JP5257890B2 - ウエハリング供給排出装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体装置又は電子部品等のデバイスが複数粘着されたウエハシートから、個片のデバイスを切り出し、テストハンドラやピッカーにおいて特性測定及び外観検査等の各種処理を行うために、ウエハシートを保持したウエハリングの供給排出装置に関する。

ダイシング、マウンティング、ボンディング、シーリングの各組立工程を経た半導体装置や電子部品等のデバイスは、テストハンドラと呼ばれる複合テスト装置に供給される。そして、テストハンドラに設けられた保持機構によって保持され、テストハンドラ内を搬送されながら、デバイスの電気特性測定、分類、マーキング、外観検査、梱包（テープ梱包）等の各工程処理が施される。

デバイスの組立工程からテストハンドラへの供給方法には、ウエハリング上の粘着シート（ＵＶシートなど）に貼り付けられダイシングで個片化されたデバイスを供給する方法や、個片のデバイスをリードフレームに搭載しリードフレーム供給ユニットによって供給する方法又は振動式パーツフィーダによって一定の方向及び姿勢に整列して供給する方法等がある。このうち、特に、ベアチップやＷＬＣＳＰ（ウエハレベルチップスケールパッケージ）など小型、薄型のデバイスでは、ウエハリングからのダイシングによる供給が主となる。

従来より、このようなピックアップヘッドとテストハンドラとを用いて、リング上のウエハシートに粘着されたリードレス半導体デバイスを剥がし、これを直接テストハンドラに受け渡す、いわゆるダイレクトピックアップ機構を備えたウエハリング供給排出装置が知られていた。

例えば、図１３に示すように、ウエハリングとテストハンドラのターンテーブルとを重なる位置に設け、ウエハリングをリング移動機構３によりＸ軸及びＹ軸方向に適宜移動させ、ウエハリングから半導体デバイスを個別にピックアップすることによって、ターンテーブルに設けた吸着保持手段に対して受け渡しを行う装置である。

また、特許文献１には、このような従来のウエハリング供給排出装置として、ピックアップした半導体デバイスを連続的に配置された複数のターンテーブル間をチャックにより受け取り受け渡しを行うことにより、順に移動させ、特性測定等の処理を行う装置が提案されている（特許文献１参照）。
特開２００２−２４６４４８公報

ところで、上記従来の技術において、ウエハリングからターンテーブルにデバイスを直接受け渡すためには、ウエハリングを、ターンテーブル下部まで入り込ませなければならないが、図１３（ｂ）に示すように、ターンテーブル下部には支軸とモータが設けられているため、リングが入り込むスペースには限界があった。特に近年、切り出せるチップの数や生産コストの低減を図るため、ウエハシートが従来の８インチから１２インチと大型化しており、ターンテーブルにおいて受け取るためのスペースの問題はより一層顕在化している。

これに対する解決策として、例えば特許文献１のように、必要な作業ユニットを配置するべく、複数のテーブルを配置する構成が考えられる。しかし、複数のテーブルを用いると装置全体の構成が複雑化し、テーブル間での製品の受け渡し回数も増えるから、その分、トラブルが発生する可能性も高く、また、コストも高くなっていた。また、テーブルが複数ある分、テーブルに装着される半導体デバイスを保持するための部品が多く、半導体デバイスの品種を切り替える際に、多数の部品の交換が必要になるという問題があった。

また、支軸及びモータ等に干渉せずにリングをターンテーブル側に入り込ませるため、図１４（ａ）に示すように、リングをターンテーブル下部の駆動機構よりもさらに下に配置することで対応することも考えられるが、この態様では、装置の配置における省スペース化を図るのは難しい。反対に、図１４（ｂ）に示すように、モータ等の駆動機構をターンテーブルの上部に配置し、ターンテーブル下側に十分なスペースを確保する方策も考えられるが、このような構成ではターンテーブルの駆動機構の重量が大きいばかりでなく、ターンテーブル及びターンテーブルに設けられた半導体デバイスの保持手段等のリング搬送機構の重量をも上部より支える構成とする必要があるため、装置構成上の課題があった。

さらに、他の解決策としてリングを２分割して、半分をピックアップしたあとリングを１８０度回転させ、残りの半分の製品をピックアップする方法もある。この方法ではテーブル下にリングが入り込むスペースは半分になるので上記のような問題は半減されるが、リングに回転機構が必要となることに加え、ピックアップ後の製品方向が１８０度逆になるので、製品の方向をそろえる回転機構も必要になる。結果として複雑で高コストの装置構成になってしまっていた。またリングが回転する時間は処理が進まず、生産性の低下も課題となっていた。

また、上記のウエハリングを保持して移動させる装置において、ウエハリングの交換は人間による手作業か、あるいはウエハリングのマガジンからの自動交換によりなされていたが、自動交換の場合であっても、その手順は、処理の終えたウエハリングをまずウエハリングに戻し、その後、あらためて未処理のウエハリングを同一のマガジンから取り出す、というものであった。すなわち、処理後のウエハリングの排出をしながら、そのまま未処理のウエハリングの供給するというような作業を同時に行うことはできず、処理時間の短縮の障害となっていた。仮に、ウエハリングを保持して移動させる機構の左右にそれぞれマガジンを設け、供給側と排出側を分けたとすると、上記の通り、従来からの横方向のスペースという課題を助長させるものであり、上記課題と相反するものであった。

本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、装置構成を簡潔にしつつ、省スペース化と制御機構の簡易化並びに装置処理の高速化を図ることのできるウエハリング供給排出装置を提供することにある。

上記の目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、半導体装置又は電子部品等のデバイスが粘着されたウエハシートを備えたウエハリングを複数枚収納する供給マガジンと、ウエハリングを交換可能に支持し、ウエハリングを所定の方向に移動させながら、吸着ノズル等の保持手段によりデバイスを保持したままデバイスに電気特性検査等の各種の工程処理を施す工程処理ユニットに対して、前記ウエハシートに粘着されたデバイスを個片にして受け渡す処理を行うリング移動機構と、前記供給マガジンからウエハリングを受取り、前記リング移動機構へ搬送するリング搬送機構と、前記リング移動機構において処理の終わったウエハリングを前記供給側とは対向する側で受取り、所定の排出位置で排出するリング排出機構と、を備え、前記供給マガジンは、複数枚のウエハリングを水平方向に保持するように設けられ、前記リング移動機構は、前記ウエハリングの面を垂直方向に保持するように設けられ、リング搬送機構は、前記供給マガジンから前記ウエハリングを受け取ると、直角に向きを変えて前記リング移動機構の上方から前記リング移動機構に前記ウエハリングを受け渡し、前記リング搬送機構は、前記供給マガジンから供給される前記ウエハリングを複数のローラにより両面を挟持して搬送するものであり、前記ウエハリングを前記複数のローラにより両面から挟持したまま、垂直方向に回転し、前記リング移動機構に対して、前記ローラにより挟持しながら重力落下方向に送ることを特徴とする。

以上の態様では、リング移動機構が、保持するウエハリングの面を垂直方向に配置され、供給マガジンから供給されるウエハリングが、処理を終えると、リング移動機構の供給された側と対向する側から、リング排出機構に受け渡される。このような構成により、ウエハリングの受渡し側と排出側とを同一の方向とせず、分けて配置できるとともに、リング移動機構がウエハリングが垂直に配置されていることから、供給リング及び排出位置を、装置の縦方向に拡げることにより、構成可能である。これにより、リング移動機構で処理の終わったウエハリングをリング排出機構で受け取ると同時に、リング搬送機構から、次のウエハリングがリング移動機構に供給されることとなるので、処理後のウエハリングの排出をしながら、そのまま未処理のウエハリングの供給するというような作業の両立が可能で、従来に比較して、著しい処理時間の短縮を図ることが可能となる。

また、供給マガジンをリング移動機構の上下方向に配置する構成であれば、例えば、供給マガジンをウエハリングの保持面を垂直方向にして、配置することも可能であるが、従来から用いているウエハリングのマガジンは、リングを取り出しやすく、また収納しやすくするため、リング収納位置のレールは、比較的厚さ方向に十分な幅をもたせて設けられている。このようなマガジンを、供給マガジンとして、垂直方向に配置した場合、ウエハリングは、自重により落下方向に働くため、その落下を防止するような機構を別途設ける必要が生じる。そこで、本発明では、供給マガジンのウエハリングの面を水平方向に配置する構成を採用し、よりスムースなウエハリングの供給排出を実現することを可能とした。

また、リング移動機構が回転処理機構に対して垂直方向に配置されているため、従来のようにリングが回転処理機構の下部に入り込む必要がない。したがって、従来のように回転処理機構を複数配設したり、ウエハリングを分割的に捉えて反転させながら分離するような必要がない。この結果として、回転時間が不要となり稼働率の向上を図ることができるとともに、回転処理機構のモータ径やテーブル径の設計の自由度が増す。

リング移動機構が回転処理機構下に入り込まないことは、一つの回転処理機構の周辺に複数の工程処理ユニットを設置することを可能としている。その結果、工程処理ユニットに対してデバイスを搬送するテーブルを１個で構成でき、製造装置全体としての小型化も可能となる。
このことは、(1) 複数テーブル間の製品受け渡しに伴う搬送トラブルを防止することを可能とし、また、(2) シンプルな装置構成のため、部品点数が減り、装置自体のコストを抑えることを可能とする。さらに、(3) 装置を構成する部品が少ないため、デバイスの品種（大きさや厚さなど）が変わった場合に、交換が必要な部品も少なくすることができる。
また、リング搬送機構が、供給マガジンから供給されるウエハリングを複数のローラにより両面を挟持して搬送することにより、リング搬送機構によるウエハリングの搬送を確実に行うことができるとともに、リング搬送機構が、リング移動機構への受渡しに当たって、水平方向から垂直方向に回転した場合であって、ウエハリングの自重がリング搬送機構に掛かっても、ウエハリングを落下させることなく、複数のローラにより挟持したままリング移動機構へ受け渡すことが可能となる。さらに、リング搬送機構が、ウエハリングを複数のローラにより両面から挟持したまま、垂直方向に回転し、リング移動機構に対して、ローラにより挟持しながら重力落下方向に送ることにより、ウエハリングの自重がリング搬送機構に掛かっても、ウエハリングを落下させることなく、複数のローラにより挟持したままリング移動機構へ受け渡すことが可能となる。

請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記供給マガジンを昇降させる昇降手段を備え、前記供給マガジンは、前記昇降手段により、前記供給マガジンが昇降することにより、前記リング搬送機構のウエハリング搬送面と、前記供給マガジンに収納されたウエハリングの面とを一致させ、このウエハリングを前記搬送手段に受け渡すことを特徴とする。

以上のような態様では、供給マガジンが昇降手段を備え、この昇降手段が、リング搬送機構のウエハリング搬送面と、供給マガジンに収納されたウエハリングの面とを一致させることにより、リング搬送機構に対するウエハリングの供給を、マガジンに収納されたウエハリングごとに行うことができる。また、リング移動機構におけるウエハリングの保持面を垂直方向としたことで、装置の垂直方向の高さが増すため、作業者が供給マガジンをリング搬送機構のウエハリング供給位置に直接設置できないような場合であっても、この昇降手段の存在により、作業者の手の届く位置まで供給マガジンを下降させることも可能であるので、利便性が高い。

請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、前記リング搬送機構のウエハリング搬送面と同一の面上に、前記供給マガジンに収納されたウエハリングの面が一致した場合に、前記供給マガジン内に収納されたウエハリングを、前記リング搬送機構側に押出すリング押出し部材が設けられたことを特徴とする。

以上のような態様では、リング押出し部材によって、リング搬送機構のウエハリング搬送面と同一の面上に、前記供給マガジンに収納されたウエハリングの面が一致した場合に、供給マガジン内に収納されたウエハリングを、リング搬送機構側に押出すことにより、供給マガジンからリング搬送機構へのウエハリングの受渡しをよりスムースに行うことができるようになる。

請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の発明において、前記リング搬送機構は、ウエハリングの端部が前記供給マガジンから排出される位置まで前記ウエハリングを移動させるものであることを特徴とする。

以上のような態様では、リング搬送機構が、ウエハリングの端部が前記供給マガジンから排出される位置までウエハリングを移動させることにより、リング搬送機構によるウエハリングの搬送を確実に行うことができる。

請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の発明において、前記リング搬送機構は、前記ウエハリングを前記供給マガジンから排出した後、前記リング搬送機構内に停止させ、前記ウエハリングの種別を判別する種別判別手段を備えたことを特徴とする。

以上のような態様では、従来は、供給マガジンと排出マガジンとを一つのマガジンで行っていたこともあり、時間の制約の観点から、マガジンから供給されたウエハリングは、そのまますぐにリング移動機構へと搬送されていくように構成されていた。したがって、ウエハシート上のデバイスの品種情報については、その搬送過程において、動いた状態のウエハリングから品種情報等を含むバーコード等を読み出す必要があり、これでは正確な読み込みができない場合があった。これに対して、本発明では、例えば、リング移動機構において、ウエハシート上のデバイスをピックアップしている最中であっても、供給マガジンからリング搬送機構がウエハリングの搬送を受け付けることによって、一つ前のウエハリングの処理が完了するまで、リング搬送機構上で待機させることが可能となる。これにより、従来のようにウエハリングを搬送しながらリングからバーコード等の品種識別情報を読み出す必要はなく、待機させた状態で、読むことができるので、種別判別手段による正確な読み込みが可能となる。

請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の発明において、前記リング移動機構は、上端にウエハリングの挿入孔を備え、中央にウエハシート大に開口を備え、ウエハリングを袋状に両側をガイドしながら下端を保持するリングホルダを備えたことを特徴とする。

以上のような態様では、リング搬送機構からリング移動機構へのウエハリングの受渡しは、ともにウエハリング面を垂直にして、重力方向に向けて行うが、リング移動機構が、上端にウエハリングの挿入孔を備え、中央にウエハシート大に開口を備え、ウエハリングを袋状に両側をガイドしながら下端を保持するリングホルダを備えることにより、このような重力方向に向かうウエハリングを確実に保持することができる。

請求項７の発明は、請求項１〜６のいずれか１項に記載の発明において、下端に切欠を備えたリングを用いるウエハリング供給排出装置であって、前記リング移動機構は、リングを保持するリングホルダを備え、前記リングホルダに保持されたリングの切欠に位置決めピンを挿入して、リングホルダ内におけるリングの位置決めを行う位置決め部材を備えたことを特徴とする。
以上のような態様では、簡単な構成により、リングのリングホルダに対するＸ軸方向及びＺ軸方向の位置決めが可能となる。

請求項８の発明は、請求項１〜７のいずれか１項に記載の発明において、前記リングとウエハシートとの境界位置において、このウエハシートに対して垂直方向に、円環状に押圧することでウエハシートに張力を与えるエキスパンド機構を備え、前記エキスパンド機構は、シリンダ駆動により移動することを特徴とする。

以上のような態様では、分離機構において、ウエハシートからデバイスがより剥がれやすくなり、ピックアップ機構におけるピックアップが容易に行えるようになる。特に、エキスパンド機構の駆動に、シリンダを用いることにより、例えば、モータ及びベルトを用いて駆動する場合に比べて、簡易な構成とすることが可能である。

請求項９の発明は、請求項１〜８のいずれか１項に記載の発明において、前記リングホルダに保持されたリングのウエハシート上に粘着されたデバイスのθ方向の位置ずれを、前記リングホルダを回転させることにより、修正するガイドリングを備え、このガイドリングは、円盤状であり、その外周面を少なくとも３点以上支持する支持部材を備え、前記支持部材は、台座とこの台座に回転可能に設けられたベアリングとからなり、前記ベアリングの面が、前記ガイドリングの外周面に当接することで、前記ガイドリングを回動可能に支持するものであることを特徴とする。

以上のような態様では、ガイドリングの外周に沿って、３つ以上の支持部材を配置し、この支持部材を、台座と台座に対して軸部分において回動可能に固定されたベアリングとにより構成し、この台座及びベアリングにより、ガイドリングを回動可能に支持することとしたことで、ガイドリングの外周に相当するサイズのベアリングを用いることなく、汎用品のベアリングを用いることができるので、コスト面や製造効率が高い。

請求項１０の発明は、請求項１〜９のいずれか１項に記載の発明において、前記リング移動機構は、処理の終わったウエハリングを自重落下により排出する機構を備え、前記リング排出機構は、前記リング移動機構より下方に設けられ、前記リング移動機構より自重落下するウエハリングを受取り、排出するものであることを特徴とする。

以上のような態様では、リング移動機構が、処理の終わったウエハリングを自重落下により排出するものであり、リング排出機構がこれをリング移動機構の下方で受け取ることにより、重力を利用した受渡しが可能となるので、装置構成を簡略化することができる。また、供給マガジン並びにリング搬送機構と、リング排出機構とが干渉せず、供給マガジンからリング搬送機構、リング移動機構、リング排出機構への流れを一連にして行うことができるので、処理効率が高い。

請求項１１の発明は、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の発明において、前記リング排出機構は、ウエハリングを袋状に収納するリング収納部と、この収納部を前記リング移動機構からのウエハリング受取り位置とウエハリングの排出位置との間を移動させる移動手段と、前記排出位置において、前記リング収納部内のウエハリングを排出する排出手段と、を備えたことを特徴とする。

以上のような態様では、リング排出機構が、ウエハリングを袋状に収納するリング収納部を備えることにより、リング移動機構からリング排出機構へ向けて、重力方向に向かうウエハリングを確実に保持することが可能である。また、この収納部を前記リング移動機構からのウエハリング受取り位置とウエハリングの排出位置との間を移動させる移動手段を備え、この移動手段が、リング移動機構に近づいて、ウエハリングを受け取るので、仮に重力方向にウエハリングを向かわせたとしても、ウエハリングの破損等を防止することが可能である。

請求項１２の発明は、請求項１１の発明において、前記リング排出機構によるウエハリングの排出位置には、ウエハリングを収納する収納位置を複数備え、処理後のウエハリングを複数枚収納する収納マガジンを備え、前記排出手段は、前記移動手段により移動し、前記収納マガジンの空の収納位置に対して、前記リング収納部内のウエハリングを排出することを特徴とする。

以上のような態様では、リング排出機構が、ウエハリングを、直接収納マガジンの空の収納位置に対して、リング収納部内のウエハリングを排出することにより、処理後のウエハリングを自動で集めることができるので、作業効率が高い。特に、供給側のマガジンと、排出側のマガジンを分け、装置におけるウエハリングの流れを一方通行による一連処理とすることで、著しく処理速度を上げることが可能となる。

請求項１３の発明は、請求項１２の発明において、前記収納マガジンは、複数枚のウエハリングを水平方向に保持するように設けられ、前記リング排出機構は、前記リング収納部のウエハリングを収納又は排出する挿入口を、垂直方向及び水平方向に向ける回動手段を備え、この回動手段は、前記リング移動機構からウエハリングを受け取る場合には、前記挿入口を垂直方向に向け、前記収納マガジンにウエハリングを受け渡す場合には、前記挿入口を水平方向に向けるように構成されたことを。

以上のような態様では、マガジンに収納された状態で、ウエハリングの面を水平にした場合には、重力によりレールの下側に接して、いずれのリングも水平に収納された状態となるが、ウエハリングの面を垂直にした場合には、レールも垂直方向になり、このレール間の幅があるため、収納されたウエハリングは、垂直とはならず、隣のレールの方向に傾いた状態となる。このような場合、既に収納されているウエハリングが、これから収納しようとしているウエハリングの挿入を妨げる場合があり、適切でない。そこで、本発明では、排出マガジンのウエハリングの面を水平方向に配置する構成を採用し、よりスムースなウエハリングの供給排出を実現することを可能とした。

請求項１４の発明は、請求項２の発明において、前記供給マガジンと、ウエハリングを収納する収納位置を複数備え、処理後のウエハリングを複数枚収納する収納マガジンを備え、前記供給マガジンと、前記収納マガジンとは、一つの供給収納マガジンとして構成され、前記昇降手段は、前記供給収納マガジンを、前記前記リング搬送機構に対してウエハリングを供給するウエハリングの供給位置と、前記リング排出機構によるウエハリングの排出位置との間で昇降させることを特徴とする。

以上のような態様では、ウエハリングの供給から収納まで、一つの供給収納マガジンにより、自動で行なうことができ、作業者は、２つのマガジンを装置に設置するような必要がなく、利便性が高い。また、一枚のウエハリングからのデバイスのピックアップには、数十分の時間を要するので、供給収納マガジンを、エレベータプレートにより上限位置と下限位置へ移動させ、ウエハリングの供給及び収納の処理を行なう時間的余裕は十分に確保され得る。

本発明によれば、装置構成を簡潔にしつつ、省スペース化と制御機構の簡易化並びに装置処理の高速化を図ることのできるウエハリング供給排出装置を提供することができる。

次に、本発明を実施するための最良の形態（以下、本実施形態という。）について、図１乃至図７を参照して説明する。

［１．本実施形態の構成］
［１−１．概略的構成］
本発明の第１の実施形態におけるウエハリング供給排出装置１は、図１に示すように、ダイシングされた複数のデバイスＳが粘着されたウエハシートＷを保持したウエハリングＲを複数枚収納する供給マガジン２と、ウエハリングＲを交換可能に支持し、ウエハリングＲを所定の方向に移動させながら、吸着ノズル等の保持手段によりデバイスを保持したままデバイスに電気特性検査等の各種の工程処理を施す工程処理ユニットに対して、前記ウエハシートＷに粘着されたデバイスＳを個片にして受け渡すリング移動機構３と、を備える。

また、ウエハリング供給排出装置１の、供給マガジン２とリング移動機構３との間には、この供給マガジン２からウエハリングＲを受取り、リング移動機構３へ搬送するリング搬送機構４が設けられている。

ウエハリング供給排出装置１は、リング移動機構３において処理の終わったウエハリングＲを受取り、所定の排出位置で排出するリング排出機構５を備える。また、処理後のウエハリングＲを収納する収納マガジン６を備え、リング排出機構５は、この収納マガジン６に処理後のウエハリングＲを順次投入し、排出するものである。

さらに、このリング移動機構３の移動によって所定の取り上げ位置に移動されたウエハシートＷから個別にデバイスＳを分離する分離機構７を備え、この分離機構７により分離されたデバイスＳは、ピックアップ機構８の作用により、テストハンドラＨの円周等配位置に備えた吸着ノズルＶによりピックアップ機構８からデバイスＳを受け取り保持したまま回転して各種の工程処理を施す。

ここで、図１に示すように、本実施形態のウエハリング供給排出装置１は、リング移動機構３において、ウエハリングＲを垂直方向に保持するとともに、このリング移動機構３に対して、ウエハリングの供給と排出を、一つのマガジンで行わず、供給側と排出側とを分けて構成した点に特徴を有する。

すなわち、水平方向に配置された供給マガジン２に複数収納されたウエハリングＲから、リングを一枚ずつリング搬送機構４に受渡し、このリング搬送機構４がリングを９０°回転させ、垂直方向にした後、垂直方向に配置されたリング移動機構３に受け渡す。リング移動機構３においては、ウエハシートＷに粘着された複数のデバイスＳを個片に分離して一つずつ、ピックアップ機構８に受渡す。

リング排出機構５は、ウエハシートＷ上のデバイスＳをすべてピックアップを終えたウエハリングＲを、リング移動機構３から、このリング移動機構３の下方において、ウエハリングＲの自重を利用して、垂直方向のまま受取り、９０°回転して、ウエハリングＲを水平方向に向きを変えて、ウエハリングの面を水平方向にして収納する収納マガジンに収納するようになっている。

このような本実施形態は、リング移動機構３のウエハリングＲの保持面を垂直に配置したことで実現するものである。すなわち、リング移動機構３のウエハリングＲの保持面を、従来のように水平に配置した場合において、ウエハリングＲの供給側と排出側を別途設けた場合には、最も一般的には、図１５（ａ）に示すように、マガジンをリング移動機構３の左右方向に並べて配置することとなるが、このような場合には、幅方向のスペースを必要以上に利用することとなり、省スペース化に反する。また、図１５（ｂ）に示すように、リング移動機構３の一方に供給及び排出のマガジンをまとめて配置した場合でも、今度はこれら２つのマガジンに対して順次リングを搬送するリング搬送機構が必要となり、また、同一方向にある場合には、供給と排出を同時に行うことはできない。

これに対して、本実施形態では、リング移動機構３のウエハリングＲの保持面を垂直配置とし、さらに、そのリング移動機構３の上下方向に、供給マガジンと排出マガジンとを配置することで、縦方向の余ったスペースを利用しつつ、幅方向スペースは、リング移動機構３の占めるスペース程度に留めることが可能となったものである。

なお、本実施形態においては、供給マガジンと、排出マガジンとを、水平方向にウエハリングＲの保持面を保持するように配置しているが、本発明は、このような態様だけでなく、供給マガジンと排出マガジンとをリング移動機構３の上下方向に配置する構成であれば、例えば、供給マガジンと排出マガジンのウエハリングＲの保持面を垂直方向にして、配置することも可能である。

しかしながら、後述のように、従来から用いているウエハリングのマガジンは、リングを取り出しやすく、また収納しやすくするため、リング収納位置のレールは、比較的厚さ方向に十分な幅をもたせて設けられている。このようなマガジンを、供給マガジンとして、垂直方向に配置した場合、ウエハリングは、自重により落下方向に働くため、その落下を防止するような機構を別途設ける必要が生じる。

また、反対に、このようなマガジンを排出マガジンとして垂直配置した場合であっても、上記の通り、従来のマガジンは、厚さ方向に十分な幅を設けているため、マガジンに収納された状態で、ウエハリングの面を水平にした場合には、図１５（ｃ）に示すように、重力によりレールの下側に接して、いずれのリングも水平に収納された状態となるが、ウエハリングの面を垂直にした場合には、レールも垂直方向になり、このレール間の幅があるため、収納されたウエハリングは、垂直とはならず、隣のレールの方向に傾いた状態となる。このような場合、既に収納されているウエハリングが、これから収納しようとしているウエハリングの挿入を妨げる場合があり、適切でない。

このように、本発明においては、供給マガジン及び排出マガジンを、ウエハリングの面を水平方向のみならず、垂直方向に配置する態様も含むものであるが、上記のような不都合あるいは他の装置構成を設ける必要性があることから、最適な実施態様とはいえないものであって、本実施形態において示すように、供給マガジン及び排出マガジンのウエハリングの面を水平方向に配置する構成を採用したものである。なお、排出マガジンについては、必ずしもウエハリングの面を水平にせずとも、ある程度の傾きをもたせることにより、上記のような弊害は生じない。

［１−２．供給マガジン及び昇降機構の構成］
供給マガジン２におけるウエハリングＲの供給手段の詳細について説明する。本実施形態において、ウエハリングＲの供給手段は、リング移動機構３の背面側であって、リング移動機構３のウエハリング面が対面するテストハンドラＨと反対側に、リング移動機構３と近接して配置される。その構成要素は、供給マガジン２と、この供給マガジン２を昇降させるエレベータ機構２１と、供給マガジン２に収納されたウエハリングＲをリング搬送機構４へ向けて押出す、リング切出しプッシャー２２とからなる。

供給マガジン２は、図２に示すとおりであり、従来同様のウエハリングマガジンであって、左右の幅方向に、複数のリングの挿入位置を規制するガイド２ａ，２ｂを複数段に設けてなる。このガイド２ａ，２ｂは、ウエハリングＲのリング部分ｒ（図２参照）に当接して、これを支持する。収納するウエハリングを保持するのは、この左右のガイド２ａ，２ｂであって、正面及び背面側は、ガイドが連通しているが、搬送中等にリングが脱落しないように、背面側には、ガイド２ａ，２ｂのレール上にストッパ部材２ｃが設けられ、正面側は、折畳み係止部２ｄが設けられている。また、上面側には、持ち運びを行うための取っ手２ｅが設けられている。

一方、供給マガジン２を昇降させるエレベータ機構２１は、供給マガジン２を載置して位置決めするとともに、昇降対象となるエレベータプレート２１ａと、当該エレベータプレート２１ａを垂直方向に昇降させるボールネジ２１ｂと、昇降をガイドするガイドレール２１ｃと、当該ボールネジ２１ｂを駆動するモータ（図示せず）とからなる。

エレベータプレート２１ａは、８インチのウエハシートから１２インチのウエハシートの場合における供給マガジン２を載置可能な十分な面積を備え、図２に示すように、用いるウエハシートのサイズ及びそれに伴って変わるマガジンのサイズに合わせて、位置決め部材２１ｄを備える。

ここで、このエレベータプレート２１ａは、上記のボールネジ２１ｂのモータ駆動による回転に伴って、２つのガイドレール２１ｃにガイドされながら、昇降するが、この昇降する下限と上限については、次のようなことを基準に設定される。

すなわち、エレベータプレート２１ａの昇降の上限位置は、供給マガジン２の最下部に収納されるウエハリングが後述するリング搬送機構４の供給口と一致する高さまでであり、下限位置は、反対に供給マガジン２の最上部に収納されるウエハリングが後述するリング搬送機構４の供給口と一致する高さから、作業者が供給マガジン２を、上記の取っ手２ｅを把持して、搬送できる位置までである。本実施形態では、下限位置の最大高さである供給マガジン２の最上部に収納されるウエハリングが後述するリング搬送機構４の供給口と一致する高さではなく、作業者が、この昇降手段から供給マガジン２を載置可能で、かつ取り外し可能な位置を任意に下限位置と設定可能である。

リング切出しプッシャー２２は、後述するリング搬送機構４へのウエハリングＲの供給側と反対側であって、リング搬送機構４のウエハリング搬送面と同一の面上に設けられている。

このリング切出しプッシャー２２は、供給マガジン２のいずれの収納位置にウエハリングが収納されているかをセンサにより検出するリング検出部２２ａと、供給マガジン２に収納されたウエハリングを、リング搬送機構４へ押出して排出する押出し部材２２ｂとを備える。すなわち、エレベータプレート２１ａに載置された供給マガジン２がボールネジ２１ｂ及びモータの駆動により昇降するが、リング検出部２２ａは、その昇降駆動と連動し、供給マガジン２内に収納されたウエハリングが、リング検出部２２ａと同一平面上に位置した場合に制御装置にその旨を伝える信号を送信し、制御装置がこれに基づいて、昇降手段のモータに停止を通知するものである。

また、後述するリング搬送機構４において、ウエハリングの搬送が可能となった場合には、押出し部材２２ｂが、供給マガジン２に収納されたウエハリングＲの上側端部を押圧してリング搬送機構４側に、当該ウエハリングＲを移動させるものである。

［１−３．リング搬送機構の構成］
次のリング搬送機構４の構成について図１及び図４を用いて説明する。上述のとおり、リング搬送機構４は、供給マガジン２から受け渡された一枚のウエハリングを受け取り、供給マガジン２のガイドからウエハリングが完全に離れる位置まで水平方向に移動させ、その後、リング搬送機構４が９０°回転することにより、面を水平方向に向けていたウエハリングを９０°回転させ、垂直方向にした後、垂直方向に配置されたリング移動機構３に受け渡すものである。

より具体的には、図４に示すように、リング搬送機構４は、ウエハリングＲのウエハシートＷ以外のリング部分ｒ（図２参照）を左右幅方向において挟持する搬送レールを、上側レール４ａ及び下側レール４ｂとして左右一対備える。上側レール４ａ及び下側レール４ｂは、ウエハリングの搬送方向に向かって回転するローラ４ｃ，４ｄを複数備える。ローラ４ｃ，４ｄには、ベルト４ｅ，４ｆが覆帯（カタピラ又はクローラ）状に配したものである。上側レール４ａのローラ４ｃは、特に駆動力を付与されることのない、送りローラにより構成されるが、下側レール４ｂのローラ４ｄは、下端部に設けられたローラ４ｄ´がモータＭの駆動力を与えられる。このローラ４ｄ´からの回転力により、下側レール４ｂのベルト４ｆが送られる。また、ウエハリングＲは、リング部分ｒをこのベルト４ｅ及び４ｆの間で挟持され、ベルト４ｆの移動にともなって、挟持されたまま搬送方向へ進むようになっている。

リング搬送機構４は、また、上述のとおりリング移動機構３側において、図４中Ｏを軸として、９０°回動するように構成される。このとき、９０°回動して挟持したウエハリングの面を垂直方向に向けた場合に、リング搬送機構４のウエハリングの搬送排出端部Ｅが、後述するリング移動機構３のリングホルダ３１におけるリング挿入部３１１の挿入端と近接するように配置されるとともに、リングホルダ３１におけるウエハリング保持面と、リング搬送機構４において挟持されたウエハリングの面が、同一平面上になるように構成されている。

リング搬送機構４は、機構上部に、ウエハリング品種をセンサやバーコードによって判別する検出部４１を備える。一般的にウエハリングには、ウエハシート部分又はリング部分に、シートに粘着されたデバイスＳの種類を表すバーコードが貼り付けられている。そこで、リング搬送機構４においては、検出部４１を設けることにより、リング搬送機構４において、挟持されたウエハリングの品種情報を読み取り、制御装置に送る。制御装置は、当該データを、後述するリング移動機構３におけるピックアップ作業での位置決め情報として用いることができる。

なお、本実施形態におけるリング搬送機構４上の検出部４１は、それ自体は従来から用いられているものであるが、本実施形態の装置構成においては次のような顕著な効果を奏する。すなわち、上述のとおり、従来は、供給マガジンと排出マガジンとを一つのマガジンで行っていたこともあり、時間の制約の観点から、マガジンから供給されたウエハリングは、そのまますぐにリング移動機構３へと搬送されていくように構成されていた。したがって、ウエハシート上のデバイスの品種情報については、その搬送過程において、動いた状態のウエハリングからバーコードを読み出す必要があり、これでは正確な読み込みができない場合があった。

これに対して、本実施形態では、後述するリング移動機構３において、ウエハシート上のデバイスをピックアップしている最中であっても、供給マガジン２からリング搬送機構４がウエハリングＲの搬送を受け付けることによって、一つ前のウエハリングの処理が完了するまで、リング搬送機構４上で待機させることが可能となる。これにより、従来のように検出部４１において、ウエハリングを搬送しながらウエハリングからバーコードを読み出す必要はなく、待機させた状態で、読むことができるので、正確な読み込みが可能となる。

［１−４．リング移動機構の構成］
上述の通り、リング移動機構は、リング搬送機構４からウエハリングを受け取り、このウエハリングを保持しながら所定の方向に移動させ、吸着ノズル等の保持手段によりデバイスを保持したままデバイスに電気特性検査等の各種の工程処理を施す工程処理ユニットに対して、前記ウエハシートＷに粘着されたデバイスＳを個片にして受け渡すものである。

このリング移動機構３は、本実施形態においては保持するウエハリングの面を垂直方向に配置されている点に特徴を有する。図５を用いて、リング移動機構３の装置構成について説明する。図５はリング移動機構３をテストハンドラＨ側である正面から見た様子を示す概略正面図であり、リング搬送機構４から受け取ったウエハリングをリングホルダ３１に搬送し、このリングホルダ３１において位置決め保持するようになっている。また、リング移動機構３によって保持されたリングホルダ３１を図中点線で示す位置までＹ軸及びＺ軸方向に対してそれぞれ移動させるようになっている。

［１−４−１．リングホルダの構成］
リングホルダ３１の詳細な構成を説明する。ここで、リングホルダ３１においては、後述のピックアップ機構により、ウエハシートＷから個片のデバイスＳを分離して、ピックアップするため、このピックアップを正確に行うために、リングＲのリングホルダ３１におけるＸ軸（水平）方向、Ｚ軸（垂直）方向並びにθ方向の正確な位置決めが必要となる。そこで、以下、リングＲのリングホルダ３１における正確な保持、位置決めのための構成について説明する。

（１）基本構成
ここで、ウエハリングＲは、一般的に、ウエハシートの周囲を保持するため、中央に略円形の開口部を備えたドーナツ型の薄板のリング部分ｒを備え、後述のリング挿入部の構成に対応して、リングの下方左右に、位置決め用の切欠部Ｒ１，Ｒ２を２つ有する（図２（ａ）参照）。

リングホルダ３１は、図６（ａ）に示すように、大別して、リング挿入部３１１と、リングホルダ３１に保持されたウエハリングＲにおけるウエハシートＷ上のデバイスのθ方向の位置決めを行うガイドリング３１２とを備える。リングホルダ３１は、図６に示すように、また、このリング挿入部３１１とガイドリング３１２との間に設けられ、ウエハリングＲのウエハシートＷとの境界位置にこのウエハシートＷと同大の筒状体からなり、前記境界位置近傍においてウエハシートを円環状に押圧することでウエハシートに張力を与えるエキスパンド機構３１３を備える。

リング挿入部３１１、ガイドリング３１２及びエキスパンド機構３１３とは、それぞれ連結されており、リング挿入部３１１とエキスパンド機構３１３とは、ガイドリング３１２を介してリング移動機構３に固定されている。したがって、後述するようにガイドリング３１２は、ウエハシート上のデバイスのθ方向補正を行うものであるので、回転可能に構成されるものであるが、リング挿入部３１１とエキスパンド機構３１３とは、このガイドリング３１２の回転とともに回転するものである。

リングホルダ３１は、さらに、このガイドリング３１２を回動可能に支持する支持体３１４が設けられ、この支持体３１４がリング移動機構のレール上を移動するものである。

リング挿入部３１１は、図６（ａ）の側面図に示すように、このようなウエハリングＲを同様にドーナツ型に中央に開口部を備えた２枚の板状体３１１ａと３１１ｂとを、リングＲを挿入するための幅を確保するためのスペーサ部材３１１ｃを間挿して重ね合わせて構成され、この２枚の板状体に挟まれた挿入内部の下端には、ウエハリングＲの下端部に当接して保持する支持部３１１ｄが設けられている。この支持部３１１ｄは、ウエハリングＲの収納時には、ウエハリングの下端部を支持し、処理が終わった場合には、後述するリング排出機構５に対して受け渡すべく、支持を解放するようになっている。

リングホルダ３１は、このリング挿入部３１１と、ガイドリング３１２との２つにより、挿入されるウエハリングＲのＸ軸方向、Ｚ軸方向並びにθ方向の位置決めを行うものである。以下、各部の構成をより具体的に説明する。

（２）切欠部及び位置決めピンの構成
本実施形態のリング移動機構３は、上述のとおり、リングＲの面を垂直方向にして配置するものであり、そのため、リングＲは、リングホルダ３１に挿入される場合にはリングホルダ挿入方向すなわち重力方向に自重が掛かった状態となる。そこで、本実施形態のリングホルダ３１は、このリングＲの下端部において、位置決めを行うことで、少なくともＺ軸方向、加えてＸ軸方向の位置決めを行うことが可能となる。

具体的には、リングホルダ３１は、ガイドリング３１２とリングＲ挟んで対向する位置であって、挿入されたリングＲの下端位置に、リングＲに設けられた２つの切欠部Ｒ１，Ｒ２に挿入される位置決めピンＰ１，Ｐ２が設けられている。この位置決めピンＰ１，Ｐ２は、リングホルダ３１にリングＲが挿入され、リングホルダ３１の下端においてリングＲの下端部が支持部３１１ｄに当接した後、リング側に向けてＹ軸移動することにより、リングＲの切欠部Ｒ１，Ｒ２に挿入して位置決めするものである。

（３）エキスパンド機構の構成
上述の通り、リングホルダ３１は、リング挿入部３１１とガイドリング３１２との間には、ウエハリングＲのウエハシートＷとの境界位置において、このウエハシートＷを円環状に押圧することでウエハシートＷに張力を与えるエキスパンド機構３１３を備える。

このエキスパンド機構３１３は、図７に示すように、ウエハシートＷと略同一の円周を有する円筒状の引張部３１３ａと、この引張部３１３ａを、リング挿入部３１１とガイドリング３１２との間において、ウエハシートＷ側へシリンダ駆動により移動させるためのシリンダ駆動部３１３ｂとからなる。

すなわち、引張部３１３ａは、ウエハリングＲのウエハシートＷとの境界位置にこのウエハシートＷを円環状に押圧することでウエハシートＷに張力を与えるものであり、たとえれば、和太鼓の胴材の円環端部によって皮面に張力を与える構造と同様であり、引張部３１３ａがこの胴材に相当し、ウエハシートＷが皮面に相当する。そして、このウエハシートＷへの張力を、引張部３１３ａの側部に数箇所設けられた押圧片にシリンダを連結させ、電気制御により引張部３１３ａをウエハシートＷ側に所定量移動させるものである。

なお、このような引張部３１３ａの移動機構に、シリンダを用いることにより、例えば、モータ及びベルトを用いて駆動する場合に比べて、簡易な構成とすることが可能である。

（４）ガイドリングの構成
ガイドリング３１２は、全体が円盤状であり、この円盤にリング挿入部３１１及びエキスパンド機構３１３とを連結させたものである。ガイドリング３１２は、また、上述のとおりリングホルダ３１に保持されたウエハリングＲにおけるウエハシートＷ上のデバイスのθ方向の位置決めを行うものであって、図示しないモータにより回転力を与えられるとともに、支持体３１４によって回転可能に支持される。

より具体的には、支持体３１４には、図６に示すように、円形のガイドリングの外周に沿って、６つの支持部３１２ａが正六角形の頂点を形成するように設けられている。

この支持部３１２ａとガイドリング３１２との関係について説明する。図６に示すように、ガイドリング３１２は、側断面が台形状で形成されており、その台形側部の辺に支持部３１２ａが当接している。この支持部３１２ａは、台座Ｄと台座Ｄに対して軸部分において回動可能に固定されたベアリングＢとからなり、この台座Ｄ及びベアリングＢにより、ガイドリング３１２を回動可能に支持するものである。

従来、リングホルダのθ方向補正を行うためのガイドリングの回動の支持部材としては、ガイドリングの直径に略相当する直径を備えたリング状のベアリングを、ガイドリングの外周に取り付けていた。しかしながら、ガイドリングの外周に相当するサイズのベアリングは、非常に高価であるとともに、汎用品ではなく、コスト面と製造効率面において課題があった。そこで、本実施形態では、汎用品の通常のベアリングを用いる構成とした。

なお、上記実施形態において、支持部３１２ａの数を、ガイドリング３１２の外周に対して正六角形の頂点に相当する位置に６つ設けているが、これは本実施形態のガイドリング３１２の回転バランスやコスト面を考慮した最良の実施形態を示すものであり、本来的に支持部の数は、ガイドリングのサイズや、コスト等の考慮により適宜変更可能なものであり、例えば、支持部を３つや５つ又は８つにより構成することも可能である。

このようなガイドリングによっては、図示しないモータにより、θ方向に回転するものであり、その回転の支持を上記の支持部３１２ａにより行うものである。

［１−４−２．ピックアップカメラの配置構成］
リングホルダ３１は、ウエハリングＲを位置決め固定した後、個片のデバイスＳを、画像認識手段（ピックアップカメラ）による画像認識においてサーチし、角度を算出しリングホルダを回転させて角度補正を行うとともに、複数のデバイスＳのピッチを算出するようになっている。

また、後述の分離機構７による分離時には、リング移動機構３は、分離機構７の動作に同期してデバイスＳの位置を画像にて認識しながら、リングホルダ３１がＹ軸方向及びＺ軸方向に順次移動するとともに、リングホルダ３１のガイドリング３１２がモータ駆動によりデバイスＳのθ方向の位置ずれを補正するようになっている。なお、リングホルダ３１に貼り付けられたデバイスＳの配置は装置１に対して予め登録可能であり、これに基づき、リング移動機構３はどのようなレイアウトにも対応して移動させることが可能である。

ここで、本実施形態のリング移動機構３は、上述の通り、垂直方向に配置されたことを特徴とするものであるが、従来技術の説明において示したようにリング移動機構を水平に配置した場合には、リング移動機構のウエハシートＷ面に対向する、リング移動機構の上方にはスペースがあるため、ピックアップカメラを前記対向する位置であるリング移動機構の上方に配置し、そこから画像認識を行うようにすることができる。一方で、本実施形態では、リング移動機構３のウエハシートＷ面の対向する位置には、ピックアップ機構８はもとより、テストハンドラＨのターンテーブルＴないしは吸着ノズルＶが設けられているため、当該対向する位置にカメラを従来どおり配置することができない。

そこで本実施形態においては、図１に示すように、リング移動機構３とピックアップ機構８との間に、図示しないカメラＣの画像認識方向を、ウエハシートＷの面と平行の方向に向け、さらに、ピックアップされる位置近傍に、プリズムＰＲを配置して、光軸を９０度折り返すことにより、カメラＣによるピックアップ位置の画像認識を可能としている。

［１−４−３．分離機構の構成］
分離機構７は、図８の拡大図を示すように、リングホルダ７１によって保持されたウエハシートＷの一方に突き上げピン７ａを備える。この突き上げピン７ａは、リングホルダ７１の初期位置の中心部分であって、後述するピックアップ機構のピックアップ位置と対向する位置に設けられており、この位置は固定である。

また、突き上げピン７ａによる分離時に、デバイスＳが剥離して飛び散らないように、図に示すように、突き上げピン７ａ側からバキューム機構を用いて真空引きするように構成することも可能である。また、分離時にイオナイザー等により、デバイスＳの静電気除去を行い、デバイスの破壊や搬送トラブルを防止するように構成することも可能である。

なお、本実施形態の突き上げピン７ａの詳細な構成については、本実施形態のリング移動機構３を垂直配置としたのに合わせて、向きを変更したが、他の構成は従来どおりであるので、ここでは説明を省略する。

［１−５．リング排出機構及び収納マガジンの構成］
図１及び図９（ａ）に示すように、リング排出機構５は、ウエハリング供給排出装置１の下端部に設けられ、ウエハリングＲを袋状に収納するリング収納部５１と、このリング収納部５１を、リング移動機構３からのウエハリング受取り位置とウエハリングの排出位置との間を移動させる移動レール５２と、収納部５１を移動レール５２に対して、回動可能に支持する回動支持部５３と、排出位置において、リング収納部５１内のウエハリングを排出する排出部材５４と、ウエハリングの収納マガジン６に対する排出位置（収納可能位置）を判別する収納位置検出手段５５と、を備える。

リング収納部５１は、図９（ｂ）に示すように、リング移動機構３において、ウエハリングＲのウエハシートＷに粘着したデバイスＳのピックアップ処理が終了した際に、リング挿入部３１１に設けられた支持部３１１ｄにより、リング挿入部３１１の下端部におけるウエハリングＲの支持が解放され、自重落下するウエハリングＲを受け取るものであり、上記リングホルダ３１同様、２枚の板状体とスペーサ部材を重ね合わせるように構成し、ウエハリングを収納可能な袋状を形成している。

移動レール５２は、リング移動機構３のウエハリング保持面と同様、垂直方向に収納部５１を搬送するレールを備え、収納部５１は、移動レール５２との接続部分に設けられたモータの駆動制御により、移動レール上を昇降するように構成されている。このようなモータの駆動制御により、リング収納部５１は、ウエハリング保持面を垂直方向にして、移動レール５２上をリング移動機構３側に移動し、リング収納部５１の挿入口が、リング移動機構３のリングホルダ３１下端部に接する位置まで上昇するようになっている。また、リング収納部５１は、ウエハリング保持面を水平方向にした場合には、収納マガジン６の収納位置の最も上の部分から、最も下の部分までを往復移動する範囲で、モータ駆動される。

収納部５１と移動レール５２との接続部分には、垂直方向に設置された移動レール５２に対して、収納部５１のウエハリングの収納面を、垂直方向から水平方向に回転させる回動支持部５３が設けられている。また、排出部材５４は、リング収納部５１の中央位置に設けられ、収納したウエハリングをローラ駆動により、送り出し挿入口より排出するものである。

上述のようにして、処理後のウエハリングＲを収納部５１に収納した後は、リング収納部５１は、図９（ａ）に示すように、上記のモータ駆動の制御により、収納マガジンに対するウエハリングの排出位置まで降りるように構成されている。また、収納部５１の移動レール５２との接続部分には、移動レール５２との接続部分近傍を回動軸として回転駆動する回動支持部５３が設けられており、上記のように、収納部５１が移動レール５２を下端部まで移動した際に、図９（ｃ）に示すように、収納部５１を垂直方向から、水平方向へ９０°回動させるようになっている。

収納部５１が水平方向へ回動した際、収納部５１の収納口５１ａが、収納マガジン６の収納口に近接した位置となるように、収納マガジン６が設置されている（図９（ｃ）参照）。

収納部５１は、収納位置検出手段５５が、収納マガジン６内の未だウエハリングＲが収納されていない収納位置をセンサにより判別し、又は、ウエハリングＲが収納されていない収納位置を供給時点で記憶しておき、これらの情報に基づいて、移動レール５２上における収納部５１の昇降を制御するようになっている。

収納部５１の収納口が、収納マガジン６の収納位置に達した際には、リング収納部５１内のウエハリングを排出する排出部材５４が、ローラをモータ駆動させ、収納部５１内から収納マガジン６に対してウエハリングを排出し、これによりウエハリングは、収納マガジンに収納されることとなる。

［２．作用効果］
［２−１．リング移動機構の縦型配置の作用効果］
以上のような構成からなる本実施形態のウエハリング供給排出装置１によれば、リング移動機構３が、保持するウエハリングの面を垂直方向に配置され、供給マガジン２から供給されるウエハリングが、処理を終えると、リング移動機構３の供給された側と対向する側から、リング排出機構に受け渡される。このような構成により、ウエハリングの受渡し側と排出側とを同一の方向とせず、分けて配置できるとともに、リング移動機構３がウエハリングが垂直に配置されていることから、供給リング及び排出位置を、装置の縦方向に拡げることにより、構成可能である。

これにより、図１０に示すように、リング移動機構３で処理の終わったウエハリングをリング排出機構５で受け取ると同時に、リング搬送機構４から、次のウエハリングがリング移動機構３に供給されることとなるので、処理後のウエハリングの排出をしながら、そのまま未処理のウエハリングの供給するというような作業の両立が可能で、従来に比較して、著しい処理時間の短縮を図ることが可能となる。

また、供給マガジン２をリング移動機構３の上下方向に配置する構成であれば、例えば、供給マガジン２をウエハリングの保持面を垂直方向にして、配置することも可能であるが、従来から用いているウエハリングのマガジンは、リングを取り出しやすく、また収納しやすくするため、リング収納位置のレールは、比較的厚さ方向に十分な幅をもたせて設けられている。このようなマガジンを、供給マガジン２として、垂直方向に配置した場合、ウエハリングは、自重により落下方向に働くため、その落下を防止するような機構を別途設ける必要が生じる。そこで、本発明では、供給マガジン２のウエハリングの面を水平方向に配置する構成を採用し、よりスムースなウエハリングの供給排出を実現することを可能とした。

リング移動機構３がテストハンドラＨの回転処理機構に対して垂直方向に配置されているため、従来のようにリングが回転処理機構の下部に入り込む必要がない。したがって、従来のように回転処理機構を複数配設したり、ウエハリングを分割的に捉えて反転させながら分離するような必要がない。この結果として、回転時間が不要となり稼働率の向上を図ることができるとともに、回転処理機構のモータ径やテーブル径の設計の自由度が増す。

リング移動機構３が回転処理機構下に入り込まないことは、一つの回転処理機構の周辺に複数の工程処理ユニットを設置することを可能としている。その結果、工程処理ユニットに対してデバイスを搬送するテーブルを１個で構成でき、製造装置全体としての小型化も可能となる。このことは、(1) 複数テーブル間の製品受け渡しに伴う搬送トラブルを防止することを可能とし、また、(2) シンプルな装置構成のため、部品点数が減り、装置自体のコストを抑えることを可能とする。さらに、(3) 装置を構成する部品が少ないため、デバイスの品種（大きさや厚さなど）が変わった場合に、交換が必要な部品も少なくすることができる。

また、リング移動機構３が垂直方向に配され、支持するリングホルダ３１の面と吸着ノズルＶのデバイスＳを保持する面とが略垂直に設けられることによって、リング移動機構３がリングホルダ３１を縦横に移動させたとしても、水平に回転するターンテーブルＴとその移動範囲が重複することなく、装置スペースを最も有効に利用することができる。

従来、ウエハリングの交換は、人間による手作業か、あるいはウエハリングのマガジンからの自動交換によりなされていたが、自動交換の場合であっても、その手順は、処理の終えたウエハリングをまずウエハリングに戻し、その後、あらためて未処理のウエハリングを同一のマガジンから取り出す、というものであった。

これに対し、本発明においては、リング移動機構３のウエハリング保持面を垂直方向に配するとしてもに、供給マガジン２と排出マガジン６とを分け、ウエハリングの供給を行った後は、リング搬送機構４によりリング移動機構３まで搬送し、リング移動機構３で処理の終わったウエハリングをリング排出機構５で受け取ると同時に、リング搬送機構４から、次のウエハリングがリング移動機構３に供給されることとなるので、処理後のウエハリングの排出をしながら、そのまま未処理のウエハリングの供給するというような作業の両立が可能で、従来に比較して、著しい処理時間の短縮を図ることが可能となる。

［２−２．供給マガジン２及び昇降手段の作用効果］
また、供給マガジン２が昇降手段としてエレベータ機構２１を備え、このエレベータ機構２１が、リング搬送機構のウエハリング搬送面と、供給マガジン２に収納されたウエハリングの面とを一致させることにより、リング搬送機構に対するウエハリングの供給を、マガジンに収納されたウエハリングごとに行うことができる。また、リング移動機構３におけるウエハリングの保持面を垂直方向としたことで、装置の垂直方向の高さが増すため、作業者が供給マガジン２をリング搬送機構４のウエハリング供給位置に直接設置できないような場合であっても、このエレベータ機構２１の存在により、作業者の手の届く位置まで供給マガジン２を下降させることも可能であるので、利便性が高い。

リング押出し部材２２ｂによって、リング搬送機構４のウエハリング搬送面と同一の面上に、前記供給マガジン２に収納されたウエハリングの面が一致した場合に、供給マガジン２内に収納されたウエハリングを、リング搬送機構４側に押出すことにより、供給マガジン２からリング搬送機構４へのウエハリングの受渡しをよりスムースに行うことができるようになる。

［２−３．リング搬送機構の作用効果］
リング搬送機構４４が、供給マガジン２から供給されるウエハリングを複数のローラにより両面を挟持して搬送し、ウエハリングの端部が前記供給マガジン２から排出される位置までウエハリングを移動させることにより、リング搬送機構４によるウエハリングの搬送を確実に行うことができるとともに、リング搬送機構４が、リング移動機構３への受渡しに当たって、図１０に示すように、水平方向から垂直方向に回転した場合であって、ウエハリングの自重がリング搬送機構４に掛かっても、ウエハリングを落下させることなく、複数のローラにより挟持したままリング移動機構３へ受け渡すことが可能となる。

従来は、供給マガジン２と排出マガジンとを一つのマガジンで行っていたこともあり、時間の制約の観点から、マガジンから供給されたウエハリングは、そのまますぐにリング移動機構３へと搬送されていくように構成されていた。したがって、ウエハシート上のデバイスの品種情報については、その搬送過程において、動いた状態のウエハリングから品種情報等を含むバーコード等を読み出す必要があり、これでは正確な読み込みができない場合があった。これに対して、本発明では、例えば、リング移動機構３において、ウエハシート上のデバイスをピックアップしている最中であっても、供給マガジン２からリング搬送機構４がウエハリングの搬送を受け付けることによって、一つ前のウエハリングの処理が完了するまで、リング搬送機構４上で待機させることが可能となる。これにより、従来のようにウエハリングを搬送しながらリングからバーコード等の品種識別情報を読み出す必要はなく、待機させた状態で、読むことができるので、種別判別手段による正確な読み込みが可能となる。

リング搬送機構４が、ウエハリングを複数のローラにより両面から挟持したまま、垂直方向に回転し、リング移動機構３に対して、ローラにより挟持しながら重力落下方向に送ることにより、ウエハリングの自重がリング搬送機構４に掛かっても、ウエハリングを落下させることなく、複数のローラにより挟持したままリング移動機構３へ受け渡すことが可能となる。

また、リング搬送機構４からリング移動機構３へのウエハリングの受渡しは、ともにウエハリング面を垂直にして、重力方向に向けて行うが、リング移動機構３が、上端にウエハリングの挿入孔を備え、中央にウエハシート大に開口を備え、ウエハリングを袋状に両側をガイドしながら下端を保持するリングホルダを備えることにより、このような重力方向に向かうウエハリングを確実に保持することができる。

リング移動機構３が、処理の終わったウエハリングを自重落下により排出するものであり、リング排出機構５がこれをリング移動機構３の下方で受け取ることにより、重力を利用した受渡しが可能となるので、装置構成を簡略化することができる。また、供給マガジン２並びにリング搬送機構４と、リング排出機構５とが干渉せず、供給マガジン２からリング搬送機構４、リング移動機構３、リング排出機構５への流れを一連にして行うことができるので、処理効率が高い。

［２−４．リング排出機構５の作用効果］
リング排出機構５が、ウエハリングを袋状に収納するリング収納部を備えることにより、リング移動機構３からリング排出機構５へ向けて、重力方向に向かうウエハリングを確実に保持することが可能である。また、この収納部を前記リング移動機構３からのウエハリング受取り位置とウエハリングの排出位置との間を移動させる移動手段として移動レール５２を備え、この移動レール５２が、図１０に示すように、リング移動機構３に近づいて、ウエハリングを受け取るので、仮に重力方向にウエハリングを向かわせたとしても、ウエハリングの破損等を防止することが可能である。

リング排出機構５が、図１１に示すように、ウエハリングを、直接収納マガジンの空の収納位置に対して、リング収納部内のウエハリングを排出することにより、処理後のウエハリングを自動で集めることができるので、作業効率が高い。特に、供給側のマガジンと、排出側のマガジンを分け、装置におけるウエハリングの流れを一方通行による一連処理とすることで、著しく処理速度を上げることが可能となる。

マガジンに収納された状態で、ウエハリングの面を水平にした場合には、重力によりレールの下側に接して、いずれのリングも水平に収納された状態となるが、ウエハリングの面を垂直にした場合には、レールも垂直方向になり、このレール間の幅があるため、収納されたウエハリングは、垂直とはならず、隣のレールの方向に傾いた状態となる。このような場合、既に収納されているウエハリングが、これから収納しようとしているウエハリングの挿入を妨げる場合があり、適切でない。そこで、本発明では、排出マガジンのウエハリングの面を水平方向に配置する構成を採用し、よりスムースなウエハリングの供給排出を実現することを可能とした。

［２−５．リング移動機構におけるリングホルダの作用効果］
本実施形態では、リングＲの下端位置に、リングＲに設けられた２つの切欠部Ｒ１，Ｒ２を設け、ガイドリング３１２とリングＲ挟んで対向する位置に、挿入されたリングＲの下端位置に、リングＲに設けられた２つの切欠部Ｒ１，Ｒ２に挿入される位置決めピンＰ１，Ｐ２が設けられた。そして、この位置決めピンＰ１，Ｐ２は、リングホルダ３１にリングＲが挿入され、リングホルダ３１の下端においてリングＲの下端部が支持部３１１ｄに当接した後、リング側に向けてＹ軸方向に移動することにより、リングＲの切欠部Ｒ１，Ｒ２に挿入する。これにより、リングＲのリングホルダ３１に対するＸ軸方向及びＺ軸方向の位置決めが可能となるものである。

また、リングホルダ３１は、リング挿入部３１１とガイドリング３１２との間には、ウエハリングＲのウエハシートＷとの境界位置において、このウエハシートＷを円環状に押圧することでウエハシートＷに張力を与えるエキスパンド機構３１３を備える。そして、このエキスパンド機構３１３の引張部３１３ａにより、ウエハシートＷへの張力を与えることにより、ウエハシートＷの弛みがなくなる。これにより、分離機構７における突き上げピン３１の押圧により、シートからデバイスＳがより剥がれやすくなり、ピックアップ機構８のピックアップ部８ａにおけるピックアップが容易に行えるようになる。特に、引張部３１３ａの移動機構に、シリンダを用いることにより、例えば、モータ及びベルトを用いて駆動する場合に比べて、簡易な構成とすることが可能である。

ガイドリング３１２を、回動可能に支持する支持体３１４に対して、ガイドリングの外周に沿って、６つの支持部３１２ａが正六角形の頂点を形成するように設け、この支持部３１２ａを、台座Ｄと台座に対して軸部分において回動可能に固定されたベアリングＢとにより構成し、この台座Ｄ及びベアリングＢにより、ガイドリング３１２を回動可能に支持することとしたことで、ガイドリングの外周に相当するサイズのベアリングを用いることなく、汎用品のベアリングを用いることができるので、コスト面や製造効率が高い。

また、ピックアップカメラＣを、リング移動機構３とピックアップ機構との間に設け、特に、カメラＣの画像認識方向を、ウエハシートＷの面と平行のＹ軸方向に向け、さらに、ピックアップされる位置近傍に、プリズムＰＲを配置して、光軸を９０度折り返すことにより、カメラＣによるピックアップ位置の画像認識を可能とした。これにより、リング移動機構３を垂直配置した本実施形態においても、省スペース化を妨げることなく、カメラの配置が可能となる。

［３．他の実施形態］
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、次のような他の実施の形態も包含するものである。例えば、上記リング搬送機構においては、回転ローラに覆帯状のベルトを配して、ウエハリングを挟持しながら、搬送し、ウエハリングの面を垂直方向に変えて、リング移動機構に受け渡すこととしている。これは、ウエハリングの面を垂直方向に傾けた際に、リングの自重により、リングが落下しないように、正確に保持するための最適な実施態様を示すものであって、本発明は、供給マガジンからウエハリングを取り出し、これをウエハリングの面が垂直になるように、回転させリング移動機構に搬送することができるものであれば、その構成は問わない。

例えば、上記実施形態において、覆帯状のベルトを伴わないローラのみによって構成してもよいし、挟持するような構成にせず、下ローラだけを設け、上側は、ウエハリングが供給マガジンから完全に排出された時点で、上から押さえ込むような押さえ部材を用いることも可能である。ただし、このような上から押圧して押さえ込むような構成の場合、ウエハリングを垂直方向に向け、リング移動機構に受け渡す際に、受渡し直前まで保持することができず、すなわち、上記の押さえ込みを解放すれば、ウエハリングは自重落下するので、リングが他の部材に衝突し、リング自体又は装置自体の破損等の可能性があるため、上記実施形態で示した例が最適な実施態様であることに変わりはない。

上記実施形態においては、供給マガジンからリング搬送装置に対して、ウエハリングリングを供給する際、リング検出部２２ａが、その昇降駆動と連動し、供給マガジン２内に収納されたウエハリングが、リング検出部２２ａと同一平面上に位置した場合に制御装置にその旨を伝える信号を送信するという処理を行うようにした。しかしながら、本発明はこのような場合に限らず、最も一般的には、ウエハリングを例えば供給マガジンに収納されている上から又は下から等一定の規則性を持って供給するように、制御装置のプログラムを予め設定することも可能である。このような場合には、上記のリング検出部のような検出手段は設けることなく、リングの位置情報を予めプログラムし、この位置情報に基づいて、昇降手段のモータを制御し、供給マガジンの高さを調整するようにすることも可能である。

同様に、収納マガジンへのウエハリングの収納処理において、収納位置検出手段５５が、収納マガジン６内の未だウエハリングＲが収納されていない収納位置をセンサによる検出により判別し、この判別結果にしたがって、移動レール５２上における収納部５１の昇降を制御するようしたが、これも、収納マガジンへ下から又は上から等一定の規則性を持ってウエハリングを収納するように、制御装置のプログラムを予め設定し、リング収納部５１の移動レール５２上の位置情報を予めプログラムし、この位置情報に基づいて、モータを制御し、収納部５１の高さを調整するようにすることも可能である。

また、上記実施形態においては、供給マガジン２を昇降させるエレベータ機構２１におけるエレベータプレート２１ａの昇降の上限位置を、供給マガジン２の最下部に収納されるウエハリングが後述するリング搬送機構４の供給口と一致する高さまでとし、下限位置を、作業者が供給マガジン２を、上記の取っ手２ｅを把持して、搬送できる位置までとし、また、供給マガジン２と収納マガジン６とを別体として説明したが、本発明は、このような場合に限られない。すなわち、図１２に示すように、エレベータプレート２１ａの昇降の下限位置を、上記実施形態において収納マガジン６を位置させていた、装置底部とし、供給マガジン２が収納マガジンも兼ねる、供給収納マガジン２０として構成してもよい。

この場合、供給収納マガジン２０は、エレベータプレート２１ａの作用により、上限位置近傍にて、マガジンに収納されたウエハリングを、リング搬送機構４へ受渡した後、下限位置近傍まで降り、受渡したウエハリングより前にリング搬送機構４に受け渡した、デバイスＳのピックアップ処理が終了したウエハリングＲを、リング収納部５１から受け取り、マガジン内に収納することができる。この際も、収納部５１の収納位置検出手段５５が、収納マガジン６内の未だウエハリングＲが収納されていない収納位置をセンサにより判別し、又は、ウエハリングＲが収納されていない収納位置を供給時点で記憶しておき、これらの情報に基づいて、移動レール５２上における収納部５１の昇降を制御するようにすればよい。

このような態様では、ウエハリングの供給から収納まで、一つの供給収納マガジンにより、自動で行なうことができ、作業者は、２つのマガジンを装置に設置するような必要がなく、利便性が高い。また、一枚のウエハリングからのデバイスのピックアップには、数十分の時間を要するので、供給収納マガジンを、エレベータプレートにより上限位置と下限位置へ移動させ、ウエハリングの供給及び収納の処理を行なう時間的余裕は十分に確保され得る。

本発明の実施形態におけるウエハリング供給排出装置の全体構成を示す側面図。 本発明の実施形態におけるウエハリング供給排出装置におけるウエハリング及び供給マガジンの構成を示す模式図（ａ）及び斜視図（ｂ）。 本発明の実施形態におけるウエハリング供給排出装置における供給手段の構成を示す斜視模式図。 本発明の実施形態におけるウエハリング供給排出装置におけるリング搬送機構の構成を示す側面図（ａ）及び斜視図（ｂ）。 本発明の実施形態におけるウエハリング供給排出装置におけるリング移動機構の概略的構成を示す平面図。 本発明の実施形態におけるウエハリング供給排出装置におけるリングフォルダの構成を示す側面図（ａ）、部分斜視図（ｂ）。 本発明の実施形態におけるウエハリング供給排出装置におけるリングフォルダの部分構成を示す斜視図。 本発明の実施形態におけるウエハリング供給排出装置における分離機構の構成を示す側面模式図。 本発明の実施形態におけるウエハリング供給排出装置におけるリング排出機構を示す側面模式図。 本発明の実施形態におけるウエハリング供給排出装置の作用を示す側面図。 本発明の実施形態におけるウエハリング供給排出装置の作用を示す側面図。 本発明の他の実施形態におけるウエハリング供給排出装置におけるウエハ供給排出マガジンの構成を示す側面図。 従来のウエハリング供給排出装置の構成を示す模式図。 従来のウエハリング供給排出装置の構成を示す模式図。 従来のウエハリング供給排出装置の構成を示す模式図。

符号の説明

１…ウエハリング供給排出装置
２…供給マガジン
２ａ，２ｂ…ガイド
２ｃ…ストッパ部材
２ｄ…係止部
２ｅ…取っ手
２１…エレベータ機構
２１ａ…エレベータプレート
２１ｂ…ボールネジ
２１ｃ…ガイドレール
２１ｄ…位置決め部材
２２…プッシャー
２２ａ…リング検出部
２２ｂ…押出し部材
３…リング移動機構
３１…リングホルダ
３１１…リング挿入部
３１１ａ…板状体
３１１ｃ…スペーサ部材
３１１ｄ…支持部
３１２…ガイドリング
３１２ａ…支持部
３１３…エキスパンド機構
３１３ａ…引張部
３１３ｂ…シリンダ駆動部
３１４…支持体
４…リング搬送機構
４ａ…上側レール
４ｂ…下側レール
４ｃ，４ｄ，４ｄ´…ローラ
４ｅ，４ｆ…ベルト
４１…検出部
５…リング排出機構
５１…リング収納部
５１ａ…収納口
５２…移動レール
５３…回動支持部
５４…排出部材
５５…収納位置検出手段
６…収納マガジン
７…分離機構
７ａ…突き上げピン
８…ピックアップ機構
８ａ…ピックアップ部
ｒ…リング部分
Ｂ…ベアリング
Ｃ…ピックアップカメラ
Ｄ…台座
Ｅ…搬送排出端部
Ｈ…テストハンドラ
Ｍ…モータ
Ｐ１，Ｐ２…ピン
ＰＲ…プリズム
Ｒ…ウエハリング
Ｒ１，Ｒ２…切欠部
Ｓ…デバイス
Ｔ…ターンテーブル
Ｖ…吸着ノズル
Ｗ…ウエハシート

Claims (14)

1. 半導体装置又は電子部品等のデバイスが粘着されたウエハシートを備えたウエハリングを複数枚収納する供給マガジンと、
   ウエハリングを交換可能に支持し、ウエハリングを所定の方向に移動させながら、吸着ノズル等の保持手段によりデバイスを保持したままデバイスに電気特性検査等の各種の工程処理を施す工程処理ユニットに対して、前記ウエハシートに粘着されたデバイスを個片にして受け渡す処理を行うリング移動機構と、
   前記供給マガジンからウエハリングを受取り、前記リング移動機構へ搬送するリング搬送機構と、
   前記リング移動機構において処理の終わったウエハリングを前記供給側とは対向する側で受取り、所定の排出位置で排出するリング排出機構と、を備え、
   前記供給マガジンは、複数枚のウエハリングを水平方向に保持するように設けられ、
   前記リング移動機構は、前記ウエハリングの面を垂直方向に保持するように設けられ、
   前記リング搬送機構は、前記供給マガジンから前記ウエハリングを受け取ると、直角に向きを変えて前記リング移動機構の上方から前記リング移動機構に前記ウエハリングを受け渡し、
   前記リング搬送機構は、
   前記供給マガジンから供給される前記ウエハリングを複数のローラにより両面を挟持して搬送するものであり、
   前記ウエハリングを前記複数のローラにより両面から挟持したまま、垂直方向に回転し、前記リング移動機構に対して、前記ローラにより挟持しながら重力落下方向に送ることを特徴とするウエハリング供給排出装置。
2. 前記供給マガジンを昇降させる昇降手段を備え、
   前記供給マガジンは、前記昇降手段により、前記供給マガジンが昇降することにより、前記リング搬送機構のウエハリング搬送面と、前記供給マガジンに収納されたウエハリングの面とを一致させ、このウエハリングを前記搬送手段に受け渡すことを特徴とする請求項１記載のウエハリング供給排出装置。
3. 前記リング搬送機構のウエハリング搬送面と同一の面上に、前記供給マガジンに収納されたウエハリングの面が一致した場合に、前記供給マガジン内に収納されたウエハリングを、前記リング搬送機構側に押出すリング押出し部材が設けられたことを特徴とする請求項１又は２記載のウエハリング供給排出装置。
4. 前記リング搬送機構は、ウエハリングの端部が前記供給マガジンから排出される位置まで前記ウエハリングを移動させるものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のウエハリング供給排出装置。
5. 前記リング搬送機構は、前記ウエハリングを前記供給マガジンから排出した後、前記リング搬送機構内に停止させ、前記ウエハリングの種別を判別する種別判別手段を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のウエハリング供給排出装置。
6. 前記リング移動機構は、上端にウエハリングの挿入孔を備え、中央にウエハシート大に開口を備え、ウエハリングを袋状に両側をガイドしながら下端を保持するリングホルダを備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のウエハリング供給排出装置。
7. 下端に切欠を備えたリングを用いるウエハリング供給排出装置であって、
   前記リング移動機構は、リングを保持するリングホルダを備え、
   前記リングホルダに保持されたリングの切欠に位置決めピンを挿入して、リングホルダ内におけるリングの位置決めを行う位置決め部材を備えたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のウエハリング供給排出装置。
8. 前記リングとウエハシートとの境界位置において、このウエハシートに対して垂直方向に、円環状に押圧することでウエハシートに張力を与えるエキスパンド機構を備え、
   前記エキスパンド機構は、シリンダ駆動により移動することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のウエハリング供給排出装置。
9. 前記リングホルダに保持されたリングのウエハシート上に粘着されたデバイスのθ方向の位置ずれを、前記リングホルダを回転させることにより、修正するガイドリングを備え、
   このガイドリングは、円盤状であり、その外周面を少なくとも３点以上支持する支持部材を備え、
   前記支持部材は、台座とこの台座に回転可能に設けられたベアリングとからなり、
   前記ベアリングの面が、前記ガイドリングの外周面に当接することで、前記ガイドリングを回動可能に支持するものであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のウエハリング供給排出装置。
10. 前記リング移動機構は、処理の終わったウエハリングを自重落下により排出する機構を備え、
    前記リング排出機構は、前記リング移動機構より下方に設けられ、前記リング移動機構より自重落下するウエハリングを受取り、排出するものであることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のウエハリング供給排出装置。
11. 前記リング排出機構は、ウエハリングを袋状に収納するリング収納部と、
    この収納部を前記リング移動機構からのウエハリング受取り位置とウエハリングの排出位置との間を移動させる移動手段と、
    前記排出位置において、前記リング収納部内のウエハリングを排出する排出手段と、を備えたことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のウエハリング供給排出装置。
12. 前記リング排出機構によるウエハリングの排出位置には、ウエハリングを収納する収納位置を複数備え、処理後のウエハリングを複数枚収納する収納マガジンを備え、
    前記排出手段は、前記移動手段により移動し、前記収納マガジンの空の収納位置に対して、前記リング収納部内のウエハリングを排出することを特徴とする請求項１１記載のウエハリング供給排出装置。
13. 前記収納マガジンは、複数枚のウエハリングを水平方向に保持するように設けられ、
    前記リング排出機構は、前記リング収納部のウエハリングを収納又は排出する挿入口を、垂直方向及び水平方向に向ける回動手段を備え、
    この回動手段は、前記リング移動機構からウエハリングを受け取る場合には、前記挿入口を垂直方向に向け、前記収納マガジンにウエハリングを受け渡す場合には、前記挿入口を水平方向に向けるように構成されたことを特徴とする請求項１２記載のウエハリング供給排出装置。
14. 前記供給マガジンと、ウエハリングを収納する収納位置を複数備え、処理後のウエハリングを複数枚収納する収納マガジンを備え、
    前記供給マガジンと、前記収納マガジンとは、一つの供給収納マガジンとして構成され、
    前記昇降手段は、前記供給収納マガジンを、前記前記リング搬送機構に対してウエハリングを供給するウエハリングの供給位置と、前記リング排出機構によるウエハリングの排出位置との間で昇降させることを特徴とする請求項２記載のウエハリング供給排出装置。

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