CN104704140A - 在线式涂敷装置、在线式涂敷方法以及隔板 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种批量生产性优异、并且可以对工件施加适合的偏压的在线式涂敷装置、在线式涂敷方法以及隔板。在线式涂敷装置(10)具有：涂敷部(12)，其具有排列好的多个涂敷材料(121、122、123、124)，用于涂敷工件(W)；输送部(13)，其在涂敷部中以使多个工件与多个涂敷材料相对的方式输送工件；电压施加部(14)，在输送工件并使工件与涂敷材料相对时，其用于向工件施加偏压以使从涂敷材料释放出的微粒被工件吸引，电压施加部可在工件与一个涂敷材料相对时和该工件与其他涂敷材料相对时对工件施加不同的偏压。

Description

在线式涂敷装置、在线式涂敷方法以及隔板
技术领域
本发明涉及在线式涂敷装置、在线式涂敷方法以及隔板。
背景技术
对于溅镀法和离子电镀法等涂敷方法而言，公知有通过调整施加于工件的偏压而能够控制要形成于工件表面的涂层的特性的方法。
例如在专利文献1所记载的发明中，本发明人通过适当地调整偏压而在燃料电池用隔板的表面形成有导电性和耐腐蚀性优异的涂层。
专利文献1：(日本)特开2010-272490号公报
发明内容
发明要解决的问题
虽然可以利用间歇式来对调整了偏压的工件进行涂敷，但本发明人的目的是提高批量生产性，因而对在线式进行了深入的研究。
本发明是由该研究结果做成的，目的在于提供一种批量生产性优异、并且可以对工件施加适合的偏压的在线式涂敷装置和在线式涂敷方法。
用于解决问题的方案
用于达成上述目的的在线式涂敷装置具有：涂敷部，其用于对工件进行涂敷；输送部，其用于在涂敷部中输送工件。在涂敷部具有排列成列的多个涂敷材料。输送部以使多个工件与多个涂敷材料相对的方式输送多个工件。在线式涂敷装置具有电压施加部，在输送工件并使工件与涂敷材料相对时，该电压施加部用于向工件施加偏压以使工件吸引从涂敷材料释放出的微粒。电压施加部可在工件与一个涂敷材料相对时和工件与其他涂敷材料相对时对工件施加不同的偏压。
用于达成上述目的的在线式涂敷方法具有涂敷工序，在该涂敷工序中，以使多个工件与排列好的多个涂敷材料相对的方式输送多个工件，并且当工件与涂敷材料相对时，利用向工件施加的偏压使工件吸引从涂敷材料释放出的微粒，从而进行涂敷。在涂敷工序中，在工件与一个涂敷材料相对时和在工件与不同于这一涂敷材料的其他涂敷材料相对时对工件施加不同的偏压。
用于达成上述目的的隔板具有在具有矩形形状的薄板状的基材上形成有涂层的结构。构成矩形形状的外周的一边的端面具有与构成其他剩余的边的端面不同的性状。
发明的效果
具有上述结构的在线式涂敷装置和在线式涂敷方法，因为以使多个工件与多个涂敷材料相对的方式输送多个工件，而能够连续执行多个工件的涂敷，所以批量生产性优异。另外，具有上述结构的在线式涂敷装置和在线式涂敷方法，因为在工件分别与不同的涂敷材料相对时的各种情况下能够对工件施加不同的偏压，所以，能够针对每个涂敷材料施加适合的偏压。
具有上述结构的隔板以如下方式形成：以将作为工件的多个薄板状的基材沿着线状构件的长度方向并列吊挂起来的方式将各基材的端部钩挂在线状构件上来输送基材的同时对基材进行了涂敷后，将钩挂在线状构件上的基材的端部除去而形成隔板。采用该隔板，因为构成输送部件的线状构件被作为工件的基材的端部所盖住，所以能够防止涂敷材料向线状构件的附着，从而减少了维护的麻烦。因此，批量生产性优异。另外，因为基材的端部钩挂在线状构件上，因此通过基材的端部向输送的基材施加与涂敷材料相应的适合的偏压。
附图说明
图1是表示第1实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的侧视图。
图2是表示第2实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的俯视图。
图3是表示第2实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的、沿着图2的3-3线的侧视图。
图4是表示第3实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的侧视图。
图5是表示第4实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的侧视图。
图6是表示第5实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的图。
图7是表示沿着图6的7-7线的剖面图。
图8是示意性地表示将形成隔板时的基材端部切断的图。
图9是示意性地表示所形成的隔板的俯视图。
图10是表示第6实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的图。
图11是从图10的附图标记9进行观察的向视图。
具体实施方式
以下，一边参照添附的附图一边说明本发明的实施方式。另外，附图的尺寸比例为了便于说明而有所夸大，与实际的比例不同。
(第1实施方式)
如图1所示，第1实施方式的在线式涂敷装置10具有可输送多个工件W的带式输送机13(输送部)。在线式涂敷装置10具有：氧化膜除去部11，其通过撞击(日文：ボンバードメント)处理将工件W表面的氧化膜除去；涂敷部12，其用于对工件W进行涂敷。在线式涂敷装置10具有在撞击处理和涂敷期间对工件W施加偏压的电压施加部14。
工件W是具有薄板形状的金属制的基材。通过对工件W实施涂敷等，而形成用于燃料电池的隔板。
带式输送机13具有沿着工件W的输送方向隔开间隔地设置的多个导电部130和设置在导电部130之间的绝缘部131。导电部130和绝缘部131构成带式输送机13的带部。
导电部130例如由金属形成。绝缘部131例如由树脂形成。带式输送机13将工件W载置在导电部130上进行输送。工件W与导电部130接触且电连接。
氧化膜除去部11具有：腔室110，在其内部配置有带式输送机13；电极111，其以与工件W相对的方式配置。用于对腔室110内进行排气的真空泵和用于向腔室110内导入稀有气体的稀有气体导入部与腔室110相连通。氧化膜除去部11相对于涂敷部12而言设置在工件W的输送方向上游侧。
涂敷部12具有在内部配置有带式输送机13的腔室120。用于对腔室120内进行排气的真空泵和用于向腔室120内导入稀有气体的稀有气体导入部与腔室120相连通。腔室110和腔室120是通过将用于收纳带式输送机13整体的腔室隔开而构成的。向氧化膜除去部11和涂敷部12导入的稀有气体例如是氩气等较重的惰性气体。
涂敷部12具有以沿着工件W的输送方向与工件W相对的方式配置的4个靶材121、122、123、124(涂敷材料)。靶材的数量并不限于此。形成靶材121、122的材料例如是铬。形成靶材123、124的材料例如是碳。形成靶材的材料并不限于此。
收纳有工件W的加载互锁真空室15相对于腔室110而言在工件W的输送方向上游侧与腔室110相邻地设置。多个工件W收纳于配置在加载互锁真空室15内的箱150中。例如，工业用机器人在加载互锁真空室15内从箱150中取出工件W并将工件W载置在带式输送机13的导电部130上。用于对加载互锁真空室15内进行排气的真空泵与加载互锁真空室15相连通。
用于收纳工件W的加载互锁真空室16相对于腔室120而言在工件W的输送方向下游侧与腔室120相邻地设置。涂敷过的工件W由带式输送机13输送并收纳于配置在加载互锁真空室16内的箱160中。用于对加载互锁真空室16内进行排气的真空泵与加载互锁真空室16相连通。
电压施加部14具有用于产生偏压的电源140、电源141、电源142、电源143以及电源144。电源140、电源141、电源142、电源143以及电源144所产生的偏压各不相同。
电压施加部14在与电极111相对的位置上具有与带式输送机13的带部滑动接触的电刷145。电源140和电刷145电连接。电源140和电极111电连接。
电压施加部14在与靶材121相对的位置上具有与带式输送机13的带部滑动接触的电刷146。电源141和电刷146电连接。电源141和靶材121电连接。
电压施加部14在与靶材122相对的位置上具有与带式输送机13的带部滑动接触的电刷147。电源142和电刷147电连接。电源142和靶材122电连接。
电压施加部14在与靶材123相对的位置上具有与带式输送机13的带部滑动接触的电刷148。电源143和电刷148电连接。电源143和靶材123电连接。
电压施加部14在与靶材124相对的位置上具有与带式输送机13的带部滑动接触的电刷149。电源144和电刷149电连接。电源144和靶材124电连接。
随着利用带式输送机13进行工件W的输送，各个电刷145、146、147、148、149反复进行与导电部130接触和与绝缘部131接触的动作。
针对本实施方式的在线式涂敷方法进行描述。本实施方式的在线式涂敷方法具有：氧化膜除去工序，在该氧化膜除去工序中，利用撞击处理除去工件W表面的氧化膜；涂敷工序，该涂敷工序在氧化膜除去工序后，通过溅镀对工件W进行涂敷。
当导电部130与工件W一起移动而与电刷145接触、并且工件W与电极111相对时，对工件W进行撞击处理。
通过借助导电部130将工件W和电源140电连接，从而将由电源140产生的偏压施加于工件W。由电源140产生的偏压比由电源141、142、143、144各自产生的偏压大。
当由电源140产生的偏压施加于工件W时，在由于工件W和电极111之间的电位差而这些构件间的气体被离子化的同时离子被吸引到工件W表面并进行碰撞。其结果，将工件W表面的氧化膜除去。
在工件W与电极111相对时，虽然可以临时使工件W停止以进行撞击处理，但通过不使工件W停止地一边输送一边进行撞击处理，能够提高批量生产性。
当导电部130进行移动而从电刷145离开、绝缘部131与电刷145接触时，工件W和电源140的电连接被切断，因此，撞击处理停止。
当导电部130与工件W一起移动而与电刷146接触、并且工件W与靶材121相对时，对工件W进行涂敷。
通过借助导电部130将工件W和电源141电连接，从而对工件W施加由电源141产生的偏压。当对工件W施加由电源141产生的偏压时，由于工件W和靶材121之间的电位差而这些构件间的气体被离子化的同时离子被吸引到靶材121并进行碰撞。其结果，构成靶材121的材料以原子或者分子的状态被叩击出来。通过将叩击出来的原子或者分子状态的靶材121的构成材料(从涂敷材料释放出的微粒)吸引到施加有偏压的工件W上，从而对工件W进行涂敷。
当导电部130进行移动而从电刷146离开、绝缘部131与电刷146接触时，工件W和电源141的电连接被切断，因此，工件W的涂敷停止。
当导电部130与工件W一起移动而与电刷147接触、并且工件W与靶材122相对时，对工件W进行涂敷。当导电部130进行移动而从电刷147离开时，涂敷停止。
当导电部130与工件W一起移动而与电刷148接触、并且工件W与靶材123相对时，对工件W进行涂敷。当导电部130进行移动而从电刷148离开时，涂敷停止。
当导电部130与工件W一起移动而与电刷149接触、并且工件W与靶材124相对时，对工件W进行涂敷。当导电部130进行移动而从电刷149离开时，涂敷停止。
在工件W分别与靶材121、122、123、124相对时的各种情况下，虽然可以临时使工件W停止以进行涂敷，但通过不使工件W停止地一边输送一边进行涂敷，能够提高批量生产性。
形成于工件W的涂层的特性根据电源141、142、143、144各自的偏压的不同而不同。即使在靶材121、122由相同的材料、例如铬形成的情况下，由于施加的偏压不同，也将形成不同特性的涂层。因为根据施加的偏压的不同，所形成的涂层的结晶结构发生变化，所以涂层的特性发生变化。
电源141、142、143、144各自的偏压基于赋予涂层的所希望的特性来设定。例如，由电源141产生的偏压是形成在涂层中的与工件W的表面接触的部分时所施加的偏压，因此，在想要减少涂层和工件W之间的电阻的情况下，以形成具有较高导电性的涂层的方式进行设定。
描述本实施方式的作用效果。
本实施方式的在线式涂敷装置10和在线式涂敷方法，因为以使多个工件W与多个靶材121、122、123、124相对的方式输送多个工件W，而能够连续进行多个工件W的涂敷，所以批量生产性优异。
本实施方式的在线式涂敷装置10和在线式涂敷方法，因为在工件W分别与靶材121、122、123、124相对时的各种情况下能够对工件W施加不同的偏压，所以能够针对每个靶材121、122、123、124施加适合的偏压。通过针对每个靶材121、122、123、124施加适合的偏压，能够良好地形成具有不同特性的各个涂层。
本实施方式的在线式涂敷装置10和在线式涂敷方法，因为在对工件W实施撞击处理时，可以施加与在工件W与靶材121、122、123、124相对时所施加的偏压不同的偏压，所以能够施加适合撞击处理的偏压。通过施加适合撞击处理的偏压，能够可靠地除去工件W表面的氧化膜。
本实施方式的在线式涂敷装置10和在线式涂敷方法，是通过在进行工件W的输送的同时，借助导电部130将工件W和电压施加部14电连接以及切断导电部130之间的工件W和电压施加部14的电连接，从而对施加偏压和停止施加偏压这两种情况进行切换。因此，本实施方式的在线式涂敷装置10和在线式涂敷方法能够不使工件W停止地一边输送一边进行偏压的施加和偏压的停止，所以批量生产性优异。
(第2实施方式)
如图2和图3所示，第2实施方式的在线式涂敷装置20具有与第1实施方式不同的配置的电极211和靶材221、222、223、224。另外，在第2实施方式中，工件W载置于带式输送机13的状态与第1实施方式不同。除了这些以外，本实施方式与第1实施方式大致相同。在图2和图3中，对于与第1实施方式共通的结构标注相同的附图标记，另外省略重复说明。
如图2所示，在本实施方式的氧化膜除去部21中，电极211相对于工件W而言配置在与工件W的输送方向交叉的方向的两侧。在本实施方式的涂敷部22中，各个靶材221、222、223、224相对于工件W而言配置在与工件W的输送方向交叉的方向的两侧。构成各个靶材221、222、223、224的材料与第1实施方式的构成各个靶材121、122、123、124的材料相同。
工件W处于以厚度方向的两个面与电极211和靶材221、222、223、224相对的方式立起的状态被输送。具有与工件W的边缘嵌合的框架形状的夹具23以使工件W在带式输送机13上立起的状态对工件W进行支承。夹具23具有导电性。夹具23与带式输送机13的导电部130和工件W电连接。
当导电部130与工件W和夹具23一起移动而与电刷145接触、并且工件W与电极211相对时，对工件W施加偏压以对工件W实施撞击处理。偏压借助导电部130和夹具23施加于工件W。
因为电极211与工件W的两个面相对，所以对工件W的两个面施加撞击处理。其结果，将工件W的两个面的氧化膜除去。当导电部130进行移动而从电刷145离开、绝缘部131与电刷145接触时，工件W和电源140的电连接被切断，因此，撞击处理停止。
当导电部130与工件W和夹具23一起移动并与电刷146接触、并且工件W与靶材221相对时，对工件W进行涂敷。因为靶材221与工件W的两个面相对，所以对工件W的两个面进行涂敷。当导电部130进行移动而从电刷146离开、绝缘部131与电刷146接触时，工件W和电源141的电连接被切断，因此，对工件W的涂敷停止。
当导电部130进行移动并与电刷147接触、并且工件W与靶材222相对时，对工件W的两个面进行涂敷。当导电部130从电刷147离开时，涂敷停止。
当导电部130进行移动并与电刷148接触、并且工件W与靶材223相对时，对工件W的两个面进行涂敷。当导电部130从电刷148离开时，涂敷停止。
当导电部130进行移动与电刷149接触、并且工件W与靶材224相对时，对工件W的两个面进行涂敷。当导电部130从电刷149离开时，涂敷停止。
在第1实施方式中，在从带式输送机13的一端到另一端的一次输送中对工件W的一个面进行涂敷。与此相对，在本实施方式中，将靶材221、222、223、224相对于工件W而言配置在与工件W的输送方向交叉的方向的两侧，采用该结构，能够在一次输送中对工件W的两个面进行涂敷。因此，本实施方式的在线式涂敷装置20和在线式涂敷方法除了第1实施方式的效果以外，发挥出能够进一步提高批量生产性这样的效果。
另外，在第1实施方式中，在一次输送中对工件W的一个面进行撞击处理，但与此相对，在本实施方式中，在一次输送中对工件W的两个面进行撞击处理。因此，本实施方式的在线式涂敷装置20和在线式涂敷方法除了第1实施方式的效果以外，发挥出能够进一步提高批量生产性这样的效果。
(第3实施方式)
如图4所示，在第3实施方式的在线式涂敷装置30中，作为输送部，具有利用旋转的辊来输送工件W的辊式输送机33来代替第1实施方式的带式输送机13。对于其他结构而言，本实施方式与第1实施方式大致相同。在图4中，对于与第1实施方式相同的结构标注相同的附图标记，另外省略重复说明。
辊式输送机33具有带有导电性的辊330、331、332、333、334(导电部)。辊330、331、332、333、334例如由金属形成。辊330与电极111相对。辊331与靶材121相对。辊332与靶材122相对。辊333与靶材123相对。辊334与靶材124相对。
辊式输送机33具有带有绝缘性的辊335。辊335例如由树脂形成。辊335与辊330相比配置在靠工件W的输送方向上游侧的位置。辊335配置在辊330和辊331之间、辊331和辊332之间、辊332和辊333之间以及辊333和辊334之间。辊335配置在与辊334相比靠工件W的输送方向下游侧的位置。辊330、331、332、333、334、335利用马达来旋转。
本实施方式的电压施加部34具有与辊330滑动接触的电刷345、与辊331滑动接触的电刷346、与辊332滑动接触的电刷347、与辊333滑动接触的电刷348以及与辊334滑动接触的电刷349。
当工件W被输送至辊330、并且与电极111相对时，对工件W进行撞击处理。工件W与辊330接触而与辊330电连接。偏压借助辊330施加于工件W。当工件W从辊330离开而向辊335移动时，工件W和电源140之间的电连接被切断，因此，撞击处理停止。
当工件W被输送至辊331、并且与靶材121相对时，对工件W进行涂敷。工件W与辊331接触而与辊331电连接。偏压借助辊331施加于工件W。当工件W从辊331离开而向辊335移动时，工件W和电源141的电连接被切断，因此，对工件W的涂敷停止。
当工件W被输送至辊332、并且与靶材122相对时，对工件W进行涂敷。工件W与辊332接触而与辊332电连接。偏压借助辊332施加于工件W。当工件W从辊332离开而向辊335移动时，工件W和电源142之间的电连接被切断，因此，涂敷停止。
当工件W被输送至辊333、并且工件W与靶材123相对时，对工件W进行涂敷。工件W与辊333接触而与辊333电连接。偏压借助辊333施加于工件W。当工件W从辊333离开而向辊335移动时，工件W和电源143之间的电连接被切断，因此，涂敷停止。
当工件W被输送至辊334、并且工件W与靶材124相对时，对工件W进行涂敷。工件W与辊334接触而与辊334电连接。偏压借助辊334施加于工件W。当工件W从辊334离开而向辊335移动时，工件W和电源144的电连接被切断，因此，涂敷停止。
本实施方式在辊式输送机33输送工件W这方面与第1实施方式不同，辊式输送机33具有与第1实施方式的带式输送机13相同的功能。因此，本实施方式的在线式涂敷装置30和在线式涂敷方法发挥出与第1实施方式相同的效果。
(第4实施方式)
如图5所示，在第4实施方式的在线式涂敷装置40中，作为输送部而具有在将工件W吊挂起来的状态下进行输送的链式输送机43来代替第2实施方式的带式输送机13。对于其他结构而言，本实施方式与第2实施方式大致相同。在图5中，对于与第2实施方式相同的结构标注相同的附图标记，另外省略重复说明。
链式输送机43具有：轨道433；可使工件W相对于轨道433移动地支承工件W的支承构件430(导电部)以及与支承构件430相连接的链条434。支承构件430和链条434是绝缘的。链条434将支承构件430彼此连结起来。通过牵引链条434，使支承构件430沿着轨道433移动来输送工件W。牵引链条434的驱动源例如是马达。
支承构件430具有：轨道安装部431，其可移动地安装于轨道433；吊挂部432，其与轨道安装部431相连接，用于吊挂工件W。轨道安装部431包含例如以钩挂在轨道433上的方式构成的、并且沿着轨道433滚动的车轮。吊挂部432具有嵌合于工件W的周缘的框架形状。支承构件430具有导电性。支承构件430与工件W电连接。
本实施方式的电压施加部44具有与支承构件430滑动接触的电刷445、446、447、448、449。电源140与电刷445电连接。电源140与电极211电连接。电源141与电刷446电连接。电源141与靶材221电连接。电源142与电刷447电连接。电源142与靶材222电连接。电源143与电刷448电连接。电源143与靶材223电连接。电源144与电刷449电连接。电源144与靶材224电连接。
当支承构件430沿着轨道433移动而与电刷445接触、并且工件W与电极211相对时，对工件W进行撞击处理。电极211以与工件W的两个面相对的方式配置，因此，对工件W的两个面进行撞击处理。支承构件430与电刷445接触并与电刷445电连接。偏压借助支承构件430施加于工件W。当支承构件430进行移动而从电刷445离开时，在支承构件430和支承构件430之间工件W与电源140的电连接被切断，因此，撞击处理停止。
当支承构件430沿着轨道433移动而与电刷446接触、并且工件W与靶材221相对时，对工件W进行涂敷。靶材221以与工件W的两个面相对的方式配置，因此，对工件W的两个面进行涂敷。支承构件430与电刷446接触并与电刷446电连接。当支承构件430进行移动而从电刷446离开时，在支承构件430和支承构件430之间，工件W与电源141的电连接被切断，因此，涂敷停止。
当支承构件430进行移动而与电刷447接触、并且工件W与靶材222相对时，对工件W的两个面进行涂敷。当支承构件430进行移动而从电刷447离开时，涂敷停止。
当支承构件430进行移动而与电刷448接触、并且工件W与靶材223相对时，对工件W的两个面进行涂敷。当支承构件430进行移动而从电刷448离开时，涂敷停止。
当支承构件430进行移动而与电刷449接触、并且工件W与靶材224相对时，对工件W的两个面进行涂敷。当支承构件430进行移动而从电刷449离开时，涂敷停止。
本实施方式在链式输送机43以吊挂着工件W的状态进行输送这方面与第2实施方式不同，链式输送机43具有与第2实施方式的带式输送机13和夹具23相同的功能。因此，本实施方式的在线式涂敷装置40和在线式涂敷方法发挥出与第2实施方式相同的效果。
(第5实施方式)
在图6中概括地讲，虽然第5实施方式的在线式涂敷装置50与第4实施方式相同，是一边输送吊挂起来的工件W2一边进行涂敷，但是工件W2的形状和用于输送工件W2的输送部的结构与第4实施方式不同。在图6中，对与第4实施方式共通的结构标注相同的附图标记。
输送部具有沿着工件W2的输送方向延伸的线状构件53。线状构件53由具有例如马达等的驱动装置牵引而沿长度方向移动。工件W2与线状构件53一起移动。线状构件53具有用于吊挂工件W2的线缆530、和设置于线缆530之间的绝缘体531。相邻的工件W2彼此被绝缘体531绝缘。
如图7所示，工件W2在具有将端部弯曲而成的弯曲部W21(钩挂部)这方面与其他的实施方式的工件W不同。工件W2利用弯曲部W21钩挂在线缆530上而被吊挂起来。弯曲部W21以使线缆530相对于靶材221、222、223、224不露出的方式覆盖线缆530。
如图6所示，本实施方式的电压施加部54具有伴随着工件W2的输送而与绝缘体531和弯曲部W21交替地滑动接触的电刷545、546、547、548、549。电极211和靶材221、222、223、224以及电源140、141、142、143、144与第4实施方式相同。
电刷545与电源140电连接。电刷546与电源141电连接。电刷547与电源142电连接。电刷548与电源143电连接。电刷549与电源144电连接。
在输送工件W2且电刷545与弯曲部W21接触时，电极211与工件W2相对，并且电刷545与工件W2电连接，从而将偏压施加于工件W2。
在输送工件W2且电刷546与弯曲部W21接触时，靶材221与工件W2相对，并且电刷546与工件W2电连接，从而将偏压施加于工件W2。
在输送工件W2且电刷547与弯曲部W21接触时，靶材222与工件W2相对，并且电刷547与工件W2电连接，从而将偏压施加于工件W2。
在输送工件W2且电刷548与弯曲部W21接触时，靶材223与工件W2相对，并且电刷548与工件W2电连接，从而将偏压施加于工件W2。
在输送工件W2且电刷549与弯曲部W21接触时，靶材224与工件W2相对，并且电刷549与工件W2电连接，从而将偏压施加于工件W2。
在工件W2分别与电极211以及靶材221、222、223、224相对时的各种情况下，对工件W2施加不同的偏压。在工件W2与电极211相对时，对两个面同时进行撞击处理。在工件W2分别与靶材221、222、223、224相对时的各种情况下，对两个面同时进行涂敷。
如图8所示，在涂敷后，因为不需要弯曲部W21而将其除去，从而形成固体高分子燃料电池所使用的隔板S。弯曲部W21例如被刀刃B或者激光切断并除去。
隔板S具有作为工件W2的基材S1、以及形成于基材S1的表面的涂层S2和涂层S3。
形成基材S1的材料例如是铁、钛、铝以及这些金属的合金。在铁合金中包含不锈钢。
涂层S2是在工件W2经过靶材221和靶材222时形成的。涂层S2具有将在经过靶材221时形成的层和在经过靶材222时形成的层重叠而成的两层结构。通过改变偏压，能够改变这两层的各自的特性。
形成涂层S2的材料例如是铬(Cr)、钨(W)、钛(Ti)、钼(Mo)、铌(Nb)或者铪(Hf)、或者它们的氮化物、碳化物或者碳氮化物，但并不限于此。能够通过改变形成靶材221、222的材料来改变形成涂层S2的材料。
涂层S3是在工件W2经过靶材223和靶材224时形成的。涂层S3具有将在经过靶材223时形成的层和在经过靶材224时形成的层重叠而成的两层结构。通过改变偏压，能够改变这两层各自的特性，例如改变导电性、硬度。
涂层S3例如由DLC(Diamond-Like-Carbon；类金刚石)形成，但并不限于此。能够通过改变形成靶材223、224的材料来改变形成涂层S3的材料。
基材S1和隔板S具有图9所示的俯视观察为矩形的形状。构成矩形形状的外周的一条边的端面S4具有与构成其他剩余的边的端面S5、S6、S7不同的性状。
如图8和图9所示，端面S4与端面S5、S6、S7不同，是切断作为基材S1的端部的弯曲部W21而形成的切断面。另一方面，在端面S5、S6、S7上，在进行涂敷时，涂敷材料将会附着于基材S1的端面。因此，在作为切断面的端面S4上，未附着有涂敷材料而使基材S1露出的比例比端面S5、S6、S7大。
端面S4具有与构成其他剩余的边的端面S5、S6、S7不同的性状并不限于像这样基材S1的端面的露出比例不同的方式。例如，在图9所示的俯视观察中，包含端面S4不是直线形状而具有与其他的端面S5、S6、S7不同的形状的方式。
在本实施方式中，在对工件W2施加偏压时，与靶材221、222、223、224相对的线缆530被工件W2遮盖。因此，能够防止涂敷材料向输送部附着，从而能够减少利用喷砂处理等将附着于输送部的不需要的涂敷材料除去的维护的麻烦。因此，本实施方式除了第4实施方式的效果以外，发挥出能够进一步提高批量生产性这样的效果。另外，在对工件W2施加偏压时，绝缘体531从靶材221、222、223、224离开，因此，在绝缘体531上未堆积涂敷材料。
防止涂敷材料向输送部附着的结果是，能够防止该涂敷材料剥离并作为异物附着于工件W2。因此，增加合格品的比例。
弯曲部W21被钩挂在线缆530上，因此，能够通过弯曲部W21，对所输送的工件W2施加与靶材221、222、223、224相应的适合的偏压。
将工件W2钩挂在线缆530上进行输送，因此，输送部无需具备用于吊挂工件W2的夹具，因此，能够将输送部的结构简单化。另外，省去了将工件W2放置在用于吊挂工件W2的夹具上的麻烦，使作业变得容易。
(第6实施方式)
在图10中概括地讲，在第6实施方式的在线式涂敷装置60中，作为输送部的带式输送机63的结构和工件W在带式输送机63上的配置与第1实施方式不同。对于其他的结构而言，本实施方式与第1实施方式大致相同。在图10中，针对与第1实施方式共通的结构，标注相同的附图标记。
带式输送机63具有在输送方向上交替地排列设置的导电部630和绝缘体631。导电部630和绝缘体631构成带部。导电部630例如由金属形成。绝缘部631例如由树脂形成。导电部630具有平板形状。绝缘体631在导电部630的厚度方向突出。相邻的导电部630彼此被绝缘体631绝缘。
在输送方向上彼此隔开间隔的相邻的绝缘体631之间，工件W以一端与一侧的绝缘体631的侧部抵接、另一端搭在另一侧的绝缘体631上的方式倾斜配置。相邻的工件W彼此被绝缘体631绝缘。工件W与导电部630接触且与导电部630电连接。
当导电部630进行移动而与电刷145接触时，借助导电部630由电源140向工件W施加偏压，以对工件W进行撞击处理。当导电部630进行移动而与电刷146接触时，借助导电部630由电源141向工件W施加偏压，以对工件W进行涂敷。当导电部630进行移动而与电刷147接触时，借助导电部630由电源142向工件W施加偏压，以对工件W进行涂敷。当导电部630进行移动而与电刷148接触时，借助导电部630由电源143向工件W施加偏压，以对工件W进行涂敷。当导电部630进行移动而与电刷149接触时，借助导电部630由电源144向工件W施加偏压，以对工件W进行涂敷。
工件W将导电部630和绝缘体631遮盖起来。向与带部的表面正交的方向上投影的输送方向的工件W的大小与导电部630和绝缘体631的输送方向的宽度L1大致相等。另外，如图11所示，在与输送方向正交并且与带部的面平行的方向上，工件W的大小为带部的宽度L2以上。
这样一来，在本实施方式中，工件W将与靶材121、122、123、124相对的带部的上表面全体遮盖，因此，在涂敷时，能够防止涂敷材料向带式输送机63附着。因此，采用本实施方式，与第5实施方式一样，使装置的维护变得容易，另外，增加合格品的比例。
本发明并不限于上述的实施方式，能够在权利要求书的范围内进行各种改变。
例如，在上述实施方式中，虽然利用溅镀法对工件进行涂敷，但并不限于此，也可以是利用对工件施加偏压来进行涂敷的例如离子电镀法等其他方法对工件进行涂敷。在使用离子电镀法的情况下，使用蒸发源来代替上述实施方式的靶材121～124、221～224，该蒸发源是通过使用电子束等进行加热而使涂敷材料蒸发并释放出气体微粒。
另外，对于氧化膜除去部而言，只要利用撞击处理将工件表面的氧化膜除去即可，也可以在氧化膜除去部具有将加速了的离子向工件释放的离子枪来代替上述实施方式的电极111、211。
而且，本申请基于2012年10月1日申请的日本特许出愿编号2012-219459号以及2013年7月4日申请的日本特许出愿编号2013-140834号，它们的公开内容作为参照而整体被编入本申请中。
附图标记说明
10、20、30、40、50、60   在线式涂敷装置、
11、21、31、41、51、61   氧化膜除去部、
12、22、32、42、52、62   涂敷部、
13   带式输送机(输送部)、
14、34、44   电压施加部、
33   辊式输送机(输送部)、
43   链式输送机(输送部)、
53   线状构件、
111    电极、
121、122、123、124   靶材(涂敷材料)、
130   导电部、
211    电极、
221、222、223、224   靶材(涂敷材料)、
330、331、332、333、334   辊、
430   支承构件、
530   线缆、
531   绝缘体、
630   导电部、
631   绝缘体、
B   刀刃、
W、W2   工件、
W21   弯曲部(钩挂部)、
S   隔板、
S1   基材、
S2   涂层、
S3   涂层、
S4   端面(切断面)、
S5   端面、
S6   端面、
S7   端面。

Claims (15)

1.一种在线式涂敷装置，其中，其具有：
涂敷部，其具有排列成列的多个涂敷材料，用于对工件进行涂敷；
输送部，其在所述涂敷部中以使多个所述工件与所述多个涂敷材料相对的方式输送多个所述工件；以及
电压施加部，在输送所述工件并使所述工件与所述涂敷材料相对时，其用于向所述工件施加偏压以使所述工件吸引从所述涂敷材料释放出的微粒，
所述电压施加部能够在所述工件与一个所述涂敷材料相对时和该工件与其他涂敷材料相对时对所述工件施加不同的所述偏压。
2.根据权利要求1所述的在线式涂敷装置，其中，
该在线式涂敷装置具有氧化膜除去部，其相对于所述涂敷部而言设置在所述工件的输送方向上游侧，通过撞击处理将所述工件的表面的氧化膜除去，
所述输送部用于将所述工件从所述氧化膜除去部向所述涂敷部输送，所述电压施加部能够在所述氧化膜除去部对所述工件施加撞击处理时对所述工件施加与在所述涂敷部中所述工件和所述涂敷材料相对时所施加的偏压不同的偏压。
3.根据权利要求1或2所述的在线式涂敷装置，其中，
通过在进行所述工件的输送的同时，将所述工件和所述电压施加部之间电连接以及切断所述工件和所述电压施加部之间的电连接，来对向所述工件施加所述偏压和停止施加所述偏压这两种情况进行切换。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的在线式涂敷装置，其中，
所述工件将所述输送部中的、被施加所述偏压时与所述涂敷材料相对的部位遮盖。
5.根据权利要求4所述的在线式涂敷装置，其中，
所述输送部具有沿着所述工件的输送方向延伸的线状构件，所述工件在该工件的一部分被钩挂于所述线状构件地输送的同时，利用钩挂于所述线状构件的钩挂部，将所述线状构件中的、在施加所述偏压时与所述涂敷材料相对的部位遮盖。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的在线式涂敷装置，其中，
所述涂敷材料相对于所述工件而言配置在与所述工件的输送方向交叉的方向的两侧。
7.一种在线式涂敷方法，其中，其具有：
涂敷工序，在该涂敷工序中，以使多个工件与排列好的多个涂敷材料相对的方式输送多个工件，并且当所述工件与所述涂敷材料相对时，利用向所述工件施加的偏压使所述工件吸引从所述涂敷材料释放出的微粒，对所述工件进行涂敷，
在该涂敷工序中，在所述工件与一个所述涂敷材料相对时和在该工件与不同于所述一个涂敷材料的其他涂敷材料相对时，对所述工件施加不同的所述偏压。
8.根据权利要求7所述的在线式涂敷方法，其中，其具有：
氧化膜除去工序，其在所述涂敷工序之前，通过对所述工件施加偏压以进行撞击处理，来除去所述工件的表面的氧化膜，
在该氧化膜除去工序中，向所述工件施加与在所述涂敷工序中向所述工件施加的所述偏压不同的偏压。
9.根据权利要求7或8所述的在线式涂敷方法，其中，
通过在进行所述工件的输送的同时，将所述工件和用于施加所述偏压的电压施加部电连接以及切断所述工件和所述电压施加部的电连接，对向所述工件施加所述偏压和停止施加所述偏压这两种情况进行切换。
10.根据权利要求7～9中任一项所述的在线式涂敷方法，其中，
利用所述工件，将输送该工件的输送部中的、在施加所述偏压时与所述涂敷材料相对的部位遮盖。
11.根据权利要求10所述的在线式涂敷方法，其中，
在将所述工件钩挂在所述输送部所具有的、沿着所述工件的输送方向延伸的线状构件上以输送所述工件的同时，利用设置于所述工件的、用于与所述线状构件钩挂的钩挂部，将所述线状构件中的、在施加所述偏压时与所述涂敷材料相对的部位遮盖。
12.根据权利要求7～11中任一项所述的在线式涂敷方法，其中，
在所述涂敷工序中，所述工件在相对于所述工件而言配置在与所述工件的输送方向交叉的方向的两侧的所述涂敷材料之间输送。
13.一种隔板，该隔板在具有矩形形状的薄板状的基材上形成有涂层，其中，
构成所述矩形形状的外周的一边的端面具有与构成其他剩余的边的端面不同的性状。
14.根据权利要求13所述的隔板，其中，
具有不同性状的所述一个端面是通过切断所述基材的端部而形成的切断面。
15.根据权利要求14所述的隔板，其中，
被切断的所述基材的端部是与输送所述基材的线状构件钩挂且遮盖该线状构件的至少一部分的钩挂部。
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