CN102205562B - 切割装置以及切割方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够以紧凑的结构提高运行效率的切割装置及切割方法。贮存加工前的工件(W)的工件供给待机部(40)和贮存加工后的工件(W)的工件回收待机部(50)隔着加工部(30)设置。加工前的工件(W)以贴附有切割膜(T)的面朝向工作台侧垂直竖起的姿势贮存于工件供给待机部(40)。另外，加工后的工件(W)以切割膜(T)的贴附面朝向工作台侧垂直竖起的姿势贮存于工件回收待机部(50)。贮存于工件供给待机部(40)的工件(W)通过工件供给装置(60)供给到工作台(20)。另外，加工后的工件(W)通过工件回收装置(70)从工作台(20)被回收而移动载置到工件回收待机部(50)。

Description

切割装置以及切割方法
技术领域
本发明涉及一种将形成半导体装置、电子部件的晶片等工件分割成各个芯片的切割装置及切割方法。
背景技术
对于SAW过滤器、不连续半导体等的小芯片设备而言，其加工一片工件较为花费时间，工件的更换频率低。因此，使用工件的搬入及搬出通过手动进行、仅切削加工通过自动化进行的手动切割装置。
在专利文献1中公开了操作者以手动向工作台供给、回收工件的切割装置。
另外，在专利文献2、3中公开了使用机械手自动地向工作台供给、回收工件的切割装置。
【专利文献】
【专利文献1】日本特开平08-191731号公报
【专利文献2】日本特开2000-173953号公报
【专利文献3】日本特开昭63-288642号公报
如专利文献1所述，在通过手动进行向工作台供给、回收工件的切割装置中，存在如下缺陷，即，即使加工结束，只要操作者不进行工件的更换作业，就无法开始接下来的加工。
另外，在一个操作者运行多个切割装置的情况下，当各切割装置的加工结束时刻重叠时，则产生用于工件更换的等待时间，从而存在运行效率降低的缺陷。
另外，如专利文献2、3所述，在自动地向工作台供给、回收工件的切割装置中，需要保管加工前的工件的部分、保管加工后的工件的部分，从而存在装置大型化的问题。尤其是，对于以往的切割装置而言，由于在水平的状态下保管工件，所以存在需要宽敞的保管空间这一缺陷。
另外，对于现有的切割装置而言，由于以露出工件的加工面的方式进行保管，所以存在加工中产生的水滴、雾、加工的切屑(金属碎屑)等附着在加工面上这一缺陷。当这种水滴、金属碎屑等附着在加工面上时，容易出现对准失误(alignment miss)的问题。
发明内容
本发明是鉴于这种情况而提出的，其目的在于提供一种能够以紧凑的结构提高运行效率的切割装置及切割方法。
用于解决技术问题的机构具有如下的结构。
[1]作为切割装置的第一方式，对经由切割膜配置到环状的框架上的工件进行切削加工，其特征在于具备：工作台，其水平地载置所述工件；切削加工机构，其对载置于所述工作台上的所述工件进行切削加工；工件供给待机部，其以竖起且贴合有所述切割膜的面朝向所述工作台侧的状态贮存加工前的所述工件；工件供给机构，其将在所述工件供给待机部贮存的所述工件向所述工作台供给；工件回收待机部，其以竖起且贴合有所述切割膜的面朝向所述工作台侧的状态贮存加工后的所述工件；工件回收机构，其将载置于所述工作台上的所述工件回收到所述工件回收待机部。
根据本方式，加工前的工件被贮存于工件供给待机部，并通过工件供给机构供给(载置)到工作台。另外，通过工件回收机构从工作台回收加工后的工件，从而将其贮存于工件回收待机部。由此，能够使工件的更换作业自动化，从而提高运行效率。另外，由于在工件供给待机部和工件回收待机部以工件竖起的状态贮存工件，所以能够将工件的保管空间抑制到最小必要限度。由此，能够实现装置的紧凑化。另外，在工件供给待机部和工件回收待机部，由于以工件的贴合有切割膜的面朝向工作台侧的方式保管工件，所以能够防止金属碎屑等附着到工件的加工面。由此，能够有效地防止对准错误等的发生。
[2]作为切割装置的第二方式，在上述第一方式的切割装置的基础上，其特征在于，还具备使所述工作台在加工位置和更换位置之间移动的工作台移动机构，所述切削加工机构在所述加工位置对载置于所述工作台上的所述工件进行切削加工，所述工件供给机构在所述更换位置向所述工作台供给所述工件，所述工件回收机构在所述更换位置从所述工作台回收所述工件。
根据本方式，进行工件加工的场所与进行工件更换的场所相分离。由此，能够提高工件供给待机部和工件更换待机部的布局的自由度。另外，能够更有效地防止金属碎屑等的附着。
[3]作为切割装置的第三方式，在上述第一切割装置的基础上，其特征在于，所述工件供给待机部和所述工件回收待机部隔着位于所述更换位置的所述工作台对称配置。
根据本方式，工件供给待机部和工件回收待机部隔着位于更换位置的工作台对称配置。由此，能够有效地从工件供给待机部向工作台供给工件及从工作台向不同类型待机部回收工件，并且，还能够实现装置的紧凑化。
[4]作为切割装置的第四方式，在上述第三方式的切割装置的基础上，其特征在于，所述工件供给机构把持贮存于所述工件供给待机部的所述工件，并通过以与所述工作台的工件载置面平行的转动轴为中心转动，而使所述工件以朝向所述工作台倒下的方式移动，从而将所述工件载置到所述工作台上。
根据本方式，通过使以竖起的状态贮存于工件供给待机部的工件以朝向工作台倒下的方式移动，向工作台供给(载置)工件。由此，能够有效地供给工件。
[5]作为切割装置的第五方式，在上述第三或四方式的切割装置的基础上，其特征在于，所述工件回收机构把持载置于所述工作台上的所述工件，并通过以与所述工作台的工件载置面平行的转动轴为中心转动，而使所述工件以朝向所述工件回收待机部竖起的方式移动，从而将所述工件回收到所述工件回收待机部。
根据本方式，通过使载置于工作台上的工件以朝向工件回收待机部竖起的方式移动，而将工件回收到工件回收待机部。由此，能够在回收的同时使工件竖起，从而能够以良好的效率回收工件。另外，由于工件边逐渐地倾斜边竖起，所以附着在表面上的切削液等能够因自重向倾斜方向下侧下落。由此，能够在水滴不落到工作台上的状态下回收工件。另外，由于工件边逐渐倾斜边竖起，所以从工作台的端部逐渐地剥离，从而也能够防止工件的静电破损。
[6]作为切割装置的第六方式，在上述第五方式的切割装置的基础上，其特征在于，还具备工件保持构件，该工件保持构件拆装自如地安装在配置有所述工件的所述框架上且能够将所述工件以竖起的状态载置于水平的面上，所述工件通过该工件保持构件以竖起的状态贮存于所述工件供给待机部并且以竖起的状态贮存于所述工件回收待机部。
根据本方式，通过在框架上安装工件保持构件，能够将工件在水平的面上竖起而将其载置。由此，能够以简单的结构将工件以竖起的状态贮存到工件供给待机部、工件回收待机部。
[7]作为切割装置的第七的方式，在上述第六方式的切割装置的基础上，其特征在于，所述工件保持构件由安装在所述框架两端的一对棱柱状的棒料构成，该棒料在内侧面形成有保持所述框架的槽，并且在外侧面形成有设置面。
根据本方式，工件保持构件由一对棱柱状的棒料构成。各棒料在内侧面形成保持框架的槽，通过向该槽内嵌入框架的缘部而安装到框架上。另外，各棒料在外侧面形成有设置面，通过使该设置面位于下方而载置于水平的面上，从而能够以工件在水平的面上竖起的状态将其保持。由此，能够简单地在框架上拆装工件，并且能够简单地以工件竖起的状态保持工件。
[8]作为切割装置的第八方式，在上述第一至第七方式的切割装置的基础上，其特征在于，还具备清洗机构，该清洗机构对以竖起的状态贮存于所述工件回收待机部的所述工件的加工面喷射清洗液以进行清洗。
根据本方式，能够对回收到工件回收待机部的加工后的工件进行清洗。工件的加工面被喷射清洗液而清洗，但是由于其处于竖起状态，所以喷射的清洗液能够因自重而下落。由此，能够有效地进行清洗。另外，由于工件以贴合有切割膜的面朝向工作台侧的方式竖起，所以能够在不向工作台喷涂清洗液的状态下进行清洗。
[9]作为切割装置的第九方式，在上述第一至第八方式的切割装置的基础上，其特征在于，在所述工件供给待机部贮存有多个所述工件，并且在所述工件回收待机部贮存有多个所述工件。
根据本方式，能够在工件供给待机部贮存多个工件，并且能够在工件回收待机部贮存多个工件。由此，能够连续地对工件进行加工处理。另外，即使在贮存多个工件的情况下，由于以各工件竖起的状态贮存各工件，所以能够以小的设置空间进行贮存。
[10]作为切割方法的第一方式，该方法通过将经由切割膜配置到环状的框架上的工件载置于工作台上并利用切削加工机构对其进行切削加工，该切割方法的特征在于，包括：使加工前的所述工件以竖起且贴合有所述切割膜的面朝向所述工作台侧的状态待机的步骤；向所述工作台供给以竖起的状态待机的所述工件的步骤；利用所述切削加工机构对供给到所述工作台所述工件进行切削加工的步骤；从所述工作台回收加工后的所述工件并且使该工件以竖起且贴合有所述切割膜的面朝向所述工作台侧的状态待机的步骤。
根据本方式，加工前的工件贮存于工件供给待机部且通过工件供给机构供给(载置)到工作台上。另外，加工后的工件由工件回收机构从工作台回收并且贮存于工件回收待机部。由此，能够使工件的更换作业自动化，从而提高运行效率。另外，由于在工件供给待机部和工件回收待机部以工件竖起的状态贮存工件，所以能够将工件的保管空间抑制成最小必要限度。由此，能够实现装置的紧凑化。另外，由于能够在工件供给待机部和工件回收待机部以贴合有切割膜的面朝向工作台侧的方式保管工件，所以能够防止金属碎屑等附着到工件的加工面上。由此，能够有效防止对准错误等的发生。
[11]作为切割方法的第二方式，在上述第一方式的切割方法的基础上，其特征在于，还包括对以竖起的状态待机的加工后的所述工件的加工面喷射清洗液而进行清洗的步骤。
根据本方式，能够对回收到工件回收待机部的加工后的工件进行清洗。工件的加工面虽然被喷射清洗液而清洗，但是由于其处于竖起状态，所以能够使喷射的清洗液因自重而下落。由此，能够有效地进行清洗。另外，由于工件以贴合有切割膜的面朝向工作台侧的方式竖起，所以能够在不向工作台喷涂清洗液的情况下进行清洗。
【发明效果】
根据本发明，能够以紧凑的结构提高运行效率。
附图说明
图1是表示本发明的切割装置的第一实施方式的简要结构的俯视图。
图2是表示本发明的切割装置的第一实施方式的简要结构的主视图。
图3是工件供给装置的俯视图。
图4是工件供给装置的主视图。
图5是工件的供给动作的说明图。
图6是工件的回收动作的说明图。
图7是表示本发明的切割装置的第二实施方式的主要部分结构的主视图。
图8是表示本发明的切割装置的第三实施方式的主要部分结构的主视图。
图9是夹持件的俯视图。
图10是表示本发明的切割装置的第四实施方式的主要部分结构的主视图。
图11是表示本发明的切割装置的第五实施方式的主要部分结构的主视图。
图12是表示本发明的切割装置的第六实施方式的主要部分结构的主视图。
图13是表示本发明的切割装置的第六实施方式的主要部分结构的俯视图。
图14是表示本发明的切割装置的第七实施方式的外观的简要结构的主视图。
图15是表示本发明的切割装置的外观的立体图。
图16是切割装置的加工部的简图。
图17是切割装置的加工部的简图。
图18是切割装置的加工部的简图。
图19是切割装置的加工部的局部剖视图。
图20是切割装置的加工部的局部放大图。
图21是切割装置的清洗装置及排水装置的简图。
图22是说明拆下切割装置加工完成的工件时的工件W的状态的图。
图23是说明拆下切割装置加工完成的工件时的工件W的状态的图。
图24是切割装置的加工部的变形例的简图。
图25是切割装置的加工部的变形例的简图。
图26是说明拆下现有的切割装置加工完成的工件时的工件W的状态的图。
图27是说明拆下现有的切割装置加工完成的工件时的工件W的状态的图。
【符号说明】
10...切割装置，12...主体框架，14...壳体，16...供给口，16A...罩，18...回收口，18A...罩，20...工作台，21...工件载置面，21A...工件载置部，21B...框架载置部，22...工作台驱动电动机，22A...输出轴，23...X轴工作台，24...导轨，30...加工部，30A...罩，31A、31B...主轴单元，31a、31b...主轴，32A、32B...摄像单元，34A、34B...托架，40...工件供给待机部，42...加工前工件载置台，44...夹持件载置面，46...夹持件载置槽，48...工件供给架，48A...框架保持槽，50...工件回收待机部，52...加工后工件载置台，54...夹持件载置面，56...夹持件载置槽，58...工件回收架，58A...框架保持槽，60...工件供给装置，61...工件供给电动机，61A...输出轴，62...工件供给臂，63...工件供给夹具，63A...把持爪，63B...定位板，63b...抵接面，70...工件回收装置，71...工件回收电动机，72...工件回收臂，73...工件回收夹具，73A...把持爪，73B...定位板，73b...抵接面，80...工件清洗装置，82...清洗液喷嘴，90...夹持件，90A...左边部，90B...右边部，90C...后边部，100...工件供给回收装置，102...第一框架，104...第一铰链，106...第二框架，108...第二铰链，110...第三框架，112...第一摆动驱动装置，114...第二摆动驱动装置，116...夹具，200...切割装置，211...操作、显示部，212...监视电视，213...控制器，214...罩，220...加工部，221...主轴，222...刀片，223...摄像机构，224...工作台，225...销，226...夹持件，227...转动轴，230...主体部，213...槽，231a...槽的底面，231b...槽的侧面，232...弹性构件，233...喷嘴，234...储水部，235...网眼过滤器，236...壁，237...裙部，238...离子发生器，W...工件，F...框架，T...切割膜
具体实施方式
以下，根据附图详细说明本发明的优选实施方式。
〔第一实施方式〕
[结构]
图1是表示本发明的切割装置的第一实施方式的简要结构的俯视图。图2是表示本发明的切割装置的第一实施方式的简要结构的主视图。
本实施方式的切割装置10对处于安装在框架F上的状态下的工件W进行加工处理。工件W例如为半导体晶片。
本实施方式的切割装置10主要包括：载置工件W的工作台20、对工件W进行加工的加工部30、贮存加工前的工件W的工件供给待机部40、贮存加工后的工件W的工件回收待机部50、将贮存于工件供给待机部40的工件W向工作台20供给的工件供给装置60、将加工后的工件W从工作台20向工件回收待机部50回收的工件回收装置70、控制整体的动作的控制器(未图示)。
安装工件W的框架F由薄板材形成为环状。在框架F的外周的前后左右形成有直线部。前后的直线部相互平行。另外，左右的直线部相互平行。前后的直线部与左右的直线部相互正交。另外，在前侧的直线部形成有切口。框架F的内周为圆形。
在框架F的内部安装切割膜T。切割膜T的单侧面形成粘合面。
工件W通过载置于切割膜T的粘合面而安装在框架F上。
需要说明的是，在工件W以加工面(加工时刀片所触碰的面)为表面的情况下，将背面贴附到切割膜T上，从而安装到框架F上。
工作台20形成为圆盘状。工作台20的工件载置面21水平地设置。
工作台20的工件载置面21包括：工件载置部21A，其载置安装在框架F上的工件W的部分；框架载置部21B，其载置框架F的部分。工件载置部21A形成为圆盘状，框架载置部21B在工件载置部21A的外周形成为环状。工件载置部21A比框架载置部21B高出框架F的厚度量。
在工件载置面21上形成有多个未图示的吸附孔。利用未图示的吸引机构从吸附孔吸引空气。通过由该吸附孔吸引空气，载置于工作台20上的工件被吸附保持在工作台20上。
在工作台20的下部配设有工作台驱动电动机22。工作台20与该工作台驱动电动机22的输出轴22A连接。工作台驱动电动机22的输出轴22A垂直地配设。工作台驱动电动机22的输出轴22A与工作台20的下表面中央连接。通过驱动该工作台驱动电动机22而使工作台20旋转。
工作台驱动电动机22设置在X轴工作台23上。X轴工作台23滑动自如地设置成在一对导轨24上。一对导轨24水平地铺设在切割装置10的主体框架12上。X轴工作台23由未图示的进给机构(例如，进给丝杠机构)驱动，从而在导轨24上往复移动。
需要说明的是，将该工作台20的移动方向定义为X轴方向，将在水平的面内与X轴正交的方向定义为Y轴方向。另外，将与X轴和Y轴所成的面(水平面)正交的轴定义为Z轴。
通过利用未图示的进给机构使X轴工作台23沿X轴方向移动，工作台20在加工位置和更换位置之间往复移动。另外，其通过驱动工作台驱动电动机22而旋转。
加工部30对通过工作台20移动到加工位置的工件W进行加工处理。该加工部30主要包括：一对主轴单元31A、31B、一对摄像单元32A、32B、主轴单元进给机构(未图示)。
一对主轴单元31A、31B设置在位于加工位置的工作台20的上方。各主轴单元31A、31B以在前端具备的主轴31a、31b相互对置的方式配置在与Y轴平行的直线上。
各主轴单元31A、31B内置有未图示的电动机，在该电动机的驱动下，主轴31a、31b旋转。
在主轴31a、31b上安装有刀片33A、33B。刀片33A、33B形成为圆盘状，在其外周形成有切削刃。
摄像单元32A、32B经由托架34A、34B安装在各主轴单元31A、31B上。各摄像单元32A、32B对由各刀片33A、33B切削的工件W的表面进行摄像。根据该摄像单元32A、32B摄像到的图像，进行校正处理、加工状态的评价等。
主轴单元移动进给机构(未图示)使各主轴单元31A、31B在与工作台20的移动方向(X轴方向)正交的方向(Y轴方向)上往复移动，并且，使各主轴单元31A、31B在与工作台20的工件载置面21(XY平面(水平面))正交的方向上进退移动。
各主轴单元31A、31B通过沿Y轴方向移动而分度进给。另外，各主轴单元31A、31B通过沿Z轴方向移动而相对于载置于工作台20上的工件W进退移动，从而能够使刀片33A、33B与工件W抵接。
工件W通过旋转的刀片33A、33B与表面抵接而被切削。然后，通过使刀片33A、33B沿着预先设定的切割预定线(直线)与工件W抵接，而使工件W被沿着切割预定线切割或被实施槽加工，从而分割成芯片。
工件供给待机部40贮存加工前的工件W。工件回收待机部50贮存加工后的工件W。该工件供给待机部40和工件回收待机部50隔着位于更换位置的工作台20配置成左右对置(在图2中，在左侧配置有工件供给待机部40，在右侧配置有工件回收待机部50)。
在工件供给待机部40和工件回收待机部50，工件W以竖起的状态被贮存。
此时，在工件供给待机部40，工件W以相对于工作台20的工件载置面21(水平面)垂直竖起的姿势被贮存(以工件W的背面与工件载置面21平行的姿势被贮存)。另外，工件W以与工作台20的移动方向(X轴方向)平行的姿势被贮存(以工件W的背面与XZ平面平行的姿势被贮存)。而且，工件W以贴附有切割膜T的面(背面)朝向工作台侧的姿势被贮存。这样，通过使贴附有切割膜T的面(背面)朝向工作台侧且以竖起的姿势贮存工件W，从而能够防止在加工部30产生的雾等附着到工件W的加工面(表面)。
同样，在工件回收待机部50，工件W以相对于工作台20的工件载置面21(水平面)垂直竖起的姿势被贮存(以工件W的背面与工件载置面21平行的姿势被贮存)。另外，工件W以与工作台20的移动方向(X轴方向)平行的姿势被贮存(以工件W的背面与XZ平面平行的姿势被贮存)。而且，工件W以贴附有切割膜T的面(背面)朝向工作台侧的姿势被贮存。这样，通过使贴附有切割膜T的面(背面)朝向工作台侧且以竖起的姿势贮存工件W，能够防止在加工部30产生的雾等附着到工件W的加工面(表面)。
工件供给装置60向工作台20供给贮存于工件供给待机部40的加工前的工件W。
图3是工件供给装置的俯视图。另外，图4是工件供给装置的主视图。
工件供给装置60主要包括：工件供给电动机61、工件供给臂62、工件供给夹具63。
工件供给电动机61安装在切割装置10的主体框架12上。工件供给电动机61的输出轴61A设置成与工作台20的移动方向(X轴方向)平行。
工件供给臂62安装在工件供给电动机61的输出轴61A上。此时，工件供给臂62安装成与工件供给电动机61的输出轴61A正交。该工件供给臂62由工作缸构成，其相对于工件供给电动机61的输出轴61A沿正交的方向伸缩(在与ZY平面平行的面内伸缩)。
工件供给夹具63安装在工件供给臂62的前端部。在工件供给夹具63上设有开闭自如的一对把持爪63A、63A。一对把持爪63A、63A形成为板状，且配设成与工件供给电动机61的输出轴61A平行(配设成与工作台20的移动方向(X轴方向)平行)。该一对把持爪63A、63A由未图示的驱动机构驱动，沿相互离开的方向和相互靠近的方向平行移动，以对其间隔进行开闭。
在一对把持爪63A、63A之间配置有定位板63B。定位板63B形成为棱柱状，在前端形成有平坦的抵接面63b。抵接面63b形成为与工件供给电动机61的输出轴61A平行(形成为与工作台20的移动方向(X轴方向)平行)。
工件供给装置60以如上方式构成。该工件供给装置60的作用如下。
当驱动工件供给电动机61时，工件供给臂62摆动。工件供给臂62被该工件供给电动机61驱动，从而在规定的“加工前工件接受位置”和“加工前工件交接位置”之间移动。
另外，若使由工作缸构成的工件供给臂62伸缩，则工件供给夹具63在规定的“把持位置”和“退避位置”之间进退移动。
而且，若驱动工件供给夹具63，则工件供给夹具63的把持爪63A、63A开闭。
在图4中，虚线表示工件供给臂62位于加工前工件接受位置的状态。另外，实线表示工件供给臂62位于加工前工件交接位置的状态。如该图所示，当工件供给臂62位于加工前工件接受位置时，其成为垂直竖起的姿势。另外，当工件供给臂62位于加工前工件交接位置时，其成为水平倒下的姿势。
当工件供给臂62位于加工前工件接受位置时，工件供给夹具63位于工件供给待机部40。工件W通过由位于该工件供给待机部40的工件供给夹具63把持而贮存于工件供给待机部40。
当工件供给臂62位于加工前工件接受位置时，设在工件供给夹具63上的定位板63B的抵接面63b成为水平的姿势。通过使形成于框架F的外周的直线部与抵接面63b抵接，而将工件W把持在工件供给夹具63上。由此，将工件W相对于工件供给夹具63定位。另外，此时，使贴合有切割膜T的面(背面)朝向工作台20侧，使工件供给夹具63把持工件W。
由工件供给夹具63把持的工件W以相对于工作台20的工件载置面21垂直竖起的姿势被保持(以工件W的背面与工件载置面21平行的姿势被保持)。另外，工件W以与工作台20的移动方向(X轴方向)平行的姿势被保持。而且，工件W以贴附有切割膜T的面(背面)朝向工作台侧的姿势被保持。
若驱动工件供给电动机61、使工件供给臂62摆动以使工件供给臂62移动到加工前工件交接位置，则工件W以工件供给电动机61的输出轴61A中心地转动。此时，工件W以从垂直竖起的状态逐渐倾斜并倒下的方式移动。然后，使贴附有切割膜T的面朝下并以水平的姿势停止。
在向工作台20供给工件W的情况下，使工作台20位于更换位置，使工件供给臂62从加工前工件接受位置移动到加工前工件交接位置。由此，由工件供给夹具63把持的工件W载置于工作台20的工件载置面21上。
当工件W载置于工作台20的载置面上时，工件供给夹具63打开把持爪63A、63A，以解除对工件W的把持。当解除工件供给夹具63的把持时，工件供给臂62收缩，工件供给夹具63移动到退避位置。由此，把持爪63A、63A从框架F脱离。通过上述动作，工件W的供给结束。然后，在工件供给电动机61的驱动下，工件供给臂62移动到加工前工件接受位置。进一步而言，工件供给臂62伸出，工件供给夹具63移动到把持位置。由此，能够贮存随后要加工的工件W。
工件回收装置70从工作台20向工件回收待机部50回收加工后的工件W。
工件回收装置70的结构与工件供给装置60相同(主要包括工件回收电动机71、工件回收臂72、工件回收夹具73)。因此，在此仅说明工件回收装置70的作用。
当驱动工件回收电动机71时，工件回收臂72摆动。工件回收臂72由该工件回收电动机71驱动，从而在规定的“加工后工件接受位置”和“加工后工件交接位置”之间移动。
另外，若使由工作缸构成的工件回收臂72伸缩，则工件回收夹具73在规定的“把持位置”和“退避位置”之间进行进退移动。
而且，若驱动工件回收夹具73，则工件回收夹具73的把持爪73A、73A进行开闭。
在图2中，虚线表示工件回收臂72位于加工后工件接受位置的状态。另外，实线表示工件回收臂72位于加工后工件交接位置的状态。如该图所示，当工件回收臂72位于加工后工件交接位置时，其成为垂直竖起的姿势。另外，当工件回收夹具73位于加工后工件接受位置时，其成为水平地倒下的姿势。
当从工作台20回收工件W时，首先，使工件回收臂72收缩，使工件回收夹具73退避到退避位置。接下来，驱动工件回收电动机71，以使工件回收臂72移动到加工后工件接受位置。
当工件回收臂72位于加工后工件接受位置时，工件回收臂72成为水平的姿势。另外，工件回收夹具73配置成与由工作台20保持的工件W的框架F对置。在该状态下，若使工件回收臂72伸出而将工件回收夹具73移动到把持位置，则载置于工作台20的工件W的框架F嵌入到一对把持爪73A、73A之间。另外，框架F的直线部与定位板73B的抵接面73b抵接。在该状态下，若驱动工件回收夹具73而关闭把持爪73A、73A，则框架F由把持爪73A、73A夹住，工件W由工件回收夹具73把持。
若工件W的框架F由工件回收夹具73把持，则基于工作台20的工件W的吸附被解除。然后，工件回收电动机71被驱动，工件回收臂72向加工后工件交接位置旋转移动。此时，工件W以边从水平地横卧的状态逐渐倾斜边竖起的方式移动。然后，以垂直竖起的姿势停止。
当工件回收臂72移动到加工后工件交接位置时，工件回收夹具73位于工件回收待机部50。工件W以该状态被保持。由此，加工后的工件W贮存于工件回收待机部50。此时，由工件回收夹具73把持的工件W以相对于工作台20的工件载置面21垂直竖起的姿势被保持(以工件W的背面与工件载置面21平行的姿势被保持)。另外，工件W以与工作台20的移动方向(X轴方向)平行的姿势被保持。而且，工件W以贴附有切割膜T的面(背面)朝向工作台侧的姿势被保持。
[作用]
接下来，对基于本实施方式的切割装置10的工件W的加工处理方法进行说明。
装置整体的动作由未图示的控制器控制。
在初期状态，工作台20位于更换位置。另外，工件供给装置60的工件供给臂62位于加工前工件接受位置，工件供给夹具63位于把持位置。另外，工件回收装置70的工件回收臂72位于加工后工件交接位置，工件回收夹具73位于把持位置。
工件供给臂62位于加工前工件接受位置，由此工件供给夹具63位于工件供给待机部40。另外，工件回收臂72位于加工后工件交接位置，由此工件回收夹具73位于工件回收待机部50。
首先，加工前的工件W贮存于工件供给待机部40。操作者通过手动进行该作业。操作者使位于工件供给待机部40的工件供给夹具63把持加工前的工件W，将加工前的工件W贮存于工件供给待机部40。
此时，操作者使安装有工件W的框架F的直线部与工件供给夹具63的定位板63B的抵接面63b抵接，使工件供给夹具63把持工件W。由此，工件W被定位而由工件供给夹具63把持。
另外，操作者使贴附有切割膜T的面(背面)朝向工作台侧，便工件供给夹具63把持工件W。
如图5(a)所示，如上贮存于工件供给待机部40的工件W以相对于工作台20的工件载置面21垂直竖起的姿势被贮存。另外，工件W以与工作台20的移动方向平行的姿势被贮存。而且，工件W以贴附有切割膜T的面朝向工作台侧的姿势被贮存。
然后，当通过操作者向控制器输入加工开始指令时，加工处理开始。
首先，工件供给电动机61被驱动，工件供给臂62从加工前工件接受位置移动到加工前工件交接位置。由此，如图5(b)所示，工件W载置于工作台20上。
当工件W载置于工作台20上时，工件供给夹具63对工件W的把持被解除。然后，如图5(c)所示，工件供给臂62收缩，工件供给夹具63退避到退避位置。由此，工件供给夹具63与载置于工作台20上的工件W脱离。
然后，工件供给电动机61被驱动，工件供给臂62向加工前工件接受位置移动。然后，工件供给臂62伸出，工件供给夹具63移动到工件把持位置。由此，如图5(d)所示，工件供给夹具63位于工件供给待机部40，从而能够贮存接下来将要加工的工件W。
当工件W载置于工作台20上时，工作台20的吸引机构进行动作。由此，工件W由工作台20吸附保持。
然后，工作台20移动到加工位置，由加工部30进行切割加工。即，其由旋转的刀片33A、33B沿着切割预定线进行触碰，沿着切割预定线进行切割或槽加工。由此，将芯片断开。
当加工结束时，工作台20移动到更换位置。工件回收装置70从工作台20回收工件W。该处理以如下方式进行。
如图6(a)所示，工件回收臂72位于加工后工件交接位置。另外，工件回收夹具73位于工件保持位置。
首先，工件回收臂72收缩，工件回收夹具73退避到退避位置。若工件回收夹具73退避，则随后工件回收电动机71被驱动，工件回收臂72移动到加工后工件接受位置。
当工件回收臂72位于加工后工件接受位置时，如图6(b)所示，工件回收臂72成为水平的姿势。另外，工件回收夹具73配置成与载置于工作台20上的工件W的框架F对置。
当工件回收臂72向加工后工件接受位置移动时，工件回收夹具73被驱动而使一对把持爪73A、73A的间隔扩大。然后，工件回收臂72伸出，工件回收夹具73朝向由工作台20保持的工件W移动。
如图6(c)所示，当工件回收臂72伸出时，载置于工作台20上的工件W的框架F嵌入一对把持爪73A、73A之间。另外，框架F的直线部与定位板73B的抵接面73b抵接。然后，工件回收夹具73被驱动，框架F被把持爪73A、73A关闭。由此，框架F被把持爪73A、73A夹住，工件W由工件回收夹具73把持。
当工件W的框架F由工件回收夹具73把持时，工作台20对工件W的吸附被解除。
若工作台20的吸附被解除，工件回收电动机71被驱动，工件回收臂72向加工后工件交接位置旋转移动。由此，工件W向工件回收待机部50移动。此时，工件W以边从水平横卧的状态逐渐倾斜边竖起的方式移动。然后，其以垂直竖起的姿势停止。这样，通过边使工件W逐渐倾斜边从工作台20将其回收，能够从工作台20的端部逐渐剥离工件W而将其回收。由此，能够防止工件W的静电破损。
通过以上方式结束对工件W的回收。工件W在由工件回收夹具73把持的状态下被待机。由此，加工后的工件W贮存于工件回收待机部50。此时，由工件回收夹具73把持的工件W以相对于工作台20的工件载置面21垂直竖起的姿势被保持(以工件W的背面与工件载置面21平行的姿势被保持)。另外，工件W以与工作台20的移动方向(X轴方向)平行的姿势被保持。而且，工件W以贴附有切割膜T的面(背面)朝向工作台侧的姿势被保持。
操作者回收在工件回收待机部50贮存的工件W。由此，结束对一片工件W的处理。
如上所述，当向工作台20供给工件W后，工件供给装置60的工件供给臂62向加工前工件接受位置移动，从而能够保持接下来将要加工的工件W。操作者在供给到工作台20的工件W被加工部30加工的期间使工件供给夹具63保持接下来将要加工的工件W。由此，能够将接下来将要加工的工件贮存到工件供给待机部40。另外，由此，在当前加工中的工件W的加工结束后，能够连续地开始随后的对工件W的加工动作。对于贮存于工件回收待机部50的加工后的工件W，也是由操作者在当前加工中的工件W的加工结束之前从工件回收待机部50将其回收。由此，能够连续地回收工件W。
通过在相同的时刻由该操作者实施工件W的供给作业和回收作业，能够以良好的效率运行切割装置。即，通过在回收加工后的工件W的同时将新的工件W贮存到工件供给待机部40，操作者能够没有浪费地实施工件W的供给作业和回收作业。
另外，由于能够在工件W的加工中由该操作者进行工件W的供给作业和回收作业，所以能够在可实施的时间方面具有伸缩空间。因此，即使在运行多台切割装置的情况下，也能够在不停止各装置运行的状态下以良好的效率运行各装置。
另外，贮存于工件供给待机部40和工件回收待机部50的工件W以竖起的状态被贮存，所以能够节省空间地贮存。另外，工件W以贴附有切割膜T的面朝向工作台侧的方式被贮存，所以能够防止雾等附着到加工面。
这样，根据本实施方式的切割装置10，通过使加工前的工件W和加工后的工件W在竖起的状态下被贮存，所以能够以紧凑的结构有效地对工件W进行加工处理。
另外，当从工作台20回收工件W时，由于从工作台20的端部逐渐剥离工件W而将其回收，所以也能够防止工件W的静电破损。
需要说明的是，当如此回收工件W时，优选边向工作台20和切割膜T之间喷出离子，边从工作台20剥离工件W。在这种情况下，构成为在位于更换位置的工作台20的附近设置离子发生器，以能够朝向工作台20发射离子。
〔第二实施方式〕
图7是表示本发明的切割装置的第二实施方式的主要部分结构的主视图。
如该图所示，本实施方式的切割装置具备在工件回收待机部50对加工后的工件W进行清洗的工件清洗装置80。
工件清洗装置80朝向贮存于工件回收待机部50的加工后的工件W喷射清洗液，以清洗工件W。清洗液从清洗液喷嘴82喷射。清洗液喷嘴82设置在以竖起的姿势贮存于工件回收待机部50的工件W的斜上方。清洗液喷嘴82从以竖起的姿势贮存于工件回收待机部50的工件W的斜上方朝向工件W喷射清洗液。由于清洗液沿着工件W流淌落下，所以清洗液不会落在工作台20上。
这样，通过在工件回收待机部50上具备工件清洗装置80，从而能够对加工后的工件W进行清洗，因此能够回收洁净状态的工件W。
需要说明的是，可以在工件清洗装置80上进一步设置喷射空气的空气喷嘴。空气喷嘴也以从斜上方朝向工件W对工件W喷射空气的方式设置。向工件W喷射清洗液之后，通过从空气喷嘴喷射空气，能够以空气去除残留在工件W上的水滴等，从而能够在干燥的状态下回收工件W。
〔第三实施方式〕
图8是表示本发明的切割装置的第三实施方式的主要部分结构的主视图。
本实施方式的切割装置的工件供给待机部、工件回收待机部、工件供给装置、工件回收装置的方式与上述第一实施方式的切割装置不同。因此，在此仅说明该不同点。
如图8所示，在本实施方式的切割装置中，将工件W安装到夹持件90上以进行加工。
图9为夹持件的俯视图。如该图所示，夹持件90包括：把持安装有工件W的框架F的左端部的左边部90A、把持框架F的右端部的右边部90B、把持框架F的后端部的后边部90C，其整体形成为コ字状。左边部90A和右边部90B形成为相互平行，左右的边部90A、90B和后边部90C形成为相互正交。
在夹持件90的各边部的内周部形成有槽。通过在该槽内嵌入框架F的外周部，而将工件W安装到夹持件90上。
夹持件90的各边部的外周平坦地形成。通过将各边部的外周面载置于水平的面上，能够使夹持件90竖起。
如图8所示，在贮存加工前的工件W的工件供给待机部40设有加工前工件载置台42，该加工前工件载置台42用于载置安装在夹持件90上的工件W。加工前工件载置台42在上表面部分形成有用于载置夹持件90的夹持件载置面44。夹持件载置面44水平地形成。在夹持件载置面44，夹持件90所嵌入的夹持件载置槽46形成为与工作台20的移动方向(X轴方向)平行。夹持件90嵌入该夹持件载置槽46，以竖起的状态载置于夹持件载置面44上。
当将安装有工件W的夹持件90载置到加工前工件载置台42上时，工件W以相对于工作台20的工件载置面21垂直竖起的姿势载置于加工前工件载置台42上。另外，工件W以与工作台20的移动方向平行的姿势载置于加工前工件载置台42上。
需要说明的是，当夹持件90载置于加工前工件载置台42上时，保持于内周部的工件W的贴附有切割膜T的面朝向工作台侧。
如图8所示，在贮存加工后的工件W的工件回收待机部50设有加工后工件载置台52，该加工后工件载置台52用于载置安装在夹持件90上的工件W。加工后工件载置台52在上表面部分形成有用于载置夹持件90的夹持件载置面54。夹持件载置面54水平地形成。在夹持件载置面54上，夹持件90所嵌入的夹持件载置槽56形成为与工作台20的移动方向(X轴方向)平行。夹持件90嵌入该夹持件载置槽56内，其在竖起的状态下载置于夹持件载置面54上。
当安装有工件W的夹持件90载置于加工后工件载置台52上时，工件W以相对于工作台20的工件载置面21垂直竖起的姿势载置于加工后工件载置台52上。另外，工件W以与工作台20的移动方向平行的姿势载置于加工后工件载置台52上。
经由夹持件90载置于加工前工件载置台42上的工件W通过工件供给装置60与夹持件90一起载置于工作台20上。
工件供给装置60例如由机械手构成。工件供给装置60把持夹持件90并且在将工件W抬升到规定高度的位置之后，使工件W以平行于工作台20移动方向的轴X1为中心地旋转，从而将工件W载置到工作台20上。即，以从垂直竖起的状态使其朝向工作台20倒下的方式将工件W转移载置到工作台20上。
另外，加工后的工件W利用工件回收装置70与夹持件90一起回收到工件回收待机部50。工件回收装置70例如由机械手构成。工件回收装置70把持夹持件90，使工件W以与工作台20的移动方向平行的轴X2为中心地旋转，从而将工件W从工作台20转移载置到加工后工件载置台52上。即，以从水平横卧的状态边使其逐渐倾斜边竖起的方式使工件W从工作台20转移载置到加工后工件载置台52上。
根据如上构成的本实施方式的切割装置10，能够使贮存于工件供给待机部40及工件回收待机部50的工件W自动竖起。由此，能够简单地进行工件W的供给、回收作业。即，仅需将加工前的工件W安装到夹持件90上并载置到加工前工件载置台42上，就能够简单地进行工件W的供给。另外，由于仅需将载置于加工后工件载置台52的工件W按照每个夹持件进行回收，就能够简单地回收加工后的工件W。
需要说明的是，将加工前的工件W安装到夹持件90上的作业以及将安装在夹持件90上的工件W载置到加工前工件载置台42上的作业由操作者以手工作业完成。同样，对载置于加工后工件载置台52上的工件W进行回收的作业也由操作者通过手工作业完成。
另外，在上述实施方式中，虽然由机械手构成工件供给装置及工件回收装置，但是进行工件W的供给、回收的机构并不限于此。
另外，在上述实施方式中，虽然工件W的供给和工件W的回收以不同的装置来进行，但是也可以以一台装置进行工件W的供给和回收。
〔第四实施方式〕
图10是表示本发明的切割装置的第四实施方式的主要部分结构的主视图。
本实施方式的切割装置在上述第三实施方式的切割装置的基础上构成为能够在工件供给待机部40和工件回收待机部50贮存多片工件W。
如图10所示，在设于工件供给待机部40的加工前工件载置台42的夹持件载置面44上沿与工作台20的移动方向正交的方向(Y轴方向)以一定的间隔形成有多个夹持件载置槽46。
另外，在设于工件回收待机部50的加工后工件载置台52的夹持件载置面54上沿与工作台20的移动方向正交的方向(Y轴方向)以一定的间隔形成多个夹持件载置槽56。
在各载置台上准备能够载置的数量的夹持件90。从而，夹持件90被准备与在夹持件载置面形成的夹持件载置槽的数量相等的数量。
加工前的各工件W安装在夹持件90上，且载置于加工前工件载置台42的夹持件载置面44上。此时，夹持件90嵌入在夹持件载置面44形成的夹持件载置槽46内，从而各工件W载置于夹持件载置面44上。另外，各工件W载置成贴附有切割膜T的面朝向工作台侧。
当载置于夹持件载置面44上时，各工件W以相对于工作台20的工件载置面21垂直竖起的姿势载置于加工前工件载置台42上。另外，各工件W以与工作台20的移动方向平行的姿势载置于加工前工件载置台42上。
经由夹持件90载置于加工前工件载置台42上的工件W通过工件供给装置60与夹持件90一起载置于工作台20上。工件供给装置60例如由机械手构成。工件供给装置60以从靠近工作台20的一方开始的顺序向工作台20供给工件W。此时，工件供给装置60把持夹持件90，在将工件W抬升到规定高度的位置后，使其水平地平行移动，然后将工件W水平地移动到规定的工件旋转位置。然后，在该工件旋转位置，使工件W以与工作台20的移动方向平行的轴X1为中心地旋转，从而载置到工作台20上。即，在工件旋转位置，将工件W以从垂直竖起的状态朝向工作台20倒下的方式移动载置到工作台20上。
另外，加工后的工件W通过工件回收装置70与夹持件90一起回收到工件回收待机部50。工件回收装置70例如由机械手构成。工件回收装置70载置从位于离开工作台20的位置的夹持件载置槽56开始依次回收了工件W的夹持件90。此时，工件回收装置70以与工作台20的移动方向平行的轴X2为中心地旋转，从工作台20回收工件W。然后，平行移动到载置夹持件90的夹持件载置槽56的位置，从而将工件W载置到加工后工件载置台52上。
根据如上构成的本实施方式的切割装置10，能够在工件供给待机部40及工件回收待机部50贮存多个工件W。由此，能够更高效地运行装置。
需要说明的是，将加工前的工件W安装到夹持件90的作业及将安装到夹持件90上的工件W载置到加工前工件载置台42上的作业，是由操作者通过手工作业进行的。同样，对载置于加工后工件载置台52上的工件W进行回收的作业也是由操作者通过手工作业进行的。
贮存于工件供给待机部40的工件W的数量是任意的。因此，可以使其仅贮存一片。这种情况下，操作者向控制器输入贮存的工件W的片数的信息。控制器根据所贮存的工件W的数量，对工件供给装置60及工件回收装置70的动作进行控制，以控制工件W的供给和回收。
另外，在上述实施方式中，虽然以机械手构成工件供给装置及工件回收装置，但是进行工件W的供给、回收的机构不限于此。
另外，在上述实施方式中，虽然以不同的装置进行工件W的供给和工件W的回收，但是也可以以一台装置进行工件W的供给和回收。
〔第五实施方式〕
图11是表示本发明的切割装置的第五实施方式的主要部分结构的主视图。
本实施方式的切割装置构成为，能够不使用夹持件90地将多片工件W贮存到工件供给待机部40和工件回收待机部50。
如图10所示，在设于工件供给待机部40的加工前工件载置台42上设有工件供给架48。在工件供给架48上形成有框架保持槽48A，该框架保持槽48A供安装有工件W的框架F嵌入。框架保持槽48A的宽度与安装有工件W的框架F的宽度大致相同，且与工作台20的移动方向(X轴方向)平行。另外，框架保持槽48A沿与工作台20的移动方向正交的方向(Y轴方向)以一定的间隔形成多个。
加工前的各工件W以其框架F嵌入框架保持槽48A的方式安置在工件供给架48上。此时，各工件W以其贴附有切割膜T的面朝向工作台侧的方式安置在工件供给架48上。安置在工件供给架48上的工件W以相对于工作台20的工件载置面21垂直竖起的姿势被安置。另外，各工件W以与工作台20的移动方向平行的姿势被载置于加工前工件载置台42上。
安置在工件供给架48上的工件W通过工件供给装置60载置于工作台20上。工件供给装置60例如由机械手构成。工件供给装置60按照从靠近工作台20一方开始的顺序向工作台20供给工件W。此时，工件供给装置60把持工件W的框架F，在将工件W抬升到规定高度的位置之后，其水平地平行移动，使工件W水平地移动到规定的工件旋转位置。然后，在该工件旋转位置，使工件W以与工作台20的移动方向平行的轴X1为中心地旋转，从而载置到工作台20上。即，在工件旋转位置，将工件W以从垂直竖起的状态朝向工作台20倒下的方式移动载置到工作台20上。
在设于工件回收待机部50的加工后工件载置台52上设有工件回收架58。在工件回收架58上形成有框架保持槽58A，该框架保持槽58A供安装有工件W的框架F嵌入。框架保持槽58A的宽度与安装有工件W的框架F的宽度大致相同，且与工作台20的移动方向(X轴方向)平行。另外，框架保持槽58A沿与工作台20的移动方向正交的方向(Y轴方向)以一定的间隔形成多个。
加工后的各工件W以其框架F嵌入框架保持槽58A的方式安置在工件回收架58上。此时，各工件W以贴附有切割膜T的面朝向工作台侧的方式安置在工件回收架58上。安置在工件回收架58上的工件W以相对于工作台20的工件载置面21垂直竖起的姿势安置。另外，各工件W以与工作台20的移动方向平行的姿势载置于加工前工件载置台42上。
加工后的工件W由工件回收装置70回收到工件回收待机部50。工件回收装置70例如由机械手构成。工件回收装置70载置从位于从工作台20离开的位置的框架保持槽58A开始依次回收的工件W。此时，工件回收装置70以与工作台20的移动方向平行的轴X2为中心旋转，从工作台20回收工件W。然后，其平行移动到载置工件W的框架保持槽58A的位置，以将工件W载置到框架保持槽58A上。
在如上构成的本实施方式的切割装置中，也能够向工件供给待机部40及工件回收待机部50贮存多个工件W。由此，能够更高效地运行装置。
需要说明的是，将加工前的工件W安置到工件供给架48的作业是由操作者通过手工作业进行的。同样，对回收到工件回收架58的工件W进行回收的作业也由操作者通过手工作业进行。
安置在工件供给架48上工件W的数量是任意的。因此，可以仅安置一片。在这种情况下，操作者向控制器输入安置的工件W的片数的信息。控制器根据所贮存的工件W的数量对工件供给装置60及工件回收装置70的动作进行控制，从而控制工件W的供给和回收。
另外，在上述实施方式中，虽然由机械手构成工件供给装置及工件回收装置，但是进行工件W的供给、回收的机构不限于此。
另外，在上述实施方式中，虽然以不同的装置进行工件W的供给和工件W的回收，但是也能以一台装置进行工件W的供给和回收。
〔第六实施方式〕
图12是表示本发明的切割装置的第六实施方式的主要部分结构的主视图。另外，图13是表示本发明的切割装置的第六实施方式的主要部分结构的俯视图。
本实施方式的切割装置通过一台工件供给回收装置100进行工件W的供给、回收。
工件供给回收装置100将安装在夹持件90上的工件W从工件供给待机部40向工作台20供给，并且，将加工后的工件W从工作台20回收到工件回收待机部50。
工件供给回收装置100包括：第一框架102、通过第一铰链104被摆动自如支承在第一框架102上的第二框架106、通过第二铰链108被摆动自如地支承在第二框架106上的第三框架110、使第二框架106摆动的第一摆动驱动装置112、使第三框架110摆动的第二摆动驱动装置114、把持夹持件90的一对夹具116。
第一框架102、第二框架106及第三框架110均形成为棱柱状(长方体状)。
第一框架102水平地设置在切割装置10的主体框架12上。第一框架102由未图示的螺栓等固定在主体框架12上。
第二框架106设在第一框架102上。第二框架106的一端(图12的右端)经由第一铰链104与第一框架102的一端(图12的右端)连结。
第一铰链104围绕与工作台20的移动方向(X轴方向)平行的轴进行摆动。因此，第二框架106围绕与工作台20的移动方向(X轴方向)平行的轴进行摆动。
第三框架110设在第二框架106上。第三框架110的一端(图12的左端)通过第二铰链108与第二框架106的一端(图12的左端)连结。
第二铰链108围绕与工作台20的移动方向(X轴方向)平行的轴进行摆动。因此，第三框架110围绕与工作台20的移动方向(X轴方向)平行的轴进行摆动。
第一摆动驱动装置112由工作缸构成，其使第二框架106相对于第一框架102摆动。通过驱动该第一摆动驱动装置112，能够使从第二框架106从水平横卧的状态垂直竖起。
第二摆动驱动装置114由工作缸构成，使第三框架110相对于第二框架106摆动。通过驱动该第二摆动驱动装置114，使第三框架110从水平横卧的状态垂直竖起。
一对夹具116把持夹持件90。夹持件90在后边部90C设有一对把持部90D。夹具116把持设在该夹持件90的后边部90C上的把持部90D。
工件供给回收装置100以如上方式构成。图12表示工件供给回收装置100的基本姿势。在该状态下，第三框架110载置于第二框架106上而成为水平的姿势，同时，第二框架106载置于第一框架102上而成为水平的姿势。另外，在该状态下，由夹具116保持的夹持件90与工件W一起载置于位于更换位置的工作台20上。
若从基本姿势的状态开始驱动第二摆动驱动装置114而使第三框架110竖起，则夹持件90被移送到工件供给待机部40，从而载置到设在工件供给待机部40上的加工前工件载置台42上。
另外，若从基本姿势的状态开始驱动第一摆动驱动装置112而使第二框架106竖起，则夹持件90被移送到工件回收待机部50，从而载置到设在工件回收待机部50上的加工后工件载置台52上。
以如下方式对使用该工件供给回收装置100的向工作台20进行的工件W的供给、回收。
首先，操作者将工件W安装到夹持件90上。然后，将安装有工件W的夹持件90载置到工件供给待机部40的加工前工件载置台42上。
操作者以贴附有切割膜T的面(背面)朝向工作台侧且使其垂直竖起的姿势将夹持件90载置于加工前工件载置台42上的规定位置。
由此，结束对作为加工对象的工件W的安置操作。然后，若指示加工开始，首先，第二摆动驱动装置114被驱动，第三框架110垂直竖起。由此，能够由夹具116保持夹持件90。
当由夹具116把持夹持件90的把持部90D时，第二摆动驱动装置114被驱动，使第三框架110摆动而成为水平的姿势。由此，工件W被载置到工作台20上。
当工件W载置于工作台20上时，基于夹具116的把持被解除。然后，工作台20的吸引机构进行动作，从而工件W被工作台20吸附保持。然后，工件W被向加工部30输送而被加工。
当加工结束而工作台20返回到更换位置时，夹具116被驱动，从而夹持件90的把持部90D由夹具116把持。然后，工作台20对工件W的吸附被解除。
当工作台20的吸附被解除时，第一摆动驱动装置112被驱动，从而第二框架106与第三框架110一起摆动而垂直竖起。由此，加工后的工件W与夹持件90一起被载置到工件回收待机部50的加工后工件载置台52上。
当工件W被载置到加工后工件载置台52上时，基于夹具116的把持被解除。然后，第一摆动驱动装置112被驱动，从而第二框架106与第三框架110一起摆动而返回到基本姿势。
这样，根据本实施方式的切割装置，能够通过一台工件供给回收装置100进行工件W的供给、回收。
〔第七实施方式〕
图14是表示本发明的切割装置的第七实施方式的外观的简要结构的主视图。
如该图所示，切割装置10的整体被壳体14覆盖。在壳体14的正面部分形成有工件W的供给口16和回收口18。供给口16和回收口18相对于加工部30配置成左右对称，并由开闭自如的罩16A、18A覆盖。另外，加工部30的前方也由开闭自如的罩30A覆盖。罩16A、18A、30A形成为透明的结构，从而能够对内部进行观察。
工件W的供给口16与工件供给待机部40连通。当向工件供给待机部40贮存工件W时，通过该供给口16进行贮存。
工件W的回收口18与工件回收待机部50连通。贮存于工件回收待机部50的加工后的工件W通过该回收口18被取出。
这样，通过在壳体14的正面部分形成工件W的供给口16和回收口18，能够使由操作者进行的工件W的供给作业、回收作业变得容易。
〔第八实施方式〕
图15是表示本发明的切割装置200的第八实施方式的外观的简要结构的立体图。
切割装置200主要包括：操作、显示部211、监视电视212、控制器213、罩214、加工部220等。
操作、显示部211包括：显示对切割装置200的各部分进行操作的开关的显示机构和触摸平板。
监视电视212例如为能够进行彩色显示的液晶面板。在监视电视212显示由摄像机构223拍摄的图像。
控制器213为控制切割装置200的整体动作的部分。控制器213包括微处理器、存储器、输入输出电路等，且收容在切割装置200的架台内部。控制器213根据操作、显示部211的操作使切割装置200的各部分进行动作。
罩214由透明的树脂形成，从而能够对加工部220的内部进行观察。另外，为了防止加工时的飞沫、雾在周围飞散，罩214以覆盖加工部220的方式设置。
加工部220为对工件进行槽加工、切割加工的部分。加工部220主要包括：高频率电动机内置型的一对主轴221、安装在各主轴231上的刀片222、一对摄像机构223、一台工作台224、安装在工件W上的夹持件226。
一对主轴221配置成相互对置，且以30000rpm～60000rpm的高速旋转。在主轴221的前端安装有刀片222和轮罩(未图示)。主轴221通过未图示的进给机构沿图中的与箭头X方向正交的Y方向被分度进给。刀片222形成为薄的圆盘状，以对工件W进行槽加工、切割加工。刀片222使用通过镍电镀有金刚石磨粒或CBN磨粒的电镀刀片或通过树脂结合有金刚石磨粒或CBN磨粒的树脂刀片。在刀片222的附近设有未图示的切削喷嘴及清洗喷嘴，从喷嘴向加工点供给切削水及清洗水。
为了评价工件的对准和加工状态，一对摄像机构223对由各刀片222切削的工件W的表面进行摄像。摄像机构223包括显微镜、照明装置、CCD照相机等。
主轴221及摄像机构223配设在由未图示的驱动机构沿Z方向驱动的Z工作台的前端。Z工作台配设在由未图示的驱动机构沿Y方向驱动的Y工作台。因此，刀片222及摄像机构223被沿Y方向及Z方向驱动。
工作台224吸附保持工件W。工件W安装在框架F上。另外，夹持件226被安装，并由工作台224吸附保持。
框架F为由树脂等形成的环状的构件，以覆盖环状的内部的方式贴附有切割膜T。通过将工件W贴附到切割膜T的粘合面，工件W被安装到框架F上。以下，将切割膜T的粘合面即贴附工件W的面定义为表面，将不是切割膜T的粘合面的一侧定义为背面。
工作台224与θ工作台(未图示)连结，该θ工作台与X工作台(未图示)连结，该X工作台(未图示)载置于固定在切割装置200的内部的基座(未图示)上。
吸附固定在工作台224的上表面上的工件W通过θ工作台旋转θ度。，通过X工作台以X导向件(未图示)对其进行导向且由未图示的驱动机构使其向X方向移动，而使吸附固定在工作台224的上表面的工件W被向X方向移动。
在工作台224上设有两根销225。在框架F设有两处切口，通过使销225与该切口抵接来进行工件W的定位。
夹持件226夹持框架F的两端且安装有工件W。如图16、图17、图18所示，夹持件226以两个方棒状的构件对置的方式设置。在切割装置200上至少配设有两组夹持件226。在图16中，一组夹持件226与工作台224大致平行，即沿大致水平方向配设，而其他的夹持件226与工作台224相邻且沿大致垂直方向配设。夹持件226通过以转动轴227为中心进行转动，从而能够在大致水平方向(横向配置)和大致垂直方向(纵向配置)之间移动。将两根转动轴227设置成与夹持件226相邻且与工作台224相邻的方式。
相对于在图16、图17的以实线表示的位置横向配置的夹持件226来进行框架F的拆装。该位置为工件更换位置。框架F为环状的构件，以覆盖框架F的环的内部的方式从背面贴合切割膜T。工件W被贴合到切割膜T的粘合面(即表面)。框架F以背面朝向工作台224侧的方式由夹持件226夹持。优选在夹持件226或框架F设置逆插入防止机构，以使工件W不会以相反的朝向(表面朝向工作台224侧)被夹持件226夹持。作为逆插入防止机构，可以适用在框架F上形成的凸部和在夹持件226的槽231上形成的能够与该凸部嵌合的槽等。
在工件更换位置夹持有框架F的夹持件226通过未图示的连结构件(例如，夹具)与转动轴227连结，该转动轴227配置在图16中的工作台224的左侧(-y侧)的工件供给待机部228上，通过该夹持件226以该转动轴227为中心转动，夹持件226从在工作台224上横向配置的位置向与工作台224的左侧相邻地纵向配置的位置移动。该位置为工件待机位置。由于将这样待机的工件竖起地进行保管，所以无需宽敞的空间，从而能够在非常狭小的区域以有效地对工件进行保管。
如图16、图17所示，在工件待机位置，框架F以切割膜T的粘合面即工件W朝向外侧露出的方式由夹持件226夹持。因此，能够针对从工件加工位置(将在后面详细描述)飞跃来的雾对晶片表面进行保护。
对于在图16中的工作台224的左侧(-y侧)的工件供给待机部228纵向配置的夹持件226，位于铅垂方向上方的夹持件226作为配重而发挥作用，其在重力作用下沿铅垂方向向下(-z方向)移动。在工件待机位置，夹持件226与转动轴227的基准面(参照图16)抵接，由此夹持件226被定位。另外，在工件待机位置，由于位于沿铅垂方向上方的夹持件226作为配重发挥作用，所以由夹持件226夹持的框架F也在重力的作用下沿铅垂方向向下(-z方向)移动。框架F如图15所示在两端形成有直线部，如图19所示，该框架F的直线部与槽231的底面231a抵接，由此框架F相对于夹持件226被定位。
图20是图17的A部的放大图。如图20所示，夹持件226主要包括：沿长度方向形成有槽231的长方体状(方棒状)的主体部230、弹性构件232。弹性构件232通过弹性力在框架F的直线部与槽231的底面231a抵接的状态下对框架F向槽231的侧面231b施力。由此，框架F在大致垂直竖起的状态下由夹持件226定位并夹持。
在图16中的工件待机位置纵向配置的夹持件226通过未图示的连结构件(例如，夹具)与在工作台224的左侧(-y侧)的工件供给待机部228配设的转动轴227连结，该夹持件226通过以该转动轴227为中心地转动从工件待机位置移动到工件更换位置。
如图18所示，夹持件226通过未图示的移动机构从工件更换位置向X方向平行移动，从而沿大致水平方向配设在在工作台224上。该位置为工件加工位置。在工件加工位置，工件W通过未图示的吸附机构被工作台224吸附保持，以进行工件W的加工。
由于在工件待机位置夹持件226及框架F被定位，所以当使其从工件待机位置向工件更换位置(工件加工位置)转动时，夹持件226及框架以图16的左侧(-y侧)为基准地被定位。因此，通过以左侧的夹持件226为基准配设工作台224和销225，能够以良好的精度向工作台224定位并载置工件W，从而能够省去对工件W进行微调整的麻烦。
工件加工后，夹持件226通过未图示的移动机构从工件加工位置向工件更换位置平行移动。此时，夹持件226通过未图示的连结构件(例如，夹具)连结转动轴227，该转动轴227配设在图16中的工作台224的右侧(+y侧)的工件回收待机部229上，该夹持件226通过以该转动轴227为中心转动而从在工作台224上横向配置的位置向与工作台224相邻地纵向配置的位置移动。在图16所示的情况下，横向配置的夹持件226在移动之后如图16的虚线所示那样以与工作台224的右侧(+y侧)的工件回收待机部229相邻的方式纵向配置。该位置为工件结束待机位置。由于这样将加工后的工件竖起地保管，所以无需宽敞的空间，从而能够在非常狭小的区域有效地保管工件。此时，工件W朝向外侧露出。
在切割装置200上配设有未图示的照相机及条形码读取器。
照相机对在大致垂直竖起配设的框架F(在图16中，由在工作台224的左侧(-y侧)的工件供给待机部228纵向配置的夹持件226夹持的框架F)上安装的工件进行摄影。由此，能够对工件W的形状进行识别并且能够预先进行简易的对准。需要说明的是，为了使照相机容易识别工件W的形状，可以配设从背面照射工件W的背光灯。
在框架F的表面贴附有条形码(未图示)。条形码读取器读取在大致垂直竖起地配设的框架F(在图16中，被在工作台224的左侧(-y侧)的工件供给待机部228上纵向配置的夹持件226夹持的框架F)上贴附的条形码。由此，能够在加工前判别工件W的种类等。需要说明的是，贴附到框架F上的物体不限于条形码。例如，可以贴附RFID标签。在这种情况下，替换于条形码读取器，配设RFID标签的读取装置即可。另外，也可以不配设条形码读取器而以照相机拍摄条形码以判别工件W的种类。另外，条形码或RFID标签可以贴附到框架F上，也可以贴附到切割膜T的粘合面上。
另外，在切割装置200上配设有清洗装置及排水装置。如图21所示，清洗装置及排水装置根据需要在工件结束待机位置清洗工件W。由于工件W朝向外侧露出，所以清洗装置及排水装置也配设在位于工件结束待机位置的夹持件226的外侧。
清洗装置主要由喷嘴233构成，纯水从喷嘴233的前端向工件W喷出。排水装置主要包括：储水部234、网眼过滤器235、壁236、裙部237。向工件W供给的纯水在重力的作用下朝向铅垂方向向下落下，并由裙部237向储水部234引导。壁236配设成能够自由拆装，其在纯水从喷嘴233的前端向工件W喷出时使水不向外部漏出，并且将碰到壁236上的废水向储水部234引导。储存在储水部234的废水通过网眼过滤器235向切割装置200的外部排出。
在本实施方式中，工件以竖起的状态在工件结束待机位置被保管。因此，能够以少量的水高效地对金属碎屑进行流动清洗，并且能够将包含该被流动清洗的金属碎屑的废液高效地向排水机构排出。其结果是，即使不像引用文献1那样另外设置晶片清洗部等的空间，也能够高效地简便地对晶片表面进行清洗，而且还能够保持该清洗后的状态地简便地进行保管。另外，还能使该保管所需的空间也非常狭小。
接下来，对使用上述切割装置200的切割加工方法进行说明。
首先，操作者使罩214向上方旋转而打开，使位于工件更换位置的夹持件226夹持框架F。另外，对操作、显示部211的开关进行操作以使夹持件226从工件更换位置向工件待机位置转动。按照夹持件226的数量，反复该操作。由此，在全部多个夹持件226上都夹持有框架F，且全部的夹持件配设在工件待机位置，从而结束向切割装置200安置工件W的动作。
当操作者关闭罩214时，夹持有搭载将要加工的工件W的框架F的夹持件226从工件待机位置向工件更换位置转动。例如，以如下方式移动夹持件226，即，位于工件待机位置的夹持件226中的与工件加工位置相邻配设的夹持件226被转动和平行移动，而其他的夹持件226在工件待机位置纵向配置。
然后，夹持有搭载将要加工的工件W的框架F的夹持件226从工件更换位置向工件加工位置平行移动。即，使夹持件226向X方向(图16中为-X方向)移动，使框架F的切口与销225抵接，从而将框架F载置到工作台224上。由此，工件W被定位。
由于在工件待机位置，框架F以及夹持件226被定位在下方，所以在转动时框架F及夹持件226以转动轴227的基准面(参照图16)、槽231的底面231a为基准被定位。由于销225以转动轴227的基准面为基准地配设在工作台224上，所以能够通过在夹持件226的转动后不进行微调整而仅使夹持件226朝向X方向移动的方式使框架F的切口与销225抵接。其结果是，当将工件放置在工作台上后，能够省去进一步挪动工件而进行微调整这样的麻烦或用于微调整的机构。
在工件W被定位后，使工作台224真空吸附工件W。接着，使X工作台沿-x方向移动，使工件W向摄像机构223的下方移动。这样一来，通过摄像机构223拍摄形成于表面的图案，而该图像由监视电视放映。在此，操作者边观察在监视电视中放映的图像边对操作、显示部211的开关进行操作，以对工件W进行对准。
当对准结束后，使X工作台向+x方向移动，使工件W向工件加工位置移动。通过对操作、显示部211的开关进行操作，实施通过高速旋转的刀片222和X工作台的切削移动来实现的槽加工和切割加工。在加工中。从切削喷嘴向加工点供给切削水，从清洗喷嘴供给清洗水。当完成一条加工线的加工时，刀片222被沿Y方向分度进给，从而朝向随后将要加工的加工线对位，通过X工作台的切削移动对该加工线也进行加工。当通过反复进行这种动作而完成工件W的一个方向的所有加工线的加工时，θ工作台使工件W旋转90度，从而与正交于先前的加工线的加工线对齐地进行加工。
如图16、图17、图18所示，预备的工件W以背面朝向内侧的方式被夹持件226夹持。即，位于工件待机位置的工件W通过切割膜T与工件加工位置隔离。因此，加工时被供给的切削水、清洗水、所述雾不会附着在预备的工件上，从而不会产生对准错误。
当全部加工结束时，显示灯的通知加工结束的灯熄灭。在此，操作者根据需要，使用摄像机构223拍摄工件W的加工部分，并在观察加工状态之后从工作台224卸下工件W。
工件W的卸下是由操作者通过对操作、显示部211的开关进行操作来进行的。横向配置的夹持件226以在工作台224的右侧(+y侧)的工件回收待机部229配设的未图示的转动轴为中心转动。当夹持件226转动时，通过离子发生器238向工作台224及切割膜T喷出离子。当横向配置的夹持件226转动时，如图22所示，一对夹持件226中的工作台224的左侧(-y侧)的夹持件226沿着以配设在工作台224的右侧(+y侧)的工件回收待机部229的未图示的转动轴为中心的圆弧移动。
由于切割膜T弯曲，所以在工作台224的左侧(-y侧)的夹持件226进行圆弧状的移动的同时，切割膜T从工作台224的左侧(-y侧)逐渐上浮，从而工件W从左侧(-y侧)逐渐地剥离。
由离子发生器238喷出的离子与在工作台224和切割膜T之间产生的静电气体中和，从而去除电荷。在本实施方式中，由于工作台224的左侧(-y侧)的夹持件226被抬升，所以离子发生器238从工作台224的左侧(-y侧)喷出离子。为此，切割膜T从工作台224的左侧(-y侧)逐渐上浮，同时，电荷沿着切割膜T和工作台224的接触部从工作台224的左侧向右侧移动。
如图26所示，在以往的切割装置中，通过框架平行地朝向上方移动来卸下工件W，但是由于切割膜T弯曲，工件W也弯曲，从而工件W的大致中央最后离开工作台224。因此，电荷在直到最后一直向与工作台224接触的工件W的大致中央集中，这成为工件W的破损的原因。对此，在切割装置200中，由于工件W从左侧(-Y侧)逐渐剥离并且通过离子发生器238去除电荷，所以电荷不会在大致中央的一个部位集中。因此，能够防止电荷向工件W的中心集中，从而能够抑制工件W的静电破损。另外，还能够防止静电气体导致的切割膜T的破损等不良状况。
当工件W从工作台224剥离后，夹持件226从工件加工位置向工件更换位置移动，然后，夹持件226利用夹持件226的右侧(+y侧)的转动轴227转动。如图23所示，当夹持件226转动时，随着左侧(-y侧)的夹持件226的圆弧状移动，框架F、切割膜T及工件W一体地转动。如图23所示，伴随于此，残留在工件W上的切削水、清洗水的水滴向工作台224的右侧(+y侧)的夹持件226一方落下。落下的水滴经由裙部237被向储水部234引导(参照图21)。由此，能够防止水滴落到工作台224上。
如图27所示，在以往的切割装置中，由于框架F边变得倾斜边向横向移动，所以存在工件W上的水滴落到工作台224上而在随后的加工中发生不良状况的可能性。对此，在切割装置200中，由于工件W上的水滴向夹持件226一方落下，所以水滴不会落到工作台224上，在随后的加工时也不发生不良状况。
当夹持件226转动结束时，夹持件226向工件结束待机位置移动。在工件结束待机位置，根据需要通过清洗装置及排水装置对工件W进行清洗。为清洗工件W而使用过的水全部贮存于储水部234中，所以水滴不会附着到位于工作台224、工件待机位置的工件W等上。
对于本发明的切割装置200而言，即使在加工结束后经过规定的时间，在由操作者更换工件W的情况下，控制器213使位于工件加工位置的工件W向工件结束待机位置移动，从而将位于工件待机位置的预备的工件W配设到工作台224上以进行加工。
首先，利用与操作者对操作、显示部211的开关进行操作而指示的情况相同的方法，将加工完毕的工件W从工作台224卸下。然后，将包括加工完毕的工件W的夹持件226从工件加工位置经由工件更换位置向工件结束待机位置移动。然后，位于工件待机位置的夹持件226以在工件更换位置的左侧(-y侧)的工件供给待机部228配设的转动轴227为中心转动，从而向工件更换位置移动。然后，使夹持件226朝向x方向(在图16中为-x侧)移动，以使框架F的切口与销225抵接。由此，在工件待机位置纵向配置的夹持件226所夹持的预备的工件W在被定位的状态下载置于工作台224上。由此，能够加工预备的工件W。因此，即使在加工结束后操作者不能马上更换加工完毕的工件的情况下，也不会浪费从加工结束到进行工件更换作业之前的时间，从而能够以良好的效率进行加工。
当预备的工件W的加工结束时，显示灯的通知加工结束的灯熄灭。操作者首先使最初被加工而纵向配置于工件结束待机位置的工件W(参照图16、图17的虚线)向工件更换位置转动，并在工件更换位置从夹持件226卸下框架F。然后，将之前刚加工的预备的工件W从工作台224卸下，并使其从工件加工位置向工件更换位置移动，从而在工件更换位置从夹持件226将框架F卸下。
如以上说明的那样，根据本实施方式，由于预先配设预备的工件并且在加工结束后操作者不进行工件更换作业的情况下加工预备的工件，所以不会浪费从加工结束到进行工件更换作业之前的时间，从而能够有效地进行加工。
另外，根据本实施方式，夹持预备的工件的夹持件被纵向配置，所以不会增大预备的工件的待机用的空间，从而能够以非常狭小的空间收容晶片而使其待机。另外，通过配设加工预备的工件前能够进行简便地对准的照相机或条形码读取器等，能够省去这些附带设备。
另外，根据本实施方式，由于预备的工件W以朝向工作台相反侧的方式由夹持件226夹持，所以加工时所供给的切削水、清洗水及其雾不会附着到预备的工件上。因此，能够防止预备的工件W被弄脏而在对准和加工中发生不良状况。而且，还能够防止在工件加工中使用过的水滴向工作台落下，从而防止在接下来的工件加工中发生不良状况。
另外，根据本实施方式，当从工作台卸下加工完毕的工件时，由于使夹持件以转动轴为中心转动而将一侧抬升，所以能够防止静电气体在工件W的中央聚集，进而防止工件发生静电破损。而且，由于通过离子发生器去除电荷，所以能够防止工件的静电破损等的因静电气体导致的不良状况。
另外，根据本实施方式，由于夹持件以大致垂直状态待机，所以能够利用工件和夹持件的自重即重力简便地进行工件的对位。因此，无需设置用于框架的对位的机构，例如使工件滑动的复杂的机构。另外，由于无需对工件进行微调整，所以能够以非常简便的方法将框架设定到精密的安装位置。
需要说明的是，在本实施方式中，虽然预备的工件和加工完毕的工件大致垂直竖起配设，但纵向配置的方向不限于大致垂直。只要不妨碍加工且具有空间，也能以倾斜成水平方向以外的任意角度(例如，45°、60°等期望的角度)的状态纵向配置。
另外，在本实施方式中，通过使夹持件226以转动轴227为中心转动，从而使夹持件226在垂直方向的配设位置(工件待机位置或工件结束待机位置)和水平方向的配设位置(工件更换位置)之间移动，但是使夹持件226在垂直方向的配设位置和水平方向的配设位置之间移动的方法不限于此。如图24所示，也可以在使夹持件226以转动轴227为中心转动的同时，通过未图示的驱动机构使夹持件226沿水平方向平行移动，由此使夹持件226在垂直方向的配设位置和水平方向的配设位置之间移动。
另外，在本实施方式中，如图16、图17所示，虽然配设有两组夹持件226，但是只要是两组以上，夹持件226可以配设为任意个。例如，如图25所示若配设三个夹持件226，则配设夹持加工用的工件W的一组夹持件226和夹持预备的工件W的两组夹持件226。夹持加工用的工件W的一组夹持件226配设在工件更换位置，而夹持预备的工件W的两组夹持件226并列配设在工件待机位置。当加工完成后，使夹持加工完毕的工件W的夹持件226向工件结束待机位置转动，使夹持与工作台224相邻配设的预备的工件W(预备工件A)的夹持件226从工件待机位置向工件更换位置转动，使预备工件A从工件更换位置向工件加工位置移动而载置到工作台224上，使夹持配设在外侧的预备的工件W(预备工件B)的夹持件226平行移动。当预备工件A的加工结束后，使夹持位于工件结束待机位置的最初加工的工件W的夹持件226平行移动，使夹持预备工件A的夹持件226向工件结束待机位置转动，使夹持预备工件B的夹持件226从工件待机位置向工件更换位置转动，使预备工件B从工件更换位置向工件加工位置移动而载置到工作台224上。由此，能够将多片预备的工件配设到切割装置上。
另外，在本实施方式中，虽然以一组夹持件226夹持框架F两端的双持(日语为“两持ち”)结构例进行了，但是也看可以形成为以一个夹持件226仅夹持框架F的单侧的单持(日语为“片持ち”)结构。
另外，在本实施方式中，虽然将槽231的底面231a形成为平坦的面，使平坦的框架F的直线部与该平坦的面抵接而进行框架F的定位，但是定位不限于使用平坦的面来进行的情况。例如，可以在框架F的周围形成山和谷，使山的顶点与槽231的底面231a抵接，也可以在槽231的底面231a形成山和谷，使框架F与该山抵接，还可以在框架F及槽231双方形成山和谷而使山彼此抵接。此时，只要保证山的顶点的位置精度即可，所以与保证平面整体的精度的情况相比能够省去加工的麻烦。另外，即使在框架F和槽231的底面231a之间夹入了垃圾，也能够使垃圾从谷的部分排出，从而能够防止框架倾斜等不良状况，进而能够进行正确的对位。
另外，本实施方式虽以手动切割装置为例进行了说明，但是也可适用于自动地进行工件的搬入、搬出及加工的全自动切割装置。

Claims (11)

1.一种切割装置，其对经由切割膜配置到环状的框架上的工件进行切削加工，其特征在于，具备：
工作台，其水平地载置所述工件；
切削加工机构，其对载置于所述工作台上的所述工件进行切削加工；
工件供给待机部，其以竖起且贴合有所述切割膜的面朝向所述工作台侧的状态贮存加工前的所述工件；
工件供给机构，其将在所述工件供给待机部贮存的所述工件向所述工作台供给；
工件回收待机部，其以竖起且贴合有所述切割膜的面朝向所述工作台侧的状态贮存加工后的所述工件；
工件回收机构，其将载置于所述工作台上的所述工件回收到所述工件回收待机部。
2.根据权利要求1所述的切割装置，其特征在于，
该切割装置还具备使所述工作台在加工位置和更换位置之间移动的工作台移动机构，所述切削加工机构在所述加工位置对载置于所述工作台上的所述工件进行切削加工，所述工件供给机构在所述更换位置向所述工作台供给所述工件，所述工件回收机构在所述更换位置从所述工作台回收所述工件。
3.根据权利要求2所述的切割装置，其特征在于，
所述工件供给待机部和所述工件回收待机部隔着位于所述更换位置的所述工作台对称配置。
4.根据权利要求3所述的切割装置，其特征在于，
所述工件供给机构把持贮存于所述工件供给待机部的所述工件，并通过以与所述工作台的工件载置面平行的转动轴为中心转动，而使所述工件以朝向所述工作台倒下的方式移动，从而将所述工件载置到所述工作台上。
5.根据权利要求3或4所述的切割装置，其特征在于，
所述工件回收机构把持载置于所述工作台上的所述工件，并通过以与所述工作台的工件载置面平行的转动轴为中心转动，而使所述工件以朝向所述工件回收待机部竖起的方式移动，从而将所述工件回收到所述工件回收待机部。
6.根据权利要求5所述的切割装置，其特征在于，
还具备工件保持构件，该工件保持构件拆装自如地安装在配置有所述工件的所述框架上且能够将所述工件以竖起的状态载置于水平的面上，所述工件通过该工件保持构件以竖起的状态贮存于所述工件供给待机部并且以竖起的状态贮存于所述工件回收待机部。
7.根据权利要求6所述的切割装置，其特征在于，
所述工件保持构件由安装在所述框架两端的一对棱柱状的棒料构成，该棒料在内侧面形成有保持所述框架的槽，并且在外侧面形成有设置面，通过使该设置面位于该棒料的下方而载置于水平的面上，而以工件在水平的面上竖起的状态保持该工件。
8.根据权利要求1至4中任意一项所述的切割装置，其特征在于，
该切割装置还具备清洗机构，该清洗机构对以竖起的状态贮存于所述工件回收待机部的所述工件的加工面喷射清洗液以进行清洗。
9.根据权利要求1至4中任意一项所述的切割装置，其特征在于，
在所述工件供给待机部贮存有多个所述工件，并且在所述工件回收待机部贮存有多个所述工件。
10.一种切割方法，该方法通过将经由切割膜配置到环状的框架上的工件载置于工作台上并利用切削加工机构对其进行切削加工，该切割方法的特征在于，包括：
使加工前的所述工件以竖起且贴合有所述切割膜的面朝向所述工作台侧的状态待机的步骤；
向所述工作台供给以竖起的状态待机的所述工件的步骤；
利用所述切削加工机构对供给到所述工作台的所述工件进行切削加工的步骤；
从所述工作台回收加工后的所述工件并且使该工件以竖起且贴合有所述切割膜的面朝向所述工作台侧的状态待机的步骤。
11.根据权利要求10所述的切割方法，其特征在于，
还包括对以竖起的状态待机的加工后的所述工件的加工面喷射清洗液而进行清洗的步骤。
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