CN102804600B - 表面声波滤波器以及使用其的分波器 - Google Patents

表面声波滤波器以及使用其的分波器 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种电特性优良的SAW滤波器以及分波器。SAW滤波器具备:压电基板(40);具有配置于压电基板(40)上的第1IDT电极(1)的表面声波元件(10);与第1IDT电极(1)电连接的第1信号布线(31);以及具有隔着绝缘部件(41)与第1信号布线(31)交叉的第1交叉部且围住表面声波元件(10)而形成的环状的基准电位布线(9)。

Description

表面声波滤波器以及使用其的分波器
技术领域
本发明涉及一种使用于移动通信设备等中的表面声波滤波器以及分波器。
背景技术
在现有技术中,在便携式电话机等通信终端的高频电路中使用利用了表面声波(下面简略标记为“SAW”)的SAW滤波器。SAW滤波器用于发送用滤波器、接收用滤波器、分波器等中。
近年来,对于SAW滤波器谋求衰减量的扩大、追加平滑-不平衡变换功能等,其电路构成有复杂化的倾向。为了实现这样的复杂的电路,已知使得不同电位的布线彼此立体交叉地来进行布线的牵引的技术(例如参照专利文献1的图9)。
通过采用这样的立体布线构造,由于能将多个接地用的布线连接于公共的接地端子,因此即使是由复杂的电路构成而形成的SAW滤波器,也能使其整体构造小型化。
但是,在上述的现有的SAW滤波器的情况下,SAW元件易受到外部的不需要的电磁波的影响,容易引起电特性的恶化。另外,基于接地布线的电感成分容易变大,这也是导致电特性的恶化的要因。
本发明是为了解决上述课题而被发明出的,其提供了一种电特性优良的SAW滤波器以及分波器。
专利文献1:特开2007-142491号公报
发明内容
本发明的一个形态的SAW滤波器具备:压电基板;表面声波元件,其具有位于所述压电基板上的第1IDT电极;第1信号布线,其与所述第1IDT电极电连接;和环状的基准电位布线,其具有隔着第1绝缘部件与所述第1信号布线交叉的第1交叉部,且围住所述表面声波元件。
另外,本发明的另一形态的SAW滤波器具备:压电基板;表面声波元件,其具有第1IDT电极和第2IDT电极,其中第1IDT电极位于所述压电基板上且具有第1信号用的汇流条导体以及第1基准电位用的汇流条导体,而第2IDT电极在所述压电基板上与所述第1IDT电极并排地被定位且具有第2信号用的汇流条导体以及第2基准电位用的汇流条导体;第1信号布线,其与所述第1信号用的汇流条导体电连接;第2信号布线,其与所述第2信号用的汇流条导体电连接;和环状的基准电位布线,其分别与所述第1以及第2基准电位用的汇流条导体连接,且围住所述表面声波元件。
另外,本发明的一个形态的分波器是具备发送用滤波器以及接收用滤波器的分波器,所述发送用滤波器以及接收用滤波器的至少一个是由上述表面声波滤波器形成的。
根据上述的SAW滤波器,由于基准电位布线按照围住表面声波的方式形成为环状,因此表面声波元件不易受到外部的不需要的电磁波的影响。另外,能使基准电位布线的电感成分较小。因此,能作出电特性优良的SAW滤波器。
另外,若将这样的SAW滤波器应用于分波器中,则能作出电特性优良的分波器。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式所涉及的SAW滤波器的俯视图。
图2是图1所示的SAW滤波器的主要部分放大图。
图3是表示比较例的SAW滤波器的图,(a)是俯视图,(b)是等效电路图。
图4是用于说明图1所示的SAW滤波器的效果的图,(a)是俯视图,(b)是等效电路图。
图5是表示比较例的SAW滤波器的图,(a)是俯视图,(b)是等效电路图。
图6是用于说明图1所示的SAW滤波器的效果的图,(a)是俯视图,(b)是等效电路图。
图7是第2实施方式所涉及的SAW滤波器的俯视图。
图8是第3实施方式所涉及的SAW滤波器的俯视图。
图9是第4实施方式所涉及的SAW滤波器的俯视图。
图10是第5实施方式所涉及的SAW滤波器的俯视图。
图11是用于说明图10所示的SAW滤波器的效果的图,(a)是俯视图,(b)是等效电路图。
图12是本发明的实施方式所涉及的分波器的俯视图。
图13是表示比较例1的分波器的俯视图。
图14是表示实施例1以及比较例1的分波器的共模隔离特性的图。
图15是表示实施例2以及比较例2的分波器的共模隔离特性的图。
图16是表示图1所示的SAW滤波器的变形例的主要部分的放大图。
具体实施方式
下面,参照附图来详细说明本发明的SAW滤波器以及分波器的实施方式。另外,各图案的大小以及图案间的距离等都是为了进行示意性表示,并不限定于此。
<表面声波滤波器>
(第1实施方式)
图1是表示第1实施方式所涉及的SAW滤波器100的俯视图。本实施方式的SAW滤波器100是作为具有平衡-不平衡变换功能的UMTS(通用移动通信系统)的Band1(发送频带:1920~1980MHz、接收频带:2110~2170MHz)的接收频带滤波器而使用的。
如图1所示,第1实施方式所涉及的SAW滤波器100具有:压电基板40、配置于压电基板40上的SAW元件10、围住SAW元件10而形成的环状的基准电位布线9、以及SAW谐振器11、12、13。
压电基板40例如由36°±3°Y切割X传输钽酸锂单结晶、42°±3°Y切割X传输钽酸锂单结晶、64°±3°Y切割X传输铌酸锂单结晶、41°±3°Y切割X传输铌酸锂单结晶、45°±3°X切割Z传输四硼酸锂单结晶构成。由于这些单结晶的机电耦合系数较大且SAW的传输损失较小,因此,优选作为压电基板40。另外,在使用这些单结晶中的由于氧缺陷、Fe等的固溶而使焦热电性显著减少的压电基板40而形成了SAW滤波器的情况下,也变得可靠性优良。压电基板40的厚度例如为0.1~0.5mm,形状为长方体状。
在压电基板40的主面上设有IDT(叉指换能器,Inter Digital Transducer)电极、信号布线、基准电位布线、端子等。这些IDT电极等通过对A1等金属膜进行图案形成来形成。
通过配置于压电基板40的主面上的5个IDT电极1~5和2个反射器电极6、7而形成SAW元件10。IDT电极1~5沿着SAW的传输方向(纸面的上下方向)而排列配置,在其两端配置有反射器电极6、7。SAW元件10是纵向耦合谐振器性的SAW滤波器元件。
5个IDT电极1~5中的IDT电极1、4、5与不平衡信号端子21电连接。另一方面,IDT电极中的IDT电极2与第1平衡信号端子22电连接,IDT电极3与第2平衡信号端子23电连接。在本实施方式中,在从不平衡信号端子21输入信号的情况下,按照从第1平衡信号端子22输出的信号的相位和从第2平衡信号端子23输出的信号的相位有180°差异的方式来形成IDT电极1~5。即,SAW元件10具有平衡-不平衡变换功能。另外,也可以将第1、第2平衡信号端子22、23作为输入用端子,而将不平衡信号端子21作为输出用端子。
图2是SAW元件10和包含其周边的布线的部分的放大俯视图。如图2所示,各IDT电极1~5具有在与SAW的传输方向正交的方向上延伸的多根电极指,这多个电极指连接于汇流条导体。在此,IDT电极1、2、3、4、5的电极指根数例如为37根、42根、57根、42根、37根。反射器电极6、7的电极指根数例如为100根。另外,IDT电极1~5的交叉宽度例如为80μm,电极膜厚度例如为
与IDT电极的电极指连接的汇流条导体有2种,一种是信号用的汇流条导体(1s~5s),另一种是基准电位用的汇流条导体(1g~5g)。
按照将包括IDT电极1~5以及反射器电极6、7的SAW元件10围住的方式,在压电基板40上形成环状的基准电位布线9。在此,所谓“环状”不仅是圆形,也包括图1等中所示那样的具有角部的多角形。基准电位布线9如图1所示,与接地端子24连接,在SAW滤波器100的使用时保持在接地电位。与基准电位布线9连接的接地端子可以如图1所示为1个,也可以为多个。另外,接地电位并不限于为零伏(0V)。
在此,若着眼于IDT电极1,IDT电极1的信号用的汇流条导体1s与信号布线31连接。另一方面,IDT电极1的基准电位汇流条导体1g与基准电位布线9连接。
与信号用的汇流条导体1s连接的信号布线31隔着由SiO2等构成的第1绝缘部件41a(下面,有时不区分第1~第5绝缘部件而仅称作绝缘部件41)与环状的基准电位布线9立体交叉。在本实施方式中,信号布线31配置于第1绝缘部件41a之下,基准电位布线9配置于第1绝缘部件41a之上。图2中用虚线表示穿过第1绝缘部件41a的下方的信号布线31。即,信号布线31的用虚线表示的部分与基准电位布线9的交叉的部分成为交叉部43。另外,信号布线31和基准电位布线9在交叉部43中的上下位置关系也可以相反。即,也可以在交叉部,在第1绝缘部件41a之下配置基准电位布线9,在第1绝缘部件41a之上配置信号布线31。但是,交叉部中的基准电位布线9和信号布线的上下位置关系优选在全部的交叉部43~47处是相同的。例如,在图2所示的交叉部43处,在将信号布线31配置于第1绝缘部件41a之下,将基准电位布线9配置于第1绝缘部件41a之上的情况下,优选在其它的交叉部44~47中,也是将信号布线配置于绝缘部件之下,将基准电位布线9配置于绝缘部件41之上的位置关系。由此,由于用单一的材料易于形成基准电位布线9的整体,因此生成效率较高。另外,和在基准电位布线9的中途加入异种材料的情况相比,具有能使滤波器的插入损失较小的优点。
如图1、图2所示,由于按照围住SAW元件10整体的方式来形成基准电位布线9,因此,通过基准电位布线9的电磁屏蔽效应来降低来自外部的电磁噪声对SAW元件10的影响。其结果,能作出电特性稳定的SAW滤波器。另外,即使在将热量传导到SAW元件10的情况下,由于形成了通过基准电位布线9将该热量高效地散出的构造,因此,能抑制由于热量而引起的滤波器特性的变动。进而,通过使散热性良好,能提高SAW元件10的功率耐受性,并且能抑制电极指的损坏。特别是较多用作分波器的接收频带滤波器的纵向耦合多模型表面声波滤波器存在电压耐受性低、电极指易破损的问题,但若使用本实施方式的SAW滤波器100作为该纵向耦合多模型表面声波滤波器,则能抑制电极指的破损,并能形成电特性的可靠性较高的分波器。
接下来,着眼于IDT电极2,IDT电极2的信号用的汇流条导体2s与信号布线32连接。该信号布线32与信号布线31相同,隔着第2绝缘部件41b而与基准电位布线9立体交叉。即,基准电位布线9与信号布线32交叉的部分为交叉部44。另一方面,IDT电极2的基准电位用的汇流条导体2g与基准电位布线9连接。
IDT电极1和IDT电极2的基准电位用的汇流条导体1g、2g分别与围住IDT电极1以及IDT电极2的环状的基准电位布线9连接,通过这样的连接构造,能使直到接地端子24为止的整体的电感较小,能改善SAW滤波器100的衰减特性。
在本实施方式所涉及的SAW滤波器100中,利用图3、图4来说明能使整体的电感较小的原理。图3是作为IDT电极的基准电位用的汇流条导体所连接的基准电位布线不是环状的比较例的SAW滤波器101,(a)是SAW滤波器101的概略俯视图,(b)是SAW滤波器101的等效电路图。另一方面,图4是IDT电极的基准电位用的汇流条导体所连接的基准电位布线为环状的SAW滤波器102,(a)是SAW滤波器102的概略俯视图,(b)是SAW滤波器102的等效电路图。另外,为了使说明易于理解,在图3、图4中,设有由2个IDT电极构成的不平衡-不平衡型的SAW滤波器。
在图3所示的SAW滤波器101中,从IDT电极1、2的每一个起经由基准电位布线9直到接地端子24为止,存在电感L1和电感L2。在此,电感L1是从IDT电极1的基准电位用的汇流条导体1g直到接地端子24为止的基准电位布线9引起的电感,电感L2是从IDT电极2的基准电位用的汇流条导体2g直到接地端子24为止的基准电位布线9引起的电感。
与此相对,在图4所示的SAW滤波器102的情况下,电感L1′和电感L2′并联地加在了前述的电感L1、L2上(参照图4(b))。在此,电感L1′是从IDT电极1的基准电位用的汇流条导体1g向左拐顺着基准电位布线9而直到接地端子24为止的基准电位布线9引起的电感,而电感L2′是从IDT电极2的基准电位用的汇流条导体2g向右拐顺着基准电位布线9而直到接地端子24为止的基准电位布线9引起的电感。通过使基准电位布线9成为环状,能将这些电感L1′、L2′并联地加在原本存在的电感L1、L2上,因此,整体的电感是SAW滤波器102比SAW滤波器101要小。
由于当到接地端子24为止的电感这样变小时,能减小通过电感而感应的电压,因此,能使产生在基准电位布线9上的电流(下面也称作接地电流)的逆流较小。当接地电流的逆流这样变小时,能加大通过频带以外的衰减量,并能获得电特性优良的SAW滤波器。另外,由于IDT电极1和IDT电极2之间的电感也变小,因此能抑制基于该电感而产生的不需要的接地电流,因此,也能使通过频带以外的衰减量较大。
另外,在图中,说明了信号布线31、32被引出到反方向(纸面的左方向和右方向)的情况,但由于即使信号布线31、32被引出到同一方向也构成相同的等效电路,因此能起到相同的效果。
返回图2,着眼于IDT电极3,IDT电极3的信号用的汇流条导体3s和信号布线33连接。该信号布线33隔着第3绝缘部件41c与基准电位布线9立体交叉。基准电位布线9与信号布线33交叉的部分是交叉部45。另一方面,IDT电极3的基准电位用的汇流条导体3g与基准电位布线9连接。
在本实施方式中,IDT电极1~3、和各个IDT电极的汇流条导体按照满足规定的条件的方式来配置。具体地,首先,在IDT电极2和IDT电极3之间配置IDT电极1。即,将IDT电极1~3中的IDT电极1配置于中央,在其一侧配置IDT电极2,而在另一侧配置IDT电极3。另外,在沿着与SAW的传输方向平行的A-A线来将基准电位布线9的框内2分割时,在其中1个区域(第1区域T1)中,IDT电极1的信号用的汇流条导体1s、IDT电极2的基准电位用的汇流条导体2g、以及IDT电极3的基准电位用的汇流条导体3g位于其中,在另一个区域(第2区域T2)中,IDT电极1的基准电位用的汇流条导体1g、IDT电极2的信号用的汇流条导体2s以及IDT电极3的信号用的汇流条导体3s位于其中,由此来配置IDT电极1~3。
由于通过以这样的配置将IDT电极1~3的基准电位用的汇流条导体1g、2g、3g连接于环状的基准电位布线9,能抑制在基准电位布线9上产生不需要的接地电流,能大幅改善频带外衰减量。
利用图5、图6来说明能抑制接地电流的产生的原理。图5是作为IDT电极的基准电位用的汇流条导体所连接的基准电位布线未成为环状的比较例的SAW滤波器103的概略俯视图。图6是IDT电极的基准电位用的汇流条导体所连接的基准电位布线成为环状的SAW滤波器104的概略俯视图。在SAW滤波器103和SAW滤波器104中,基准电位布线以外的条件都相同。另外,为了易于理解说明,在图5、图6中,设有由3个IDT电极构成的不平衡-不平衡型的SAW滤波器。
在图5所示的SAW滤波器103的情况下,对于从IDT电极1的基准电位用的汇流条导体1g沿着基准电位布线9直到IDT电极2的基准电位用的汇流条导体2g为止的基准电位布线9的长度、和IDT电极1的基准电位用的汇流条导体1g沿着基准电位布线9直到IDT电极3的基准电位用的汇流条导体3g为止的基准电位布线9的长度,仅存在图中所示的大小为d的差异。这种情况下,若在SAW滤波器103中流过信号,则产生基于布线长度的差异d的电感成分,从基准电位用的汇流条导体1g观察基准电位用的汇流条导体2g时的电位、和从基准电位用的汇流条导体1g观察基准电位用的汇流条导体3g时的电位之间产生差。于是,基于该电位差,在基准电位布线9中产生不需要的接地电流,其会成为噪声而导致频带外衰减量的恶化。
另一方面,在图6所示的SAW滤波器104的情况下,由于基准电位用的汇流条导体所连接的基准电位布线9为环状,因此由于在考虑从基准电位用的汇流条导体1g向右拐、向左拐两条路径时,相互抵消了基于上述的差d的电位差,因此,能抑制不需要的接地电流的产生。其结果,抑制了在基准电位布线9中产生噪声,能使频带外衰减量较大,并能作出电特性优良的SAW滤波器。
本实施方式的SAW滤波器100还具备IDT电极4和IDT电极5。IDT电极4的信号用的汇流条导体4s与信号布线34连接。该信号布线34隔着第4绝缘部件41d与基准电位布线9立体交叉。另一方面,IDT电极4的基准电位用的汇流条导体4g连接于基准电位布线9。IDT电极5的信号用的汇流条导体5s与信号布线35连接。该信号布线35隔着第5绝缘部件41e与基准电位布线9立体交叉。另一方面,IDT电极5的基准电源用的汇流条导体5g连接于基准电位布线9。另外,反射器电极6、7的一个汇流条导体与基准电位布线9连接。
与IDT电极1、4、5的信号用的汇流条导体1s、4s、5s连接的信号布线31、34、34经由SAW谐振器11连接于不平衡信号端子21。通过设置SAW谐振器11,能进行阻抗匹配的调整、SAW元件10的静电耐压的提高、或基于衰减极点形成的通过频带外衰减量的改善等。
另外,与IDT电极2的信号用的汇流条导体2s连接的信号布线32经由SAW谐振器12和平衡信号端子22连接,与IDT电极3的信号用的汇流条导体3s连接的信号布线33经由SAW谐振器13与平衡信号端子23连接。SAW谐振器12、13也与SAW谐振器11相同,用于进行阻抗匹配的调整、SAW元件10的静电耐压的提高、或基于衰减极点形成的通过频带外衰减量的改善等。
图16表示第1实施方式的SAW滤波器100的变形例,是包括SAW10及其周边的布线的部分的放大俯视图。
该变形例的SAW滤波器100是改变了用于形成立体的交叉部的绝缘部件41的位置的方案。具体地,绝缘部件41按照和与穿过该绝缘部件41下方的布线连接的汇流条导体重合的方式来配置。例如,着眼于IDT电极1,用于使与IDT电极1的信号用的汇流条导体1s连接的信号布线31与基准电位布线9立体交叉的第1绝缘部件41a的一部分层叠于信号用的汇流条导体1s上。通过如此配置绝缘部件41,能使基准电位布线9接近于IDT电极。由此,能使在基准电位布线9和IDT电极之间可形成的死区(deadspace)减少,进而能使SAW滤波器100小型化。另外,该变形例也适用于下述的其它实施方式的SAW滤波器。
(第2实施方式)
图7是表示第2实施方式所涉及的SAW滤波器200的俯视图。对于SAW滤波器200,基准电位布线9经由反射器电极6成为环状。换言之,在基准电位布线9的一部分中插入反射器电极6。反射器电极6具有2个基准电位用的汇流条导体6g,基准电位布线9分别与各个基准电位用的汇流条导体6g连接。另外,配置于2个基准电位用的汇流条导体6g之间的电极指的两端连接于各基准电位用的汇流条导体6g。
如此,通过使基准电位布线9经由反射器电极6而形成环状,不用再将基准电位布线9绕到反射器电极6的外侧,因此这部分能使SAW滤波器200小型化。尽管在图7中构造为在基准电位布线9中仅插入一个反射器电极6,但是也可以构造为在基准电位布线9中也插入另一个反射器电极7。即,也可以使基准电位布线9经由反射器电极6以及反射器电极7而形成环状。由此,能使SAW滤波器200进一步小型化。
另外,通过经由反射器电极6来形成环状,与将基准电位布线9绕到反射器电极6的外侧的情况相比,IDT电极2、3的基准电位用的汇流条导体和IDT电极1、4、5的基准电位用的汇流条导体之间的经过基准电位布线9的距离变小,能减小其间的电感。因此,能抑制基于其间的电感而产生的不需要的接地电流,由此也有能使通过频带外衰减量较大的优点。
另外,对与图1所示点SAW滤波器100相同的构成部分附上相同的符号,省略其说明。
(第3实施方式)
图8是第3实施方式的SAW滤波器300的俯视图。在SAW滤波器300中,形成有分支布线39。分支布线39的一端与基准电位布线9连接,另一端和接地端子25连接。另外,将分支布线39配置在信号布线32和信号布线33之间。
通过设计这样的分支布线39,分流了流过基准电位布线9的电流,这部分能减少流过基准电位布线9的电流量。其结果,由于能减小通过基准电位布线9的电感而感应的电压,因此也能抑制接地电流的逆流,能大幅改善频带外衰减量。另外,通过将分支布线39配置于与输出用端子相连的信号布线32、和同样与输出用端子相连的信号布线33之间,相对于流过信号线路32和信号线路33的输出信号的电流的接地电流的返回路径的大部分成为位于信号线路32以及信号线路33的附近的分支布线39。由此,能抑制相对于输出信号的电流的接地电流、和相对于流过与输入用端子相连的信号布线31、34、35的输入信号的电流的接地电流的干扰,能大幅改善频带外衰减量。
(第4实施方式)
图9是第4实施方式所涉及的SAW滤波器400的俯视图。SAW滤波器400具备SAW元件10′。SAW元件10′由2个IDT电极和配置于其两侧的2个反射器电极6、7构成。
IDT电极1具有信号用的汇流条导体1s以及基准电位用的汇流条导体1g。信号用的汇流条导体1s与信号布线31连接,基准电位用的汇流条导体1g与基准电位布线9连接。另外,IDT电极2具有信号用的汇流条导体2s以及基准电位用的汇流条导体2g。信号用的汇流条导体2s与信号布线32连接,基准电位用的汇流条导体2g与基准电位布线9连接。基准电位布线9围住SAW元件10′而形成环状。
SAW滤波器400是不平衡-不平衡型的SAW滤波器,具有不平衡信号端子21和不平衡信号端子21′。不平衡信号端子21、21′配置于基准电位布线9的框内。由此,SAW滤波器400构造为不像SAW滤波器100那样具有立体布线。
SAW滤波器400由于与利用图3、图4所说明的理由相同的理由,能将整体的电感抑制得较小,因此成为通过频带外的衰减量较大、电特性优良的SAW滤波器。
(第5实施方式)
图10是第5实施方式所涉及的SAW滤波器500的俯视图。SAW滤波器500构造为:在相邻的IDT电极中,一个IDT电极的基准电位用的汇流条导体和另一个IDT电极的基准电位用的汇流条导体经由电极指而连接(图中由点线的圆所围住的部分)。例如,着眼于IDT电极1和IDT电极3,则与IDT电极1的基准电位用的汇流条导体1g连接的电极指也与IDT电极3的基准电位用的汇流条导体3g连接。
通过设为这样的构造,能进一步改善SAW滤波器500的衰减特性。利用图11对其进行说明。图11(a)是与图4相同的简化了SAW滤波器500的情况下的SAW滤波器105的俯视图,图11(b)是SAW滤波器105的等效电路图。
SAW滤波器105构成为:IDT电极1的基准电位用的汇流条导体1g和IDT电极2的基准电位用的汇流条导体2g经由电极指而连接。这种情况下,通过连接基准电位用的汇流条导体1g、2g的电极指,如图11(b)所示那样,在电感L1、L1′、L2、L2′上并联加上电感L3。因此,整体的电感的大小会进一步变小,如第1实施方式中也描述过的那样,在从基准电位用的汇流条导体到接地端子24为止之间,基于在基准电位布线9中产生的电感而感应的电压变小。其结果,在基准电位布线9产生的接地电流的逆流变小,能使通过频带外的衰减量较大。
<分波器>
上述的实施方式的SAW滤波器优选用于构成分波器。图12是使用了SAW滤波器100的分波器600的俯视图。在分波器600中,SAW滤波器100作为接收频带滤波器发挥功能。这种情况下,不平衡信号端子21作为天线端子发挥功能,平衡信号端子22、23作为接收端子发挥功能。
分波器600也具备作为发送频带滤波器而发挥功能的滤波器105。在本实施方式中,滤波器105由梯型的SAW滤波器构成,具备并联臂谐振器14、15以及串联臂谐振器16、17、18。另外,并联臂谐振器14与接地端子25连接,并联臂谐振器15与接地端子26连接。另外,串联臂谐振器16与发送端子27连接,串联臂谐振器18与作为天线端子的不平衡信号端子21连接。
分波器600的接收频带滤波器由于是使用SAW滤波器100而构成的,因此能使从平衡信号端子22、23分别输出的信号的通过频带外的衰减量较大,能作出对分波器600所要求的发送频带的共模隔离特性优良的分波器。另外,共模隔离是表示发送频带滤波器和接收频带滤波器的分离度的指标,表示发送端子(不平衡信号端子)的不平衡信号何种程度从接收端子(平衡信号端子)作为不平衡信号而漏出。
实施例
(实施例1)
接下来,说明本发明的分波器的实施例1。对于由图12所示的构造构成的实施例1的分波器600和由图13所示的构造构成的比较例1的分波器900,通过仿真来计算共模隔离特性。
比较例1的分波器900与实施例1的分波器600相比,基准电位布线9的形状不同。具体地,在实施例1的分波器600中绕到反射器电极6的外侧的部分的基准电位布线9,在比较例1的分波器900中不绕到反射器电极6的外侧,成为一端与反射器电极6的汇流条导体连接,另一端与IDT电极2的基准电位用的汇流条导体连接的形状。另外,基准电位布线9以外的构成与实施例1的分波器600相同。
图14是表示针对实施例1和比较例2的共模隔离特性的仿真结果的图。在图中,用实线表示实施例1所涉及的分波器的共模隔离特性,用虚线表示比较例1所涉及的分波器的共模隔离特性。如图14所示,实施例1的分波器与比较例1的分波器相比,通过频带(1920MHz~1980MHz)中的共模隔离特性改善了约5dB。
根据该结果可以确认,实施例1的分波器与比较例1的分波器相比,能大幅改善共模隔离特性。
(实施例2)
接下来,对于实施例2的分波器进行说明。实施例2的分波器是将图12所示的分波器600中的SAW滤波器100置换为图10所示的SAW滤波器500后而构成的。制作由这样的电极构造构成的实施例2的分波器,测定共模隔离特性。
实施例2的分波器中使用的SAW滤波器500由以下的规格构成。
·电极指的交叉宽度:80μm
·IDT电极1的电极指根数:30根
·IDT电极2的电极指根数:44根
·IDT电极3的电极指根数:64根
·IDT电极4的电极指根数:42根
·IDT电极5的电极指根数:30根
·反射器电极6、7的电极指根数:50根
·电极膜厚:
·占空比:0.55
另外,对于压电基板40的材料,使用42°Y切割X传输LiTaO3。另外,IDT电极1~5以及反射器电极6、7通过在由Ti构成的层上重叠由Al-Cu合金构成的层而形成。
为了与该实施例2进行比较,制作图12所示的实施例1的分波器600。也根据上述规格来制作实施例1的分波器的SAW滤波器100。
关于实施例2的分波器和实施例1的分波器,在图15中示出测定了共模隔离特性的结果。测定使用网络分析来进行。图中,用实线表示实施例2的分波器的结果,用虚线表示实施例1的分波器的结果。
从如图15中可以明白,相对于实施例1,实施例2的分波器的通过频带(1920MHz~1980MHz)中的共模隔离特性改善了约1dB。
根据该结果可以确认,通过构造为在相邻的IDT电极中,一个ID电极的基准电位用的汇流条导体和另一个IDT电极的基准电位用的汇流条导体经由电极指连接,能进一步改善共模隔离特性。
符号的说明
1~5…IDT电极
6、7…反射器电极
9…基准电位布线
10…SAW元件
40…压电基板

Claims (11)

1.一种表面声波滤波器,具备:
压电基板;
表面声波元件,其具有位于所述压电基板上且沿表面声波传输方向并排设置的第1 IDT电极和第2 IDT电极、以及在所述表面声波传输方向夹着所述第1 IDT电极和所述第2 IDT电极的第1反射器电极以及第2反射器电极;
第1信号布线,其与所述第1 IDT电极电连接;
第2信号布线,其与所述第2 IDT电极电连接;
环状的基准电位布线,其具有隔着第1绝缘部件与所述第1信号布线交叉的第1交叉部、以及隔着第2绝缘部件与所述第2信号布线交叉的第2交叉部,且围住所述表面声波元件;以及
SAW谐振器,其相对于所述表面声波元件位于与所述表面声波传输方向正交的方向的一侧,且位于所述基准电位布线的外侧,
所述基准电位布线是围住夹在所述第1反射器电极以及所述第2反射器电极之间的全部IDT电极的连续布线,并且在所述第1绝缘部件和所述第2绝缘部件之间与所述压电基板抵接。
2.根据权利要求1所述的表面声波滤波器,其特征在于,
所述第1 IDT电极具有:与所述第1信号布线连接的第1信号用的汇流条导体、以及与所述基准电位布线电连接的第1基准电位用的汇流条导体,
所述第2 IDT电极具有:与所述第2信号布线连接的第2信号用的汇流条导体、以及与所述基准电位布线电连接的第2基准电位用的汇流条导体。
3.根据权利要求2所述的表面声波滤波器,其特征在于,
所述表面声波滤波器还具备第3信号布线,
所述表面声波元件还具有第3 IDT电极,该第3 IDT电极沿着所述表面声波传输方向被定位,并与所述第3信号布线电连接,
所述基准电位布线还具有第3交叉部,该第3交叉部隔着第3绝缘部 件与所述第3信号布线交叉,并且所述基准电位布线在所述第1绝缘部件、所述第2绝缘部件和所述第3绝缘部件的彼此之间与所述压电基板抵接,
所述第3 IDT电极具有:与所述第3信号布线连接的第3信号用的汇流条导体、以及与所述基准电位布线电连接的第3基准电位用的汇流条导体,
所述第1 IDT电极配置于所述第2 IDT电极和所述第3 IDT电极之间,
在沿着所述表面声波传输方向而将所述基准电位布线的环内2分割为第1区域和第2区域时,
所述第1信号用的汇流条导体、所述第2基准电位用的汇流条导体以及所述第3基准电位用的汇流条导体位于所述第1区域中,
所述第1基准电位用的汇流条导体、所述第2信号用的汇流条导体以及所述第3信号用的汇流条导体位于所述第2区域中。
4.根据权利要求3所述的表面声波滤波器,其特征在于,
在所述第1以及第2反射器电极之间,沿着所述表面声波传输方向夹着所述第1、第2以及第3 IDT电极,
所述基准电位布线的环状的一部分由所述第1以及第2反射器电极中的至少一个构成。
5.根据权利要求3所述的表面声波滤波器,其特征在于,
所述表面声波滤波器还具备:
不平衡信号端子,其与所述第1信号布线电连接;
第1平衡信号端子,其与所述第2信号布线电连接;和
第2平衡信号端子,其与所述第3信号布线电连接。
6.根据权利要求5所述的表面声波滤波器,其特征在于,
所述表面声波滤波器还具备:
分支布线,其位于所述第2信号布线和所述第3信号布线之间,且与所述基准电位布线连接。
7.根据权利要求2所述的表面声波滤波器,其特征在于,
所述第1 IDT电极还具有与所述第1基准电位用的汇流条导体连接的多个电极指,所述多个电极指中的位于所述第2 IDT电极侧的端部的电极指与所述第2基准电位用的汇流条导体连接。
8.根据权利要求1所述的表面声波滤波器,其特征在于,
所述第1 IDT电极具有与所述第1信号布线连接的第1信号用的汇流条导体,
所述第1绝缘部件的一部分层叠于所述第1信号用的汇流条导体上。
9.根据权利要求1所述的表面声波滤波器,其特征在于,
所述基准电位布线由单一材料形成。
10.一种表面声波滤波器,具备:
压电基板;
表面声波元件,其具有位于所述压电基板上且沿表面声波传输方向并排设置的多个IDT电极、以及在所述表面声波传输方向夹着所述多个IDT电极的第1反射器电极以及第2反射器电极;
多个信号布线,其与所述多个IDT电极电连接;
环状的基准电位布线,其具有隔着多个绝缘部件与所述多个信号布线交叉的多个交叉部,且围住所述表面声波元件;和
SAW谐振器,其相对于所述表面声波元件位于与所述表面声波传输方向正交的方向的一侧,且位于所述基准电位布线的外侧,
所述多个绝缘部件包括:在相对于所述表面声波元件与所述表面声波传输方向正交的方向的SAW谐振器侧,沿着所述表面声波传输方向相互分离地排列的两个以上的绝缘部件,
所述基准电位布线是围住夹在所述第1反射器电极以及所述第2反射器电极之间的全部IDT电极的连续布线,并且在所述两个以上的绝缘部件之间与所述压电基板抵接。
11.一种分波器,具备发送用滤波器以及接收用滤波器,
所述发送用滤波器以及所述接收用滤波器中的至少一个具有权利要求1到权利要求10中任一项所述的表面声波滤波器。
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5855639B2 (ja) * 2011-02-28 2016-02-09 京セラ株式会社 弾性波フィルタ
CN104115411B (zh) * 2012-02-06 2016-01-20 太阳诱电株式会社 滤波器电路和模块
WO2014013832A1 (ja) * 2012-07-19 2014-01-23 株式会社村田製作所 分波器およびこの分波器を備えるモジュール
JP5844939B2 (ja) * 2013-02-27 2016-01-20 京セラ株式会社 弾性波素子、分波器および通信モジュール
JP6042774B2 (ja) * 2013-05-30 2016-12-14 京セラ株式会社 検体センサおよび検体センシング方法
WO2016017307A1 (ja) * 2014-07-28 2016-02-04 株式会社村田製作所 ラダー型フィルタ
WO2017018207A1 (ja) 2015-07-28 2017-02-02 株式会社村田製作所 弾性波装置
JP2018088675A (ja) * 2016-11-08 2018-06-07 スカイワークス ソリューションズ, インコーポレイテッドSkyworks Solutions, Inc. 誘導性インピーダンスを有するフィルタモジュールとフィルタアレイ
JP2019070563A (ja) * 2017-10-06 2019-05-09 株式会社デンソー 電流センサ
DE102019104993B4 (de) * 2019-02-27 2024-05-02 Rf360 Singapore Pte. Ltd. SAW -Vorrichtung mit verbessertem Wärmemanagement
DE102019107010A1 (de) * 2019-03-19 2020-09-24 RF360 Europe GmbH DMS-Filter, elektroakustisches Filter und Multiplexer
DE102019107011A1 (de) * 2019-03-19 2020-09-24 RF360 Europe GmbH 11-IDT-DMS-Filter, elektroakustisches Filter und Multiplexer
WO2022065137A1 (ja) * 2020-09-28 2022-03-31 株式会社村田製作所 弾性波装置
CN116195186A (zh) * 2020-09-29 2023-05-30 株式会社村田制作所 纵耦合谐振器型弹性波滤波器及弹性波滤波器
CN116418312A (zh) * 2023-02-23 2023-07-11 无锡市好达电子股份有限公司 声表面波双工器及多工器
CN116633312B (zh) * 2023-07-24 2023-10-24 常州承芯半导体有限公司 滤波器及滤波器的形成方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01231417A (ja) * 1988-03-11 1989-09-14 Kokusai Electric Co Ltd 弾性表面波フィルタ
JPH0491508A (ja) * 1990-08-06 1992-03-25 Fujitsu Ltd 弾性表面波デバイスとその製造方法
JPH05267990A (ja) * 1991-08-21 1993-10-15 Toyo Commun Equip Co Ltd 縦結合二重モ−ドsawフィルタ
JP2000261285A (ja) * 1999-03-09 2000-09-22 Hitachi Media Electoronics Co Ltd 弾性表面波装置
CN1525640A (zh) * 2003-02-24 2004-09-01 ������������ʽ���� 表面声波滤波器和通信设备
CN1842961A (zh) * 2004-07-23 2006-10-04 株式会社村田制作所 声表面波器件

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5579124U (zh) * 1978-11-25 1980-05-31
JPS5810225B2 (ja) 1978-12-12 1983-02-24 松下電工株式会社 模様付建築用板の製造方法
JPS58154917A (ja) * 1982-03-10 1983-09-14 Hitachi Ltd 弾性表面波バンドパスフイルタ
JPS6194409A (ja) * 1984-10-15 1986-05-13 Clarion Co Ltd 弾性表面波素子の素子分離構造
CA2038474C (en) * 1990-03-19 1994-09-20 Yoshio Satoh Surface-acoustic-waver filter having a plurality of electrodes
JPH04281613A (ja) * 1991-03-11 1992-10-07 Fujitsu Ltd 弾性表面波フィルタ
JP3254779B2 (ja) * 1993-01-05 2002-02-12 株式会社村田製作所 多電極形弾性表面波装置
JPH09162676A (ja) 1995-12-06 1997-06-20 Japan Energy Corp 弾性表面波装置
DE10013861A1 (de) * 2000-03-21 2001-09-27 Epcos Ag Dualmode-Oberflächenwellenfilter mit verbesserter Symmetrie und erhöhter Sperrdämpfung
JP3358615B2 (ja) * 2000-06-26 2002-12-24 株式会社村田製作所 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
JP3931767B2 (ja) * 2002-08-29 2007-06-20 株式会社村田製作所 弾性表面波装置、通信装置
JP2004235908A (ja) * 2003-01-30 2004-08-19 Kyocera Corp 弾性表面波装置及びそれを用いた通信機
JP2004153580A (ja) * 2002-10-30 2004-05-27 Kyocera Corp 弾性表面波装置
DE10325798B4 (de) * 2003-06-06 2015-06-18 Epcos Ag SAW-Filter mit verbesserter Selektion oder Isolation
US7298231B2 (en) * 2004-05-27 2007-11-20 Kyocera Corporation Surface acoustic wave device and communication apparatus
JP2007142491A (ja) 2005-11-14 2007-06-07 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置の製造方法及び弾性表面波装置
JP5121178B2 (ja) * 2006-07-24 2013-01-16 京セラ株式会社 弾性表面波装置及び通信装置
JP4655161B2 (ja) * 2007-05-22 2011-03-23 株式会社村田製作所 バランス型弾性波フィルタ装置及び複合フィルタ
WO2009013974A1 (ja) * 2007-07-26 2009-01-29 Kyocera Corporation 弾性表面波装置及び通信装置
CN101874348B (zh) * 2008-03-27 2013-11-06 株式会社村田制作所 弹性波滤波装置
JP4809448B2 (ja) * 2009-02-02 2011-11-09 日本電波工業株式会社 デュプレクサ

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01231417A (ja) * 1988-03-11 1989-09-14 Kokusai Electric Co Ltd 弾性表面波フィルタ
JPH0491508A (ja) * 1990-08-06 1992-03-25 Fujitsu Ltd 弾性表面波デバイスとその製造方法
JPH05267990A (ja) * 1991-08-21 1993-10-15 Toyo Commun Equip Co Ltd 縦結合二重モ−ドsawフィルタ
JP2000261285A (ja) * 1999-03-09 2000-09-22 Hitachi Media Electoronics Co Ltd 弾性表面波装置
CN1525640A (zh) * 2003-02-24 2004-09-01 ������������ʽ���� 表面声波滤波器和通信设备
CN1842961A (zh) * 2004-07-23 2006-10-04 株式会社村田制作所 声表面波器件

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Publication number Publication date
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