JP5387924B2 - ダイシング装置及びダイシング方法 - Google Patents
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Description
[構成]
図1は、本発明に係るダイシング装置の第1の実施の形態の概略構成を示す平面図である。図2は、本発明に係るダイシング装置の第1の実施の形態の概略構成を示す正面図である。
撮像ユニット32A、32Bと、スピンドルユニット送り機構(図示せず)とで構成される。
次に、本実施の形態のダイシング装置10によるワークWの加工処理方法について説明する。
ク把持位置に移動する。これにより、図5(d)に示すように、ワーク供給グリッパ63が、ワーク供給待機部40に位置し、次に加工するワークWのストックが可能になる。
図7は、本発明に係るダイシング装置の第2の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。
図8は、本発明に係るダイシング装置の第3の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。
図10は、本発明に係るダイシング装置の第4の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。
図11は、本発明に係るダイシング装置の第5の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。
図12は、本発明に係るダイシング装置の第6の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。また、図13は、本発明に係るダイシング装置の第6の実施の形態の要部の構成を示す平面図である。
図14は、本発明に係るダイシング装置の第7の実施の形態の外観の概略構成を示す正面図である。
図15は、本発明に係るダイシング装置200の第8の実施の形態の外観の概略構成を示す斜視図である。
−y側)の治具226の円弧状の移動とともに、フレームF、ダイシングフィルムT及びワークWが一体となって回動する。それに従い、図23に示すように、ワークW上に残された切削水や洗浄水の水滴がワークテーブル224の右側(+y側)の治具226の方へ落下する。落下した水滴は、スカート237を介して貯水部234へ導かれる(図21参照)。これにより、ワークテーブル224上に水滴が落下することを防止することができる。
Claims (18)
- ワークの外径よりも大きな内径を有する環状のフレームの内部に撓み可能なダイシングフィルムを取り付け、該ダイシングフィルムの上にマウントされた前記ワークを切削加工するダイシング装置において、
前記ダイシングフィルムが貼着された面を吸着して前記ワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルに保持された前記ワークを切削加工する切削加工手段と、
加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収するワーク回収手段であって、前記フレームを把持して、該フレームを徐々に傾けながら、前記ワークを前記ワークテーブルから回収するワーク回収手段と、
を備えたことを特徴とするダイシング装置。 - 前記ダイシングフィルムが貼着された面を前記ワークテーブル側に向けて起立させた状態で加工後の前記ワークをストックするワーク回収待機部を更に備え、
前記ワーク回収手段は、前記フレームを把持して、前記ワークを前記ワーク回収待機部に向けて徐々に傾けながら移動させ、前記ワークを前記ワーク回収待機部に回収することを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。 - 前記ワーク回収手段は、前記フレームを把持して、前記ワークテーブルのワーク載置面と平行な回動軸を中心に回動することにより、前記ワークを前記ワーク回収待機部に向けて徐々に傾けながら移動させ、前記ワークを前記ワーク回収待機部に回収することを特徴とする請求項2に記載のダイシング装置。
- 前記ワークがマウントされた前記フレームに着脱自在に取り付けられて、前記ワークを起立させた状態で水平な面上に載置可能なワーク保持部材を更に備え、
前記ワークは、前記フレームに前記ワーク保持部材が取り付けられた状態で加工され、
前記ワーク回収手段は、前記ワーク保持部材を把持して、前記ワークを回収し、
回収された前記ワークは、前記ワーク保持部材によって前記ワーク回収待機部に起立させた状態でストックされることを特徴とする請求項2又は3に記載のダイシング装置。 - 前記ワーク保持部材は、前記フレームに取り付けられる角柱状の棒材で構成され、該棒材は、内側面に前記フレームを保持する溝が形成されるとともに、外側面に設置面が形成されることを特徴とする請求項4に記載のダイシング装置。
- 前記フレームは、外周に直線部を有し、該直線部を前記溝の底面に当接させることにより、前記ワークが前記ワーク保持部材に位置決めされて取り付けられることを特徴とする請求項5に記載のダイシング装置。
- 前記ワーク回収待機部に起立した状態でストックされた前記ワークの加工面に洗浄液を噴射して洗浄する洗浄手段を更に備えたことを特徴とする請求項2から6のいずれか1項に記載のダイシング装置。
- ワークの外径よりも大きな内径を有する環状のフレームの内部に撓み可能なダイシングフィルムを取り付け、該ダイシングフィルムの上に前記ワークをマウントし、前記ダイシングフィルムが貼着された面を吸着させて、前記ワークをワークテーブルに保持させ、前記ワークテーブルに保持された前記ワークを切削加工手段で切削加工するダイシング方法において、
前記ワークを前記ワークテーブルに供給するステップと、
前記ワークテーブルに供給された前記ワークを前記切削加工手段で切削加工するステップと、
前記フレームを把持して、該フレームを徐々に傾けながら、加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収するステップと、
からなることを特徴とするダイシング方法。 - 加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収するステップでは、前記フレームを把持して、前記ワークを徐々に傾けながら、加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収し、前記ダイシングフィルムが貼着された面を前記ワークテーブル側に向けて起立させた状態でストックすることを特徴とする請求項8に記載のダイシング方法。
- 加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収するステップでは、前記フレームを把持して、前記ワークテーブルのワーク載置面と平行な回動軸を中心に回動することにより、前記ワークを徐々に傾けながら起立させることを特徴とする請求項9に記載のダイシング方法。
- 前記フレームに取り付けることより、前記ワークを起立させた状態で水平な面上に載置可能なワーク保持部材を用意し、
前記ワークを前記ワークテーブルに供給するステップでは、前記ワーク保持部材が取り付けられた前記ワークを前記ワークテーブルに供給し、
前記ワークを前記切削加工手段で切削加工するステップでは、前記ワーク保持部材が取り付けられた前記ワークを前記切削加工手段で切削加工し、
加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収するステップでは、前記ワーク保持部材を把持して、前記ワークを徐々に傾けながら、加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収し、前記ワーク保持部材によって前記ワークを起立させた状態でストックすることを特徴とする請求項9又は10に記載のダイシング方法。 - 前記ワーク保持部材は、前記フレームに取り付けられる角柱状の棒材で構成され、該棒材は、内側面に前記フレームを保持する溝が形成されるとともに、外側面に設置面が形成されることを特徴とする請求項11に記載のダイシング方法。
- 前記フレームは、外周に直線部を有し、該直線部を前記溝の底面に当接させることにより、前記ワークが前記ワーク保持部材に位置決めされて取り付けられることを特徴とする請求項12に記載のダイシング方法。
- 起立した状態でストックされた加工後の前記ワークの加工面に洗浄液を噴射して洗浄するステップを更に備えたことを特徴とする請求項9から13のいずれか1項に記載のダイシング方法。
- 前記フレームが、前記ワークテーブルの外径よりも大きな外径を有することを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。
- 前記ワークテーブルの近傍に設置され、前記ワークテーブルと前記ダイシングフィルムの間にイオンを吹き付けるイオナイザーを更に備えたことを特徴とする請求項1又は15に記載のダイシング装置。
- 前記フレームに着脱自在に取り付けられて、前記ワークを起立させた状態で水平な面上に載置可能なワーク保持部材を更に備え、
前記ワークは、前記フレームに前記ワーク保持部材が取り付けられた状態で加工され、
前記ワーク回収手段は、前記ワーク保持部材を把持して、前記ワークテーブルのワーク載置面と平行な回動軸を中心に回動することにより、前記ワークを徐々に傾けながら、前記ワークを回収することを特徴とする請求項1、15又は16に記載のダイシング装置。 - 前記ワーク保持部材は、前記フレームに取り付けられる角柱状の棒材で構成され、該棒材は、内側面に前記フレームを保持する溝が形成されるとともに、外側面に設置面が形成され、
前記フレームは、外周に直線部を有し、該直線部を前記溝の底面に当接させることにより、前記ワークが前記ワーク保持部材に位置決めされて取り付けられることを特徴とする請求項17に記載のダイシング装置。
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