CN102046338B - 输送装置、位置示教方法以及传感器夹具 - Google Patents

输送装置、位置示教方法以及传感器夹具 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种通过进行通常的输送动作而能够获取输送位置的示教信息的、通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送的输送装置、位置示教方法以及传感器夹具。在传感器夹具(30)将透射光式传感器(32)设置为使光轴(41)和光轴(42)向投影面投影的投影线段相互交叉，且光轴(41)的投影线段与光轴(42)的投影线段均不沿X方向及Y方向。在位置示教时，将该传感器夹具(30)把持设置在晶片输送部(24)而检测目标部件(51、52)。

Description

输送装置、位置示教方法以及传感器夹具
技术领域
本发明涉及通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送的输送装置、向该输送装置示教输送轨迹上的规定的目标位置的位置示教方法、以及为了得到用于示教的信息的传感器夹具。尤其涉及用于以半导体晶片、液晶面板、有机EL面板、太阳能电池用面板等薄物状物作为被输送物进行输送的输送装置、位置示教方法以及传感器夹具。
背景技术
以往，向半导体晶片、液晶面板、有机EL面板、太阳能电池用面板等薄物状物的输送装置示教输送位置的作业通过作业者将被输送物(输送对象物)或示教用的夹具设置于输送端(输送口)，将输送装置引导至输送位置，而由目视确认示教位置。因此，作业耗费时间，且根据作业者的熟练程度的不同，精度会产生较大差别。另外，作业者通过输送装置进行视觉确认的困难也较多，进而也有进入输送装置的可动范围内的作业，还存在危险的情况。因此，提出了使用各种传感器和示教用的夹具检测输送对象物，然后自动地向输送装置示教输送位置的自动示教的方法。
例如，在专利文献1中公开了如下方法，即，在设有半导体晶片的位置设置示教用夹具，利用设于机械手(输送装置)的手部前端的透射光式传感器检测示教用夹具，从而示教半导体晶片的位置。另外，在专利文献2中公开了如下系统，即，利用安装于输送装置的臂部的光传感器头，以非接触的方式检测设于输送位置的被检测物，根据检测出的被检测物的位置信息获取输送位置的示教信息。
专利文献1：WO2003/022534号公报；
专利文献2：日本专利第3306398号公报。
然而，在以往的方法中，由于利用了以输送装置的臂的伸缩方向(Y方向)及与该伸缩方向大致正交的方向(X方向)为光轴的透射光式传感器，因此进行了与通常的输送动作不同的回避动作以获取示教信息。例如，为了通过各自不同的动作获取X方向及Y方向的位置信息而算出输送位置的示教信息，必须进行向X方向及Y方向直线移动的回避动作。因此，当进行实际的输送动作时，存在必须对由于回避动作的不同而产生的输送装置各轴的窜动(以下称为间隙)进行补正的问题。
另外，虽为自动示教，但并不是所有的动作均自动执行，而需要基于作业者的目视来确认动作可否。
发明内容
本发明是为了解决如上的问题点而作出的，因此，提供一种通过进行通常的输送动作而能够获取输送位置的示教信息的、通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送的输送装置、位置示教方法以及传感器夹具。
为了解决现有技术的问题点而提供了如下发明。
本发明第一方面的输送装置通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，以铅垂方向为Z方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，且具备：透射光式传感器，其至少具有一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部；一个以上的目标部件，其能够对所述光轴进行遮光；示教信息算出机构，其从所述透射光式传感器获取所述目标部件使所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据所述位置信息算出针对所述输送轨迹上的规定的目标位置的示教信息；控制机构，其根据利用所述示教信息算出机构算出的针对所述目标位置的所述示教信息，控制所述被输送物的输送位置，所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部设置所述目标部件。
由此，能够通过输送装置的通常的输送动作，即，不进行用于示教作业的回避动作的情况下，获取输送位置的示教信息。例如，能够通过臂的伸缩获取X方向及Y方向的位置信息，算出输送位置的示教信息。从而，能够在不考虑输送装置的各轴间隙的情况下算出示教信息。即，能够以容易的方法算出示教信息，并且，能够缩短算出时间。
在此，臂是指将多个部件中其前端部分和基端部分加以连结而长条状一体化，并能够在驱动源的作用下伸缩运动的部件。臂的前端部为输送物输送部，具备将输送物定位在臂的前端部上的一定位置的公知的夹紧机构。
另外，目标部件可以是已经设置在输送部的前端部或目标位置的附近部的部件，也可以是安装在设于输送部的前端部或目标位置的附近部的遮光夹具上的部件，优选为圆柱(销)状。
另外，透射光式传感器是安装在设于输送部的前端部或目标位置的附近部的传感器夹具上的传感器。
另外，以铅垂方向为Z方向，以相对于铅垂方向成直角的平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方向。因此，X方向、Y方向及Z方向表示设计上的方向。另外，R方向为输送部(臂的前端部)的直行方向。另外，输送部的旋转中心轴为θ轴。
本发明第二方面的输送装置的特征在于，本发明第一方面的输送装置的所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方向或X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。
由此，能够获取精度更高的示教信息。即，使通过至少两个目标部件的方向与规定的已知方向一致，从而能够获取针对准确的输送位置的示教信息。
本发明第三方面的输送装置以本发明第二方面的输送装置为基础，其特征在于，通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。
由此，能够通过更简单的计算获取精度更高的示教信息。
本发明第四方面的输送装置以本发明第一至第三方面中任一方面的输送装置为基础，其特征在于，以所述输送部的直行方向为R方向，所述示教信息算出机构包括：Z轴补正信息算出机构，其根据使所述光轴向Z方向相对于一个所述目标部件相对地移动、而由该目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进行Z方向的位置补正的所述示教信息；θ轴补正信息算出部，其根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由一个所述目标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于该目标部件相对地平行移动直至该光轴投光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；X轴补正信息算出机构，在具有两个所述光轴的情况下，其根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；Y轴补正信息算出部，在具有两个所述光轴的情况下，其根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而在两个所述光轴交叉的情况下两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息、或在两个所述光轴不交叉的情况下至少一个所述光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。
输送装置通过Z轴补正信息算出机构算出Z轴方向相对于输送位置的位置补正值，通过θ轴补正信息算出部算出使输送部的直行方向(R方向)与Y方向一致的(以下称为θ轴补正)、即使输送部的直行方向为Y方向的补正值，通过X轴补正信息算出机构算出X轴方向相对于输送位置的位置补正值，通过Y轴补正信息算出部算出Y轴方向相对于输送位置的位置补正值。
由此，能够通过重复进行通常的输送动作来算出用于进行输送装置相对于输送位置的Z轴方向位置补正、θ轴补正、X轴方向位置补正及Y方向位置补正的示教信息。
本发明第五方面的输送装置以本发明第四方面的输送装置为基础，其特征在于，具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件中的一个所述目标部件为第一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二目标部件，所述示教信息算出机构具有S轴补正信息算出机构，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为Y方向的情况下，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为X方向的情况下，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与X方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴与Y方向及X方向不同的情况下，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y方向与设计上的Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息。
输送装置通过S轴补正信息算出机构算出例如使成为设置上的Y方向的通过目标位置的中心轴(S轴)与输送部的直行方向(R方向)一致的补正值。即，由于通过θ轴补正信息算出部进行补正而使R方向与Y方向一致，因此，利用S轴补正信息算出机构算出使S轴与Y方向一致的补正。或者，例如算出使成为设置上的X方向的通过目标位置的中心轴(S轴)与设计上的X方向一致的补正值。即，通过S轴补正信息算出机构算出使S轴与X方向一致的补正。
由此，能够通过重复进行通常的输送动作算出用于进行输送位置的Y方向的中心轴补正的示教信息、或用于进行输送位置的X方向的中心轴补正的示教信息。
本发明第六方面的输送装置，其通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，以铅垂方向为Z方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，且具备：透射光式传感器，其至少具有一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部；一个以上的目标部件，其能够对所述光轴进行遮光；一个以上的临时补正目标部件，其相对于能够对所述光轴进行遮蔽的所述目标部件的相对位置为已知；示教信息算出机构，其从所述透射光式传感器获取所述目标部件及所述临时补正目标部件使所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据所述位置信息算出针对所述输送轨迹上的规定的目标位置的示教信息；控制机构，其根据利用所述示教信息算出机构算出的针对所述目标位置的所述示教信息，控制所述被输送物的输送位置，所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，所述目标部件及所述临时补正目标部件设置在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部，且所述临时补正目标部件设置在所述透射光式传感器与所述目标部件之间。
由此，能够通过输送装置的通常的输送动作，即，不进行用于示教作业的回避动作的情况下，获取输送位置的示教信息。例如，能够通过臂的伸缩获取X方向及Y方向的位置信息，算出输送位置的示教信息。从而，能够在不考虑输送装置的各轴间隙的情况下算出示教信息。即，能够以容易的方法算出示教信息，并且，能够缩短算出时间。
另外，当目标位置周围的空间区域窄，为了获取针对目标位置的示教信息而使输送装置动作时，在可能会引起目标位置周围的设备等部件与输送部碰撞的情况下，例如通过在目标位置设置目标部件，并将其设置在不引起目标位置周围的设备等部件和输送部的接触的目标位置与输送部之间，从而，能够防止目标位置周围的设备等部件与输送部的接触，同时获取针对目标位置的示教信息。
本发明第七方面的输送装置的特征在于，本发明第六方面的输送装置的所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方向或X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。
由此，能够获取精度更高的示教信息。即，使通过至少两个目标部件的方向与规定的已知方向一致，从而能够获取针对准确的输送位置的示教信息。
本发明第八方面的输送装置以本发明第七方面的输送装置为基础，其特征在于，通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。
由此，能够通过更简单的计算获取精度更高的示教信息。
本发明第九方面的输送装置以本发明第六至第八方面中任一方面的输送装置为基础，其特征在于，以所述输送部的直行方向为R方向，所述示教信息算出机构包括：Z轴补正信息算出机构，其根据使所述光轴向Z方向相对于所述临时补正目标部件相对地移动、而由该临时补正目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进行Z方向的位置补正的所述示教信息；θ轴补正信息算出部，其根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由所述临时补正目标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于该临时补正目标部件相对地平行移动直至该光轴投光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；一次X轴补正信息算出机构，在具有两个所述光轴的情况下，其根据使所述光轴向R方向相对于所述临时补正目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；Y轴补正信息算出部，在具有两个所述光轴的情况下，其根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而在两个所述光轴交叉的情况下两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息、或在两个所述光轴不交叉的情况下至少一个所述光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。
输送装置通过Z轴补正信息算出机构算出Z轴方向相对于输送位置的位置补正值，通过θ轴补正信息算出部算出使输送部的直行方向(R方向)与Y方向一致的(以下称为θ轴补正)、即使输送部的直行方向为Y方向的补正值，通过一次X轴补正信息算出机构算出X轴方向相对于输送位置的位置补正值，通过Y轴补正信息算出部算出Y轴方向相对于输送位置的位置补正值。
由此，能够通过重复通常的输送动作算出用于进行输送装置相对于输送位置的Z轴方向位置补正、θ轴补正、X轴方向位置补正以及Y轴方向位置补正的示教信息。
本发明第十方面的输送装置以本发明第九方面的输送装置为基础，其特征在于，具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件中的一个所述目标部件为第一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二目标部件，所述示教信息算出机构包括：S轴补正信息算出机构，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为Y方向的情况下，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为X方向的情况下，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与X方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；二次X轴补正信息算出机构，在具有两个所述光轴的情况下，该二次X轴补正信息算出机构根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴与Y方向及X方向不同的情况下，该二次X轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y方向与设计上的Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息。
输送装置通过S轴补正信息算出机构算出例如使成为设置上的Y方向的通过目标位置的中心轴(S轴)与输送部的直行方向(R方向)一致的补正值。即，由于通过θ轴补正信息算出部进行补正而使R方向与Y方向一致，因此，通过S轴补正信息算出机构算出使S轴与Y方向一致的补正。或者，算出例如使成为设置上的X方向的通过目标位置的中心轴(S轴)与设计上的X方向一致的补正值。即，通过S轴补正信息算出机构算出使S轴与X方向一致的补正。
另外，通过二次X轴补正信息算出机构算出X轴方向相对于输送位置的准确的位置补正值。
由此，能够通过重复通常的输送动作算出用于进行输送位置的Y方向的中心轴补正或输送位置的X方向的中心轴补正以及X轴方向位置补正的示教信息。
本发明第一方面的位置示教方法向输送装置示教输送轨迹上的规定的目标位置，所述输送装置通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的所述输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述位置示教方法的特征在于，以铅垂方向为Z方向，以设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于位于所述平面上的Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，所述位置示教方法包括如下工序：(a)通过使透射光式传感器相对于设置在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的一个以上的目标部件相对地移动，而获取所述目标部件使所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据获取到的所述位置信息算出针对所述目标位置的示教信息，其中，所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，具有至少一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部。
由此，获得与上述本发明第一方面的输送装置等同的效果。
本发明第二方面的位置示教方法的特征在于，本发明第一方面的位置示教方法的所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方向或X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。
由此，能够获得与上述本发明第二方面的输送装置等同的效果。
本发明第三方面的位置示教方法以本发明第二方面的位置示教方法为基础，通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。
由此，能够获得与上述本发明第三方面的输送装置等同的效果。
本发明第四方面的位置示教方法以本发明第一至第三方面中任一方面的位置示教方法为基础，其特征在于，以所述输送部的直行方向为R方向，所述工序(a)包括下述四个工序中的至少一个工序：(b)根据使所述光轴向Z方向相对于一个所述目标部件相对地移动、而由该目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进行Z方向的位置补正的所述示教信息；(c)根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由一个所述目标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于该目标部件相对地平行移动直至该光轴投光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；(d)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；(e)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而在两个所述光轴交叉的情况下两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，或在两个所述光轴没有交叉的情况下至少一个所述光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。
由此，能够获得与上述本发明第四方面的输送装置等同的效果。
本发明第五方面的位置示教方法以本发明第一至第四方面中任一方面的位置示教方法为基础，其特征在于，具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件中的一个所述目标部件为第一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二目标部件，所述工序(a)包括下述工序：(f)在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为Y方向的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为X方向的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与X方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴与Y方向及X方向不同的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y方向与设计上的Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；(g)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息。
由此，能够获得与上述本发明第五方面的输送装置等同的效果。
本发明第六方面的位置示教方法向输送装置示教输送轨迹上的规定的目标位置，所述输送装置通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的所述输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述位置示教方法的特征在于，以铅垂方向为Z方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，且包括如下工序：(a1)通过使透射光式传感器相对于一个以上的目标部件以及一个以上的临时补正目标部件相对地移动，而获取所述目标部件及所述临时补正目标部件使所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据获取到的所述位置信息算出针对所述目标位置的示教信息，其中，所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，具有至少一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部，一个以上的所述目标部件设置在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部，一个以上的所述临时目标部件设置在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部并设置在所述透射光式传感器与所述目标部件之间，且相对于所述目标部件的相对位置为已知。
由此，能够获得与上述本发明第六方面的输送装置等同的效果。
本发明第七方面的位置示教方法的特征在于，本发明第六方面的位置示教方法的所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方向或X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。
由此，能够获得与本发明第七方面的输送装置等同的效果。
本发明第八方面的位置示教方法以本发明第七方面的位置示教方法为基础，通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。
由此，能够获得与上述本发明第八方面的输送装置等同的效果。
本发明第九方面的位置示教方法以本发明第六至第八方面中任一方面的位置示教方法为基础，以所述输送部的直行方向为R方向，所述工序(a1)包括下述四个工序中的至少一个工序：(b1)根据使所述光轴向Z方向相对于所述临时补正目标部件相对地移动、而由该临时补正目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进行Z方向的位置补正的所述示教信息；(c1)根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由所述临时补正目标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于该临时补正目标部件相对地平行移动直至该光轴投光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；(d1)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于所述临时补正目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；(e1)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而在两个所述光轴交叉的情况下两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息、或在两个所述光轴没有交叉的情况下至少一个所述光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。
由此，获得与上述本发明第九方面的输送装置等同的效果。
本发明第十方面的位置示教方法以本发明第六至第九方面中任一方面的位置示教方法为基础，具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件中的一个所述目标部件为第一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二目标部件，所述工序(a1)包括下述两个工序中的至少一个工序：(f1)在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为Y方向的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为X方向的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与X方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴与Y方向及X方向不同的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y方向与设计上的Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；(g1)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息。
由此，获得与上述本发明第十方面的输送装置等同的效果。
本发明第一方面的传感器夹具通过与目标部件相对地平行移动而检测所述目标部件，其特征在于，至少具有一个从透射光式传感器的投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在同一投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴相对于投影到所述投影面上的向所述目标部件的相对的移动方向及与所述移动方向成直角的方向不平行的方式配置所述投光部和所述受光部。
通过设于将被输送物在预先设定的输送轨迹上进行输送的输送装置的输送部的前端部、或所述输送轨迹上的规定的目标位置的附近部，而获得与上述本发明第一方面至第十方面中任一方面的输送装置等同的效果。
本发明第十一方面的输送装置通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，具备本发明第一方面的传感器夹具，根据利用所述传感器夹具的所述透射光式传感器获取的、所述目标部件使所述光轴从投光成为遮光时或从遮光成为投光时的位置信息，算出针对所述输送轨迹上的规定的目标位置的示教信息。
由此，获得与上述本发明第一方面至第十方面中任一方面所述的输送装置等同的效果。
根据本发明，能够通过输送装置通常的输送动作，即，不进行用于示教作业的回避动作的情况下，获得输送位置的示教信息。例如，能够通过臂的伸缩获取X方向及Y方向的位置信息，而算出输送位置的示教信息。从而，能够在不考虑输送装置的各轴间隙的情况下算出示教信息。即，能够容易地进行示教信息的算出，并且，能够缩短算出时间。
另外，当输送位置周围的空间区域窄，为了获取针对输送位置的示教信息而使输送装置动作时，在可能会引起输送位置周围的设备等部件与输送部碰撞的情况下，例如通过在目标位置设置目标部件，并将其设置在不引起目标位置周围的设备等部件和输送部的接触的目标位置与输送部之间，从而，能够防止目标位置周围的设备等部件与输送部的接触，同时获取针对目标位置的示教信息。
附图说明
图1是用于说明本发明一实施方式的输送装置的图。
图2是用于说明输送机械手12的图。
图3是表示传感器夹具的一例的图。
图4是用于说明传感器夹具的安装状态的图。
图5是表示遮光夹具的一例的图。
图6是表示晶片输送装置10中的自动示教的控制机构的一例的块图。
图7是表示自动示教的示意处理步骤的一例的流程图。
图8是表示其他遮光夹具的一例的图。
图9是表示Z轴补正处(S101)的处理步骤的一例的流程图。
图10是用于说明输送机械手12的初始位置的一例的图。
图11是表示θ轴补正处理(S102)的处理步骤的一例的流程图。
图12是用于说明输送机械手12的动作的一例的图。
图13是用于说明θ轴补正的示教信息的算出方法的图。
图14是表示X轴补正处(S103)的处理步骤的一例的流程图。
图15是用于说明输送机械手12的动作的一例的图。
图16是用于说明X轴补正的示教信息的算出方法的图。
图17是表示S轴补正处理(S104)的处理步骤的一例的流程图。
图18是用于说明输送机械手12的动作的一例的图。
图19是用于说明S轴补正的示教信息的算出方法的图。
图20是表示二次X轴补正处理(S105)的处理步骤的一例的流程图。
图21是表示Y轴补正处(S106)的处理步骤的一例的流程图。
图22是用于说明输送机械手12的动作的一例的图。
图23是表示其他的传感器夹具的一例的图。
图24是表示又一传感器夹具的一例的图。
符号说明
10晶片输送装置
150晶片收纳容器
12输送机械手(主体部)
11装载口
13X轴工作台
21支柱部
22第一臂
23第二臂
24晶片输送部
25回旋部
30传感器夹具
32透射光式传感器
41、42光轴
50遮光夹具
51、52遮光销
60示教信息算出部
61Z轴补正信息算出部
62θ轴补正信息算出部
63X轴补正信息算出部
64Y轴补正信息算出部
65S轴补正信息算出部
70控制部
75驱动部
76无线信号发射机
77电池
具体实施方式
参照附图对本发明一实施方式进行说明。此外，以下说明的实施方式只用于说明，并不限定本发明的范围。因而，本领域技术人员可以采用以与所述各要素或全部要素等同的要素进行置换的实施方式，但这些实施方式均包含在本发明的范围中。
针对实施向沿预先设定的输送轨迹输送被输送物的输送装置自动地示教(自动示教)该输送轨迹上的规定的输送位置(目标位置)的输送装置进行说明。
图1是用于说明本发明一实施方式的输送装置的图，图1(a)是示意俯视图，图1(b)是示意侧视图。以下，还举例说明了执行收纳有半导体晶片的晶片收纳容器(FOUP)和晶片处理装置之间的半导体晶片的输送的晶片输送装置(EFEM：Equipment Front End Module)作为输送装置。
如图1所示，晶片输送装置10执行晶片收纳容器150与晶片处理装置100之间的半导体晶片的输送。晶片输送装置10把持半导体晶片且具备主体部(输送机械手)12、装载口11、X轴工作台13。装载口11是如下所述的装置：搭载晶片收纳容器150，打开晶片收纳容器150的门(未图示)，由此输送机械手12移动至能够输送晶片收纳容器150中的半导体晶片的位置。另外，X轴工作台13为通过设置输送机械手12而使输送机械手12沿相对于铅垂方向(Z方向)成直角的图中的X轴方向(X方向)平行移动的装置。
此外，以相对于Z方向及X方向成直角的方向为Y方向。另外，在此将X方向、Y方向及Z方向作为晶片输送装置10设计上的方向，将X轴方向、Y轴方向及Z轴方向作为与晶片输送装置10设置上的X方向、Y方向及Z方向对应的方向。
其次，参照图2说明输送机械手12。图2是用于说明输送机械手12的图，图2(a)是输送机械手12的示意侧视图，图2(b)是输送机械手12的示意俯视图。
如图2所示，输送机械手12具备能够沿Z轴方向上下移动的圆筒状的支柱部21、以支柱部21的中心轴26为中心在相对于Z轴方向成直角的平面(回旋面)上回旋的回旋部25。回旋部25具备第一臂22、第二臂23、晶片输送部24。第一臂22安装于支柱部21且安装为能够以支柱部21的中心轴26为中心在回旋面上回旋。另外，第二臂23在与回旋面平行的平面上回旋自如，且按与第一臂22固定的速度比安装于第一臂22的前端。另外，晶片输送部24在与回旋面平行的平面上回旋自如，且按与第二臂23固定的速度比安装在第二臂23的前端。
回旋部25将以第一臂22的中心轴26为中心的回旋运动按固定的速度比向第二臂23及晶片输送部24传递，且将回旋运动变化为向通过晶片输送部24的中心轴26且与中心轴26成直角的方向(R方向)的伸缩运动。需要说明的是，晶片输送装置10以输送机械手12的R方向为Y方向的方式安装于X轴工作台13。从而，R方向为Y轴方向。
从而，如图1及图2所示，输送机械手12具有以下三个自由度，即，使回旋部25绕中心轴26回旋的移动(回旋移动)、使回旋部25向Y轴方向伸缩的Y轴移动(直线移动)、及使回旋部25向Z轴方向上下移动的Z轴移动(铅垂方向的上下移动)。另外，X轴工作台13具有使输送机械手12向X轴方向移动的X轴移动(平行移动)的一个自由度，因此，晶片输送装置10具有四个自由度。
其次，参照图3、图4及图5对安装于晶片输送装置10的、用于获取针对输送位置(目标位置)的示教信息的传感器夹具及遮光夹具进行说明。
图3是表示传感器夹具的一例的图，图3(a)是传感器夹具的示意立体图，图3(b)是传感器夹具的示意俯视图。另外，图4用于说明传感器夹具的安装状态的图，图4(a)是表示传感器夹具的安装状态的示意立体图，图4(b)是表示传感器夹具的安装状态的示意俯视图。另外，图5是表示遮光夹具的一例的图，图5(a)是遮光夹具的示意立体图，图5(b)是遮光销沿Y方向排列时的遮光夹具的示意俯视图，图5(c)是遮光销沿X方向排列时的遮光夹具的示意俯视图，图5(d)是遮光销沿与Y方向成角度δ的线上排列时的遮光夹具的示意俯视图。
如图3所示，在传感器夹具30设有透射光式传感器32。另外，透射光式传感器32具备投光部32a及32b和受光部32c及32d，将从未图示的透射光式传感器32的控制部经由连接器34传递的电信号通过放大器33转换成光信号而向投光部32a及32b引导。另外，来自受光部32c及32d的光信号通过放大器33转换成电信号，经由连接器34向透射光式传感器32的控制部传递。透射光式传感器32的控制部与后述的图6所示的示教信息算出部60连接，上述各电信号在透射光式传感器32的控制部与示教信息算出部60之间传递。
另外，如图4所示，传感器夹具30以透射光式传感器32成为晶片输送部24的前端部的方式把持设置于晶片输送部24。晶片输送部24构成为，在两个最前端部固定有输送物止挡件(ウエア止め)26a、26b，且在基端侧设有能够沿Y方向前后移动的夹紧件27a、27b，夹紧件27a、27b通过按压载置了的半导体晶片而能够一直对其进行定位。即，代替半导体晶片，载置传感器夹具30、或遮光夹具50而在晶片输送部24上定位。
另外，传感器夹具30具有与晶片输送部24的X方向的宽度大致相同的X方向的宽度，形成有与晶片输送部24的前端的开口部大致相同的开口部35。另外，传感器夹具30形成为能够使晶片输送部24与半导体晶片同样地把持传感器夹具30的形状。
另外，透射光式传感器32的投光部32a及32b和受光部32c及32d以如下方式配置于传感器夹具30，即，从投光部32a向受光部32c的光轴41和从投光部32b向受光部32d的光轴42向与X-Y平面平行的面(以下称为投影面)投影的投影线段相互交叉，且光轴41的投影线段与光轴42的投影线段均不是X轴方向及Y轴方向。另外，投光部32a及32b和受光部32c及32d以如下方式配置于传感器夹具30，即，光轴41和光轴42向通过晶片输送装置10的中心轴26的Y轴方向的直线(Y轴)上的投影面投影的投影线段在Y轴上交叉，光轴41的投影线段与光轴42的投影线段相对于该Y轴相互线对称。在此，对透射光式传感器32的光轴41与光轴42在Y轴上交叉、且光轴41的投影线段和光轴42的投影线段相对于该Y轴相互线对称的情况进行说明。
需要说明的是，在此，投影面为X-Y平面，但也可以是X-Z平面，也可以是X-Z平面。
另外，上述晶片输送部24为利用输送物止挡件26a、26b及夹紧件27a、27b机械地固定半导体晶片的机构，但可以为吸附半导体晶片而固定的机构，也可以为通过在该晶片输送部24设置销或台阶而进行固定的机构等各种机构。即，利用晶片输送部24的对应的半导体晶片的固定机构，代替半导体晶片，载置传感器夹具30、或遮光夹具50而在晶片输送部24上定位。
其次，对遮光夹具进行说明。如图5(a)所示，遮光夹具50具备两个圆柱状的遮光销(目标部件)51及52。例如，作为输送位置，在设定有图1所示的装载口11的情况下，遮光夹具50设置于装载口11。
因此，对遮光夹具50的背面实施与晶片收纳容器150的背面同样的定位用的加工，从而能够将遮光夹具50设置于装载口11。此外，遮光销51及52相对于遮光夹具50的基准位置的相对的位置、以及形状尺寸为已知。因此，通过遮光销51及52的中心的中心轴(S轴)的方向为已知。即，如图5(d)所示，将遮光夹具50配置于输送位置(装载口11)时，通过遮光销51及52的中心的中心轴(S轴)与Y方向所成的角度δ为已知，遮光销51及52相对于遮光夹具50的基准位置的位置以及遮光销51及52的形状尺寸为已知。
此外，遮光夹具50配置成下述等情况时能够以更简单的计算执行补正处理，所述情况例如图5(b)所示，将遮光夹具50配置于输送位置(装载口11)时，以通过遮光销51及52的中心的中心轴(S轴)与晶片输送装置10的Y方向平行的方式配置遮光销51及52，或如图5(c)所示，以S轴与晶片输送装置10的X方向平行的方式配置遮光销51及52。
因此，以下举例说明下述情况：当将遮光夹具50配置于输送位置(装载口11)时，遮光夹具50以通过遮光销51及52中心的中心轴(S轴)与晶片输送装置10的Y方向大致平行的方式配置。
其次，参照图6说明实施自动示教的晶片输送装置10的控制机构。图6表示晶片输送装置10的自动示教的控制机构的一例的块图。设于传感器夹具30的透射光式传感器32经由未图示的控制部与示教信息算出部60连接。透射光式传感器32的控制部向图3所示的放大器33供给电源，并且，从放大器33接收通过放大器33转换了的透射光式传感器32的透射/遮光引起的接通/断开信号，将该接收信号发送到示教信息算出部60。即，透射光式传感器32的控制部进行示教信息算出部60与透射光式传感器32之间的信号传送的中继，具有CC-Link(注册商标)和UNI-WIRE(注册商标)所代表的传送系统中的I/O终端的作用。
作为示教信息算出部60与透射光式传感器32之间的信号传送之外的机构，例如如图24所示，也可以构成为在传感器夹具30上搭载将通过放大器33转换了的电信号转换为蓝牙等无线信号发射的无线信号发射机76、向放大器33及无线信号发射机76进行电源供给的电池77。该情况下，在示教信息算出部60连接规定的接收机，由示教信息算出部60接收从无线信号发射机76发射出的信号。通过这种结构，无需采用图3所示的连接器34及透射光式传感器32的控制部。其结果是，在开始位置示教作业前，不必费时费力地将连接器34连接到与示教信息算出部60连接的透射光式传感器32的控制部，从而仅通过将传感器夹具30载置于晶片输送部24上就能够开始位置示教作业。
如图6所示，示教信息算出部60将用于获取针对输送位置的示教信息的输送动作信息向控制部70发送。控制部70根据接收到的输送动作信息来控制晶片输送装置10的驱动部75，使晶片输送装置10移动，并且使设于晶片输送部24的传感器夹具30移动。
示教信息算出部60根据通过该传感器夹具30的移动动作，由透射光式传感器32获取的设于输送位置的遮光夹具50所进行的光轴41和光轴42的遮光及投光的时刻信息；由控制部70获取的遮光及投光的时刻信息时的晶片输送装置10的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的驱动信息，算出针对输送位置的示教信息。另外，控制部70根据通过示教信息算出部60算出的示教信息控制半导体晶片的输送位置。另外，示教信息算出部60算出针对以下补正的示教信息。
(1)对晶片输送装置10的Z轴移动的补正(Z轴补正)
针对该补正的示教信息的算出由示教信息算出部60的Z轴补正信息算出部61执行。根据使输送机械手12向-Z轴方向移动的同时，光轴41或光轴42中任一方的光轴相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Z轴方向的驱动信息算出遮光销51的Z方向上端的中心位置，算出以使输送位置的Z方向的位置信息与晶片输送装置10的Z轴方向的位置信息一致的方式进行补正的示教信息。需要说明的是，输送机械手12的动作及示教信息的算出方法的详细情况后面叙述(参照图9及图10的说明)。
(2)对晶片输送装置10的θ轴移动的补正(θ轴补正)
针对该补正的示教信息的算出由示教信息算出部60的θ轴补正信息算出部62执行。根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41或光轴42中的任一方的光轴相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，以及使输送机械手12向X轴方向移动的同时，遮光了的光轴41或光轴42中的任一方的光轴相对于遮光销51的投光开始时刻的晶片输送装置10的X轴方向的驱动信息，算出晶片输送装置10的Y轴方向与Y方向的偏移角度。即，算出以使晶片输送装置10的Y轴方向与Y方向一致的方式进行补正的示教信息。在此，将晶片输送部24的旋转中心轴称为θ轴。需要说明的是，针对输送机械手12的动作及示教信息的算出方法的详细情况后面叙述(参照图11、图12及图13的说明)。
(3)对晶片输送装置10的X轴移动的补正(X轴补正)
针对该补正的示教信息的算出由示教信息算出部60的X轴补正信息算出部63执行。根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息的偏移量。即，算出以使输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息一致的方式进行补正的示教信息。需要说明的是，输送机械手12的动作及示教信息的算出方法的详细情况后面叙述(参照图14、图15、图16、及图20的说明)。
(4)对晶片输送装置10的Y轴移动的补正(Y轴补正)
针对该补正的示教信息的算出由示教信息算出部60的Y轴补正信息算出部64执行。根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出以使输送位置的Y方向的位置信息与晶片输送装置10的Y轴方向的位置信息一致的方式进行补正的示教信息。需要说明的是，输送机械手12的动作及示教信息的算出方法的详细情况后面叙述(参照图21及图22的说明)。
(5)遮光夹具50的Y方向补正或X方向补正(S轴补正)
针对该补正的示教信息的算出由示教信息算出部60的S轴补正信息算出部65执行。S轴为Y方向时，根据使输送机械手12从遮光销51的中心位置向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销52的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的Y方向的偏移角度。即，算出以使遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的Y方向一致的方式进行补正的示教信息。
另外，S轴为X方向时，根据使输送机械手12从遮光销51的中心位置向+X轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销52的遮光开始时刻的晶片输送装置10的X轴方向的驱动信息，算出遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的X方向的偏移角度。即，算出以使遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的X方向一致的方式进行补正的示教信息。
另外，S轴与Y方向及X方向不同时，根据使输送机械手12从遮光销51的中心位置向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销52的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出根据设置上的遮光夹具50的S轴算出的Y方向与输送位置的设计上的Y方向的偏移角度。即，算出以使遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的Y方向一致的方式进行补正的示教信息。
在此，如图5所示，由于以使S轴成为Y方向的方式设置遮光夹具，因此，算出以使遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的Y方向一致的方式进行补正的示教信息。需要说明的是，输送机械手12的动作及示教信息的算出方法的详细情况后面叙述(参照图17、图18及图19的说明)。
其次，参照图7说明自动示教的示意处理步骤，参照图9至图21说明自动示教的详细处理步骤。
图7表示自动示教的示意处理步骤的一例的流程图。
如图7所示，首先，在装载口11设置遮光夹具50，在输送机械手12的晶片输送部24设置传感器夹具30(S100)。
其次，根据使输送机械手12向-Z轴方向移动的同时，光轴41或光轴42中任一方的光轴相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Z轴方向的驱动信息，算出遮光销51的Z方向上端的中心位置(S101)。
其次，根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41或光轴42中任一方的光轴相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，以及使输送机械手12向X轴方向移动的同时，遮光了的光轴41或光轴42中任一方的光轴相对于遮光销51的投光开始时刻的晶片输送装置10的X轴方向的驱动信息，算出晶片输送装置10的Y轴方向与Y方向的偏移角度(S102)。通过对算出的偏移角度进行补正，使晶片输送装置10的Y轴方向与Y方向一致。
其次，根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息的偏移量(S103)。通过对算出的X轴方向的偏移量进行补正，使输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息一致。
其次，根据使输送机械手12从遮光销51的中心位置向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销52的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的Y方向的偏移角度(S104)。通过对算出的偏移角度进行补正，使遮光夹具50的S轴与输送位置在设计上的Y方向一致。
此外，如图5所示，由于以S轴为Y方向的方式设置遮光夹具，因此，算出以使遮光夹具50的S轴与输送位置设计上的Y方向一致的方式进行补正的示教信息，但在以S轴为X方向的方式设置遮光夹具的情况下，根据使输送机械手12从遮光销51的中心位置向+X轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销52的遮光开始时刻的晶片输送装置10的X轴方向的驱动信息，算出遮光夹具50的S轴与输送位置的设计上的X方向的偏移角度。另外，以S轴与Y方向及X方向不同的方式设置遮光夹具的情况下，根据使输送机械手12从遮光销51的中心位置向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销52的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出根据设置上的遮光夹具50的S轴算出的Y方向与输送位置的设计上的Y方向的偏移角度。
其次，根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，与步骤S103相同地算出由步骤S104的补正生成的输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息的偏移量(S105)。通过对算出的X轴方向的偏移量进行补正，使输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息一致。
最后，根据使输送机械手12向+Y轴方向移动的同时，光轴41及光轴42相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息，算出以使输送位置的Y方向的位置信息与晶片输送装置10的Y轴方向的位置信息一致的方式进行补正的示教信息(S106)。
其次，参照图9及图10说明图7的Z轴补正处理(S101)的详细情况。图9表示Z轴补正处理(S101)的处理步骤的一例的流程图。图10是用于说明输送机械手12的初始位置的一例的图，图10(a)是示意俯视图，图10(b)是示意侧视图。
如图9所示，首先，使输送机械手12移动至预先设定的初始位置(S201)。如图10所示，X轴方向及Z轴方向的初始位置是使输送机械手12向+Y轴方向移动时，利用遮光销51对光轴41及光轴42进行遮光的预想的位置。进而，是遮光销51以外的遮光夹具50或周边部件与输送机械手12以及传感器夹具30不接触的位置。
其次，使输送机械手12从初始位置向+Y轴方向移动直至光轴41通过遮光销51(S202)。
其次，在步骤S202的移动中，根据光轴41相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Y轴方向的驱动信息和遮光销51的形状尺寸，算出遮光销51的Y轴方向的中心位置(位置A)(S203)。
其次，以光轴41通过位置A的方式，使输送机械手12向-Y轴方向移动(S204)，进而，使输送机械手12向+Z轴方向移动直至光轴41成为投光状态(S205)。
其次，在步骤S205中，向-Z轴方向移动向+Z轴方向移动的距离(S206)，根据光轴41相对于遮光销51的遮光开始时刻的晶片输送装置10的Z轴方向的驱动信息和遮光销51的形状尺寸，算出遮光销51的Z轴方向的上端位置(位置B)，算出以使输送位置的Z方向的位置信息与晶片输送装置10的Z轴方向的位置信息一致的方式进行补正的示教信息(S207)。
其次，参照图11至图13详细说明图7的θ轴补正处理(S102)。图11是表示θ轴补正处理(S102)的处理步骤的一例的流程图。图12是用于说明输送机械手12的动作的一例的图。另外，图13是用于说明θ轴补正的示教信息的算出方法的图。
如图11所示，首先，使输送机械手12从位置B向-Z轴方向移动，直至根据图9的步骤S207的位置B算出的、遮光销51能够对光轴41进行遮光的Z轴方向的位置(S301)。此时，确认遮光销51对光轴41进行遮光。
其次，使输送机械手12向-Y轴方向移动直至光轴41投光的位置(S302)，其次，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至光轴41相对于遮光销51的遮光开始的位置(位置C)(S303)。即，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至图12中(状态1)的位置C。
其次，使输送机械手12从位置C向+X轴方向移动直至光轴41的投光开始的位置(位置D)(S304)。即，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至图12中(状态2)的位置D。
其次，根据位置C和位置D，算出晶片输送装置10的Y轴方向与晶片输送装置10的设计上的Y方向的偏移角度β(S305)。
以下，说明偏移角度β的算出方法。如图13(a)所示，将与晶片输送装置10的Y轴方向成直角且通过光轴41与光轴42的交点O的线段、即X轴方向的线段设为线段60，将通过交点O的Y轴方向的线段设为线段61。将光轴41和光轴42分别与线段60所成的角称为光轴角度，在此，设为α。
如图13(b)所示，以位置C处的光轴41为光轴41c，以位置D处的光轴41为光轴41d。另外，以位置C处的光轴42为光轴42c，以位置D处的光轴42为光轴42d。另外，以位置C处的线段60为线段60c，以位置D处的线段60为线段60d。另外，以位置C处的线段61为线段61c，以位置D处的线段61为线段61d。另外，晶片输送装置10的Y轴方向与Y方向的偏移角度为β。
如图13(b)及图13(c)所示，从位置C向位置D移动晶片输送装置10时所成的三角形63满足下述关系式(1)。
sin(α+β)＝d/a·····(1)
在此，a是从位置C向位置D的向X轴方向的移动量，d是遮光销51的直径。
根据关系式(1)，由下述关系式(2)表示偏移角度β。
β＝sin-1(d/a)-α·····(2)
使用关系式(2)，在上述步骤S305，算出晶片输送装置10的Y轴方向与Y方向的偏移角度β。
其次，参照图14至图16详细说明图7的一次X轴补正处理(S103)。图14是表示一次X轴补正处理(S103)的处理步骤的一例的流程图。图15是用于说明输送机械手12的动作的一例的图。另外，图16是用于说明X轴补正的示教信息的算出方法的图。
如图14所示，首先，使根据θ轴补正处理的结果补正后的输送机械手12从位置B向-Z轴方向移动直至根据图9的步骤S207的位置B算出的、遮光销51能够对光轴41进行遮光的Z轴方向的位置(S401)。此时，确认遮光销51对光轴41进行遮光。
其次，使输送机械手12向-Y轴方向移动直至光轴41投光的位置(S402)，其次，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至光轴41相对于遮光销51的遮光开始的位置(位置C)(S403)。即，使输送机械手12向+Y轴方向移动至图15中(状态1)的位置C。
其次，使输送机械手12从位置C向+Y轴方向移动至光轴42相对于遮光销51的遮光开始的位置(位置E)(S404)。即，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至图15中(状态2)的位置E。
其次，根据位置C和位置E，算出输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息的偏移量x(S405)。
以下，说明X方向的偏移量x的算出方法。如图16(a)所示，以相对于晶片输送装置10的Y轴方向成直角且通过光轴41与光轴42的交点O的线段、即X轴方向的线段为线段60，以通过交点O的Y轴方向的线段为线段61。将光轴41与光轴42分别与线段60所成的角度称为光轴角度，在此设为α。
如图16(b)所示，以位置C处的光轴41为光轴41c，以位置E处的光轴41为光轴41e。另外，以位置C处的光轴42为光轴42c，以位置E处的光轴42为光轴42e。另外，以位置C处的线段60为线段60c，以位置E处的线段60为线段60e。另外，以位置C处的线段61为线段61c，以位置E处的线段61为线段61e。在此，线段61c与线段61e一致。另外，将晶片输送装置10的Y轴方向与输送位置的Y方向在设计上的角度设为θ。此外，在本实施例中，θ＝0。另外，输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息的偏移量为x。
如图16(b)及图16(c)所示，从位置C向位置E移动晶片输送装置10时所成的三角形64满足下述关系式(3)及关系式(4)。
tanα＝(y/2)/x′·····(3)
cosθ＝x′/x·····(4)
在此，y是从位置C向位置E的向Y轴方向的移动量。
根据关系式(3)及关系式(4)，偏移量x由下述关系式(5)表示。
x＝y/(2tanα·cosθ)·····(5)
使用关系式(5)，在上述步骤S405中，算出输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息的偏移量x。此外，在本实施例中，由于θ＝0，因此，使用下述关系式(5′)，在上述步骤S405，算出输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息的偏移量x。
x＝y/(2tanα)·····(5′)
其次，参照图17至图19，详细说明图7的S轴补正处理(S104)。图17是表示S轴补正处理(S104)的处理步骤的一例的流程图。图18是用于说明输送机械手12的动作的一例的图。另外，图19用于说明S轴补正的示教信息的算出方法的图。
如图17所示，首先，通过根据θ轴补正处理及一次X轴补正处理的结果补正后的输送机械手12以光轴41及光轴42的交点O成为遮光销51的中心位置的方式移动(S501)。
其次，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至光轴41相对于遮光销52的遮光开始的位置(位置F)(S502)。即，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至图18中(状态1)的位置F。
其次，使输送机械手12从位置F向+Y轴方向移动直至光轴42相对于遮光销52的遮光开始的位置(位置G)(S503)。即，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至图18中(状态2)的位置G。
其次，根据位置F和位置G，算出遮光夹具50设置上的Y方向(S轴)与输送位置的设计上的Y方向的偏移角度γ(S504)。
以下，说明偏移角度γ的算出方法。如图19(a)所示，以与晶片输送装置10的Y轴方向成直角且通过光轴41与光轴42的交点O的线段、即X轴方向的线段为线段60，以通过交点O的Y轴方向的线段为线段61。将光轴41与光轴42分别与线段60所成的角度称为光轴角度，在此设为α。
如图19(b)所示，以位置F处的光轴41为光轴41f，以位置G处的光轴41为光轴41g。另外，以位置F处的光轴42为光轴42f，以位置G处的光轴42为光轴42g。另外，以位置F处的线段60为线段60f，以位置G处的线段60为线段60g。另外，以位置F处的线段61为线段61f，以位置G处的线段61为线段61g。在此，线段61f与线段61g一致。另外，将晶片输送装置10的Y轴方向与输送位置的Y方向在设计上的角度设为θ。此外，在本实施例中，θ＝0。另外，将遮光夹具50设置上的Y方向(S轴)与输送位置的设计上的Y方向的偏移角度设为γ。
如图19(b)及图19(c)所示，从位置F向位置G移动晶片输送装置10时所成的三角形65满足下述关系式(6)。
sinγ＝x″/b·····(6)
在此，b为遮光销51的中心与遮光销52的中心之间的距离。
另外，根据关系式(5)，用下述关系式(7)表示x″。
x″＝y′/(2tanα·cosθ)·····(7)
在此，y′为从位置F向位置G的向Y轴方向的移动量。
从而，根据关系式(6)及关系式(7)，偏移角度γ由下述关系式(8)表示。
γ＝sin-1{y′/(2b·tanα·cosθ)}·····(8)
使用关系式(8)，在上述步骤S504中，算出遮光夹具50设置上的Y方向(S轴)与输送位置的设计上的Y方向的偏移角度γ。此外，本实施例中，由于θ＝0，因此，使用下述关系式(8′)，在上述步骤S504，算出遮光夹具50设置上的Y方向(S轴)与输送位置的设计上的Y方向的偏移角度γ。
γ＝sin-1{y′/(2b·tanα)}·····(8′)
其次，参照图20详细说明图7的二次X轴补正处理(S105)。图20是表示二次X轴补正处理(S105)的处理步骤的一例的流程图。此外，二次X轴补正处理(S105)与一次X轴补正处理(S103)相同。一次X轴补正处理中，根据光轴41及光轴42被遮光销51遮光的位置算出偏移量，在二次X轴补正处理中，根据光轴41及光轴42被遮光销52遮光的位置算出偏移量。
如图20所示，首先，使根据θ轴补正处理、一次X轴补正处理及S轴补正处理的结果补正后的输送机械手12从图17的步骤S502的位置F向-Y轴方向移动(S601)，其次，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至光轴41相对于遮光销52的遮光开始的位置(位置H)(S602)。
其次，使输送机械手12从位置H向+Y轴方向移动直至光轴42相对于遮光销52的遮光开始的位置(位置I)(S603)。
其次，根据位置H和位置I，算出输送位置的X方向的位置信息与晶片输送装置10的X轴方向的位置信息的偏移量(S604)。
其次，参照图21及图22详细说明图7的Y轴补正处理(S106)。图21是表示Y轴补正处理(S106)的处理步骤的一例的流程图。图22是表示用于说明输送机械手12的动作的一例的图。
如图21所示，首先，使根据θ轴补正处理、一次X轴补正处理、S轴补正处理及二次X轴补正处理的结果补正后的输送机械手12从图17的步骤S502的位置F向-Y轴方向移动(S701)。即，使输送机械手12从位置F向-Y轴方向移动直至图22中(状态1)的位置。
其次，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至光轴41相对于遮光销51的遮光开始的位置(位置J)(S702)。即，使输送机械手12向+Y轴方向移动直至图22中(状态2)的位置J。
其次，使输送机械手12从位置J向+Y轴方向移动直至光轴42相对于遮光销51的遮光开始的位置(位置K)(S703)。在此，设于输送机械手12的传感器夹具30如图3所示，在投影面上光轴41的投影线段与光轴42的投影线段相对于Y轴线对称，并且，对输送机械手12实施了基于θ轴补正处理、一次X轴补正处理、S轴补正处理及二次X轴补正处理的补正，因此，位置J与位置K大致相同，位置J与位置K的差成为误差。
其次，为了考虑位置J与位置K所引起的透射光式传感器32的误差，将位置J与位置K的中间位置作为Y轴方向位置算出，算出以使输送位置的Y方向的位置信息与晶片输送装置10的Y轴的位置信息一致的方式进行补正的示教信息(S704)。
在如上述的晶片输送装置10设置传感器夹具30，在输送位置设置遮光夹具50，通过进行通常的输送动作，即在不进行用于示教作业的回避动作的情况下，能够获取输送位置的示教信息。从而，能够在不考虑晶片输送装置10的各轴间隙的情况下算出示教信息。即，能够容易地进行示教信息的算出，并且，能够缩短算出时间。
在上述的晶片输送装置10及位置示教方法中，考虑了设于输送位置的遮光夹具50的S轴与Y方向的偏移角度γ，但遮光夹具50的设置所引起的偏移角度γ小的情况下，可以构成为不设置S轴补正信息算出部65的、不执行S轴补正处理S104的结构。另外，此时，设于遮光夹具50的遮光销也可以为一个。
另外，在上述晶片输送装置10及位置示教方法中，在晶片输送装置10设置传感器夹具30，在输送位置设置遮光夹具50，但可以在晶片输送装置10设置遮光夹具50，在输送位置设置传感器夹具30。
另外，传感器夹具30的透射光式传感器32的光轴41的投影线段与光轴42的投影线段在通过晶片输送装置10的中心轴26的投影面上的Y方向的直线(Y轴)上交叉，光轴41的投影线段与光轴42的投影线段相对于该Y轴相互线对称，在传感器夹具30配置投光部32a及32b和受光部32c及32d，但如图23(a)所示，也可以为光轴41的投影线段与光轴42的投影线段在投影面上相互交叉，光轴41的投影线段与Y轴成直角且光轴42与Y轴不平行的情况。
另外，如图23(b)所示，也可以为光轴41的投影线段与光轴42的投影线段在投影面上相互交叉，光轴42的投影线段相对于Y轴成直角，且光轴41的投影线段与Y轴不平行的情况。另外，如图23(c)及图23(d)所示，也可以为光轴41的投影线段的延长线与光轴42的投影线段的延长线在投影面上相互交叉，光轴41的投影线段与Y轴成直角且光轴42的投影线段与Y轴不平行的情况。另外，如图23(e)所示，也可以为透射光式传感器32的投光部32a及32b与受光部32c中，从投光部32a向受光部32c的光轴41与从投光部32b向受光部32c的光轴42位于投影面上的情况。另外，传感器夹具30的透射光式传感器32为具有两个光轴的情况，但如图23(f)所示，也可以为通过透射光式传感器32的投光部32a和受光部32c，仅具有从投光部32a向受光部32c的光轴41的情况。
另外，在上述位置示教方法中，将遮光夹具50配置在输送位置，但也可以代替遮光夹具50，为在输送位置的附近已经存在的、与输送位置的基准位置的相对位置及形状尺寸已知的部件。
另外，执行示教作业时，输送位置周围的移动区间区域窄，在晶片输送装置10以及传感器夹具30可能与输送位置周围的设备或部件接触的环境下，可以如图8所示，使用遮光夹具55代替遮光夹具50。
遮光夹具55具有与遮光夹具50一体化的向与传感器夹具30对置的方向(-Y方向)突出的形状的凸部56，具备圆柱状的临时遮光销(临时目标部件)57及58。此外，临时遮光销57及58相对于遮光夹具50的基准位置的相对的位置、及形状尺寸为已知。另外，凸部56在Y方向上的长度形成为使得临时遮光销57及58配置在晶片输送装置10以及传感器夹具30与输送位置周围的设备和部件不接触的位置上。
在上述的晶片输送装置10及位置示教方法使用遮光夹具55的情况下，在Z轴补正处理、θ轴补正处理及一次X轴补正处理中，使用临时遮光销57及58代替遮光销51及52算出示教信息。另外，在S轴补正处理、二次X轴补正处理及Y轴补正处理中，与使用遮光夹具50时相同地使用遮光销51及52算出示教信息。
通过如上所述的在晶片输送装置10设置传感器夹具30，在输送位置设置遮光夹具55，进行通常的输送动作，使得当输送位置周围的空间区域窄，为了获取针对输送位置的示教信息而使晶片输送装置10动作时，在可能会引起输送位置周围的设备或部件与晶片输送装置10或传感器夹具30接触的情况下，能够防止输送位置周围的设备或部件与晶片输送装置10或传感器夹具30接触，同时获取针对输送位置的示教信息。

Claims (18)

1.一种输送装置，其通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，
以铅垂方向为Z方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，
所述输送装置具备：
透射光式传感器，其至少具有一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部；
一个以上的目标部件，其能够对所述光轴进行遮光；
示教信息算出机构，其从所述透射光式传感器获取所述目标部件使所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据所述位置信息算出针对所述输送轨迹上的规定的目标位置的示教信息；
控制机构，其根据利用所述示教信息算出机构算出的针对所述目标位置的所述示教信息，控制所述被输送物的输送位置，
所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部设置所述目标部件，
以所述输送部的直行方向为R方向，
所述示教信息算出机构包括：
Z轴补正信息算出机构，其根据使所述光轴向Z方向相对于一个所述目标部件相对地移动、而由该目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进行Z方向的位置补正的所述示教信息；
θ轴补正信息算出部，其根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由一个所述目标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于该目标部件相对地平行移动直至该光轴再次投光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；
X轴补正信息算出机构，在具有两个所述光轴时，其根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；
Y轴补正信息算出部，其在具有交叉的两个所述光轴时，根据使这两个光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而所述光轴分别遮光时的各所述位置信息、或在不具有交叉的两个所述光轴时根据至少一个所述光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。
2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，
所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方向或X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。
3.根据权利要求2所述的输送装置，其特征在于，
通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的输送装置，其特征在于，
具有两个以上的所述目标部件，分别以通过S轴的两个所述目标部件为第一目标部件及第二目标部件，具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴，
所述示教信息算出机构具有S轴补正信息算出机构，
在所述S轴与Y方向一致时，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，
在所述S轴与X方向一致时，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与X方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，
在所述S轴与Y方向及X方向均不一致时，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y方向与设计上的Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息。
5.一种输送装置，其通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，
以铅垂方向为Z方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，
所述输送装置具备：
透射光式传感器，其至少具有一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部；
一个以上的目标部件，其能够对所述光轴进行遮光；
一个以上的临时补正目标部件，其相对于能够对所述光轴进行遮蔽的所述目标部件的相对位置为已知；
示教信息算出机构，其从所述透射光式传感器获取所述目标部件及所述临时补正目标部件使所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据所述位置信息算出针对所述输送轨迹上的规定的目标位置的示教信息；
控制机构，其根据利用所述示教信息算出机构算出的针对所述目标位置的所述示教信息，控制所述被输送物的输送位置，
所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，所述目标部件及所述临时补正目标部件设置在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部，且所述临时补正目标部件设置在所述透射光式传感器与所述目标部件之间，
以所述输送部的直行方向为R方向，
所述示教信息算出机构包括：
Z轴补正信息算出机构，其根据使所述光轴向Z方向相对于所述临时补正目标部件相对地移动、而由该临时补正目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进行Z方向的位置补正的所述示教信息；
θ轴补正信息算出部，其根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由所述临时补正目标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于该临时补正目标部件相对地平行移动直至该光轴再次投光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；
一次X轴补正信息算出机构，在具有两个所述光轴时，其根据使所述光轴向R方向相对于所述临时补正目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；
Y轴补正信息算出部，其在具有交叉的两个所述光轴时，根据使这两个光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而所述光轴分别遮光时的各所述位置信息、或在不具有交叉的两个所述光轴时根据至少一个所述光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。
6.根据权利要求5所述的输送装置，其特征在于，
所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方向或X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。
7.根据权利要求6所述的输送装置，其特征在于，
通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。
8.根据权利要求5～7中任一项所述的输送装置，其特征在于，
具有两个以上的所述目标部件，分别以通过S轴的两个所述目标部件为第一目标部件及第二目标部件，
所述示教信息算出机构包括：
S轴补正信息算出机构，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴与Y方向一致时，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴与X方向一致时，该S轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与X方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；
一次X轴补正信息算出机构，在具有两个所述光轴时，其根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；
二次X轴补正信息算出机构，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴与Y方向及X方向均不一致时，该二次X轴补正信息算出机构根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y方向与设计上的Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息。
9.一种位置示教方法，该位置示教方法向输送装置示教输送轨迹上的规定的目标位置，所述输送装置通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的所述输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述位置示教方法的特征在于，
以铅垂方向为Z方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，
所述位置示教方法包括如下工序：
(a)通过使透射光式传感器相对于设置在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的一个以上的目标部件相对地移动，而获取所述目标部件使光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据获取到的所述位置信息算出针对所述目标位置的示教信息，其中，所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，具有至少一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部，
以所述输送部的直行方向为R方向，
所述工序(a)包括下述四个工序中的至少一个工序：
(b)根据使所述光轴向Z方向相对于一个所述目标部件相对地移动、而由该目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进行Z方向的位置补正的所述示教信息；
(c)根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由一个所述目标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于该目标部件相对地平行移动直至该光轴投光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；
(d)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；
(e)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而在两个所述光轴交叉的情况下两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，或在两个所述光轴没有交叉的情况下至少一个所述光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。
10.根据权利要求9所述的位置示教方法，其特征在于，
所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方向或X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。
11.根据权利要求10所述的位置示教方法，其特征在于，
通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。
12.根据权利要求9～11中任一项所述的位置示教方法，其特征在于，
具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件中的一个所述目标部件为第一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二目标部件，
所述工序(a)包括下述两个工序中的至少一个工序：
(f)在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为Y方向的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为X方向的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与X方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴与Y方向及X方向不同的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y方向与设计上的Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；
(g)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息。
13.一种位置示教方法，该位置示教方法向输送装置示教输送轨迹上的规定的目标位置，所述输送装置通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的所述输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述位置示教方法的特征在于，
以铅垂方向为Z方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，
所述位置示教方法包括如下工序：
(a1)通过使透射光式传感器相对于一个以上的目标部件以及一个以上的临时补正目标部件相对地移动，而获取所述目标部件及所述临时补正目标部件使光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据获取到的所述位置信息算出针对所述目标位置的示教信息，其中，所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，具有至少一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部，一个以上的所述目标部件设置在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部，一个以上的所述临时目标部件设置在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部并设置在所述透射光式传感器与所述目标部件之间，且相对于所述目标部件的相对位置为已知，
以所述输送部的直行方向为R方向，
所述工序(a1)包括下述四个工序中的至少一个工序：
(b1)根据使所述光轴向Z方向相对于所述临时补正目标部件相对地移动、而由该临时补正目标部件对一个该光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置进行Z方向的位置补正的所述示教信息；
(c1)根据使一个所述光轴相对地平行移动直至由所述临时补正目标部件对一个所述光轴遮光时的所述位置信息、使该光轴向X方向相对于该临时补正目标部件相对地平行移动直至该光轴投光时的所述位置信息，算出对R方向与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；
(d1)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于所述临时补正目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息；
(e1)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而在两个所述光轴交叉的情况下两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息、或在两个所述光轴没有交叉的情况下至少一个所述光轴遮光时的所述位置信息，算出针对所述目标位置的R方向的所述示教信息。
14.根据权利要求13所述的位置示教方法，其特征在于，
所述目标部件为两个以上，且通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向与Y方向或X方向所成的角度为已知，且所述目标部件的相对位置为已知。
15.根据权利要求14所述的位置示教方法，其特征在于，
通过至少两个所述目标部件的中心的S轴的方向为Y方向或X方向。
16.根据权利要求13～15中任一项所述的位置示教方法，其特征在于，
具有两个以上的所述目标部件，且以通过S轴的所述目标部件中的一个所述目标部件为第一目标部件，以所述第一目标部件之外的所述目标部件为第二目标部件，
所述工序(a1)包括下述两个工序中的至少一个工序：
(f1)在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为Y方向的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴为X方向的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向X方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对S轴与X方向的偏移角度进行补正的所述示教信息，在具有两个在所述投影面上彼此不平行的所述光轴且所述S轴与Y方向及X方向不同的情况下，根据使一方的所述光轴从所述第一目标部件的中心向R方向相对于所述第二目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴遮光时的各所述位置信息，算出对根据设置上的S轴算出的Y方向与设计上的Y方向的偏移角度进行补正的所述示教信息；
(g1)在具有两个所述光轴的情况下，根据使所述光轴向R方向相对于一个所述目标部件相对地平行移动、而两个所述光轴分别遮光时的各所述位置信息，算出针对所述目标位置进行X方向的位置补正的所述示教信息。
17.一种传感器夹具，其通过与目标部件相对地平行移动而检测所述目标部件，所述传感器夹具的特征在于，
以铅垂方向为Z方向，以相对于铅垂方向成直角的平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，
至少具有一个从透射光式传感器的投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的同一投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴相对于投影到所述投影面上的向所述目标部件的相对的移动方向及与所述移动方向成直角的方向不平行的方式配置所述投光部和所述受光部，
在所述目标部件的检测动作中，多个所述光轴中的至少一个所述光轴以与所述所需的两个方向不平行的方式移动。
18.一种输送装置，其通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，
具备权利要求17所述的传感器夹具，根据利用所述传感器夹具的所述透射光式传感器获取的、所述目标部件使所述光轴从投光成为遮光时或从遮光成为投光时的位置信息，算出针对所述输送轨迹上的规定的目标位置的示教信息。
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