JP3228959B2 - ペレットのピックアップ装置 - Google Patents
ペレットのピックアップ装置Info
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- vacuum
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68318—Auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support
- H01L2221/68322—Auxiliary support including means facilitating the selective separation of some of a plurality of devices from the auxiliary support
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エキスパンションシー
トの表面に縦横整列した状態で多数貼着した半導体チッ
プ等のペレットを、ピックアップコレットにて１個ずつ
ピックアップするようにした装置において、前記ペレッ
トをピックアップコレットに向けて突き出すための機構
の改良に関するものである。
トの表面に縦横整列した状態で多数貼着した半導体チッ
プ等のペレットを、ピックアップコレットにて１個ずつ
ピックアップするようにした装置において、前記ペレッ
トをピックアップコレットに向けて突き出すための機構
の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】このように、エキスパンションシートの
表面に貼着したペレットをピックアップコレットに向け
て突き出すための機構として、従来は、特開平１−１５
７５４９号公報に記載され且つ図９に示すようなもの
と、特公昭６２−４２３７９号公報に記載され且つ図１
０に示すようなものとが利用されていた。
表面に貼着したペレットをピックアップコレットに向け
て突き出すための機構として、従来は、特開平１−１５
７５４９号公報に記載され且つ図９に示すようなもの
と、特公昭６２−４２３７９号公報に記載され且つ図１
０に示すようなものとが利用されていた。
【０００３】すなわち、図９に示すものは、ペレット２
１を貼着したエキスパンションシート２２の表面側にピ
ックアップコレット２３を配設する一方、エキスパンシ
ョンシート２２の裏面側に、先端に真空吸引孔２４ａを
穿設した中空状の真空吸着体２４を、その先端面がエキ
スパンションシート２２の裏面に近接又は接触するよに
して配設し、この真空吸着体２４の中空部内に、前記真
空吸引孔２４ａからピックアップコレット２３に向けて
出没するようにした針状体２５を設け、真空吸着体２４
内に負圧を伝達した状態で、針状体２５を真空吸着体２
４の先端から突出させて、エキスパンションシート２２
を実線で示すように断面く字状に変形させるか、又は、
一点鎖線で示すようにエキスパンションシート２２を針
状体２５にて突き破ることにより、ペレット２１をピッ
クアップコレット２３に向けて突き出すようにしたもの
であった。
１を貼着したエキスパンションシート２２の表面側にピ
ックアップコレット２３を配設する一方、エキスパンシ
ョンシート２２の裏面側に、先端に真空吸引孔２４ａを
穿設した中空状の真空吸着体２４を、その先端面がエキ
スパンションシート２２の裏面に近接又は接触するよに
して配設し、この真空吸着体２４の中空部内に、前記真
空吸引孔２４ａからピックアップコレット２３に向けて
出没するようにした針状体２５を設け、真空吸着体２４
内に負圧を伝達した状態で、針状体２５を真空吸着体２
４の先端から突出させて、エキスパンションシート２２
を実線で示すように断面く字状に変形させるか、又は、
一点鎖線で示すようにエキスパンションシート２２を針
状体２５にて突き破ることにより、ペレット２１をピッ
クアップコレット２３に向けて突き出すようにしたもの
であった。
【０００４】他方、図１０に示すものは、エキスパンシ
ョンシート２２の裏面側に、ペレット２１を突き出すた
めの針状体２５を内蔵した中空状の真空吸着体２４を、
針状体２４の軸方向に沿って移動自在に設け、二点鎖線
で示すように、真空吸着体２４を突出して予めエキスパ
ンションシート２２を押圧変形させた状態にしておいて
から、真空吸着体２４を、その内部に負圧を伝達した状
態で後退させて、針状体２５の先端を真空吸着体２４の
先端面から突出させることにより、エキスパンションシ
ート２２を点線で示すように断面く字状に変形させる
か、又は、一点鎖線で示すようにエキスパンションシー
ト２２を針状体２５にて突き破るかして、ペレット２１
をピックアップコレット２３に向けて突き出すようにし
たものであった。
ョンシート２２の裏面側に、ペレット２１を突き出すた
めの針状体２５を内蔵した中空状の真空吸着体２４を、
針状体２４の軸方向に沿って移動自在に設け、二点鎖線
で示すように、真空吸着体２４を突出して予めエキスパ
ンションシート２２を押圧変形させた状態にしておいて
から、真空吸着体２４を、その内部に負圧を伝達した状
態で後退させて、針状体２５の先端を真空吸着体２４の
先端面から突出させることにより、エキスパンションシ
ート２２を点線で示すように断面く字状に変形させる
か、又は、一点鎖線で示すようにエキスパンションシー
ト２２を針状体２５にて突き破るかして、ペレット２１
をピックアップコレット２３に向けて突き出すようにし
たものであった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、これらの先
行技術のうち図９の突き上げ機構は、真空吸着体２４に
真空を伝達するめの真空ポンプ等の真空吸引手段に加え
て、針状体２５を往復動するために、ステップモータや
空圧シリンダ等を備えた往復動手段を設けなければなら
ない一方、図１０の突き上げ機構も、真空吸着体２４に
対する真空吸引手段に加えて、真空吸着体２４を往復動
するための往復動手段を設けなければならず、いずれの
場合も、真空吸引装置とは別に往復動機構を必要とする
ため、ペレットの突き上げ機構が著しく複雑化し、延い
ては、電子部品の製造コストをアップさせると言う問題
があった。
行技術のうち図９の突き上げ機構は、真空吸着体２４に
真空を伝達するめの真空ポンプ等の真空吸引手段に加え
て、針状体２５を往復動するために、ステップモータや
空圧シリンダ等を備えた往復動手段を設けなければなら
ない一方、図１０の突き上げ機構も、真空吸着体２４に
対する真空吸引手段に加えて、真空吸着体２４を往復動
するための往復動手段を設けなければならず、いずれの
場合も、真空吸引装置とは別に往復動機構を必要とする
ため、ペレットの突き上げ機構が著しく複雑化し、延い
ては、電子部品の製造コストをアップさせると言う問題
があった。
【０００６】本発明は、この問題を解消した突き上げ機
構を提供することを目的とするものである。
構を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明は、「表面にペレットを貼着したエキスパンショ
ンシートの表面側に、前記ペレットに対するピックアッ
プコレットを配設する一方、前記エキスパンションシー
トの裏面側に、前記ピックアップコレットに向けて延び
る針状体を備えた真空吸着体を配設し、該真空吸着体
に、内部を前記針状体が通過するようにリング状に構成
した吸着部を、内部を気密にしたダイヤフラム又は伸縮
自在な蛇腹管にて、前記針状体の軸線方向に自在に往復
動するように設けて、この吸着部を、前記ダイヤフラム
又は蛇腹管内への真空発生源からの負圧の伝達にて当該
吸着部が前記エキスパンションシートの裏面に接触した
状態で前記ピックアップコレットから離れる方向に後退
動し、前記ダイヤフラム又は蛇腹管内への負圧伝達の遮
断にて当該吸着部が前記ピックアップコレットに向かっ
て前進動するように構成した。」ものである。
本発明は、「表面にペレットを貼着したエキスパンショ
ンシートの表面側に、前記ペレットに対するピックアッ
プコレットを配設する一方、前記エキスパンションシー
トの裏面側に、前記ピックアップコレットに向けて延び
る針状体を備えた真空吸着体を配設し、該真空吸着体
に、内部を前記針状体が通過するようにリング状に構成
した吸着部を、内部を気密にしたダイヤフラム又は伸縮
自在な蛇腹管にて、前記針状体の軸線方向に自在に往復
動するように設けて、この吸着部を、前記ダイヤフラム
又は蛇腹管内への真空発生源からの負圧の伝達にて当該
吸着部が前記エキスパンションシートの裏面に接触した
状態で前記ピックアップコレットから離れる方向に後退
動し、前記ダイヤフラム又は蛇腹管内への負圧伝達の遮
断にて当該吸着部が前記ピックアップコレットに向かっ
て前進動するように構成した。」ものである。
【０００８】
【発明の作用・効果】この構成において、ペレットを針
状体とピックアップコレットとの間に位置させた状態
で、真空吸着体におけるダイヤフラム又は蛇腹管内に真
空ポンプ等からの負圧を伝達すると、真空吸着体の吸着
部がエキスパンションシートに吸着し、この吸着と殆ど
同時に、真空吸着体における吸着部が、エキスパンショ
ンシートに吸着したまま、針状体の軸方向に沿って後退
する。
状体とピックアップコレットとの間に位置させた状態
で、真空吸着体におけるダイヤフラム又は蛇腹管内に真
空ポンプ等からの負圧を伝達すると、真空吸着体の吸着
部がエキスパンションシートに吸着し、この吸着と殆ど
同時に、真空吸着体における吸着部が、エキスパンショ
ンシートに吸着したまま、針状体の軸方向に沿って後退
する。
【０００９】すると、真空吸着体の後退動にて、針状体
の先端が真空吸着体における吸着部から突出した状態に
なって、エキスパンションシートのうち真空吸着体の吸
着部で囲われた部分が、ピックアップコレットの方向に
向けて凸の断面く字状に変形するか、又は、エキスパン
ションシートが針状体にて突き破られるため、ピックア
ップコレットと針状体との間に位置したペレットが、ピ
ックアップコレットに向けて突き出された状態となるの
であり、これにより、ピックアップコレットによるペレ
ットの吸着を確実に行うことができる。
の先端が真空吸着体における吸着部から突出した状態に
なって、エキスパンションシートのうち真空吸着体の吸
着部で囲われた部分が、ピックアップコレットの方向に
向けて凸の断面く字状に変形するか、又は、エキスパン
ションシートが針状体にて突き破られるため、ピックア
ップコレットと針状体との間に位置したペレットが、ピ
ックアップコレットに向けて突き出された状態となるの
であり、これにより、ピックアップコレットによるペレ
ットの吸着を確実に行うことができる。
【００１０】そして、真空吸着体におけるダイヤフラム
又は蛇腹管内に対する負圧の伝達を遮断すると、真空吸
着体における吸着部は元の位置に復帰し、針状体の先端
が真空吸着体内に収納された状態になるため、エキスパ
ンションシートをその表面に沿って移動させて、次のペ
レットの位置決めをすることができる。
又は蛇腹管内に対する負圧の伝達を遮断すると、真空吸
着体における吸着部は元の位置に復帰し、針状体の先端
が真空吸着体内に収納された状態になるため、エキスパ
ンションシートをその表面に沿って移動させて、次のペ
レットの位置決めをすることができる。
【００１１】このように、本発明によると、真空吸着体
に負圧を伝達したり遮断したり切り換えるだけで、換言
すると、真空吸着体に対する真空吸引手段を設けるだけ
で、針状体によるペレットの突き出しを行うことがで
き、従来のように針状体や真空吸着体を往復動させる機
構を必要としないから、ピックアップ装置の構造を著し
く簡単にすることができ、延いては、ペレットを使用し
た電子部品等の製造コストを低減することができると言
う効果を有する。
に負圧を伝達したり遮断したり切り換えるだけで、換言
すると、真空吸着体に対する真空吸引手段を設けるだけ
で、針状体によるペレットの突き出しを行うことがで
き、従来のように針状体や真空吸着体を往復動させる機
構を必要としないから、ピックアップ装置の構造を著し
く簡単にすることができ、延いては、ペレットを使用し
た電子部品等の製造コストを低減することができると言
う効果を有する。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面（図１〜図５）
について説明する。
について説明する。
【００１３】図において符号１は、一定ピッチＰの間隔
で半導体チップ搭載部２ａを備えたリードフレーム２
を、その半導体チップ搭載部２ａを略水平にした状態で
長手方向に沿って前記ピッチＰの間隔で間欠的に移送す
るようにした移送経路を示し、該移送経路１の側方の部
位には、ＸＹテーブル３が配設されている。
で半導体チップ搭載部２ａを備えたリードフレーム２
を、その半導体チップ搭載部２ａを略水平にした状態で
長手方向に沿って前記ピッチＰの間隔で間欠的に移送す
るようにした移送経路を示し、該移送経路１の側方の部
位には、ＸＹテーブル３が配設されている。
【００１４】前記ＸＹテーブル３は、これに、ペレット
の一例としての半導体チップ６を縦横に整列して貼着し
て成るエキスパンションシート５を備えたウエハートレ
ー４を、当該ウエハートレー４におけるエキスパンショ
ンシート５が平面視において前記リードフレーム２の長
手方向と平行で且つ側面視において水平面に対して直角
の垂直となるように取付けて、このウエハートレー４
を、鉛直方向のＸ軸方向と、水平方向のＹ軸方向と言う
ように、エキスパンションシート５の表面と平行な面に
おいて互いに直交する二つの軸方向に移動するように構
成している。
の一例としての半導体チップ６を縦横に整列して貼着し
て成るエキスパンションシート５を備えたウエハートレ
ー４を、当該ウエハートレー４におけるエキスパンショ
ンシート５が平面視において前記リードフレーム２の長
手方向と平行で且つ側面視において水平面に対して直角
の垂直となるように取付けて、このウエハートレー４
を、鉛直方向のＸ軸方向と、水平方向のＹ軸方向と言う
ように、エキスパンションシート５の表面と平行な面に
おいて互いに直交する二つの軸方向に移動するように構
成している。
【００１５】符号８は、先端に回転体９を取付けた回転
軸を示し、該回転軸８は、軸受け部材１０にて、当該回
転軸８における軸線８ａが前記ウエハートレー４におけ
るエキスパンションシート５の表面及び前記リードフレ
ーム２における半導体チップ搭載部２ａの両方に対して
略４５度の角度で傾斜する状態で回転自在に軸支されて
いる。
軸を示し、該回転軸８は、軸受け部材１０にて、当該回
転軸８における軸線８ａが前記ウエハートレー４におけ
るエキスパンションシート５の表面及び前記リードフレ
ーム２における半導体チップ搭載部２ａの両方に対して
略４５度の角度で傾斜する状態で回転自在に軸支されて
いる。
【００１６】そして、前記回転軸８の先端に取付けた回
転体９の一端部には、真空吸着式のピックアップコレッ
ト１１ａを、他端部には、同じく真空吸着式のピックア
ップコレット１１ｂを各々装着する一方、前記回転軸８
を、図示しない回転駆動機構に連結して、この回転駆動
機構によって、前記回転体９の両端における両ピックア
ップコレット１１ａ，１１ｂがウエハートレー４とリー
ドフレーム２との間を往復動するように１８０度だけ間
欠的に往復回動するように構成している。
転体９の一端部には、真空吸着式のピックアップコレッ
ト１１ａを、他端部には、同じく真空吸着式のピックア
ップコレット１１ｂを各々装着する一方、前記回転軸８
を、図示しない回転駆動機構に連結して、この回転駆動
機構によって、前記回転体９の両端における両ピックア
ップコレット１１ａ，１１ｂがウエハートレー４とリー
ドフレーム２との間を往復動するように１８０度だけ間
欠的に往復回動するように構成している。
【００１７】前記ウエハートレー４におけるエキスパン
ションシート５の裏面側に、前記エキスパンションシー
ト５に対する真空吸着体１２を配設する。
ションシート５の裏面側に、前記エキスパンションシー
ト５に対する真空吸着体１２を配設する。
【００１８】前記真空吸着体１２は、エキスパンション
シート５に近接した一端とエキスパンションシート５か
ら離れた他端とを開口した筒状のボックス１２ａを備
え、該ボックス１２ａの一端を、金属板又はゴム等のダ
イヤフラム１２ｂにて塞ぐことことにより、このダイヤ
フラム１２ｂ内を気密に構成して、該ダイヤフラム１２
ｂに、エキスパンションシート５に向けて開口したリン
グ状の吸着部１２ｄを設けて、この吸着部１２ｄを、エ
キスパンションシート５の裏面に接当させるか、又は、
エキスパンションシート５が前記ピックアップコレット
１１ａの方向に若干弾性変形するようにエキスパンショ
ンシート５に軽く押圧する一方、前記ボックス１２ａの
他端に、ガラス板又はアクリル樹脂等の透明な底板１２
ｃを固着し、この底板１２ｃに、前記ペレット６に対す
る針状体１３を、その先端が前記吸着部１２ｄ内に突出
するようにして固着する。
シート５に近接した一端とエキスパンションシート５か
ら離れた他端とを開口した筒状のボックス１２ａを備
え、該ボックス１２ａの一端を、金属板又はゴム等のダ
イヤフラム１２ｂにて塞ぐことことにより、このダイヤ
フラム１２ｂ内を気密に構成して、該ダイヤフラム１２
ｂに、エキスパンションシート５に向けて開口したリン
グ状の吸着部１２ｄを設けて、この吸着部１２ｄを、エ
キスパンションシート５の裏面に接当させるか、又は、
エキスパンションシート５が前記ピックアップコレット
１１ａの方向に若干弾性変形するようにエキスパンショ
ンシート５に軽く押圧する一方、前記ボックス１２ａの
他端に、ガラス板又はアクリル樹脂等の透明な底板１２
ｃを固着し、この底板１２ｃに、前記ペレット６に対す
る針状体１３を、その先端が前記吸着部１２ｄ内に突出
するようにして固着する。
【００１９】なお、前記真空吸着体１２は、そのボック
ス１２ａ又は底板１２ｃを機枠（図示せず）に固着する
ことにより、エキスパンションシート５の裏面側に配置
している。
ス１２ａ又は底板１２ｃを機枠（図示せず）に固着する
ことにより、エキスパンションシート５の裏面側に配置
している。
【００２０】そして、前記ボックス１２ａに、その内部
を真空ポンプ１４等の真空発生源に連通するための真空
伝達通路１５を接続し、この真空伝達通路１５中に、大
気通路１６に対する三方切換弁１７を設けて、この三方
切換弁１７により、前記ボックス１２ａ内に真空を伝達
する状態と、前記ボックス１２ａ内を大気に連通する状
態とに切り換えるように構成する。
を真空ポンプ１４等の真空発生源に連通するための真空
伝達通路１５を接続し、この真空伝達通路１５中に、大
気通路１６に対する三方切換弁１７を設けて、この三方
切換弁１７により、前記ボックス１２ａ内に真空を伝達
する状態と、前記ボックス１２ａ内を大気に連通する状
態とに切り換えるように構成する。
【００２１】更に、前記真空吸着体１２の底板１２ｃに
は、吸着部１２ｄの後退寸法を規制するリング状のスト
ッパー１８を固着している。このストッパー１８には、
その内外に連通する通孔１８ａを穿設して、ダイヤフラ
ム１２ｂをストッパー１８に接当した状態で、ストッパ
ー１８内に負圧を伝達した状態が維持されるようにして
いる。
は、吸着部１２ｄの後退寸法を規制するリング状のスト
ッパー１８を固着している。このストッパー１８には、
その内外に連通する通孔１８ａを穿設して、ダイヤフラ
ム１２ｂをストッパー１８に接当した状態で、ストッパ
ー１８内に負圧を伝達した状態が維持されるようにして
いる。
【００２２】また、ダイヤフラム１２ｂと底板１２ｃと
の間には、ダイヤフラム１２ｂに対する戻し用ばね１９
を設けている。ダイヤフラム１２ｂを金属板や硬質合成
樹脂のように硬質の弾性素材で形成した場合には、ばね
１９は必ずしも設ける必要はない。
の間には、ダイヤフラム１２ｂに対する戻し用ばね１９
を設けている。ダイヤフラム１２ｂを金属板や硬質合成
樹脂のように硬質の弾性素材で形成した場合には、ばね
１９は必ずしも設ける必要はない。
【００２３】なお、前記針状体１３の直径は、前記半導
体チップ６の一辺よりも小さい寸法に構成されており、
また、前記真空吸着体１２を挟んでエキスパンションシ
ート５と反対側に位置した部位に、前記エキスパンショ
ンシート５に貼着した半導体チップ６を、前記透明板１
２ｃ及びエキスパンションシート５を透して認識するよ
うにした認識カメラ２０が配設されている。
体チップ６の一辺よりも小さい寸法に構成されており、
また、前記真空吸着体１２を挟んでエキスパンションシ
ート５と反対側に位置した部位に、前記エキスパンショ
ンシート５に貼着した半導体チップ６を、前記透明板１
２ｃ及びエキスパンションシート５を透して認識するよ
うにした認識カメラ２０が配設されている。
【００２４】この構成において、一方のピックアップコ
レット１１ａの軸心を針状体１３の軸心に一致させた状
態で、認識カメラ２０にて、半導体チップ６が針状体１
３の軸心上に位置していることを認識すると、三方切換
弁１７が、ボックス１２ａ内に真空を伝達する状態に切
り換わって、真空吸着体１２の吸着部１２ｄがエキスパ
ンションシート５の裏面に接触した状態でこれを吸着
し、これと殆ど同時に、真空吸着体１２の吸着部１２ｄ
が、エキスパンションシート５に吸着した状態のまま、
ダイヤフラム１２ｂを引き伸ばしつつ針状体２５の軸方
向に沿って後退する。
レット１１ａの軸心を針状体１３の軸心に一致させた状
態で、認識カメラ２０にて、半導体チップ６が針状体１
３の軸心上に位置していることを認識すると、三方切換
弁１７が、ボックス１２ａ内に真空を伝達する状態に切
り換わって、真空吸着体１２の吸着部１２ｄがエキスパ
ンションシート５の裏面に接触した状態でこれを吸着
し、これと殆ど同時に、真空吸着体１２の吸着部１２ｄ
が、エキスパンションシート５に吸着した状態のまま、
ダイヤフラム１２ｂを引き伸ばしつつ針状体２５の軸方
向に沿って後退する。
【００２５】すると、針状体１３が真空吸着体１２の底
板１２ｃに固着されていることにより、針状体１３の先
端が、真空吸着体１２における吸着部１２ｂから突出
し、エキスパンションシート５のうち真空吸着体１２に
おける吸着部１２ｄで囲われた部位が、ピックアップコ
レット１１ａに向けて凸の断面く字状に変形するため、
針状体１３と一方のピックアップコレット１１ａとの間
に位置した半導体チップ６が、ピックアップコレット１
１ａに向けて突き出された状態になる。
板１２ｃに固着されていることにより、針状体１３の先
端が、真空吸着体１２における吸着部１２ｂから突出
し、エキスパンションシート５のうち真空吸着体１２に
おける吸着部１２ｄで囲われた部位が、ピックアップコ
レット１１ａに向けて凸の断面く字状に変形するため、
針状体１３と一方のピックアップコレット１１ａとの間
に位置した半導体チップ６が、ピックアップコレット１
１ａに向けて突き出された状態になる。
【００２６】そこで、一方のピックアップコレット１１
ａを、真空を作用させた状態で、第１往復機構２１に
て、前記エキスパンションシート５に向けて前進動して
から後退動させることにより、前記のように針状体１３
にて突き出されている半導体チップ６を、一方のピック
アップコレット１１ａにてピックアップする。
ａを、真空を作用させた状態で、第１往復機構２１に
て、前記エキスパンションシート５に向けて前進動して
から後退動させることにより、前記のように針状体１３
にて突き出されている半導体チップ６を、一方のピック
アップコレット１１ａにてピックアップする。
【００２７】なお、針状体１３の先端を尖らせて、針状
体１３にてエキスパンションシート５を突き破るように
しても良い。
体１３にてエキスパンションシート５を突き破るように
しても良い。
【００２８】このようにして半導体チップ６を一方のピ
ックアップコレット１１ａにてピックアップすると、当
該一方のピックアップコレット１１ａは、回転体９が１
８０度回転することにより、リードフレーム２における
半導体チップ搭載部２ａの上方に移動し、その位置でリ
ードフレーム２に向けて下降して吸着を解除することに
より、半導体チップ６がリードフレーム２の半導体チッ
プ搭載部２ａに供給される。他方のピックアップコレッ
ト１１ｂは、その軸心が針状体１３の軸心と一致するよ
うに移動する。
ックアップコレット１１ａにてピックアップすると、当
該一方のピックアップコレット１１ａは、回転体９が１
８０度回転することにより、リードフレーム２における
半導体チップ搭載部２ａの上方に移動し、その位置でリ
ードフレーム２に向けて下降して吸着を解除することに
より、半導体チップ６がリードフレーム２の半導体チッ
プ搭載部２ａに供給される。他方のピックアップコレッ
ト１１ｂは、その軸心が針状体１３の軸心と一致するよ
うに移動する。
【００２９】そして、前記したように一方のピックアッ
プコレット１１ａにて半導体チップ６がピックアップさ
れると、前記ボックス１２ａ内は、三方切換弁１７の切
り換え作動によって大気に解放され、ダイヤフラム１２
ｂが自身の弾性復元力及びばね１９力にて元の位置に復
帰したのち、ＸＹテーブル３の作動によって、次の半導
体チップ６が、針状体１３と他方のピックアップコレッ
ト１１ｂとの間に位置するように位置決めされ、これ
が、第２往復動機構２２にて前進動した他方のピックア
ップコレット１１ｂによってピックアップされて、リー
ドフレーム２の搭載部２ａに供給されるのであり、これ
ら一連のサイクルを繰り返すことにより、エキスパンシ
ョンシート５における半導体チップ６を、リードフレー
ム２における各半導体チップ搭載部２ａに対して一個ず
つ供給することができる。
プコレット１１ａにて半導体チップ６がピックアップさ
れると、前記ボックス１２ａ内は、三方切換弁１７の切
り換え作動によって大気に解放され、ダイヤフラム１２
ｂが自身の弾性復元力及びばね１９力にて元の位置に復
帰したのち、ＸＹテーブル３の作動によって、次の半導
体チップ６が、針状体１３と他方のピックアップコレッ
ト１１ｂとの間に位置するように位置決めされ、これ
が、第２往復動機構２２にて前進動した他方のピックア
ップコレット１１ｂによってピックアップされて、リー
ドフレーム２の搭載部２ａに供給されるのであり、これ
ら一連のサイクルを繰り返すことにより、エキスパンシ
ョンシート５における半導体チップ６を、リードフレー
ム２における各半導体チップ搭載部２ａに対して一個ず
つ供給することができる。
【００３０】なお、従来は、認識カメラ２０を、ピック
アップコレット１１ａ（１１ｂ）を挟んでエキスパンシ
ョンシート５と反対側に配置していたため、ピックアッ
プコレット１１ａ（１１ｂ）がリードフレーム２に向け
て移動するまでは半導体チップ６の認識作業をすること
ができず、時間のロスが多いと言う問題があったが、実
施例のように、真空吸着体１２を挟んでエキスパンショ
ンシート５の反対側に認識カメラ２０等の認識手段を設
けておくと、常時半導体チップ６を認識できる態勢にあ
るため、ピックアップコレット１１ａ（１１ｂ）にて半
導体チップ６を吸着してピックアップすると、ただち
に、次の半導体チップ６が針状体１３の軸心上に位置す
るようにウエハートレー４を移動調節することができ、
従って、半導体チップ６の認識時間のロスをなくして、
リードフレーム２への半導体チップ６の移送効率を向上
できる利点がある。
アップコレット１１ａ（１１ｂ）を挟んでエキスパンシ
ョンシート５と反対側に配置していたため、ピックアッ
プコレット１１ａ（１１ｂ）がリードフレーム２に向け
て移動するまでは半導体チップ６の認識作業をすること
ができず、時間のロスが多いと言う問題があったが、実
施例のように、真空吸着体１２を挟んでエキスパンショ
ンシート５の反対側に認識カメラ２０等の認識手段を設
けておくと、常時半導体チップ６を認識できる態勢にあ
るため、ピックアップコレット１１ａ（１１ｂ）にて半
導体チップ６を吸着してピックアップすると、ただち
に、次の半導体チップ６が針状体１３の軸心上に位置す
るようにウエハートレー４を移動調節することができ、
従って、半導体チップ６の認識時間のロスをなくして、
リードフレーム２への半導体チップ６の移送効率を向上
できる利点がある。
【００３１】この場合、実施例のように、半導体チップ
６の認識手段としてレンズ２０ａを備えた認識カメラ２
１を使用した場合、レンズ２０ａの焦点を半導体チップ
６に合わせると、針状体１３がレンズ２０ａと当該レン
ズ２０ａの焦点との間に位置することにより、針状体１
３が認識カメラ２０に写ることはないので、認識カメラ
２０による半導体チップ６の認識が阻害されることはな
い。
６の認識手段としてレンズ２０ａを備えた認識カメラ２
１を使用した場合、レンズ２０ａの焦点を半導体チップ
６に合わせると、針状体１３がレンズ２０ａと当該レン
ズ２０ａの焦点との間に位置することにより、針状体１
３が認識カメラ２０に写ることはないので、認識カメラ
２０による半導体チップ６の認識が阻害されることはな
い。
【００３２】図６及び図７に示すのは、前記実施例のダ
イヤフラム１２ｂに代えて蛇腹管を利用して吸着部を移
動自在に構成したものである。
イヤフラム１２ｂに代えて蛇腹管を利用して吸着部を移
動自在に構成したものである。
【００３３】すなわち、この実施例は、真空吸着体１２
を、針状体１３の軸方向に沿って伸縮自在な蛇腹管１２
ｆと、該蛇腹管１２ｆの一端に固着した剛性素材製の蓋
板１２ｇ、及び、蛇腹管１２ｆの他端に固着した透明板
製の底板１２ｃとで構成し、前記蓋板１２ｂに吸着部１
２ｄを設ける一方、底板１２ｃに真空伝達通路１５を接
続し、更に、蓋板１２ｇと底板１２ｃとの間に、蓋体１
２ｇに対する戻し用ばね１９を介挿したものである。符
号２３，２４はストッパーを兼用するリング状のガイド
体である。
を、針状体１３の軸方向に沿って伸縮自在な蛇腹管１２
ｆと、該蛇腹管１２ｆの一端に固着した剛性素材製の蓋
板１２ｇ、及び、蛇腹管１２ｆの他端に固着した透明板
製の底板１２ｃとで構成し、前記蓋板１２ｂに吸着部１
２ｄを設ける一方、底板１２ｃに真空伝達通路１５を接
続し、更に、蓋板１２ｇと底板１２ｃとの間に、蓋体１
２ｇに対する戻し用ばね１９を介挿したものである。符
号２３，２４はストッパーを兼用するリング状のガイド
体である。
【００３４】この実施例では、真空吸着体１２内に真空
が伝達されると、吸着部１２ｄがエキスパンションシー
ト５に吸着し、これと殆ど同時に、蛇腹管１２ｆが縮み
変形して、吸着部１２ｄが真空吸着体１２における底板
１２ｃの方向に後退動することになり、第１の実施例と
同様の作用・効果を奏することができる。
が伝達されると、吸着部１２ｄがエキスパンションシー
ト５に吸着し、これと殆ど同時に、蛇腹管１２ｆが縮み
変形して、吸着部１２ｄが真空吸着体１２における底板
１２ｃの方向に後退動することになり、第１の実施例と
同様の作用・効果を奏することができる。
【００３５】この第２の実施例において、蛇腹管１２ｆ
を無くして、ガイド体２３，２４のガイド作用を利用し
て、吸着部１２ｃを移動させるようにしても良い。
を無くして、ガイド体２３，２４のガイド作用を利用し
て、吸着部１２ｃを移動させるようにしても良い。
【００３６】上記各実施例のように、吸着体１２におけ
る吸着部１２ｄをエキスパンションシート５に接当させ
るか又はエキスパンションシート５を押圧した状態にし
ておくと、エキスパシンョンシート５の振動を防止し
て、半導体チップ６の位置決めを的確に行うことができ
る利点を有する。
る吸着部１２ｄをエキスパンションシート５に接当させ
るか又はエキスパンションシート５を押圧した状態にし
ておくと、エキスパシンョンシート５の振動を防止し
て、半導体チップ６の位置決めを的確に行うことができ
る利点を有する。
【００３７】本発明は、第１の実施例のようにリードフ
レーム２の移送路１とＸＹテーブル３とを互いに直交し
た平面に沿って延びるように構成したピックアップ装置
のみでなく、図８に示すように、リードフレーム２の移
送経路１とエキスパンションシート５とを水平面上に延
びるように配設して、ピックアップコレット１１を、エ
キスパンションシート５とリードフレーム２との間を水
平方向に往復動させるように構成して成るピックアップ
装置にも適用できることは言うまでもない。
レーム２の移送路１とＸＹテーブル３とを互いに直交し
た平面に沿って延びるように構成したピックアップ装置
のみでなく、図８に示すように、リードフレーム２の移
送経路１とエキスパンションシート５とを水平面上に延
びるように配設して、ピックアップコレット１１を、エ
キスパンションシート５とリードフレーム２との間を水
平方向に往復動させるように構成して成るピックアップ
装置にも適用できることは言うまでもない。
【図１】第１の実施例を示す縦断正面図である。
【図２】図１のII−II視断面図である。
【図３】図１のIII −III 視側面図である。
【図４】図１の要部拡大図である。
【図５】図４の作用状態を示す図である。
【図６】第２の実施例を示す断面図である。
【図７】図６の作用状態を示す図である。
【図８】他の適用例を示す図である。
【図９】従来例を示す断面図である。
【図１０】従来例を示す断面図である。
１ リードフレームの移送経路 ２ リードフレーム ２ａ 半導体チップ搭載部 ５ エキスパンションシート ６ ペレットの一例としての半導体チップ １１，１１ａ，１１ｂ ピックアップコレット １２ 真空吸着体 １２ａ ボックス １２ｂ ダイヤフラム １２ｄ 吸着部 １２ｆ 蛇腹管 １２ｇ 蓋板 １３ 針状体 １５ 真空伝達路
Claims (1)
- 【請求項１】表面にペレットを貼着したエキスパンショ
ンシートの表面側に、前記ペレットに対するピックアッ
プコレットを配設する一方、前記エキスパンションシー
トの裏面側に、前記ピックアップコレットに向けて延び
る針状体を備えた真空吸着体を配設し、該真空吸着体
に、内部を前記針状体が通過するようにリング状に構成
した吸着部を、内部を気密にしたダイヤフラム又は伸縮
自在な蛇腹管にて、前記針状体の軸線方向に自在に往復
動するように設けて、この吸着部を、前記ダイヤフラム
又は蛇腹管内への真空発生源からの負圧の伝達にて当該
吸着部が前記エキスパンションシートの裏面に接触した
状態で前記ピックアップコレットから離れる方向に後退
動し、前記ダイヤフラム又は蛇腹管内への負圧伝達の遮
断にて当該吸着部が前記ピックアップコレットに向かっ
て前進動するように構成したことを特徴とするペレット
のピックアップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17816091A JP3228959B2 (ja) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | ペレットのピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17816091A JP3228959B2 (ja) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | ペレットのピックアップ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0529439A JPH0529439A (ja) | 1993-02-05 |
| JP3228959B2 true JP3228959B2 (ja) | 2001-11-12 |
Family
ID=16043681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17816091A Expired - Fee Related JP3228959B2 (ja) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | ペレットのピックアップ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3228959B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102015016763B3 (de) | 2015-12-23 | 2017-03-30 | Mühlbauer Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zum Positionieren und Übertragen auf einem Substrat bereitgestellter elektronischer Bauteile |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5976306A (en) * | 1998-02-18 | 1999-11-02 | Hover-Davis, Inc. | Method and apparatus for removing die from an expanded wafer and conveying die to a pickup location |
| JP5257890B2 (ja) * | 2007-12-04 | 2013-08-07 | 上野精機株式会社 | ウエハリング供給排出装置 |
| TW201044489A (en) * | 2009-06-11 | 2010-12-16 | Utechzone Co Ltd | Assembly with chip-ejection device and image-capturing device |
| TWI408763B (zh) * | 2009-08-12 | 2013-09-11 | Utechzone Co Ltd | A combination of wafer ejection devices and image capturing devices |
| JP5229832B2 (ja) | 2010-12-22 | 2013-07-03 | トヨタ紡織株式会社 | 車両用シート |
| DE102011104225B4 (de) * | 2011-06-15 | 2017-08-24 | Mühlbauer Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zum Positionieren eines elektronischen Bauteils und / oder eines Trägers relativ zu einer Ausstoßeinrichtung |
| JP6571176B2 (ja) * | 2015-05-08 | 2019-09-04 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 部品実装機、および部品実装機の部品供給方法 |
| JP2017130499A (ja) * | 2016-01-19 | 2017-07-27 | 東レエンジニアリング株式会社 | チップ部品ピックアップ装置およびこれを用いたニードルとコレットの位置合わせ方法 |
| JP6519761B2 (ja) * | 2017-08-25 | 2019-05-29 | 上野精機株式会社 | 電子部品受渡し装置 |
-
1991
- 1991-07-18 JP JP17816091A patent/JP3228959B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102015016763B3 (de) | 2015-12-23 | 2017-03-30 | Mühlbauer Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zum Positionieren und Übertragen auf einem Substrat bereitgestellter elektronischer Bauteile |
| WO2017108390A1 (de) | 2015-12-23 | 2017-06-29 | Muehlbauer GmbH & Co. KG | Vorrichtung und verfahren zum positionieren und übertragen elektronischer bauteile |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0529439A (ja) | 1993-02-05 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |