JP2011228726A - ダイシング装置及びダイシング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加工前のワークWがストックされるワーク供給待機部40と、加工後のワークWをストックするワーク回収待機部50とが、加工部30を挟んで設置される。加工前のワークWは、ダイシングフィルムTが貼付された面をワークテーブル側に向けて、垂直に起立した姿勢でワーク供給待機部40にストックされる。また、加工後のワークWは、ダイシングフィルムTが貼付面をワークテーブル側に向けて、垂直に起立した姿勢でワーク回収待機部50にストックされる。ワーク供給待機部40にストックされたワークWは、ワーク供給装置60によってワークテーブル20に供給される。また、加工後のワークWは、ワーク回収装置70によってワークテーブル20から回収され、ワーク回収待機部50に移載される。
【選択図】 図3
Description
[構成]
図1は、本発明に係るダイシング装置の第1の実施の形態の概略構成を示す平面図である。図2は、本発明に係るダイシング装置の第1の実施の形態の概略構成を示す正面図である。
次に、本実施の形態のダイシング装置10によるワークWの加工処理方法について説明する。
ク把持位置に移動する。これにより、図5(d)に示すように、ワーク供給グリッパ63が、ワーク供給待機部40に位置し、次に加工するワークWのストックが可能になる。
図7は、本発明に係るダイシング装置の第2の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。
図8は、本発明に係るダイシング装置の第3の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。
クWは、ワークテーブル20のワーク載置面21に対して垂直に起立した姿勢で加工前ワーク載置台42の上に載置される。また、ワークWは、ワークテーブル20の移動方向と平行な姿勢で加工前ワーク載置台42の上に載置される。
図10は、本発明に係るダイシング装置の第4の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。
図11は、本発明に係るダイシング装置の第5の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。
図12は、本発明に係るダイシング装置の第6の実施の形態の要部の構成を示す正面図である。また、図13は、本発明に係るダイシング装置の第6の実施の形態の要部の構成を示す平面図である。
図14は、本発明に係るダイシング装置の第7の実施の形態の外観の概略構成を示す正面図である。
図15は、本発明に係るダイシング装置200の第8の実施の形態の外観の概略構成を示す斜視図である。
Claims (12)
- フレームにダイシングフィルムを介してマウントされたワークを切削加工するダイシング装置において、
前記ワークが水平に載置されるワークテーブルと、
前記ダイシングフィルムが貼着された面を前記ワークテーブル側に向け、起立させた状態で加工前の前記ワークをストックするワーク供給待機部と、
前記ワーク待機供給部にストックされた前記ワークを前記ワークテーブルに供給するワーク供給手段と、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークを切削加工する切削加工手段と、
を備えたことを特徴とするダイシング装置。 - 前記ワーク供給手段は、前記ワーク供給待機部にストックされた前記ワークを把持し、前記ワークテーブルのワーク載置面と平行な回動軸を中心に回動することにより、前記ワークを前記ワークテーブルに向けて倒すように移動させて、前記ワークを前記ワークテーブルに載置することを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。
- フレームにダイシングフィルムを介してマウントされたワークを切削加工するダイシング装置において、
前記ワークが水平に載置されるワークテーブルと、
加工前の前記ワークを前記ワークテーブルに供給するワーク供給手段であって、前記ダイシングフィルムが貼着された面が前記ワークテーブル側に向くように起立させた状態で前記ワークを保持して待機し、前記ワークを前記ワークテーブルに向けて倒すように移動させて、前記ワークを前記ワークテーブルに載置するワーク供給手段と、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークを切削加工する切削加工手段と、
を備えたことを特徴とするダイシング装置。 - フレームにダイシングフィルムを介してマウントされたワークを切削加工するダイシング装置において、
前記ワークが水平に載置されるワークテーブルと、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークを切削加工する切削加工手段と、
前記ダイシングフィルムが貼着された面を前記ワークテーブル側に向け、起立させた状態で加工後の前記ワークをストックするワーク回収待機部と、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークを前記ワーク回収待機部に回収するワーク回収手段と、
を備えたことを特徴とするダイシング装置。 - 前記ワーク回収手段は、前記ワークテーブルに載置された前記ワークを把持し、前記ワークテーブルのワーク載置面と平行な回動軸を中心に回動することにより、前記ワークを前記ワーク回収待機部に向けて徐々に傾けながら起こすように移動させて前記ワークを前記ワーク回収部に回収することを特徴とする請求項4に記載のダイシング装置。
- フレームにダイシングフィルムを介してマウントされたワークを切削加工するダイシング装置において、
前記ワークが水平に載置されるワークテーブルと、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークを切削加工する切削加工手段と、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークを回収するワーク回収手段であって、前記ワークテーブルに載置された前記ワークを把持し、前記ワークを徐々に傾けながら起こすように移動させて、前記ワークを前記ワークテーブルから回収するワーク回収手段と、
を備えたことを特徴とするダイシング装置。 - フレームにダイシングフィルムを介してマウントされたワークをワークテーブルに載置し、切削加工手段で切削加工するダイシング方法において、
前記ダイシングフィルムが貼着された面を前記ワークテーブル側に向けて加工前の前記ワークを起立させた状態で待機させるステップと、
起立した状態で待機した前記ワークを前記ワークテーブルに供給するステップと、
前記ワークテーブルに供給された前記ワークを前記切削加工手段で切削加工するステップと、
を含むことを特徴とするダイシング方法。 - 起立した状態で待機した前記ワークを前記ワークテーブルに供給するステップでは、
起立した状態で待機した前記ワークを把持し、前記ワークテーブルのワーク載置面と平行な回動軸を中心に回動させることにより、前記ワークを前記ワークテーブルに向けて倒すように移動させて、前記ワークを前記ワークテーブルに載置することを特徴とする請求項7に記載のダイシング方法。 - フレームにダイシングフィルムを介してマウントされたワークをワークテーブルに載置し、切削加工手段で切削加工するダイシング方法において、
前記ダイシングフィルムが貼着された面が前記ワークテーブル側に向くように起立させた状態で待機させた加工前の前記ワークを前記ワークテーブルに向けて倒すように移動させて前記ワークテーブルに供給するステップと、
前記ワークテーブルに供給された前記ワークを前記切削加工手段で切削加工するステップと、
加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収するステップと、
を含むことを特徴とするダイシング方法。 - フレームにダイシングフィルムを介してマウントされたワークをワークテーブルに載置し、切削加工手段で切削加工するダイシング方法において、
加工前の前記ワークを前記ワークテーブルに供給するステップと、
前記ワークテーブルに供給された前記ワークを前記切削加工手段で切削加工するステップと、
加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収し、前記ダイシングフィルムが貼着された面を前記ワークテーブル側に向けて起立させた状態で待機させるステップと、
を含むことを特徴とするダイシング方法。 - 前記ワークテーブルに載置された加工後の前記ワークを把持し、前記ワークテーブルのワーク載置面と平行な回動軸を中心に回動させることにより、前記ワークを徐々に傾けながら起立させて、加工後の前記ワークを前記ワークテーブルから回収することを特徴とする請求項10に記載のダイシング方法。
- フレームにダイシングフィルムを介してマウントされたワークをワークテーブルに載置し、切削加工手段で切削加工するダイシング方法において、
前記ワークを前記ワークテーブルに供給するステップと、
前記ワークテーブルに供給された前記ワークを前記切削加工手段で切削加工するステップと、
前記ワークテーブルに載置された加工後の前記ワークを徐々に傾けながら起立させて前記ワークテーブルから回収するステップと、
を含むことを特徴とするダイシング方法。
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