JP4915485B2 - ダイシング装置及びダイシング方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体装置や電子部品が形成されたウェハ等のワークを個々のチップに分割するダイシング装置及びダイシング方法に関するものである。

ＳＡＷフィルタやディスクリート半導体等の小チップデバイスは、ワーク１枚の加工に時間がかかり、ワークの交換頻度が少ない。このため、ワークの搬入及び搬出は手動で行い、切削加工のみを自動で行うマニュアルダイシング装置が用いられる。

特許文献１には、ワークテーブルへのワークの供給・回収をオペレータが手動で行うダイシング装置が開示されている。

一方、特許文献２、３には、ワークテーブルへのワークの供給・回収をロボットアームを用いて自動で行うダイシング装置が開示されている。

特開平０８−１９１７３１号公報 特開２０００−１７３９５３号公報 特開昭６３−２８８６４２号公報

特許文献１のように、ワークテーブルへのワークの供給・回収を手動で行うダイシング装置では、加工が終了しても、オペレータがワークの交換作業をしない限り、次の加工を開始することができないという欠点がある。

また、一人のオペレータが複数のダイシング装置を稼動させている場合において、各ダイシング装置の加工終了のタイミングが重なると、ワークの交換のための待ち時間が発生し、稼動効率が低下するという欠点がある。

一方、特許文献２、３のように、ワークテーブルへのワークの供給・回収を自動で行うダイシング装置では、加工前のワークを保管する部分や加工後のワークを保管する部分が必要になり、装置が大型化するという問題がある。特に、従来のダイシング装置では、水平な状態でワークを保管していたため、広い保管スペースが必要になるという欠点があった。

また、従来のダイシング装置では、ワークの加工面を露出して保管していたため、加工中に発生する水滴やミスト、加工の切り屑（スラッジ）等が加工面に付着するという欠点がある。このような水滴やスラッジ等が加工面に付着すると、アライメントミスを発生しやすいという問題がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、コンパクトな構成で稼動効率を向上させることができるダイシング装置及びダイシング方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段は、以下のとおりである。

［１］ダイシング装置の第１の態様は、環状のフレームにダイシングフィルムを介してマウントされたワークを切削加工するダイシング装置において、前記ワークが水平に載置されるワークテーブルと、前記ワークテーブルに載置された前記ワークを切削加工する切削加工手段と、前記ダイシングフィルムが貼着された面を前記ワークテーブル側に向け、起立させた状態で加工前の前記ワークをストックするワーク供給待機部と、前記ワーク供給待機部にストックされた前記ワークを前記ワークテーブルに供給するワーク供給手段と、前記ダイシングフィルムが貼着された面を前記ワークテーブル側に向け、起立させた状態で加工後の前記ワークをストックするワーク回収待機部と、前記ワークテーブルに載置された前記ワークを前記ワーク回収待機部に回収するワーク回収手段と、を備えたことを特徴とする。

本態様によれば、加工前のワークは、ワーク供給待機部にストックされ、ワーク供給手段によってワークテーブルに供給（載置）される。また、加工後のワークは、ワーク回収手段によってワークテーブルから回収され、ワーク回収待機部にストックされる。これにより、ワークの交換作業を自動化でき、稼動効率を向上させることができる。また、ワーク供給待機部とワーク回収待機部では、ワークを起立させた状態でストックするため、ワークの保管スペースを必要最小限に抑えることができる。これにより、装置のコンパクト化を図ることができる。また、ワーク供給待機部とワーク回収待機部では、ダイシングフィルムが貼着された面をワークテーブル側に向けてワークを保管するため、ワークの加工面にスラッジ等が付着するのを防止することができる。これにより、アライメントミス等の発生を効果的に防止できる。

［２］ダイシング装置の第２の態様は、上記第１の態様のダイシング装置において、前記ワークテーブルを加工位置と交換位置との間で移動させるワークテーブル移動手段を更に備え、前記切削加工手段は、前記加工位置で前記ワークテーブルに載置された前記ワークを切削加工し、前記ワーク供給手段は、前記交換位置で前記ワークを前記ワークテーブルに供給し、前記ワーク回収手段は、前記交換位置で前記ワークを前記ワークテーブルから回収することを特徴とする。

本態様によれば、ワークの加工を行う場所とワークの交換を行う場所が分離される。これにより、ワーク供給待機部とワーク交換待機部とのレイアウトの自由度を向上させることができる。また、より効果的にスラッジ等の付着を防止できる。

［３］ダイシング装置の第３の態様は、上記第１のダイシング装置において、前記ワーク供給待機部と前記ワーク回収待機部は、前記交換位置に位置した前記ワークテーブルを挟んで対称に配置されることを特徴とする。

本態様によれば、ワーク供給待機部とワーク回収待機部が、交換位置に位置したワークテーブルを挟んで対称に配置される。これにより、ワーク供給待機部からワークテーブルへのワークの供給と、ワークテーブルからワーク回収待機部へのワークの回収を効率よく行うことができるとともに、装置のコンパクト化を図ることができる。

［４］ダイシング装置の第４の態様は、上記第３の態様のダイシング装置において、前記ワーク供給手段は、前記ワーク供給待機部にストックされた前記ワークを把持し、前記ワークテーブルのワーク載置面と平行な回動軸を中心に回動することにより、前記ワークを前記ワークテーブルに向けて倒すように移動させて、前記ワークを前記ワークテーブルに載置することを特徴とする。

本態様によれば、ワーク供給待機部に起立した状態でストックされたワークをワークテーブルに向けて倒すように移動させて、ワークをワークテーブルに供給（載置）する。これにより、効率よくワークを供給することができる。

［５］ダイシング装置の第５の態様は、上記第３又は４の態様のダイシング装置において、前記ワーク回収手段は、前記ワークテーブルに載置された前記ワークを把持し、前記ワークテーブルのワーク載置面と平行な回動軸を中心に回動することにより、前記ワークを前記ワーク回収待機部に向けて起こすように移動させて、前記ワークを前記ワーク回収待機部に回収することを特徴とする。

本態様によれば、ワークテーブルに載置されたワークをワーク回収待機部に向けて起こすように移動させて、ワークをワーク回収待機部に回収する。これにより、回収と同時にワークを起立させることができ、効率よくワークを回収することができる。また、ワークは、徐々に傾きながら起立されるため、表面に付着した切削水等を傾斜方向下側に向けて自重で落すことができる。これにより、ワークテーブルに水滴を落すことなくワークを回収することができる。また、ワークは、徐々に傾きながら起立されるため、ワークテーブルの端から徐々に剥離されるため、ワークの静電破損も防止することができる。

［６］ダイシング装置の第６の態様は、上記第５の態様のダイシング装置において、前記ワークがマウントされた前記フレームに着脱自在に取り付けられて、前記ワークを起立させた状態で水平な面上に載置可能なワーク保持部材を更に備え、前記ワークは、該ワーク保持部材によって前記ワーク供給待機部に起立させた状態でストックされるとともに、前記ワーク回収待機部に起立させた状態でストックされることを特徴とする。

本態様によれば、フレームにワーク保持部材を取り付けることにより、ワークを水平な面上に起立させて載置することができる。これにより、簡単な構成でワークをワーク供給待機部、ワーク回収待機部に起立させた状態でストックすることができる。

［７］ダイシング装置の第７の態様は、上記第６の態様のダイシング装置において、前記ワーク保持部材は、前記フレームの両端に取り付けられる一対の角柱状の棒材で構成され、該棒材は、内側面に前記フレームを保持する溝が形成されるとともに、外側面に設置面が形成されることを特徴とする。

本態様によれば、ワーク保持部材が一対の角柱状の棒材で構成される。各棒材は、内側面にフレームを保持する溝が形成され、この溝にフレームの縁部を嵌め込むことにより、フレームに装着される。また、各棒材は、外側面に設置面が形成され、この載置面を下にして水平な面の上に載置することにより、ワークを水平な面上に起立させた状態で保持する。これにより、簡単にフレームに着脱でき、簡単にワークを起立させた状態で保持することができる。

［８］ダイシング装置の第８の態様は、上記第１から７の態様のダイシング装置において、前記ワーク回収待機部に起立した状態でストックされた前記ワークの加工面に洗浄液を噴射して洗浄する洗浄手段を更に備えたことを特徴とする。

本態様によれば、ワーク回収待機部に回収された加工後のワークを洗浄することができる。ワークは、加工面に洗浄液が噴射されて洗浄されるが、起立しているため、噴射された洗浄液を自重で落すことができる。これにより、効率よく洗浄することができる。また、ワークは、ダイシングフィルムが貼着された面をワークテーブル側に向けて起立しているため、ワークテーブルに洗浄液をかけることなく洗浄することができる。

［９］ダイシング装置の第９の態様は、上記第１から８の態様のダイシング装置において、前記ワーク供給待機部には、複数の前記ワークがストックされるとともに、前記ワーク回収待機部には、複数の前記ワークがストックされることを特徴とする。

本態様によれば、複数のワークをワーク供給待機部にストックできるとともに、複数のワークをワーク回収待機部にストックできる。これにより、連続してワークを加工処理することができる。また、複数のワークをストックする場合であっても、各ワークは起立させた状態でストックされるため、少ない設置スペースでストックすることができる。

［１０］ダイシング方法の第１の態様は、環状のフレームにダイシングフィルムを介してマウントされたワークをワークテーブルに載置し、切削加工手段で切削加工するダイシング方法において、前記ダイシングフィルムが貼着された面を前記ワークテーブル側に向けて加工前の前記ワークを起立させた状態で待機させるステップと、起立した状態で待機した前記ワークを前記ワークテーブルに供給するステップと、前記ワークテーブルに供給された前記ワークを前記切削加工手段で切削加工するステップと、加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収し、前記ダイシングフィルムが貼着された面を前記ワークテーブル側に向けて起立させた状態で前記ワークを待機させるステップと、を含むことを特徴とする。

本態様によれば、加工前のワークは、ワーク供給待機部にストックされ、ワーク供給手段によってワークテーブルに供給（載置）される。また、加工後のワークは、ワーク回収手段によってワークテーブルから回収され、ワーク回収待機部にストックされる。これにより、ワークの交換作業を自動化でき、稼動効率を向上させることができる。また、ワーク供給待機部とワーク回収待機部では、ワークを起立させた状態でストックするため、ワークの保管スペースを必要最小限に抑えることができる。これにより、装置のコンパクト化を図ることができる。また、ワーク供給待機部とワーク回収待機部では、ダイシングフィルムが貼着された面をワークテーブル側に向けてワークを保管するため、ワークの加工面にスラッジ等が付着するのを防止することができる。これにより、アライメントミス等の発生を効果的に防止できる。

［１１］ダイシング方法の第２の態様は、上記第１の態様のダイシング方法において、起立した状態で待機した加工後の前記ワークに洗浄液を噴射して洗浄するステップを更に備えたことを特徴とする。

本態様によれば、ワーク回収待機部に回収された加工後のワークを洗浄することができる。ワークは、加工面に洗浄液が噴射されて洗浄されるが、起立しているため、噴射された洗浄液を自重で落すことができる。これにより、効率よく洗浄することができる。また、ワークは、ダイシングフィルムが貼着された面をワークテーブル側に向けて起立しているため、ワークテーブルに洗浄液をかけることなく洗浄することができる。

本発明によれば、コンパクトな構成で稼動効率を向上させることができる。

本発明に係るダイシング装置の第１の実施の形態の概略構成を示す平面図 本発明に係るダイシング装置の第１の実施の形態の概略構成を示す正面図 ワーク供給装置の平面図 ワーク供給装置の正面図 ワークの供給動作の説明図 ワークの回収動作の説明図 本発明に係るダイシング装置の第２の実施の形態の要部の構成を示す正面図 本発明に係るダイシング装置の第３の実施の形態の要部の構成を示す正面図 治具の平面図 本発明に係るダイシング装置の第４の実施の形態の要部の構成を示す正面図 本発明に係るダイシング装置の第５の実施の形態の要部の構成を示す正面図 本発明に係るダイシング装置の第６の実施の形態の要部の構成を示す正面図 本発明に係るダイシング装置の第６の実施の形態の要部の構成を示す平面図 本発明に係るダイシング装置の第７の実施の形態の外観の概略構成を示す正面図 本発明に係るダイシング装置の外観を示す斜視図 ダイシング装置の加工部の概略図 ダイシング装置の加工部の概略図 ダイシング装置の加工部の概略図 ダイシング装置の加工部の部分断面図 ダイシング装置の加工部の部分拡大図 ダイシング装置の洗浄装置及び排水装置の概略図 ダイシング装置の加工済みワークを取り外す時のワークＷの様子を説明する図 ダイシング装置の加工済みワークを取り外す時のワークＷの様子を説明する図 ダイシング装置の加工部の変形例の概略図 ダイシング装置の加工部の変形例の概略図 従来のダイシング装置の加工済みワークを取り外す時のワークＷの様子を説明する図 従来のダイシング装置の加工済みワークを取り外す時のワークＷの様子を説明する図

以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。

〔第１の実施の形態〕
［構成］
図１は、本発明に係るダイシング装置の第１の実施の形態の概略構成を示す平面図である。図２は、本発明に係るダイシング装置の第１の実施の形態の概略構成を示す正面図である。

本実施の形態のダイシング装置１０は、フレームＦにマウントされた状態のワークＷを加工処理する。ワークＷは、例えば、半導体ウェハである。

本実施の形態のダイシング装置１０は、主として、ワークＷが載置されるワークテーブル２０と、ワークＷを加工する加工部３０と、加工前のワークＷをストックするワーク供給待機部４０と、加工後のワークＷをストックするワーク回収待機部５０と、ワーク供給待機部４０にストックされたワークＷをワークテーブル２０に供給するワーク供給装置６０と、加工されたワークＷをワークテーブル２０からワーク回収待機部５０に回収するワーク回収装置７０と、全体の動作を制御するコントローラ（図示せず）とで構成される。

ワークＷがマウントされるフレームＦは、薄い板材によって環状に形成される。フレームＦの外周には、前後左右に直線部が形成される。前後の直線部は互いに平行に形成される。また、左右の直線部は互いに平行に形成される。前後の直線部と左右の直線部は互いに直交して形成される。また、前側の直線部には、切欠きが形成される。フレームＦの内周は円で形成される。

フレームＦの内部には、ダイシングフィルムＴが取り付けられる。ダイシングフィルムＴは、片側の面に粘着面が形成される。

ワークＷは、ダイシングフィルムＴの粘着面の上に載置することにより、フレームＦにマウントされる。

なお、ワークＷは、加工面（加工時にブレードを当てる面）を表面とした場合、裏面をダイシングフィルムＴに貼り付けて、フレームＦにマウントする。

ワークテーブル２０は、円盤状に形成される。ワークテーブル２０のワーク載置面２１は水平に設置される。

ワークテーブル２０のワーク載置面２１は、フレームＦにマウントされたワークＷのワークＷの部分が載置されるワーク載置部２１Ａと、フレームＦの部分が載置されるフレーム載置部２１Ｂとで構成される。ワーク載置部２１Ａは、円盤状に形成され、フレーム載置部２１Ｂは、ワーク載置部２１Ａの外周にリング状に形成される。ワーク載置部２１Ａは、フレームＦの厚みの分だけフレーム載置部２１Ｂよりも高く形成される。

ワーク載置面２１には、図示しない吸着穴が複数形成される。吸着穴からは、図示しない吸引機構によって、エアが吸引される。ワークテーブル２０に載置されたワークは、この吸着穴からエアが吸引されることにより、ワークテーブル２０に吸着保持される。

ワークテーブル２０の下部には、ワークテーブル駆動モータ２２が配設される。ワークテーブル２０は、このワークテーブル駆動モータ２２の出力軸２２Ａに接続される。ワークテーブル駆動モータ２２の出力軸２２Ａは垂直に配設される。ワークテーブル駆動モータ２２の出力軸２２Ａは、ワークテーブル２０の下面中央に接続される。ワークテーブル２０は、このワークテーブル駆動モータ２２を駆動することにより回転する。

ワークテーブル駆動モータ２２は、Ｘ軸テーブル２３の上に設置される。Ｘ軸テーブル２３は、一対のガイドレール２４の上をスライド自在に設けられる。一対のガイドレール２４は、ダイシング装置１０の本体フレーム１２の上に水平に敷設される。Ｘ軸テーブル２３は、図示しない送り機構（たとえば、送りねじ機構）に駆動されて、ガイドレール２４の上を往復移動する。

なお、このワークテーブル２０の移動方向をＸ軸方向と定義し、水平な面内でＸ軸と直交する方向をＹ軸方向と定義する。また、Ｘ軸とＹ軸がなす面（水平面）と直交する軸をＺ軸と定義する。

ワークテーブル２０は、図示しない送り機構によりＸ軸テーブル２３をＸ軸方向に移動させることにより、加工位置と交換位置との間を往復移動する。また、ワークテーブル駆動モータ２２を駆動することにより回転する。

加工部３０は、ワークテーブル２０によって加工位置に移動したワークＷを加工処理する。この加工部３０は、主として、一対のスピンドルユニット３１Ａ、３１Ｂと、一対の撮像ユニット３２Ａ、３２Ｂと、スピンドルユニット送り機構（図示せず）とで構成される。

一対のスピンドルユニット３１Ａ、３１Ｂは、加工位置に位置したワークテーブル２０の上方に設置される。各スピンドルユニット３１Ａ、３１Ｂは、先端に備えられた主軸３１ａ、３１ｂが、互いに対向するようにして、Ｙ軸と平行な直線上に配置される。

各スピンドルユニット３１Ａ、３１Ｂは、図示しないモータを内蔵しており、このモータに駆動されて、主軸３１ａ、３１ｂが回転する。

主軸３１ａ、３１ｂには、ブレード３３Ａ、３３Ｂが取り付けられる。ブレード３３Ａ、３３Ｂは、円盤状に形成され、その外周に切削刃が形成される。

撮像ユニット３２Ａ、３２Ｂは、各スピンドルユニット３１Ａ、３１Ｂにブラケット３４Ａ、３４Ｂを介して取り付けられる。各撮像ユニット３２Ａ、３２Ｂは、各ブレード３３Ａ、３３Ｂによって切削されるワークＷの表面を撮像する。この撮像ユニット３２Ａ、３２Ｂで撮像された画像に基づいてアライメント処理や加工状態の評価等が行われる。

スピンドルユニット移動送り機構（図示せず）は、各スピンドルユニット３１Ａ、３１Ｂをワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｙ軸方向）に往復移動させるとともに、各スピンドルユニット３１Ａ、３１Ｂをワークテーブル２０のワーク載置面２１（ＸＹ平面（水平面））と直交する方向に進退移動させる。

各スピンドルユニット３１Ａ、３１Ｂは、Ｙ軸方向に移動することにより、インデックス送りされる。また、各スピンドルユニット３１Ａ、３１Ｂは、Ｚ軸方向に移動することにより、ワークテーブル２０に載置されたワークＷに対して進退移動し、ブレード３３Ａ、３３ＢをワークＷに当接させることができる。

ワークＷは、回転するブレード３３Ａ、３３Ｂが表面に当接されることにより切削される。そして、ワークＷは、予め設定された切断予定線（ストリート）に沿ってブレード３３Ａ、３３Ｂを当接させることにより、切断予定線に沿って切断又は溝加工され、チップに分割される。

ワーク供給待機部４０は、加工前のワークＷをストックする。ワーク回収待機部５０は、加工後のワークＷをストックする。このワーク供給待機部４０とワーク回収待機部５０は、交換位置に位置したワークテーブル２０を挟んで左右対象に配置される（図２において、左側にワーク供給待機部４０が配置され、右側にワーク回収待機部５０が配置される）。

ワーク供給待機部４０とワーク回収待機部５０において、ワークＷは起立した状態でストックされる。

この際、ワーク供給待機部４０において、ワークＷは、ワークテーブル２０のワーク載置面２１（水平面）に対して垂直に起立した姿勢でストックされる（ワークＷの裏面がワーク載置面２１と平行な姿勢でストックされる。）。また、ワークＷは、ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行な姿勢でストックされる（ワークＷの裏面がＸＺ平面と平行な姿勢でストックされる。）。更に、ワークＷは、ダイシングフィルムＴが貼付された面（裏面）が、ワークテーブル側に向けられた姿勢でストックされる。このように、ダイシングフィルムＴが貼付された面（裏面）をワークテーブル側に向け、起立した姿勢でワークＷをストックすることにより、加工部３０で発生するミスト等がワークＷの加工面（表面）に付着するのを防止することができる。

同様に、ワーク回収待機部５０において、ワークＷは、ワークテーブル２０のワーク載置面２１（水平面）に対して垂直に起立した姿勢でストックされる（ワークＷの裏面がワーク載置面２１と平行な姿勢でストックされる。）。また、ワークＷは、ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行な姿勢でストックされる（ワークＷの裏面がＸＺ平面と平行な姿勢でストックされる。）。更に、ワークＷは、ダイシングフィルムＴが貼付された面（裏面）が、ワークテーブル側に向けられた姿勢でストックされる。このように、ダイシングフィルムＴが貼付された面（裏面）をワークテーブル側に向け、起立した姿勢でワークＷをストックすることにより、加工部３０で発生するミスト等がワークＷの加工面（表面）に付着するのを防止することができる。

ワーク供給装置６０は、ワーク供給待機部４０にストックされた加工前のワークＷをワークテーブル２０に供給する。

図３は、ワーク供給装置の平面図である。また、図４は、ワーク供給装置の正面図である。

ワーク供給装置６０は、主として、ワーク供給モータ６１と、ワーク供給アーム６２と、ワーク供給グリッパ６３とで構成される。

ワーク供給モータ６１は、ダイシング装置１０の本体フレーム１２に取り付けられる。ワーク供給モータ６１の出力軸６１Ａは、ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行に設置される。

ワーク供給アーム６２は、ワーク供給モータ６１の出力軸６１Ａに取り付けられる。このとき、ワーク供給アーム６２は、ワーク供給モータ６１の出力軸６１Ａに対して直交して取り付けられる。このワーク供給アーム６２は、シリンダで構成され、ワーク供給モータ６１の出力軸６１Ａに対して直交する方向に伸縮する（ＺＹ平面と平行な面内で伸縮する。）。

ワーク供給グリッパ６３は、ワーク供給アーム６２の先端部に取り付けられる。ワーク供給グリッパ６３には、開閉自在な一対の把持爪６３Ａ、６３Ａが設けられる。一対の把持爪６３Ａ、６３Ａは、板状に形成され、ワーク供給モータ６１の出力軸６１Ａと平行に配設される（ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行に配設される）。この一対の把持爪６３Ａ、６３Ａは、図示しない駆動手段に駆動されて、互いに離れる方向と、互いに近づく方向に平行移動し、その間隔を開閉する。

一対の把持爪６３Ａ、６３Ａの間には、位置決め板６３Ｂが配置される。位置決め板６３Ｂは、角柱状に形成され、先端に平坦な当接面６３ｂが形成される。当接面６３ｂは、ワーク供給モータ６１の出力軸６１Ａと平行に形成される（ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行に形成される。）。

ワーク供給装置６０は、以上のように構成される。このワーク供給装置６０の作用は、次のとおりである。

ワーク供給モータ６１を駆動すると、ワーク供給アーム６２が揺動する。ワーク供給アーム６２は、このワーク供給モータ６１に駆動されて、所定の「加工前ワーク受取位置」と「加工前ワーク受渡位置」との間を移動する。

また、シリンダで構成されたワーク供給アーム６２を伸縮させると、ワーク供給グリッパ６３が、所定の「把持位置」と「退避位置」との間を進退移動する。

更に、ワーク供給グリッパ６３を駆動すると、ワーク供給グリッパ６３の把持爪６３Ａ、６３Ａが開閉する。

図４において、破線は、ワーク供給アーム６２が、加工前ワーク受取位置に位置した状態を示している。また、実線は、ワーク供給アーム６２が、加工前ワーク受渡位置に位置した状態を示している。同図に示すように、ワーク供給アーム６２は、加工前ワーク受取位置に位置すると垂直に起立した姿勢になる。また、ワーク供給アーム６２は、加工前ワーク受渡位置に位置すると水平に倒れた姿勢になる。

ワーク供給アーム６２が加工前ワーク受取位置に位置すると、ワーク供給グリッパ６３はワーク供給待機部４０に位置する。ワークＷは、このワーク供給待機部４０に位置したワーク供給グリッパ６３に把持されることにより、ワーク供給待機部４０にストックされる。

ワーク供給アーム６２が加工前ワーク受取位置に位置すると、ワーク供給グリッパ６３に設けられた位置決め板６３Ｂの当接面６３ｂが水平な姿勢になる。ワークＷは、フレームＦの外周に形成された直線部を当接面６３ｂに当接させて、ワーク供給グリッパ６３に把持させる。これにより、ワーク供給グリッパ６３に対してワークＷが位置決めされる。また、この際、ワークＷは、ダイシングフィルムＴが貼着された面（裏面）が、ワークテーブル２０側に向くようにして、ワーク供給グリッパ６３に把持させる。

ワーク供給グリッパ６３に把持されたワークＷは、ワークテーブル２０のワーク載置面２１に対して垂直に起立した姿勢で保持される（ワークＷの裏面がワーク載置面２１と平行な姿勢で保持される。）。また、ワークＷは、ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行な姿勢で保持される。更に、ワークＷは、ダイシングフィルムＴが貼付された面（裏面）が、ワークテーブル側に向けられた姿勢で保持される。

ワーク供給モータ６１を駆動して、ワーク供給アーム６２を揺動させ、ワーク供給アーム６２を加工前ワーク受渡位置に移動させると、ワークＷは、ワーク供給モータ６１の出力軸６１Ａを中心に回動する。このとき、ワークＷは、垂直に起立した状態から徐々に傾斜して、倒れるように移動する。そして、ダイシングフィルムＴが貼付された面を下にして、水平な姿勢で停止する。

ワークＷをワークテーブル２０に供給する場合は、ワークテーブル２０を交換位置に位置させて、ワーク供給アーム６２を加工前ワーク受取位置から加工前ワーク受渡位置に移動させる。これにより、ワーク供給グリッパ６３に把持されたワークＷが、ワークテーブル２０のワーク載置面２１の上に載置される。

ワークＷがワークテーブル２０の載置面に載置されると、ワーク供給グリッパ６３は、把持爪６３Ａ、６３Ａを開き、ワークＷの把持を解除する。ワーク供給グリッパ６３の把持が解除されると、ワーク供給アーム６２が縮み、ワーク供給グリッパ６３が退避位置に移動する。これにより、把持爪６３Ａ、６３Ａが、フレームＦから外れる。以上により、ワークＷの供給が完了する。この後、ワーク供給モータ６１が駆動され、ワーク供給アーム６２が加工前ワーク受取位置に移動する。更に、ワーク供給アーム６２が伸び、ワーク供給グリッパ６３が把持位置に移動する。これにより、次に加工するワークＷのストックが可能になる。

ワーク回収装置７０は、加工後のワークＷをワークテーブル２０からワーク回収待機部５０に回収する。

ワーク回収装置７０の構成は、ワーク供給装置６０と同じである（主として、ワーク回収モータ７１と、ワーク回収アーム７２と、ワーク回収グリッパ７３とで構成される。）。したがって、ここでは、ワーク回収装置７０の作用についてのみ説明する。

ワーク回収モータ７１を駆動すると、ワーク回収アーム７２が揺動する。ワーク回収アーム７２は、このワーク回収モータ７１に駆動されて、所定の「加工後ワーク受取位置」と「加工後ワーク受渡位置」との間を移動する。

また、シリンダで構成されたワーク回収アーム７２を伸縮させると、ワーク回収グリッパ７３が、所定の「把持位置」と「退避位置」との間を進退移動する。

更に、ワーク回収グリッパ７３を駆動すると、ワーク回収グリッパ７３の把持爪７３Ａ、７３Ａが開閉する。

図２において、破線は、ワーク回収アーム７２が、加工後ワーク受取位置に位置した状態を示している。また、実線は、ワーク回収アーム７２が、加工後ワーク受渡位置に位置した状態を示している。同図に示すように、ワーク回収アーム７２は、加工後ワーク受渡位置に位置すると垂直に起立した姿勢になる。また、ワーク回収グリッパ７３は、加工後ワーク受取位置に位置すると水平に倒れた姿勢になる。

ワークテーブル２０からワークＷを回収する場合は、まず、ワーク回収アーム７２を縮ませて、ワーク回収グリッパ７３を退避位置に退避させる。次に、ワーク回収モータ７１を駆動し、ワーク回収アーム７２を加工後ワーク受取位置に移動させる。

ワーク回収アーム７２が加工後ワーク受取位置に位置すると、ワーク回収アーム７２は、水平な姿勢になる。また、ワーク回収グリッパ７３は、ワークテーブル２０に保持されたワークＷのフレームＦと対向して配置される。この状態でワーク回収アーム７２を伸張させて、ワーク回収グリッパ７３を把持位置に移動させると、ワークテーブル２０に載置されたワークＷのフレームＦが、一対の把持爪７３Ａ、７３Ａの間に嵌り込む。また、フレームＦの直線部が位置決め板７３Ｂの当接面７３ｂに当接する。この状態でワーク回収グリッパ７３を駆動して、把持爪７３Ａ、７３Ａを閉じると、フレームＦが把持爪７３Ａ、７３Ａに挟まれて、ワークＷがワーク回収グリッパ７３に把持される。

ワークＷのフレームＦがワーク回収グリッパ７３に把持されると、ワークテーブル２０によるワークＷの吸着が解除される。この後、ワーク回収モータ７１が駆動され、ワーク回収アーム７２が加工後ワーク受渡位置に回転移動する。このとき、ワークＷは、水平に寝た状態から徐々に傾斜しながら起き上がるように移動する。そして、垂直に起立した姿勢で停止する。

ワーク回収アーム７２が加工後ワーク受渡位置に移動すると、ワーク回収グリッパ７３はワーク回収待機部５０に位置する。ワークＷは、この状態で保持される。これにより、加工後のワークＷが、ワーク回収待機部５０にストックされる。この時、ワーク回収グリッパ７３に把持されたワークＷは、ワークテーブル２０のワーク載置面２１に対して垂直に起立した姿勢で保持される（ワークＷの裏面がワーク載置面２１と平行な姿勢で保持される。）。また、ワークＷは、ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行な姿勢で保持される。更に、ワークＷは、ダイシングフィルムＴが貼付された面（裏面）が、ワークテーブル側に向けられた姿勢で保持される。

［作用］
次に、本実施の形態のダイシング装置１０によるワークＷの加工処理方法について説明する。

装置全体の動作は、図示しないコントローラによって制御される。

初期状態において、ワークテーブル２０は、交換位置に位置する。また、ワーク供給装置６０のワーク供給アーム６２は、加工前ワーク受取位置に位置し、ワーク供給グリッパ６３は、把持位置に位置する。また、ワーク回収装置７０のワーク回収アーム７２は、加工後ワーク受渡位置に位置し、ワーク回収グリッパ７３は、把持位置に位置する。

ワーク供給アーム６２が加工前ワーク受取位置に位置することにより、ワーク供給グリッパ６３は、ワーク供給待機部４０に位置する。また、ワーク回収アーム７２が加工後ワーク受渡位置に位置することにより、ワーク回収グリッパ７３は、ワーク回収待機部５０に位置する。

まず、加工前のワークＷをワーク供給待機部４０にストックする。この作業は、オペレータが手動で行う。オペレータは、ワーク供給待機部４０に位置したワーク供給グリッパ６３に加工前のワークＷを把持させて、加工前のワークＷをワーク供給待機部４０にストックする。

このとき、オペレータは、ワークＷがマウントされたフレームＦの直線部をワーク供給グリッパ６３の位置決め板６３Ｂの当接面６３ｂに当接させて、ワークＷをワーク供給グリッパ６３に把持させる。これにより、ワークＷが位置決めされて、ワーク供給グリッパ６３把持される。

また、オペレータは、ダイシングフィルムＴが貼付された面（裏面）をワークテーブル側に向けて、ワークＷをワーク供給グリッパ６３に把持させる。

以上のようにしてワーク供給待機部４０にストックされたワークＷは、図５（ａ）に示すように、ワークテーブル２０のワーク載置面２１に対して垂直に起立した姿勢でストックされる。また、ワークＷは、ワークテーブル２０の移動方向と平行な姿勢でストックされる。更に、ワークＷは、ダイシングフィルムＴが貼付された面が、ワークテーブル側に向けられた姿勢でストックされる。

この後、オペレータによる加工開始指令がコントローラに入力されると、加工処理が開始される。

まず、ワーク供給モータ６１が駆動され、ワーク供給アーム６２が加工前ワーク受取位置から加工前ワーク受渡位置に移動する。これにより、図５（ｂ）に示すように、ワークＷがワークテーブル２０の上に載置される。

ワークＷがワークテーブル２０に載置されると、ワーク供給グリッパ６３によるワークＷの把持が解除される。そして、図５（ｃ）に示すように、ワーク供給アーム６２が縮み、ワーク供給グリッパ６３が退避位置に退避する。これにより、ワークテーブル２０に載置されたワークＷからワーク供給グリッパ６３が外れる。

この後、ワーク供給モータ６１が駆動され、ワーク供給アーム６２が加工前ワーク受取位置に移動する。そして、ワーク供給アーム６２が伸び、ワーク供給グリッパ６３がワー
ク把持位置に移動する。これにより、図５（ｄ）に示すように、ワーク供給グリッパ６３が、ワーク供給待機部４０に位置し、次に加工するワークＷのストックが可能になる。

ワークＷがワークテーブル２０に載置されると、ワークテーブル２０の吸引機構が作動する。これにより、ワークＷがワークテーブル２０に吸着保持される。

この後、ワークテーブル２０は、加工位置に移動し、加工部３０によりダイシング加工される。すなわち、回転するブレード３３Ａ、３３Ｂが切断予定線に沿って当てられ、切断予定線に沿って切断又は溝加工される。これにより、チップに分断される。

加工が終了すると、ワークテーブル２０は、交換位置に移動する。ワーク回収装置７０は、ワークテーブル２０からワークＷを回収する。この処理は、次のように行われる。

図６（ａ）に示すように、ワーク回収アーム７２は、加工後ワーク受渡位置に位置している。また、ワーク回収グリッパ７３は、ワーク保持位置に位置している。

まず、ワーク回収アーム７２が縮み、ワーク回収グリッパ７３が退避位置に退避する。ワーク回収グリッパ７３が退避すると、次に、ワーク回収モータ７１が駆動され、ワーク回収アーム７２が加工後ワーク受取位置に移動する。

ワーク回収アーム７２が加工後ワーク受取位置に位置すると、図６（ｂ）に示すように、ワーク回収アーム７２は水平な姿勢になる。また、ワーク回収グリッパ７３が、ワークテーブル２０に載置されたワークＷのフレームＦに対向して配置される。

ワーク回収アーム７２が加工後ワーク受取位置に移動すると、ワーク回収グリッパ７３が駆動され、一対の把持爪７３Ａ、７３Ａの間隔が広げられる。この後、ワーク回収アーム７２が伸張され、ワーク回収グリッパ７３がワークテーブル２０に保持されたワークＷに向かって移動する。

ワーク回収アーム７２が伸張すると、図６（ｃ）に示すように、ワークテーブル２０に載置されたワークＷのフレームＦが、一対の把持爪７３Ａ、７３Ａの間に嵌り込む。また、フレームＦの直線部が位置決め板７３Ｂの当接面７３ｂに当接する。この後、ワーク回収グリッパ７３が駆動され、フレームＦが把持爪７３Ａ、７３Ａが閉じられる。これにより、フレームＦが把持爪７３Ａ、７３Ａに挟まれて、ワークＷがワーク回収グリッパ７３に把持される。

ワークＷのフレームＦがワーク回収グリッパ７３に把持されると、ワークテーブル２０によるワークＷの吸着が解除される。

ワークテーブル２０の吸着が解除されると、ワーク回収モータ７１が駆動され、ワーク回収アーム７２が加工後ワーク受渡位置に回転移動する。これにより、ワークＷがワーク回収待機部５０に移動する。このとき、ワークＷは、水平に寝た状態から徐々に傾斜しながら起き上がるように移動する。そして、垂直に起立した姿勢で停止する。このように、ワークＷを徐々に傾斜させながらワークテーブル２０から回収することにより、ワークＷをワークテーブル２０の端から徐々に剥離させて回収することができる。これにより、ワークＷの静電破損を防止することができる。

以上によりワークＷの回収が完了する。ワークＷは、ワーク回収グリッパ７３に把持された状態で待機される。これにより、加工後のワークＷが、ワーク回収待機部５０にストックされる。この時、ワーク回収グリッパ７３に把持されたワークＷは、ワークテーブル２０のワーク載置面２１に対して垂直に起立した姿勢で保持される（ワークＷの裏面がワーク載置面２１と平行な姿勢で保持される。）。また、ワークＷは、ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行な姿勢で保持される。更に、ワークＷは、ダイシングフィルムＴが貼付された面（裏面）が、ワークテーブル側に向けられた姿勢で保持される。

オペレータは、ワーク回収待機部５０にストックされたワークＷを回収する。これにより、１枚のワークＷの処理が完了する。

上記のように、ワークＷをワークテーブル２０に供給した後、ワーク供給装置６０のワーク供給アーム６２は、加工前ワーク受取位置に移動し、次に加工するワークＷを保持することが可能になる。オペレータは、ワークテーブル２０に供給したワークＷが加工部３０で加工されている間に次に加工するワークＷをワーク供給グリッパ６３に保持させる。これにより、次に加工するワークをワーク供給待機部４０にストックすることができる。また、これにより、現在加工中のワークＷの加工終了後、連続して次のワークＷの加工を開始することができる。ワーク回収待機部５０にストックされた加工後のワークＷについても、オペレータは、現在加工中のワークＷの加工が終了する前にワーク回収待機部５０から回収する。これにより、連続してワークＷを回収することができる。

このオペレータによるワークＷの供給作業と回収作業は、同じタイミングで実施することにより、効率よくダイシング装置を稼動することができる。すなわち、加工後のワークＷの回収と同時に新しいワークＷをワーク供給待機部４０にストックさせることにより、オペレータは、無駄なくワークＷの供給作業と回収作業を実施することができる。

また、このオペレータによるワークＷの供給作業と回収作業は、ワークＷの加工中に行うことができるので、実施可能時間に幅を持たせることができる。したがって、複数台のダイシング装置を稼動させる場合であっても、各装置の運転を止めることなく、効率よく稼動させることができる。

また、ワーク供給待機部４０とワーク回収待機部５０にストックされるワークＷは、起立した状態でストックされるので、省スペースでストックすることができる。また、ワークＷは、ダイシングフィルムＴが貼付された面をワークテーブル側に向けてストックされるので、加工面にミスト等が付着するのも防止することができる。

このように、本実施の形態のダイシング装置１０によれば、加工前のワークＷと加工後のワークＷを起立させた状態でストックすることにより、コンパクトな構成で効率よくワークＷを加工処理することができる。

また、ワークＷをワークテーブル２０から回収する際、ワークＷをワークテーブル２０の端から徐々に剥離させて回収するので、ワークＷの静電破損も防止することができる。

なお、このようにワークＷを回収する際、ワークテーブル２０とダイシングフィルムＴの間にイオンを吹き付けながら、ワークＷをワークテーブル２０から剥離することが好ましい。この場合、交換位置に位置したワークテーブル２０の近傍にイオナイザーを設置し、ワークテーブル２０に向けてイオンを発射できるように構成する。

〔第２の実施の形態〕
図７は、本発明に係るダイシング装置の第２の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。

同図に示すように、本実施の形態のダイシング装置は、ワーク回収待機部５０に加工後のワークＷを洗浄するワーク洗浄装置８０を備えている。

ワーク洗浄装置８０は、ワーク回収待機部５０にストックされた加工後のワークＷに向けて洗浄液を噴射して、ワークＷを洗浄する。洗浄液は、洗浄液ノズル８２から噴射される。洗浄液ノズル８２は、ワーク回収待機部５０に起立した姿勢でストックされるワークＷの斜め上方に設置される。洗浄液ノズル８２は、ワーク回収待機部５０に起立した姿勢でストックされるワークＷの斜め上方からワークＷに向けて洗浄液を噴射する。洗浄液は、ワークＷに沿って流れ落ちるので、ワークテーブル２０に洗浄液がかかることはない。

このように、ワーク回収待機部５０にワーク洗浄装置８０を備えることにより、加工後のワークＷを洗浄することができ、クリーンな状態のワークＷを回収することができる。

なお、ワーク洗浄装置８０には、エアを噴射するエアノズルを更に設けるようにしてもよい。エアノズルもワークＷに対して斜め上方からワークＷに向けてエアを噴射するように設置する。ワークＷに洗浄液を噴射後、エアノズルからエアを噴射することにより、ワークＷに残存する水滴等をエアで除去することができ、乾燥させた状態でワークＷを回収することができる。

〔第３の実施の形態〕
図８は、本発明に係るダイシング装置の第３の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。

本実施の形態のダイシング装置は、ワーク供給待機部と、ワーク回収待機部と、ワーク供給装置と、ワーク回収装置の形態が、上記第１の実施の形態のダイシング装置と相違する。したがって、ここでは、この相違点についてのみ説明する。

図８に示すように、本実施の形態のダイシング装置では、ワークＷを治具９０に取り付けて加工する。

図９は治具の平面図である。同図に示すように、治具９０は、ワークＷがマウントされたフレームＦの左端部を把持する左辺部９０Ａと、フレームＦの右端部を把持する右辺部９０Ｂと、フレームＦの後端部を把持する後辺部９０Ｃとで構成され、全体としてコ字状に形成される。左辺部９０Ａと右辺部９０Ｂは、互いに平行になるように形成され、左右の辺部９０Ａ、９０Ｂと後辺部９０Ｃは、互いに直交するように形成される。

治具９０の各辺部の内周部には、溝が形成される。ワークＷは、この溝にフレームＦの外周部を嵌めることにより、治具９０に取り付けられる。

治具９０の各辺部の外周は、平坦に形成される。治具９０は、各辺部の外周面を水平な面に載置することにより、起立させることができる。

加工前のワークＷをストックするワーク供給待機部４０には、図８に示すように、治具９０に取り付けられたワークＷを載置するための加工前ワーク載置台４２が設けられる。加工前ワーク載置台４２は、上面部分に治具９０を載置するための治具載置面４４が形成される。治具載置面４４は水平に形成される。治具載置面４４には、治具９０が嵌まる治具載置溝４６がワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行に形成される。治具９０は、この治具載置溝４６に嵌めて、起立させた状態で治具載置面４４の上に載置される。

ワークＷが取り付けられた治具９０を加工前ワーク載置台４２の上に載置すると、ワー
クＷは、ワークテーブル２０のワーク載置面２１に対して垂直に起立した姿勢で加工前ワーク載置台４２の上に載置される。また、ワークＷは、ワークテーブル２０の移動方向と平行な姿勢で加工前ワーク載置台４２の上に載置される。

なお、治具９０は、加工前ワーク載置台４２の上に載置する際、内周部に保持されたワークＷのダイシングフィルムＴが貼付された面をワークテーブル側に向けて載置する。

加工後のワークＷをストックするワーク回収待機部５０には、図８に示すように、治具９０に取り付けられたワークＷを載置するための加工後ワーク載置台５２が設けられる。加工後ワーク載置台５２は、上面部分に治具９０を載置するための治具載置面５４が形成される。治具載置面５４は水平に形成される。治具載置面５４には、治具９０が嵌まる治具載置溝５６がワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行に形成される。治具９０は、この治具載置溝５６に嵌めて、起立させた状態で治具載置面５４の上に載置される。

ワークＷが取り付けられた治具９０を加工後ワーク載置台５２の上に載置すると、ワークＷは、ワークテーブル２０のワーク載置面２１に対して垂直に起立した姿勢で加工後ワーク載置台５２の上に載置される。また、ワークＷは、ワークテーブル２０の移動方向と平行な姿勢で加工後ワーク載置台５２の上に載置される。

治具９０を介して加工前ワーク載置台４２の上に載置されたワークＷは、ワーク供給装置６０によって、治具９０とともにワークテーブル２０の上に載置される。

ワーク供給装置６０は、例えば、ロボットハンドで構成される。ワーク供給装置６０は、治具９０を把持して、ワークＷを所定高さの位置まで持ち上げた後、ワークＷをワークテーブル２０の移動方向と平行な軸Ｘ１を中心に回転させて、ワークＷをワークテーブル２０の上に載置する。すなわち、垂直に起立した状態からワークテーブル２０に向けて倒すようにして、ワークＷをワークテーブル２０に移載する。

また、加工後のワークＷは、ワーク回収装置７０によって、治具９０とともにワーク回収待機部５０に回収される。ワーク回収装置７０は、例えば、ロボットハンドで構成される。ワーク回収装置７０は、治具９０を把持して、ワークＷをワークテーブル２０の移動方向と平行な軸Ｘ２を中心に回転させて、ワークＷをワークテーブル２０から加工後ワーク載置台５２の上に移載する。すなわち、水平に寝かせた状態から徐々に傾斜させながら起こすようにして、ワークＷをワークテーブル２０から加工後ワーク載置台５２の上に移載する。

以上のように構成された本実施の形態のダイシング装置１０によれば、ワーク供給待機部４０及びワーク回収待機部５０にストックするワークＷを自立させることができる。これにより、ワークＷの供給、回収作業を簡単に行うことができる。すなわち、ワークＷの供給は、加工前のワークＷを治具９０に取り付け、加工前ワーク載置台４２に載置するだけなので、簡単にワークＷの供給を行うことができる。また、加工後のワークＷの回収は、加工後ワーク載置台５２に載置されたワークＷを治具ごと回収するだけなので、簡単に回収することができる。

なお、加工前のワークＷに治具９０を取り付ける作業、及び、治具９０に取り付けられたワークＷを加工前ワーク載置台４２の上に載置する作業は、オペレータが手作業で行う。同様に、加工後ワーク載置台５２の上に載置されたワークＷを回収する作業もオペレータが手作業で行う。

また、上記実施の形態では、ワーク供給装置及びワーク回収装置をロボットハンドで構成しているが、ワークＷの供給、回収を行う手段は、これに限定されるものではない。

また、上記実施の形態では、ワークＷの供給とワークＷの回収を別々の装置で行っているが、１台の装置でワークＷの供給と回収を行うようにしてもよい。

〔第４の実施の形態〕
図１０は、本発明に係るダイシング装置の第４の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。

本実施の形態のダイシング装置は、上記第３の実施の形態のダイシング装置において、ワーク供給待機部４０とワーク回収待機部５０に複数枚のワークＷをストックできるように構成したものである。

図１０に示すように、ワーク供給待機部４０に設けられる加工前ワーク載置台４２の治具載置面４４には、治具載置溝４６がワークテーブル２０の移動方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に一定のピッチで複数形成される。

また、ワーク回収待機部５０に設けられる加工後ワーク載置台５２の治具載置面５４には、治具載置溝５６がワークテーブル２０の移動方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に一定のピッチで複数形成される。

治具９０は、各載置台に載置可能な数だけ用意される。したがって、治具９０は、治具載置面に形成される治具載置溝の数だけ用意される。

加工前の各ワークＷは治具９０に取り付けて、加工前ワーク載置台４２の治具載置面４４に載置する。この際、各ワークＷは治具９０を治具載置面４４に形成された治具載置溝４６に嵌めて、治具載置面４４に載置する。また、各ワークＷはダイシングフィルムＴが貼付された面をワークテーブル側に向けて載置する。

治具載置面４４の上に載置されると、各ワークＷは、ワークテーブル２０のワーク載置面２１に対して垂直に起立した姿勢で加工前ワーク載置台４２の上に載置される。また、各ワークＷは、ワークテーブル２０の移動方向と平行な姿勢で加工前ワーク載置台４２の上に載置される。

治具９０を介して加工前ワーク載置台４２の上に載置されたワークＷは、ワーク供給装置６０によって、治具９０とともにワークテーブル２０の上に載置される。ワーク供給装置６０は、例えば、ロボットハンドで構成される。ワーク供給装置６０は、ワークテーブル２０に近い方から順にワークテーブル２０にワークＷを供給する。この際、ワーク供給装置６０は、治具９０を把持して、ワークＷを所定高さの位置まで持ち上げた後、水平に平行移動して、ワークＷを所定のワーク回転位置まで水平に移動させる。そして、そのワーク回転位置において、ワークテーブル２０の移動方向と平行な軸Ｘ１を中心にワークＷを回転させて、ワークテーブル２０の上に載置する。すなわち、ワーク回転位置において、垂直に起立した状態からワークテーブル２０に向けて倒すようにして、ワークＷをワークテーブル２０に移載する。

また、加工後のワークＷは、ワーク回収装置７０によって、治具９０とともにワーク回収待機部５０に回収される。ワーク回収装置７０は、例えば、ロボットハンドで構成される。ワーク回収装置７０は、ワークテーブル２０から離れた位置にある治具載置溝５６から順に回収したワークＷの治具９０を載置する。この際、ワーク回収装置７０は、ワークテーブル２０の移動方向と平行な軸Ｘ２を中心に回転して、ワークＷをワークテーブル２０から回収する。そして、治具９０を載置する治具載置溝５６の位置まで平行移動して、ワークＷを加工後ワーク載置台５２の上に載置する。

以上のように構成された本実施の形態のダイシング装置１０によれば、ワーク供給待機部４０及びワーク回収待機部５０に複数のワークＷをストックすることができる。これにより、より効率よく装置を稼動させることができる。

なお、加工前のワークＷに治具９０を取り付ける作業、及び、治具９０に取り付けられたワークＷを加工前ワーク載置台４２の上に載置する作業は、オペレータが手作業で行う。同様に、加工後ワーク載置台５２の上に載置されたワークＷを回収する作業もオペレータが手作業で行う。

ワーク供給待機部４０にストックするワークＷの数は任意である。したがって、１枚だけストックさせるようにしてもよい。この場合、オペレータは、ストックするワークＷの枚数の情報をコントローラに入力する。コントローラは、ストックされたワークＷの数に応じて、ワーク供給装置６０及びワーク回収装置７０の動作を制御し、ワークＷの供給と回収を制御する。

また、上記実施の形態では、ワーク供給装置及びワーク回収装置をロボットハンドで構成しているが、ワークＷの供給、回収を行う手段は、これに限定されるものではない。

また、上記実施の形態では、ワークＷの供給とワークＷの回収を別々の装置で行っているが、１台の装置でワークＷの供給と回収を行うようにしてもよい。

〔第５の実施の形態〕
図１１は、本発明に係るダイシング装置の第５の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。

本実施の形態のダイシング装置は、治具９０を用いずに複数枚のワークＷをワーク供給待機部４０とワーク回収待機部５０にストックできるように構成したものである。

図１０に示すように、ワーク供給待機部４０に設けられる加工前ワーク載置台４２の上には、ワーク供給ラック４８が設置される。ワーク供給ラック４８には、ワークＷがマウントされたフレームＦを嵌めるフレーム保持溝４８Ａが形成される。フレーム保持溝４８Ａは、ワークＷがマウンとされるフレームＦとほぼ同じ幅で形成され、ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行に形成される。また、フレーム保持溝４８Ａは、ワークテーブル２０の移動方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に一定のピッチで複数形成される。

加工前の各ワークＷは、そのフレームＦをフレーム保持溝４８Ａに嵌めて、ワーク供給ラック４８にセットする。この際、各ワークＷは、ダイシングフィルムＴが貼付された面をワークテーブル側に向けてワーク供給ラック４８にセットする。ワーク供給ラック４８にセットされたワークＷは、ワークテーブル２０のワーク載置面２１に対して垂直に起立した姿勢でセットされる。また、各ワークＷは、ワークテーブル２０の移動方向と平行な姿勢で加工前ワーク載置台４２の上に載置される。

ワーク供給ラック４８にセットされたワークＷは、ワーク供給装置６０によって、ワークテーブル２０の上に載置される。ワーク供給装置６０は、例えば、ロボットハンドで構成される。ワーク供給装置６０は、ワークテーブル２０に近い方から順にワークテーブル２０にワークＷを供給する。この際、ワーク供給装置６０は、ワークＷのフレームＦを把持して、ワークＷを所定高さの位置まで持ち上げた後、水平に平行移動して、ワークＷを所定のワーク回転位置まで水平に移動させる。そして、そのワーク回転位置において、ワークテーブル２０の移動方向と平行な軸Ｘ１を中心にワークＷを回転させて、ワークテーブル２０の上に載置する。すなわち、ワーク回転位置において、垂直に起立した状態からワークテーブル２０に向けて倒すようにして、ワークＷをワークテーブル２０に移載する。

ワーク回収待機部５０に設けられる加工後ワーク載置台５２の上には、ワーク回収ラック５８が設置される。ワーク回収ラック５８には、ワークＷがマウントされたフレームＦを嵌めるフレーム保持溝５８Ａが形成される。フレーム保持溝５８Ａは、ワークＷがマウンとされるフレームＦとほぼ同じ幅で形成され、ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行に形成される。また、フレーム保持溝５８Ａは、ワークテーブル２０の移動方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に一定のピッチで複数形成される。

加工後の各ワークＷは、そのフレームＦをフレーム保持溝５８Ａに嵌めて、ワーク回収ラック５８にセットされる。この際、各ワークＷは、ダイシングフィルムＴが貼付された面をワークテーブル側に向けてワーク回収ラック５８にセットされる。ワーク回収ラック５８にセットされたワークＷは、ワークテーブル２０のワーク載置面２１に対して垂直に起立した姿勢でセットされる。また、各ワークＷは、ワークテーブル２０の移動方向と平行な姿勢で加工前ワーク載置台４２の上に載置される。

加工後のワークＷは、ワーク回収装置７０によって、ワーク回収待機部５０に回収される。ワーク回収装置７０は、例えば、ロボットハンドで構成される。ワーク回収装置７０は、ワークテーブル２０から離れた位置にあるフレーム保持溝５８Ａから順に回収したワークＷを載置する。この際、ワーク回収装置７０は、ワークテーブル２０の移動方向と平行な軸Ｘ２を中心に回転して、ワークＷをワークテーブル２０から回収する。そして、ワークＷを載置するフレーム保持溝５８Ａの位置まで平行移動して、ワークＷをフレーム保持溝５８Ａの上に載置する。

以上のように構成された本実施の形態のダイシング装置においても、ワーク供給待機部４０及びワーク回収待機部５０に複数のワークＷをストックすることができる。これにより、より効率よく装置を稼動させることができる。

なお、加工前のワークＷをワーク供給ラック４８にセットする作業は、オペレータが手作業で行う。同様に、ワーク回収ラック５８に回収されたワークＷを回収する作業もオペレータが手作業で行う。

ワーク供給ラック４８にセットするワークＷの数は任意である。したがって、１枚だけセットすることもできる。この場合、オペレータは、セットするワークＷの枚数の情報をコントローラに入力する。コントローラは、ストックされたワークＷの数に応じて、ワーク供給装置６０及びワーク回収装置７０の動作を制御し、ワークＷの供給と回収を制御する。

また、上記実施の形態では、ワーク供給装置及びワーク回収装置をロボットハンドで構成しているが、ワークＷの供給、回収を行う手段は、これに限定されるものではない。

また、上記実施の形態では、ワークＷの供給とワークＷの回収を別々の装置で行っているが、１台の装置でワークＷの供給と回収を行うようにしてもよい。

〔第６の実施の形態〕
図１２は、本発明に係るダイシング装置の第６の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。また、図１３は、本発明に係るダイシング装置の第６の実施の形態の要部の構成を示す平面図である。

本実施の形態のダイシング装置は、ワークＷの供給、回収を１台のワーク供給回収装置１００によって行う。

ワーク供給回収装置１００は、治具９０に取り付けられたワークＷをワーク供給待機部４０からワークテーブル２０に供給するとともに、加工後のワークＷをワークテーブル２０からワーク回収待機部５０に回収する。

ワーク供給回収装置１００は、第１フレーム１０２と、第１フレーム１０２に第１ヒンジ１０４を介して揺動自在に支持された第２フレーム１０６と、第２フレーム１０６に第２ヒンジ１０８を介して揺動自在に支持された第３フレーム１１０と、第２フレーム１０６を揺動させる第１揺動駆動装置１１２と、第３フレーム１１０を揺動させる第２揺動駆動装置１１４と、治具９０を把持する一対のグリッパ１１６とで構成される。

第１フレーム１０２と第２フレーム１０６と第３フレーム１１０は、ともに角柱状（直方体状）に形成される。

第１フレーム１０２は、ダイシング装置１０の本体フレーム１２の上に水平に設置される。第１フレーム１０２は、図示しないボルト等で本体フレーム１２に固定される。

第２フレーム１０６は、第１フレーム１０２の上に設置される。第２フレーム１０６は、第１ヒンジ１０４を介して、一端（図１２の右端）が、第１フレーム１０２の一端（図１２の右端）に連結される。

第１ヒンジ１０４は、ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行な軸の周りを揺動する。したがって、第２フレーム１０６は、ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行な軸の周りを揺動する。

第３フレーム１１０は、第２フレーム１０６の上に設置される。第３フレーム１１０は、第２ヒンジ１０８を介して、一端（図１２の左端）が、第２フレーム１０６の一端（図１２の左端）に連結される。

第２ヒンジ１０８は、ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行な軸の周りを揺動する。したがって、第３フレーム１１０は、ワークテーブル２０の移動方向（Ｘ軸方向）と平行な軸の周りを揺動する。

第１揺動駆動装置１１２は、シリンダで構成され、第１フレーム１０２に対して第２フレーム１０６を揺動させる。第２フレーム１０６は、この第１揺動駆動装置１１２を駆動することにより、水平に寝た状態から垂直に起立させることができる。

第２揺動駆動装置１１４は、シリンダで構成され、第２フレーム１０６に対して第３フレーム１１０を揺動させる。第３フレーム１１０は、この第２揺動駆動装置１１４を駆動することにより、水平に寝た状態から垂直に起立させることができる。

一対のグリッパ１１６は、治具９０を把持する。治具９０は、後辺部９０Ｃに一対の把持部９０Ｄが設けられる。グリッパ１１６は、この治具９０の後辺部９０Ｃに設けられた把持部９０Ｄを把持する。

ワーク供給回収装置１００は、以上のように構成される。図１２は、ワーク供給回収装置１００の基本姿勢を示している。この状態の時、第３フレーム１１０は、第２フレーム１０６の上に載置されて、水平な姿勢になるとともに、第２フレーム１０６は、第１フレーム１０２の上に載置されて、水平な姿勢になる。また、この状態の時、グリッパ１１６に保持された治具９０は、ワークＷとともに交換位置に位置したワークテーブル２０の上に載置される。

基本姿勢の状態から、第２揺動駆動装置１１４を駆動して、第３フレーム１１０を起立させると、治具９０はワーク供給待機部４０に移送され、ワーク供給待機部４０に設けられた加工前ワーク載置台４２の上に載置される。

また、基本姿勢の状態から、第１揺動駆動装置１１２を駆動して、第２フレーム１０６を起立させると、治具９０はワーク回収待機部５０に移送され、ワーク回収待機部５０に設けられた加工後ワーク載置台５２の上に載置される。

このワーク供給回収装置１００を用いたワークテーブル２０へのワークＷの供給、回収は、次のように行われる。

まず、オペレータがワークＷに治具９０を取り付ける。そして、ワークＷが取り付けられた治具９０をワーク供給待機部４０の加工前ワーク載置台４２の上に載置する。

オペレータは、ダイシングフィルムＴが貼付された面（裏面）をワークテーブル側に向けて、垂直に起立させた姿勢で治具９０を加工前ワーク載置台４２の上の所定位置に載置する。

これにより、加工対象のワークＷのセッティングが完了する。この後、加工開始が指示されると、まず、第２揺動駆動装置１１４が駆動され、第３フレーム１１０が垂直に起立する。これにより、グリッパ１１６で治具９０を保持可能になる。

グリッパ１１６で治具９０の把持部９０Ｄを把持すると、第２揺動駆動装置１１４が駆動され、第３フレーム１１０が揺動して、水平な姿勢になる。これにより、ワークＷがワークテーブル２０の上に載置される。

ワークＷがワークテーブル２０に載置されると、グリッパ１１６による把持が解除される。そして、ワークテーブル２０の吸引機構が作動され、ワークＷがワークテーブル２０に吸着保持される。この後、ワークＷは、加工部３０へと搬送されて、加工が施される。

加工が終了し、ワークテーブル２０が交換位置に戻ると、グリッパ１１６が駆動され、治具９０の把持部９０Ｄがグリッパ１１６に把持される。そして、ワークテーブル２０によるワークＷの吸着が解除される。

ワークテーブル２０の吸着が解除されると、第１揺動駆動装置１１２が駆動され、第２フレーム１０６が第３フレーム１１０とともに揺動して、垂直に起立する。これにより、加工後のワークＷが治具９０とともにワーク回収待機部５０の加工後ワーク載置台５２の上に載置される。

ワークＷが加工後ワーク載置台５２の上に載置されると、グリッパ１１６による把持が解除される。この後、第１揺動駆動装置１１２が駆動され、第２フレーム１０６が第３フレーム１１０とともに揺動して、基本姿勢に戻る。

このように、本実施の形態のダイシング装置によれば、１台のワーク供給回収装置１００によって、ワークＷの供給回収を行うことができる。

〔第７の実施の形態〕
図１４は、本発明に係るダイシング装置の第７の実施の形態の外観の概略構成を示す正面図である。

同図に示すように、ダイシング装置１０は、全体がハウジング１４で覆われる。ハウジング１４の正面部分には、ワークＷの供給口１６と回収口１８が形成される。供給口１６と回収口１８は、加工部３０を左右対称に配置され、開閉自在なカバー１６Ａ、１８Ａで覆われる。また、加工部３０の前方も開閉自在なカバー３０Ａで覆われる。カバー１６Ａ、１８Ａ、３０Ａは、内部を観察できるように、透明に形成される。

ワークＷの供給口１６は、ワーク供給待機部４０と連通される。ワーク供給待機部４０にワークＷをストックする場合は、この供給口１６を介して行われる。

ワークＷの回収口１８は、ワーク回収待機部５０と連通される。ワーク回収待機部５０にストックされた加工後のワークＷは、この回収口１８を介して取り出される。

このように、ハウジング１４の正面部分にワークＷの供給口１６と回収口１８を形成することにより、オペレータによるワークＷの供給作業、回収作業を容易にすることができる。

〔第８の実施の形態〕
図１５は、本発明に係るダイシング装置２００の第８の実施の形態の外観の概略構成を示す斜視図である。

ダイシング装置２００は、主として、操作・表示部２１１、モニターテレビ２１２、コントローラ２１３、カバー２１４、加工部２２０等で構成される。

操作・表示部２１１は、ダイシング装置２００の各部の操作を行うスイッチが表示される表示手段と、タッチパネルとで構成される。

モニターテレビ２１２は、例えばカラー表示が可能な液晶パネルである。モニターテレビ２１２には、撮像手段２２３で撮像された画像が表示される。

コントローラ２１３は、ダイシング装置２００の全体の動作をコントロールする部分である。コントローラ２１３は、マイクロプロセッサ、メモリ、入出力回路等で構成され、ダイシング装置２００の架台内部に格納される。コントローラ２１３は、操作・表示部２１１の操作に応じてダイシング装置２００の各部を動作させる。

カバー２１４は、加工部２２０の内部が観察できるように透明な樹脂で形成される。また、カバー２１４は、加工時の飛沫やミストが周囲に飛散することを防止するため、加工部２２０を覆うように設けられる。

加工部２２０は、ワークに溝加工や切断加工を行う部分である。加工部２２０は、主として、高周波モータ内蔵型の一対のスピンドル２２１と、各スピンドル２２１に取り付けられるブレード２２２と、一対の撮像手段２２３と、１台のワークテーブル２２４と、ワークＷに取り付けられる治具２２６とで構成される。

一対のスピンドル２２１は、互いに対向配置され、３０，０００ｒｐｍ〜６０，０００ｒｐｍの高速で回転される。スピンドル２２１の先端には、ブレード２２２とホイールカバー（不図示）が取り付けられる。スピンドル２２１は、図示しない送り機構によって図の矢印Ｘ方向と直交するＹ方向にインデックス送りされる。

ブレード２２２は、薄い円盤状に形成され、ワークＷの溝加工や切断加工を行う。ブレード２２２は、ダイヤモンド砥粒やＣＢＮ砥粒をニッケルで電着した電着ブレードや、樹脂で結合したレジンブレードが用いられる。ブレード２２２の近傍には、図示しない切削ノズル及び洗浄ノズルが設けられ、ノズルからは切削水及び洗浄水が加工ポイントに供給される。

一対の撮像手段２２３は、ワークのアライメントや加工状態を評価するために、各ブレード２２２で切削されるワークＷの表面を撮像する。撮像手段２２３は、顕微鏡、照明装置、ＣＣＤカメラ等で構成される。

スピンドル２２１及び撮像手段２２３は、図示しない駆動手段によってＺ方向に駆動されるＺテーブルの先端に配設される。Ｚテーブルは、図示しない駆動手段によってＹ方向に駆動されるＹテーブルに配設される。したがって、ブレード２２２及び撮像手段２２３はＹ方向及びＺ方向に駆動される。

ワークテーブル２２４は、ワークＷを吸着保持する。ワークＷはフレームＦにマウントされる。また、治具２２６が取り付けられて、ワークテーブル２２４に吸着保持される。

フレームＦは、樹脂等で形成された環状の部材であり、環状の内部を覆うようにダイシングフィルムＴが貼り付けられる。ワークＷがダイシングフィルムＴの粘着面に貼り付けられることにより、ワークＷがフレームＦにマウントされる。以下、ダイシングフィルムＴの粘着面、すなわちワークＷが貼り付けられる面を表面と定義し、ダイシングフィルムＴの粘着面でない側を裏面と定義する。

ワークテーブル２２４は、ダイシング装置２００の内部に固定されたマシンベース（図示せず）に載置されたＸテーブル（図示せず）に連結されたθテーブル（図示せず）に連結される。

ワークテーブル２２４の上面に吸着固定されたワークＷは、θテーブルによってθ回転される。ワークテーブル２２４の上面に吸着固定されたワークＷは、ＸテーブルがＸガイド（図示せず）でガイドされて図示しない駆動機構によりＸ方向に移動されることにより、Ｘ方向に移動される。

ワークテーブル２２４には、２本のピン２２５が設けられる。フレームＦには２箇所の切欠が形成され、この切欠をピン２２５に当接させることにより、ワークＷの位置決めを行う。

治具２２６は、フレームＦの両端を挟持して、ワークＷに取り付けられる。治具２２６は、図１６、図１７、図１８に示すように、２個の角棒状の部材が対向して設けられる。ダイシング装置２００には、少なくとも２組の治具２２６が配設される。図１６においては、１組の治具２２６はワークテーブル２２４と略平行となるように、すなわち略水平方向に配設され、他の治具２２６はワークテーブル２２４に隣接して略垂直方向に配設されている。治具２２６は、回動軸２２７を中心に回動することにより、略水平方向（横置き）と略垂直方向（縦置き）との間で移動可能である。治具２２６に隣接するように、かつワークテーブル２２４に隣接するように、２本の回動軸２２７が設けられる。

図１６、図１７の実線で示す位置に横置きされた治具２２６に対して、フレームＦの着脱が行われる。この位置がワーク交換位置である。フレームＦはリング状の部材であり、フレームＦの輪の内部を覆うように裏面からダイシングフィルムＴが貼着される。ワークＷは、ダイシングフィルムＴの粘着面（すなわち表面）に貼着される。フレームＦは、裏面がワークテーブル２２４側に向くように治具２２６に挟持される。ワークＷが逆向き（表面がワークテーブル２２４側に向くように）に治具２２６に挟持されないように、治具２２６又はフレームＦに逆挿入防止機構を設けることが好ましい。逆挿入防止機構としては、フレームＦに形成された凸部と、治具２２６の溝２３１に形成された当該凸部と嵌合可能な溝等を適用できる。

ワーク交換位置でフレームＦが挟持された治具２２６は、図１６においてワークテーブル２２４の左側（−ｙ側）のワーク供給待機部２２８に配設された回動軸２２７と図示しない連結部材（たとえば、グリッパ）によって連結され、この治具２２６がこの回動軸２２７を中心に回動することによりワークテーブル２２４上に横置きされた位置からワークテーブル２２４の左側に隣接して縦置きされる位置へと治具２２６が移動される。この位置がワーク待機位置である。このように待機しているワークを立てて保管するため、広いスペースを必要とせず、非常に狭い領域で効率よくワークを保管することができる。

ワーク待機位置では、フレームＦは、図１６、図１７に示すように、ダイシングフィルムＴの粘着面、すなわちワークＷが外側に向いて露出されるように治具２２６に挟持される。したがって、ワーク加工位置（後に詳述）から飛び跳ねてくるミストからウェハ表面を保護することができる。

図１６においてワークテーブル２２４の左側（−ｙ側）のワーク供給待機部２２８に縦置きされた治具２２６は、鉛直上方向にある治具２２６が重りとして機能し、重力により鉛直下向き（−ｚ方向）に移動される。ワーク待機位置では、治具２２６が回動軸２２７の基準面（図１６参照）に当接することで治具２２６が位置決めされる。また、ワーク待機位置では、鉛直上方向にある治具２２６が重りとして機能するため、治具２２６に挟持されたフレームＦも重力により鉛直下向き（−ｚ方向）に移動される。フレームＦは、図１５に示すように両端に直線部が形成されており、図１９に示すように、このフレームＦの直線部が溝２３１の底面２３１ａに当接することで、フレームＦが治具２２６に対して位置決めされる。

図２０は、図１７のＡ部の拡大図である。図２０に示すように、治具２２６は、主として、長手方向に溝２３１が形成された直方体状（角棒状）の本体部２３０と、弾性部材２３２とで構成される。弾性部材２３２は、弾性力により、フレームＦの直線部が溝２３１の底面２３１ａに当接した状態でフレームＦを溝２３１の側面２３１ｂに付勢する。これにより、フレームＦは、略垂直に立てられた状態で、治具２２６に位置決めされるとともに、治具２２６に挟持される。

図１６においてワーク待機位置に縦置きされた治具２２６は、ワークテーブル２２４の左側（−ｙ側）のワーク供給待機部２２８に配設された回動軸２２７と図示しない連結部材（たとえば、グリッパ）によって連結され、この治具２２６がこの回動軸２２７を中心に回動することによりワーク待機位置からワーク交換位置へと移動される。

治具２２６は、図１８に示すように、図示しない移動手段によりワーク交換位置からＸ方向に平行移動され、ワークテーブル２２４の上に略水平方向に配設される。この位置がワーク加工位置である。ワーク加工位置では、図示しない吸着手段によりワークＷがワークテーブル２２４に吸着保持され、ワークＷの加工が行われる。

ワーク待機位置において、治具２２６及びフレームＦが位置決めされているため、ワーク待機位置からワーク交換位置（ワーク加工位置）へと回動させると、治具２２６及びフレームは図１６の左側（―ｙ側）が基準に位置決めされていることとなる。したがって、左側の治具２２６を基準としてワークテーブル２２４やピン２２５を配設することで、ワークＷをワークテーブル２２４へ精度よく位置決めして載置することができ、ワークＷを微調整する手間を省くことができる。

ワーク加工後、治具２２６は図示しない移動手段によりワーク加工位置からワーク交換位置へと平行移動される。この時、治具２２６は、図１６においてワークテーブル２２４の右側（＋ｙ側）のワーク回収待機部２２９に配設された回動軸２２７と図示しない連結部材（たとえば、グリッパ）によって連結され、この治具２２６がこの回動軸２２７を中心に回動することによりワークテーブル２２４上に横置きされた位置からワークテーブル２２４に隣接して縦置きされた位置へと移動される。図１６に示す場合においては、横置きされた治具２２６は、移動後には、図１６に点線で示すように、ワークテーブル２２４の右側（＋ｙ側）のワーク回収待機部２２９に隣接して縦置きされる。この位置がワーク終了待機位置である。このように加工後のワークを立てて保管するため、広いスペースを必要とせず、非常に狭い領域で効率よくワークを保管することができる。この時、ワークＷは外側に向けて露出されている。

ダイシング装置２００には、図示しないカメラ及びバーコードリーダが配設される。

カメラは、略垂直に立てて配設されたフレームＦ（図１６においては、ワークテーブル２２４の左側（−ｙ側）のワーク供給待機部２２８に縦置きされた治具２２６に挟持されたフレームＦ）にマウントされたワークを撮影する。これにより、ワークＷの形状を認識し、予め簡易的なアライメントを行うことができる。なお、カメラがワークＷの形状を認識しやすくするため、ワークＷを背面から照らすバックライトを配設するようにしてもよい。

フレームＦの表面には、バーコード（図示せず）が貼付されている。バーコードリーダは、略垂直に立てて配設されたフレームＦ（図１６においては、ワークテーブル２２４の左側（−ｙ側）のワーク供給待機部２２８に縦置きされた治具２２６に挟持されたフレームＦ）に貼付されたバーコードを読み取る。これにより、加工前にワークＷの種類等を判別することができる。なお、フレームＦに貼付されるのは、バーコードに限られない。例えば、ＲＦＩＤタグを貼付してもよい。この場合には、バーコードリーダの代わりに、ＲＦＩＤタグの読取装置を配設すればよい。また、バーコードリーダを配設せず、カメラでバーコードを撮影してワークＷの種類を判別するようにしてもよい。また、バーコードやＲＦＩＤタグは、フレームＦに貼付されていてもよいし、ダイシングフィルムＴの粘着面に貼付されていてもよい。

また、ダイシング装置２００には、洗浄装置及び排水装置が配設される。図２１に示すように、洗浄装置及び排水装置は、必要に応じて、ワーク終了待機位置でワークＷを洗浄する。ワークＷは外側に向けて露出されているため、洗浄装置及び排水装置もワーク終了待機位置にある治具２２６の外側に配設される。

洗浄装置は、主としてノズル２３３からなり、ノズル２３３の先端からはワークＷへ純水が吹き付けられる。排水装置は、主として貯水部２３４と、メッシュフィルタ２３５と、壁２３６と、スカート２３７とからなる。ワークＷへ供給された純水は、重力により鉛直下向きへ落下し、スカート２３７により貯水部２３４へ導かれる。壁２３６は取り外し自在に配設され、ノズル２３３の先端からワークＷへ純水が吹き付けられた時に水が外部へ漏れないようにするとともに、壁２３６に当たった廃水を貯水部２３４へ導く。貯水部２３４に蓄えられた廃水はメッシュフィルタ２３５を通ってダイシング装置２００の外部へ排水される。

本実施の形態ではワーク終了待機位置においてワークが立てられた状態で保管される。したがって、少ない水の量で効率よくスラッジを洗い流し、その洗い流されたスラッジを含む廃液を効率よく排水機構へ排出することできる。その結果、引用文献１のように別途ウェハ洗浄部などのスペースを設けずとも、簡易的にウェハ表面を効率よく洗浄することができ、なおかつ、その洗浄した状態のままで簡易的に保管することができる。また、その保管に要するスペースも非常に狭いスペースで保管することが可能となる。

次に、上記ダイシング装置２００を用いたダイシング加工方法について説明する。

まずオペレータがカバー２１４を上方に回転させて開き、ワーク交換位置にある治具２２６にフレームＦを挟持させる。また、操作・表示部２１１のスイッチを操作してワーク交換位置からワーク待機位置へと治具２２６を回動させる。この操作を治具２２６の数だけ繰り返す。これにより、複数の治具２２６の全てにフレームＦが挟持され、全ての治具がワーク待機位置に配設されて、ダイシング装置２００へのワークＷのセットが完了する。

オペレータがカバー２１４を閉じると、加工するワークＷを搭載するフレームＦが挟持された治具２２６がワーク待機位置からワーク交換位置へと回動される。例えば、ワーク待機位置にある治具２２６のうちのワーク加工位置に隣接して配設された治具２２６が回動及び平行移動され、他の治具２２６はワーク待機位置に縦置きされるように、治具２２６が移動される。

その後、加工するワークＷを搭載するフレームＦが挟持された治具２２６は、ワーク交換位置からワーク加工位置へと平行移動される。すなわち、治具２２６をｘ方向（図１６では−ｘ方向）に移動させ、フレームＦの切欠をピン２２５に当接させ、フレームＦをワークテーブル２２４に戴置させる。これにより、ワークＷが位置決めされる。

ワーク待機位置においてフレームＦ及び治具２２６が下方向に位置決めされているため、回動された時にはフレームＦ及び治具２２６はが回動軸２２７の基準面（図１６参照）や溝２３１の底面２３１ａを基準として位置決めされている。ピン２２５は、回動軸２２７の基準面を基準としてワークテーブル２２４に配設されているため、治具２２６の回動後に微調整を行うことなく、治具２２６をｘ方向に移動させるだけでフレームＦの切欠をピン２２５に当接させることができる。その結果、ワークをワークテーブルに載せた後、ワークを更にずらして微調整するような手間や微調整のための機構を省くことができる。

ワークＷが位置決めされたら、ワークＷをワークテーブル２２４に真空吸着させる。次いで、Ｘテーブルを−ｘ方向に移動させて、ワークＷを撮像手段２２３の下に移動させる。すると、撮像手段２２３により表面に形成されたパターンが撮像され、その画像がモニターテレビに映し出される。ここでオペレータはモニターテレビに映し出された画像を見ながら操作・表示部２１１のスイッチを操作して、ワークＷのアライメントを行う。

アライメントが完了したら、Ｘテーブルを＋ｘ方向に移動させ、ワークＷをワーク加工位置に移動させる。操作・表示部２１１のスイッチを操作することにより、高速回転するブレード２２２とＸテーブルによる切削移動とによる溝加工や切断加工がなされる。加工中は切削ノズルから切削水が加工ポイントに供給され、洗浄ノズルからは洗浄水が供給される。１ラインの加工が済むと、ブレード２２２はＹ方向にインデックス送りされ、次に加工するラインに位置付けられ、Ｘテーブルによる切削移動でこのラインも加工される。このような動作が繰り返されて、ワークＷの一方向の全ラインの加工が終了すると、θテーブルがワークＷを９０度回転させ、先ほどのラインと直交するラインに合わせて加工が行われる。

図１６、図１７、図１８に示すように、予備のワークＷは、裏面が内側に向くように治具２２６に挟持される。すなわち、ワーク待機位置にあるワークＷは、ダイシングフィルムＴによってワーク加工位置と隔離されている。したがって、加工時に供給された切削水や洗浄水やそのミストが予備のワークに付着することはなく、アライメントミスを起こすことがない。

全加工が終了すると、表示灯の加工完了を知らせるランプが点滅する。ここでオペレータは必要に応じ、撮像手段２２３でワークＷの加工部分を撮像し、加工状態を観察した後にワークＷをワークテーブル２２４から取り外す。

ワークＷの取り外しは、オペレータにより操作・表示部２１１のスイッチが操作されることにより行われる。ワークテーブル２２４の右側（＋ｙ側）のワーク回収待機部２２９に配設された図示しない回動軸を中心に、横置きされた治具２２６が回動される。治具２２６回動時には、イオナイザー２３８によりワークテーブル２２４及びダイシングフィルムＴにイオンが吹き付けられる。横置きされた治具２２６が回動されると、図２２に示すように、一対の治具２２６のうちのワークテーブル２２４の左側（−ｙ側）の治具２２６がワークテーブル２２４の右側（＋ｙ側）のワーク回収待機部２２９に配設された図示しない回動軸を中心とする円弧に沿って移動する。

ダイシングフィルムＴが撓むため、ワークテーブル２２４の左側（−ｙ側）の治具２２６の円弧状の移動とともに、ワークテーブル２２４の左側（−ｙ側）から徐々にダイシングフィルムＴが浮き上がり、ワークＷが左側（−ｙ側）から徐々に剥離される。

イオナイザー２３８により吹き付けられたイオンは、ワークテーブル２２４とダイシングフィルムＴとの間に発生する静電気を中和させ、除電する。本実施の形態ではワークテーブル２２４の左側（−ｙ側）の治具２２６が持ち上げられるため、イオナイザー２３８は、ワークテーブル２２４の左側（−ｙ側）からイオンを吹き付ける。そのため、ワークテーブル２２４の左側（−ｙ側）から徐々にダイシングフィルムＴが浮き上がるとともに、ダイシングフィルムＴとワークテーブル２２４との接触部に沿ってワークテーブル２２４の左側から右側へと電荷が移動する。

従来のダイシング装置では、図２６に示すように、フレームが平行に上方向へ移動されることでワークＷの取り外しが行われるが、ダイシングフィルムＴの撓みにより、ワークＷも撓み、ワークＷの略中央が最後にワークテーブル２２４から離れる。したがって、最後までワークテーブル２２４に接触しているワークＷの略中央に電荷が集中し、ワークＷの破損の原因となる。それに対し、ダイシング装置２００では、ワークＷが左側（−ｙ側）から徐々に剥離され、またイオナイザー２３８により除電を行うため、電荷が略中央の１箇所に集中しない。したがって、ワークＷの中心への電荷集中を防止し、ワークＷの静電破壊を抑止することができる。また、静電気によるダイシングフィルムＴの破損等の不具合を防ぐことができる。

ワークＷがワークテーブル２２４から剥離された後は、治具２２６がワーク加工位置からワーク交換位置へと移動され、その後、治具２２６の右側（＋ｙ側）の回動軸２２７により治具２２６が回動される。治具２２６が回動されると、図２３に示すように、左側（−ｙ側）の治具２２６の円弧状の移動とともに、フレームＦ、ダイシングフィルムＴ及びワークＷが一体となって回動する。それに従い、図２３に示すように、ワークＷ上に残された切削水や洗浄水の水滴がワークテーブル２２４の右側（＋ｙ側）の治具２２６の方へ落下する。落下した水滴は、スカート２３７を介して貯水部２３４へ導かれる（図２１参照）。これにより、ワークテーブル２２４上に水滴が落下することを防止することができる。

従来のダイシング装置では、図２７に示すように、フレームＦが斜めになりながら横方向に移動するため、ワークＷ上の水滴がワークテーブル２２４上に落下してしまい、次の加工で不具合が発生する可能性がある。それに対し、ダイシング装置２００では、ワークＷ上の水滴が治具２２６の方へ落下するため、ワークテーブル２２４に水滴が落下せず、次の加工時に不具合が発生することもない。

治具２２６が回動され終わると、治具２２６はワーク終了待機位置へと移動される。ワーク終了待機位置では、必要に応じて洗浄装置及び排水装置によりワークＷの洗浄が行われる。ワークＷの洗浄に用いられた水も全て貯水部２３４に蓄えられ、ワークテーブル２２４やワーク待機位置にあるワークＷ等に水滴が付着することはない。

本発明のダイシング装置２００では、加工終了後、所定の時間が経過しても、オペレータによりワークＷの交換が行われない場合には、コントローラ２１３は、ワーク加工位置にあるワークＷをワーク終了待機位置へ移動させ、ワーク待機位置にある予備のワークＷをワークテーブル２２４に配設し、加工を行う。

まず、オペレータが操作・表示部２１１のスイッチが操作して指示した場合と同様の方法により、ワークテーブル２２４から加工済みのワークＷが取り外される。その後、加工済みのワークＷを含む治具２２６がワーク加工位置からワーク交換位置を介してワーク終了待機位置へと移動される。その後、ワーク待機位置にある治具２２６が、ワーク交換位置の左側（−ｙ側）のワーク供給待機部２２８に配設された回動軸２２７を中心に回動されてワーク交換位置に移動される。その後、治具２２６をｘ方向（図１６では−ｘ側）に移動させ、フレームＦの切欠をピン２２５に当接させる。これにより、ワーク待機位置に縦置きされた治具２２６に挟持された予備のワークＷが位置決めされた状態でワークテーブル２２４に載置される。これにより、予備のワークＷが加工可能となる。したがって、加工終了後、オペレータが加工済みのワークの交換がすぐにできない場合においても、加工終了からワーク交換作業が行われるまでの時間を無駄にすることがなく、効率よく加工を行うことができる。

予備のワークＷの加工が終了すると、表示灯の加工完了を知らせるランプが点滅する。オペレータは、まず、最初に加工され、ワーク終了待機位置に縦置きされたワークＷ（図１６、図１７の点線参照）をワーク交換位置へと回動させ、ワーク交換位置で治具２２６からフレームＦを取り外す。その後、直前に加工された予備のワークＷをワークテーブル２２４から取り外し、ワーク加工位置からワーク交換位置へと移動させ、ワーク交換位置で治具２２６からフレームＦを取り外す。

以上、説明したように、本実施の形態によれば、予備のワークを予め配設し、加工終了後にオペレータがワーク交換作業を行えない場合には予備のワークを加工するようにしたため、加工終了からワーク交換作業が行われるまでの時間を無駄にすることがなく、効率よく加工を行うことができる。

また、本実施の形態によれば、予備のワークを挟持する治具が縦置きされるため、予備のワークの待機用のスペースを大きくとることなく、非常に狭いスペースでウェハを格納して待機させることができる。また、予備のワークの加工前に簡易的なアライメントを可能とするカメラやバーコードリーダ等を配設することで、これらの付帯設備を省略することができる。

また、本実施の形態によれば、予備のワークＷがワークテーブルと反対側を向くように治具２２６に挟持されるため、加工時に供給された切削水や洗浄水やそのミストが予備のワークに付着しない。したがって、予備のワークＷが汚れ、アライメントや加工に不具合が生じることを防止することができる。更に、ワーク加工に用いられた水滴がワークテーブルへ落下し、次のワークの加工に不具合が生じることを防止することができる。

また、本実施の形態によれば、加工済みのワークをワークテーブルから取り外す際に、治具を回動軸を中心に回動させて一方を持ち上げるようにするため、ワークＷの中央に静電気がたまり、ワークが静電破壊することを防止することができる。更に、イオナイザーにより除電するため、ワークの静電破壊等の静電気による不具合を防止することができる。

また、本実施の形態によれば、治具が略垂直状態で待機されるため、ワークや治具の自重、すなわち重力を利用して簡便にワークの位置合わせを行うことができる。そのため、フレームの位置合わせのための機構、例えばワークをスライドさせるような複雑な機構を設ける必要がなくなる。また、ワークの微調整が必要ないため、非常に簡便な方法でフレームを精密な取付け位置に設定することができる。

なお、本実施の形態では、予備のワークや加工済みのワークが略垂直に立てて配設されたが、縦置きの方向は略垂直に限られない。加工の邪魔にならず、かつスペースがあるのであれば、水平方向以外のいかなる角度（例えば、４５°、６０°等の所望の角度）で傾けた状態で縦置きするようにしてもよい。

また、本実施の形態では、回動軸２２７を中心に治具２２６を回動させることにより、垂直方向の配設位置（ワーク待機位置やワーク終了待機位置）と水平方向の配設位置（ワーク交換位置）との間で治具２２６を移動させたが、垂直方向の配設位置と水平方向の配設位置との間で治具２２６を移動させる方法はこれに限られない。図２４に示すように、回動軸２２７を中心に治具２２６を回動させるとともに、図示しない駆動手段により治具２２６を水平方向に平行移動させることにより、垂直方向の配設位置と水平方向の配設位置との間で治具２２６を移動させてもよい。

また、本実施の形態では、図１６、図１７に示すように、２組の治具２２６を配設したが、２組以上であれば、治具２２６は何個配設されていてもよい。例えば、３個の治具２２６を配設するのであれば、図２５に示すように、加工用のワークＷを挟持する１組の治具２２６と、予備のワークＷを挟持する２組の治具２２６が配設される。加工用のワークＷを挟持する１組の治具２２６はワーク交換位置に配設され、予備のワークＷを挟持する２組の治具２２６は、ワーク待機位置に並べて配設される。加工が終わったら、加工済みのワークＷが挟持する治具２２６をワーク終了待機位置へ回動させ、ワークテーブル２２４に隣接して配設された予備のワークＷ（予備ワークＡ）を挟持する治具２２６をワーク待機位置からワーク交換位置へと回動させ、ワーク交換位置からワーク加工位置へと移動させて予備ワークＡをワークテーブル２２４へ戴置させ、外側に配設された予備のワークＷ（予備ワークＢ）を挟持する治具２２６を平行移動させる。予備ワークＡの加工が終了したら、ワーク終了待機位置にある最初に加工したワークＷを挟持する治具２２６を平行移動させ、予備ワークＡを挟持する治具２２６をワーク終了待機位置へ回動させ、予備ワークＢを挟持する治具２２６をワーク待機位置からワーク交換位置へと回動させ、ワーク交換位置からワーク加工位置へと移動させて予備ワークＢをワークテーブル２２４へ戴置させる。これにより、複数枚の予備のワークをダイシング装置に配設することができる。

また、本実施の形態では、１組の治具２２６でフレームＦの両端を挟持する両持ち構造を例に説明したが、１個の治具２２６でフレームＦの片側のみを挟持する片持ち構造としてもよい。

また、本実施の携帯では、溝２３１の底面２３１ａを平坦な面とし、この平坦な面に平坦なフレームＦの直線部を当接させてフレームＦの位置決めを行ったが、位置決めは平坦な面を用いて行われる場合には限られない。例えば、フレームＦの周囲に山と谷を形成し、山の頂点を溝２３１の底面２３１ａに当接させるようにしてもよいし、溝２３１の底面２３１ａに山と谷を形成し、その山にフレームＦを当接させるようにしてもよいし、フレームＦ及び溝２３１の両方に山と谷を形成し山同士を当接させるようにしてもよい。この時には山の頂点の位置精度が保たれていればよいため、平面全体の精度を保つ場合と比較して加工の手間を省くことができる。また、フレームＦと溝２３１の底面２３１ａとの間にゴミが挟まったとしても、ゴミを谷の部分に逃がすことができるため、フレームが傾く等の不具合を防止し、位置合わせを正確に行うことができる。

また、本実施の形態は、マニュアルダイシング装置を例に説明したが、ワークの搬入及び搬出及び加工を自動で行うフルオートダイシング装置にも適用可能である。

１０…ダイシング装置、１２…本体フレーム、１４…ハウジング、１６…供給口、１６Ａ…カバー、１８…回収口、１８Ａ…カバー、２０…ワークテーブル、２１…ワーク載置面、２１Ａ…ワーク載置部、２１Ｂ…フレーム載置部、２２…ワークテーブル駆動モータ、２２Ａ…出力軸、２３…Ｘ軸テーブル、２４…ガイドレール、３０…加工部、３０Ａ…カバー、３１Ａ、３１Ｂ…スピンドルユニット、３１ａ、３１ｂ…主軸、３２Ａ、３２Ｂ…撮像ユニット、３４Ａ、３４Ｂ…ブラケット、４０…ワーク供給待機部、４２…加工前ワーク載置台、４４…治具載置面、４６…治具載置溝、４８…ワーク供給ラック、４８Ａ…フレーム保持溝、５０…ワーク回収待機部、５２…加工後ワーク載置台、５４…治具載置面、５６…治具載置溝、５８…ワーク回収ラック、５８Ａ…フレーム保持溝、６０…ワーク供給装置、６１…ワーク供給モータ、６１Ａ…出力軸、６２…ワーク供給アーム、６３…ワーク供給グリッパ、６３Ａ…把持爪、６３Ｂ…位置決め板、６３ｂ…当接面、７０…ワーク回収装置、７１…ワーク回収モータ、７２…ワーク回収アーム、７３…ワーク回収グリッパ、７３Ａ…把持爪、７８３Ｂ…位置決め板、７３ｂ…当接面、８０…ワーク洗浄装置、８２…洗浄液ノズル、９０…治具、９０Ａ…左辺部、９０Ｂ…右辺部、９０Ｃ…後辺部、１００…ワーク供給回収装置、１０２…第１フレーム、１０４…第１ヒンジ、１０６…第２フレーム、１０８…第２ヒンジ、１１０…第３フレーム、１１２…第１揺動駆動装置、１１４…第２揺動駆動装置、１１６…グリッパ、２００…ダイシング装置、２１１…操作・表示部、２１２…モニターテレビ、２１３…コントローラ、２１４…カバー、２２０…加工部、２２１…スピンドル、２２２…ブレード、２２３…撮像手段、２２４…ワークテーブル、２２５…ピン、２２６…治具、２２７…回動軸、２３０…本体部、２１３…溝、２３１ａ…溝の底面、２３１ｂ…溝の側面、２３２…弾性部材、２３３…ノズル、２３４…貯水部、２３５…メッシュフィルタ、２３６…壁、２３７…スカート、２３８…イオナイザー、Ｗ…ワーク、Ｆ…フレーム、Ｔ…ダイシングフィルム

Claims (20)

1. ワークの外形よりも大きな内径を有する環状のフレームの内部にダイシングフィルムを介してマウントされた前記ワークを切削加工するダイシング装置において、
   前記ワークが水平に載置されるワークテーブルと、
   前記ダイシングフィルムが貼着された面を前記ワークテーブル側に向け、起立させた状態で加工前の前記ワークをストックするワーク供給待機部と、
   前記ワーク供給待機部にストックされた前記ワークを前記ワークテーブルに供給するワーク供給手段と、
   前記ワークテーブルに載置された前記ワークを切削加工する切削加工手段と、
   を備えたことを特徴とするダイシング装置。
2. 前記ワーク供給手段は、前記ワーク供給待機部にストックされた前記ワークを把持し、前記ワークテーブルのワーク載置面と平行な回動軸を中心に回動することにより、前記ワークを前記ワークテーブルに向けて倒すように移動させて、前記ワークを前記ワークテーブルに載置することを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。
3. ワークの外形よりも大きな内径を有する環状のフレームの内部にダイシングフィルムを介してマウントされた前記ワークを切削加工するダイシング装置において、
   前記ワークが水平に載置されるワークテーブルと、
   加工前の前記ワークを前記ワークテーブルに供給するワーク供給手段であって、前記ダイシングフィルムが貼着された面が前記ワークテーブル側に向くように起立させた状態で前記ワークを保持して待機し、前記ワークを前記ワークテーブルに向けて倒すように移動させて、前記ワークを前記ワークテーブルに載置するワーク供給手段と、
   前記ワークテーブルに載置された前記ワークを切削加工する切削加工手段と、
   を備えたことを特徴とするダイシング装置。
4. 前記ワークがマウントされた前記フレームに着脱自在に取り付けられて、前記ワークを起立させた状態で水平な面上に載置可能なワーク保持部材を更に備え、前記ワークは、該ワーク保持部材によって前記ワーク供給待機部に起立させた状態でストックされることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイシング装置。
5. 前記ワーク保持部材は、前記フレームに取り付けられる角柱状の棒材で構成され、該棒材は、内側面に前記フレームを保持する溝が形成されるとともに、外側面に設置面が形成されることを特徴とする請求項４に記載のダイシング装置。
6. 前記フレームは、外周に直線部を有し、該直線部を前記溝の底面に当接させることにより、前記ワークが前記ワーク保持部材に位置決めされて取り付けられることを特徴とする請求項５に記載のダイシング装置。
7. 前記フレームは、外周に直線部を有し、前記ワーク供給手段は、前記ワークを起立させた状態で保持する際に、前記フレームの直線部が当接されて、前記ワークを位置決めする位置決め板を有することを特徴とする請求項３に記載のダイシング装置。
8. 前記ワークテーブルを加工位置と交換位置との間で移動させるワークテーブル移動手段を更に備え、前記切削加工手段は、前記加工位置で前記ワークテーブルに載置された前記ワークを切削加工し、前記ワーク供給手段は、前記交換位置で前記ワークを前記ワークテーブルに供給することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のダイシング装置。
9. 前記ワークテーブルに載置された前記ワークを回収するワーク回収手段であって、前記ワークテーブルに載置された前記ワークを把持し、前記ワークを徐々に傾けながら起こすように移動させて、前記ワークを前記ワークテーブルから回収するワーク回収手段を更に備えたことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載のダイシング装置。
10. 前記切削加工手段は、切削水を加工ポイントに供給しながら前記ワークを切削加工することを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載のダイシング装置。
11. ワークの外形よりも大きな内径を有する環状のフレームの内部にダイシングフィルムを介してマウントされた前記ワークをワークテーブルに載置し、切削加工手段で切削加工するダイシング方法において、
    前記ダイシングフィルムが貼着された面を前記ワークテーブル側に向けて加工前の前記ワークを起立させた状態で待機させるステップと、
    起立した状態で待機した前記ワークを前記ワークテーブルに供給するステップと、
    前記ワークテーブルに供給された前記ワークを前記切削加工手段で切削加工するステップと、
    加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収するステップと、
    を含むことを特徴とするダイシング方法。
12. 起立した状態で待機した前記ワークを前記ワークテーブルに供給するステップでは、
    起立した状態で待機した前記ワークを把持し、前記ワークテーブルのワーク載置面と平行な回動軸を中心に回動させることにより、前記ワークを前記ワークテーブルに向けて倒すように移動させて、前記ワークを前記ワークテーブルに載置することを特徴とする請求項１１に記載のダイシング方法。
13. ワークの外形よりも大きな内径を有する環状のフレームの内部にダイシングフィルムを介してマウントされた前記ワークをワークテーブルに載置し、切削加工手段で切削加工するダイシング方法において、
    前記ダイシングフィルムが貼着された面が前記ワークテーブル側に向くように起立させた状態で待機させた加工前の前記ワークを前記ワークテーブルに向けて倒すように移動させて前記ワークテーブルに供給するステップと、
    前記ワークテーブルに供給された前記ワークを前記切削加工手段で切削加工するステップと、
    加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収するステップと、
    を含むことを特徴とするダイシング方法。
14. 前記ワークがマウントされた前記フレームに着脱自在に取り付けられて、前記ワークを起立させた状態で水平な面上に載置可能なワーク保持部材を用意し、前記ダイシングフィルムが貼着された面を前記ワークテーブル側に向けて加工前の前記ワークを起立させた状態で待機させるステップでは、前記ワーク保持部材によって前記ワークを起立させた状態で待機させることを特徴とする請求項１１又は１２に記載のダイシング方法。
15. 前記ワーク保持部材は、前記フレームに取り付けられる角柱状の棒材で構成され、該棒材は、内側面に前記フレームを保持する溝が形成されるとともに、外側面に設置面が形成されることを特徴とする請求項１４に記載のダイシング方法。
16. 前記フレームの外周に直線部を形成し、該直線部を前記ワーク保持部材の溝の底面に当接させることにより、前記ワークを位置決めして前記ワーク保持部材に取り付けることを特徴とする請求項１５に記載のダイシング方法。
17. 前記ダイシングフィルムが貼着された面が前記ワークテーブル側に向くように起立させた状態で待機させた加工前の前記ワークを前記ワークテーブルに向けて倒すように移動させて前記ワークテーブルに供給するステップでは、所定のワーク供給手段によって加工前の前記ワークを前記ワークテーブルに供給し、
    前記ワーク供給手段は、前記ダイシングフィルムが貼着された面が前記ワークテーブル側に向くように起立させた状態で前記ワークを保持して待機し、前記ワークを前記ワークテーブルに向けて倒すように移動させて、前記ワークを前記ワークテーブルに載置するように構成するとともに、前記ワークを起立させた状態で保持する際に、前記フレームの直線部が当接されて、前記ワークを位置決めする位置決め板を備えるように構成し、
    前記フレームの外周に直線部を形成し、加工前の前記ワークを起立させた状態で前記ワーク供給手段に保持させる際、前記フレームの直線部を前記位置決め板に当接させて、前記ワークを位置決めすることを特徴とする請求項１３に記載のダイシング方法。
18. 前記ワークテーブルを加工位置と交換位置との間で移動可能に設け、
    前記ワークを前記ワークテーブルに供給するステップでは、前記交換位置で前記ワークを前記ワークテーブルに供給し、
    前記ワークを前記切削加工手段で切削加工するステップでは、前記加工位置で前記ワークテーブルに載置された前記ワークを切削加工することを特徴とする請求項１１から１７のいずれか１項に記載のダイシング方法。
19. 加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収するステップでは、前記ワークテーブルに載置された加工後の前記ワークを徐々に傾けながら起立させて前記ワークテーブルから回収することを特徴とする請求項１１から１８のいずれか１項に記載のダイシング方法。
20. 前記切削加工手段は、切削水を加工ポイントに供給しながら前記ワークを切削加することを特徴とする請求項１１から１９のいずれか１項に記載のダイシング方法。

Images