制Surfcom(商品名)]进行测定。
对于翘曲量而言，在利用接触式表面形状测定器进行测定时，实施基线校正使得测定开始点与测定结束点为相同水平，然后作为最高点与最低点之差进行测定。朝顶面凸方向翘曲的情况下表示为正，朝底面凸方向翘曲的情况下表示为负。
化学强化前后的浮法玻璃的翘曲量的变化可以根据下述式测定。
(式)Δ翘曲量＝(化学强化后翘曲量)-(化学强化前翘曲量)
本发明中，对于10cm见方的浮法玻璃的中央9cm见方的部分进行测定，换算为板厚0.7mm时的Δ翘曲量的绝对值优选为58μm以下、56μm以下、54μm以下或52μm以下。通过使Δ翘曲量的绝对值为该上限以下，可以减小化学强化后的翘曲。
CS(表面压应力)和DOL(压应力层的深度)能够通过表面应力计测定。本发明的化学强化用浮法玻璃优选化学强化后的玻璃的表面压应力为650MPa以上，特别优选用于压应力层的深度为20μm以下的情况。通过使压应力层的深度为20μm以下，能够对化学强化后的制品进行裁切，从而优选。从该观点出发，更优选压应力层的深度为15μm以下。
6.参数
根据上述研究，考虑以下的参数。
(1)化学强化前的顶面和底面的Na2O浓度差和Δ翘曲量
为了控制钠钙玻璃的化学强化后的翘曲，认为化学强化前的玻璃表层的风化程度、氢浓度和Sn浓度的控制是重要的。
此处，如图1所示，化学强化前的玻璃的表层的归一化氢浓度与归一化Na2O表面浓度呈反比例的关系。另外，如图3所示，化学强化前的玻璃的归一化Na2O表面浓度越高，则化学强化后的离子交换量越增加，化学强化前的玻璃的归一化Na2O表面浓度与离子交换量呈比例的关系。
另外，玻璃表层的氢浓度的增加多时，Si-O-Si键断开的部分增多，玻璃化转变温度等热特性降低，因此，在高温下对玻璃进行加热的化学强化时发生应力松弛，导致应力降低。因此，认为由化学强化导致的应力产生是基于离子交换量和松弛程度。因此，认为化学强化前的玻璃的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度差与Δ翘曲量存在相关关系。
(1A)顶面和底面的归一化Na2O表面浓度的平方之差和Δ翘曲量
图6示出以顶面的归一化Na2O表面浓度的平方减去底面的归一化Na2O表面浓度的平方而得到的差Δ(N-Na2O2)(顶面-底面)为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
由图6所示的图可知，化学强化前的钠钙玻璃板的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度的平方之差Δ(N-Na2O2)与Δ翘曲量存在下述式(1-1)所示的相关关系。
Δ翘曲量＝370×Δ(N-Na2O2)+45…式(1-1)
在式(1-1)中，Δ(N-Na2O2)是利用荧光X射线分析对供于化学强化的玻璃的在顶面和底面的归一化Na2O表面浓度进行测定而得到的值的平方之差，由下述式(1-2)求出。
Δ(N-Na2O2)＝(化学强化前的顶面的归一化Na2O表面浓度)2-(化学强化前的底面的归一化Na2O表面浓度)2…式(1-2)
此处的归一化Na2O表面浓度是表面Na2O浓度除以深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值。各自的Na2O浓度是通过荧光X射线法测定Na-Kα射线强度，并由与标准试样的相对强度比计算出的值。需要说明的是，深度100μm位置的Na2O浓度是利用荧光X射线对将从表面至100μm的深度为止的玻璃削去后的表面进行测定而得到的Na2O浓度。另外，通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而测定的值的分析深度典型地为3μm。
供于化学强化的玻璃的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度的平方之差为0.040以下、优选为0.035以下、0.030以下或0.025以下。通过使供于化学强化的玻璃的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度的平方之差为0.040以下，即使简化或省略化学强化前的抛光处理等，也可以减小化学强化后的浮法玻璃的翘曲，从而得到优良的平坦度。
(1B)顶面和底面的归一化Na2O表面浓度之差的平方和Δ翘曲量
图16中示出以顶面的归一化Na2O表面浓度减去底面的归一化Na2O表面浓度而得到的差的平方[ΔN-Na2O(顶面-底面)]2为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图，所述顶面的归一化Na2O表面浓度为顶面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，所述底面的归一化Na2O表面浓度为该底面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值。
由图16所示的图可知，顶面的归一化Na2O表面浓度减去底面的归一化Na2O表面浓度而得到的差的平方[ΔN-Na2O(Top-Bottom)]2和Δ翘曲量之间存在下述式(7-1)所示的相关关系。
Δ翘曲量＝18000×(ΔN-Na2O)2+51…式(7-1)
在式(7-1)中，(ΔN-Na2O)2是通过荧光X射线分析对供于化学强化的玻璃的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度进行测定而得到的值之差的平方，由下述式(7-2)求出。
(ΔN-Na2O)2＝[(化学强化前的顶面的归一化Na2O表面浓度)-(化学强化前的底面的归一化Na2O表面浓度)]2…式(7-2)
供于化学强化的玻璃的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度之差的平方为5.0×10-4以下、优选为4.5×10-4以下、4.0×10-4以下或3.5×10-4以下。通过使供于化学强化的玻璃的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度之差的平方为5.0×10-4以下，即使简化或省略化学强化前的抛光处理等，也可以减小化学强化后的浮法玻璃的翘曲，从而得到优良的平坦度。
在“7.玻璃的制造方法”的(A)中，通过后述的方法调节Na2O浓度，能够调节供于化学强化的玻璃的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度，从而能够调节Δ(N-Na2O2)或(ΔN-Na2O)2。具体来说，优选例如：在玻璃退火时对顶面喷射水蒸气或SO2气体以降低顶面的Na2O浓度；降低以防止底面上划伤为目的而喷射的SO2气体流量以提高底面的Na2O浓度。
(2)化学强化后的顶面和底面的离子交换量差和Δ翘曲量
认为化学强化后的顶面和底面的离子交换量之差、即Δ离子交换量1和Δ翘曲量存在相关关系。
离子交换量可以根据与化学强化前的Na2O浓度成比例、受Sn抑制，从而由下述式(2-1)求出。
离子交换量1＝5.51×(归一化Na2O表面浓度)-0.038×(Sn浓度)…式(2-1)
以下，离子交换量该术语有时也用于表示离子交换量1。
在式(2-1)中，归一化Na2O表面浓度是表面Na2O浓度除以深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值。此处，各自的Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而得到的测定值。另外，Sn浓度为顶面和底面每单位面积的Sn附着量(单位：按SnO2换算μg/cm2)。
顶面和底面的离子交换量1之差可以由下述式(2-2)求出。
离子交换量1之差＝(顶面的离子交换量1)-(底面的离子交换量1)…式(2-2)
图7中示出以顶面和底面的离子交换量之差Δ离子交换量1为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。由图7所示的图可知，Δ离子交换量1与Δ翘曲量存在下述式(2-3)所示的相关关系。
Δ翘曲量＝103×(Δ离子交换量1)+24…式(2-3)
Δ离子交换量1为0.32以下、优选为0.30以下、0.28以下、0.26以下或0.24以下。
通过使由上述式(2-1)和(2-2)求出的化学强化后的顶面和底面的离子交换量1之差为0.32以下，即使简化或省略化学强化前的抛光处理等，也可以减小化学强化后的浮法玻璃的翘曲，从而得到优良的平坦度。
在“7.玻璃的制造方法”的(A)中，通过利用后述的方法调节Na2O浓度、底面的Sn浓度，可以调节化学强化后的在顶面与底面的离子交换量1之差、即Δ离子交换量1。具体来说，优选例如：在玻璃退火时对顶面喷射水蒸气或SO2气体以降低顶面的Na2O浓度；降低以防止底面上划伤为目的而喷射的SO2气体流量以提高底面的Na2O浓度；降低浮抛槽上游的温度；或者提高气氛氢浓度以降低Sn向底面的侵入量。
(3)化学强化前的顶面和底面的氢浓度差、Sn浓度差和离子交换量差与Δ翘曲量之间的相关关系
将化学强化前的顶面和底面的氢浓度差、Sn浓度差、离子交换量差和Δ翘曲量作为因子进行多元回归分析时，求出下述式(3-1)。
W1＝-16×(ΔH/Si)-6.47×(Sn浓度差)-43.8×(Δ离子交换量1)…式(3-1)
在式(3-1)中，ΔH/Si为利用SIMS分析对化学强化前的顶面和底面的氢浓度差进行测定而得到的值之差(归一化氢浓度之差)，由下述式(3-2)求出。
ΔH/Si＝(化学强化前的顶面的归一化氢浓度)-(化学强化前的底面的归一化氢浓度)…式(3-2)
在式(3-1)中，另外，Sn浓度差为底面每单位面积的Sn附着量(单位：按SnO2换算μg/cm2)减去顶面每单位面积的Sn附着量(单位：按SnO2换算μg/cm2)而得到的差，在玻璃不含SnO2的情况下与底面每单位面积的Sn附着量相等。
Δ离子交换量1为顶面的离子交换量1减去该底面的离子交换量而得到的值。离子交换量由上述式(2-1)求出。
图12中示出以W1为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。由图12所示的图可知，W1与Δ翘曲量存在相关关系。
在式(3-1)中，W1为56以下，优选为54以下、52以下或50以下。通过使W1为56以下，即使简化或省略化学强化前的抛光处理等，也可以降低化学强化后的浮法玻璃的翘曲，从而得到优良的平坦度。
在“7.玻璃的制造方法”的(A)中，通过利用后述的方法调节氢浓度、底面的Sn浓度，能够在式(3-1)中调节W1。具体来说，优选例如：在玻璃退火时对顶面喷射水蒸气或SO2气体以降低顶面的Na2O浓度；降低以防止底面上划伤为目的而喷射的SO2气体流量以提高底面的Na2O浓度；降低浮抛槽上游的温度；或者提高气氛氢浓度以降低Sn向底面的侵入量。
(4)顶面和底面的离子交换量差和化学强化前的顶面和底面的氢浓度差与Δ翘曲量之间的相关关系
离子交换量为应力产生因子，认为玻璃表层的氢浓度为应力松弛因子。即，认为玻璃表层的氢浓度越高，则玻璃的密度越下降。玻璃中的H以SiOH的状态存在，SiOH是玻璃中的连续交联结构Si-O-Si被断开而生成的，因此认为玻璃表层的氢浓度越增加，则玻璃的密度越下降、应力越弛豫。
认为化学强化后的玻璃的翘曲是由于顶面与底面的应力差的不平衡而导致的，因而认为离子交换量除以氢浓度而得到的值与翘曲量存在相关关系。
图8中示出以顶面和底面的离子交换量除以化学强化前的顶面和底面的归一化氢浓度而得到的值之差为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
由图8所示的图可知，顶面和底面的离子交换量(离子交换量)除以化学强化前的顶面和底面的归一化氢浓度(H/Si)而得到的值之差与Δ翘曲量存在下述式(4-1)所示的相关关系。
另外，将归一化氢浓度、离子交换量差和Δ翘曲量作为因子进行多元回归分析时，求出下述式(4-1)。
W2＝9.18×Δ[(离子交换量)/(H/Si)]+49…式(4-1)
在式(4-1)中，Δ[(离子交换量)/(H/Si)]为顶面的离子交换量除以归一化氢浓度H/Si得到的值减去底面的离子交换量除以归一化氢浓度H/Si得到的值而得到的值。
在式(4-1)中，离子交换量由上述式(2-1)求出。
图13中示出以W2为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。由图13所示的图可知，W2与Δ翘曲量存在相关关系。
在式(4-1)中，W2的绝对值为56以下，优选为54以下、52以下或50以下。通过使W2为56以下，即使简化或省略化学强化前的抛光处理等，也可以减小化学强化后的浮法玻璃的翘曲，从而得到优良的平坦度。
在“7.玻璃的制造方法”的(A)中，通过利用后述的方法调节氢浓度，能够在式(4-1)中调节W2。具体来说，优选例如：在玻璃退火时对顶面喷射水蒸气或SO2气体以降低顶面的Na2O浓度；降低以防止底面上划伤为目的而喷射的SO2气体流量以提高底面的Na2O浓度；降低浮抛槽上游的温度；或者提高气氛氢浓度以降低Sn向底面的侵入量。
(5)化学强化前的顶面和底面的Na2O浓度差和Sn浓度差与Δ翘曲量
为了控制钠钙玻璃的化学强化后的翘曲，化学强化前的玻璃表层的风化程度和Sn浓度的控制是重要的，因而认为化学强化前的顶面和底面的Na2O浓度差和Sn浓度差与Δ翘曲量存在相关关系。
以化学强化前的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度差(ΔN-Na2O)和Sn浓度差以及Δ翘曲量作为因子进行多元回归分析时，如图9所示，可知化学强化前的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度差与Sn浓度差存在下述式(5-1)所示的相关关系。
W3＝744×[(ΔN-Na2O)+0.01×(Sn浓度差)]…式(5-1)
在式(5-1)中，ΔN-Na2O是归一化Na2O表面浓度之差，由下述式(5-2)求出，所述归一化Na2O表面浓度为供于化学强化的玻璃的顶面和底面的表面Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值。此处，各自的Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而得到的测定值。
ΔN-Na2O＝(顶面的归一化Na2O表面浓度)-(底面的归一化Na2O表面浓度)…式(5-2)
另外，Sn浓度差是化学强化前的顶面和底面的Sn浓度差，是底面每单位面积的Sn附着量(单位：按SnO2换算μg/cm2)减去顶面每单位面积的Sn附着量(单位：按SnO2换算μg/cm2)而得到的差，在玻璃不含SnO2的情况下与底面每单位面积的Sn附着量相等。
图14中示出以W3为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。由图14所示的图可知，W3与Δ翘曲量存在相关关系。
在式(5-1)中，W3为58以下，优选为56以下、54以下或52以下。通过使W3为58以下，即使简化或省略化学强化前的抛光处理等，也可以减小化学强化后的浮法玻璃的翘曲，从而得到优良的平坦度。
在“7.玻璃的制造方法”的(A)中，通过利用后述的方法调节Na2O浓度差、Sn浓度差，能够在式(5-1)中调节W3。具体来说，优选例如：在玻璃退火时对顶面喷射水蒸气或SO2气体以降低顶面的Na2O浓度；降低以防止底面上划伤为目的而喷射的SO2气体流量以提高底面的Na2O浓度；降低浮抛槽上游的温度；或者提高气氛氢浓度以降低Sn向底面的侵入量。
(6)离子交换量(氢浓度、Na2O浓度和Sn浓度)之差和Δ翘曲量
顶面和底面的离子交换量之差对化学强化后的玻璃的翘曲有影响，认为氢浓度、Na2O浓度和Sn浓度与离子交换量有关。因此，离子交换量和归一化氢浓度、归一化Na2O表面浓度和Sn浓度显示出以下的式(6-1)所示的相关关系。
离子交换量2＝-0.02×(H/Si)+5.54×(N-Na2O浓度)-0.037×(Sn浓度)…式(6-1)
图15中示出以顶面和底面的离子交换量2之差(Δ离子交换量2)为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。由图15所示的图可知，Δ离子交换量2与Δ翘曲量存在相关关系。
Δ离子交换量2为由下述式(6-2)求出的值。
Δ离子交换量2＝(顶面的Δ离子交换量2)-(底面的Δ离子交换量2)…式(6-2)
式(6-1)中，Δ离子交换量2为0.33以下，优选为0.31以下、0.29以下或0.27以下。通过使Δ离子交换量2为0.33以下，即使简化或省略化学强化前的抛光处理等，也可以减小化学强化后的浮法玻璃的翘曲，从而得到优良的平坦度。
在“7.玻璃的制造方法”的(A)中，通过利用后述的方法调节氢浓度、Na2O浓度、Sn浓度，能够在式(6-1)中调节离子交换量2。具体来说，优选例如：在玻璃退火时对顶面喷射水蒸气或SO2气体以降低顶面的Na2O浓度；降低以防止底面上划伤为目的而喷射的SO2气体流量以提高底面的Na2O浓度；降低浮抛槽上游的温度；或者提高气氛氢浓度以降低Sn向底面的侵入量。
7.玻璃的制造方法
作为用于减小浮法玻璃的顶面与底面的风化程度之差以及在浮法成形时侵入与熔融金属接触的玻璃面的金属量之差从而降低Δ翘曲量的方法，可以列举例如以下的(A)～(D)所示的方法。这些方法可以单独使用也可以组合。
(A)在对出自浮抛槽的玻璃进行退火时，通过对玻璃喷射SO2气体，由此将玻璃的碱成分Na2O以Na2SO4的形式从玻璃中提取出。通过调节对玻璃喷射的SO2气体的量，可以将顶面和底面的碱的量调节成相同程度，从而降低玻璃的风化程度之差。
(B)在退火炉中对玻璃的顶面侧喷射水蒸气。
(C)缩短浮抛槽中的熔融玻璃的停留时间。
(D)降低浮抛槽上游区域的温度。
以下，基于附图进行说明，但本发明不限于此。图10是本发明的浮法玻璃的制造装置的纵剖视图。在图10中，12为流道控制闸板、22为位于流道控制闸板的下方的固定耐火物、23为斜槽的切口。
虽然在附图中省略，但将原料连续地供给至玻璃池窑内，在玻璃池窑内的高温区域熔化原料，将得到的熔融玻璃引导至冷却区域并调节温度。接着，调节温度后的熔融玻璃1通过连接槽11，并且通过由流道控制闸板12和位于其下方的固定耐火物22形成的间隙2。接着，经过斜槽的切口23供给至熔融金属浴槽5，并成形为玻璃带4。
浮法玻璃的板厚优选为1.5mm以下，更优选为1.1mm以下。另外，典型地为0.7mm以上，但也可以根据需要使用更薄的浮法玻璃。
本发明的化学强化用浮法玻璃不论组成均能够减小化学强化后的翘曲，但作为化学强化用浮法玻璃的组成，可以列举例如以下的玻璃的组成。
(i)一种玻璃，以质量％表示的组成计，包含60～80％的SiO2、0.01～8％的Al2O3、8～22％的Na2O、0～7％的K2O、合计为5～25％的RO(R＝Mg、Ca、Sr、Ba)、0～5％的ZrO2。
(ii)一种玻璃，以质量％表示的组成计，含有64～77％的SiO2、0.01～7％的Al2O3、10～18％的Na2O、0～5％的K2O、1～10％的MgO、1～12％的CaO、0～5％的SrO、0～5％的BaO、0～3％的ZrO2。
(iii)一种玻璃，以质量％表示的组成计，含有60～80％的SiO2、0.01～8％的Al2O3、8～22％的Na2O、0～7％的K2O、0～5％的ZrO2，在含有MgO、CaO、SrO或BaO的情况下，MgO、CaO、SrO和BaO的含量的合计为5～25％，Na2O与Al2O3的含量之比Na2O/Al2O3为1.5以上。
(iv)一种玻璃，以质量％表示的组成计，含有60～80％的SiO2、0.01～8％的Al2O3、8～22％的Na2O、0～7％的K2O、0～5％的ZrO2，在含有MgO、CaO、SrO或BaO的情况下，MgO、CaO、SrO和BaO的含量的合计为5～25％，Na2O与Al2O3的含量之比Na2O/Al2O3为1.5以上且6以下。
(v)一种玻璃，以质量％表示的组成计，含有60～80％的SiO2、0.01～8％的Al2O3、8～22％的Na2O、0～7％的K2O、0～5％的ZrO2，在含有MgO、CaO、SrO或BaO的情况下，MgO、CaO、SrO和BaO的含量的合计为5～25％，CaO、SrO和BaO的含量的合计为1～7％，Na2O与Al2O3的含量之比Na2O/Al2O3为1.5以上。
对成形的浮法玻璃由未图示的切割机切割成规定的尺寸，然后进行化学强化，由此能够得到化学强化浮法玻璃。
化学强化为通过在玻璃化转变温度以下的温度下通过离子交换将玻璃表面的离子半径小的碱金属离子(典型地为Li离子或Na离子)交换成离子半径较大的碱离子(典型地为K离子)，从而在玻璃表面形成压应力层的处理。化学强化处理能够通过现有公知的方法进行。
以下，对将本发明的浮法玻璃化学强化后用作平板显示器用的保护玻璃的例子进行说明。图11是配置有保护玻璃的显示装置的剖视图。另外，在以下的说明中，前后左右以图中箭头的朝向为基准。
如图11所示，显示装置10大体具备设置于壳体15内的显示面板20、和以覆盖显示面板20的整个面且包围壳体15的前方的方式设置的保护玻璃30。
保护玻璃30主要为了提升显示装置10的美观和强度，防止冲击破损等目的而设置，且由整体形状为大致平面形状的一块板状玻璃形成。如图11所示，保护玻璃30可以以与显示面板20的显示侧(前侧)分离的方式(有空气层的方式)设置，也可以通过具有透光性的胶粘膜(未图示)安装于显示面板20的显示侧。
在保护玻璃30的出射来自显示面板20的光的正面设置有功能膜41，在入射来自显示面板20的光的背面，在与显示面板20对应的位置设置有功能膜42。另外，功能膜41、42在图11中设置于两面，但并非限定于此，也可以设置于正面或背面，还可以省略。
功能膜41、42具有例如防止周围光的反射、防止冲击破损、屏蔽电磁波、屏蔽近红外线、修正色调和/或提高耐划伤性等功能，厚度和形状等可以根据用途适当选择。功能膜41、42例如通过将树脂制的膜粘贴于保护玻璃30而形成。或者，可以通过蒸镀法、溅射法或CVD法等薄膜形成法形成。
符号44为黑色层，例如为通过将包含颜料粒子的油墨涂布在保护玻璃30上，并对其进行紫外线照射或加热烧结，然后进行冷却而形成的被膜，从壳体15的外侧观察不到显示面板等，提高了外观的审美性。需要说明的是，符号44不限于黑色层，也可以是例如白色层。
实施例
以下对本发明的实施例进行具体说明，但本发明不限于此。
[实施例1]
(浮法玻璃的制造)
利用浮法制造如下所示的组成的玻璃使得板厚为0.7mm，并裁切成10cm×10cm，从而制作了例1～4的浮法板玻璃。
组成A：以质量％计的组成为SiO2：71.5％、Al2O3：1.8％、Na2O：13.5％、K2O：0.26％、MgO：4.64％、CaO：7.83％、ZrO2：0.03％
组成B：SiO2：71.5％、Al2O3：1.8％、Na2O：13.5％、K2O：0.26％、MgO：4.64％、CaO：7.83％、ZrO2：0.03％
组成C：SiO2：71.5％、Al2O3：1.8％、Na2O：13.5％、K2O：0.26％、MgO：4.64％、CaO：7.83％、ZrO2：0.03％
(评价方法)
(1)玻璃表层的氢浓度的测定
另外，利用二次离子质谱分析对实施例1、2和比较例1～3的各浮法玻璃的氢浓度到深度20μm为止进行了分析。虽然表示浮法玻璃的基于二次离子质谱分析的[1H-/30Si-]分布，但该分布可以等同于氢浓度分布。
二次离子质谱分析的分析条件如下。
测定装置：ULVAC-PHI公司制ADEPT1010
一次离子种类：Cs+
一次加速电压：5.0kV
一次离子电流：1μA
一次离子入射角(与垂直于试样面的方向的角度)：60°
光栅尺寸：200×200μm2
检测区域：40×40μm2
溅射速率：14nm/秒
二次离子极性：负
使用中和用的电子枪
测定深度0～10μm和105～110μm的[1H-/30Si-]，计算底面(B面)的深度0～10μm处的归一化强度与顶面(T面)的深度0～10μm处的归一化强度之差。表1中，“H/Si”表示深度0～10μm平均值除以深度105～110μm平均值而得到的值。
需要说明的是，将检测器的场口径(Field Aperture)设为1、检测器的ESA输入透镜(Input Lens)设为550。
(2)翘曲量的测定
化学强化前利用株式会社东京精密制接触式表面形状测定器(Surfcom 1400D(商品名))测定翘曲量，然后利用硝酸钾熔盐对各浮法玻璃在425℃进行化学强化150分钟，化学强化后的翘曲量也同样地进行测定，并计算以(式)Δ翘曲量＝化学强化后翘曲量-化学强化前翘曲量表示的Δ翘曲量。需要说明的是，Δ翘曲量测定9cm见方的浮法玻璃的Δ翘曲量。
(3)Na2O浓度和K2O浓度的测定
对于玻璃表层的Na2O浓度和K2O浓度，使用株式会社理学制ZSX PrimusII通过荧光X射线分析分别测定Na-Kα射线、K-Kα射线强度，并由与标准试样的相对强度比求出浓度。
表1中，“N-Na2O”是指Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值、即归一化Na2O表面浓度。需要说明的是，Na2O浓度是通过利用荧光X射线法测定Na-Kα射线强度，并由与标准试样的相对强度比计算出的值。另外，化学强化后的离子交换量(K2O浓度)示于表1的K2O离子交换量一栏。
(4)Sn浓度的测定
对于玻璃表面的Sn浓度，将玻璃表面在氢氟酸溶液中蚀刻，并通过ICP发射光谱分析法对溶液中的Sn浓度进行定量。ICP发射光谱分析装置使用SII Nano Technology株式会社制的SPS3100。
表1中，由于组成A～C的玻璃不含有SnO2，显然顶面的SnO2为0，未进行测定。在以下的表2～6中也是同样的。
求出例1～4的玻璃的化学强化前的归一化氢浓度[0～10μm平均(H/Si)/105～110μm(平均H/Si)]、N-Na2O浓度(表面浓度/100μm深度位置浓度、以下也称作归一化Na2O表面浓度)、K2O浓度和Sn浓度(每单位面积附着量)以及化学强化后的离子交换量(K2O浓度)和Δ翘曲量，结果示于表1。
顶面的N-Na2O浓度小于1认为是由于喷射至底面的SO2气体绕回至顶面侧。另外，顶面的N-Na2O浓度例如在例1和例4间不同认为是由于SO2气体的喷射状态发生了变动。
[表1]
[实施例2]
化学强化前的顶面和底面的Na2O浓度差和Δ翘曲量
认为化学强化前的钠钙玻璃板的顶面和底面的Na2O浓度差和Δ翘曲量之间存在相关关系，因而由表1所示的数据求出顶面和底面的归一化Na2O表面浓度的平方之差Δ(N-Na2O2)，并对与Δ翘曲量的相关关系进行了研究。
将其结果示于表2和图6。图6是以供于化学强化的玻璃的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度的平方之差、即Δ(N-Na2O2)(顶面-底面)为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
由图6所示的图可知，化学强化前的钠钙玻璃板的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度的平方之差(ΔN-Na2O2)与Δ翘曲量之间存在下述式(1-1)所示的相关关系。
Δ翘曲量＝370×Δ(N-Na2O2)+45…式(1-1)
在式(1-1)中，Δ(N-Na2O2)是通过荧光X射线分析对供于化学强化的玻璃的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度进行测定而得到的值的平方之差，由下述式(1-2)求出。
ΔNa2O＝(化学强化前的顶面的归一化Na2O表面浓度)2-(化学强化前的底面的归一化Na2O表面浓度)2…式(1-2)
由表2和图6所示的结果可知，在式(1-1)中，通过使Δ(N-Na2O2)为0.040以下，可以使Δ翘曲量为58μm以下。
[表2]
[实施例3]
化学强化后的顶面和底面的离子交换量差和Δ翘曲量
认为顶面和底面的离子交换量之差和Δ翘曲量之间存在相关关系，因而由表1所示的数据求出离子交换量之差(Δ离子交换量1)，并对与Δ翘曲量的相关关系进行了研究。
Δ离子交换量1是顶面的离子交换量1减去该底面的离子交换量1而得到的值。离子交换量1由下述式(2-1)求出。
离子交换量1＝5.51×(归一化Na2O表面浓度)-0.038×(Sn浓度)…式(2-1)
离子交换量1之差＝(顶面的离子交换量)-(底面的离子交换量)…式(2-2)
将其结果示于表3和图7。图7是以顶面和底面的离子交换量1之差Δ离子交换量1为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
由图7所示的图可知，在Δ离子交换量1和Δ翘曲量之间存在下述式(2-3)所示的相关关系。
Δ翘曲量＝103×(Δ离子交换量1)+24…式(2-3)
由表3和图7所示的结果可知，通过使Δ离子交换量1为0.32以下，可以使Δ翘曲量为58μm以下。
[表3]
[实施例4]
化学强化前的顶面和底面的氢浓度差、Sn浓度差和离子交换量差和Δ翘曲量
认为化学强化前的顶面和底面的氢浓度差、Sn浓度差、离子交换量差和Δ翘曲量存在相关关系，因而将它们作为因子，基于表1所示的数据进行多元回归分析，结果求得下述式(3-1)。表4示出从表1所示的数据中使用的数据。
W1＝-16×(ΔH/Si)-6.47×(Sn浓度差)-43.8×(Δ离子交换量1)…式(3-1)
式(3-1)中，ΔH/Si是利用SIMS分析对化学强化前的顶面和底面的氢浓度差进行测定而得到的值之差(归一化氢浓度之差)，由下述式(3-2)求出。
ΔH/Si＝(化学强化前的顶面的归一化氢浓度)-(化学强化前的底面的归一化氢浓度)…式(3-2)
Δ离子交换量1是顶面的离子交换量减去该底面的离子交换量而得到的值。离子交换量由上述式(2-1)求出。
图12示出以W1为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。由图12所示的图可知，W1和Δ翘曲量之间存在相关关系。由表4和图12所示的结果可知，通过使W1为56以下，可以使Δ翘曲量为58μm以下。
[表4]
[实施例5]
顶面和底面的离子交换量差和化学强化前的顶面和底面的氢浓度差与Δ翘曲量
认为顶面和底面的离子交换量之差和化学强化前的顶面和底面的氢浓度差与Δ翘曲量存在相关关系，因而根据表1所示的数据对顶面和底面的离子交换量差和化学强化前的顶面和底面的氢浓度差与Δ翘曲量的相关关系进行了研究。
将其结果示于表5和图8。图8是以顶面和底面的离子交换量之差除以化学强化前的顶面和底面的氢浓度之差而得到的值为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
另外，认为氢浓度、离子交换量和Δ翘曲量存在相关关系，因而将它们作为因子，基于表1所示的数据进行多元回归分析，结果求得下述式(4-1)。
W2＝9.18×Δ[(离子交换量)/(H/Si)]+49…式(4-1)
式(4-1)中，Δ[(离子交换量)/(H/Si)]是顶面的离子交换量除以归一化氢浓度H/Si而得到的值减去底面的离子交换量除以归一化氢浓度H/Si而得到的值而得到的值。离子交换量由上述式(2-1)求出。
图13示出以W2为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。由图13所示的图可知，W2和Δ翘曲量之间存在相关关系。由表5和图13所示的结果可知，通过使W2为56以下，可以使Δ翘曲量为58μm以下。
[表5]
[实施例6]
化学强化前的顶面和底面的Na2O浓度差和Sn浓度差和Δ翘曲量
认为化学强化前的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度差和Sn浓度差与Δ翘曲量存在相关关系，因而将它们作为因子，基于表1所示的数据进行了多元回归分析。将其结果示于表6、图9和图17。
如图17所示，可知化学强化前的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度差和Sn浓度差存在下述式(5-1)所示的相关关系。W3＝744×[(ΔN-Na2O)+0.01×(Sn浓度差)]…式(5-1)
式(5-1)中，ΔN-Na2O是顶面的归一化Na2O表面浓度减去底面的归一化Na2O表面浓度而得到的值，由下述式(5-2)求出。
ΔN-Na2O＝(化学强化前的顶面的归一化Na2O表面浓度)-(化学强化前的底面的归一化Na2O表面浓度)…式(5-2)
图14示出以W3为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。由图14所示的图可知，W3与Δ翘曲量存在相关关系。由表6和图14所示的结果可知，通过使W3为58以下，可以使Δ翘曲量为58μm以下。
[表6]
[实施例7]
离子交换量(氢浓度、Na2O浓度和Sn浓度)之差与Δ翘曲量
认为氢浓度、Na2O浓度和Sn浓度与离子交换量有关，因而根据表7所示的数据求出相关式，结果得到下述式(6-1)。
离子交换量2＝-0.02×(H/Si)+5.54×(N-Na2O浓度)-0.037×(Sn浓度)…式(6-1)
认为顶面和底面的离子交换量之差对由式(6-1)求出的顶面的离子交换量2与底面的离子交换量2之差Δ离子交换量2和化学强化后的玻璃的翘曲有影响，因而考察了由式(6-2)求出的顶面的离子交换量2与底面的离子交换量2之差Δ离子交换量2与Δ翘曲量的相关关系。
Δ离子交换量2＝(顶面的离子交换量2)-(底面的离子交换量2)…式(6-2)
图15示出以顶面和底面的离子交换量2之差(Δ离子交换量2)为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。由图15所示的图可知，Δ离子交换量2与Δ翘曲量存在相关关系。
由表7和图15所示的结果可知，在式(6-1)中，通过使Δ离子交换量2为0.33以下，可以使Δ翘曲量为58μm以下。
[表7]
[实施例8]
化学强化前的顶面和底面的Na2O浓度差与Δ翘曲量
认为化学强化前的钠钙玻璃板的顶面和底面的Na2O浓度差和Δ翘曲量存在相关关系，因而根据表1所示的数据求出顶面的归一化Na2O表面浓度减去底面的归一化Na2O表面浓度而得到的差的平方[ΔN-Na2O(顶面-底面)]2，并对与Δ翘曲量的相关关系进行了研究。
将其结果示于表8和图16。表8中例如“5.9.E-04”是指5.9×10-4。图16是以供于化学强化的顶面的归一化Na2O表面浓度减去底面的归一化Na2O表面浓度而得到的差的平方[ΔN-Na2O(顶面-底面)]2为横轴、以Δ翘曲量为纵轴而绘制的图。
由图16所示的图可知，化学强化前的钠钙玻璃板的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度之差的平方(ΔN-Na2O)2与Δ翘曲量存在下述式(7-1)所示的相关关系。
Δ翘曲量＝18000×(ΔN-Na2O)2+51…式(7-1)
在式(7-1)中，(ΔN-Na2O)2是利用荧光X射线分析对供于化学强化的玻璃的顶面和底面的归一化Na2O表面浓度进行测定而得到的值之差的平方，由下述式(7-2)求出。
(ΔN-Na2O)2＝[(化学强化前的顶面的归一化Na2O表面浓度)-(化学强化前的底面的归一化Na2O表面浓度)]2…式(7-2)
由表8和图16所示的结果可知，在式(7-1)中，通过使(ΔN-Na2O)2为5.0×10-4以下，可以使Δ翘曲量为58μm以下。
[表8]
[玻璃组成例]
将本发明的化学强化用浮法玻璃的以质量百分率计的组成例G1～G16以及对它们进行化学强化时的压应力CS(单位：MPa)和压应力层深度DOL(单位：μm)示于表9、表10。
表中的Na2O/Al2O3是Na2O与Al2O3的含量之比、RO为MgO、CaO、SrO和BaO的含量的合计、CaO+SrO+BaO为CaO、SrO和BaO的含量的合计、强化温度(单位：℃)和强化时间(单位：小时)为上述化学强化的强化温度和强化时间、KNO3为用于化学强化的熔盐中的KNO3的浓度(单位：质量％)、dol为上述dol。需要说明的是，熔盐中的KNO3的浓度不是100％时的其余成分为NaNO3。
[表9]
G1 G2 G3 G4 G5 G6 G7 G8 G9
SiO2 72 72 72 67 62 60 68 65.5 69
Al2O3 2 2 2 1 1 1 5 3 2
MgO 4.5 4.5 4.5 6 8 10 5 6 4
CaO 8 8 8 9 10 13 7 8 10
SrO 0 0 0 0 0 0 1 0 0
BaO 0 0 0 0 0 0 0 0 0
ZrO2 0 0 0 0 0 0 0 2.5 1
Na2O 13.2 13.2 13.2 15 14 10 13 9 12
K2O 0.3 0.3 0.3 2 5 6 1 6 2
Na2O/Al2O3 6.6 6.6 6.6 15.0 14.0 10.0 2.6 3.0 6.0
RO 12.5 12.5 12.5 15.0 18.0 23.0 13.0 14.0 14.0
CaO+SrO+BaO 8.0 8.0 8.0 9.0 10.0 13.0 8.0 8.0 10.0
强化温度 425 425 425 425 425 450 425 425 425
强化时间t 2.5 2.5 2.5 2.5 2.5 5 2.5 2.5 4
KNO3 100 97.5 95 100 100 100 100 100 100
dol 5 5 5 7 6 4 5 5 6
CS 680 580 480 690 730 810 760 770 710
DOL 5 5 5 7 6 4 5 5 6
[表10]
G10 G11 G12 G13 G14 G15 G16 G17 G18
SiO2 65 62.5 65 76.5 77.9 71 74 72 69
Al2O3 5 7.5 7 0.5 0.1 4 4 6 5
MgO 6 3 4 3 2 4 3.5 4 3
CaO 5 6 2 5 4 7 1.5 1 1
SrO 2 0 1 0 0 0 0 2 0
BaO 0 0 1 0 0 0 0 0 2
ZrO2 0.2 1 2 0 4 0 0 0 0
Na2O 14.3 20 16.5 14 12 10 15 11 17
K2O 2.5 0 1.5 1 0 4 2 4 3
Na2O/Al2O3 2.9 2.7 2.4 28.0 120 2.5 3.8 1.8 3.4
RO 13.0 9.0 8.0 8.0 6.0 11.0 5.0 7.0 6.0
CaO+SrO+BaO 7.0 6.0 4.0 5.0 4.0 7.0 1.5 3.0 3.0
强化温度 425 425 425 425 425 425 400 400 400
强化时间t 2.5 2.5 1 2.5 2.5 2.5 1 1 0.5
KNO3 100 100 100 100 100 100 100 100 100
dol 12 20 16 18 10 12 17 12 19
CS 720 720 730 470 590 630 550 630 560
DOL 12 20 16 18 10 12 17 12 19
使用特定的方式对本发明进行了详细说明，但可以在不脱离本发明的意图和范围的前提下进行各种变更和变形对于本领域技术人员而言是显而易见的。另外，本申请基于在2012年12月27日申请的日本专利申请(日本特愿2012-285511)，其全部内容通过引用援引于此。
附图标记
1 熔融玻璃
5 熔融金属浴
10 显示装置
15 壳体
20 显示面板
30 保护玻璃

Claims (13)

1.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，顶面的归一化Na2O表面浓度的平方减去底面的归一化Na2O表面浓度的平方而得到的差Δ(N-Na2O2)为0.040以下，所述顶面的归一化Na2O表面浓度是该顶面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，所述底面的归一化Na2O表面浓度是该底面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，
在此，各自的Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而测定的值。
2.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，作为该顶面的离子交换量1减去该底面的离子交换量1而得到的值的Δ离子交换量1为0.32以下，
在此，离子交换量1是由下述式(2-1)求出的值，
离子交换量1＝5.51×(归一化Na2O表面浓度)-0.038×(Sn浓度)…式(2-1)
式(2-1)中，归一化Na2O表面浓度是表面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，在此，Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而得到的测定值，
另外，Sn浓度为顶面和底面每单位面积的Sn附着量，每单位面积的Sn附着量是当设定Sn以SnO2的形式存在时每1cm2的按SnO2换算的附着质量，所述每单位面积的Sn附着量的单位为μg/cm2。
3.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，由下述式(3-1)求出的W1为56以下，
W1＝-16×(ΔH/Si)-6.47×(Sn浓度差)-43.8×(Δ离子交换量1)…式(3-1)
式(3-1)中，ΔH/Si是顶面的归一化氢浓度减去底面的归一化氢浓度而得到的值，归一化氢浓度是指深度0～10μm处的平均氢浓度除以深度105～110μm处的平均氢浓度而得到的值，深度0～10μm处的平均氢浓度和深度105～110μm处的平均氢浓度是在如下分析条件下测定的值，
分析条件：
测定装置：具有四极杆型质谱分析器的二次离子质谱分析装置
一次离子种类：Cs+
一次加速电压：5.0kV
一次离子电流：1μA
一次离子入射角、即与垂直于试样面的方向的角度：60°
光栅尺寸：200×200μm2
检测区域：40×40μm2
二次离子极性：负
使用中和用的电子枪
式(3-1)中，Sn浓度差是底面每单位面积的Sn附着量减去顶面每单位面积的Sn附着量而得到的差，每单位面积的Sn附着量是当设定Sn以SnO2的形式存在时每1cm2的按SnO2换算的附着质量，所述每单位面积的Sn附着量的单位为μg/cm2，
式(3-1)中，Δ离子交换量1是顶面的离子交换量1减去该底面的离子交换量1而得到的值，离子交换量1由下述式求出，
离子交换量1＝5.51×(归一化Na2O表面浓度)-0.038×(Sn浓度)
上述式中，归一化Na2O表面浓度是表面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，在此，Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而得到的测定值。
4.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，由下述式(4-1)求出的W2的绝对值为56以下，
W2＝9.18×Δ[(离子交换量1)/(H/Si)]+49…式(4-1)
式(4-1)中，Δ[(离子交换量1)/(H/Si)]是如下得到的值：顶面的离子交换量1除以该顶面的归一化氢浓度H/Si而得到的值减去底面的离子交换量1除以该底面的归一化氢浓度H/Si而得到的值，
在此，离子交换量1由下述式求出，
离子交换量1＝5.51×(归一化Na2O表面浓度)-0.038×(Sn浓度)
上述式中，归一化Na2O表面浓度是表面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，在此，Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而得到的测定值，另外，Sn浓度是顶面和底面每单位面积的Sn附着量，每单位面积的Sn附着量是当设定Sn以SnO2的形式存在时每1cm2的按SnO2换算的附着质量，所述每单位面积的Sn附着量的单位为μg/cm2，
归一化氢浓度是指深度0～10μm处的平均氢浓度除以深度105～110μm处的平均氢浓度而得到的值，深度0～10μm处的平均氢浓度和深度105～110μm处的平均氢浓度是在如下分析条件下测定的值，
分析条件：
测定装置：具有四极杆型质谱分析器的二次离子质谱分析装置
一次离子种类：Cs+
一次加速电压：5.0kV
一次离子电流：1μA
一次离子入射角、即与垂直于试样面的方向的角度：60°
光栅尺寸：200×200μm2
检测区域：40×40μm2
二次离子极性：负
使用中和用的电子枪。
5.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，由下述式(5-1)求出的W3为58以下，
W3＝744×[(ΔN-Na2O)+0.01×(Sn浓度差)]…式(5-1)
式(5-1)中，ΔN-Na2O是顶面的归一化Na2O表面浓度减去底面的归一化Na2O表面浓度而得到的值，所述顶面的归一化Na2O表面浓度是顶面的表面Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，所述底面的归一化Na2O表面浓度是底面的表面Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，在此，各自的Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而得到的测定值，
式(5-1)中，Sn浓度差是底面每单位面积的Sn附着量减去顶面每单位面积的Sn附着量而得到的差，每单位面积的Sn附着量是当设定Sn以SnO2的形式存在时每1cm2的按SnO2换算的附着质量，所述每单位面积的Sn附着量的单位为μg/cm2。
6.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，
作为该顶面的离子交换量2减去该底面的离子交换量2而得到的值的Δ离子交换量2为0.33以下，
在此，离子交换量2是由下述式(6-1)求出的值，
离子交换量2＝-0.02×(H/Si)+5.54×(N-Na2O浓度)-0.037×(Sn浓度)…式(6-1)
式(6-1)中，H/Si为归一化氢浓度，归一化氢浓度是指深度0～10μm处的平均氢浓度除以深度105～110μm处的平均氢浓度而得到的值，深度0～10μm处的平均氢浓度和深度105～110μm处的平均氢浓度是在以下的分析条件下测定的值，
分析条件：
测定装置：具有四极杆型质谱分析器的二次离子质谱分析装置
一次离子种类：Cs+
一次加速电压：5.0kV
一次离子电流：1μA
一次离子入射角、即与垂直于试样面的方向的角度：60°
光栅尺寸：200×200μm2
检测区域：40×40μm2
二次离子极性：负
使用中和用的电子枪
式(6-1)中，N-Na2O浓度为归一化Na2O表面浓度，所述归一化Na2O表面浓度为表面Na2O浓度除以深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，在此，Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而得到的测定值，
Sn浓度是每单位面积的Sn附着量，Sn附着量是当设定Sn以SnO2的形式存在时按SnO2换算的附着质量，所述每单位面积的Sn附着量的单位为μg/cm2。
7.一种化学强化用浮法玻璃，其具有在成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面，其中，
顶面的归一化Na2O表面浓度减去底面的归一化Na2O表面浓度而得到的差ΔN-Na2O的平方(ΔN-Na2O)2为5.0×10-4以下，所述顶面的归一化Na2O表面浓度是该顶面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，所述底面的归一化Na2O表面浓度是该底面的Na2O浓度除以其深度100μm位置的Na2O浓度而得到的值，各自的Na2O浓度是通过使用Na-Kα射线的荧光X射线分析而测定的值。
8.如权利要求1～7中任一项所述的化学强化用浮法玻璃，其用于化学强化温度为T、化学强化时间为t的化学强化，并且含有SiO2，使用SiO2、Al2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZrO2、Na2O和K2O各自的以质量百分率计的含量由下式求出的dol为20以下，所述T的单位为K，所述t的单位为小时，
dol＝-0.13×Al2O3-1.88×MgO-2.41×CaO-1.85×SrO-1.35×BaO-1.59×ZrO2+1.50×Na2O+2.42×K2O-129359/T+9.28×t0.5+182.88。
9.如权利要求1～7中任一项所述的化学强化用浮法玻璃，其中，
以质量百分率计，含有60～80％的SiO2、0～8％的Al2O3、8～22％的Na2O、0～7％的K2O、0～17％的MgO、0～22％的CaO、0～8％的SrO、0～8％的BaO、0～5％的ZrO2。
10.如权利要求1～7中任一项所述的化学强化用浮法玻璃，其中，以质量百分率计，含有60～80％的SiO2、0.01～8％的Al2O3、8～22％的Na2O、0～7％的K2O、0～5％的ZrO2，在含有MgO、CaO、SrO或BaO的情况下，MgO、CaO、SrO和BaO的含量的合计为5～25％，Na2O和Al2O3的含量之比Na2O/Al2O3为1.5以上。
11.如权利要求10所述的化学强化用浮法玻璃，其中，Na2O/Al2O3为6以下。
12.如权利要求9所述的化学强化用浮法玻璃，其中，含有CaO、SrO或BaO，且CaO、SrO和BaO的含量的合计为1～7％。
13.一种化学强化玻璃的制造方法，其为制造压应力层深度为20μm以下的化学强化玻璃的方法，其特征在于，对权利要求1～12中任一项所述的化学强化用玻璃进行化学强化。
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