CN102851721A

CN102851721A - 表面处理装置和电镀槽

Info

Publication number: CN102851721A
Application number: CN2012102099489A
Authority: CN
Inventors: 浅富士夫; 水本纯司
Original assignee: C Uyemura and Co Ltd
Current assignee: C Uyemura and Co Ltd
Priority date: 2011-06-30
Filing date: 2012-06-19
Publication date: 2013-01-02
Anticipated expiration: 2032-06-19
Also published as: JP2013011004A; US9657406B2; US20130001087A1; KR20130004118A; JP5731917B2; TWI554652B; CN102851721B; TW201313962A; KR102014306B1

Abstract

本发明提供一种表面处理装置和电镀槽，其防止了电镀槽内的板状工件的摆动，实现了电镀质量的提高，并且防止了搬送时基板的脱落或损伤。电镀槽（2a）具有：上部导轨（11），其设在电镀槽（2a）的上方并沿移动方向搬送搬送用吊架（15a）；和下部导轨（14），其设在电镀槽（2a）内并在与搬送用吊架（15a）的下部夹紧器（49）之间产生引力，当进行电镀处理时，通过产生引力来向下方拉伸搬送用吊架（15a）的下部夹紧器（49），由此对板状工件（W）施加张力。

Description

表面处理装置和电镀槽

技术领域

本发明涉及在表面处理装置中对印刷基板等板状工件进行电镀的技术，特别涉及用于提高电镀处理的质量的技术。

背景技术

（ⅰ）如图25的A、图25的B所示，在现有的表面处理装置中，在搬送用吊架中，将板状工件W以不会发生晃动的方式固定地安装于机架，一边搬送该机架一边进行表面处理（专利文献1）。

（ⅱ）而且，以往，为了将板状工件固定到搬送用吊架，使用了如图26所示形状的夹紧器48′（由可动部件48a′和固定部件48b′构成）（专利文献2）。

（ⅲ）此外，关于电镀处理，还存在下述的技术：通过配置对朝向板状工件的电镀流的流路进行限制的多孔板，从而防止电场向板状工件蔓延（专利文献3、4）；为了改善朝向板状工件的电力线的波动，在阳极与板状工件之间设置另一电极（专利文献5）。

专利文献1：日本实用新型注册第3153550号

专利文献2：日本特开2007-131869号

专利文献3：日本特公昭64-8077号

专利文献4：日本特开平6-101098号

专利文献5：日本特开2001-335991号

（ⅰ）但是，在如图25的A、图25的B所示的搬送用吊架那样一直沿上下方向拉伸保持板状工件的情况下，有可能在搬送时因上升下降等的冲击使基板脱开，或者薄的基板因冲击而被破坏。另一方面，在电镀槽内，为了在平面的状态下进行电镀处理，存在着拉伸基板的必要性。这是因为，如果在板状工件因液压而摆动并弯曲的状态下进行电镀的话，就会成为不合格品。

（ⅱ）而且，由于图26所示的专利文献2的夹紧器相对于基板在电气方面是非对称的，因此在基板的表面和背面通电的电量I1和I2不同，存在着镀层的厚度在基板的表面和背面产生差异的问题。

（ⅲ）在电镀槽内循环的液流平缓的情况下，采用了将专利文献3、4所示的多孔板配置在基板附近的方法，但所述方法被认为并不适于电镀液流猛烈流动的情况。而且，专利文献5的传导层结构虽然可以改善电力线的波动，但不能有效地限制液流。

发明内容

（1）本发明的表面处理装置具备：

搬送用吊架，所述搬送用吊架搬送被处理物；

电镀槽，所述电镀槽具有保持电镀处理液的槽体；以及

升降机构，所述升降机构用于使安装有被处理物的搬送用吊架下降到所述电镀槽，或者在被处理物经电镀处理之后使所述搬送用吊架从所述电镀槽上升，所述表面处理装置的特征在于，

所述搬送用吊架具备：上部把持部，所述上部把持部把持被处理物的上部；和下部把持部，所述下部把持部把持被处理物的下部，

所述电镀槽具备：上部导轨，所述上部导轨沿预定的移动方向搬送所述搬送用吊架；和引力产生部件，所述引力产生部件设于所述槽体的预定位置，所述引力产生部件在与所述搬送用吊架的下部把持部之间产生引力。

由此，能够只在电镀处理所需的电镀槽内拉伸工件。因此，能够实现电镀处理的质量提高，而且，能够防止因在没有拉伸的必要时进行拉伸而产生的工件脱落或损伤的发生。

（2）本发明的电镀槽是用于对被处理物进行电镀的电镀槽，其特征在于，所述电镀槽具有：

槽体，所述槽体沿被处理物的移动方向延伸设置，并且所述槽体保持电镀处理液；

阳极单元，所述阳极单元被设在所述槽体内；

搬送用吊架，所述搬送用吊架在保持了被处理物的状态下沿所述移动方向移动，并且所述搬送用吊架具备对被处理物在上部进行把持的上部把持部和对被处理物在下部进行把持的下部把持部；

上部导轨，所述上部导轨设在所述槽体的上方，并且所述上部导轨沿所述移动方向搬送所述搬送用吊架；和

引力产生部件，所述引力产生部件设在所述槽体内，并且所述引力产生部件在与所述搬送用吊架的下部把持部之间产生引力。

由此，能够在电镀处理时拉伸工件。因此，能够实现电镀处理的质量提高，而且，能够防止因在没有拉伸的必要时进行拉伸而产生的工件脱落或损伤的发生。

（3）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

所述搬送用吊架还具备框体部件，所述框体部件将所述上部把持部和所述下部把持部连接起来而构成框体。

由此，能够防止由把持于板状工件下端的下部夹紧器对板状工件施加必要以上的载荷。

（4）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

所述搬送用吊架的所述框体部件与所述上部把持部一体地连接，

所述搬送用吊架的下部把持部是能够相对于所述框体部件移动的结构。

由此，在与下部导轨之间产生引力时，搬送用吊架的下部夹紧器相对于与框体部件连接的上部夹紧器移动，由此能够对板状工件施加张力。

（5）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

所述搬送用吊架的所述框体部件与所述下部把持部一体地连接，

所述搬送用吊架的上部把持部是能够相对于所述框体部件移动的结构。

由此，在与下部导轨之间产生引力时，与框体部件连接的搬送用吊架的下部夹紧器相对于上部夹紧器移动，由此能够对板状工件施加张力。

（6）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

在所述下部导轨与搬送用吊架的下部把持部之间产生引力之前，利用弹性部件承受来自所述下部把持部的载荷并在预定位置达到平衡，由此成为在所述被处理物未产生张力的状态，

在所述下部导轨与搬送用吊架的下部把持部之间产生引力之后，所述搬送用吊架的下部把持部克服弹性部件的力而相对于上部把持部伸长，由此成为在所述被处理物产生有张力的状态。

由此，能够利用弹簧使搬送用吊架伸长，不仅能够吸收在搬送时对板状工件的冲击，而且在产生引力后的状态下，还能够确保拉伸量，并且能够缓和牵拉时的冲击。

（7）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

所述搬送用吊架具备用于固定多个所述下部把持部的下部固定部件，在所述下部固定部件的内部设有空洞。

由此，在浸于电镀槽内的处理液的状态下，能够使下部固定部件产生浮力，从而能够在与固定导轨之间产生引力时缓和冲击。

（8）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

在所述搬送用吊架的下部把持部设有铁磁性体，

作为与所述搬送用吊架的下部把持部之间产生引力的所述引力产生部件，在所述槽体内的预定位置设有下部导轨，并沿所述搬送方向在所述下部导轨设有硬磁性体。

由此，能够在与固定导轨之间产生引力，并且由于没有在搬送用吊架使用磁铁，因此能够防止搬送用吊架被磁力吸引到构成表面处理装置的金属部分。

（9）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

在所述下部导轨设有沿所述搬送方向延伸的导向槽，

将所述硬磁性体使用在所述导向槽的底部。

由此，在电镀槽内，能够沿导向槽对搬送用吊架15的下部进行引导。

（10）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

通过与所述被处理物的长度对应地变更所述框体部件的长度，能够调节所述上部把持部与所述下部把持部的间隔，并且能够与所述被处理物的长度对应地调节所述下部导轨的高度位置。

由此，能够与尺寸不同的基板对应地在板状工件拉伸开的状态下进行电镀处理。

（11）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

所述搬送用吊架的上部把持部和下部把持部中的至少上部把持部构成为通电路径相对于被处理物的两表面对称。

由此，能够在板状工件的两表面使通电量均匀化，并使镀层厚度相同，从而能够实现电镀质量的提高。

（12）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

所述搬送用吊架的上部把持部和下部把持部中的至少上部把持部成形为相对于被处理物对称的形状，并且在对应的部分使用同样的材料。

由此，能够在板状工件的两表面通过夹紧器使通电路径达到对称，能够实现电镀质量的提高。

（13）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

所述表面处理装置或电镀槽具备：

喷出单元，所述喷出单元朝向被处理物喷出电镀处理液；和

电场限制单元，所述电场限制单元配置在所述喷出单元和被处理物之间，并且所述电场限制单元由沿朝向被处理物的方向成形的多个长孔构成。

由此，能够既维持电镀液的流速，又有效地改善电镀处理时的电场集中，从而能够实现电镀质量的提高。

（14）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

从所述喷出单元喷出的电镀处理液所对准的部分的长孔的大小成形为比电镀处理液未对准的部分的长孔小。

由此，能够既改善基板附近的电镀液的流速不均，又有效地改善电镀处理时的电场集中，从而能够实现电镀质量的提高。

（15）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

所述电场限制单元是与所述搬送用吊架的上部把持部的形状对应地切割成形而成的。

由此，能够有效地改善对板状工件进行把持的夹紧器附近的电场集中，从而能够实现电镀质量的提高。

（16）本发明的表面处理装置或电镀槽的特征在于，

所述表面处理装置或电镀槽具备：

电场限制单元，所述电场限制单元配置在所述喷出单元和被处理物之间，并且所述电场限制单元由沿朝向被处理物的方向成形的多个长孔构成；和

2个导电性有孔板，所述2个导电性有孔板从两侧夹持所述电场限制单元，并且所述2个导电性有孔板相互电连接。

由此，能够更加有效地改善电镀处理时的电场集中，能够提高电镀质量。

参考下述的附图和详细的说明，对于本领域技术人员来说，其它的目的、用途、效果是显而易见的。

附图说明

图1是从上方观察表面处理装置300的俯视图。

图2是从α1方向观察图1所示的表面处理装置300的侧视图。

图3是表示电镀槽2a的α2-α2截面（图1）的图。

图4是表示搬送用吊架15a（下部可动式）的结构的主视图。

图5是搬送用吊架15a（下部可动式）的β1-β1剖视图（图5的A）和从β2方向观察到的侧视图（图5的B）。

图6是从图3的γ方向观察到的电镀槽2的底面图。

图7是表示搬送用吊架15a的导向杆嵌于下部导轨14的导向槽62的状态的详细图。

图8是表示在到达下部导轨14上之前和之后作用于搬送用吊架15a的力的关系的主视图。

图9是表示搬送用吊架15b（上部可动式）的结构的主视图。

图10是搬送用吊架15b（上部可动式）的β1-β1剖视图（图10的A）以及从β2方向观察到的侧视图（图10的B）。

图11是说明在到达下部导轨14上之前和之后作用于搬送用吊架15b的力的关系的侧视图。

图12是表示另一实施方式中的电镀槽2b结构的图。

图13是表示板状工件W、多孔体H、2个多孔电极P1、P2以及分布器106的配置关系的图。

图14是表示与分布器106的位置对应地变更了多孔体的孔大小的例子的图。

图15是表示另一实施方式中的搬送用吊架15c（无框体）的结构的主视图。

图16是表示另一实施方式中的搬送用吊架15d（上下可动式）的结构的主视图。

图17是表示另一实施方式中的搬送用吊架15d（上下可动式）的β1-β1剖视图（图17的A）以及从β2方向观察到的侧视图（图17的B）。

图18是表示另一实施方式中的电镀槽2c的结构的图。

图19是表示另一实施方式中的搬送用吊架15e的结构的图。

图20是表示另一实施方式中的电镀槽2d的结构的图。

图21是表示对搬送用吊架15a进行搬送的机构的主视图。

图22是表示对搬送用吊架15a进行搬送的机构的中央剖视图。

图23是表示设置在升降导轨的上部的间歇搬送单元的结构的俯视图。

图24是表示定位搬送单元18的结构的图。

图25是表示现有技术的搬送用吊架150的结构的图。图25的A是搬送用吊架150的主视图，图25的B是搬送用吊架150的A-A剖视图。

图26是表示现有技术的夹紧器48′的形状的图。

图27是表示另一实施方式中的电镀槽2e的结构的图。

具体实施方式

1.表面处理装置300的结构

用图1和图2对用于进行电镀处理的表面处理装置300进行说明。另外，图1是从上方观察表面处理装置300的俯视图。图2是从α1方向观察到的图1所示的表面处理装置300的侧视图。

如图1和图2所示，表面处理装置300是所谓推进式的电镀装置。在表面处理装置300设有图1所示那样的为直线状且高度固定的固定导轨11、13以及为U字状并能够上下地升降的升降导轨10、12。搬送用吊架15以能够沿图1所示的箭头A1、A2和箭头B1、B2方向移动的方式安装于固定导轨11、13和升降导轨10、12，所述搬送用吊架15用于保持被处理物、亦即作为电镀处理的对象的板状工件W（印刷基板等）。

在图1的装料部8，在升降导轨10下降后的状态下，将板状工件W安装于搬送用吊架15。安装有板状工件W的搬送用吊架15在与升降导轨10一起上升后，通过图2所示的间歇搬送单元17（图23）的驱动而向箭头A1的方向移动，将板状工件W运送到预处理槽1的上部（参考图1的位置（c））。在该状态下，升降导轨10下降，将板状工件W浸渍于预处理槽1进行预处理。

接着，升降导轨10再次上升，保持于搬送用吊架15的板状工件W通过间歇搬送单元17（图23）的驱动而进一步向箭头A1的方向移动。由此，将板状工件W搬运到电镀槽2的上部（参考图1的降下位置（x））。

在该状态下，升降导轨10下降，将板状工件W与搬送用吊架15一起浸渍于电镀槽2。在升降导轨10下降后，如图2的虚线所示，升降导轨10达到与固定导轨11相同的高度，通过定位搬送单元18的驱动，使搬送用吊架15从升降导轨10向固定导轨11移动。在该实施方式中，将设在电镀槽2的上方的固定导轨11称为上部导轨。

另外，图1所示的电镀槽2相当于需要在板状工件W拉伸了的状态下对该板状工件W进行液处理的第1处理槽，预处理槽1、回收槽3和水洗槽4相当于不必在板状工件W拉伸了的状态下对该板状工件W进行液处理的第2处理槽。

通过直线搬送单元19，使保持了板状工件W的搬送用吊架15在浸于电镀槽2的状态下沿固定导轨11向箭头B1的直线方向移动（参考图1的位置（b）和图1的位置（a））。在进一步移动后（参考图1的位置（g）），通过输出搬送单元20的驱动，将搬送用吊架15转移到处于下降状态的另一个升降导轨12（参考图1的提升位置（h））。在该状态下，升降导轨12上升，将电镀完成后的板状工件W从电镀槽2取出。

接下来，通过图2所示的间歇搬送单元22（图23）的驱动，使搬送用吊架15向箭头A2的方向移动以位于回收槽3的上部。在该状态下，升降导轨12下降，将板状工件W浸渍于回收槽3。

接着，升降导轨12上升，通过间歇搬送单元22的驱动，将保持于搬送用吊架15的板状工件W运送到水洗槽4的上部（参考图1的降下位置（j））。在该状态下，升降导轨12下降，将板状工件W浸渍于水洗槽4，实行电镀处理后的水洗。

然后，在图1的卸料部5，在升降导轨12下降了的状态下，从搬送用吊架15拆下板状工件W。通过间歇搬送单元22的驱动将拆下板状工件W后的搬送用吊架15向前运送（参考图1的位置（l）），在该状态下，升降导轨12下降，将搬送用吊架15浸渍于剥离槽6的处理液。

在剥离槽6，通过剥离液的作用，附着在搬送用吊架15的镀层被除去。在升降导轨12下降后，如图2的虚线所示，升降导轨12达到与固定导轨13相同的高度，通过定位搬送单元31的驱动，使搬送用吊架15从升降导轨12移动到固定导轨13。

通过直线搬送单元24，使剥离槽6内的搬送用吊架15在浸于剥离槽6的状态下沿固定导轨13向箭头B2的直线方向移动（参考图1的位置（m）（n））。当进一步移动后（参考图1的位置（o）），通过输出搬送单元25的驱动，将搬送用吊架15转移到处于下降状态的升降导轨10（参考图1的提升位置（f））。在该状态下，升降导轨10上升，将剥离完成后的搬送用吊架15从剥离槽6取出。然后，通过间歇搬送单元17（图23）的驱动，将搬送用吊架15运送到水洗槽7的上部（参考图1的位置（e））。

在该状态下，升降导轨10下降，将搬送用吊架15浸渍于水洗槽7，实行剥离处理后的水洗，然后再次在装料部8安装板状工件W。

按照上述那样的作业过程重复进行表面处理装置300中的搬送用吊架15的电镀处理。

在本发明中，仅于在电镀槽2中对板状工件W进行电镀处理的期间，通过由设在电镀槽2的底部的下部导轨14（图3）产生的引力向下方拉伸搬送用吊架15，从而将板状工件W拉长，而在其它位置，考虑到板状工件W的脱落或损伤，并不拉伸板状工件W。

下面，对为了达成所述目的而使用的电镀槽2以及搬送用吊架15的具体的结构等进行说明。

2.电镀槽2a和搬送用吊架15a的结构

图3表示本发明的电镀槽2a的α2-α2截面（图1）。在图3所示的电镀槽2a所具有的槽体100中填充电镀液至预定的高度。

在槽体100内进行电镀处理的板状工件W的上端部被搬送用吊架15的上部把持部即上部夹紧器48把持。而且，板状工件W的下端部被搬送用吊架15a的下部把持部即下部夹紧器49把持。搬送用吊架15a的下部夹紧器49构成为能够相对于上部夹紧器48移动。在下部夹紧器49与下部导轨14之间产生引力的状态下（亦即，将板状工件W拉伸开的状态下），通过后述的搬送机构的驱动，搬送用吊架15a在槽体100内移动。

在槽体100中设有：阳极单元（可溶性阳极）102、104，其用于提供电镀用的金属离子；喷出单元106，其向板状工件W喷出电镀处理液；和屏蔽单元109、112、113，其屏蔽电流以避免电流集中在板状工件W的端部。在图3所示的电镀槽2内，通过使阳极单元102、104与板状工件W之间通电，能够对板状工件W进行电镀处理。

[下部可动式的搬送用吊架15a的结构]

首先，利用图4和图5对图3所示的搬送用吊架15a的结构进行说明。在该实施方式中，以工件的尺寸为500×500mm、厚度为1mm以下的情况为例进行说明。另外，图4是表示搬送用吊架15a（下部可动式）的结构的主视图。图5是搬送用吊架15a（下部可动式）的β1-β1剖视图（图5的A）和从β2方向观察到的侧视图（图5的B）。

如图4所示，搬送用吊架15a具有把持被处理物W的上端的多个上部夹紧器48，这些上部夹紧器48被固定于上部固定部件50。上部固定部件50经由图5的B的侧视图所示的连接部件44与滑动部件35（图3）连接，所述滑动部件35相对于上部导轨11等导轨滑动接触。而且，在上部固定部件50的两端部固定有向下方延伸的框体部件51。框体部件51将上部夹紧器48和下部夹紧器49连接起来而构成框体。框体部件51成形为圆柱形。

并且，搬送用吊架15a具有把持被处理物W的下端的多个下部夹紧器49，这些下部夹紧器49被固定连接于下部固定部件52。在下部固定部件52的下表面，在2个部位设有导向杆55，所述导向杆55从设于下部导轨14的槽（图3所示的导向槽62）通过，在下部固定部件52的两端部设有圆孔，所述圆孔相对于与上部固定部件50固定连接的框体部件51的下端滑动。在导向杆55的内部包含有用于与下部导轨14之间产生引力的金属片56。

如上所述，通过将搬送用吊架15a的框体部件51与上部夹紧器48一体地连接起来，从而搬送用吊架15a的下部夹紧器49成为能够相对于框体部件51（以及上部夹紧器48）移动的结构。

作为上部固定部件50的材料，采用不锈钢等导电性金属。作为框体部件51的材料，采用不锈钢等导电性金属，并且框体部件51的与设于下部固定部件52的两端部的孔滑动接触的部分被用PVC（Polyvinyl chloride，聚氯乙烯）等树脂涂覆而成为能够顺畅地滑动的结构。作为下部固定部件52的材料，采用PVC等树脂。作为导向杆55的材料，采用低摩擦性的树脂（PP（Polypropylene，聚丙烯）、UHMVPE（超高分子量聚乙烯）等）。作为导向杆55的金属片56的材料，采用铁磁性体（铁、钴、镍等）。

而且，在搬送用吊架15a的框体部件51的下端设有支承下部固定部件52等载荷的弹簧53。并且，在框体部件51与下部夹紧器49之间连接有导线54，由此，能够通过框体部件51对下部夹紧器49进行通电。

如上所述，通过在搬送用吊架15a设置框体部件51，能够防止由把持板状工件W的下端的下部夹紧器49对板状工件W施加必要以上的载荷。

[双夹紧结构]

如图5的A所示，各上部夹紧器48由下述部件构成（双夹紧结构）：2个可动部件57，其以能够相对于上部固定部件50开合的方式安装；和2个弹簧58，其向使所述可动部件的末端闭合的方向施力，所述部件均由导电性的钢材成形而成。

如图5的A所示，上部夹紧器48成形为相对于板状工件W对称的形状，并且，在对应的部分使用同样的材料。由此，能够形成为通电路径相对于板状工件W的两表面对称的结构（确保电阻的一致性），从而能够在板状工件W的表面和背面使电镀处理的质量（厚度等）均匀化。

另一方面，如图5的A所示，各下部夹紧器49由下述部件构成（单夹紧结构）：一个可动部件59a，其以能够相对于下部固定部件52开合的方式安装；固定连接部件59b，其固定连接于下部固定部件52；和一个弹簧60，其向使可动部件59a的末端闭合的方向施力，所述部件均由导电性的钢材成形。

如上所述，只将上部夹紧器48形成为双夹紧结构，而将下部夹紧器49形成为单夹紧结构。另外，如图3所示，由于上部夹紧器48从顶端起的一半左右浸于电镀液中，因此由通电不稳定引起的问题很大，与此相对，由于下部夹紧器49整体浸于电镀液中，因此基本不会发生由通电不稳定引起的问题。

[下部导轨14的结构]

用图6和图7对图3所示的下部导轨14的结构在以下说明。另外，图6是从γ方向观察电镀槽2a（图3）的底面图。图7是表示搬送用吊架15a的导向杆55通过下部导轨14的导向槽62的状态的详细图。

如图6所示，下部导轨14被设在电镀槽2的浸渍位置（图1的（x）位置）和提升位置（图1的（h）位置）之间。而且，下部导轨14的入口14a为了对导向杆55进行导向而成形为锥状，并且下部导轨14设有沿被搬送的板状工件W向搬送方向延伸的导向槽62。从超过图6所示的锥状的位置到导向槽62的终端，在导向槽62的底部连续地埋入有永磁体61（硬磁性体）。下部导轨14的除永磁体61以外的部分由钢材成形而成。

如图7所示，导向杆55的底面与导向槽62的底面之间的间隔以及导向杆55的侧面与导向槽62的侧面之间的间隔被设计为在引力产生后的状态下形成预定间隔的间隙。导向杆55的底面与导向槽62的底面之间的间隔C1可以设定为例如2mm，导向杆55的侧面与导向槽62的侧面之间的间隔C2可以设定为例如1mm。

来自上部导轨11的电流依次经由滑动部件35、连接部件44、上部固定部件50、上部夹紧器48（或者经由框体部件51到下部夹紧器49）的通电路径被供给到板状工件W。

[产生引力前后的力的关系]

接下来，利用图8对作用于搬送用吊架15a和下部导轨14的力的关系进行说明。图8是表示在到达下部导轨14之前和之后作用于搬送用吊架15a的力的关系的图。

如图8所示，在下降到了电镀槽2的搬送用吊架15a到达下部导轨14之前作用的力只是弹簧53的力FS1和搬送用吊架15a的下部载荷M（下部夹紧器49、下部固定部件52和导向杆55等的总重量）（由于浮力FB非常小，因此忽略不计）。从而，力的平衡通过（算式）2×FS1=M表示。此时，通过将上式代入FS1=k×x1，从而由x1=M/2k（k是弹簧常数）得到弹簧的收缩量x1。

这样，在下部导轨14与搬送用吊架15的下部夹紧器49之间产生引力之前，通过弹簧53支承下部载荷，能够形成为板状工件W松弛的状态（在板状工件W未产生张力的状态）。通过利用弹簧53使搬送用吊架15a伸长，不仅能够吸收板状工件W被搬送时的冲击，而且在产生引力后的状态下还能够确保拉伸量，并且能够缓和牵拉时的冲击。

另一方面，在下降到了电镀槽2的搬送用吊架15a到达下部导轨14，下部导轨14与搬送用吊架15a的下部夹紧器49之间产生引力Fm（r）之后，如图8所示，搬送用吊架的下部夹紧器49克服弹簧53的力FS2而相对于上部夹紧器48向下方移动并伸长，由此能够形成为将板状工件W拉伸开的状态（在板状工件W产生了张力的状态）。

在搬送用吊架15a到达下部导轨14时作用的力如图8所示，在弹簧53的力FS2（＞FS1）和下部载荷M（下部夹紧器49、下部固定部件52和导向杆55的总重量）上，还追加了所述搬送用吊架15a的下部夹紧器49与下部导轨14之间产生的引力Fm（r）。因而，在产生引力后的状态下的力的平衡由（算式）2×FS2=M+2×Fm（r）表示。此处，Fm（r）表示磁力Fm的大小根据与永磁体61的中心之间的距离而变化。

在板状工件W产生上下方向的张力的条件为：下部载荷M与2个引力Fm（r）的合力大于弹簧53的向上的力（2×FS2）。亦即，当弹簧相对于自然长度的收缩量为x2时，根据（算式）M+2×Fm（r）＞2×kx2，只要产生满足（算式）Fm（r）＞kx2-M/2的引力即可。图8所示的弹簧53的收缩量Δx通过从在产生引力Fm（r）后的状态下的弹簧53相对于自然长度的收缩量x2减去在未产生引力Fm（r）的状态下的弹簧53相对于自然长度的收缩量x1而得到。

[板状工件W的安装和拆卸方法]

在以下说明板状工件W相对于搬送用吊架15的安装和拆卸方法。

在图1的装料部8中安装板状工件W时，将搬送用吊架15a的下部固定部件52稍稍顶起，使上部夹紧器48和下部夹紧器49（图4）打开。在该状态下，利用具有卡盘机构的基板安装装置（未图示）将板状工件W夹起，将板状工件W的上端和下端插入到上部夹紧器48和下部夹紧器49（图4），然后闭合夹紧器。

此时，若解除搬送用吊架15a的下部固定部件52的顶起状态，则弹簧53因图8所示的下部载重M而收缩，但优选此时调节框体部件51的长度以使板状工件W成为松弛状态。

在拆卸图1的卸料部5中的板状工件W时，首先，在利用具有卡盘机构的基板安装装置（未图示）夹持板状工件W的状态下，打开上部夹紧器48和下部夹紧器49（图4），将下部固定部件52稍稍压下并拉出板状工件W，从而完成拆卸。

3.第2实施方式

在所述实施方式中，对下部可动式的搬送用吊架15a（图4、图5）进行了说明，但也可以采用如图9和图10所示的上部可动式的搬送用吊架15b。亦即，也可以构成为，搬送用吊架15b的框体部件51与下部夹紧器49一体地连接起来，使搬送用吊架15b的上部夹紧器48能够相对于框体部件51（和下部夹紧器49）移动。另外，图9是表示上部可动式的搬送用吊架15b的结构的图。图10是上部可动式的搬送用吊架15b的β1-β1剖视图（图10的A）以及从β2方向观察到的侧视图（图10的B），图9和图10分别对应图4、图5。

如图9所示，搬送用吊架15b具有把持被处理物W的上端的多个上部夹紧器48，这些上部夹紧器48与上部固定部件50′固定连接。上部固定部件50′经由图10的B的侧视图所示的连接部件44与滑动部件35（图3）连接在一起，所述滑动部件35能够相对于上部导轨11等导轨滑动接触。而且，在上部固定部件50′的两端部设有圆孔，所述圆孔相对于与下部固定部件52固定连接的框体部件51的上端滑动。另外，为了将圆孔设在框体部件51的上端与上部固定部件50′不会抵触的位置，上部固定部件50′采用与图5的B所示的上部固定部件50不同的形状。

并且，搬送用吊架15b具有把持被处理物W的下端的多个下部夹紧器49，这些下部夹紧器49与下部固定部件52固定连接。在下部固定部件52的下表面，在2个位置设有导向杆55，所述导向杆55从设于下部导轨14的槽（图3所示的导向槽62）通过，在下部固定部件52的两端部固定连接有向上方延伸的框体部件51。在导向杆55的内部包含有用于与下部导轨14之间产生引力的金属片56。框体部件51成形为圆柱形。

作为上部固定部件50′的材料，采用不锈钢等导电性金属。作为框体部件51的材料，采用不锈钢等导电性金属，框体部件51的与设于上部固定部件50′的两端部的孔滑动接触的部分被用PVC等树脂涂覆，从而成为能够顺畅地滑动的结构。作为下部固定部件52的材料，采用PVC等树脂。作为导向杆55的材料，采用低摩擦性的树脂（PP、UHMVPE（超高分子量聚乙烯）等）。作为导向杆55的金属片56的材料，采用铁磁性体（铁、钴、镍等）。

在搬送用吊架15b的框体部件51的上端设有对下部固定部件52等的载荷进行支承的弹簧63。并且，在框体部件51与下部夹紧器49之间连接有通电部件64，由此能够经由框体部件51对下部夹紧器49进行通电。

上部夹紧器48的双夹紧结构和下部导轨14的结构，与图5的A和图6以及图7所示的结构相同。

对于作用在图11所示的搬送用吊架15b和下部导轨14的力的关系来说，如以下所示地也是相同的关系。

用于使板状工件W产生上下方向的张力的条件是：下部载荷M和2个引力Fm（r）的合力大于弹簧63的向上的力（2×FS2）。亦即，当将弹簧63相对于自然长度的收缩量设为x3时，根据（算式）M+2×Fm（r）＞2×kx3，只要产生满足（算式）Fm（r）＞kx3-M/2的引力即可。另外，图11所示的弹簧63的收缩量Δx通过从在产生引力Fm（r）后的状态下弹簧63相对于自然长度的收缩量x3减去在没有产生引力Fm（r）的状态下弹簧63相对于自然长度的收缩量x1而得到。

4.第3实施方式

在图3所示的电镀槽2a中，设有作为向板状工件W喷出电镀处理液的喷出单元的分布器106，不过，也可以如图12所示的电镀槽2b那样进一步构成为：设有作为向板状工件W喷出电镀处理液的喷出单元的分布器106，在所述分布器106与板状工件W之间具有：多孔体H，其作为电场限制单元，由朝向板状工件W的方向成形的多个长孔构成；和2个导电性有孔板P1、P2，其从两侧夹持电场限制单元地进行配置并相互电连接。

图13是表示板状工件W、多孔体H、2个多孔电极P1、P2和分布器106的配置关系的图。如图13所示，从板状工件W起依次地排列有多孔电极P1、多孔体H、多孔电极P2、分布器106。通过这样的排列，能够从板状工件W到多孔电极P1、P2、阳极单元为止依次地形成阴极（W）-阳极（P1）–阴极（P2）-阳极（102、104）。另外，板状工件W的相反侧也是同样的排列。

图12所示的一对分布器106被设置成夹着板状工件W将喷嘴错开配置。多孔电极P1、P2采用将网状的导电材料安装于由导电性的钢材成形出的框架而成的电极。多孔电极P1、P2的配置如下进行：将其嵌入到形成于电镀槽2b的预定位置的凹部进行固定，并用导线将上部电连接起来。

多孔体H例如是将设有蜂窝形状的长孔的由PVC制成的材料成形为预期的厚度而成的，并且多孔体H沿搬送方向连续地配置。作为多孔体H，例如可采用厚度为几十mm、蜂窝的两表面宽度为几mm～20mm左右的多孔体。多孔体H被插入到多孔电极P1和P2之间。

根据上述的结构，由于利用多孔电极P1、P2将等电位面靠近板状工件W设置等原因，因此能够有效地改善电镀处理时的电场集中。

图14是表示与分布器106的位置对应地变更了多孔体H的孔大小的例子的图。如图14所示，将与分布器106的各喷嘴对应的位置，亦即，将喷出的电镀处理液所对准的部分E1的孔的大小形成得比其它部分E2小。例如，将喷出的电镀处理液所对准的部分的孔的大小形成为3mm，将其它部分的孔的大小形成为13mm。具体来说，可以将与E1部分对应的孔尺寸小的多孔体成形为圆柱状，将其嵌入到将与E2部分对应的孔尺寸大的多孔体呈圆柱状挖空而成的部分等来成形。

通过如此设定孔的大小，能够在板状工件W的附近实现电镀液的流速的均匀化，提高了电镀质量。

5.另一实施方式

另外，在所述实施方式中，在搬送用吊架15a设有框体部件51（图4、图5），但并不仅限于此，如图15所示，也可以是不设框体部件51的结构。

图15所示的搬送用吊架15c形成为除去了框体部件51和弹簧53（63）的结构。另外，对于下部夹紧器49，通过与上部夹紧器48连接的导线54来进行通电即可。由此，通过在搬送用吊架15c不设置框体部件51，板状工件W的安装容易。

另外，在所述实施方式中，对上部可动式的搬送用吊架15a（图4）进行了说明，不过，如图16和图17所示，也可以进一步采用框体部件51能够相对于固定部件50调节长度的结构。图16是表示上下可动式的搬送用吊架15d的结构的主视图。图17是表示上下可动式的搬送用吊架15d的β1-β1剖视图（图17的A）以及从β2方向观察到的侧视图（图17的B），图16和图17分别对应图4、图5。

图16所示的搬送用吊架15d的框体部件51′在插入到设于上部固定部件50的孔这一点上与图4所示的搬送用吊架15a不同。而且，在搬送用吊架15d的框体部件51′设有多个切槽D1和D2，并且形成为能够通过将图17的B所示的插棒71的末端嵌入至切槽D1或D2来将搬送用吊架15d固定在与板状工件W的长度对应的预定位置的结构。

另外，在所述实施方式中，将下部导轨14固定在电镀槽2的底部，但如图18所示，也可以具有用于调节下部导轨14的高度的高度调节单元220。

图18所示的高度调节单元220由驱动马达220a、带轮220b、连接索缆220c和驱动带220d构成，连接索缆220c的一端与带轮220b固定连接，连接索缆220c的另一端与下部导轨14连接在一起。通过利用驱动马达220a的驱动将连接索缆220c卷绕到带轮220b，从而使下部导轨14上升到预定高度。

另外，在所述实施方式中，作为弹性部件使用了弹簧，但也可以使用其它弹性部件（橡胶等）。

另外，在所述实施方式中，形成为利用作为弹性部件的弹簧53使上部夹紧器48和下部夹紧器49能够相对移动的结构（图3等），但也可以不设置弹性部件。

例如，如图19所示，在下部固定部件52的内部设置空洞52a等来产生浮力，从而在电镀槽2内能够与图3所示的弹簧53一起缓和对板状工件W的冲击，而且在不存在弹簧53的情况下，也能够缓和对板状工件W的冲击。

另外，在所述实施方式中，假定浮力FB非常小而忽略了浮力FB（图8），下面对浮力FB为不能忽略的大小的情况进行说明。

当考虑图8所示的浮力FB时，在下降到了电镀槽2的搬送用吊架15a到达下部导轨14之前作用的力为弹簧53的力FS1、搬送用吊架15a的下部载荷M（下部夹紧器49、下部固定部件52和导向杆55等的总重量）以及浮力FB。因而，力的平衡由（算式）2×FS1+FB=M表示。此时，将上式代入FS1=k×x1，通过x1=（M-FB）/2k得到弹簧的收缩量x1。

在搬送用吊架15a下降到电镀槽2内之前并不产生浮力FB，因此，力的平衡由（算式）2×FS0=M表示。此时，根据（算式）FS0=k×x0,通过x0=M/2k得到弹簧相对于自然长度的收缩量x0。由于x0＞x1，因此，当搬送用吊架15a下降到电镀槽2内后，弹簧53伸长FB/2k（=x0-x1）的量，搬送用吊架15a向上方移动。

在搬送用吊架15a到达下部导轨14时作用的力如图8所示，在弹簧53的力FS2（＞FS1）、下部载荷M（下部夹紧器49、下部固定部件52和导向杆55的总重量）以及浮力FB之上，还追加了与下部导轨14之间产生的引力Fm（r）。因而，产生引力后的状态下的力的平衡由（算式）2×FS2+FB=M+2×Fm（r）表示。

用于使板状工件W产生上下方向的张力的条件是：下部载荷M和2个引力Fm（r）的合力大于弹簧53的向上的力（2×FS2）和浮力FB的合力。亦即，当设弹簧相对于自然长度的收缩量为x2时，根据（算式）M+2×Fm（r）＞2×kx2+FB，只要产生满足（算式）Fm（r）＞kx2+（FB-M）/2的引力即可。另外，在所述实施方式中，在搬送用吊架15的导向杆55设有金属56，在下部导轨14设有永磁体61，从而产生引力，但并不仅限于此，也可以在搬送用吊架15的导向杆55设置永磁体、并在下部导轨14设置金属，或者在搬送用吊架15的导向杆55和下部导轨14均设置永磁体。

另外，也可以以覆盖下部导轨14（图7）的导向槽62和上表面的方式粘贴树脂薄片。由此，存在下述优点：只要拆下树脂薄片，就能够容易地除去积存在导向槽62的铁粉。

另外，在所述实施方式中，在下部导轨14设有导向槽62（图7），但并不仅限于此，也可以不设置导向槽62。而且，也可以在搬送用吊架15设置凹状的导向槽，在下部导轨14设置凸状的导向部。

另外，在所述实施方式中，将设有永磁体61的下部导轨14设在槽体100内，但并不仅限于此，也可以如图27所示的电镀槽2e那样，将永磁体61设置在槽体100的外部来产生引力。另外，在该情况下，优选的是，槽体100的材料不是磁性体。

另外，在所述实施方式中，为了产生引力而采用了永磁体，但并不仅限于此，也可以采用电磁铁等。

另外，在所述实施方式中，只将上部夹紧器48形成为双夹紧结构（图5的A），但也可以只将下部夹紧器49形成为双夹紧结构，或者将上部夹紧器48和下部夹紧器49都形成为双夹紧结构。

另外，在所述实施方式中，将夹紧器形状成形为相对于板状工件W对称，但只要在板状工件W的两侧具有同样的通电路径即可，也可以采用其它形状。

另外，在所述实施方式中，将多孔体H的孔形成为蜂窝形状（图14），但其它的形状也可以。而且，将多孔体H的孔形成为相同截面积的孔，但也可以形成为锥孔、中央截面积大而两端截面积小的孔等其它形状。

另外，在所述实施方式中，设有图12所示的2个多孔电极P1、P2，但也可以将其省略，例如，采用分布器106和多孔体H的组合。

另外，在所述实施方式中，设有图12所示的分布器106，但也可以将其省略，例如，采用2个多孔电极P1、P2和多孔体H的组合。

另外，在所述实施方式中，设有图12所示的多孔体H，但也可以将其省略，例如，采用2个多孔电极P1、P2和分布器106的组合。

另外，在所述实施方式中，将多孔体H形成为平面，但如图20所示，也可以与上部夹紧器48的形状对应地，以隔开预定的间隔的方式切割成形。

另外，在所述实施方式中，利用具有升降导轨10、12的表面处理装置300进行电镀处理，但也可以通过不具有升降机构的表面处理装置来实施本发明（例如，具备日本特开2010-121185号公报、日本特开2010-106288号公报、日本特开2010-100898号公报中所示的涨落槽（干满槽）的结构）。

6.关于表面处理装置300的各搬送机构

利用图21等，对本发明的搬送用吊架15的搬送机构进行说明。图21是表示安装于固定导轨11的搬送用吊架15a的结构的图。图22是图21所示的搬送用吊架15a和固定导轨11的中央剖视图。

如图21所示，搬送用吊架15具有：滑动部件35，其相对于固定导轨11滑动接触；和连接部件44，其连接所述滑动部件35。作为滑动部件35和连接部件44的材料，采用铜、黄铜等。

而且，如图22所示，在滑动部件35的上部固定连接有轴支承件36，所述轴支承件36具有与链带39（构成图1所示的直线搬送单元19）啮合的单向离合式的齿轮40。因此，能够使在固定导轨11、13上与链带39啮合的齿轮40在向前运送时等只朝向图21所示的B方向转动。

图21所示的推进件抵接面37是与作为搬送搬送用吊架15的搬送单元的间歇搬送单元17、22的推进件16（16a～16d）、21（21a～21d）（图23）抵接的部分。

图22的爪抵接部32是与作为搬送搬送用吊架15的搬送单元的定位搬送单元18的搬送爪30（图1）抵接的部分。下面，对这些用于搬送搬送用吊架15的各搬送单元进行说明。

在表面处理装置300中，通过下述的间歇搬送单元17、22、定位搬送单元18、23、直线搬送单元19、24以及输出搬送单元20、25搬送图21所示的搬送用吊架15。

首先，设在图2所示的升降导轨10、12的上部的间歇搬送单元17、22分别利用推进件16a～16d、21a～21d（图23）每次以一个间距的量间歇搬送位于升降导轨10、12的（c）～（f）、（h）～（k）位置的搬送用吊架15。图23是表示设在升降导轨10的上部的间歇搬送单元17的结构的俯视图。

图2所示的定位搬送单元18沿固定导轨11设置，该定位搬送单元18将从电镀槽2上方的（x）位置下降到被处理物浸渍部（基板浸渍部）2a内的搬送用吊架15（参考图2）转移到固定导轨11并向前运送到（b）的位置。此时，将该搬送用吊架15与前面的（a）位置的板状工件W之间的间隔调整为预定的宽度L1（例如，L1=5mm）。

图24表示定位搬送单元18的结构。图24所示的定位搬送单元18能够沿着沿固定导轨11另行设置的轨道在X、Y方向前后移动，并且该定位搬送单元18具有能够在图24的A所示的状态下利用弹簧向Z方向施力的搬送爪30。由此，当搬送搬送用吊架15时，首先，在定位搬送单元18向X方向移动时弹簧被压缩，在通过了图22所示的爪抵接部32上（图24的B的状态）后，所述定位搬送单元18向反方向（图24的C的Y方向）移动，搬送爪30钩挂在搬送用吊架15的爪抵接部32，从而将搬送用吊架15向图2所示的B1方向搬送。此时，定位搬送单元18的移动速度需要比直线搬送单元19的移动速度（亦即，链带39的移动速度）快，以追上用直线搬送单元19搬送的前方的搬送用吊架15。另外，剥离槽6侧的定位搬送单元23也采用与图24所示的所述电镀槽2侧的定位搬送单元18同样的结构和动作。

直线搬送单元19、24将由定位搬送单元18、23向前运送来的搬送用吊架15一边维持预定的间隔一边朝向（图1的箭头B1和B2的方向）搬送。

输出搬送单元20、25将由直线搬送单元19、24分别搬送到（g）、（o）位置的搬送用吊架15分别输出并转移到升降导轨12、10的（h）、（f）位置（图1）。另外，输出搬送单元20、25的结构和动作与图24所示的定位搬送单元18相同。

Claims

1.一种表面处理装置，所述表面处理装置具有：

搬送用吊架，所述搬送用吊架搬送被处理物；

电镀槽，所述电镀槽具有保持电镀处理液的槽体；和

升降机构，所述升降机构用于使安装有被处理物的搬送用吊架下降到所述电镀槽，或者在对被处理物进行电镀处理之后使所述搬送用吊架从所述电镀槽上升，

所述表面处理装置的特征在于，

所述搬送用吊架具有：

上部把持部，所述上部把持部把持被处理物的上部；和

下部把持部，所述下部把持部把持被处理物的下部，

所述电镀槽具有：

上部导轨，所述上部导轨沿预定的移动方向搬送所述搬送用吊架；和

引力产生部件，所述引力产生部件设于所述槽体的预定位置，并且所述引力产生部件在与所述搬送用吊架的下部把持部之间产生引力。

2.一种电镀槽，所述电镀槽用于对被处理物进行电镀，

所述电镀槽的特征在于，

所述电镀槽具有：

阳极单元，所述阳极单元设在所述槽体内；

搬送用吊架，所述搬送用吊架在保持有被处理物的状态下沿所述移动方向移动，并且所述搬送用吊架具有对被处理物在上部进行把持的上部把持部和对被处理物在下部进行把持的下部把持部；

引力产生部件，所述引力产生部件设在所述槽体的预定位置，并且所述引力产生部件在与所述搬送用吊架的下部把持部之间产生引力。

3.如权利要求1所述的表面处理装置或如权利要求2所述的电镀槽，其特征在于，

所述搬送用吊架还具有框体部件，所述框体部件将所述上部把持部和所述下部把持部连接起来而构成框体。

4.如权利要求3所述的表面处理装置或电镀槽，其特征在于，

5.如权利要求3所述的表面处理装置或电镀槽，其特征在于，

6.如权利要求4或权利要求5所述的表面处理装置或电镀槽，其特征在于，

在所述引力产生部件与搬送用吊架的下部把持部之间没有产生引力的状态下，利用弹性部件承受来自所述下部把持部的载荷并在预定位置达到平衡，由此成为在所述被处理物未产生张力的状态，

在所述引力产生部件与搬送用吊架的下部把持部之间产生了引力的状态下，所述搬送用吊架的下部把持部克服弹性部件的力而相对于上部把持部伸长，由此成为在所述被处理物产生了张力的状态。

7.如权利要求1～6中任何一项所述的表面处理装置或电镀槽，其特征在于，

所述搬送用吊架具有下部固定部件，所述下部固定部件用于固定多个所述下部把持部，在所述下部固定部件的内部设有空洞。

8.如权利要求1～7中任何一项所述的表面处理装置或电镀槽，其特征在于，

在所述搬送用吊架的下部把持部设有铁磁性体，

作为在与所述搬送用吊架的下部把持部之间产生引力的所述引力产生部件，在所述槽体内的预定位置设有下部导轨，并且沿所述搬送方向在所述下部导轨设有硬磁性体。

9.如权利要求8所述的表面处理装置或电镀槽，其特征在于，

在所述下部导轨设有导向槽，所述导向槽沿所述搬送方向延伸，

将所述硬磁性体使用在所述导向槽的底部。

10.如权利要求3～9中任何一项所述的表面处理装置或电镀槽，其特征在于，

通过与所述被处理物的长度对应地变更所述框体部件的长度，能够调节所述上部把持部和所述下部把持部之间的间隔，并且，能够与所述被处理物的长度对应地调节所述下部导轨的高度位置。

11.如权利要求1～10中任何一项所述的表面处理装置或电镀槽，其特征在于，

在所述搬送用吊架的上部把持部和下部把持部之中，至少上部把持部构成为使通电路径相对于被处理物的两表面对称。

12.如权利要求11所述的表面处理装置或电镀槽，其特征在于，

在所述搬送用吊架的上部把持部和下部把持部之中，至少上部把持部成形为相对于被处理物对称的形状，并且在对应的部分使用同样的材料。

13.如权利要求1～12中任何一项所述的表面处理装置或电镀槽，其特征在于，

所述表面处理装置或电镀槽还具有：

喷出单元，所述喷出单元朝向被处理物喷出电镀处理液；和

电场限制单元，所述电场限制单元被配置在所述喷出单元和被处理物之间，并且所述电场限制单元由沿朝向被处理物的方向成形的多个长孔构成。

14.如权利要求13所述的表面处理装置或电镀槽，其特征在于，

15.如权利要求13或权利要求14所述的表面处理装置或电镀槽，其特征在于，

16.如权利要求1～12中任何一项所述的表面处理装置或电镀槽，其特征在于，

所述电镀槽具有：

电场限制单元，所述电场限制单元被配置在所述喷出单元和被处理物之间，并且所述电场限制单元由沿朝向被处理物的方向成形的多个朝向被处理物的长孔构成；和

17.一种制造方法，所述制造方法是使用搬送用吊架来制造经过了电镀的被处理物的方法，所述搬送用吊架具有对被处理物在上部进行把持的上部把持部和对被处理物在下部进行把持的下部把持部，并且所述搬送用吊架用于在具有阳极单元的槽体内制造经过了电镀的被处理物，

所述制造方法的特征在于，

在保持有被处理物的状态下使搬送用吊架沿所述移动方向移动时，在设于所述槽体的预定位置的引力产生部件与所述搬送用吊架的下部把持部之间产生了引力的状态下进行通电，从而进行电镀处理。

18.一种表面处理装置，所述表面处理装置具有：

第1处理槽，所述第1处理槽需要在被处理物伸长了的状态下对被处理物进行液处理；

第2处理槽，所述第2处理槽不必在被处理物伸长了的状态下对被处理物进行液处理；和

搬送用吊架，所述搬送用吊架在保持有被处理物的状态下在所述处理槽内移动，并且所述搬送用吊架具有对被处理物在上部进行把持的上部把持部和对被处理物在下部进行把持的下部把持部，

所述表面处理装置的特征在于，

所述第1处理槽具有：上部导轨，该上部导轨设在所述第1处理槽的上部，并且该上部导轨用于搬送所述搬送用吊架；和引力产生部件，所述引力产生部件设在所述第1处理槽的下部，并且所述引力产生部件在与所述搬送用吊架的下部把持部之间产生引力，

所述第2处理槽具有上部导轨，该上部导轨设在所述第2处理槽的上部，并且所述第2处理槽用于搬送所述搬送用吊架，所述第2处理槽不具有在与所述搬送用吊架的下部把持部之间产生引力的部件。

19.一种制造方法，所述制造方法是使用搬送用吊架在具有阳极单元的槽体内制造经过了电镀的被处理物的制造方法，所述搬送用吊架具有对被处理物在上部进行把持的上部把持部和对被处理物在下部进行把持的下部把持部，

所述制造方法的特征在于，

在利用上部把持部和下部把持部保持了被处理物的状态下将搬送用吊架浸渍在保持于槽体的电镀处理液中，

在利用上部把持部和下部把持部保持了被处理物的状态下使搬送用吊架移动，

在设于所述槽体的预定位置的引力产生部件与所述搬送用吊架的下部把持部之间产生了引力的状态下，对所述基板和阳极单元通电。